JPS62182541A

JPS62182541A - クリ−ンル−ム

Info

Publication number: JPS62182541A
Application number: JP61022749A
Authority: JP
Inventors: Yoshinobu Suzuki; 良延鈴木; Mitsufusa Manabe; 真鍋　充房
Original assignee: Shimizu Construction Co Ltd
Current assignee: Shimizu Construction Co Ltd
Priority date: 1986-02-04
Filing date: 1986-02-04
Publication date: 1987-08-10
Also published as: JPH0584422B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」この発明は、超ＬＳＩ、ＩＣ等の製造分野で、製造する
環境を超清浄に維持したい場合に必要なりリーンルーム
に関する。

「従来の技術」一股に半導体装置の製造工程、とりわけ半導体ウェーハ
」二に回路素子を形成する前工程では塵埃は大数であり
、作業雰囲気にお：Ｊる清浄度がそのまま製品歩留りに
結びイ」＜。このため、この種の半導体装置の作業雰囲
気の高清浄化を図るためにクリーンルームが使用されて
おり、例えば第１１図に示すクリーンルームが知られて
いる。

図において、符号にはクリーンルームであり、全体を外
隔壁１によって外界と区画されている。

そして、この区画内の中央に作業者域２を、その両外側
に高清浄度域３．３を、更にその両外側に装置保全域４
，４をそれぞれ構成しており、特に高清浄度域３．３は
その外側に配設した内隔壁５゜５と、内側に配設したス
クリーン６．６とによってそれぞれ装置保全域４．４と
作業者域２とに区画される。なお、内隔壁５．５とスク
リーン６．６とは、高清浄度域３．３の床７」−に設置
される半導体製造装置８の−１−でワークが処理されろ
位置ｊ；り低いところまでその下端が延在されろような
状態で吊り下げた構成とし、したがって、その下側に（
Ｊ床７との間に隙間が形成されろ。

そして、前記高／ｆｔ浄度域３．３の天井にそれぞれ高
性能フィルタ９．９を設置するとともに、これを」二部
においてダクト１０に接続する。一方、作業者域２の天
井にはプレフィルタＩ＋を設けて前記ダクト１０に連通
させ、また装置保全域４゜４の天井にもプレフィルタ１
２．１２を設けて前記高性能フィルタ９．９に連通させ
る。なお、図中１３はスクリーン６に設けた作業用の窓
であり、作業者域２にいる作業者１４はこの作業用窓Ｉ
３を通して半導体製造装置８を操作する。

この構成によれば、清浄空気は高性能フィルタ９．９か
ら矢印のように下側に向けて高清浄度域３．３を満たし
ここを清浄化する。清浄空気は更に半導体製造装置８と
内隔壁５及びスクリーン６との隙間を通ってそれぞれ装
置保全域４．４と作業者域２に流れ込む。また、一部は
作業用窓１３を通して作業者域２に流れ込む。そして、
装置保全域４の空気は上向きに流れ、プレフィルタ１２
に吸い込まれ、直接に前記高性能フィルタ９に戻り前述
のように循環する。一方、作業者域２の空気も−１−向
きに流れプレフィルタＩＩからダクトｌＯを通って高性
能フィルタ９に戻り前述のように循環する。

したかって、このクリーンルームＫにおいては、高清浄
度域３．３が陽圧になる一方、作業者域２や装置保全域
４，４は陰圧となり、これにより高清浄度域３．３を所
望の清浄度にオるどともに、作業者域２からの空気の巻
き込みを防止して高清浄度を安定に保持することができ
ろこと、また、高性能フィルタ９，９を高ｌｎ浄度域３
．３に設（ジるだ（Ｊでよいので、設備のイニノヤルコ
ストヲ低減できるととらに、空気の供給里を減少さＵて
電ツノのランニングコストを低減することができろこと
等多くの効果を得ろことができる。

ところが、前記構成のクリーンルームＫにおいては、ス
クリーン６が固定して設（３られでいるため、頻繁に行
なわれる半導体製造装置８のメンテナンス及び高清浄度
域３への物の搬出入の際、スクリーン６が障害物となり
前記作業を円滑に行うことか困難であること、高清浄度
域３に供給された空気の大半が、スクリーン６の下部か
らのみ排気されるため、床方向へ向かう気流の流速が大
きなものとなり、床での気流の跳ね返り現象が生じ、味
に堆積している塵埃が作業者域へ舞い」二かり、作業者
域２を高清浄に維持するために不都合であること、作業
者域２に面するスクリーン６表面付近（前記第１Ｉ図中
の斜線部Ｓ）では、空気の渦が生じており、ここに塵埃
が流入すると速やかに排出され難く、作業者領域２を高
清浄度に維持するための障害となること等いくつかの問
題点がありノこ。

