TWI356173B - Probe positioning method, movable probe unit mecha - Google Patents
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Description
1356173 九、發明說明 ' 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於爲了液晶顯示面板此類檢 7C檢査等’而將探針和電極進行對準並使其 準方法及可動式探針單元機構以及檢査裝置 【先前技術】 Φ 液晶面板製造步驟中,有一檢査步驟係 驟的最終檢查中檢査已封入有液晶之液晶面 點亮檢査係使液晶面板點亮,使其顯示測試 晶面板的動作狀態之檢査。該點亮檢査進行 * 性、對比等檢査》 該點亮檢査所使用的檢査裝置有:使用 檢査測試圖案之自動檢査裝置、及以人的目 檢査裝置。 Φ 此種液晶面板檢査裝置之一,係於配置 晶面板的檢査台,設有檢査用的複數接觸元1 複數接觸元件單元,係於檢査時將該等 • 在檢査台的面板承受部上的液晶面板之電極 * 通電電路的檢査訊號供給到顯示面板。 且,檢査前對面板承受部配置顯示面板 板承受部取出顯示面板時,各接觸元件單元 配置區域後退。 藉此,多數之接觸元件單元不至於妨礙 査對象板之點 接觸之探針對 於液晶單元步 板之點亮。該 圖案,確認液 色度、色均一 CCD攝影機 視檢査之目視 接受檢査之液 戶單元者。 接觸元件接觸 ,藉此將來自 及檢査後從面 從顯示面板之 顯示面板對面 -4- 1356173 板承受部之配置及其取出,可順暢地進行顯示面板之處理 (專利文獻1)。 且,先前對於大小不同的顯示面板,須設置顯示面板 専用的檢査台及探針單元,但也有藉由配合大小不同的顯 示面板尺寸予以調整開口部,而不須設置新的専用檢査台 及探針單元之裝置(專利文獻2)。 〔專利文獻1〕日本專利特開2002-3 50485號公報 〔專利文獻2〕日本專利特開20 02-91336號公報 【發明內容】 此先前之探針單元爲了將電動機及配線安裝在各接觸 單元以驅動接觸單元,致使配線條數很多。於該情形下’ 由於須確保配線佈線的空間,而難以確保寬闊的作業空間 〇 且,探針和液晶面板之電極進行對準時,只能以複數 探針塊形成一體之接觸單元爲單位,進行探針和各電極之 對準。因此,由於背光單元的熱所造成之液晶面板的熱膨 脹而導致之各探針對各電極之偏差,無法確實地吸收。 再者,相同的接觸單元内搭載有複數探針塊時’由於 無法調整各探針塊間的相對位置,因此若液晶面板的品種 (各電極之配置位置)改變,則不易適切對準各探針和各 電極。 本發明係鑑於如此之問題而發明者’其目的在於提供 容許檢査對象板之熱膨脹而可以容易地進行探針和電極之 -5- 1356173 對準的探針對準方法及可動式探針單元機構以及檢査裝置 〇 本發明所相關之探針對準方法係爲了解決前述課題而 發明者’其係藉由複數探針組裝體(以可移動方式支撐在 用於進行檢查對象板之檢查的探針單元之底板)和攝影手 段(以可相對前述各探針組裝體平行地移動之方式支撐在 前述底板),將前述檢査對象板之電極和前述各探針組裝 體之探針進行對準之探針對準方法,其特徵爲包含步驟: 探針對準步驟,係將前述檢查對象板設置在設定位置,— 面使前述攝影手段適當移動,藉由該攝影手段拍攝前述探 針組裝體之探針及前述檢查對象板之電極,—面使該探針 組裝體從其他探針組裝體獨立並使其移動,而將該探針和 前述電極進行對準;保持步驟,係於藉由該探針對準步驟 將前述探針和電極進行對準後之狀態下,保持前述探針組 裝體對前述底板的相對位置;基準位置特定步驟,係使前 述攝影手段移動,藉由該攝影手段拍攝前述對準後的檢査 對象板之校準記號,以特定前述對準後的檢查對象板之基 準位置:及通常對準步驟,係於藉由該基準位置特定步驟 所特定之前述基準位置,對合新的檢査對象板之校準記號 ’藉此方式將前述探針和前述新的檢查對象板之電極進行 對準。 