TWI356173B - Probe positioning method, movable probe unit mecha - Google Patents

Description

1356173 九、發明說明 ' 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於爲了液晶顯示面板此類檢 7C檢査等’而將探針和電極進行對準並使其 準方法及可動式探針單元機構以及檢査裝置 【先前技術】 Φ 液晶面板製造步驟中，有一檢査步驟係 驟的最終檢查中檢査已封入有液晶之液晶面 點亮檢査係使液晶面板點亮，使其顯示測試 晶面板的動作狀態之檢査。該點亮檢査進行 * 性、對比等檢査》 該點亮檢査所使用的檢査裝置有：使用 檢査測試圖案之自動檢査裝置、及以人的目 檢査裝置。 Φ 此種液晶面板檢査裝置之一，係於配置 晶面板的檢査台，設有檢査用的複數接觸元1 複數接觸元件單元，係於檢査時將該等 • 在檢査台的面板承受部上的液晶面板之電極 * 通電電路的檢査訊號供給到顯示面板。 且，檢査前對面板承受部配置顯示面板 板承受部取出顯示面板時，各接觸元件單元 配置區域後退。 藉此，多數之接觸元件單元不至於妨礙 査對象板之點 接觸之探針對 於液晶單元步 板之點亮。該 圖案，確認液 色度、色均一 CCD攝影機 視檢査之目視 接受檢査之液 戶單元者。 接觸元件接觸 ，藉此將來自 及檢査後從面 從顯示面板之 顯示面板對面 -4- 1356173 板承受部之配置及其取出，可順暢地進行顯示面板之處理 (專利文獻1)。 且，先前對於大小不同的顯示面板，須設置顯示面板 専用的檢査台及探針單元，但也有藉由配合大小不同的顯 示面板尺寸予以調整開口部，而不須設置新的専用檢査台 及探針單元之裝置（專利文獻2)。 〔專利文獻1〕日本專利特開2002-3 50485號公報 〔專利文獻2〕日本專利特開20 02-91336號公報 【發明內容】 此先前之探針單元爲了將電動機及配線安裝在各接觸 單元以驅動接觸單元，致使配線條數很多。於該情形下’ 由於須確保配線佈線的空間，而難以確保寬闊的作業空間 〇 且，探針和液晶面板之電極進行對準時，只能以複數 探針塊形成一體之接觸單元爲單位，進行探針和各電極之 對準。因此，由於背光單元的熱所造成之液晶面板的熱膨 脹而導致之各探針對各電極之偏差，無法確實地吸收。 再者，相同的接觸單元内搭載有複數探針塊時’由於 無法調整各探針塊間的相對位置，因此若液晶面板的品種 (各電極之配置位置）改變，則不易適切對準各探針和各 電極。 本發明係鑑於如此之問題而發明者’其目的在於提供 容許檢査對象板之熱膨脹而可以容易地進行探針和電極之 -5- 1356173 對準的探針對準方法及可動式探針單元機構以及檢査裝置 〇 本發明所相關之探針對準方法係爲了解決前述課題而 發明者’其係藉由複數探針組裝體（以可移動方式支撐在 用於進行檢查對象板之檢查的探針單元之底板）和攝影手 段（以可相對前述各探針組裝體平行地移動之方式支撐在 前述底板），將前述檢査對象板之電極和前述各探針組裝 體之探針進行對準之探針對準方法，其特徵爲包含步驟： 探針對準步驟，係將前述檢查對象板設置在設定位置，— 面使前述攝影手段適當移動，藉由該攝影手段拍攝前述探 針組裝體之探針及前述檢查對象板之電極，—面使該探針 組裝體從其他探針組裝體獨立並使其移動，而將該探針和 前述電極進行對準；保持步驟，係於藉由該探針對準步驟 將前述探針和電極進行對準後之狀態下，保持前述探針組 裝體對前述底板的相對位置；基準位置特定步驟，係使前 述攝影手段移動，藉由該攝影手段拍攝前述對準後的檢査 對象板之校準記號，以特定前述對準後的檢查對象板之基 準位置：及通常對準步驟，係於藉由該基準位置特定步驟 所特定之前述基準位置，對合新的檢査對象板之校準記號 ’藉此方式將前述探針和前述新的檢查對象板之電極進行 對準。 