TWI344437B - - Google Patents

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TWI344437B TW095100659A TW95100659A TWI344437B TW I344437 B TWI344437 B TW I344437B TW 095100659 A TW095100659 A TW 095100659A TW 95100659 A TW95100659 A TW 95100659A TW I344437 B TWI344437 B TW I344437B
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Description

1344437 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術頜域】 本發明爲高架行走車系統,特別有關於提高物品的保 持能力。 【先前技術】 本發明申請人業已揭示一種:在高架行走車系統的裝 載埠與裝載埠之間設置緩衝區,而暫時保管物品的技術( 請參考專利文獻1 )。緩衝區是譬如從高架行走車的行走 軌道垂下而形成支承。在此之後,本案的發明人更著眼於 :僅利用裝載埠與裝載埠之間的緩衝區,高架行走車系統 中之物品的暫時保管能力仍然不足的問題,而硏發出本發 明。 〔專利文獻1〕 日本第3 06 76 5 6號發明專利 【發明內容】 - 〔發明欲解決之課題〕 ; 本發明的基本課題在於:利用頂棚空間,可保管更多 • 的物品。申請專利範圍第2項之發明所追加的課題,是不 會對與裝載埠之間的物品收授產生妨礙地保管物品》申請 專利範圍第3項之發明所追加的課題,是當欲卸載的裝f': 埠形成阻塞時,可快速地對高架行走車分派下一個指令. 並當裝載埠無收納物品時,可快速地朝裝載埠卸載物品。 -4- (3) 1344437 , 管物品。 • 在申請專利範圍第3項的發明中,當發生裝載埠阻塞 . 而無法卸載物品時,是暫時放置在其上游側的第1物品載 ' 置台,並將可搬送物品的高架行走車從搬送作業中解放。 接著當該裝載埠可卸載時,可利用後續的高架行走車將暫 時放置的物品搬送至裝載埠。如此一來可有效率地運用高 架行走車系統。 【實施方式】 〔實施型態〕 以下是顯示甬來實施本發明的最佳實施例》 〔實施例〕 第1〜4圖是顯示各實施例。在各實施例中,共通的符 號是表示相同的物品。在第1、2圖的高架行走車系統2 φ 中,4是設在無塵室等之頂棚部附近的行走軌道,在其下 方設置下部緩衝區6,並在其側邊設置側緩衝區8,而7、 • 9爲上述緩衝區的支柱。10爲高架行走車16所搬送的物 品,譬如是收容半導體基板的匣’ 12爲半導體之類的處理 • 裝置,14爲其裝載埠。 在高架行走車16設置行走部18’使其在行走軌道4 內行走’利用受電通訊部2 0而譬如以非接觸供電的方式 接受來自於行走軌道4側的供電’並利用行走軌道4的供 電線執行通訊。22爲本體框,24爲橫送部,26爲0驅動 -6 - (4) (4)1344437 裝置,28爲升降驅動部’ 30爲升降台。橫送部24可將包 括0驅動裝置2 6〜升降台3 〇 ’朝與行走軌道4之行走方向 垂直的方向形成橫送。β驅動裝置2 6,可使升降驅動部 28或升降台30在水平面內的特定範圍內轉動。升降驅動 部2 8,是利用鋼索或線繩、皮帶等懸吊材的捲收/釋放而 使升降台30形成升降。接著在升降台30設置夾頭’可自 由握持/釋放上述物品1 〇。 由橫送部24對升降驅動部2 8等形成橫送,藉由略使 升降台3 0形成升降,來收授與側緩衝區8之間的物品。 此外,藉由以升降驅動部28使升降台形成升降,來收授 與下部緩衝區6或裝載埠1 4之間的物品。橫送部24雖可 形成在行走軌道4之左右兩側橫送0驅動裝置26〜升降台 3 0 ’亦可僅單側橫送。β驅動裝置2 6是固定於設在緩衝 區0、8、裝載埠14的運動銷等,甩來整合物品10之姿勢 的裝置’不設置亦無妨。33爲防落罩體,譬如再高架行走 車16之行走方向的前後設置一對,使圖面中未顯示的爪 形成出沒’防止物品在搬送中落下。高架行走車16是行 走於沿著行走軌道4的方向,譬如再前方的防落罩體設置 先導入物感應器34、3 5,並由先導入物感應器3 4偵測側 緩衝區8上是否有先導入物,由先導入物感應器3 5偵測 裝載璋1 4上的物品或下部緩衝區6上的物品。亦可不設 置先導入物感應器3 4、3 5。 3 1是無塵室的頂棚空間,3 2爲地面空間,是指頂棚 空間3 1下方的空間。下部緩衝區6或側緩衝區8是用來 (5) (5)1344437 載置物品的平台’亦可設置兩來讀取物品1〇之ID ( I d e n t i f i c a 11 ο η ;識別證)的I D讀取器、或有助於利用先 導入物感應器3 4、3 5偵測是否有先導入物的彩色標誌。 除此之外,亦可設置與高架行走車16通訊的通訊部、_ 用來記憶是否有暫時保管物品及保管物品之I D的記憶部 。