利用前述構成,在探針對準步驟中,一面藉由前述攝 影手段拍攝前述探針組裝體之探針及前述檢査對象板之電 極’ ~面藉由使該當探針組裝體移動的方式,進行該當探 -6 - 1356173 針和前述電極之對準》在保持步驟中,將對準後的前述探 針組裝體保持在前述底板。一個探針組裝體之對準結束後 ,將前述攝影手段移動到下一探針組裝體,與前述同樣地 進行下一探針組裝體之對準。反覆此動作,進行所有的探 針組裝體之對準。接著,在基準位置特定步驟中,使前述 攝影手段對於對準後的檢査對象板進行移動並拍攝校準記 號,在該狀態下固定攝影手段,將拍攝到的校準記號位置 特定爲前述對準後的檢査對象板之基準位置。接著,在通 常對準步驟中,於第2片以後的檢査時進行對準。檢査新 的檢査對象板時,將新的檢査對象板之校準記號對合在前 述基準位置,使前述探針和前述新的檢査對象板的電極之 位置對合。 前述探針對準步驟中,較佳爲使前述攝影手段和對準 對象之前述探針組裝體彼此連結並同時地移動,進行該當 探針組裝體之探針和前述檢査對象板之電極的對準。 本發明所相關之可動式探針單元機構,其特徵爲具備 :複數探針組裝體,係於前端支撐探針,使該探針與檢查 對象板之電極接觸;攝影手段,用於拍攝該探針組裝體之 探針及前述檢查對象板之電極等;探針組裝體滑動機構, 係使前述各探針組裝體以可各自獨立移動且相對前述攝影 手段亦可獨立移動之方式,支撐在用於進行前述檢査對象 板之檢査的探針單元之底板,將前述檢查對象板之電極和 前述各探針組裝體之探針進行對準;攝影手段滑動機構, 係使前述攝影手段以可在前述探針組裝體之滑動方向平行 1356173 移動之方式支撐在前述底板,而適當移動至前述探針及電 極等之位置;移動機構,係連結在被該攝影手段滑動機構 支撐成可移動之前述攝影手段,使該攝影手段適當移動; 及鎖定機構,係於將前述檢查對象板之電極和前述各探針 組裝體之探針進行對準後之狀態下,保持該當探針組裝體 對前述底板之相對位置。 利用前述構成,藉由前述探針組裝體滑動機構,使前 述各探針組裝體各自獨立移動,將該當探針組裝體之探針 對準在前述檢査對象板之電極。此時,被前述攝影手段滑 動機構支撐成可移動的前述攝影手段,係藉由前述移動機 構適當移動到述探針及電極等的位置,一面拍攝前述探 針及電極等,一面藉由前述探針組裝體滑動機構滑動前述 探針組裝體,進彳T探針和電極之對準。對準終了後,藉由 前述鎖定機構將探針組裝體保持在前述底板。 較佳爲具備連結手段,在藉由前述攝影手段拍攝前述 探針組裝體之探針和則述檢査對象板之電極時,使該當探 針組裝體及攝影手段彼此連結,藉由移動該當攝影手段, 以調整前述探针之位置。 前述連結手段較佳爲具備:嵌合在設於前述探針組裝 體或攝影手段之導引孔的桿 '及設在前述攝影手段或探針 組裝體使前述桿出没的出没機構。 前述鎖定機構’較佳爲藉由使自前述出沒機構延伸出 來的前述桿嵌合在前述導引孔而被解除,藉由拉出而被鎖 定。
