JP4220173B2 - 基板の搬送方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶基板または部品基板などの基板(以下、ウエハという。)を処理する装置間において、ウエハを一枚毎搬送(枚葉搬送)するのに好適な枚葉搬送方法及びその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ウエハを処理する装置間でウエハを枚葉搬送する従来技術として、例えば、野崎勝弘「特集 LSIラインの生産技術革命」、NIKKEI MICRODEVICES 1993年8月号、25-32頁に記載の技術が挙げられる。
この従来技術は、特につぎのようなことを開示している。
1.枚葉式処理装置やクラスタツールを効率的に利用できる自動化ライン。
2.ベイ内搬送を枚葉化して多品種変量生産を可能にする生産ラインの構想。
3.枚葉搬送で品種や生産量を可変にできる。
4.枚葉処理装置との組合わせでウエハの仕掛り枚数を削減できる。
5.ベイ間はロット搬送を使用する。
6.量産開始時点では1台のクラスタツールに異なるプロセス処理チャンバをつなぐ。
装置台数が少なければ生産能力も低く抑えられる。単独のクラスタツールでも同一の処理チャンバを複数接続したり、複数のプロセスの処理ができるモジュールを付加して処理能力をアナログ的に増やしていく。
【0003】
さらに、次のことが図示されている。
平面形状が変形U字形のウエハ搬送システムの両サイドにマルチプロセス装置が複数台配置され、ベイが構成されている。つまり、ベイ内のU字形のウエハ搬送システムの二列の平行搬送ラインにそれぞれ沿ってマルチプロセス装置が複数台配置されている。ウエハ搬送システムには数ヶ所、ロボットを持ったシャトルが設けられている。この搬送ラインとそれぞれの処理装置の間にはI/Oが設けられている。また、このようなベイ間でのウエハの搬送にはロット搬送システムが採用されている。
【0004】
図1に第2の従来技術を示す。図2は、半導体産業新聞2001年12月5日に掲載されたものである。これは、ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductors)が示したウエハ枚葉生産システムのモジュールオートメーション例である。工程間は、FOUPを採用した25枚単位搬送で、工程内をウエハ枚葉単位でダイレクト搬送している。図の黒い丸がウエハを表しており、プロセス装置内やプロセス装置間をウエハ単位で処理や搬送が行われる。このシステムによれば、ウエハ枚葉単位での処理やダイレクト搬送により、従来のFOUP搬送による25枚までのウエハの待ち時間がゼロとなり、FOUPオープナーやEFEMといった付属装置が不要となる。
尚、このような事例は、例えば、林 武秀、「システムLSI製造は”俊敏さ“が命 枚葉生産・搬送でTATを大幅短縮」、Electronic Journal 2002年2月号、PP95〜99にも同様に開示されている。
【0005】
図2に第3の従来技術例を示す。図2で、被処理基板に対してレジスト塗布および露光後の現像を行うとともに、現像後の被処理基板をエッチングするための一連の処理を行う複数の処理ユニットを搬送路の両側に配置した処理部と、搬送路に沿って移動し、各処理ユニットとの間で基板の受渡しを行う主搬送装置と、主搬送装置に対して被処理基板を受渡しする搬送機構を有する搬入出部とを備え、これが処理部の各処理ユニットおよび搬送路ならびに搬入出部が一体的に設けられている。
【0006】
図3に第4の従来技術例を示す。図3で、例えば液晶ディスプレイ(Liquid Crystal Display : LCD)に使われるTFTアレイが形成されるガラス基板を搬送する搬送装置が走行する搬送路に沿って、ガラス基板の一のレイヤを形成するためのエッチング装置、第1の検査装置、レジスト剥離装置、基板待機用のバッファ、洗浄装置、成膜装置、第2の検査装置を配置し、搬送路の一端に基板搬入部を配置し、搬送路の他端に基板搬出部には、カセットを多段に収容し、かつ搬送装置が各カセットに対してアクセス可能となるように棚が昇降する昇降機構を設けた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来技術では、ベイの構成はそれぞれ異なるものの、ウエハ、ウエハ、被処理基板、ガラス基板をそれぞれのベイ内で搬送するためのウエハ搬送システム、ウエハ枚葉ダイレクト搬送システム、搬送路が、いずれの場合でも共通して単一体であるため、依然として次のような解決しなければならない課題を有している。
1.ベイ内でのウエハの搬送及びウエハの搬送手段と各処理装置とのウエハの取合いが、各処理装置でのウエハの処理時間(並びに処理装置内でのウエハ搬送時間)の中で最も長い時間に律速される。このため、ベイ内でのウエハの搬送及び各処理装置とのウエハの取合いに待ち時間が生じ、ベイ内でのスループットが低下する。このようなことは、上記従来技術例の、特に図1から図3に示した第2から第4の従来技術例のように、各処理装置ごとでウエハの処理が異なる場合においては顕著に生じる。
2.例えば、2個のFOUP内のウエハの処理内容が、FOUPごとに異なっている場合、例えば、一方のFOUP内のウエハがプラズマエッチング処理、他方のFOUP内のウエハがプラズマCVD処理のように異なっている場合、それらの処理に処理時間の長短が存在する。このため、ベイ内でのウエハの搬送、及びウエハの搬送手段と各処理装置とのウエハの取合いが処理時間の長い、この場合、プラズマCVD処理に律速される。このため、ベイ内でのウエハ、特にプラズマエッチング処理されるウエハの搬送及び各エッチング装置とのウエハの取合いに待ち時間が生じ、ベイ内でのスループットが低下する。
3.ベイ内での各処理装置でのウエハの処理が同一(例えば、処理内容、条件等)であったとしても、ベイ内搬送手段でのウエハの搬送時間と、各処理装置での処理時間+処理装置内でのウエハの搬送時間とが異なるため、ベイ内搬送手段と各処理装置とのウエハの取合い、及びベイ内でのウエハの搬送に混乱が生じる危険性があり、これによってベイ内でのスループットの低下が懸念される。
4.処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとがベイ内搬送ラインに混在する場合、処理時間が短いウエハはその処理が終了しても、搬送ラインでその前にある処理時間が長いウエハの処理が終っていないために、処理装置から搬送ラインへ、そして、搬送ラインでの次の処理装置への搬送が出来ない。つまり、待ち時間が生じることになる。このような従来技術では、処理時間の短いウエハと処理時間の長いウエハとの搬送ラインの使い分けをするといった認識がない。従って、このような従来技術では、搬送時間は処理時間の長い方に律速されることになる。そのため処理時間も遅くなり、全体のスピードが低下する、ひいてはベイ全体のスループットが低下する。
5.多品種少量生産の場合、一つのウエハ搬送ラインで特急を要するウエハがきた場合、その前に通常の処理のウエハを有するロボットを持ったシャトルがあると、これが邪魔になり指定された装置に直ちに移動できない。このため特急を要するウエハにとって待ち時間が生じる。このため結果として、このウエハの処理に時間がかかり多品種少量生産に対応できずスループットが低下する。
6.ウエハ搬送ラインのロボットを持っているシャトルが、例えば、一つ故障するとベイ内の搬送ラインがストップし、ウエハをマルチプロセス装置に運ぶことが出来なくなる。そのためウエハをマルチプロセス装置で処理することが出来ず、ベイ内の各ウエハの処理がストップする。また、このベイ内の搬送ライン、各マルチプロセス装置のストップにより、このベイから他のベイへのウエハの搬送が出来なくなり、この他のベイでのウエハ処理もストップする。ひいては関連するベイでのウエハ処理が全てストップする。
本発明は、上記の問題点を解決し、次のような目的を達成しようとするものである。
【0008】
本発明の第一の目的は、ベイ内での各処理装置ごとにウエハの処理が異なる場合でも、ベイ内でのウエハの搬送、及びウエハ搬送手段と各処理装置とのウエハの取合いが、これに律速されるのを防止でき、これによってスループットの低下を防ぐことができる枚葉搬送方法及びその装置を提供することにある。
