JPS60144542A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPS60144542A JPS60144542A JP68384A JP68384A JPS60144542A JP S60144542 A JPS60144542 A JP S60144542A JP 68384 A JP68384 A JP 68384A JP 68384 A JP68384 A JP 68384A JP S60144542 A JPS60144542 A JP S60144542A
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- Japan
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- wall
- movable
- cover
- wafer carrier
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- Granted
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- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、搬送中に空気中の塵埃によって汚染さ、れる
と困るような物、例えばトランジスタの製造工程に於て
使用されるウェハ(Si板)等を搬送するのに好適な搬
送装置を提供せんとするものである。
と困るような物、例えばトランジスタの製造工程に於て
使用されるウェハ(Si板)等を搬送するのに好適な搬
送装置を提供せんとするものである。
以下、本発明の一実施例を添付の例示図に基づいて説明
すると、第1図及び第2図に於て、1は無、人搬送車で
あって、予め設定さ、れた走行経路上音電磁誘導方式や
光電誘導方式等の自動走行制御によって自走するもので
あり、搭載バッテリーにより駆動され且つ自動操向制御
される操向兼用駆動車輪2と自在車輪3とを備えている
。4ば搬送車1の中央上部に設番シられた被搬送物支持
部であり、5は前記被搬送物支持部4を開閉自在に取り
囲むカバーである。このカバー5は、被搬送物支持部4
の後方に立設された固定壁6と、この固定壁6の前方で
当該固定壁6に対して遠近方向(搬送車移動方向)に移
動可能で且つ前記固定壁6例のみ開放した可動囲壁7と
から構成され、この可動囲壁7が固定壁6側に移動して
可動囲壁7の開放部局縁が固定壁69周縁部に当接する
ことにより、被搬送物支持部4の上方空間が略密閉状に
カバーされる。
すると、第1図及び第2図に於て、1は無、人搬送車で
あって、予め設定さ、れた走行経路上音電磁誘導方式や
光電誘導方式等の自動走行制御によって自走するもので
あり、搭載バッテリーにより駆動され且つ自動操向制御
される操向兼用駆動車輪2と自在車輪3とを備えている
。4ば搬送車1の中央上部に設番シられた被搬送物支持
部であり、5は前記被搬送物支持部4を開閉自在に取り
囲むカバーである。このカバー5は、被搬送物支持部4
の後方に立設された固定壁6と、この固定壁6の前方で
当該固定壁6に対して遠近方向(搬送車移動方向)に移
動可能で且つ前記固定壁6例のみ開放した可動囲壁7と
から構成され、この可動囲壁7が固定壁6側に移動して
可動囲壁7の開放部局縁が固定壁69周縁部に当接する
ことにより、被搬送物支持部4の上方空間が略密閉状に
カバーされる。
第3図に示すように前記カバー5の可動囲壁7は、固定
壁6と対向する前側垂直壁部7aと上側水平壁部7bと
が互いに内部空間が連通ずる二重構造に構成され、上側
水平壁部7bの下側壁板は着脱交換自在な板状フィルタ
ー8によって構成されており、前側垂直壁部7a内には
、外側に開口する空気取入れ口9aから吸入した空気を
前記両壁部7a、7b内のL形空間10を経由させて前
記板状フィルター8から可動囲壁7内の空間11に送入
するファン9が設けられている。前記板状フィルター8
としては、超LSI工場や精密機械工場等のクリーンル
ームに使用されている所謂HEPAフィルターが好適で
ある。30は前記可動囲壁7を前後移動させる開閉手段
であって、モーター31によって正逆任意の方向に駆動
される螺軸62と、この螺軸62に螺嵌し且つ前記可動
囲壁7の底部に取付けられた雌ねじ体152sとから構
成されている。
壁6と対向する前側垂直壁部7aと上側水平壁部7bと
が互いに内部空間が連通ずる二重構造に構成され、上側
水平壁部7bの下側壁板は着脱交換自在な板状フィルタ
ー8によって構成されており、前側垂直壁部7a内には
