JPS61235625A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS61235625A JPS61235625A JP60077453A JP7745385A JPS61235625A JP S61235625 A JPS61235625 A JP S61235625A JP 60077453 A JP60077453 A JP 60077453A JP 7745385 A JP7745385 A JP 7745385A JP S61235625 A JPS61235625 A JP S61235625A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- lattice
- sagging
- clean space
- transparent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、クリーンルームに関するものである。
「従来の技術と発明が解決しようとする問題点」塵埃を
極度に嫌う半導体等の精密電子機器の製造には、クリー
ンルームが用いられ、このクリーンルームには、主とし
て部分層流型と全面層流型とが用いられ、前者の場合、
製造プロセスに従かい必要な高清浄度のクリーンスペー
スが設けられる。しかし、この製造プロセスは、ライフ
サイクルが短く、数年に一度の改変が行われる。この改
変に対して、従来のクリーンルームは空間のフレキシビ
リティに乏しく、大幅な改i1:I’、巾かセ・要とさ
れでいる。また、後者の場合には、その点での面倒は少
ないが、同一空間に作業者とM造うインとが共存するた
め、作業者からの発塵が!it!J造装置に汚染をもた
らす欠点がある。
極度に嫌う半導体等の精密電子機器の製造には、クリー
ンルームが用いられ、このクリーンルームには、主とし
て部分層流型と全面層流型とが用いられ、前者の場合、
製造プロセスに従かい必要な高清浄度のクリーンスペー
スが設けられる。しかし、この製造プロセスは、ライフ
サイクルが短く、数年に一度の改変が行われる。この改
変に対して、従来のクリーンルームは空間のフレキシビ
リティに乏しく、大幅な改i1:I’、巾かセ・要とさ
れでいる。また、後者の場合には、その点での面倒は少
ないが、同一空間に作業者とM造うインとが共存するた
め、作業者からの発塵が!it!J造装置に汚染をもた
らす欠点がある。
そこで、本発明は、両者の利点を活かして、優れたクリ
ーンルームをIHようとするものであり、短工期、ロー
コストの小規模な改造によって必要なりリーンスペース
を簡易に確保できるようにしようとするものである。
ーンルームをIHようとするものであり、短工期、ロー
コストの小規模な改造によって必要なりリーンスペース
を簡易に確保できるようにしようとするものである。
「問題点を解決するための手段」
本発明は、全面層流型のクリーンルームにおいて、天井
に、フィルタ取(;I用格子を下方へ露出させて設け、
該格子から一部乃至全部が透明の垂下部材を着脱自在に
垂設して成る。
に、フィルタ取(;I用格子を下方へ露出させて設け、
該格子から一部乃至全部が透明の垂下部材を着脱自在に
垂設して成る。
「実施例」
第1図、第2図は、全面層流型の本発明に係るクリーン
ルームを示し、図において、1は、スラブ、2・・・は
、天)]Gこ配した多数のフィルタ、3は、これらのフ
ィルタを支持するフィルタ取(−1用格子でF方へ露出
さ口て設けている。
ルームを示し、図において、1は、スラブ、2・・・は
、天)]Gこ配した多数のフィルタ、3は、これらのフ
ィルタを支持するフィルタ取(−1用格子でF方へ露出
さ口て設けている。
4・・・は、床に配した多数のグレーチング、5・・は
、これらのグレーチングを支持する支持部材、6は、天
井チャンバ、7は、床チャンバである。
、これらのグレーチングを支持する支持部材、6は、天
井チャンバ、7は、床チャンバである。
8・・・は、フィルタ取付用格子3から着脱自在に垂設
した一部乃至全部が透明の垂下部材である。
した一部乃至全部が透明の垂下部材である。
垂下部材8・・・は、適宜であるが、第1図、第2図の
場合では、不透明の垂壁81・・・をフィルタ取付用格
子3から重設し、該垂壁の下端面に直管型置光灯等の照
明器具9・・・を取付け、垂壁81・・・がら更に透明
合成1封脂扱で目つ帯電防止処理さ朝たアイリット82
・・・を垂設している。垂壁81・・の内側には、パン
チングメタル10を横設している。
場合では、不透明の垂壁81・・・をフィルタ取付用格
子3から重設し、該垂壁の下端面に直管型置光灯等の照
明器具9・・・を取付け、垂壁81・・・がら更に透明
合成1封脂扱で目つ帯電防止処理さ朝たアイリット82
・・・を垂設している。垂壁81・・の内側には、パン
チングメタル10を横設している。
なお、パンチングメタルは無くてもよい。
第3図乃至第7図は、垂下部材8の他の例を示している
。
。
第3図は、第1図、第2図のものにおいて、アイリット
82を上下に7分して、蝶番83により開閉自在に蝶着
連係して成る。
82を上下に7分して、蝶番83により開閉自在に蝶着
連係して成る。
第4図は、第1図、第2図のものにおいて、アイリツ[
82を床面にfご達するJ4 JL: 0))L 明パ
イ、ル84に代え、下部にガラリまたは開+11+41
を11つ中途部に11朶用のA几842を穿設しく
成イ、。
82を床面にfご達するJ4 JL: 0))L 明パ
イ、ル84に代え、下部にガラリまたは開+11+41
を11つ中途部に11朶用のA几842を穿設しく
成イ、。
第5図は、第4図のものにおいて、丸(L842にグロ
ーブ85を装着して成る。
ーブ85を装着して成る。
第6図は、第1図、第2図のものにおい゛(、アイリッ
ト82に代え−C透明のビニールカーテン8〔)として
成る。
ト82に代え−C透明のビニールカーテン8〔)として
成る。
第7図は、垂壁を用いないで、フィルタIIZ (tI
II格子3の下面に直接に!!<!明器其9を取付け、
また、取付金物31をJ(に装備させて、該取(・j金
物からアイリツ182を重設して成る。
II格子3の下面に直接に!!<!明器其9を取付け、
また、取付金物31をJ(に装備させて、該取(・j金
物からアイリツ182を重設して成る。
なお、照明器具9を垂壁8Iやソイルタ取(JIII格
了3に取付はムい場合は、室内の各部で適宜ζこ装備さ
−υ杓ばよい。