また、本発明の第二の目的は、ウエハの処理内容が、ウエハを保持する手段ごとに異なっている場合でも、ベイ内でのウエハの搬送、及びウエハ搬送手段と各処理装置とのウエハの取合いが、これに律速されるのを防止でき、これによってスループットの低下を防ぐことができる枚葉搬送手段及びその装置を提供することにある。
また、本発明の第三の目的は、ベイ内でのウエハの処理が同一の場合に生じる危険性があるベイ内搬送手段と各処理装置とのウエハの取合い、及びベイ内でのウエハの搬送の混乱を防止でき、これによってベイ内でのスループットの低下を防ぐことができる枚葉搬送方法及びその装置を提供することにある。
【0009】
本発明の第四の目的は、処理時間の違うウエハが混在した場合でも、処理時間の短いウエハと処理時間の長いウエハとの使い分けができ、スループットの低下を防ぐ枚葉搬送方法及びその装置を提供することにある。
また、本発明の第五の目的は、多品種少量生産の場合、特急を要するウエハがきた場合でも、そのウエハの処理に時間がかかるのを防止でき、スループットの低下を防ぐ枚葉搬送方法及びその装置を提供することにある。
本発明の第六の目的は、ウエハ搬送ラインが故障してもベイ内処理や他のベイでの処理がストップするのを防止できる枚葉搬送方法及びその装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
第一〜第三の目的は、ベイ内に少なくとももう一つ別の搬送ラインを並搬送可能に設けることによって達成することができる。つまり、ベイ内の各処理装置ごとにウエハの処理が異なる場合でも、並搬送可能な複数のベイ内搬送ラインを使い分けることで、ベイ内でのウエハの搬送及びウエハ搬送手段と各処理装置とのウエハの取合いが各処理装置ごとにウエハの処理が異なることで律速されるのを抑制できる。
また、ウエハの処理内容が、ウエハを保持する手段ごとに異なっている場合でも、これらに対応してベイ内搬送ラインの並搬送可能な搬送ラインを使い分けることで、それぞれのウエハ保持手段に収納されているウエハの処理内容に対応して、ベイ内でのウエハの搬送及びウエハ搬送手段と各処理装置とのウエハの取合いをスムーズに実施することができる。
さらに、ベイ内搬送ラインの並搬送可能な搬送ラインを使い分けることで、ベイ内でのウエハの処理が同一の場合に生じる危険性があるベイ内搬送手段と各処理装置とのウエハの取合い、及びベイ内でのウエハの搬送の混乱を防止することができる。
【0011】
第四の目的は、ベイ内搬送ラインの並搬送可能な搬送ラインとして、ウエハ普通搬送ラインに他のウエハ特急搬送ラインを設けることによって達成することが出来る。ここで、ウエハ普通搬送ラインとは、処理装置での処理時間の長いウエハを枚葉搬送する搬送ラインのことを示す。ウエハ特急搬送ラインとは、処理装置での処理時間の短いウエハを枚葉搬送する搬送ラインを示す。つまり、処理時間の短いウエハと処理時間の長いウエハが混在した場合、処理時間の短いウエハはウエハ特急搬送ラインとし、処理時間の長いウエハはウエハ普通搬送ラインを使用するという使い分けによって達成することが出来る。
尚、処理速度の長短とは、定量的なものでなく、例えば、あるウエハの処理速度と他のウエハの処理速度の比較、また、あるウエハ収容手段に収容されているウエハの処理速度と他のウエハ収容手段に収容されている他のウエハの処理速度との比較によって決められるものである。このような処理速度の差異が制御装置により比較演算され、この結果に基づいてウエハ普通搬送ラインを使用するか、ウエハ特急搬送ラインを使用するかが選択される。
【0012】
第五の目的は、ベイ内にスキップ対応の別の枚葉搬送ラインを設けることで達成することが出来る。つまり、多品種少量生産の場合、特急を要するウエハがきた場合に、指定された装置にスキップラインを使うことによって移動することが出来る。
第六の目的に対して、ベイ内に別の枚葉搬送のラインを設けることによって達成することが出来る。つまり、ベイ内の枚葉搬送ラインが何らかの原因で故障した場合、その故障が直ちに検知され別の枚葉搬送ラインが作動を開始する。これによりベイ内のウエハはその搬送を停止されることがない。従って各処理装置での処理を停止することなく継続して処理、搬送され、ベイ内での全ての作業がスムーズに実施される。さらに、このようにベイ内のウエハの搬送・処理がストップされることがないので、他の関係するベイでもウエハの搬送・処理を全てストップさせずに実施することが出来る。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる実施例を図面に基づいて説明する。
図4から図17までは、本発明の一実施例を示す。
図4で、複数のベイ100、200、300……を有する半導体製造ラインを部分的に示す。各ベイ100、200、300……は、各々がベイストッカー130、230、330……を介し、ベイ間搬送ライン400に接続されている。
以下、図4で、ベイ100を代表例にとりその構成・作用を詳細に説明する。尚、他のベイ200、300……は、それらの構成・作用が、ベイ100のそれと略同じであるため、説明を省略する。
図4で、ベイ100は、この場合、平面形状がループ状の枚葉搬送ライン120と、それの長手搬送方向(ベイ間搬送ライン400の搬送方向と交差する方向)に沿って配置、並設された処理装置101〜106で構成されている。この場合、処理装置101〜103は、枚葉搬送ライン120の一方側に一台毎それぞれ隣接して配置、並設されている。また、残りの処理装置104〜106は、その他方側に一台毎それぞれ隣接して配置、並設されている。処理装置101〜106は搬送ロボット11〜16をそれぞれ備えている。尚、処理装置101〜106はウエハWを一枚毎、つまり枚葉で処理するチャンバー(図示省略)を備えている。この例では、処理装置を6台用い配置しているが、この台数には、特に限定されない。枚葉搬送ライン120に沿って配置される装置の種類、台数及び装置配列は、先に従来技術例で示したようにウエハWのプロセス・フローによって選択、決定される。
【0014】
図4で、枚葉搬送ライン120は、ウエハWを枚葉搬送する搬送ライン121と、この搬送ライン121と並搬送可能に設けられウエハWを枚葉搬送する他の搬送ライン122との組合わせで構成されている。この場合、各搬送ラインは上下の位置関係にあり、搬送ライン121が下側位置、搬送ライン122は上側位置にセットされた構造になっている。この場合、搬送ライン122は、搬送ライン121のウエハ搬送面と相対するウエハ搬送面を有している。更に、この場合、搬送ライン121は、略水平面のウエハ搬送面を有し、搬送ライン122は、搬送ライン121のウエハ搬送面と上下方向に相対する略水平面のウエハ搬送面を有する。つまり、搬送ライン121、122は、ウエハWを水平面保持して搬送するようになっている。
以下の説明では、搬送ライン121、122のそれぞれのウエハ搬送面が、上下方向に相対する例につき説明するが、しかし、この関係は、これに特に限定されない。例えば、搬送ライン121、122両方のウエハ搬送面が、左右方向に相対するようになっていても良い。この場合、搬送ライン121、122でウエハWは、それらの構造上、被処理面縦型姿勢でそれぞれ搬送されることになる。尚、各処理装置とのウエハWの受け渡しは、縦型姿勢から姿勢変換して被処理面水平姿勢で実施するように構成しても、また、そのままの姿勢で実施するようにしても、本発明を実施する上で、特に問題を生じない。
【0015】
さらに、図4で、処理装置101〜106の搬送ロボット11〜16と搬送ライン121、122との間でウエハWを1枚、つまり、枚葉で受渡し可能となっている。さらに、ベイストッカー130のストッカー(図示省略)と搬送ライン121、122との間でウエハWを受渡し可能となっている。
図4で、ベイ100、200、300……間でのウエハの搬送は、ベイストッカー130、230、330……を利用しベイ間搬送ライン400で実施される。
【0016】
図5、図6は、枚葉搬送ライン120の詳細構造を示す。図5は、枚葉搬送ライン120のベイストッカー130とは反対側の部分の斜視外観図である。図6は、図5のI−I視断面図である。