しかし、これらの問題点は、第１２図、第１３図に示す
ように、前記スクリーン６を複数枚のパネル６　ａ、　
６　ａ、・・・に分割するとともに、その全面に複数の
通気孔＋５．１５．・・・を形成し、さらにそれぞれの
パネル６　ａ、　６　ａ、・・・の」１端にはパネル６
ａを水平方向に移動させて、高清浄度域３を開放可能な
ように走行車輪１６．１６とそれを走行させるための平
行な２本のレール１７．１７とを設け、前記パネル６　
ａ、　６　ａ、・・・が移動した際に互いに隣接するパ
ネル６　ａ、６　ａ同士が重なり合うように、前記レー
ル１７．１７に２列に吊持することにより解決すること
ができる。

「発明が解決しようとする問題点」しかし、スクリーンを前記のように構成したことにより
、パネルを水平移動させて高清浄度域を開放する際、隣
接するパネルが重なり合い、パネルに形成された通気孔
が閉塞されてその部分の空気の流れが円滑ではなくなる
こと、また、高清浄度域が作業者領域に対して陽圧の状
態となっているため、前記のようにパネルが上部だけで
支持されている場合、パネルが作業者領域へ傾斜したり
、振動したりする恐れがあるという新たな問題が生じて
きた。

本発明は、前記問題に鑑みてなされたものであり、高清
浄度域を超ｔｎ浄度にするとともに、作業者域からの空
気の巻き込みを防１１−シて超／１ｌｆｅ度を安定に保
持し、また、空気の供給量を低減して電力のラノニング
コス）・を低減させるとともに、設備のイニンヤルコス
トを低減させ、さらに、作業者域を高清浄度に維持し、
半導体製造装置のメンテナンスや装置部領域への物の搬
出入を容易に行うことかできるとともに、パネルを開放
した際にも重なり合ったパネル同士の通気孔が閉塞され
ることなく、また、空気の圧力差によってパネルが振動
したり、傾斜したりすることのないクリーンルームを提
供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段　１本発明は、前記問題点を解決するために室内を、超清浄
度が要求される装置部領域と、高清浄度が要求される通
路部領域とに区分するとともに、前記装置部領域の天井
に清浄空気を吹き出す空気供給部を設（Ｊ、さらに通路
部領域の上部には前記空気供給部と隣接し、この空気供
給部から吹き出す前記清浄空気を還気させる天井排気部
を設け、前記装置部領域と通路部領域との間に少なくと
も一端が水平方向へ移動自在に支持されノコ複数の仕切
部材を、それらが互いに重なり合って移動可能なように
並設し、これら仕切部材にはそれぞれ同一レベルに水平
方向に延在するスリット状の開１］部を複数段形成した
クリーンルームとした。

「作用　」本発明のクリーンルームに設けられている仕切部材には
、水平方向に延在するスリット状の開口部が複数段形成
されたいるため、仕切部材の全面からほぼ均一に通路部
領域に空気が吹き出し、通路部領域側に面する仕切部材
の表面近傍に渦を発生させろことがないとともに、開口
部の面積や数を調節することにより他の排気し１から排
気される空気の流儀や流速が制御される。さらに、全て
の仕切部材には、同一レベルにスリット状の開口部が形
成されているため、仕切部材を開放した際に仕切部材が
重なり合った場合にも、相互の開口部が重なりあって閉
塞されることがない。また、仕切部材の」二端部と下端
部を水平方向に移動自在に支持することにより、仕切部
材の剛性が高まり、装置部領域と通路部領域との圧力差
によって仕切部材か傾斜したり振動したりしない。

「実施例」以下、第１図ないし第１０図を用いてこの発明の詳細な
説明する。第１図はクリーンルームの要部を示すもので
あり、図において、符号にはクリーンルーム、２１は天
井板、２２は床版である。

天井板２１と床版２２との間の室内には、天井部分に天
井板２３が設けられており、天井板２３のに部には主空
調機（図示せず）から空気を送風するための給気ダクト
２４．２４が配設されている。