、外側に開口する空気取入れ口9aから吸入した空気を
前記両壁部7a、7b内のL形空間10を経由させて前
記板状フィルター8から可動囲壁7内の空間11に送入
するファン9が設けられている。前記板状フィルター8
としては、超LSI工場や精密機械工場等のクリーンル
ームに使用されている所謂HEPAフィルターが好適で
ある。30は前記可動囲壁7を前後移動させる開閉手段
であって、モーター31によって正逆任意の方向に駆動
される螺軸62と、この螺軸62に螺嵌し且つ前記可動
囲壁7の底部に取付けられた雌ねじ体152sとから構
成されている。
第3図及び第4図に示すように、前記被搬送物支持部4
には、搬送車移動方向に相対向する一対の被搬送物挾持
用バー12a、12bが設けられている。この挾持用バ
ー12a、12bは、被搬送物支持部4の床板4aに形
成されたスリット13a、16bを上下に貫通ずる支持
部材14a。
には、搬送車移動方向に相対向する一対の被搬送物挾持
用バー12a、12bが設けられている。この挾持用バ
ー12a、12bは、被搬送物支持部4の床板4aに形
成されたスリット13a、16bを上下に貫通ずる支持
部材14a。
14bによって一端が片持ち状に支持されている。前記
支持部材14a、14bは、前記床板4aの下側に設け
られた駆動装置15によって駆動される。前記駆動装置
15は、前後水平方向(fill送車移動車移動方向動
可能な可動基台16、この可動基台16の前後位置調整
手段17、前記可動基台16上に昇降自在に支持された
昇降台18、この昇降台18の高さ調整手段19、前記
昇降台18上に後端部を水平横向き支軸20によって支
持された上下傾動可能なチルト台21、このチルト台2
1の傾動手段22、前記チルト台21上にスライドガイ
ドロンド2Bを介して左右横方向に横動可能に支持され
た横動台24、この横動台24を横動させる左右位置調
整手段25、前記横動台24上に夫々スライドガイドロ
ッド26と螺軸27a、27bとを介して前後方向に移
動可能に支持された前後一対の駆動台28 a、28
b、及びこれ等両駆動台28a、28bを互いに接近離
間移動させる駆動手段29から構成されており、前記一
対の支持部材14a、14bは前記一対の駆動台28a
、28bに取付けられている。
支持部材14a、14bは、前記床板4aの下側に設け
られた駆動装置15によって駆動される。前記駆動装置
15は、前後水平方向(fill送車移動車移動方向動
可能な可動基台16、この可動基台16の前後位置調整
手段17、前記可動基台16上に昇降自在に支持された
昇降台18、この昇降台18の高さ調整手段19、前記
昇降台18上に後端部を水平横向き支軸20によって支
持された上下傾動可能なチルト台21、このチルト台2
1の傾動手段22、前記チルト台21上にスライドガイ
ドロンド2Bを介して左右横方向に横動可能に支持され
た横動台24、この横動台24を横動させる左右位置調
整手段25、前記横動台24上に夫々スライドガイドロ
ッド26と螺軸27a、27bとを介して前後方向に移
動可能に支持された前後一対の駆動台28 a、28
b、及びこれ等両駆動台28a、28bを互いに接近離
間移動させる駆動手段29から構成されており、前記一
対の支持部材14a、14bは前記一対の駆動台28a
、28bに取付けられている。
前記可動基台16の前後位置調整手段17は、可動基台
16に連設されたラックギヤ34と、このう・7クギヤ
34に咬合し且つモーター35により正逆任意の方向に
駆動される□ピニオンギヤ36とから構成されている。
16に連設されたラックギヤ34と、このう・7クギヤ
34に咬合し且つモーター35により正逆任意の方向に
駆動される□ピニオンギヤ36とから構成されている。
前記昇降台18の高さ調整手段19は、昇降台1ail
ら□連設されたラックギヤ67と、このランクギヤ37
に咬合し且つ可動基台16側に軸支されたビニ芽ンギャ
、及びこあピニオンギヤを正逆任意の方晶に駆動するモ
ーター68とから構成されている□。前記チルト台21
の傾動手段22は、チルト台21の遊端部を支持し且つ
昇降台18上に軸*’sQ、た偏心カム39と、この偏
心カム259を正逆任−の方向に駆動するモーター40
とから構成され□ている。
ら□連設されたラックギヤ67と、このランクギヤ37
に咬合し且つ可動基台16側に軸支されたビニ芽ンギャ
、及びこあピニオンギヤを正逆任意の方晶に駆動するモ
ーター68とから構成されている□。前記チルト台21
の傾動手段22は、チルト台21の遊端部を支持し且つ
昇降台18上に軸*’sQ、た偏心カム39と、この偏
心カム259を正逆任−の方向に駆動するモーター40
とから構成され□ている。
