JP7220148B2 - 5自由度を有するユニバーサルプロービングアセンブリ - Google Patents
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Description
本願は、2016年12月20日出願の同時係属の米国仮特許出願第62/436,762号の利益を主張し、すべての目的のために上述の出願を本明細書に参照によって組み込む。
本発明は、例えば、以下の形態により実現されてもよい。
[形態1]
半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのユニバーサルプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
複数の調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記ウエハのX-Y平面に垂直な前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
第1端および第2端を有するアームであって、前記第1端は、前記切り替え可能磁気スラブに取り付けられ、前記第2端は、前記ブロックに取り付けられている、アームと、
を備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態2]
形態1に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、さらに、金属プラテンを備え、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場を増大させることにより、前記金属プラテンへの前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドの取り付けを可能にする、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態3]
形態2に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の前記磁場を低減させることにより、前記金属プラテンからの前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドの解放を可能にする、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態4]
形態1に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記傾斜制御メカニズムは、前記プローブヘッドを傾斜させるために、ネジによって制御される可動部分を備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態5]
形態4に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの取り付け側面に取り付けられる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態6]
形態5に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの前記取り付け側面上のダブテール受けに取り付けられ、前記ダブテール受けは、前記可動部分によって傾斜されることができる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態7]
形態5に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記ブロックは、前記ブロックの3つの未使用の側面の内の任意の側面を用いて前記アームに取り付けられることができ、前記3つの未使用の側面は、前記プローブヘッドが取り付けられた前記取り付け側面ではない前記ブロックの任意の側面である、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態8]
形態5に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、X軸、Y軸、および、Z軸に沿った横移動、ならびに、Z軸に関する回転のための調整メカニズムを含む4つの調整メカニズムを備え、前記X軸、前記Y軸、および、前記Z軸は、互いに直交する、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態9]
形態8に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記Y軸に関して傾斜可能である、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態10]
形態1に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、ロックメカニズムおよびレバーを用いて、レールベースのシステムに取り付けられることができる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態11]
半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
複数の調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
第1端および第2端を有するアームであって、前記第1端は、前記切り替え可能磁気スラブに取り付けられ、前記第2端は、前記ブロックに取り付けられている、アームと、
金属プラテンであって、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場を用いて、前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドが、前記金属プラテンに取り付けられることができる、金属プラテンと、
を備える、プロービングアセンブリ。
[形態12]
形態11に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場の強度を調整するためのスイッチを備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態13]
形態12に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、より強い磁場が、よりしっかりと、前記磁気スラブ、前記アーム、および、前記プローブヘッドを前記金属プラテンに取り付ける、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
[形態14]
形態11に記載のプロービングアセンブリであって、前記複数の調整メカニズムは、X軸、Y軸、および、Z軸に沿った横移動、ならびに、Z軸に関する回転のための調整メカニズムを含む4つの調整メカニズムを含み、前記X軸、前記Y軸、および、前記Z軸は、互いに直交する、プロービングアセンブリ。
[形態15]
形態14に記載のプロービングアセンブリであって、前記4つの調整メカニズムは、手動で調整可能なノブである、プロービングアセンブリ。
[形態16]
形態15に記載のプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記Y軸に関して傾斜可能である、プロービングアセンブリ。
[形態17]
半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
4つの調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記ウエハのX-Y平面に垂直な前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
前記切り替え可能磁気スラブおよび前記ブロックを接続するアームと、
を備える、プロービングアセンブリ。
[形態18]
形態17に記載のプロービングアセンブリであって、さらに、金属プラテンを備え、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場の強度を制御する、プロービングアセンブリ。
[形態19]
形態17に記載のプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの第1側面に取り付けられ、前記ブロックは、前記ブロックの第1、第2、または、第3側面のいずれでも、前記アームに取り付けられることができる、プロービングアセンブリ。
[形態20]