また、天井板２３の下部には、中央部に天井排気部２５
形成されており、それを挾んで両側（紙面にむかって左
右）に隣接して空気供給部である給気チャンバ２６．２
６が設けられている。この給気チャンバ２６．２６は、
それぞれ上方の給気ダクト２４．．２４と連通されると
ともに、給気チャンバ２６．２６の下部に設けられたＵ
　ＬＰ　Ａフィルタ（又はＩ−Ｔ　Ｅ　Ｐ　Ａフィルタ
）２７．２７を介して下方の空間部と連通されている。

一方、室内の床部分には、床版２２の」一方に開口部を
有する床部２８が設置されており、それらの間には床下
フリーアクセスフロア２８ａが形成されている。さらに
、室内は給気チャンバ２６゜２６の両性側部と床部２８
との間に立設されたバックパネル２９．２９によって、
作業室３０とユーティリティ室３１．３１とに区画され
ている。

バックパネル２９．２９の下部付近には、半導体等の製
造装置３２．３２が配設されており、バックパネル２９
の下端部にはバックパネル排気口３３．３３が形成され
ている。製造装置３２が長くユーティリティ室３１には
み出ず場合は、製造装置３２の」二部と接する付近のバ
ックパネル２９にダンパー付きのガラリを設け、製造装
置３２が作業室３０に納まる場合には、床部２８の−１
一部と接する付近のバックパネル２９にダンパー付きの
ガラリを設けることによりバックパネル排気口３３を構
成している。

前記、作業室３０の空間部は、製造装置３２゜３２の」
三方の装置部領域Ａ、Ａと、作業室３０のほぼ中央部で
作業者３４が行動する通路部領域Ｂとに区分されており
、前記給気チャンバ２６．２６は装置部領域Δ、Ａの上
部に、また天井排気部２５は通路部領域Ｈの１一部に位
置している。

また、前記給気チャンバ２６．２６には、ユーティリテ
ィ室３１．３１側にファン内蔵型の空調機３５．３５が
設（」られており、天井排気部２５の下部両側には、装
置部領域Ａと天井排気部２５とを連通させる通気口３６
．３６が給気チャンバ２６．２６の側面に設（Ｊられて
いるとともに、この通気口３６．３６内の下部には、装
置部領域Ａと通路部領域Ｂとを区画する仕切部材であり
、互いに側端部が重なり合うように交互に並設された複
数枚の前面パネル３７，３７．・・・が取り付けられて
いる。

この前面パネル３７は、第２図、第３図に示すように、
透明な矩形の板に水平方向に延在するスリット状の開［
−］部３８，３８．・・・を複数段形成しだらのであり
、前面パネル３７の」一部には、通気口３６内の下部に
横方向（紙面に対して直交する方向）に固定された二本
のレール３９　、３９−１−を走行オろ上部走行車輪３
９ａ、３９ａが取り付けられているととらに、０ｔｊ而
パネル３７の下部には後述する（１°孔床に横方向に敷
設された平行な２木のレール４０，４０ｊ−を走行する
下部走行車輪７ＩＯａ。

７ＩＯａか固定されている。そして、前面パネル３７は
これら」―部走行車輪３９ａ、３９ａ、及び下部走行車
輪４０ａ、４０ａによって水平方向（横方向）へ移動自
在に支持されている。また、前面パネル３７に複数段形
成された開口部３８，３８．・・・は、前面パネル３７
を水平方向に移動させたときに互いに隣接する面画パネ
ル３７の開［」部３８゜３８、・・・と互いに重なり合
うように、同一レベルに設置Ｊられでいる。さらに、前
記パネル３７の一側面には、第４図ないし第７図に示す
ように、前面パネル３７の開口部３８の面積を調節する
ために盲板３７ａを嵌め込むための凹部３８ａが、開口
部３８，３８．・・・の外周部に沿って形成されている
。

ここで、微弱な磁界が問題にならない場所においては、
第４図に示すように、凹部３８ａの底面側に金属板３８
ｈを固定し、盲板３７ａには金属板３８ｂと接する部分
に磁石を取り付けることにより、前面パネル３７に盲板
３７ａを固定するようにしており、また、磁界が問題と
なる場所においては、第６図、第７図に示すように、凹
部３８ａの外周部に複数のバネ板状の止め金３７ｂ、３
７ｂ、・・・を回転自在に設け、盲板３７ａを凹部３８
ａに嵌め込んだ後、その上部に止め金３７ｂ、３７ｂ、
・・・を回転させ、盲板３７ａを押圧することによって
前面パネル３７に固定するような構成とする。