利用前述構成，在探針對準步驟中，一面藉由前述攝 影手段拍攝前述探針組裝體之探針及前述檢査對象板之電 極’ ~面藉由使該當探針組裝體移動的方式，進行該當探 -6 - 1356173 針和前述電極之對準》在保持步驟中，將對準後的前述探 針組裝體保持在前述底板。一個探針組裝體之對準結束後 ，將前述攝影手段移動到下一探針組裝體，與前述同樣地 進行下一探針組裝體之對準。反覆此動作，進行所有的探 針組裝體之對準。接著，在基準位置特定步驟中，使前述 攝影手段對於對準後的檢査對象板進行移動並拍攝校準記 號，在該狀態下固定攝影手段，將拍攝到的校準記號位置 特定爲前述對準後的檢査對象板之基準位置。接著，在通 常對準步驟中，於第2片以後的檢査時進行對準。檢査新 的檢査對象板時，將新的檢査對象板之校準記號對合在前 述基準位置，使前述探針和前述新的檢査對象板的電極之 位置對合。 前述探針對準步驟中，較佳爲使前述攝影手段和對準 對象之前述探針組裝體彼此連結並同時地移動，進行該當 探針組裝體之探針和前述檢査對象板之電極的對準。 本發明所相關之可動式探針單元機構，其特徵爲具備 :複數探針組裝體，係於前端支撐探針，使該探針與檢查 對象板之電極接觸；攝影手段，用於拍攝該探針組裝體之 探針及前述檢查對象板之電極等；探針組裝體滑動機構， 係使前述各探針組裝體以可各自獨立移動且相對前述攝影 手段亦可獨立移動之方式，支撐在用於進行前述檢査對象 板之檢査的探針單元之底板，將前述檢查對象板之電極和 前述各探針組裝體之探針進行對準；攝影手段滑動機構， 係使前述攝影手段以可在前述探針組裝體之滑動方向平行 1356173 移動之方式支撐在前述底板，而適當移動至前述探針及電 極等之位置；移動機構，係連結在被該攝影手段滑動機構 支撐成可移動之前述攝影手段，使該攝影手段適當移動； 及鎖定機構，係於將前述檢查對象板之電極和前述各探針 組裝體之探針進行對準後之狀態下，保持該當探針組裝體 對前述底板之相對位置。 利用前述構成，藉由前述探針組裝體滑動機構，使前 述各探針組裝體各自獨立移動，將該當探針組裝體之探針 對準在前述檢査對象板之電極。此時，被前述攝影手段滑 動機構支撐成可移動的前述攝影手段，係藉由前述移動機 構適當移動到述探針及電極等的位置，一面拍攝前述探 針及電極等，一面藉由前述探針組裝體滑動機構滑動前述 探針組裝體，進彳T探針和電極之對準。對準終了後，藉由 前述鎖定機構將探針組裝體保持在前述底板。 較佳爲具備連結手段，在藉由前述攝影手段拍攝前述 探針組裝體之探針和則述檢査對象板之電極時，使該當探 針組裝體及攝影手段彼此連結，藉由移動該當攝影手段， 以調整前述探针之位置。 前述連結手段較佳爲具備：嵌合在設於前述探針組裝 體或攝影手段之導引孔的桿 '及設在前述攝影手段或探針 組裝體使前述桿出没的出没機構。 前述鎖定機構’較佳爲藉由使自前述出沒機構延伸出 來的前述桿嵌合在前述導引孔而被解除，藉由拉出而被鎖 定。

