DE10029200A1 - Prozeßklimatisierung - Google Patents

Abstract

Das Prozessklimatisierungssystem bläst mittels eines Rohrleitungssystems Reinluft direkt auf den Prozessort. Hierdurch wird ein höherer Volumenstrom als bei der Luft aus einer Filterbox gebildet, so dass über dem Prozessort eine Luftglocke aus konditionierter Reinluft entsteht, welche das Eindringen von nicht aufbereiteter Luft verhindert.

Description

Einführung

Produktionslinien zur Herstellung von optischen Datenträgern wie CD-R und DVD-R benötigen in konventionellen Anlagen große Mengen an konditionierter Reinluft (neben der Partikelfreiheit Temperatur und Feuchtestabilisierung) da der gesamte oder zumindest große Teile des Prozessraumes (Disc-Kühlung, Transportbereich, Dye-Beschichtung, Kantenreinigung, Trocknung) mit dem Medium beaufschlagt werden. Diese Luftkonditionierung ist nur mit hohem Energieeinsatz zu bewerkstelligen, da die Luft zuerst entfeuchtet werden muss, um sie anschließend durch erneute Flüssigkeitszufuhr auf den gewünschten Feuchtegrad einstellen zu können. Dieser Energieeinsatz hat direkten negativen Einfluss auf die Produktionskosten der optischen Datenträger. Untersuchungen haben gezeigt, dass diese aufwendig aufbereitete Reinluft nur an wenigen Stellen im Produktionsablauf wirklich notwendig ist. Dies führte zu der Idee, die Luft auch wirklich nur an diesen Punkten zu konditionieren. Basis für die Erfindung waren dabei die von großen Kaufhäusern bekannten "Luftvorhänge", die das Eindringen von kalter Außenluft in den Kaufhausraum verhindern.

Erfindung

Es wurde ein Prozessklimatisierungs-System mit folgendem Aufbau entwickelt Der gesamte Prozessraum wird wie bisher mit handelsüblichen Reinraumboxen abgedeckt, durch die Luft mittels Gebläsen aus dem umgebenden Raum in den Prozessraum der Produktionsanlage strömt (1). Durch eingebaute Filtermatten wird die Luft von den mitgeführten Partikeln befreit. Ist zur Stabilisierung einzelner Prozessschritte Reinluft mit konstanter Temperatur und Luftfeuchte notwendig, wird diese mittels eines Rohrleitungssystems (2) von dem Prozessklimagerät (3) direkt zum "point of use" (4) geführt. Das Rohr oder die Düse endet über der Prozessstation (z. B. Farbstoffbeschichtung der Scheibe) in einem bestimmten Abstand und bläst die konditionierte Reinluft direkt auf den Prozessort. Da der Volumenstrom der Luft durch das Rohrsystem höher ist als der Luftstrom, der von den Filterboxen in den Prozessraum strömt, bildet sich über dem Prozessort eine Luftglocke aus konditionierter Reinluft aus, die das Eindringen von nicht aufbereiteter Luft verhindert. In der Anlagenkammer entstehen Bereiche mit konditionierter Reinluft (5) und solche mit lediglich partikelfreier Luft (6). Im Bereich der Reinluftglocke formt sich über dem Prozessort ein laminarer Luftstrom aus, der durch Perforierung des Bodens (7) im Prozessbereich, ohne Verwirbelungen zu erzeugen, abgeleitet wird.

Ergebnis

Die Reinheit der Luft ist im Bereich der Luftglocke erheblich höher als in konventionellen Systemen, da sich während des Prozesses keine mechanischen Teile darin bewegen. Dies führt zu höherer Prozesssicherheit und zu geringeren Ausfallraten.

Störungen des Reinraumklimas im Prozessbereich, etwa durch Öffnen von Maschinenhauben, sind mit diesem Aufbau praktisch ausgeschlossen; Prozessausfälle durch Partikelkontamination werden drastisch minimiert. Die zu konditionierenden Bereiche sind sehr viel kleiner als in konventionellen Anlagen. Die zum Einsatz kommenden Klimageräte haben daher eine viel geringere Energieaufnahme, die Herstellungskosten für die optischen Datenträger sinken.

Claims (1)

1. Produktionslinie zur Herstellung optischer Datenträger, da­ durch gekennzeichnet, dass in einem begrenzten Bereich kondi­ tionierte Reinluft zugeführt wird und in anderen, vorzugsweise dem begrenzten Bereich umgebenden, Bereichen nur partikel­ arme Luft zugeführt wird.