なお、さらに開口部３８の面積を微調整するために、第
５図に示すように、盲板３７ａにスリット部３８ｃを形
成するようにしてもよい。さらに、１１７ｉ面パネル３
７の所定の場所には、作業者３４が製造装置３２を操作
するための作業用窓（図示せず）が設けられている。

また、第１図に示すように、天井排気部２５には、その
下部付近て給気チャンバ２６．２６間にダンパー付きの
ガラリ４１が架設されており、そ＝１２− の上方には給気チャンバ２６．２６の側面に付設された
排気ファン４２．／１２が設けられている。

また、バックパネル２９．２９の」二部背面には、照明
具２９ａ、２９ａが配設されている。

一方、床部２８には、開口部としてグレーチングまたは
パンヂングメタル等の有孔床４３．４３゜・・・が設置
されるとともに、製造装置３２．３２や通路部領域Ｂに
はコンクリートの固定床４４゜４４が設けられている。

また、製造装置３２と前面パネル３７との間の有効床４
３」二には、製造装置３２にウェハーカセットを運搬、
載置するための自動搬送装置４５を走行させるためのレ
ール４６、及び前面パネル３７のレール４０．４０が敷
設された構成とされている。

つぎに、前記の構成のクリーンルームにの作用について
説明する。

まず、主空調機から給気ダクト２４．．２４を通って送
られた空気が、天井に設けられた左右の給気チャンバ２
６．２６へ供給される。給気チャンバ２６．２６へ供給
された空気は、Ｕ　Ｌ　Ｐ　Ａ　（又はＨＥＰＡ）フィ
ルタ２７．２７を通過して清浄化され、装置部領域Ａ内
へ吹き出されろ。吹き出された清浄空気は、主に４種類
の流路を通って、再び、給気チャンバ２６．２６へ還気
される。

まず、第１の流路■は、給気チャンバ２６から吹き出さ
れた清浄空気が製造装置３２の」−面に当たった後、バ
ックパネル排気口３３を通過してユーティリティ室３１
に達し、次いで空調機３５を経て給気チャンバ２６へ還
気する流路。つぎに、第２の流路■は、給気チャンバ２
６から吹き出された清浄空気が製造装置３２の」二面に
当たった後、【−Ｊ′孔床４３から床下フリーアクセス
フロア２８ａを通過してユーティリティ室３１に達し、
次いで空調機３５を経て給気チャンバ２６へ還気する流
路。さらに、第３の流路■は、給気チャンバ２６から吹
き出した清浄空気か製造装置３２に当たらす＋ｉｉｊ而
パネ小パネル３フ部３８，３８．・・・を通過して通路
部領域Ｂへ流出した後、−４二昇してそのＬ部に設けら
れた天井ガラリ４Ｉから天井排気部２５に達し、次いで
、排気ファン４２により給気チャンバ２６へ還気する流
路。最後に、第４の流路■は、給気チャンバ２６から吹
き出した清浄空気が通気口３６を通過して天井排気部２
５へ直接流出した後、排気ファン４２により給気チャン
バ２６へ還気する流路てある。

前記流路■を流れる空気は、有効床４３を通過する際、
前面パネル３７や自動搬送装置４５が移動ずろ時に車輪
の摺動によって発生する塵埃を有効床４３から床下フリ
ーアクセスフロア２８ａへ排出し、床部２８からの塵埃
の舞い」−がりを防止ｔろことができる。

また、流路■を流れる空気は、通路部領域Ｂへ流出する
際、前面パネル３７に複数段形成された開口部３８．３
８．・・・を通過して前面パネルの全面から均一に流出
ずろたｙ）、前面パネル３７の通路部領域側の表面に空
気の渦を生しることが少ない。さらに、本実施例におい
ては、前面パネル３７を水平移動させて装置部領域へを
開放した場合にも、重なり合っノこ曲面パネル３７．３
７相互の開口部３８．３８．・・・が互いに重なり合う
ことになり、重なり合った油面パネル３７によって相互
の開口部３８が閉塞されて空気の流出を阻害されること
なく、常に均一な空気の流れを維持することができる。