図6で、搬送ライン121は移動体121aとウエハ保持台121bを備えている。ウエハ保持台121bは移動体121aに設けられている。ウエハ保持台121bは、その上表面をウエハ保持面とし、その上にウエハWを1枚保持するようになっている。ウエハWは水平姿勢でそのウエハ保持台121bの上表面にコンタクトして置かれる。搬送ライン122は移動体122aとウエハ保持具122bを備えている。ウエハ保持具122bは、移動体122aに設けられている。ウエハ保持具122bは、ウエハWを水平姿勢で1枚保持するようになっている。図6でウエハ保持台121bのウエハ載置面とウエハ保持具122bとウエハ保持部との間隔Hは各処理処置の構造により決定される。これについては後述する。
【0017】
図7で、例えば、移動体121aには、非接触移動体、この場合、リニアレール121a−1とリニア台車121a−2とでなるリニア移動体が用いられる。ウエハ保持台121bは、移動体121aのリニア台車121a−2に設けられている。ウエハ保持台121bは、その上表面をウエハ保持面とし、その上にウエハWを1枚保持するようになっている。ウエハWは水平姿勢でそのウエハ保持台121bの上表面にコンタクトして置かれる。
図7で、移動体122aには、非接触移動体、この場合、リニアレール122a−1とリニア台車122a−2とでなるリニア移動体が用いられる。ウエハ保持具122bは、移動体122aのリニア台車122a−2に設けられている。ウエハ保持具122bは、ウエハWの外周部であって、その裏面部分をコンタクトして、この場合、1枚保持するようになっている。
【0018】
次に、搬送ライン121から搬送ライン122へウエハWの受渡しをする場合につき説明する。
図7で、まず、搬送ライン121のウエハ保持台121bにウエハWが1枚載置保持されている。一方、搬送ライン122のウエハ保持具122bはウエハを保持していない状態である。この状態でウエハ保持台121bとウエハ保持具122bの位置関係がウエハの受渡し可能な位置関係に調整される。次ぎに、ウエハ保持台121bのウエハWがウエハ保持具122bに向って上昇(矢印600)させられる。その上昇は、ウエハ保持具122bでウエハを受取り可能な位置に達した時点で停止される。この前に図10に示すように、ウエハ保持具122bは半径方向に開いた状態(矢印602)になっている。ウエハWが、その部位に来た時点で開いているウエハ保持具122bが半径方向に閉じられる(矢印602)。それによってウエハWはその外周裏面部をウエハ保持具122bのすくい部によってすくわれて受取られる。その後、ウエハWを上昇させた部材(図示省略)は下降させられて、例えば、ウエハ保持台121b内に収納される。
【0019】
図8に搬送ライン121の部分平面図を示す。
図8で、枚葉搬送ラインに沿ってその底面にリニアレール121a−1が設けられている。リニアレール121a−1には、この場合3個のリニア台車が走行可能(矢印603)にそれぞれ設けられている。それぞれのリニア台車121a−2には、ウエハ保持台121bが1個設けられている。
図8で、リニア台車121a−2の平面形状は、例えば、矩形となっている。ウエハ保持台121bの形状は、例えば、略円形である。このウエハ保持台121bの大きさは、ウエハの大きさによって選択される。例えば、ウエハの直径が8インチ、12インチ、14インチ……と変わって行く場合は、このウエハの直径によってウエハ保持台121bの大きさもそれに応じて変わる。リニア台車121a−2には前後の間隔を検知するセンサー(図示省略)がそれぞれ備えられている。これらのセンサーは、制御装置(図示省略)にそれぞれ接続されている。また、リニア台車121a−2またはウエハ保持台121bには、センサー(図示省略)が設けられている。このセンサーは、ウエハの有無とウエハ情報を検知する機能を有する。このセンサーは、制御装置(図示省略)に接続されている。このセンサーは、一つのセンサーが、ウエハの有無検知とウエハ情報検知の両方の検知機能を有しても良い。また、別々の機能を有しても良い。
さらに、リニア台車121a−2は、搬送ライン121における自身の位置情報を確認するためのセンサー(図示省略)をそれぞれ備えている。このセンサーは、制御装置(図示省略)に接続されている。例えば、このセンサーは、所定の処理装置に対応した位置にリニア台車121a−2が来たかどうかを検知する機能を有する。尚、このような検知機能を有するセンサーをそれぞれの処理装置が備えても良いし、また、それぞれのリニア台車、処理装置の双方で備えても良い。
【0020】
図9に搬送ライン122の部分平面図を示す。
図9で、枚葉搬送ラインに沿ってその底面にリニアレール122a−1が設けられている。リニアレール122a−1には、この場合、3個のリニア台車122a−2が走行可能(矢印604)にそれぞれ設けられている。それぞれのリニア台車122a−2には、ウエハ保持具122bが設けられている。例えば、図10に示すようにウエハ保持具122bは、3個のすくい部122b−1を有している。このすくい部122b−1は円周上、120°間隔で配置されており、ウエハWの外周部分に位置する。このウエハ保持具122bはウエハWの受取りのためにウエハの半径方向(矢印602)に開閉することができる。
【0021】
図9で、リニア台車122a−2の平面形状は、例えば、矩形となっている。また、リニア台車122a−2には、前後の間隔を検知するセンサー(図示省略)がそれぞれ備えられている。このセンサーは、制御装置(図示省略)にそれぞれ接続されている。さらに、リニア台車122a−2には、ウエハの有無とウエハ情報を検知する機能を有するセンサー(図示省略)が設けられている。このセンサーは、制御装置(図示省略)にそれぞれ接続されている。このセンサーは、一つのセンサーが、ウエハ有無検知とウエハ情報検知の両方の検知機能を有しても良い。また、別々の機能を有しても良い。
さらに、各リニア台車122a−2は、搬送ライン122における自身の位置情報を確認するためのセンサー(図示省略)を備えている。このセンサーは、制御装置(図示省略)にそれぞれ接続されている。例えば、このセンサーは、所定の処理装置に対応した位置にリニア台車122a−2が来たかどうかを検知する機能を有する。尚、このような検知機能を有するセンサーをそれぞれの処理装置が備えても良いし、また、それぞれのリニア台車、処理装置の双方で備えても良い。
【0022】
図8、図9で、搬送ライン121でのリニア台車121a−2のリニアレール121a−1への設置台数と、搬送ライン122でのリニア台車122a−2のリニアレール122a−1への設置台数とは、同一であっても異なる台数であっても良い。図8、図9で、リニア台車がそれぞれ3台設けられた例を示したが、このリニア台車の台数は、適宜決められれば良い。また、それぞれのセンサー等が接続される制御装置は、個別のものであっても良いし、1台の装置あってもよい。
搬送ライン121のリニア台車121a−2と搬送ライン122のリニア台車122a−2との位置関係の制御がそれぞれのセンサーと制御装置の作用によって適宜実施される。
【0023】
図11、図12で、ベイストッカー130は、ベイ間搬送ライン400に接続されている。ベイ間搬送ライン400としてはこの場合AGV(Automatic Guided Vehicle)410が採用されている。AGV410は、ロボット411、台412、レール413、走行フレーム414を有している。走行レール413は、ベイ間搬送ライン400に設置されている。走行フレーム414がレール413に移動可能に設けられている。走行フレーム414にはロボット411と台412とが設けられている。走行フレーム414は、駆動装置(図示省略)を有している。この駆動装置は、制御装置(図示省略)に接続されている。走行フレーム414はベイストッカー130との位置検知センサーを備えている。このセンサーはベイストッカー130が備えていても良い。