-8 - 1356173 前述攝影手段較佳爲具備攝影機而構成,該攝影機具 有由CCD或CMOS所構成之影像感測器,前述檢查對象 板係液晶顯示板。 前述底板較佳爲具備可動框機構,該可動框機構係由 複數框板所構成,配合品種不同的檢查對象板之不同的尺 寸,用於使前述各框板移動以調整成前述檢查對象板之尺 寸。 本發明所相關之檢査裝置,係使探針組裝體之探針接 觸檢查對象板之電極以進行檢查,其特徵爲:具備可動式 探針單元機構,係用於使前述探針組裝體之探針和前述檢 查對象板之電極彼此對準之機構。 利用該構成,與前述可動式探針單元機構同様地發揮 作用,檢査前述檢査對象板。 如上述,根據本發明可達成如下述之效果》 在前述探針對準步驟,進行前述探針和前述電極之對 準,在保持步驟,將前述探針組裝體保持在前述底板,在 基準位置特定步驟,特定檢査對象板的基準位置,在通常 對準步驟,將前述探針和前述新的檢査對象板的電極進行 對準,因此可使前述探針組裝體容易對準在前述檢査對象 板。 且,藉由前述探針組裝體滑動機構,將前述探針組裝 體之探針對準在前述檢査對象板之電極,且藉由前述攝影 手段拍攝前述探針及電極等,一面藉由前述探針組裝體滑 動機構進行對準,且藉由前述鎖定機構將探針組裝體保持 -9- 1356173 在前述底板,因此可使前述探針組裝體容易對準在 査對象板。 【實施方式】 以下’針對使用具備本發明之實施形態所相關 式探針單元機構之檢査裝置及可動式探針單元機構 對準方法’參照附圖予以説明。並於此處説明以液 爲檢査對象板之例。且,檢査裝置係以進行液晶面 檢査之裝置進行説明。進行點亮檢査之檢査裝置的 成和上述先前之檢査裝置大致相同,因而此處主要 本發明之特徵部分:組裝在檢査裝置之可動式探針 構及使用該可動式探針單元機構之探針對準方法。 可動式探針單元機構1係爲了進行檢査,將前 面板之電極和各後述探針組裝體之探針予以對準, 彼此接觸之裝置。該可動式探針單元機構1係固定 檢査裝置之框側。具體而言如第2圖所示,安裝在 査裝置側的工件台2之位置。 工件台2係用於直接支撐液晶面板3之構件。 2上設有擋止件和推進件(皆不圖示),該擋止件 件係抵接在液晶面板3周緣部,用於將該液晶面板 地對準在工件台2上。液晶面板3載置在工件台2 首先是液晶面板3周緣部抵接在擋止件,再藉由設 於該擋止件之位置的推進件推液晶面板3相反側之 予以支撐。工件台2係安裝在檢査裝置内的XYZ 0 前述檢 之可動 的探針 晶面板 板點亮 全體構 係說明 單元機 述液晶 使該等 安裝在 面對檢 工件台 和推進 3正確 上時, 在對向 周緣部 台(不 1356173 圖示)。藉由該ΧΥΖ 0台,被工件台2所支撐的液晶面板 3之位置受到微調整。具體而言,將被工件台2所支撐的 液晶面板3之位置藉由χγζ 0台予以微調整,使液晶面板 3之電極4和探針組裝體5之探針6彼此整合(成爲第7 圖之狀態)。 工件台2内側(第2圖中的下側)設有背光單元7 ^ 該背光單元7係於點亮檢査中,將液晶面板3從其内側點 亮之裝置。具體而言,背光單元7包含:配置有複數支的 螢光管8、收納各螢光管8的框體9、組裝在工件台2的 導光板1〇及擴散板11。 可動式探針單元機構1係如第1圖至第5圖所示,包 含底板1 5、前述探針組裝體5、探針組裝體滑動機構1 7、 鎖定機構18、攝影手段19、攝影手段滑動機構20、移動 機構21。 底板15係支撐可動式探針單元機構丨全體的底板。 該底板15固定在檢査裝置框側。底板15係形成爲其中央 具備四角形開口 15Α之四角形板狀。探針組裝體5等係各 自安裝在該底板1 5上側面。 探針組裝體5係用於支撐探針6之構件。探針組裝體 5係於藉由其前端支撐探針6之狀態下,被底板15支撑成 可移動。探針組裝體5被底板15支撐成可移動,使探針6 接觸液晶面板3之電極4。該探針組裝體5係於底板15短 邊側裝設有4個、在長邊側裝設有5個。探針組裝體5基 端部設有導引孔5Α’用於嵌合攝影手段19的連結機構37 -11 -