また、曲面パネル３７の開口部３８．３８．・・・の数
と面積を変えることにより、前面パネル３７面からの空
気の流出量を制御することができるとともに、他の開口
部の空気の流量を制御することが可能となる。

さらに、前記流路■を流れる空気は、通気口３６を通過
する際、前面パネル３７の上端部付近に停滞する塵埃を
天井排気部２５へ排出するため、」；部からの塵埃の巻
き込みを防止することができる。

なお、室外への排気を必要とする装置（図示せ４″）が
クリーンルームに内に設置されている場合には、流路■
■を流れるいずれかの空気が装置内へ取り込まれ、装置
内部を通過した後、排気ダクト（図示せず）を通じて建
物外へ排出される。

ここで、クリーンルームの必要清浄度は、半導体の製造
が行なわれる装置部領域Ａでクラス１０＝１６− 以下（対象粒子径≧０．Ｉ７１ｍ）、作業者３４が移動
する通路部領域Ｂてクラス１００（対象粒子径≧０．１
μｍ）であり、装置部領域Δでは超清浄度が通路部領域
Ｂでは高清浄度が維持される必要がある。また、装置部
領域Ａの清浄空気は、通路部領域Ｃの清浄空気に比べて
清浄度か高く、装置部領域Δから流れ出る清浄空気を用
いて通路部領域Ｂを清浄化することができる。

したがって、このクリーンルームＫにおいては、装置部
領域Ａがバックパネル２９及び前面パネル３７によって
囲われているため、超清浄度域である装置部領域Ａが陽
圧になる一方、高清浄度域である通路部領域Ｂやユーテ
ィリティ室３１は陰圧となり、少量の清浄空気を供給オ
ろ／ｆｆ　ｉＪで（本実施例においては、装置部領域の
清浄空気の流速を０．２ｍ／ｓ以下とすることができろ
）装置部領域へを所望の清浄度にオろととしに、通路部
領域Ｂからの塵埃の拡散、流入が完全に防止され、超清
浄度を安定に保持することができる。

また、空気供給部である給気チャンバ２６．２６が装置
部領域Δ２Ａの」一部にしか設けられておらず、天井の
全面から清浄空気が吹き出すことがないので、空気の絶
対供給量を減少させろことがｉｉＪ能になるとともに、
Ｕ　Ｌ　Ｐ　Ａフィルタ２７は供給チャンバ２６．２６
に設けるだけでよいので、ファンの駆動動力等電力のラ
ンニングコストを低減できるとともに、設備のイニシャ
ルコストを低減できる。

また、前面パネル３７は両端部、即ち」二端部の」二部
走行車輪３９ａを介してレール３９に、また下端部の下
部走行車輪４０ａを介してレール４０に水平方向に移動
自在に支持されているので、装置部領域Δを開放するこ
とにより製造装置３２のメンテナンスや装置部領域へへ
の物の搬出入を容易に行うことが可能であるとともに、
装置部領域へが陽圧であるのに対し通路部領域Ｂが陰圧
となることにより生じる圧力差によ−〕で、前面パネル
３７か通路部領域Ｂ側へ傾斜したり、振動したりするの
を防止することかできる。

さらに、装置部領域Ａに供給された空気を４種類の流路
から排気することができるので、床部２８の全面を有孔
床４３とする必要がなくなり、装置部領域Ａと通路部領
域Ｂの境界面イ」近の直下に僅かな開［１部を設けるた
（Ｊで、通路部領域Ｂと製造装置３２．３２の直下は固
定床４４とすることができる。その結果、作業者３４は
歩行時に通路部領域Ｂの固定床４４を歩くことにより、
また、通路部領域Ｂの固定床４４と製造装置３２．３２
の固定床４４とが分離していることに」；す、歩行時に
振動が発生ずるのを押さえ、振動が製造装置３２．３２
へ伝わるのを防止することがきるとともに、歩行時の作
業者３４に、全面グレーチング床を歩く時に感じられる
不快感を与えることがない。

次に、第８図ないし第１Ｏ図を用いて第２の実施例を説
明する。この第２の実施例は、前記第１の実施例のクリ
ーンルームＫにおける、前面パネル３７を次のように構
成したものである。第８図ないし第１Ｏ図において、第
１図ないし第７図に示した第１の実施例と同一の構成要
素については−ｌソー同一符号を付し、その説明を省略する。