図11、図12で、台412は、ウエハ収納手段、例えば、FOUP(Front Opening Unified Pod)500が、この場合、2個(500a、500b)載置可能な平面を有する。FOUP500は、その中に収納されているウエハの被処理面を水平姿勢で保持するように台412の載置面に置かれる。ロボット411は、この場合、例えば、その先端にFOUPの握み部を握むアーム416を有している。このロボット411は、アーム416を旋回動、左右往復動及び昇降動させる駆動手段(図示省略)を有する。この駆動手段は、制御装置(図示省略)に接続されている。尚、ウエハ収納装置としてはFOUPの他にオープンカセット等の他の収納装置も支障なく採用される。
【0024】
図11、図12で、ベイストッカー130は、台131、ゲート132、ロボット133、レール134を有している。ベイストッカー130は、この場合、台131部分と搬送ロボット部分136とに分れている。台131部分と搬送ロボット部分136とはゲート132で仕切られている。ゲート132のAGV410サイドに台131が設置されている。ゲート132の搬送ライン121サイドに搬送ロボット部分136が配置されている。台131は、FOUP500が、この場合3個載置可能な平面を有する。FOUPは、その中に収納されている複数個のウエハの被処理面を水平姿勢で保持するように台131の載置面に置かれる。台131の載置面は、AGV410の走行方向に沿ってFOUP500が隣接して置かれるようになっている。この場合、ゲート132が3個備えられ、それぞれのゲート132a〜132cは、FOUP500にそれぞれ対応して配設されている。搬送ロボット136のレール台137には、レール134が設けられている。レール134は、台131でのFOUP500の載置面に平行に置かれている。ロボット133が、レール134に載せられている。ロボット133は、レール134上を走行させる駆動手段(図示省略)を有している。この駆動手段は、制御装置(図示省略)に接続されている。このロボット133は、アーム138を有している。アーム138は、このアーム138を旋回動、左右往復動、及び昇降動させる駆動手段(図示省略)を有する。この駆動手段は制御装置(図示省略)に接続される。この場合、このアーム138は、ウエハの有無検知とウエハ情報検知の両方の検知機能を有するセンサー(図示省略)を備えている。このセンサーは制御装置(図示省略)に接続されている。
【0025】
このように構成されている装置システムでは、次のようなウエハの操作・処理がなされる。
図4〜図12で、ベイ100の上流側から、ベイ間搬送ライン400を通ってウエハがベイ100に搬送されてくる。具体的には、AGV410の台412の載置面にFOUP500a、500bが並んで置かれる。例えば、FOUP500bの中には処理速度の速いウエハが収納されている。FOUP500a、500bが台412に載置されたかどうかセンサーで検知する。この検知情報は、制御装置に送られる。これによって台412にFOUP500a、500bがそれぞれ適正に置かれたことが確認される。その後、制御装置から駆動手段に操作信号が出力され、駆動手段の作動が開始される。これによってAGV410は、ベイ間搬送ライン400の中をベイ100のベイストッカー130に向って走行させられる。その後、AGV410が、ベイストッカー130の所定位置に対応する場所に来たことを位置検知センサーで検知される。この検知信号は、制御装置に送られ、制御装置から停止信号が出力される。これによりAGV410は、停止させられる。この場合、台131のFOUP載置面には、FOUP500c、500dが載置されている。そして残されたFOUP載置面一ヶ所にはFOUPは載置されていない。この場合、ベイストッカー130の台131に置かれているFOUP500dのウエハ処理がほぼ終了状態にある。残りのFOUP500c内のウエハの処理は中途段階である。また、例えば、FOUP500dのウエハは、FOUP500bのウエハとは異なり、処理速度が遅いものである。台131のFOUPの載置面であって、残された1ヶ所の載置面、この場合FOUP500dのゲート132bに向って右側に位置する載置面にFOUPがあるか無いかセンサー(図示省略)で検知される。センサーでFOUP無しと検知された時点で制御装置からロボット411の駆動手段に操作信号が出力される。この操作信号を受けてロボット411が作動開始される。この作動は、図11のアーム416の状態からFOUP500bに対応する位置にアーム416が旋回させられた時点で停止される。その後アーム416がFOUP500bを掴持可能な間隔に広げられる。その後、アーム416がFOUP500bの握み部に対応する位置まで下降される。その後アーム416は閉じられ、これによってFOUP500bがアーム416に掴持される。アーム416がFOUP500bを掴持したことが、センサーで検知されて、この信号が制御装置に出力される。その後、FOUP500bはこの状態で台131の残りの載置面まで搬送される。この結果、FOUP500bはこの載置面に載置される。この載置された信号はセンサーから制御装置に出力される。一方、FOUP500dのウエハの処理が終了したことが制御装置に送信される。これを受けて、ロボット411のアーム416はFOUP500dを回収可能な位置まで移動させられて停止させられる。その後、ロボット411のアーム416は、その間隔を開いた状態でFOUP500dに向って移動させられる。この移動はアーム416でFOUP500dを側面キャッチできるようになった時点で制御装置によって停止させられる。その後、アーム416が閉じられ、これによってFOUP500dはアーム416に掴持される。この状態でFOUP500dは、もともとFOUP500bが載置されていた台412の載置面に載置される。つまり、この状態では台131のもともとFOUP500bが載置された面が、次のFOUP受取り面となる。FOUP500a、FOUP500dを保持したAGV410は次のベイ方向矢印605又は上流方向矢印606に移動されられる。
【0026】
次に制御装置の指令によりゲート132cが開かれる。この時、FOUP500bのドアも開かれる。これによりFOUP500b内は、搬送ロボット部136、枚葉搬送ライン120の雰囲気と連通状態となる。この状態で、制御装置の指令により、ロボット133がゲート132cに対応した位置まで移動されられて停止させられる。FOUP500b内に収納されているウエハの情報がアーム入138のセンサーにより読取られる。読取られた情報は制御装置に出力される。この情報信号により、FOUP500b内のウエハのどのウエハを次の処理に出すかが選択される。その選択された信号が、ロボット133に出力される。これによりロボット133はアーム138が所定の高さの位置になるよう調節される。その後、アーム138がゲート132cを通ってFOUP500b内に挿入される。このアーム138の動きはFOUP500b内の所定のウエハの裏面に、このアーム138のすくい部が到達した時点で制御装置により停止される。その後、このアーム138のすくい部は少しだけ上昇させられる。この上昇によってウエハはアーム138のすくい部に受取られる。その後、このアーム138は元の位置まで待避される。一方、枚葉搬送ライン120の上側位置にある搬送ライン122のリニア台車122a−2がウエハ受渡し可能な位置に停止させられる。この停止位置と情報はセンサーから制御装置に出力される。リニア台車122a−2のウエハ保持具122bは半径方向に開いた状態になっている。尚、この場合、このリニア台車122a−2の下側位置にリニア台車121a−2が有るか無いかは問題ではない。アーム138のすくい部にウエハを有するロボット133は、リニア台車122a−2に対応する位置までレール134上を走行させられる。この走行は、ロボット133がリニア台車122a−2に対応した位置に到達した時点で制御装置により停止させられる。この間、ウエハを有するアーム138は、そのすくい部を180°旋回させられる。その後、アーム138のすくい部はリニア台車122a−2に向って移動させられる。リニア台車121a−2の下方位置にアーム138のすくい部にすくわれたウエハが到達した時点で、このアーム138の移動は停止させられる。その後、アーム138のすくい部は上昇させられる。この上昇はアーム138のすくい部のウエハがリニア台車122a−2のウエハ保持具122bですくい可能な位置にきた時点で制御装置により停止させられる。この状態でウエハ保持具122bは半径方向に閉じられる(矢印602)。これによりウエハは、アーム138のすくい部からウエハ保持具122bに渡される。ウエハを渡したアーム138は元の位置に待避して待機させられる。