下部緩衝區6的高度,最好在保管物品1 〇的頂面不會 干涉到高架行走車1 6之行走的範圍內儘可能地高。側緩 衝區8的闻度,最好是使保管物品的高度略低於利用高架 行走車1 6形成搬送中的物品高度,譬如3〜3 0 m m的程度 。此外,下部緩衝區6是配置成避開裝載埠14的上部, 當收授裝載埠1 4與高架行走車丨6間的物品時,不會形成 干涉。 第2圖中,顯示高架行走車1 6與側緩衝區8間之物 品1〇的收授。在該圖中,是顯示卸下行走方向前後防落 罩體,而可看見橫送部24的構造。36是滾珠螺桿,37是 滾珠螺桿驅動部,38爲連續皮帶(endless belt),皮帶38 是被固定體40固定於本體框22內,並利用固定部42固 定於0驅動裝置26。此外,皮帶38的滑輪是安裝於框體 44,框體44是利用滾珠螺桿3 6形成水平移動。如此一來 ,當驅動滾珠螺桿36而使框體44形成橫移時,利用其2 倍的行程使固定部42被橫送,當物品1 〇位於本體框22 的下部時,可在與側緩衝區8的上部位置之間形成橫向移 動。而與側緩衝區8間之物品1 〇的收授,利用升降驅動 部2 8使升降台3 0形成升降即可。橫送機構亦可採用其他 -8- (6) (6)1344437 的機構來達成,橫送機構本身並無特殊的限制。 第3圖是顯示設置旁通(by pass)用行走軌道46的實施 例。行走於行走軌道4 6的高架行走車4 8,可收授與右側 之側緩衝區8間的物品,除此之外,亦可收授與行走軌道 4 6下方之下部緩衝區6 a間的物品。高架行走車1 6可收授 左側之側緩衝區、下部緩衝區6 a及裝載埠1 4之間的物品 。除了這點以外,高架行走車48與高架行走車16相同。 在第3圖的實施例中,高架行走車16是執行裝載埠14與 側緩衝區8間之物品的收授,高架行走車4 8則執行側緩 衝區8與圖面中未顯示之搬送起點或搬送目的間之物品的 收授。如此一來,高架行走車4 8可在不清楚裝載ί阜1 4之 狀態的情況下搬送物品,高架行走車1 6可一邊利用側緩 衝區8或下部緩衝區6b,並在與裝載埠14之間收授由高 架行走車4 8所搬送的物品3此外,高架行走車1 6本身, 也能用於圈際迴圈搬送與圏內迴圈搬送。而行走軌道亦可 平行設置3個車線以上。 第4圖’是顯示將作爲主線的行走軌道4 '及作爲旁 通線的行走軌道46配置成平行之高架行走車系統的實施 例。該實施例,是圖面中未顯示之高架行走車可相對於行 走軌道左右兩側來橫送物品的實施例。5 0、5 1是新的側緩 衝區’在行走軌道4、4 6之間有著上述的側緩衝區8。此 外’在行走軌道4、46之下方的頂棚空間,具有上述的下 部緩衝區6 ’下部緩衝區6 c,是作爲當物品無法卸載於處 理裝置12a之裝載埠14時的緩衝區使用。同樣地,下部 (7) (7)1344437 緩衝區6 d ,是作爲當物品無法卸載於處理裝置丨2 b之裝載 埠時的緩衝區使用。當物品無法卸載至裝載埠1 4時除 了上述樣態之外亦採用面向裝載埠! 4的側緩衝區。而圖 面中的箭號’爲局架行走車的行走方向,行走軌道4、46 是由捷徑49形成連接。 52a〜52d是用來將緩衝區6、8、50、51'或裝載纟阜14 的狀態送出至高架行走車的送出部。在送出部52a〜52d譬 如 s又有 RFID ( Radio Frequency Identification :無線射頻 識別系統),並在咼架行走車設置RFID讀取器來讀取 RFID資料。此外,從送出部52a〜52d,送出關於裝載捧 14或緩衝區6、8、50、51之移載用的停止位置或橫送距 離、升降距離、0驅動裝置的轉動角等的停止資料。再者 ’在送出部52a〜52d ’可對高架行走車送出資料,並可採 兩任意的通訊手段。不僅如此,在實施例中,處理裝置 12a ' 12b可將沿著行走軌道設置的供電線做爲[ΑΝ ( Local Area Network:區域網路),而用來執行與高架行 走車系統的通訊,將裝載埠1 4的狀態或裝載埠上的物品 ID等輸出至LAN。各送出部52a~52d所涵蓋的範圍,是 從其位置起至下游側之下一個送出部的上游爲止的緩衝區 或裝載埠。 控制器54可管理高架行走車系統’並從圖面中未顯 示的生產控制器側輸入各裝載埠的狀態。亦可接收由處理 裝置12a、12b輸出至沿著行走軌道4設置之LAN的裝載 埠狀態資料來取而代之。記億部5 6可記億緩衝區6、8 i -10- (8) (8)1344437 5 Ο、5 1或裝載埠1 4的狀態,該資料爲:各緩衝區或裝載 埠的空間/儲存狀態、及當有儲存時之物品I D與搬送目的 等資料。接著,利用從記憶部56朝送出部52a〜5 2d的資 料寫入訊號S1〜S4,朝送出部52 a〜5 2d寫入有關緩衝區或 裝載埠的資料。而關於裝載埠1 4的資料,亦可直接從處 理裝置12a、12b側寫入、或亦可不寫入送出部52a〜52d。 第4圖是顯示實施例的動作。行走於行走軌道4 6的 高架行走車,將物品暫時放置於下部緩衝區6或側緩衝區 8、51 ’或載入暫存的物品並朝下一個搬送對向搬送。