図において、符号４７は前面パネル３７の開口部３８．
３８．・・・の」一部に設げられた盲板３７ａの収納部
である。収納部４７の両端には開口部３８の側部に沿っ
て凸部４７ａ、４７ａが形成されており、この凸部４７
ａには盲板３７ａを固定するために取り付（」られたネ
ジ４８をスライドさせるための縦長の溝部４９が形成さ
れている。その他については、前記第１の実施例と同様
の構成とされている。

このように構成された前面パネル３７においては、盲板
３７ａを収納部４７内で上下に摺動させた後、ネジ４８
によって開口部３８の任意の位置に固定することにより
、開口部３８の面積を任意に調整することができる。

したがって、この第２の実施例においては、第１の実施
例に比べさらに前面パネル３７面からの空気の流量を微
妙に制御することができるとともに、その他の作用、効
果については、前記第１の実施例と同様である。

＝２０− 「発明の効果」以」―説明したように本発明は、装置部領域と通路部領
域との間に少なくとも一端が水平方向へ移動自在に支持
された複数の仕切部材を、それらが互いに重なり合って
移動可能なように並設し、これら仕切部材には同一レベ
ルに、水平方向に延在するスリット状の開口部を複数段
形成したものであるので、超清浄度域である装置部領域
が陽圧になる一方、高清浄度域である通路部領域は陰圧
となり、少量の清浄空気を供給するだけで装置部領域を
所望の清浄度にできること、また、通路部領域からの塵
埃の侵入を完全に無くして超清浄度を安定に保持するこ
とができること、また、空気供給部が装置部領域の上部
にしか設けられておらず、天井の全面から清浄空気が吹
き出すことがないので、空気の絶対供給量を減少させる
ことができるとともに、ＵＬＰＡフィルタは空気供給部
に設けるだけでよいので、ファンの駆動動力等電力のラ
ンニングコストを低減できるとともに、設備のイニシャ
ルコストを低減できる。

さらに、本発明においては、製造装置のメンテナンスや
装置部領域への物の搬出入を容易におこなうことかでき
、仕切部材の通路部領域側の表面付近に空気の渦を発生
させろことが少なく、また、開口部の面積や数を変化さ
Ｕることにより仕切部材の表面や他の開口部から流出す
る空気の流量や流速を制御し、装置部領域の外部からの
塵埃の巻き込みを防止しする。また、水平方向へ移動さ
せた仕切部材が、隣接する仕切部材と重なった場合にも
開口部が閉塞されることなく、常に仕切部材表面から空
気を流出させることができるとともに、仕切部材を両端
部で支持することにより、装置部領域と通路部領域との
圧力差によって仕切部材が傾斜したり振動したりするの
を防止オろことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図は本発明の第１の実施例を示すもの
であり、第１図はクリーンルームの要部の側断面図、第
２図は第１図におけるクリーンルームの前面パネルの正
面図、第３図は第２図の前面パネルの側面図、第４図（
Ｊ前面パネルの開口部とそれに嵌め込んで磁石によって
固定する形式の盲板の側断面図、第５図はスリット部を
設（Ｊた盲板の側断面図、第６図は止め金によって盲板
を固定する形式の前面パネルの側断面図、第７図は第６
図の斜視図、第８図ないし第１Ｏ図は第２の実施例を示
すものであり、第８図は盲板の収納部を設けた前面パネ
ルの正面図、第９図は第８図の側面図、第１０図（Ｊ第
８図の一部拡大をした斜視図、第１１図ないし第１３図
は従来の技術を示すものであり、第１１図はクリーンル
ームの要部の側断面図、第１２図は第１１図のクリーン
ルーツ８、の問題点を解決するための前面パネルの一部
斜視図、第１３図は第１２図の側断面図である。

Claims

【特許請求の範囲】

室内を、超清浄度が要求される装置部領域と、高清浄度
が要求される通路部領域とに区分するとともに、前記装
置部領域の天井に清浄空気を吹き出す空気供給部を設け
、さらに通路部領域の上部には前記空気供給部と隣接し
、この空気供給部から吹き出す前記清浄空気を還気させ
る天井排気部を設け、前記装置部領域と通路部領域との
間に少なくとも一端が水平方向へ移動自在に支持された
複数の仕切部材を、それらが互いに重なり合って移動可
能なように並設し、これら仕切部材にはそれぞれ同一レ
ベルに、水平方向に延在するスリット状の開口部を複数
段形成したクリーンルーム。