【0027】
図4でFOUP500bが、例えば、ベイストッカー130の台131にセットされた時点で、制御装置により処理装置の内103、106が処理速度の速いウエハの処理ができるように加工条件をセッティングされている。尚、残りの処理装置101、102、104、105では処理速度の遅いウエハの処理が続行される。
【0028】
図13は、図4における枚葉搬送ライン120における処理装置101及び処理装置103の部分の詳細構成図である。図13で枚葉搬送ライン120の下側の搬送ライン121を示す。処理装置101の前方部分に位置するところにリニア台車121a−2がある。処理装置101の搬送ライン121側からゲート101d、ロック室101a、ゲート101c、処理室101bが順次配置されている。ロック室101aの中にはすくい部11−1を有したロボット11が配置されている。このすくい部11−1は、例えばゲート101dを通ってウエハの受渡しをするリンク機構と旋回してゲート101cを通って処理室101bにウエハを受渡しする機能を有する。
また、図13で枚葉搬送ライン120の上側の搬送ライン122を示す。処理装置103の前方部分に位置するところにリニア台車122a−2がある。処理装置103の搬送ライン122側からゲート103d、ロック室103a、ゲート103c、処理室103bが順次配置されている。ロック室103aの中にはすくい部13−1を有したロボット13が配置されている。このすくい部13−1は、例えばゲート103dを通ってウエハの受渡しをするリンク機構と旋回してゲート103cを通って処理室103bにウエハを受渡しする機能を有する。この他に処理速度の遅いウエハを処理する処理装置102、104、105と搬送ライン121との取合い構造は、処理装置101と搬送ライン121との取合い構造と略同一であり、図示、説明を省略する。また、処理速度の速いウエハを処理する処理装置106と搬送ライン122との取合い構造は処理装置103と搬送ライン122との取合い構造と略同一のため、図示、説明を省略する。
【0029】
図14に処理装置103と枚葉搬送ライン122の取合い詳細を示す。図14で、枚葉搬送ライン120の空間とロック室103aは、ゲート103dで仕切られている。この場合、枚葉搬送ライン120とロック室103aの高さは略同一の高さである。ロック室103a内と処理室103b内とは、ゲート103cで仕切られている。
ロボット133のアーム138からFOUP500b内のウエハWb1を受取ったリニア台車122a−2は、図11の位置から図4の処理装置103に対応する位置まで移動させられる。この移動は、所定位置にリニア台車122a−2が来たことをセンサーで検知されることで制御装置で制御される(図14)。図14でロック室103a内は、清浄ガス、例えば、窒素ガスが導入され、これによりロック室103a内の圧力は枚葉搬送ライン120の雰囲気圧力とほぼ同圧力に調節される。その後、ゲート103dが開けられる。その後、ロボット13のすくい部13−1が、開けられているゲート103dを通って枚葉搬送ライン120へ繰り出される(矢印607)。このすくい部13−1が、ウエハ保持具122bに保持されているウエハWb1の下方位置に達した時点で、すくい部13−1の動きは停止される。その後、ウエハ保持具122bは下降させられる(矢印601)。この下降はウエハWb1の裏面がすくい部13−1に当接した時点で停止される(図15)。その後、ウエハ保持具122bが半径方向に開かれる(矢印602)。これによりウエハWb1はウエハ保持具122bからすくい部13−1に渡される。ウエハWb1を受取ったすくい部13−1はゲート103dを通ってロック室103aの元の位置に引戻される。その後、図15(b)に示すようにゲート103dが閉じられロック室103a内は減圧排気される。ロック室103aの圧力が処理室103bの圧力とほぼ同圧になった時点でゲート103cが開かれる。この状態でロボット13のすくい部13−1はロック室103aから処理室103bへ移動させられる。これによりウエハWb1はすくい部13−1ですくわれた状態で処理室103bに搬入させられる。さらに、このウエハWb1は処理室103bに内設されている試料台(図示省略)上に渡される。ウエハWb1を渡したすくい部13−1は、ゲート103cを通ってロック室103aに待避させられて、ロック室103aの元の位置に待機させられる。その後、ゲート103cが閉じられる。この状態で処理室103b内の試料台に載置されたウエハWb1は、処理室103bで所定処理、例えばプラズマエッチング処理される。処理室103bでプラズマエッチング処理が終ったウエハWb1は上述した搬入操作とは逆の操作によりゲート103c、ロック室103a、ゲート103dを順次通過し、枚葉搬送ライン120に搬出されてウエハ保持具122bに渡される。処理室103bでプラズマエッチング処理が終ったウエハWb1を保持したリニア台車122a−2はリニアレール122a−1にガイドされて搬送ライン122を処理装置106方向へ移動させられる。
【0030】
図11、12でFOUP500b内の次に選択されたウエハWb2が、上述した操作と同様の操作によりロボット133のアーム138のすくい部にすくわれてFOUP500bから抜出される。この抜出された第2のウエハWb2は上述した操作と同様の操作によりロボット133のアーム138のすくい部からリニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。ウエハ保持具122bにウエハWb2を受け取ったリニア台車122a−2は、上述した操作と同様の操作により処理装置103に対応する位置に移動させられて停止される。尚、処理装置103での処理と処理装置106の処理とでは、この場合異なっている。処理装置103でプラズマエッチング処理されたウエハWb1を保持したリニア台車122a−2は、搬送ライン122を処理装置106方向へ向って移動させられる。その後、リニア台車122a−2が処理装置106に達した時点で停止される。このリニア台車122a−2に保持されているウエハWb1は、処理装置103同様の操作により、処理装置106の処理室(図示省略)に、搬入される。この処理装置に搬入されたウエハWb1はここで所定処理、例えば成膜処理(CVD、PVD等)される。成膜処理済のウエハWb1は処理室からゲート(図示省略)、ロック室(図示省略)、ゲート(図示省略)を順次通って枚葉搬送ライン120に搬出される。この搬出されたウエハWb1はリニア台車122a−2のウエハ保持具122bに保持されて、ロボット133のアーム138にウエハを受渡し可能な位置にまで移動させられる。その後、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに保持されているウエハWb1は、上述した操作とは逆操作によりロボット133を介してFOUP500bの元の位置に回収される。
【0031】
一方、処理装置103に対応する位置まで移動させられて停止されたリニア台車122a−2のウエハ保持具122bに保持されているウエハWb2は、上述したウエハWb1の場合と同様な操作により、処理装置103の処理室103bに搬入され、ここでプラズマエッチング処理される。その後、処理済ウエハWb1は処理室103bから枚葉搬送ライン120に搬出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡されて保持される。その後、このリニア台車122a−2は処理装置106に向って走行させられる。
このような操作が繰返し実施される。これによりFOUP500b内のウエハWb1、Wb2、……Wbnは、搬送ライン122により処理装置103、106に順次送られる。処理装置103、106で処理されたウエハWb1、Wb2、……WbnはFOUP500bに順次戻され、そしてFOUP500bの所定の位置に回収される。
【0032】
図16に処理装置101と枚葉搬送ライン121の取合い詳細を示す。図16で、枚葉搬送ライン120の空間とロック室101aは、ゲート101dで仕切られている。この場合、枚葉搬送ライン120とロック室101aの高さは略同一の高さである。ロック室101a内と処理室101b内とは、ゲート101cで仕切られている。