行 走於行走軌道4的高架行走車,利用下部緩衝區6或側緩 衝區5、8 ’執行物品的收授或搬送。對裝載埠1 4或緩衝 區5、8、50、5 1的停止資料,可利用送出部52a~52d讀 取’並可由送出部52a〜52d判斷上述裝載埠或緩衝區是否 有物品。由於停止資料變得簡單,可在朝裝載埠1 4的停 止資料中加入特定的修正値,而停止於面向裝載f阜14的 側緩衝區。接著將修正資料寫入上述的送出部5 2 a〜5 2 d。 不僅如此’在處理裝置12a之裝載埠14阻塞的場合中, 高架行走車可藉由送出部52a得知上述狀況,而卸載至下 部緩衝區6c。同樣地’在處理裝置i2b之裝載埠14阻塞 的場合中’高架行走車可將物品卸載至下部緩衝區6cl。 行走於行走軌道4' 46的高架行走車,可由送出部 52a〜52d讀取特定卸載對象的狀態,在無法卸載於搬送指 令中之卸載對象的場合中,譬如可將該狀況發送至控制器 54並由控制器54指定替代的卸載對象。由於控制器54 -11 - (9) (9)1344437 可從記憶部5 6得知各緩衝區或裝載瑋的狀態,故可指定 替代的緩衝區。特別是當採用處理裝置1 2a上游側的下部 緩衝區6a、或處理裝置1 2b上游側的下部緩衝區6d時, 可暫時放置搬運來的物品,並可從控制器5 4分配新的搬 送指令,將阻塞裝載埠1 4的物品朝指定的搬送對象搬送 。暫時放置於下部緩衝區6c ' 6d的物品,可等待搬送對 象的裝載埠空出後,由後續的高架行走車進行搬送。雖然 可將側緩衝區8做爲暫時放置的對象使用,但倘若使用下 部緩衝區6c、6d時,能僅靠升降台的升降動作執行暫時 放置。相對於此,側緩衝區8在利用橫送部橫向移動升降 驅動部等之後,必須使升降台形成升降’暫時放置所需的 時間較長。 在實施例中,是由送出部52a~52d對高架行走車通知 各緩衝區或裝載埠的狀態。但高架行走車亦可由先導入物 感應器得知緩衝區或裝載埠的狀態,來取代上述的方式。 亦可不設置上述的感應器,在搬送對象的裝載埠的上部確 認出該裝載埠阻塞後,朝後方形成逆向行走,執行朝下部 緩衝區6c、6d的暫時放置》 根據實施例可獲得以下的效果。 (1 )由於可在行走軌道4、46的下方及側邊設置緩 衝區6、8等,故可提高物品的保管能力。 (2)當保管能力提昇時,可不需要暫時保管物品的 儲藏裝置、或減少該儲藏裝置的數量。此外,針對搬送指 令的分配,即使搬送對象的裝載埠阻塞,由於可利用其周 -12- (10) (10)1344437 圍的緩衝區,故可忽略裝載埠的狀態而下達搬送指令。此 外’可藉由將欲搬入裝載埠的物品儲存於周圍的緩衝區, 而提高搬送效率。藉此’可經由圈際路線,使裝載埠與裝 載埠之間的直接長距離搬送變得容易。 (3) 當設置旁通用的行走軌道46,並在行走軌道4 與行走軌道4 6之間設置共用的側緩衝區8時,可有效率 地搬送物品。 (4) 當搬送對象形成阻塞時,可暫時放置於其上游 側的下部緩衝區6 c ' 6 d ’並將形成阻塞之裝載埠上的物品 朝下一個搬送對象搬送。 (5) 當設置送出部52 a〜52d時,高架行走車可輕易 地得知各緩衝區或裝載埠的停止資料、或緩衝區的狀態等 〇 【圖式簡單說明】 第1圖:實施例之高架行走車系統的重要部分前視圖 〇 第2圖:爲顯示實施例中,高架行走車在與側緩衝區 間收授物品之姿態的正視圖,在圖面中是卸下高架行走車 的防落罩體。 第3圖:爲顯示並列設置高架行走車之行走軌道的實 施例的圖。 第4圖:是顯示實施例中行走軌道、下部緩衝區及側 緩衝區之配置的俯視圖。 -13- (11) (11)1344437 【主要元件符號說明】 2 :高架行走車系統 4 :行走軌道 6 :下部緩衝區 7 ' 9 :支柱 8 :側緩衝區 1 0 .物品 12 :處理裝置 1 4 :裝載璋 1 6 :高架行走車 1 8 :行走部 20 :受電通訊部 22 :本體框 24 :橫送部 2 6 : β驅動裝置 2 8 :升降驅動部 30 :升降台 3 1 :頂棚空間 3 2 :地面空間 3 3 :防落罩體 34、35:先導入物感應器 36 :滾珠螺桿 3 7 :滾珠螺桿驅動部 -14 (12)1344437 38 : 40、 44 : 46 : 48 : 49 : 50、
52a 54 : 皮帶 4 2 :固定部 框體 行走軌道 高架行走車 捷徑 5 1 :側緩衝區 d :送出部 控制器 5 6 :記憶部

Claims (1)

1344437 十、申請專利範圍 第9 5 1 00659號專利申請案 中文申請專利範圍修正本
1· 一種高架行走車系統,是將高架行走車的行走軌 道設於頂棚空間,並在較頂棚空間更下方的地面空間設置 處理裝置的裝載埠,而收授在高架行走車之升降台所保持 的物品的高架行走車系統,其特徵爲: 將行走軌道之下方的第1物品載置台、及行走軌道側 邊的第2物品載置台設於上述頂棚空間。 2 .如申請專利範圍第1項所記載的高架行走車系統 ’其中第1物品載置台是設在未設置裝載埠的區間。