-8 - 1356173 前述攝影手段較佳爲具備攝影機而構成，該攝影機具 有由CCD或CMOS所構成之影像感測器，前述檢查對象 板係液晶顯示板。 前述底板較佳爲具備可動框機構，該可動框機構係由 複數框板所構成，配合品種不同的檢查對象板之不同的尺 寸，用於使前述各框板移動以調整成前述檢查對象板之尺 寸。 本發明所相關之檢査裝置，係使探針組裝體之探針接 觸檢查對象板之電極以進行檢查，其特徵爲：具備可動式 探針單元機構，係用於使前述探針組裝體之探針和前述檢 查對象板之電極彼此對準之機構。 利用該構成，與前述可動式探針單元機構同様地發揮 作用，檢査前述檢査對象板。 如上述，根據本發明可達成如下述之效果》 在前述探針對準步驟，進行前述探針和前述電極之對 準，在保持步驟，將前述探針組裝體保持在前述底板，在 基準位置特定步驟，特定檢査對象板的基準位置，在通常 對準步驟，將前述探針和前述新的檢査對象板的電極進行 對準，因此可使前述探針組裝體容易對準在前述檢査對象 板。 且，藉由前述探針組裝體滑動機構，將前述探針組裝 體之探針對準在前述檢査對象板之電極，且藉由前述攝影 手段拍攝前述探針及電極等，一面藉由前述探針組裝體滑 動機構進行對準，且藉由前述鎖定機構將探針組裝體保持 -9- 1356173 在前述底板，因此可使前述探針組裝體容易對準在 査對象板。 【實施方式】 以下’針對使用具備本發明之實施形態所相關 式探針單元機構之檢査裝置及可動式探針單元機構 對準方法’參照附圖予以説明。並於此處説明以液 爲檢査對象板之例。且，檢査裝置係以進行液晶面 檢査之裝置進行説明。進行點亮檢査之檢査裝置的 成和上述先前之檢査裝置大致相同，因而此處主要 本發明之特徵部分：組裝在檢査裝置之可動式探針 構及使用該可動式探針單元機構之探針對準方法。 可動式探針單元機構1係爲了進行檢査，將前 面板之電極和各後述探針組裝體之探針予以對準， 彼此接觸之裝置。該可動式探針單元機構1係固定 檢査裝置之框側。具體而言如第2圖所示，安裝在 査裝置側的工件台2之位置。 工件台2係用於直接支撐液晶面板3之構件。 2上設有擋止件和推進件（皆不圖示），該擋止件 件係抵接在液晶面板3周緣部，用於將該液晶面板 地對準在工件台2上。液晶面板3載置在工件台2 首先是液晶面板3周緣部抵接在擋止件，再藉由設 於該擋止件之位置的推進件推液晶面板3相反側之 予以支撐。工件台2係安裝在檢査裝置内的XYZ 0 前述檢 之可動 的探針 晶面板 板點亮 全體構 係說明 單元機 述液晶 使該等 安裝在 面對檢 工件台 和推進 3正確 上時， 在對向 周緣部 台（不 1356173 圖示）。藉由該ΧΥΖ 0台，被工件台2所支撐的液晶面板 3之位置受到微調整。具體而言，將被工件台2所支撐的 液晶面板3之位置藉由χγζ 0台予以微調整，使液晶面板 3之電極4和探針組裝體5之探針6彼此整合（成爲第7 圖之狀態）。 工件台2内側（第2圖中的下側）設有背光單元7 ^ 該背光單元7係於點亮檢査中，將液晶面板3從其内側點 亮之裝置。具體而言，背光單元7包含：配置有複數支的 螢光管8、收納各螢光管8的框體9、組裝在工件台2的 導光板1〇及擴散板11。 可動式探針單元機構1係如第1圖至第5圖所示，包 含底板1 5、前述探針組裝體5、探針組裝體滑動機構1 7、 鎖定機構18、攝影手段19、攝影手段滑動機構20、移動 機構21。 底板15係支撐可動式探針單元機構丨全體的底板。 該底板15固定在檢査裝置框側。底板15係形成爲其中央 具備四角形開口 15Α之四角形板狀。探針組裝體5等係各 自安裝在該底板1 5上側面。 探針組裝體5係用於支撐探針6之構件。探針組裝體 5係於藉由其前端支撐探針6之狀態下，被底板15支撑成 可移動。探針組裝體5被底板15支撐成可移動，使探針6 接觸液晶面板3之電極4。該探針組裝體5係於底板15短 邊側裝設有4個、在長邊側裝設有5個。探針組裝體5基 端部設有導引孔5Α’用於嵌合攝影手段19的連結機構37 -11 -

