JPS60144542A

JPS60144542A - 搬送装置

Info

Publication number: JPS60144542A
Application number: JP68384A
Authority: JP
Inventors: Takehide Hayashi; 武秀林
Original assignee: Daifuku Co Ltd; Daifuku Machinery Works Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd; Daifuku Machinery Works Ltd
Priority date: 1984-01-05
Filing date: 1984-01-05
Publication date: 1985-07-30
Also published as: JPH036429B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、搬送中に空気中の塵埃によって汚染さ、れる
と困るような物、例えばトランジスタの製造工程に於て
使用されるウェハ（Ｓｉ板）等を搬送するのに好適な搬
送装置を提供せんとするものである。

以下、本発明の一実施例を添付の例示図に基づいて説明
すると、第１図及び第２図に於て、１は無、人搬送車で
あって、予め設定さ、れた走行経路上音電磁誘導方式や
光電誘導方式等の自動走行制御によって自走するもので
あり、搭載バッテリーにより駆動され且つ自動操向制御
される操向兼用駆動車輪２と自在車輪３とを備えている
。４ば搬送車１の中央上部に設番シられた被搬送物支持
部であり、５は前記被搬送物支持部４を開閉自在に取り
囲むカバーである。このカバー５は、被搬送物支持部４
の後方に立設された固定壁６と、この固定壁６の前方で
当該固定壁６に対して遠近方向（搬送車移動方向）に移
動可能で且つ前記固定壁６例のみ開放した可動囲壁７と
から構成され、この可動囲壁７が固定壁６側に移動して
可動囲壁７の開放部局縁が固定壁６９周縁部に当接する
ことにより、被搬送物支持部４の上方空間が略密閉状に
カバーされる。

第３図に示すように前記カバー５の可動囲壁７は、固定
壁６と対向する前側垂直壁部７ａと上側水平壁部７ｂと
が互いに内部空間が連通ずる二重構造に構成され、上側
水平壁部７ｂの下側壁板は着脱交換自在な板状フィルタ
ー８によって構成されており、前側垂直壁部７ａ内には
、外側に開口する空気取入れ口９ａから吸入した空気を
前記両壁部７ａ、７ｂ内のＬ形空間１０を経由させて前
記板状フィルター８から可動囲壁７内の空間１１に送入
するファン９が設けられている。前記板状フィルター８
としては、超ＬＳＩ工場や精密機械工場等のクリーンル
ームに使用されている所謂ＨＥＰＡフィルターが好適で
ある。３０は前記可動囲壁７を前後移動させる開閉手段
であって、モーター３１によって正逆任意の方向に駆動
される螺軸６２と、この螺軸６２に螺嵌し且つ前記可動
囲壁７の底部に取付けられた雌ねじ体１５２ｓとから構
成されている。

第３図及び第４図に示すように、前記被搬送物支持部４
には、搬送車移動方向に相対向する一対の被搬送物挾持
用バー１２ａ、１２ｂが設けられている。この挾持用バ
ー１２ａ、１２ｂは、被搬送物支持部４の床板４ａに形
成されたスリット１３ａ、１６ｂを上下に貫通ずる支持
部材１４ａ。

１４ｂによって一端が片持ち状に支持されている。前記
支持部材１４ａ、１４ｂは、前記床板４ａの下側に設け
られた駆動装置１５によって駆動される。前記駆動装置
１５は、前後水平方向（ｆｉｌｌ送車移動車移動方向動
可能な可動基台１６、この可動基台１６の前後位置調整
手段１７、前記可動基台１６上に昇降自在に支持された
昇降台１８、この昇降台１８の高さ調整手段１９、前記
昇降台１８上に後端部を水平横向き支軸２０によって支
持された上下傾動可能なチルト台２１、このチルト台２
１の傾動手段２２、前記チルト台２１上にスライドガイ
ドロンド２Ｂを介して左右横方向に横動可能に支持され
た横動台２４、この横動台２４を横動させる左右位置調
整手段２５、前記横動台２４上に夫々スライドガイドロ
ッド２６と螺軸２７ａ、２７ｂとを介して前後方向に移
動可能に支持された前後一対の駆動台２８　ａ、２８　
ｂ、及びこれ等両駆動台２８ａ、２８ｂを互いに接近離
間移動させる駆動手段２９から構成されており、前記一
対の支持部材１４ａ、１４ｂは前記一対の駆動台２８ａ
、２８ｂに取付けられている。

前記可動基台１６の前後位置調整手段１７は、可動基台
１６に連設されたラックギヤ３４と、このう・７クギヤ
３４に咬合し且つモーター３５により正逆任意の方向に
駆動される□ピニオンギヤ３６とから構成されている。