3-如申請專利範圍第2項所記載的高架行走車系統 ’其中設有用來控制後續高架行走車的手段,用以實施: 將無法卸載至裝載埠的物品,暫時放置於該裝載埠之上游 側的第1物品載置台,並記憶該暫時放置的位置,且當該 裝載埠可卸載時,從上述第1物品載置台將物品朝上述裝 載纟阜搬送。
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Families Citing this family (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7578650B2 (en) * 2004-07-29 2009-08-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Quick swap load port
JP4296601B2 (ja) * 2005-01-20 2009-07-15 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP4720267B2 (ja) * 2005-04-14 2011-07-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4264834B2 (ja) * 2005-07-04 2009-05-20 村田機械株式会社 有軌道台車システム
JP4632091B2 (ja) * 2005-08-30 2011-02-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP2007331906A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4858018B2 (ja) * 2006-09-01 2012-01-18 ムラテックオートメーション株式会社 被搬送物保管システム
JP5041207B2 (ja) * 2006-11-14 2012-10-03 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4277287B2 (ja) * 2006-11-27 2009-06-10 村田機械株式会社 天井走行車
JP4688824B2 (ja) * 2007-01-12 2011-05-25 村田機械株式会社 天井走行車システム及び天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法
JP4378655B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品処理設備
JP4389181B2 (ja) 2007-03-07 2009-12-24 株式会社ダイフク 物品処理設備
JP4366663B2 (ja) * 2007-06-28 2009-11-18 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP2009018877A (ja) * 2007-07-10 2009-01-29 Asyst Technologies Japan Inc 搬送装置
JP5266680B2 (ja) 2007-07-23 2013-08-21 村田機械株式会社 搬送装置、搬送システム及び伸長機構
DE102007035839B4 (de) * 2007-07-31 2017-06-22 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen
JP5266683B2 (ja) * 2007-08-03 2013-08-21 村田機械株式会社 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法
JP4543338B2 (ja) * 2007-11-13 2010-09-15 村田機械株式会社 天井走行車システムとそのバッファの施工方法
TW201004853A (en) * 2008-07-25 2010-02-01 Inotera Memories Inc Method for carrying wafer cassette and carrying system thereof
DE102008059711A1 (de) * 2008-11-29 2010-06-10 Eisenmann Anlagenbau Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Umsetzen von Gegenständen sowie Förderanlagen mit einer solchen Vorrichtung