ルト台21上に支承され且つモーター41により正逆任
意の方向に駆動される螺□軸42と、この螺軸42に螺
嵌し且つ横動台24の下側に取付けら糺た雌ねじ体45
とから構成されている。前記駆動台28a、28bの駆
動手段29は゛、当該駆動台28a、28bが螺嵌し且
つ互いにねし方向が逆向きの螺軸27a、27bと、こ
の螺軸27a、27bを正逆任意の方向に駆動するモー
ター44とから構成されている。
意の方向に駆動される螺□軸42と、この螺軸42に螺
嵌し且つ横動台24の下側に取付けら糺た雌ねじ体45
とから構成されている。前記駆動台28a、28bの駆
動手段29は゛、当該駆動台28a、28bが螺嵌し且
つ互いにねし方向が逆向きの螺軸27a、27bと、こ
の螺軸27a、27bを正逆任意の方向に駆動するモー
ター44とから構成されている。
使用方法について説明すると、搬送車1を被搬送物受は
取り位置で停止させ、カバー5の可動囲壁7を5開閉手
段!10の螺軸52をモーター51で回転させて第3図
に示すように開動限位置まで移動させ、被搬送物支持部
4を開放させる。そして左右位置調整手段25のモータ
ー41により螺軸42を回転させて横動台24を第4図
に示す後退限位置から横方向に移動させることにより、
一対の挾持用バー12a、12bを支持部材14a、1
4b及び駆動台28a、28bと共に搬送車1から横方
向へ突出移動させる。この一対の挟持用バー122,1
2bの突出移動により、搬送車停止位置の側方所定箇所
に載置されている被1般送物、例えばウェハキャリヤ4
5の両側に前記一対の挟持用バー12a、12bが位置
することになる。この後、駆動台駆動手段29のモータ
ー44により螺軸27a、27bを回転させて両駆動台
28a、28bと共に一対の挟持用バー12a。
取り位置で停止させ、カバー5の可動囲壁7を5開閉手
段!10の螺軸52をモーター51で回転させて第3図
に示すように開動限位置まで移動させ、被搬送物支持部
4を開放させる。そして左右位置調整手段25のモータ
ー41により螺軸42を回転させて横動台24を第4図
に示す後退限位置から横方向に移動させることにより、
一対の挾持用バー12a、12bを支持部材14a、1
4b及び駆動台28a、28bと共に搬送車1から横方
向へ突出移動させる。この一対の挟持用バー122,1
2bの突出移動により、搬送車停止位置の側方所定箇所
に載置されている被1般送物、例えばウェハキャリヤ4
5の両側に前記一対の挟持用バー12a、12bが位置
することになる。この後、駆動台駆動手段29のモータ
ー44により螺軸27a、27bを回転させて両駆動台
28a、28bと共に一対の挟持用バー12a。
12bを互いに接近移動させることにより、中間に位置
し°ζいるウェハキャリヤ45を両挟持用バー12a、
12bで挾持させる。
し°ζいるウェハキャリヤ45を両挟持用バー12a、
12bで挾持させる。
次に高さ調整手段19のモーター58によりラックギヤ
37に咬合するピニオンギヤを回転させて昇降台18を
所定量上昇させることにより、一対の挾持用バー12a
、12bによって挾持されているウェハキャリヤ45を
昇降台18、チルト台21、及び横動台24と共に所定
量持ち上げる。そして左右位置調整手段25のモーター
41により螺軸42を逆回転させて横動台24を第4図
に示す後退限位置まで後退移動させ、前記ウェハキャリ
ヤ45を横動台24と共に搬送車1上の被搬送物支持部
4上へ引き込み、更に傾動手段22のモーター40によ
り偏心カム39を所定角度回転させてチルト台21を支
軸26の周りで上方へ伸動させることにより、一対の挾
持用バー12a、12bで挾持されているウェハキャリ
ヤ45を横動台24と共に第5図に示すように前上がり
に傾斜させる。このときウェハキャリヤ45ば、多段に
形成されているウェハ支持棚46の出し入れ目46aが
搬送車1の前進方向に向かって開口する向きに支持され
ており、従って前記のようにウェハキャリヤ45が前上
がりに傾斜せしめられると、そのウェハ支持棚46が出
し入れ口46 a (!Ii程高くなるように傾斜する
ことになり、ウェハ支持棚46に収納されているウェハ
が搬送車1の停止時等に出し入れ目462から飛び出す
のを防止し得る。
37に咬合するピニオンギヤを回転させて昇降台18を
所定量上昇させることにより、一対の挾持用バー12a
、12bによって挾持されているウェハキャリヤ45を
昇降台18、チルト台21、及び横動台24と共に所定
量持ち上げる。そして左右位置調整手段25のモーター
41により螺軸42を逆回転させて横動台24を第4図
に示す後退限位置まで後退移動させ、前記ウェハキャリ