FOUP500c内に収納されているウエハの情報が、センサーにより読み取られる。読み取られた情報は制御装置に出力される。この場合、FOUP500c内のウエハは、処理速度の遅いウエハである。従って、この場合、処理速度が遅いとの情報がセンサーにより読み取られ、この読み取られた情報が制御装置に出力される。一方、枚葉搬送ライン120aの下側位置にある搬送ライン121のリニア台車121a−2が、ウエハ受け渡し可能な位置に停止させられる。この停止位置と情報はセンサーから制御装置に出力される。リニア台車121a−2のウエハ保持台121bのウエハ押し上げピン121cは、この場合、ウエハ保持台121b内に収納された状態となっている。尚、ウエハ押し上げピンは、この場合3本あり、それぞれはウエハ保持台121bの中心を中心として120°間隔でウエハ保持台121bに配設されている。また、これらピンは所定間隔で昇降動可能となっている。アーム138のすくい部にウエハを有するロボット133は、リニア台車121a−2に対応する位置までレール134上を走行させられる。この走行はロボット133がリニア台車121a−2に対応した位置に到達した時点で、制御装置により停止させられる。この間、ウエハを有するアーム138の、そのすくい部は、リニア台車121a−2に向って移動させられる。リニア台車121a−2の上方位置にアーム138のすくい部にすくわれたウエハWcnが到達した時点で、このアーム138の移動は停止させられる。その後、ウエハ押し上げピン121cが上昇させられる。この上昇は、アーム138のすくい部のウエハWcnの裏面にその頂点が当接した時点で、このウエハ押し上げピンの上昇は停止させられる。これによりウエハWcnは、アーム138のすくい部からウエハ押し上げピンに受け渡される。その後アーム138は、元の位置に戻されて待機させられる。
ロボット133のアーム138からウエハWcnを受け取ったリニア台車121a−2は、処理装置101に対応する位置まで移動させられる。この移動は所定位置にリニア台車121a−2が来たことをセンサーで検知され、制御装置により制御される。
【0033】
図16で、ロック室101a内は、清浄ガス、例えば、窒素ガスが導入され、これによりロック室101a内の圧力は、枚葉搬送ライン120とほぼ同圧に調節される。その後、ゲート101dが開けられる。その後、ロボット11のすくい部11−1が開けられているゲート101dを通って、枚葉搬送ライン120へ繰り出される(矢印607)。一方、処理装置101に対応する位置にあるリニア台車121a−2のウエハ保持台121bに保持されているウエハWcnは、ウエハ押し上げピンの上昇によりウエハ保持台121bからウエハ押し上げピン121cに渡されて保持される。
この状態で、ロボット11のすくい部11−1が、ウエハ押し上げピン121cに保持されているウエハWcnの下方位置に達した時点で、すくい部11−1の動きは停止される(図17(a))。その後、ウエハ押し上げピン121cは下降させられる。この下降により、ウエハWcnはウエハ押し上げピン121cからすくい部11−1に渡される。ウエハWcnを受取ったすくい部11−1は、ゲート101dを通ってロック室101aの元に位置に引き戻される。その後、ゲート101dが閉じられ、ロック室101a内は減圧排気される(図17(b))。ロック室101aの圧力が、処理室101bの圧力とほぼ同圧になった時点でゲート101cが開かれる。この状態でロボット11のすくい部11−1は、ロック室101aから処理室101bへ移動させられる。これによりウエハWcnは、すくい部11−1ですくわれた状態で処理室101bに搬入させられる。さらに、ウエハWcnは処理室101bに内設されている試料台上に渡される。ウエハWcnを渡したすくい部11−1は、ゲート101cを通ってロック室101aに退避させられてロック室101aの元の位置に待機させられる。その後、ゲート101cが閉じられる。この状態で処理室101b内の試料台に載置されたウエハWcnは、処理室101bで所定処理、例えばプラズマエッチング処理される。
【0034】
尚、先に説明した処理室103b内でのウエハWbのプラズマエッチング処理条件と、この場合、処理室101b内でのウエハWcのプラズマエッチング処理条件とは当然異なっている。つまり、処理室103b内でのウエハWbのプラズマエッチング処理条件は、その処理時間が短いような条件であり、一方、処理室101b内でのウエハWcのプラズマエッチング処理条件は、その処理時間が長いようになっている。処理室101bでプラズマエッチング処理が終ったウエハWcnは、上述した搬入操作とは逆の操作により、ゲート101c、ロック室101a,、ゲート101dを順次通過し、枚葉搬送ライン120に搬出されてウエハ押し上げピン121cを介してウエハ保持台121bに受け渡される。
処理室101bでプラズマエッチング処理が終ったウエハWcnを保持したリニア台車121a−2はリニアレール121a−1にガイドされて搬送ライン121を処理室105の方向へ移動させられる。
【0035】
図11、12で、FOUP500c内の次に選択されたウエハWcn+1が、上述した操作と同様の操作によりロボット133のアーム138aのすくい部にすくわれてFOUP500cから抜き出される。この抜き出されたウエハWcn+1は上述した操作と同様の操作によりロボット133のアーム138のすくい部からリニア台車121a−2のウエハ保持台121bに渡される。ウエハ保持台121bにウエハWcn+1を受け取ったリニア台車121a−2は、上述した同様の操作により処理装置101に対応する位置に移動させられて停止される。尚,処理装置101での処理と処理装置105の処理とでは、この場合異なっている。処理装置101でプラズマエッチング処理されたウエハWcnを保持したリニア台車121a−2は、搬送ライン121を処理装置105の方向へ向かって移動させられる。その後、リニア台車121a−2が処理装置105に対応する位置に達した時点で、この移動は停止させられる。リニア台車121a−2に保持されているウエハWcnは処理装置101と同様の操作により、処理装置105の処理室(図示省略)に搬入される。この処理装置に搬入されたウエハWcnは、ここで所定処理、例えば成膜処理(CVD、PVD等)される。成膜処理済のウエハWcnは処理室からゲート(図示省略)、ロック室(図示省略)、ゲート(図示省略)を順次通って枚葉搬送ライン120に搬出される。この搬出されたウエハWcnはリニア台車121a−2のウエハ保持台121bに保持されてロボット133のアーム138にウエハWcnを受け渡し可能な位置にまで移動させられる。その後、リニア台車121a−2のウエハ保持台121bに保持されているウエハWcnは、上述した操作とは逆操作によりロボット133を介してFOUP500cの元の位置に回収される。一方、処理装置101に対応する位置まで移動させられて停止されたリニア台車121a−2のウエハ保持台121bに保持されている次のウエハWcn+1は、上述したウエハWcnの場合と同様の操作により処理装置101の処理室101bに搬入され、ここでプラズマエッチング処理される。その後、処理済ウエハWcn+1は、処理室101bから枚葉搬送ライン120に搬出されリニア台車121a−2のウエハ保持台121bのウエハ保持台121bに渡されて保持される。その後、このリニア台車121a−2は、処理装置105に向かって移動させられる。このようにして、FOUP500c内のウエハは、上述したFOUP500b内のウエハの搬送・処理と平行して、搬送ライン121、処理装置101、102、104、105により1枚ごと順次処理される。この処理済ウエハはFOUP500cに1枚ごと戻され、そして所定の位置に回収される。
以上、FOUP500b内のウエハとFOUP500c内のウエハとの処理装置での処理条件が異なる例につき説明をした。次にFOUP500b、500c内のウエハの処理条件が同じ場合につき説明する。
【0036】
