JPS61235625A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS61235625A JPS61235625A JP60077453A JP7745385A JPS61235625A JP S61235625 A JPS61235625 A JP S61235625A JP 60077453 A JP60077453 A JP 60077453A JP 7745385 A JP7745385 A JP 7745385A JP S61235625 A JPS61235625 A JP S61235625A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- lattice
- sagging
- clean space
- transparent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、クリーンルームに関するものである。
「従来の技術と発明が解決しようとする問題点」塵埃を
極度に嫌う半導体等の精密電子機器の製造には、クリー
ンルームが用いられ、このクリーンルームには、主とし
て部分層流型と全面層流型とが用いられ、前者の場合、
製造プロセスに従かい必要な高清浄度のクリーンスペー
スが設けられる。しかし、この製造プロセスは、ライフ
サイクルが短く、数年に一度の改変が行われる。この改
変に対して、従来のクリーンルームは空間のフレキシビ
リティに乏しく、大幅な改ｉ１：Ｉ’、巾かセ・要とさ
れでいる。また、後者の場合には、その点での面倒は少
ないが、同一空間に作業者とＭ造うインとが共存するた
め、作業者からの発塵が！ｉｔ！Ｊ造装置に汚染をもた
らす欠点がある。
極度に嫌う半導体等の精密電子機器の製造には、クリー
ンルームが用いられ、このクリーンルームには、主とし
て部分層流型と全面層流型とが用いられ、前者の場合、
製造プロセスに従かい必要な高清浄度のクリーンスペー
スが設けられる。しかし、この製造プロセスは、ライフ
サイクルが短く、数年に一度の改変が行われる。この改
変に対して、従来のクリーンルームは空間のフレキシビ
リティに乏しく、大幅な改ｉ１：Ｉ’、巾かセ・要とさ
れでいる。また、後者の場合には、その点での面倒は少
ないが、同一空間に作業者とＭ造うインとが共存するた
め、作業者からの発塵が！ｉｔ！Ｊ造装置に汚染をもた
らす欠点がある。
そこで、本発明は、両者の利点を活かして、優れたクリ
ーンルームをＩＨようとするものであり、短工期、ロー
コストの小規模な改造によって必要なりリーンスペース
を簡易に確保できるようにしようとするものである。
ーンルームをＩＨようとするものであり、短工期、ロー
コストの小規模な改造によって必要なりリーンスペース
を簡易に確保できるようにしようとするものである。
「問題点を解決するための手段」
本発明は、全面層流型のクリーンルームにおいて、天井
に、フィルタ取（；Ｉ用格子を下方へ露出させて設け、
該格子から一部乃至全部が透明の垂下部材を着脱自在に
垂設して成る。
に、フィルタ取（；Ｉ用格子を下方へ露出させて設け、
該格子から一部乃至全部が透明の垂下部材を着脱自在に
垂設して成る。
「実施例」
第１図、第２図は、全面層流型の本発明に係るクリーン
ルームを示し、図において、１は、スラブ、２・・・は
、天）］Ｇこ配した多数のフィルタ、３は、これらのフ
ィルタを支持するフィルタ取（−１用格子でＦ方へ露出
さ口て設けている。
ルームを示し、図において、１は、スラブ、２・・・は
、天）］Ｇこ配した多数のフィルタ、３は、これらのフ
ィルタを支持するフィルタ取（−１用格子でＦ方へ露出
さ口て設けている。
４・・・は、床に配した多数のグレーチング、５・・は
、これらのグレーチングを支持する支持部材、６は、天
井チャンバ、７は、床チャンバである。
、これらのグレーチングを支持する支持部材、６は、天
井チャンバ、７は、床チャンバである。
８・・・は、フィルタ取付用格子３から着脱自在に垂設
した一部乃至全部が透明の垂下部材である。
した一部乃至全部が透明の垂下部材である。
垂下部材８・・・は、適宜であるが、第１図、第２図の
場合では、不透明の垂壁８１・・・をフィルタ取付用格
子３から重設し、該垂壁の下端面に直管型置光灯等の照
明器具９・・・を取付け、垂壁８１・・・がら更に透明
合成１封脂扱で目つ帯電防止処理さ朝たアイリット８２
・・・を垂設している。垂壁８１・・の内側には、パン
チングメタル１０を横設している。
場合では、不透明の垂壁８１・・・をフィルタ取付用格
子３から重設し、該垂壁の下端面に直管型置光灯等の照
明器具９・・・を取付け、垂壁８１・・・がら更に透明
合成１封脂扱で目つ帯電防止処理さ朝たアイリット８２
・・・を垂設している。垂壁８１・・の内側には、パン
チングメタル１０を横設している。
なお、パンチングメタルは無くてもよい。
第３図乃至第７図は、垂下部材８の他の例を示している
。
。
第３図は、第１図、第２図のものにおいて、アイリット
８２を上下に７分して、蝶番８３により開閉自在に蝶着
連係して成る。
８２を上下に７分して、蝶番８３により開閉自在に蝶着
連係して成る。