1356173 的連結桿39。在導引孔5A形成錐部,使連結本 嵌合。 探針組裝體滑動機構17係用於使前述各探| 可移動地支撐在前述底板15的裝置。探針組裝 構17將各探針組裝體5支撐成可各自獨立移動 前述攝影手段19獨立移動。藉此,探針組裝1 17使探針組裝體5適當移動,將前述液晶面板: 和前述各探針組裝體5之探針6進行對準。具儀 針組裝體滑動機構17係由探針軌道25、和安缓 探針軌道25滑動的探針導件26所構成。 探針軌道25係於底板15之開口 15A緣部, 緣部配置。探針軌道25係各自設成鄰接在開口 側和長邊側。具體而言,各自設在短邊側所對向 中的一方、和長邊側所對向的兩邊之中的一方。 探針導件26係於各自安裝在各探針組裝體 下,在探針軌道25嵌合成可滑動,將各探針組 底板1 5側支撐成可滑動。 鎖定機構18係用於保持探針組裝體5對前 之相對位置之裝置。該鎖定機構18係於前述秘 之電極4和前述各探針組裝體5之探針6進行尝 態下,保持該探針組裝體5對前述底板1 5之拆 鎖定機構1 8組裝在探針導件2 6,將該探針導件 軌道25固定、解除固定。具體而言,鎖定機構 圖所示,由電磁鎖定部28、使該電磁鎖定部28 P 39容易 十組裝體5 丨體滑動機 I且亦可對 丨滑動機構 5之電極4 丨而言,探 :成可在該 沿著該當 15A短邊 1的兩邊之 5的狀態 裝體5在 述底板1 5 :晶面板3 丨準後的狀 丨對位置。 26對探針 1 8如第8 動作的開 -12- 1356173 係由油壓式、氣壓式、電動式等致動器所構成,使連結桿 39出没。連結桿39係嵌合在探針組裝體5的導引孔5A, 用於連結探針組裝體5和攝影手段19之構件。連結桿39 係於被汽缸38支撐的狀態下延伸而嵌合在導引孔5A,藉 此連結成使探針組裝體5和攝影手段19形成一體進行移 動。再者,藉由連結桿39嵌合在導引孔5A而將開關29 斷開,藉由拉出而開啓開關29。 延伸板部34係設成延伸在探針組裝體5上側,且延 伸到面對探針組裝體5之探針6的位置。校準攝影機部3 5 係用於拍攝液晶面板3之電極4和探針組裝體5之探針6 的攝影機(參照第7圖)。該校準攝影機部35具備攝影 機,該攝影機具有由CCD或CMOS所構成的影像感測器 。藉由校準攝影機部35拍攝電極4和探針6,進行該等之 對準。再者,校準攝影機部35亦拍攝液晶面板3之校準 記號3 A,進行該液晶面板3之對準。 攝影手段滑動機構20係使前述攝影手段19,以可在 前述探針組裝體5之滑動方向平行移動之方式支撐在前述 底板15,而適當移動至前述探針6及電極4的位置或校準 記號3A的位置時所用的機構》該攝影手段滑動機構20係 由攝影手段軌道41、和被安裝成可在該攝影手段軌道41 滑動的攝影手段導件42所構成。 攝影手段軌道41係於底板15之開口 15A的緣部,鄰 接前述探針軌道25且配設成平行。即,攝影手段軌道41 係沿著前述底板15之開口 15A的緣部在正交之方向設有 -14- 1356173 準位置特定步驟所特定之前述基準位置的方式,將前述探 針6和前述新的液晶面板3之電極4進行對準。 必須檢査第2片液晶面板3 (與第1片同一品種), 將該當液晶面板3在工件台2上載置在與第1片液晶面板 3相同的位置且對準。在此處,根據各液晶面板3之尺寸 精確度,即使將第1片和此第2片液晶面板3載置在工件 台2上的相同位置,探針單元對底板15之相對位置亦有 不整合的情形。因此,藉由攝影手段19拍攝第1片對準 後之液晶面板3上的校準記號3 A,將基準位置予以特定 ,再將第2片液晶面板3和底板1 5之相對位置調整成相 同於第1片液晶面板3的位置。該調整係藉由工件台2所 具備的前述ΧΥΖ0機構進行。 