図4で、処理装置101〜103が同一の処理装置、例えばプラズマエッチング装置、処理装置104〜106は、例えばプラズマCVD装置とする。処理装置101〜103は同じウエハの処理条件で運転される。処理装置104〜106は同じウエハの処理条件で運転される。図11で、FOUP500bには処理速度の速いウエハが収納されている。またFOUP500c、500dには処理速度の遅いウエハが収納されている。FOUP500bから500dにそれぞれ収納されているウエハの処理装置101〜103及び処理装置104〜106での処理条件等は同じである。
【0037】
まず図11、12の状態から先述した操作と同様の操作で、台412のFOUP500bは、台131の空いている載置面にロボット411により搬送されて載置される。次にFOUP500dに収納されているウエハの処理が終了した時点で、このFOUP500dはロボット411により台131から台412の載置面に搬送されて載置される。その後、このAGV410は矢印604又は605方向に移動させられる。FOUP500bに収納されているウエハWb1が上述したような操作によりロボット133で取出され、搬送ライン122のリニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。一方、FOUP500bの搬送、載置により処理装置101〜103の中で処理待ちの状態にある処理装置がセンサーにより検知され、この信号は制御装置に出力される。例えば、処理装置101〜103で処理装置102が処理待ち状態にあると検知された場合、先程のウエハWb1を保持したリニア台車122a−2は、処理装置102に対応した位置まで走行させられて停止させられる。このウエハWb1はその後、処理装置102の処理室に搬入され、ここでプラズマエッチング処理される。エッチング処理済のウエハWb1は処理装置102外へ取出されてリニア台車122a−2のウエハ保持具122bに戻される。尚、処理装置101、103ではFOUP500cの処理速度の遅いウエハWcn…の処理が並行して実施される。
【0038】
次に、処理装置104〜106で処理待ち状態にある処理装置がセンサーにより検知され、制御装置に出力される。処理装置104〜106の中で、例えば、処理装置104が処理待ちと検知された場合、先程のウエハWb1を保持したリニア台車122a−2は、処理装置104に対応した位置まで走行させられて停止させられる。このウエハWb1は、その後、処理装置104の処理室に搬入され、ここでプラズマCVD処理される。CVD処理済のウエハWb1は処理装置104外へ取出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに戻される。
【0039】
尚、処理装置105、106ではFOUP500cの処理速度の遅いウエハWcn…の処理が並行して実施される。処理装置104で処理が終ったウエハWb1は搬送ライン122、ロボット133によりFOUP500bの元の位置に戻され回収される。これとともに処理装置105、106でそれぞれ処理が終ったウエハWcn…は、搬送ライン121、ロボット133により、FOUP500cの元の位置に戻されて回収される。FOUP500bから次のウエハWb2が選択される。一方、処理装置101〜103で処理装置101が処理待ちの状態にある場合、ウエハWb2はロボット133、搬送ライン122により処理装置101の処理室に搬入されてプラズマエッチング処理される。処理装置101での処理が終了したウエハWb2は処理室101外へ取出される。ここで処理装置104〜106の中で、例えば処理装置105が処理待ち状態にある場合、処理装置101で処理が終了したウエハWb2は搬送ライン122により処理装置105まで搬送される。このウエハWb2は処理装置105の処理室内に搬入され、ここでプラズマCVD処理される。処理済のウエハWb2は処理装置105外へ取出され、搬送ライン122、ロボット133によりFOUP500bの元の位置に戻されて回収される。これとともに処理装置104、106では、処理速度の遅いウエハWcn+1…に対するプラズマCVD処理が実施される。これらの処理が終了したウエハWcn+1…は処理装置104、106からそれぞれ取出され、搬送ライン121、ロボット133によりFOUP500c内の所定の位置に戻されて回収される。このようにFOUP500b内のウエハWb1,Wb2……Wbnは処理装置101〜103で処理待ち状態にある処理装置で1枚ごと順次処理される。これらの処理装置で処理が終了したウエハWb1,Wb2……Wbnは、次に処理装置104〜106の中で処理待ち状態にあるいずれかの処理装置でプラズマCVD処理される。これらウエハWb1,Wb2……Wbnのベイ内における搬送は搬送ライン122により実施される。処理装置104〜106のいずれかで処理が終了したウエハWb1,Wb2……Wbnは1枚ごと搬送ライン122、ロボット133によりFOUP500b内の所定の位置に戻され回収される。これとともに、FOUP500c内の処理速度の遅いウエハWcn+1…Wcmの処理が処理装置101〜103のいずれかの装置及び処理装置104〜106のいずれかの装置で順次実施される。この場合、ベイ内でのウエハの搬送は搬送ライン121により行われる。処理装置104〜106のいずれかの装置でプラズマCVD処理が終了したウエハWcn、Wcn+1……Wcmは、搬送ライン121、ロボット133によりFOUP500c内の元の位置に戻されて回収される。
【0040】
図11、12で、FOUP500cが台131のFOUP載置面にAGV410のロボット411により載置されたものとする。FOUP500c内には処理速度が速いウエハ、すなわち処理時間が短いウエハと処理速度が遅いウエハ、すなわち処理時間が長いウエハとが混在されている。ここで、それぞれのウエハの処理室での処理条件は異なっているものとする。まず、図4で処理装置101〜103はプラズマエッチング装置、処理装置104〜106はプラズマCVD装置とする。さらに、プラズマエッチング装置101〜103で、処理装置103が処理時間が短いウエハの処理条件に設定されている。処理装置101、102は、処理時間が長いウエハの処理条件に設定されている。また、処理装置104〜106で、この場合、処理装置104が、処理時間が短いウエハの処理条件に設定されている。処理装置105、106は、処理時間の長いウエハの処理条件に設定されている。また、搬送ライン121が処理時間が長いウエハの搬送に使用され、搬送ライン122が処理時間が短いウエハの搬送に使用される。
【0041】
図11〜図17で、FOUP500c内にロボット133のアーム138が挿入される。この時点で、アーム138の上方に位置するウエハ情報がセンサーにより検知され、これは制御装置に出力される。これにより制御装置では、このウエハは、例えば、処理時間が短いウエハWcS1と判定される。この処理時間が短いウエハWcS1は、その後、ロボット133により搬送ライン122のリニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。ウエハ保持具122bでウエハWcS1を受け取ったリニア台車122a−2は、搬送ライン122を処理装置103に向かって走行させられる。その後、ウエハWcS1を有するリニア台車122a−2が、処理装置103に対応する位置に到達したことがセンサーで検知され、この走行は停止される。その後、このウエハWcS1は、処理装置103に搬入されプラズマエッチング処理される。プラズマエッチング処理済のWcS1は処理装置103外へ取り出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。その後、そのウエハWcS1を受け取ったリニア台車122a−2は、搬送ライン122より処理装置104に向かって走行させられる。一方、FOUP500C内にロボット133のアーム138が挿入される。この時点で、アーム138の上方に位置するウエハ情報はセンサーにより検知され、これは制御装置に出力される。これにより制御装置では、このウエハは、例えば、処理速度が遅いウエハと判定される。この処理速度の遅いウエハWcL1は、その後、ロボット133により搬送ライン121のリニア台車121a−2のウエハ保持台121bに渡される。ウエハ保持台121bでウエハWcL1を受け取ったリニア台車121a−2は、搬送ライン121を処理装置102に向かって走行させられる。