1356173 的連結桿39。在導引孔5A形成錐部，使連結本 嵌合。 探針組裝體滑動機構17係用於使前述各探| 可移動地支撐在前述底板15的裝置。探針組裝 構17將各探針組裝體5支撐成可各自獨立移動 前述攝影手段19獨立移動。藉此，探針組裝1 17使探針組裝體5適當移動，將前述液晶面板： 和前述各探針組裝體5之探針6進行對準。具儀 針組裝體滑動機構17係由探針軌道25、和安缓 探針軌道25滑動的探針導件26所構成。 探針軌道25係於底板15之開口 15A緣部， 緣部配置。探針軌道25係各自設成鄰接在開口 側和長邊側。具體而言，各自設在短邊側所對向 中的一方、和長邊側所對向的兩邊之中的一方。 探針導件26係於各自安裝在各探針組裝體 下，在探針軌道25嵌合成可滑動，將各探針組 底板1 5側支撐成可滑動。 鎖定機構18係用於保持探針組裝體5對前 之相對位置之裝置。該鎖定機構18係於前述秘 之電極4和前述各探針組裝體5之探針6進行尝 態下，保持該探針組裝體5對前述底板1 5之拆 鎖定機構1 8組裝在探針導件2 6，將該探針導件 軌道25固定、解除固定。具體而言，鎖定機構 圖所示，由電磁鎖定部28、使該電磁鎖定部28 P 39容易 十組裝體5 丨體滑動機 I且亦可對 丨滑動機構 5之電極4 丨而言，探 :成可在該 沿著該當 15A短邊 1的兩邊之 5的狀態 裝體5在 述底板1 5 :晶面板3 丨準後的狀 丨對位置。 26對探針 1 8如第8 動作的開 -12- 1356173 係由油壓式、氣壓式、電動式等致動器所構成，使連結桿 39出没。連結桿39係嵌合在探針組裝體5的導引孔5A， 用於連結探針組裝體5和攝影手段19之構件。連結桿39 係於被汽缸38支撐的狀態下延伸而嵌合在導引孔5A，藉 此連結成使探針組裝體5和攝影手段19形成一體進行移 動。再者，藉由連結桿39嵌合在導引孔5A而將開關29 斷開，藉由拉出而開啓開關29。 延伸板部34係設成延伸在探針組裝體5上側，且延 伸到面對探針組裝體5之探針6的位置。校準攝影機部3 5 係用於拍攝液晶面板3之電極4和探針組裝體5之探針6 的攝影機（參照第7圖）。該校準攝影機部35具備攝影 機，該攝影機具有由CCD或CMOS所構成的影像感測器 。藉由校準攝影機部35拍攝電極4和探針6，進行該等之 對準。再者，校準攝影機部35亦拍攝液晶面板3之校準 記號3 A，進行該液晶面板3之對準。 攝影手段滑動機構20係使前述攝影手段19，以可在 前述探針組裝體5之滑動方向平行移動之方式支撐在前述 底板15，而適當移動至前述探針6及電極4的位置或校準 記號3A的位置時所用的機構》該攝影手段滑動機構20係 由攝影手段軌道41、和被安裝成可在該攝影手段軌道41 滑動的攝影手段導件42所構成。 攝影手段軌道41係於底板15之開口 15A的緣部，鄰 接前述探針軌道25且配設成平行。即，攝影手段軌道41 係沿著前述底板15之開口 15A的緣部在正交之方向設有 -14- 1356173 準位置特定步驟所特定之前述基準位置的方式，將前述探 針6和前述新的液晶面板3之電極4進行對準。 必須檢査第2片液晶面板3 (與第1片同一品種）， 將該當液晶面板3在工件台2上載置在與第1片液晶面板 3相同的位置且對準。在此處，根據各液晶面板3之尺寸 精確度，即使將第1片和此第2片液晶面板3載置在工件 台2上的相同位置，探針單元對底板15之相對位置亦有 不整合的情形。因此，藉由攝影手段19拍攝第1片對準 後之液晶面板3上的校準記號3 A，將基準位置予以特定 ，再將第2片液晶面板3和底板1 5之相對位置調整成相 同於第1片液晶面板3的位置。該調整係藉由工件台2所 具備的前述ΧΥΖ0機構進行。 