第４図は、第１図、第２図のものにおいて、アイリツ［
８２を床面にｆご達するＪ４ ＪＬ： ０））Ｌ 明パ
イ、ル８４に代え、下部にガラリまたは開＋１１＋４１
を１１つ中途部に１１朶用のＡ几８４２を穿設しく
成イ、。
８２を床面にｆご達するＪ４ ＪＬ： ０））Ｌ 明パ
イ、ル８４に代え、下部にガラリまたは開＋１１＋４１
を１１つ中途部に１１朶用のＡ几８４２を穿設しく
成イ、。
第５図は、第４図のものにおいて、丸（Ｌ８４２にグロ
ーブ８５を装着して成る。
ーブ８５を装着して成る。
第６図は、第１図、第２図のものにおい゛（、アイリッ
ト８２に代え−Ｃ透明のビニールカーテン８〔）として
成る。
ト８２に代え−Ｃ透明のビニールカーテン８〔）として
成る。
第７図は、垂壁を用いないで、フィルタＩＩＺ （ｔＩ
ＩＩ格子３の下面に直接に！！＜！明器其９を取付け、
また、取付金物３１をＪ（に装備させて、該取（・ｊ金
物からアイリツ１８２を重設して成る。
ＩＩ格子３の下面に直接に！！＜！明器其９を取付け、
また、取付金物３１をＪ（に装備させて、該取（・ｊ金
物からアイリツ１８２を重設して成る。
なお、照明器具９を垂壁８Ｉやソイルタ取（ＪＩＩＩ格
了３に取付はムい場合は、室内の各部で適宜ζこ装備さ
−υ杓ばよい。
了３に取付はムい場合は、室内の各部で適宜ζこ装備さ
−υ杓ばよい。
「作用１
如十の構成であるから、室内ζこおいて、アイシン１方
式またはクリーンチューブ方式Ａ、クリーントンネル方
式Ｂ等の高清浄度のクリーンスペースを任意に構成でき
、ごの場合、全面層流へりのクリーンルームであっても
、垂下部材８の存在並びにそれらのクリーンスペースに
設置される製造装置ｔｍの存在によって、クリーンスペ
ースから流出する空気の流路が実質的に狭くなる結果、
クリーンスペース内の気圧が周辺より高くなり、クリー
ンスペース内へ川辺の空気が混入することはない。
式またはクリーンチューブ方式Ａ、クリーントンネル方
式Ｂ等の高清浄度のクリーンスペースを任意に構成でき
、ごの場合、全面層流へりのクリーンルームであっても
、垂下部材８の存在並びにそれらのクリーンスペースに
設置される製造装置ｔｍの存在によって、クリーンスペ
ースから流出する空気の流路が実質的に狭くなる結果、
クリーンスペース内の気圧が周辺より高くなり、クリー
ンスペース内へ川辺の空気が混入することはない。
「発明の効果−１
本発明によれば、フィルタ取付用格子のモジュールに従
かう任意な形状のクリーンスペースを簡易に構成でき、
製造プロセスの改変が短い工期で容易に行え、また、改
変に発塵作業が少ないので、運転開始に必要なりリーン
アップも短時間で且つ簡単に行え、改修費のコストダウ
ンを図ることができる。
かう任意な形状のクリーンスペースを簡易に構成でき、
製造プロセスの改変が短い工期で容易に行え、また、改
変に発塵作業が少ないので、運転開始に必要なりリーン
アップも短時間で且つ簡単に行え、改修費のコストダウ
ンを図ることができる。
更に、クリーンスペース内の気圧が周辺よりも高いため
、作業者からの発塵がクリーンスペース内に入り込むこ
とがなく、勿論、従来の全面層流型クリーンルームのよ
うに同一空間に作業者、製造ラインが共存することもな
いので、高い清浄度を維持でき、高品質で信頼性の高い
ものとすることができる。
、作業者からの発塵がクリーンスペース内に入り込むこ
とがなく、勿論、従来の全面層流型クリーンルームのよ
うに同一空間に作業者、製造ラインが共存することもな
いので、高い清浄度を維持でき、高品質で信頼性の高い
ものとすることができる。
図面は、本発明の実施例を示し、第１図は、−例の室内
立体図、第２図は、同側の裁断側面図、第３図乃至第７
図は、それぞれ要部の他の例を示す拡大截断側面図であ
る。 １・・・スラブ ２・・・フィルタ３・・・
フィルタ取付用格子 ４・・・グレーチング ５・・・支持部材６・・・
天井チャンバ ７・・・床チャンバ８・・・垂下部
材 ９・・・照明器具］０・・・パンチングメ
タル ８】・・・垂壁８２・・・アイリッド ８
３・・・蝶番８４・・・パネル ８５・・・グ
ローブ８６・・・ビニールカーテン
立体図、第２図は、同側の裁断側面図、第３図乃至第７
図は、それぞれ要部の他の例を示す拡大截断側面図であ
る。 １・・・スラブ ２・・・フィルタ３・・・
フィルタ取付用格子 ４・・・グレーチング ５・・・支持部材６・・・
天井チャンバ ７・・・床チャンバ８・・・垂下部
材 ９・・・照明器具］０・・・パンチングメ
タル ８】・・・垂壁８２・・・アイリッド ８
３・・・蝶番８４・・・パネル ８５・・・グ
ローブ８６・・・ビニールカーテン
Claims (1)
- 全面層流型のクリーンルームにおいて、天井に、フィル
タ取付用格子を下方へ露出させて設け、該格子から一部
乃至全部が透明の垂下部材を着脱自在に垂設したことを
特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60077453A JPS61235625A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60077453A JPS61235625A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61235625A true JPS61235625A (ja) | 1986-10-20 |