形態17に記載のプロービングアセンブリであって、前記傾斜制御メカニズムは、前記プローブヘッドを傾斜させるために、ネジによって制御される可動部分を備える、プロービングアセンブリ。
Claims (18)
- 半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのユニバーサルプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
複数の調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記半導体ウエハのX-Y平面に垂直な前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、ダブテール受けを介して前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
第1端および第2端を有するアームであって、前記第1端は、前記切り替え可能磁気スラブに取り付けられ、前記第2端は、前記ブロックに取り付けられている、アームと、
を備え、
前記ブロックは、直方体状の外観形状を有し、
前記ブロックは、前記ブロックの3つの未使用の側面の内の任意の側面を用いて前記アームに取り付けられることができ、前記3つの未使用の側面は、前記プローブヘッドが前記ダブテール受けを介して取り付けられた取り付け側面ではない前記ブロックの任意の側面である、ユニバーサルプロービングアセンブリ。 - 請求項1に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、さらに、金属プラテンを備え、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場を増大させることにより、前記金属プラテンへの前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドの取り付けを可能にする、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
- 請求項2に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の前記磁場を低減させることにより、前記金属プラテンからの前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドの解放を可能にする、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
- 請求項1に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記傾斜制御メカニズムは、前記プローブヘッドを傾斜させるために、ネジによって制御される可動部分を備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
- 請求項4に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの前記取り付け側面上のダブテール受けに取り付けられ、ダブテール受けは、前記可動部分によって傾斜されることができる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
- 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、X軸、Y軸、および、Z軸に沿った横移動、ならびに、Z軸に関する回転のための調整メカニズムを含む4つの調整メカニズムを備え、前記X軸、前記Y軸、および、前記Z軸は、互いに直交する、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
- 請求項6に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記Y軸に関して傾斜可能である、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
- 請求項1に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、ロックメカニズムおよびレバーを用いて、レールベースのシステムに取り付けられることができる、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
- 半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
複数の調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、ダブテール受けを介して前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
第1端および第2端を有するアームであって、前記第1端は、前記切り替え可能磁気スラブに取り付けられ、前記第2端は、前記ブロックに取り付けられている、アームと、
金属プラテンであって、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場を用いて、前記アーム、前記ブロック、および、前記プローブヘッドが、前記金属プラテンに取り付けられることができる、金属プラテンと、
を備え、
前記ブロックは、直方体状の外観形状を有し、
前記ブロックは、前記ブロックの3つの未使用の側面の内の任意の側面を用いて前記アームに取り付けられることができ、前記3つの未使用の側面は、前記プローブヘッドが前記ダブテール受けを介して取り付けられた取り付け側面ではない前記ブロックの任意の側面である、プロービングアセンブリ。 - 請求項9に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場の強度を調整するためのスイッチを備える、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
- 請求項10に記載のユニバーサルプロービングアセンブリであって、強い磁場に調整した場合に、弱い磁場に調整した場合に比べて、よりしっかりと、前記切り替え可能磁気スラブ、前記アーム、および、前記プローブヘッドを前記金属プラテンに取り付ける、ユニバーサルプロービングアセンブリ。
- 請求項9に記載のプロービングアセンブリであって、前記複数の調整メカニズムは、X軸、Y軸、および、Z軸に沿った横移動、ならびに、Z軸に関する回転のための調整メカニズムを含む4つの調整メカニズムを含み、前記X軸、前記Y軸、および、前記Z軸は、互いに直交する、プロービングアセンブリ。
- 請求項12に記載のプロービングアセンブリであって、前記4つの調整メカニズムは、手動で調整可能なノブである、プロービングアセンブリ。
- 請求項13に記載のプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記Y軸に関して傾斜可能である、プロービングアセンブリ。
- 半導体ウエハ上のデバイスのパラメトリックおよび信頼性テストのためのプロービングアセンブリであって、
切り替え可能磁気スラブと、
4つの調整メカニズムを備えたプローブヘッドと、
前記半導体ウエハのX-Y平面に垂直な前記プローブヘッドの傾斜調整を可能にするための傾斜制御メカニズムを備えたブロックであって、前記プローブヘッドは、ダブテール受けを介して前記ブロックに取り付けられている、ブロックと、
前記切り替え可能磁気スラブおよび前記ブロックを接続するアームと、
を備え、
前記ブロックは、直方体状の外観形状を有し、
前記ブロックは、前記ブロックの3つの未使用の側面の内の任意の側面を用いて前記アームに取り付けられることができ、前記3つの未使用の側面は、前記プローブヘッドが前記ダブテール受けを介して取り付けられた取り付け側面ではない前記ブロックの任意の側面である、プロービングアセンブリ。 - 請求項15に記載のプロービングアセンブリであって、さらに、金属プラテンを備え、前記切り替え可能磁気スラブは、前記切り替え可能磁気スラブと前記金属プラテンとの間の磁場の強度を制御する、プロービングアセンブリ。
- 請求項15に記載のプロービングアセンブリであって、前記プローブヘッドは、前記ブロックの第4側面に取り付けられ、前記ブロックは、前記ブロックの第1、第2、または、第3側面のいずれでも、前記アームに取り付けられることができる、プロービングアセンブリ。
- 請求項15に記載のプロービングアセンブリであって、前記傾斜制御メカニズムは、前記プローブヘッドを傾斜させるために、ネジによって制御される可動部分を備える、プロービングアセンブリ。
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