JP4786884B2 - 液晶パネル点灯検査装置のアライメント方法 - Google Patents
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Description
12 第1のプローブベース(ゲート側プローブベース)
14 第2のプローブベース(データ側プローブベース)
16 ゲート側プローブユニット
18 ゲート側プローブブロック
20 ゲート側プローブ(第1のプローブ群)
22 データ側プローブユニット
24 データ側プローブブロック
26 データ側プローブ(第2のプローブ群)
28 第1の辺
30 第2の辺
32 第1カメラ
34 第2カメラ
36 第3カメラ
38 プローブステージ
40 検査ステージ
42 X駆動台
44 Y駆動台
46 Z駆動台
48 θ回転台
50 第1原点マーク
52 第2原点マーク
54 ゲート電極(第1の電極群)
56 第1アライメントマーク
58 第2アライメントマーク
60 データ電極(第2の電極群)
62 第3アライメントマーク
64 第3原点マーク
Claims (1)
- 次の段階を備える液晶パネル点灯検査装置のアライメント方法。
(ア)矩形の液晶パネルであって,前記矩形の第1の辺に沿って互いに間隔をあけて形成された第1アライメントマーク及び第2アライメントマークと,前記第1の辺に垂直な第2の辺に沿って互いに間隔をあけて形成された前記第1アライメントマーク及び第3アライメントマークと,前記第1の辺に沿って並べて形成された複数の電極からなる第1の電極群と,前記第2の辺に沿って並べて形成された複数の電極からなる第2の電極群とを備えた液晶パネルを準備するパネル準備段階。
(イ)次の(a)乃至(c)を備える液晶パネル点灯検査装置を準備する検査装置準備段階。
(a)前記液晶パネルを保持することができて前記液晶パネルの背面に光を当てることができる検査ステージ。
(b)前記第1の電極群に接触可能な第1のプローブ群,前記第2の電極群に接触可能な第2のプローブ群,並びに,前記第1アライメントマーク,前記第2アライメントマーク及び前記第3アライメントマークをそれぞれ観察可能な第1カメラ,第2カメラ及び第3カメラを備えるプローブステージ。
(c)前記検査ステージを前記プローブステージに対してX方向及びこれに垂直なY方向に移動させることができてかつXY平面に垂直なZ軸の周りに回転させることができる駆動機構。
(ウ)1枚目の前記液晶パネルを,前記第1の辺が前記Y方向に平行になるように,そして,前記第2の辺が前記X方向に平行になるように,前記検査ステージにセットする第1のパネルセット段階。
(エ)前記プローブステージに対して前記検査ステージを前記X方向及び前記Y方向に相対的に動かすとともに前記Z軸の周りに回転させて,第1カメラ,第2カメラ及び第3カメラを用いて前記第1アライメントマーク,前記第2アライメントマーク及び前記第3アライメントマークを観察し,前記第1の電極群及び前記第2の電極群に対して前記第1のプローブ群及び前記第2のプローブ群が正しく位置決めされていることを確認した状態で,前記第1カメラの基準点に対する前記第1アライメントマークのXY座標を第1の標準座標(x1a,y1a)として記憶し,前記第2カメラの基準点に対する前記第2アライメントマークのXY座標を第2の標準座標(x2a,y2a)として記憶し,前記第3カメラの基準点に対する前記第3アライメントマークのXY座標を第3の標準座標(x3a,y3a)としてその少なくともX座標(x3a)を記憶する標準座標記憶段階。
(オ)前記1枚目の液晶パネルを前記検査ステージから取り外して,前記1枚目の液晶パネルと同一仕様の2枚目の前記液晶パネルを,前記第1の辺が前記Y方向に平行になるように,そして,前記第2の辺が前記X方向に平行になるように,前記検査ステージにセットする第2のパネルセット段階。
(カ)前記プローブステージに対して前記検査ステージを前記X方向及び前記Y方向に相対的に動かすとともに前記Z軸の周りに回転させて,前記第1カメラと前記第2カメラを用いて前記第1アライメントマークと前記第2アライメントマークを観察し,前記第1アライメントマークのXY座標及び前記第2アライメントマークのXY座標が,それぞれ,前記第1の標準座標(x1a,y1a)及び前記第2の標準座標(x2a,y2a)に最も近づくように,前記2枚目の液晶パネルを位置決めする仮の位置決め段階。
(キ)前記仮の位置決め段階が完了してから,前記第3カメラを用いて前記2枚目の液晶パネルの前記第3アライメントマークを観察して,前記第3カメラの前記基準点に対する前記第3アライメントマークのX座標を仮座標(x3b)として記憶する仮座標記憶段階。
(ク)前記第3の標準座標のX座標(x3a)に対する前記仮座標(x3b)の偏差(Δx)を算出する偏差算出段階。
(ケ)前記検査ステージを,前記X方向において前記偏差(Δx)とは逆方向に前記偏差(Δx)の2分の1だけシフトして,前記2枚目の液晶パネルを位置決めする最終の位置決め段階。
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