前記昇降台１８の高さ調整手段１９は、昇降台１ａｉｌ
ら□連設されたラックギヤ６７と、このランクギヤ３７
に咬合し且つ可動基台１６側に軸支されたビニ芽ンギャ
、及びこあピニオンギヤを正逆任意の方晶に駆動するモ
ーター６８とから構成されている□。前記チルト台２１
の傾動手段２２は、チルト台２１の遊端部を支持し且つ
昇降台１８上に軸＊’ｓＱ、た偏心カム３９と、この偏
心カム２５９を正逆任−の方向に駆動するモーター４０
とから構成され□ている。

ルト台２１上に支承され且つモーター４１により正逆任
意の方向に駆動される螺□軸４２と、この螺軸４２に螺
嵌し且つ横動台２４の下側に取付けら糺た雌ねじ体４５
とから構成されている。前記駆動台２８ａ、２８ｂの駆
動手段２９は゛、当該駆動台２８ａ、２８ｂが螺嵌し且
つ互いにねし方向が逆向きの螺軸２７ａ、２７ｂと、こ
の螺軸２７ａ、２７ｂを正逆任意の方向に駆動するモー
ター４４とから構成されている。

使用方法について説明すると、搬送車１を被搬送物受は
取り位置で停止させ、カバー５の可動囲壁７を５開閉手
段！１０の螺軸５２をモーター５１で回転させて第３図
に示すように開動限位置まで移動させ、被搬送物支持部
４を開放させる。そして左右位置調整手段２５のモータ
ー４１により螺軸４２を回転させて横動台２４を第４図
に示す後退限位置から横方向に移動させることにより、
一対の挾持用バー１２ａ、１２ｂを支持部材１４ａ、１
４ｂ及び駆動台２８ａ、２８ｂと共に搬送車１から横方
向へ突出移動させる。この一対の挟持用バー１２２，１
２ｂの突出移動により、搬送車停止位置の側方所定箇所
に載置されている被１般送物、例えばウェハキャリヤ４
５の両側に前記一対の挟持用バー１２ａ、１２ｂが位置
することになる。この後、駆動台駆動手段２９のモータ
ー４４により螺軸２７ａ、２７ｂを回転させて両駆動台
２８ａ、２８ｂと共に一対の挟持用バー１２ａ。

１２ｂを互いに接近移動させることにより、中間に位置
し°ζいるウェハキャリヤ４５を両挟持用バー１２ａ、
１２ｂで挾持させる。

次に高さ調整手段１９のモーター５８によりラックギヤ
３７に咬合するピニオンギヤを回転させて昇降台１８を
所定量上昇させることにより、一対の挾持用バー１２ａ
、１２ｂによって挾持されているウェハキャリヤ４５を
昇降台１８、チルト台２１、及び横動台２４と共に所定
量持ち上げる。そして左右位置調整手段２５のモーター
４１により螺軸４２を逆回転させて横動台２４を第４図
に示す後退限位置まで後退移動させ、前記ウェハキャリ
ヤ４５を横動台２４と共に搬送車１上の被搬送物支持部
４上へ引き込み、更に傾動手段２２のモーター４０によ
り偏心カム３９を所定角度回転させてチルト台２１を支
軸２６の周りで上方へ伸動させることにより、一対の挾
持用バー１２ａ、１２ｂで挾持されているウェハキャリ
ヤ４５を横動台２４と共に第５図に示すように前上がり
に傾斜させる。このときウェハキャリヤ４５ば、多段に
形成されているウェハ支持棚４６の出し入れ目４６ａが
搬送車１の前進方向に向かって開口する向きに支持され
ており、従って前記のようにウェハキャリヤ４５が前上
がりに傾斜せしめられると、そのウェハ支持棚４６が出
し入れ口４６　ａ　（！Ｉｉ程高くなるように傾斜する
ことになり、ウェハ支持棚４６に収納されているウェハ
が搬送車１の停止時等に出し入れ目４６２から飛び出す
のを防止し得る。

上記のようにウェハキャリヤ４５を被搬送物支持部４上
に搬入したならば、開閉手段！１０のモーター３１によ
り螺軸５２を回転させてカバー５の可動囲壁７を第５図
に示すように固定壁６に当接する位置まで移動させるこ
とにより、被搬送物支持部４上に搬入されたウェハキャ
リヤ４５を可動囲壁７と固定壁６とで取り囲み、外界か
ら遮断する。そしてファン９を稼動させて外気をフィル
ター８で清浄化した状態で可動囲壁７と固定壁６とで取
り囲まれた空間１１内に送り込むことにより、ウェハキ
ャリヤ４５の周囲空間に清浄な空気流を発生させ、外界
の塵埃を含む空気が前記空間１１内に侵入することによ
ってウェハキャリヤ４５及びその内部に収納されている
ウェハが汚染されるのを防止することが出来る。