ヤ45を横動台24と共に搬送車1上の被搬送物支持部
4上へ引き込み、更に傾動手段22のモーター40によ
り偏心カム39を所定角度回転させてチルト台21を支
軸26の周りで上方へ伸動させることにより、一対の挾
持用バー12a、12bで挾持されているウェハキャリ
ヤ45を横動台24と共に第5図に示すように前上がり
に傾斜させる。このときウェハキャリヤ45ば、多段に
形成されているウェハ支持棚46の出し入れ目46aが
搬送車1の前進方向に向かって開口する向きに支持され
ており、従って前記のようにウェハキャリヤ45が前上
がりに傾斜せしめられると、そのウェハ支持棚46が出
し入れ口46 a (!Ii程高くなるように傾斜する
ことになり、ウェハ支持棚46に収納されているウェハ
が搬送車1の停止時等に出し入れ目462から飛び出す
のを防止し得る。
上記のようにウェハキャリヤ45を被搬送物支持部4上
に搬入したならば、開閉手段!10のモーター31によ
り螺軸52を回転させてカバー5の可動囲壁7を第5図
に示すように固定壁6に当接する位置まで移動させるこ
とにより、被搬送物支持部4上に搬入されたウェハキャ
リヤ45を可動囲壁7と固定壁6とで取り囲み、外界か
ら遮断する。そしてファン9を稼動させて外気をフィル
ター8で清浄化した状態で可動囲壁7と固定壁6とで取
り囲まれた空間11内に送り込むことにより、ウェハキ
ャリヤ45の周囲空間に清浄な空気流を発生させ、外界
の塵埃を含む空気が前記空間11内に侵入することによ
ってウェハキャリヤ45及びその内部に収納されている
ウェハが汚染されるのを防止することが出来る。
に搬入したならば、開閉手段!10のモーター31によ
り螺軸52を回転させてカバー5の可動囲壁7を第5図
に示すように固定壁6に当接する位置まで移動させるこ
とにより、被搬送物支持部4上に搬入されたウェハキャ
リヤ45を可動囲壁7と固定壁6とで取り囲み、外界か
ら遮断する。そしてファン9を稼動させて外気をフィル
ター8で清浄化した状態で可動囲壁7と固定壁6とで取
り囲まれた空間11内に送り込むことにより、ウェハキ
ャリヤ45の周囲空間に清浄な空気流を発生させ、外界
の塵埃を含む空気が前記空間11内に侵入することによ
ってウェハキャリヤ45及びその内部に収納されている
ウェハが汚染されるのを防止することが出来る。
尚、空間11内に送り込まれた清浄な空気は、可動囲壁
7と固定壁6との間等に生じる隙間やスリット13a、
13bを通じて外界に流出するが、適当な位置に空気流
出口を設けておくことも出来る。又、搬送車1の走行中
はウェハキャリヤ45が第5図に示すように一対の挟持
用バー12a、12bで空中に保持されている状態であ
るから、振動等により挾持用バー12a、12bからウ
ェハキャリヤ45が滑り落ちる恐れのあるときは、ウェ
ハキャリヤ45に挟持用バー12a、12bの上にのる
突起を設けたり、ウェハキャリヤ45に形成した凹部に
挾持用バー12a、12bが嵌合するように構成するこ
とが出来る。
7と固定壁6との間等に生じる隙間やスリット13a、
13bを通じて外界に流出するが、適当な位置に空気流
出口を設けておくことも出来る。又、搬送車1の走行中
はウェハキャリヤ45が第5図に示すように一対の挟持
用バー12a、12bで空中に保持されている状態であ
るから、振動等により挾持用バー12a、12bからウ
ェハキャリヤ45が滑り落ちる恐れのあるときは、ウェ
ハキャリヤ45に挟持用バー12a、12bの上にのる
突起を設けたり、ウェハキャリヤ45に形成した凹部に
挾持用バー12a、12bが嵌合するように構成するこ
とが出来る。
上記のように被搬送物支持部4上のクリーンエリア内に
支持された状態のウェハキャリヤ45は、搬送車1の自
動走行により所定位置まで搬送されるが、搬送されたウ
ェハキャリヤ45を搬送車停止位置の側方に設置されて
いる受け取り台等へ搬出する作業は、上記の搬入作業と
は逆の手順で行うことが出来る。このとき搬送車1の停
止位置に誤差がある場合は、前後位置調整手段17のモ
ーター35でピニオンギヤ256を回転させて可動基台
16を前後方向に移動させることにより、一対の挾持用
バー12a、12bで挾持されているウェハキャリヤ4
5を昇降台18、チルト台21、及び横動台24と共に
前後方向に位置調整することが出来る。
支持された状態のウェハキャリヤ45は、搬送車1の自
動走行により所定位置まで搬送されるが、搬送されたウ
ェハキャリヤ45を搬送車停止位置の側方に設置されて
いる受け取り台等へ搬出する作業は、上記の搬入作業と
は逆の手順で行うことが出来る。このとき搬送車1の停
止位置に誤差がある場合は、前後位置調整手段17のモ