Family
ID=13634430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60077453A Pending JPS61235625A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61235625A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4838150A (en) * | 1985-11-26 | 1989-06-13 | Shimizu Construction Co., Ltd. | Clean room |
| JPH02153546A (ja) * | 1988-03-31 | 1990-06-13 | N M B Semiconductor:Kk | 半導体の無塵化製造装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597836A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Oshitari Kenkyusho:Kk | 垂直層流式無塵室 |
-
1985
- 1985-04-10 JP JP60077453A patent/JPS61235625A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597836A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Oshitari Kenkyusho:Kk | 垂直層流式無塵室 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4838150A (en) * | 1985-11-26 | 1989-06-13 | Shimizu Construction Co., Ltd. | Clean room |
| JPH02153546A (ja) * | 1988-03-31 | 1990-06-13 | N M B Semiconductor:Kk | 半導体の無塵化製造装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1205788A (en) | Combination lighting and filtering unit for a clean room | |
| US5865674A (en) | Flush lighting system for cleanroom | |
| US20060249141A1 (en) | Range hood with overlay panels | |
| JPS60105847A (ja) | クリ−ンル−ムの天井構造 | |
| JPH05280801A (ja) | クリーンルーム空気拡散システム | |
| US4511380A (en) | Suspension and sealing of latticework and filters | |
| US5313375A (en) | Flow-thru troffer | |
| US3465666A (en) | Cleanroom filtering method | |
| JPS61235625A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| US3555267A (en) | Ventilated lighting fixture | |
| CA2377819C (en) | Modular clean room filter system | |
| CN213146854U (zh) | 洁净室 | |
| KR101691712B1 (ko) | 조명장치가 구비된 천장마감재 | |
| JPH0311650Y2 (ja) | ||
| MXPA03006854A (es) | Sistema de soporte de filtros de aire con carga inferior para cuartos limpios. | |
| JP2562694Y2 (ja) | 天井への照明具及び空調空気吹き出し部材の取付け装置 | |
| JPH034816B2 (ja) | ||
| JP2000039205A (ja) | 空気吹出口 | |
| JPH0532168Y2 (ja) | ||
| JPH0212511Y2 (ja) | ||
| JPH09159239A (ja) | クリーンルーム | |
| JPH04161639A (ja) | 天井枠の構造 | |
| JP2006118225A (ja) | カーテンウォール | |
| US3040171A (en) | Fabricated fluorescent light fixture | |
| JPH08210683A (ja) | レンジフードファン用の送風機ユニット |