只要檢査對象之各液晶面板3的品種相同，由於液晶 面板3上的各電極4的位置及校準記號3A和各電極4之 相對位置也成爲相同，因此在該調整終了之時點，第2片 以後的液晶面板3之各電極4和探針6之對準即結束。 即，針對第2片液晶面板3，藉由前述同樣的步驟進 行點亮檢査，針對第3片以後（與第1片同一品種）的液 晶面板3，藉由與上述同樣的步驟進行點亮檢査。 〔效果〕 如上述，在前述探針對準步驟，將前述探針6和前述 電極4進行對準，在前述保持步驟’將前述探針組裝體5 保持在前述底板15’在前述基準位置特定步驟’特定液晶 -19- 1356173 面板3的基準位置，在前述通常對準步驟，由於已將前述 探針6和前述新的液晶面板3之電極4對合位置，因此可 使前述探針組裝體5容易對準在前述液晶面板3。其結果 爲提尚檢査能率。 且，由於使各探針組裝體5個別移動，將各探針6和 液晶面板3之各電極4予以對準，因此即使背光單元7之 熱所造成的液晶面板3之熱膨脹導致各探針6對各電極偏 移，仍可確實吸收該偏差。 相較於先前的檢査裝置，驅動機構的驅動源只有攝影 手段19的移動機構21，因此可減少驅動源之數量，亦可 減少對驅動源之配線條數。其結果爲有利於成本面，亦可 確保寬闊的作業空間。 且，即使液晶面板3的品種（電極位置）改變，電極 4的位置從先前的位置偏移，仍可容易地將各探針6對準 在各電極。 藉由校準攝影機部35拍攝液晶面板3的校準記號3A ，將該校準記號3A和基準點之偏差量調整成零，進行第 2片以後的液晶面板3和探針組裝體5之對準，因此可容 易且迅速地進行該等之對準。 且’藉由校準攝影機部35拍攝探針6和液晶面板3 之各電極4’將該等之偏差量調整成零，進行探針6和電 極4之對準，因此可容易且迅速地進行該等之對準。 〔變形例〕 -20- 1356173 前述實施形態中，在各邊僅設一個攝影手段19, 針組裝體5之數量多時，亦可設置2個以上之攝影手 〇 前述實施形態中，已説明以液晶面板3爲檢査對 之例，但可適用於必須整合探針6和電極4之所有的 對象板。且，利用檢査裝置進行的檢査亦不限於液晶 3之點亮檢査，可適用於所有的使探針6和電極4接 進行之檢査。 前述實施形態中，將連結機構37設在攝影手段 ，但亦可設在探針組裝體5側。只要可使攝影手段] 探針組裝體5彼此連結之構造即可。 前述實施形態中，以具備電磁螺線管30和固定3 之鎖定機構1 8爲例予以說明，但以其他構成當作鎖 構18亦可。例如，如第9圖所不，由固定銷51'升 52、彈簧53構成亦可。固定銷51係藉由彈簧53被 針軌道25側彈壓。升降銷52被***導引孔5A内， 端部具有錐部5 2A。固定銷51上端部亦具有對應升 52之錐部52A的錐部51A。藉此，連結桿39被推入 孔5A時，升降銷52被推入，藉由錐部51A、52A將 銷51朝上方推而解除固定。連結桿39被拉出時，固 51被彈簧53下推而固定。 前述實施形態中，底板1 5係以四角形板材構成 可動式底板亦可。於該情形下，在可動式探針單元機 備可動框機構而構成。該可動框機構係由複數框板構 但探 段19 象板 檢査 面板 觸而 19側 19和 消31 定機 降銷 朝探 且前 降銷 導引 固定 定銷 ，但 構具 成底 -21 - 1356173 板，配合不同品種的液晶面板3之不同的尺寸，移動前 各框板，調整成前述液晶面板3的尺寸之機構。 第10圖顯示該可動框機構之一例。可動框機構55 由Y軸移動機構56、X軸移動機構57所構成。Y軸移 機構56係用於調整可動框機構55之開口 55A的Y軸 向之機構。該Y軸移動機構56包含：配設在Y軸方向 軌道、嵌合在該軌道且被支撐成可在Y軸方向滑動的導 、被該導件支撐且安裝成可在Y軸方向滑動的上側底板 與該上側底板同樣地被前述導件支撐且安裝成可在Y軸 向滑動的下側底板、使上側底板及下側底板在Y軸方向 動的Y軸驅動部。