ーター35でピニオンギヤ256を回転させて可動基台
16を前後方向に移動させることにより、一対の挾持用
バー12a、12bで挾持されているウェハキャリヤ4
5を昇降台18、チルト台21、及び横動台24と共に
前後方向に位置調整することが出来る。
本発明の搬送装置は上記実施例のように、被搬送物支持
部を開閉自在に取り囲むカバーを設け、このカバーによ
って取り囲まれた空間内を通過する空気流を発生させる
ファンと、前記空間内に流入する空気を清浄化するフィ
ルターとを設けて成るものであるから、被搬送物支持部
上に支持された被搬送物を単にカバーするだけでなく、
当該カバー内にフィルターで清浄化した空気を流通させ
て塵埃を含む外界の空気がカバー内に侵入するの0 を完全に防止し、被搬送物をクリーンエリア内に保護し
た状態で)絞込し得る。従って実施例にも示したように
、搬送途中で空気中の塵埃によって汚染されるのを避け
なければならないような被搬送物の搬送手段として極め
て有効に活用し得る。
部を開閉自在に取り囲むカバーを設け、このカバーによ
って取り囲まれた空間内を通過する空気流を発生させる
ファンと、前記空間内に流入する空気を清浄化するフィ
ルターとを設けて成るものであるから、被搬送物支持部
上に支持された被搬送物を単にカバーするだけでなく、
当該カバー内にフィルターで清浄化した空気を流通させ
て塵埃を含む外界の空気がカバー内に侵入するの0 を完全に防止し、被搬送物をクリーンエリア内に保護し
た状態で)絞込し得る。従って実施例にも示したように
、搬送途中で空気中の塵埃によって汚染されるのを避け
なければならないような被搬送物の搬送手段として極め
て有効に活用し得る。
第1図は側面図、第2図は平面図、第3図は要部の縦断
側面図、第4図は要部の縦断背面図、第5図は被搬送物
搬送状態での要部の縦断側面図である。 1・・・無人搬送車、4・・・被搬送物支持部、5・・
・開閉自在なカバー、6・・・固定壁、7・・・可動囲
壁、8・・・板状フィルター、9・・・ファン、10・
・・空気流動空間、11・・・可動囲壁内の空間、12
a、12b・・・一対の挾持用パー、14a、14b−
支持部材、15・・・駆動手段、16・・・可動基台、
17・・・前後位置調整手段、18・・・昇降台、19
・・・高ざ調整手段、20・・・支軸、21・・・チル
ト台、22・・・傾動手段、2i5,26・・・スライ
ド′ガイドロット°、24・・・横動台、25・・・左
右位置調整手段、27a、271 b、i52. 42−・・螺軸、28a、28b−駆動
台、29・・・駆動台駆動手段、60・・・カバー開閉
手段、31.i55,38,40,41.44・・・モ
ーター、53,4i5・・・雌ねじ体、34.37・・
・ラックギヤ、36・・・ピニオンギヤ、39・・・偏
心カム、45・・・ウェハキャリヤ(被搬送物)、46
・・・ウェハ支持棚、46a・・・出し入れ口。 2 自発手続ネ市正書 (方式) 1.事件の表示 昭和59年特許願第000683号 2、発明の名称 搬送装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪府大阪市西淀川区御幣島3丁目2番11号名
称 (364)大福機工株式会社 昭和 年 月 日 5、補正の対象 (11明細書全文 6、補正の内容 別紙の通りサイズ12pの文字を使用して明細書全文を
浄書する(内容に変更なし)。
側面図、第4図は要部の縦断背面図、第5図は被搬送物
搬送状態での要部の縦断側面図である。 1・・・無人搬送車、4・・・被搬送物支持部、5・・
・開閉自在なカバー、6・・・固定壁、7・・・可動囲
壁、8・・・板状フィルター、9・・・ファン、10・
・・空気流動空間、11・・・可動囲壁内の空間、12
a、12b・・・一対の挾持用パー、14a、14b−
支持部材、15・・・駆動手段、16・・・可動基台、
17・・・前後位置調整手段、18・・・昇降台、19
・・・高ざ調整手段、20・・・支軸、21・・・チル
ト台、22・・・傾動手段、2i5,26・・・スライ
ド′ガイドロット°、24・・・横動台、25・・・左
右位置調整手段、27a、271 b、i52. 42−・・螺軸、28a、28b−駆動
台、29・・・駆動台駆動手段、60・・・カバー開閉
手段、31.i55,38,40,41.44・・・モ
ーター、53,4i5・・・雌ねじ体、34.37・・
・ラックギヤ、36・・・ピニオンギヤ、39・・・偏
心カム、45・・・ウェハキャリヤ(被搬送物)、46
・・・ウェハ支持棚、46a・・・出し入れ口。 2 自発手続ネ市正書 (方式) 1.事件の表示 昭和59年特許願第000683号 2、発明の名称 搬送装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪府大阪市西淀川区御幣島3丁目2番11号名