尚、空間１１内に送り込まれた清浄な空気は、可動囲壁
７と固定壁６との間等に生じる隙間やスリット１３ａ、
１３ｂを通じて外界に流出するが、適当な位置に空気流
出口を設けておくことも出来る。又、搬送車１の走行中
はウェハキャリヤ４５が第５図に示すように一対の挟持
用バー１２ａ、１２ｂで空中に保持されている状態であ
るから、振動等により挾持用バー１２ａ、１２ｂからウ
ェハキャリヤ４５が滑り落ちる恐れのあるときは、ウェ
ハキャリヤ４５に挟持用バー１２ａ、１２ｂの上にのる
突起を設けたり、ウェハキャリヤ４５に形成した凹部に
挾持用バー１２ａ、１２ｂが嵌合するように構成するこ
とが出来る。

上記のように被搬送物支持部４上のクリーンエリア内に
支持された状態のウェハキャリヤ４５は、搬送車１の自
動走行により所定位置まで搬送されるが、搬送されたウ
ェハキャリヤ４５を搬送車停止位置の側方に設置されて
いる受け取り台等へ搬出する作業は、上記の搬入作業と
は逆の手順で行うことが出来る。このとき搬送車１の停
止位置に誤差がある場合は、前後位置調整手段１７のモ
ーター３５でピニオンギヤ２５６を回転させて可動基台
１６を前後方向に移動させることにより、一対の挾持用
バー１２ａ、１２ｂで挾持されているウェハキャリヤ４
５を昇降台１８、チルト台２１、及び横動台２４と共に
前後方向に位置調整することが出来る。

本発明の搬送装置は上記実施例のように、被搬送物支持
部を開閉自在に取り囲むカバーを設け、このカバーによ
って取り囲まれた空間内を通過する空気流を発生させる
ファンと、前記空間内に流入する空気を清浄化するフィ
ルターとを設けて成るものであるから、被搬送物支持部
上に支持された被搬送物を単にカバーするだけでなく、
当該カバー内にフィルターで清浄化した空気を流通させ
て塵埃を含む外界の空気がカバー内に侵入するの０を完全に防止し、被搬送物をクリーンエリア内に保護し
た状態で）絞込し得る。従って実施例にも示したように
、搬送途中で空気中の塵埃によって汚染されるのを避け
なければならないような被搬送物の搬送手段として極め
て有効に活用し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は側面図、第２図は平面図、第３図は要部の縦断
側面図、第４図は要部の縦断背面図、第５図は被搬送物
搬送状態での要部の縦断側面図である。１・・・無人搬送車、４・・・被搬送物支持部、５・・
・開閉自在なカバー、６・・・固定壁、７・・・可動囲
壁、８・・・板状フィルター、９・・・ファン、１０・
・・空気流動空間、１１・・・可動囲壁内の空間、１２
ａ、１２ｂ・・・一対の挾持用パー、１４ａ、１４ｂ−
支持部材、１５・・・駆動手段、１６・・・可動基台、
１７・・・前後位置調整手段、１８・・・昇降台、１９
・・・高ざ調整手段、２０・・・支軸、２１・・・チル
ト台、２２・・・傾動手段、２ｉ５，２６・・・スライ
ド′ガイドロット°、２４・・・横動台、２５・・・左
右位置調整手段、２７ａ、２７１ｂ、ｉ５２．　４２−・・螺軸、２８ａ、２８ｂ−駆動
台、２９・・・駆動台駆動手段、６０・・・カバー開閉
手段、３１．ｉ５５，３８，４０，４１．４４・・・モ
ーター、５３，４ｉ５・・・雌ねじ体、３４．３７・・
・ラックギヤ、３６・・・ピニオンギヤ、３９・・・偏
心カム、４５・・・ウェハキャリヤ（被搬送物）、４６
・・・ウェハ支持棚、４６ａ・・・出し入れ口。２自発手続ネ市正書　（方式）１．事件の表示昭和５９年特許願第０００６８３号２、発明の名称搬送装置３、補正をする者事件との関係　特許出願人住所　大阪府大阪市西淀川区御幣島３丁目２番１１号名
称　（３６４）大福機工株式会社昭和　年　月　日５、補正の対象（１１明細書全文６、補正の内容別紙の通りサイズ１２ｐの文字を使用して明細書全文を
浄書する（内容に変更なし）。

Claims

【特許請求の範囲】

被搬送物支持部を開閉自在に取り囲むカバーを設け、こ
のカバーによって取り囲まれた空間内を通、遇する空気
流を発生させるファンと、前記空間内に流入する空気を
清浄化するフィルターとを設けて成る搬送装置。