X軸移動機構57係用於調整可動框 構55之開口 55A的X軸方向之機構。該X軸移動機構 包含：配設在X軸方向的X軸上邊框部、與X軸上邊 部並列配設在X軸方向的X軸下邊框部、配設在Y軸 向的Y軸右邊框部、與該Y軸右邊框部同樣地配設在 軸方向的Y軸左邊框部、使X軸下邊框部在X軸方向 動的X軸下邊驅動部、使X軸上邊框部在X軸方向移 的X軸上邊驅動部。該可動框機構55之具體構成，已 本申請人先前提出的可動式探針單元機構（日本專利特 2006-148562)中説明。 藉由以具備該可動框機構55的檢査裝置進行檢査 方式，檢査不同品種的液晶面板3時，將液晶面板3載 在工件台2之既定位置後，藉由可動框機構55將開 55A對合在液晶面板3的尺寸。將該開口 55A的大小對 述 係 動 方 的 件 > 方 移 機 57 框 方 Y 移 動 於 願 的 置 □ 合 -22- 1356173 液晶面板3的尺寸予以調整後，藉由前述攝影 將探針組裝體5之各探針6對準液晶面板3之 其結果可迅速地進行液晶面板3之品種交換。 且，即使液晶面板3之品種變更，亦因可 探針組裝體5，而可確實地進行探針6和電極 採用不同的液晶面板3時，不須特別之裝置。 由於可藉由各探針組裝體5，個別地進行 針組裝體5和液晶面板3之電極4的對準，因 面板3的規格（電極位置）改變，也可容易地 6和各電極4之對準。 且，前述實施形態中，藉由連結該探針組丨 影手段19，進行探針6和電極4之對準所用的 5之移動，但各探針組裝體5亦可同時具備驅 ，亦可使用線性電動機機構，與探針組裝體5 以電氣控制。此外，線性電動機機構可直接使 構。藉由該線性電動機機構，由於可正確地微 裝體5，而可提高探針6和電極4之對準精確 形下，探針組裝體5的鎖定機構，適用例如藉 制動器。藉此亦可達成與前述實施形態同樣的 【圖式簡單說明】 第1圖係表示本發明之實施形態所相關之 單元機構之主要部分放大立體圖。 手段19等 :各電極4。 個別地移動 4之對準。 對於複數探 此即使液晶 進行各探針 裝體5的攝 探針組裝體 動源。例如 獨立地單獨 用眾知之機 調整探針組 度。於該情 由電磁閥之 作用、效果 可動式探針 -23-

Claims (1)

1. I3J56173

   第096142027號專利申請案中文申請專利範圍修本 民國100年7月27日修正 申請專利範圍 1 . 一種探針對準方法，係藉由複數探針組裝體（以 可移動方式支撐在用於進行檢查對象板之檢查的探針單元 之底板）和攝影手段（以可相對前述各探針組裝體平行地 移動之方式支撐在前述底板），將前述檢查對象板之電極 φ 和前述各探針組裝體之探針進行對準，其特徵爲： 包含： 探針對準步驟，係將前述檢查對象板設置在設定位置 ，一面使前述攝影手段適當移動，藉由該攝影手段拍攝前 ' 述探針組裝體之探針及前述檢查對象板之電極，一面使該 探針組裝體從其他探針組裝體獨立並使其移動，藉此將該 探針和前述電極進行對準； 保持步驟，係於藉由該探針對準步驟將前述探針和電 φ 極進行對準後之狀態下，保持前述探針組裝體對前述底板 的相對位置； 基準位置特定步驟，係使前述攝影手段移動，藉由該 • 攝影手段拍攝前述對準後的檢查對象板之校準記號，以特 定前述對準後的檢查對象板之基準位置；及 通常對準步驟，係於藉由該基準位置特定步驟所特定 之前述基準位置，對合新的檢查對象板之校準記號，藉此 方式將前述探針和前述新的檢查對象板之電極進行對準； 前述攝影手段及前述各探針組裝體係彼此獨立移動， 1356173 户修正娜1 並且在前述探針對準步驟中，使前述攝影手段和對準對象 之前述探針組裝體彼此連結並同時地移動，而將該探針組 裝體之探針和前述檢查對象板之電極進行對準。 