称 (364)大福機工株式会社 昭和 年 月 日 5、補正の対象 (11明細書全文 6、補正の内容 別紙の通りサイズ12pの文字を使用して明細書全文を
浄書する(内容に変更なし)。
Claims (1)
- 被搬送物支持部を開閉自在に取り囲むカバーを設け、こ
のカバーによって取り囲まれた空間内を通、遇する空気
流を発生させるファンと、前記空間内に流入する空気を
清浄化するフィルターとを設けて成る搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP68384A JPS60144542A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP68384A JPS60144542A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60144542A true JPS60144542A (ja) | 1985-07-30 |
JPH036429B2 JPH036429B2 (ja) | 1991-01-30 |
Family
ID=11480556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP68384A Granted JPS60144542A (ja) | 1984-01-05 | 1984-01-05 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60144542A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1987003356A1 (en) * | 1985-11-26 | 1987-06-04 | Shimizu Construction Co., Ltd. | Clean room |
JPS63203464A (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-23 | 神鋼電機株式会社 | 荷搬送用自走台車 |
JPH0334346A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-14 | Tokyo Electron Ltd | デバイスキャリア包囲容器 |
JP2003092332A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
JP2006213216A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Daifuku Co Ltd | 搬送車 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6033439A (ja) * | 1983-08-02 | 1985-02-20 | Nippon Muki Kk | 搬送用クリ−ンユニツト並に搬送法 |
-
1984
- 1984-01-05 JP JP68384A patent/JPS60144542A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6033439A (ja) * | 1983-08-02 | 1985-02-20 | Nippon Muki Kk | 搬送用クリ−ンユニツト並に搬送法 |
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JP4629286B2 (ja) * | 2001-09-18 | 2011-02-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 無人搬送車 |
JP2006213216A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Daifuku Co Ltd | 搬送車 |
JP4538729B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2010-09-08 | 株式会社ダイフク | 搬送車 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH036429B2 (ja) | 1991-01-30 |
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