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
JP4807424B2 (ja) * 2009-03-17 2011-11-02 村田機械株式会社 天井搬送システムと物品の移載方法
JP2011035022A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Murata Machinery Ltd 天井搬送車
TWI496732B (zh) * 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
JP5382341B2 (ja) * 2009-11-26 2014-01-08 村田機械株式会社 走行車システムと走行車への非接触給電方法
KR101359682B1 (ko) * 2010-04-02 2014-02-06 무라다기카이가부시끼가이샤 천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템
JP5024422B2 (ja) * 2010-05-06 2012-09-12 株式会社デンソー 搬送システム
EP2618214B1 (en) * 2010-09-13 2021-01-27 Murata Machinery, Ltd. Automated warehouse and article removal method
JP5273118B2 (ja) * 2010-10-04 2013-08-28 村田機械株式会社 搬送車及び搬送システム
JP5229363B2 (ja) 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
EP2636614A4 (en) 2010-11-04 2017-02-22 Murata Machinery, Ltd. Conveying system and conveying method
JP5750926B2 (ja) * 2011-02-15 2015-07-22 村田機械株式会社 天井搬送車
US9566193B2 (en) * 2011-02-25 2017-02-14 Curt G. Joa, Inc. Methods and apparatus for forming disposable products at high speeds with small machine footprint
JP5674041B2 (ja) * 2011-08-11 2015-02-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
TWI473194B (zh) * 2011-09-08 2015-02-11 Inotera Memories Inc 懸吊式晶圓傳輸系統
JP5527619B2 (ja) 2011-11-24 2014-06-18 株式会社ダイフク 天井設置型の物品搬送設備
KR101874320B1 (ko) * 2011-11-29 2018-07-05 삼성전자주식회사 호이스트 장치 및 이를 포함하는 호이스트 반송시스템
TWI447058B (zh) * 2011-11-30 2014-08-01 Inotera Memories Inc 天車輸送系統及其運轉方法
US9385019B2 (en) * 2012-06-21 2016-07-05 Globalfoundries Inc. Overhead substrate handling and storage system
US9881824B2 (en) * 2014-01-07 2018-01-30 Murata Machinery, Ltd. Transfer apparatus and control method thereof
US10479601B2 (en) * 2014-08-26 2019-11-19 Murata Machinery, Ltd. Sorting system and sorting method
KR102207870B1 (ko) * 2014-12-02 2021-01-26 세메스 주식회사 그립부 지지유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치
JP6168477B2 (ja) * 2015-03-31 2017-07-26 村田機械株式会社 走行台車システム及び走行台車の走行方法
KR102441186B1 (ko) * 2015-08-28 2022-09-08 삼성전자주식회사 기판 이송 장치
MX2018004439A (es) 2015-10-13 2018-07-06 Joa Curt G Inc Sistemas y metodos de ensamblaje de productos desechables.