2. —種可動式探針單元機構，其待徵爲： 具備： 複數探針組裝體，係於前端支撐探針，使該探針與檢 查對象板之電極接觸： 攝影手段，用於拍攝該探針組裝體之探針及前述檢查 對象板之電極等； 探針組裝體滑動機構，係使前述各探針組裝體以可各 自獨立移動且相對前述攝影手段亦可獨立移動之方式，支 撐在用於進行前述檢查對象板之檢查的探針單元之底板， 將前述檢查對象板之電極和前述各探針組裝體之探針進行 對準； 攝影手段滑動機構，係使前述攝影手段以可在前述探 針組裝體之滑動方向平行移動之方式支撐在前述底板，而 適當移動至前述探針及電極等之位置； 移動機構，係連結在藉由該攝影手段滑動機構支撐成 可移動之前述攝影手段，使該攝影手段適當移動；及 鎖定機構，係於將前述檢查對象板之電極和前述各探 針組裝體之探針進行對準後之狀態下，保持前述探針組裝 體對前述底板之相對位置； 具備連結手段，係於藉由前述攝影手段拍攝前述探針 組裝體之探針和前述檢查對象板之電極時，使該探針組裝 -2 - 13/56173 / ”日修正雜頁 體及攝影手段彼此連結，藉由移動該攝影手段，以調整前 述探針位置。 3. 如申請專利範圍第2項所述之可動式探針單元機 構，其中，前述連結手段係具備：桿，係嵌合在設於前述 探針組裝體或攝影手段之導引孔；及出沒機構，係設在前 述攝影手段或探針組裝體，使前述桿出沒。

   4. 如申請專利範圍第3項所述之可動式探針單元機 構，其中，前述導引孔係設在前述探針組裝體，且前述出 沒機構係設在前述攝影手段， 前述鎖定機構，係藉由使自前述出沒機構延伸出來的 前述桿嵌合在前述導引孔而被解除，藉由拉出而被鎖定。 5 ·如申請專利範圍第2、3或4項所述之可動式探針 單元機構，其中，前述攝影手段係具備攝影機而構成，該 攝影機具有由CCD或CMOS所構成之影像感測器， 前述檢査對象板係液晶顯示板。

   6.如申請專利範圍第2、3或4項所述之可動式探針 單元機構，其中，前述底板係具備可動框機構，該可動框 機構係由複數框板所構成，配合品種不同的檢查對象板之 不同的尺寸，用於使前述各框板移動以調整成前述檢查對 象板之尺寸。 7. —種檢查裝置，係使探針組裝體之探針接觸檢查 對象板之電極以進行檢查，其特徵爲： 具備可動式探針單元機構，係用於使前述探針組裝體 之探針和前述檢查對象板之電極彼此對準之機構， -3- 1356173

   該可動式探針單元機構係具備：複數探針組裝體，係 以前端支撐探針，使該探針與檢查對象板之電極接觸；攝 影手段，用於拍攝該探針組裝體之探針及前述檢查對象板 之電極等；探針組裝體滑動機構，係使前述各探針組裝體 以可各自獨立移動且亦可對前述攝影手段獨立移動之方式 ，支撐在用於進行前述檢查對象板之檢查的探針單元之底 板’將前述檢查對象板之電極和前述各探針組裝體之探針 進行對準；攝影手段滑動機構，係使前述攝影手段以可在 前述探針組裝體之滑動方向平行移動之方式支撐在前述底 板’而適當移動至前述探針及電極等位置；移動機構，係 連結在藉由該攝影手段滑動機構支撐成可移動之前述攝影 手段’使該攝影手段適當移動；及鎖定機構，係於將前述 檢查對象板之電極和前述各探針組裝體之探針進行對準後 之狀態下，保持該探針組裝體對前述底板之相對位置；具 備連結手段，係於藉由前述攝影手段拍攝前述探針組裝體 之探針和前述檢查對象板之電極時，使該探針組裝體及攝 影手段彼此連結，藉由移動該攝影手段，以調整前述探針· 位置。 -4 -