只要檢査對象之各液晶面板3的品種相同,由於液晶 面板3上的各電極4的位置及校準記號3A和各電極4之 相對位置也成爲相同,因此在該調整終了之時點,第2片 以後的液晶面板3之各電極4和探針6之對準即結束。 即,針對第2片液晶面板3,藉由前述同樣的步驟進 行點亮檢査,針對第3片以後(與第1片同一品種)的液 晶面板3,藉由與上述同樣的步驟進行點亮檢査。 〔效果〕 如上述,在前述探針對準步驟,將前述探針6和前述 電極4進行對準,在前述保持步驟’將前述探針組裝體5 保持在前述底板15’在前述基準位置特定步驟’特定液晶 -19- 1356173 面板3的基準位置,在前述通常對準步驟,由於已將前述 探針6和前述新的液晶面板3之電極4對合位置,因此可 使前述探針組裝體5容易對準在前述液晶面板3。其結果 爲提尚檢査能率。 且,由於使各探針組裝體5個別移動,將各探針6和 液晶面板3之各電極4予以對準,因此即使背光單元7之 熱所造成的液晶面板3之熱膨脹導致各探針6對各電極偏 移,仍可確實吸收該偏差。 相較於先前的檢査裝置,驅動機構的驅動源只有攝影 手段19的移動機構21,因此可減少驅動源之數量,亦可 減少對驅動源之配線條數。其結果爲有利於成本面,亦可 確保寬闊的作業空間。 且,即使液晶面板3的品種(電極位置)改變,電極 4的位置從先前的位置偏移,仍可容易地將各探針6對準 在各電極。 藉由校準攝影機部35拍攝液晶面板3的校準記號3A ,將該校準記號3A和基準點之偏差量調整成零,進行第 2片以後的液晶面板3和探針組裝體5之對準,因此可容 易且迅速地進行該等之對準。 且’藉由校準攝影機部35拍攝探針6和液晶面板3 之各電極4’將該等之偏差量調整成零,進行探針6和電 極4之對準,因此可容易且迅速地進行該等之對準。 〔變形例〕 -20- 1356173 前述實施形態中,在各邊僅設一個攝影手段19, 針組裝體5之數量多時,亦可設置2個以上之攝影手 〇 前述實施形態中,已説明以液晶面板3爲檢査對 之例,但可適用於必須整合探針6和電極4之所有的 對象板。且,利用檢査裝置進行的檢査亦不限於液晶 3之點亮檢査,可適用於所有的使探針6和電極4接 進行之檢査。 前述實施形態中,將連結機構37設在攝影手段 ,但亦可設在探針組裝體5側。只要可使攝影手段] 探針組裝體5彼此連結之構造即可。 前述實施形態中,以具備電磁螺線管30和固定3 之鎖定機構1 8爲例予以說明,但以其他構成當作鎖 構18亦可。例如,如第9圖所不,由固定銷51'升 52、彈簧53構成亦可。固定銷51係藉由彈簧53被 針軌道25側彈壓。升降銷52被***導引孔5A内, 端部具有錐部5 2A。固定銷51上端部亦具有對應升 52之錐部52A的錐部51A。藉此,連結桿39被推入 孔5A時,升降銷52被推入,藉由錐部51A、52A將 銷51朝上方推而解除固定。連結桿39被拉出時,固 51被彈簧53下推而固定。 前述實施形態中,底板1 5係以四角形板材構成 可動式底板亦可。於該情形下,在可動式探針單元機 備可動框機構而構成。該可動框機構係由複數框板構 但探 段19 象板 檢査 面板 觸而 19側 19和 消31 定機 降銷 朝探 且前 降銷 導引 固定 定銷 ,但 構具 成底 -21 - 1356173 板,配合不同品種的液晶面板3之不同的尺寸,移動前 各框板,調整成前述液晶面板3的尺寸之機構。 第10圖顯示該可動框機構之一例。可動框機構55 由Y軸移動機構56、X軸移動機構57所構成。Y軸移 機構56係用於調整可動框機構55之開口 55A的Y軸 向之機構。該Y軸移動機構56包含:配設在Y軸方向 軌道、嵌合在該軌道且被支撐成可在Y軸方向滑動的導 、被該導件支撐且安裝成可在Y軸方向滑動的上側底板 與該上側底板同樣地被前述導件支撐且安裝成可在Y軸 向滑動的下側底板、使上側底板及下側底板在Y軸方向 動的Y軸驅動部。