了3に取付はムい場合は、室内の各部で適宜ζこ装備さ
−υ杓ばよい。
「作用1
如十の構成であるから、室内ζこおいて、アイシン1方
式またはクリーンチューブ方式A、クリーントンネル方
式B等の高清浄度のクリーンスペースを任意に構成でき
、ごの場合、全面層流へりのクリーンルームであっても
、垂下部材8の存在並びにそれらのクリーンスペースに
設置される製造装置tmの存在によって、クリーンスペ
ースから流出する空気の流路が実質的に狭くなる結果、
クリーンスペース内の気圧が周辺より高くなり、クリー
ンスペース内へ川辺の空気が混入することはない。
式またはクリーンチューブ方式A、クリーントンネル方
式B等の高清浄度のクリーンスペースを任意に構成でき
、ごの場合、全面層流へりのクリーンルームであっても
、垂下部材8の存在並びにそれらのクリーンスペースに
設置される製造装置tmの存在によって、クリーンスペ
ースから流出する空気の流路が実質的に狭くなる結果、
クリーンスペース内の気圧が周辺より高くなり、クリー
ンスペース内へ川辺の空気が混入することはない。
「発明の効果−1
本発明によれば、フィルタ取付用格子のモジュールに従
かう任意な形状のクリーンスペースを簡易に構成でき、
製造プロセスの改変が短い工期で容易に行え、また、改
変に発塵作業が少ないので、運転開始に必要なりリーン
アップも短時間で且つ簡単に行え、改修費のコストダウ
ンを図ることができる。
かう任意な形状のクリーンスペースを簡易に構成でき、
製造プロセスの改変が短い工期で容易に行え、また、改
変に発塵作業が少ないので、運転開始に必要なりリーン
アップも短時間で且つ簡単に行え、改修費のコストダウ
ンを図ることができる。
更に、クリーンスペース内の気圧が周辺よりも高いため
、作業者からの発塵がクリーンスペース内に入り込むこ
とがなく、勿論、従来の全面層流型クリーンルームのよ
うに同一空間に作業者、製造ラインが共存することもな
いので、高い清浄度を維持でき、高品質で信頼性の高い
ものとすることができる。
、作業者からの発塵がクリーンスペース内に入り込むこ
とがなく、勿論、従来の全面層流型クリーンルームのよ
うに同一空間に作業者、製造ラインが共存することもな
いので、高い清浄度を維持でき、高品質で信頼性の高い
ものとすることができる。
図面は、本発明の実施例を示し、第1図は、−例の室内
立体図、第2図は、同側の裁断側面図、第3図乃至第7
図は、それぞれ要部の他の例を示す拡大截断側面図であ
る。 1・・・スラブ 2・・・フィルタ3・・・
フィルタ取付用格子 4・・・グレーチング 5・・・支持部材6・・・
天井チャンバ 7・・・床チャンバ8・・・垂下部
材 9・・・照明器具]0・・・パンチングメ
タル 8】・・・垂壁82・・・アイリッド 8
3・・・蝶番84・・・パネル 85・・・グ
ローブ86・・・ビニールカーテン
立体図、第2図は、同側の裁断側面図、第3図乃至第7
図は、それぞれ要部の他の例を示す拡大截断側面図であ
る。 1・・・スラブ 2・・・フィルタ3・・・
フィルタ取付用格子 4・・・グレーチング 5・・・支持部材6・・・
天井チャンバ 7・・・床チャンバ8・・・垂下部
材 9・・・照明器具]0・・・パンチングメ
タル 8】・・・垂壁82・・・アイリッド 8
3・・・蝶番84・・・パネル 85・・・グ
ローブ86・・・ビニールカーテン
Claims (1)
- 全面層流型のクリーンルームにおいて、天井に、フィル
タ取付用格子を下方へ露出させて設け、該格子から一部
乃至全部が透明の垂下部材を着脱自在に垂設したことを
特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60077453A JPS61235625A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60077453A JPS61235625A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61235625A true JPS61235625A (ja) | 1986-10-20 |
Family
ID=13634430
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60077453A Pending JPS61235625A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61235625A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4838150A (en) * | 1985-11-26 | 1989-06-13 | Shimizu Construction Co., Ltd. | Clean room |
JPH02153546A (ja) * | 1988-03-31 | 1990-06-13 | N M B Semiconductor:Kk | 半導体の無塵化製造装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS597836A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Oshitari Kenkyusho:Kk | 垂直層流式無塵室 |
-
1985
- 1985-04-10 JP JP60077453A patent/JPS61235625A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS597836A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Oshitari Kenkyusho:Kk | 垂直層流式無塵室 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4838150A (en) * | 1985-11-26 | 1989-06-13 | Shimizu Construction Co., Ltd. | Clean room |
JPH02153546A (ja) * | 1988-03-31 | 1990-06-13 | N M B Semiconductor:Kk | 半導体の無塵化製造装置 |
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