NO342469B1 (en) 2016-02-01 2018-05-28 Autostore Tech As Cleaning bin for cleaning a storage grid of a storage system and method for the same
US10699928B2 (en) 2016-06-27 2020-06-30 Murata Machinery, Ltd. Transport system with crane
WO2018055883A1 (ja) * 2016-09-26 2018-03-29 村田機械株式会社 天井搬送システム、及び天井搬送車
CN107934330A (zh) * 2017-11-17 2018-04-20 苏州大成电子科技有限公司 一种悬吊式立体化仓库
US10418263B2 (en) * 2018-01-20 2019-09-17 Boris Kesil Overhead transportation system for transporting objects between multiple work stations
KR102166348B1 (ko) * 2018-10-05 2020-10-15 세메스 주식회사 이송 장치의 동작 제어 방법
JP7256360B2 (ja) * 2018-12-14 2023-04-12 シンフォニアテクノロジー株式会社 搬送異常検知システム
US11820593B2 (en) * 2019-03-22 2023-11-21 Murata Machinery Ltd. Transport vehicle system
US11912608B2 (en) 2019-10-01 2024-02-27 Owens-Brockway Glass Container Inc. Glass manufacturing
US11658053B2 (en) 2019-10-21 2023-05-23 Globalfoundries U.S. Inc. Conversion plate for reticle pod storage and a reticle pod storage system
KR102233475B1 (ko) * 2019-11-14 2021-03-26 시너스텍 주식회사 슬라이드 처짐 방지용 지그를 구비한 oht
KR102256132B1 (ko) * 2020-02-18 2021-05-25 (주)캔탑스 캐리어 내부의 오염 관리 기능을 갖는 자동 반송시스템
US11569108B2 (en) 2020-06-15 2023-01-31 Globalfoundries U.S. Inc. Reticle pod conversion plate for interfacing with a tool
KR102181492B1 (ko) * 2020-10-08 2020-11-23 세메스 주식회사 이송 장치의 동작 제어 방법

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6078532A (ja) 1983-10-05 1985-05-04 Toppan Printing Co Ltd カズノコの包装方法
US5564890A (en) * 1994-12-21 1996-10-15 Progressive Solutions, Inc. Product handling process
JP3577183B2 (ja) 1996-06-17 2004-10-13 花王株式会社 動脈硬化症予防・治療剤
JP3067682B2 (ja) * 1997-03-13 2000-07-17 村田機械株式会社 天井走行車システム
TW348162B (en) * 1996-09-30 1998-12-21 Murada Kikai Kk Work carrying system
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
JP3484104B2 (ja) * 1998-12-25 2004-01-06 平田機工株式会社 自動倉庫及び自動倉庫の管理方法
KR100729986B1 (ko) * 1999-12-20 2007-06-20 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 자동반송시스템
JP2002137137A (ja) * 2000-10-27 2002-05-14 Mori Seiki Co Ltd 工作機械及びそのパレット交換装置
JP2003188229A (ja) * 2001-12-18 2003-07-04 Hitachi Kasado Eng Co Ltd ウエハ製造システムおよびウエハ製造方法
JP2003233422A (ja) * 2002-02-06 2003-08-22 Mitsubishi Electric Corp 搬送システムおよびその制御方法
JP4220173B2 (ja) * 2002-03-26 2009-02-04 株式会社日立ハイテクノロジーズ 基板の搬送方法
TWI233913B (en) * 2002-06-06 2005-06-11 Murata Machinery Ltd Automated guided vehicle system
WO2004001582A1 (en) * 2002-06-19 2003-12-31 Brooks Automation, Inc. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
KR101544699B1 (ko) * 2002-10-11 2015-08-18 무라다기카이가부시끼가이샤 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP2004189361A (ja) * 2002-12-09 2004-07-08 Murata Mach Ltd 天井搬送車及びそのシステム
US6779760B2 (en) * 2002-12-19 2004-08-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Safety system for overhead transport vehicle
TWI246501B (en) * 2003-02-03 2006-01-01 Murata Machinery Ltd Overhead traveling carriage system
US6745102B1 (en) * 2003-04-10 2004-06-01 Powerchip Semiconductor Corp. Automatic transporting system and method for operating the same
JP3874192B2 (ja) * 2004-01-09 2007-01-31 村田機械株式会社 有軌道台車システム
JP4074999B2 (ja) * 2004-01-13 2008-04-16 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4337683B2 (ja) * 2004-08-16 2009-09-30 村田機械株式会社 搬送システム
JP4296601B2 (ja) * 2005-01-20 2009-07-15 村田機械株式会社 搬送台車システム

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