X軸移動機構57係用於調整可動框 構55之開口 55A的X軸方向之機構。該X軸移動機構 包含:配設在X軸方向的X軸上邊框部、與X軸上邊 部並列配設在X軸方向的X軸下邊框部、配設在Y軸 向的Y軸右邊框部、與該Y軸右邊框部同樣地配設在 軸方向的Y軸左邊框部、使X軸下邊框部在X軸方向 動的X軸下邊驅動部、使X軸上邊框部在X軸方向移 的X軸上邊驅動部。該可動框機構55之具體構成,已 本申請人先前提出的可動式探針單元機構(日本專利特 2006-148562)中説明。 藉由以具備該可動框機構55的檢査裝置進行檢査 方式,檢査不同品種的液晶面板3時,將液晶面板3載 在工件台2之既定位置後,藉由可動框機構55將開 55A對合在液晶面板3的尺寸。將該開口 55A的大小對 述 係 動 方 的 件 > 方 移 機 57 框 方 Y 移 動 於 願 的 置 □ 合 -22- 1356173 液晶面板3的尺寸予以調整後,藉由前述攝影 將探針組裝體5之各探針6對準液晶面板3之 其結果可迅速地進行液晶面板3之品種交換。 且,即使液晶面板3之品種變更,亦因可 探針組裝體5,而可確實地進行探針6和電極 採用不同的液晶面板3時,不須特別之裝置。 由於可藉由各探針組裝體5,個別地進行 針組裝體5和液晶面板3之電極4的對準,因 面板3的規格(電極位置)改變,也可容易地 6和各電極4之對準。 且,前述實施形態中,藉由連結該探針組丨 影手段19,進行探針6和電極4之對準所用的 5之移動,但各探針組裝體5亦可同時具備驅 ,亦可使用線性電動機機構,與探針組裝體5 以電氣控制。此外,線性電動機機構可直接使 構。藉由該線性電動機機構,由於可正確地微 裝體5,而可提高探針6和電極4之對準精確 形下,探針組裝體5的鎖定機構,適用例如藉 制動器。藉此亦可達成與前述實施形態同樣的 【圖式簡單說明】 第1圖係表示本發明之實施形態所相關之 單元機構之主要部分放大立體圖。 手段19等 :各電極4。 個別地移動 4之對準。 對於複數探 此即使液晶 進行各探針 裝體5的攝 探針組裝體 動源。例如 獨立地單獨 用眾知之機 調整探針組 度。於該情 由電磁閥之 作用、效果 可動式探針 -23-
Claims (1)
- I3J56173第096142027號專利申請案中文申請專利範圍修本 民國100年7月27日修正 申請專利範圍 1 . 一種探針對準方法,係藉由複數探針組裝體(以 可移動方式支撐在用於進行檢查對象板之檢查的探針單元 之底板)和攝影手段(以可相對前述各探針組裝體平行地 移動之方式支撐在前述底板),將前述檢查對象板之電極 φ 和前述各探針組裝體之探針進行對準,其特徵爲: 包含: 探針對準步驟,係將前述檢查對象板設置在設定位置 ,一面使前述攝影手段適當移動,藉由該攝影手段拍攝前 ' 述探針組裝體之探針及前述檢查對象板之電極,一面使該 探針組裝體從其他探針組裝體獨立並使其移動,藉此將該 探針和前述電極進行對準; 保持步驟,係於藉由該探針對準步驟將前述探針和電 φ 極進行對準後之狀態下,保持前述探針組裝體對前述底板 的相對位置; 基準位置特定步驟,係使前述攝影手段移動,藉由該 • 攝影手段拍攝前述對準後的檢查對象板之校準記號,以特 定前述對準後的檢查對象板之基準位置;及 通常對準步驟,係於藉由該基準位置特定步驟所特定 之前述基準位置,對合新的檢查對象板之校準記號,藉此 方式將前述探針和前述新的檢查對象板之電極進行對準; 前述攝影手段及前述各探針組裝體係彼此獨立移動, 1356173 户修正娜1 並且在前述探針對準步驟中,使前述攝影手段和對準對象 之前述探針組裝體彼此連結並同時地移動,而將該探針組 裝體之探針和前述檢查對象板之電極進行對準。 2. —種可動式探針單元機構,其待徵爲: 具備: 複數探針組裝體,係於前端支撐探針,使該探針與檢 查對象板之電極接觸: 攝影手段,用於拍攝該探針組裝體之探針及前述檢查 對象板之電極等; 探針組裝體滑動機構,係使前述各探針組裝體以可各 自獨立移動且相對前述攝影手段亦可獨立移動之方式,支 撐在用於進行前述檢查對象板之檢查的探針單元之底板, 將前述檢查對象板之電極和前述各探針組裝體之探針進行 對準; 攝影手段滑動機構,係使前述攝影手段以可在前述探 針組裝體之滑動方向平行移動之方式支撐在前述底板,而 適當移動至前述探針及電極等之位置; 移動機構,係連結在藉由該攝影手段滑動機構支撐成 可移動之前述攝影手段,使該攝影手段適當移動;及 鎖定機構,係於將前述檢查對象板之電極和前述各探 針組裝體之探針進行對準後之狀態下,保持前述探針組裝 體對前述底板之相對位置; 具備連結手段,係於藉由前述攝影手段拍攝前述探針 組裝體之探針和前述檢查對象板之電極時,使該探針組裝 -2 - 13/56173 / ”日修正雜頁 體及攝影手段彼此連結,藉由移動該攝影手段,以調整前 述探針位置。 3. 如申請專利範圍第2項所述之可動式探針單元機 構,其中,前述連結手段係具備:桿,係嵌合在設於前述 探針組裝體或攝影手段之導引孔;及出沒機構,係設在前 述攝影手段或探針組裝體,使前述桿出沒。4. 如申請專利範圍第3項所述之可動式探針單元機 構,其中,前述導引孔係設在前述探針組裝體,且前述出 沒機構係設在前述攝影手段, 前述鎖定機構,係藉由使自前述出沒機構延伸出來的 前述桿嵌合在前述導引孔而被解除,藉由拉出而被鎖定。 5 ·如申請專利範圍第2、3或4項所述之可動式探針 單元機構,其中,前述攝影手段係具備攝影機而構成,該 攝影機具有由CCD或CMOS所構成之影像感測器, 前述檢査對象板係液晶顯示板。6.如申請專利範圍第2、3或4項所述之可動式探針 單元機構,其中,前述底板係具備可動框機構,該可動框 機構係由複數框板所構成,配合品種不同的檢查對象板之 不同的尺寸,用於使前述各框板移動以調整成前述檢查對 象板之尺寸。 7. —種檢查裝置,係使探針組裝體之探針接觸檢查 對象板之電極以進行檢查,其特徵爲: 具備可動式探針單元機構,係用於使前述探針組裝體 之探針和前述檢查對象板之電極彼此對準之機構, -3- 1356173該可動式探針單元機構係具備:複數探針組裝體,係 以前端支撐探針,使該探針與檢查對象板之電極接觸;攝 影手段,用於拍攝該探針組裝體之探針及前述檢查對象板 之電極等;探針組裝體滑動機構,係使前述各探針組裝體 以可各自獨立移動且亦可對前述攝影手段獨立移動之方式 ,支撐在用於進行前述檢查對象板之檢查的探針單元之底 板’將前述檢查對象板之電極和前述各探針組裝體之探針 進行對準;攝影手段滑動機構,係使前述攝影手段以可在 前述探針組裝體之滑動方向平行移動之方式支撐在前述底 板’而適當移動至前述探針及電極等位置;移動機構,係 連結在藉由該攝影手段滑動機構支撐成可移動之前述攝影 手段’使該攝影手段適當移動;及鎖定機構,係於將前述 檢查對象板之電極和前述各探針組裝體之探針進行對準後 之狀態下,保持該探針組裝體對前述底板之相對位置;具 備連結手段,係於藉由前述攝影手段拍攝前述探針組裝體 之探針和前述檢查對象板之電極時,使該探針組裝體及攝 影手段彼此連結,藉由移動該攝影手段,以調整前述探針· 位置。 -4 -
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