その後、ウエハWcL1を有するリニア台車121a−2が処理装置102に対応する位置に到着したことがセンサーで検知され、この走行は停止される。その後、このウエハWcL1は、処理装置102に搬入されプラズマエッチング処理される。プラズマエッチング処理済のウエハWcL1は、処理装置102外へ取り出され、リニア台車121a−2のウエハ保持台121bに渡される。その後、そのウエハWcL1を受け取ったリニア台車121a−2は、搬送ライン121より処理装置105に向かって走行させられる。その後、ウエハWcL1は、処理装置105に搬入されプラズマCVD処理される。プラズマCVD処理済のウエハWcL1は、処理装置105外へ取り出され、リニア台車121a−2のウエハ保持具121bに渡される。その後、そのウエハWcL1は、FOUP500cの元の位置に戻される。一方、FOUP500c内に、ロボット133のアーム138が挿入される。この時点で、アーム138の上方に位置するウエハ情報はセンサーにより検知され、これは制御装置に出力される。これにより制御装置では、このウエハは、例えば、処理時間が長いウエハと判定される。この処理時間が長いウエハWcL2は、その後、ロボット133により搬送ライン121のリニア台車121a−2のウエハ保持台121bに渡される。ウエハ保持台121bでウエハWcL2を受け取ったリニア台車121a−2は、搬送ライン121を処理装置101に向かって走行させられる。その後、ウエハWcL2を有するリニア台車121a−2が処理装置101に対応する位置に到着したことがセンサーで検知され、この走行は停止される。その後、このウエハWcL2は、処理装置101に搬入されプラズマエッチング処理される。プラズマエッチング処理済のウエハWcL2は、処理装置101外へ取り出され、リニア台車121a−2のウエハ保持台121bに渡される。その後、そのウエハWcL2を受け取ったリニア台車121a−2は、搬送ライン121より処理装置106に向かって走行させられる。その後、ウエハWcL2は、処理装置106に搬入されプラズマCVD処理される。プラズマCVD処理済のウエハWcL2は、処理装置106外へ取り出され、リニア台車121a−2のウエハ保持具121bに渡される。その後、そのウエハWcL2はFOUP500cの元の位置に戻される。一方、FOUP500c内にロボット133のアーム138が挿入される。この時点で、アーム138の上方に位置するウエハ情報はセンサーにより検知され、これは制御装置に出力される。これにより制御装置では、ウエハは、例えば、処理時間が短いウエハと判定される。この処理時間が短いウエハWcS2は、その後、ロボット133により搬送ライン122のリニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。ウエハ保持具122bでウエハWcS2を受け取ったリニア台車122a−2は、搬送ライン122を処理装置103に向かって走行させられる。その後、ウエハWcS2を有するリニア台車122a−2が処理装置103に対応する位置に到達したことがセンサーで検知され、この走行は停止される。その後、このウエハWcS2は、処理装置103に搬入されプラズマエッチング処理される。このとき、ウエハWcS1は、処理装置104に搬入されプラズマCVD処理される。プラズマCVD処理済のウエハWcS1は、処理装置104外へ取り出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。その後、そのウエハWcS1はFOUP500cの元の位置に戻される。その後、プラズマエッチング処理済のウエハWcS2は、処理装置103外へ取り出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。その後そのウエハWcS1を受け取ったリニア台車122a−2は、搬送ライン122より処理装置104に向かって走行させられる。この後、ウエハWcS2は、処理装置104に搬入されプラズマCVD処理される。プラズマCVD処理済のウエハWcS2は、処理装置104外へ取り出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。その後、そのウエハWcS2は、FOUP500Cの元の位置に戻される。
このようにして、FOUP500cの内の処理時間が短いウエハWcS1、WcS2…WcSnならびに、処理時間が長いウエハWcL1、WcL2…WcLnの枚葉搬送ライン120での搬送処理装置101〜106での処理が順次実施され、そしてFOUP500Cの元の位置に戻され回収される。
【0042】
図11〜図14で、AGV410の台412に、FOUP500a、500bが載置されている。この状態でAGV410は矢印604方向に走行させられる。ベイ100のベイストッカー130に対応した位置に到着した時点でこのAGV410の走行は停止される。FOUP500b内には、特急仕様のウエハWhb1、Whb2…Wbhnが収納されている。このウエハの情報にもとづき図4での、処理装置101〜106でこのウエハを処理する装置が選択され加工条件が設定される。この場合、例えば、処理装置101、105は、この特急ウエハの処理に使用される装置として選択される。尚、残りの処理装置102、103、104、106は、FOUP500c、500d内の処理に継続して使用される。また、枚葉搬送ライン120で特急ウエハを搬送するラインとして、この場合、搬送ライン122が選択される。搬送ライン121では、FOUP500c、500d内のウエハの搬送が行われる。
【0043】
図11〜図14でFOUP500bは、ベイストッカー130の台131のFOUP500dの右横側のFOUP載置面に載置される。このFOUP500bに対応するゲート132cが開けられ、これに伴いFOUP500bのドア(図示省略)も開けられる。FOUP500b内にロボット133のアーム138が挿入される。この時点で、アーム138の上方に位置するウエハ情報はセンサーにより検知され、これは制御装置に出力される。これにより制御装置では、このウエハは、例えば、処理速度が特急のウエハと判定される。この処理速度の特急のウエハWbh1は、その後、ロボット133により搬送ライン122のリニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。このウエハ保持具122bでウエハWbh1を受け取ったリニア台車122a−2には、搬送ライン122を処理装置101に向かって走行させられる。その後、ウエハWbh1を有するリニア台車122a−2が処理装置101に対応する位置に到達したことがセンサーで検知され、この走行は停止される。その後、このウエハWbh1は、処理装置101に搬入され、ここで、プラズマエッチング処理される。エッチング処理済みのウエハWbh1は、処理装置101外へ取り出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。その後、そのウエハWbh1を受け取ったリニア台車122a−2は、搬送ライン122より処理装置105に向かって走行させられる。この後、ウエハWbh1は、処理装置105に搬入されプラズマCVD処理される。プラズマCVD処理済のウエハWbh1は、処理装置105外へ取り出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。その後、そのウエハWbh1はFOUP500bの元の位置に戻される。その後、FOUP500b内にロボット133のアーム138が挿入される。この時点でアーム138の上方に位置するウエハ情報はセンサーにより検知され、これは制御装置に出力される。これにより制御装置では、このウエハは、例えば、処理速度が特急のウエハと判定される。この処理速度の特急のウエハWbh2は、その後、ロボット133により搬送ライン122のリニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。このウエハ保持具122bでウエハWbh2を受け取ったリニア台車122a−2は、搬送ライン122を処理装置101に向かって走行させられる。その後、ウエハWbh2を有するリニア台車122a−2が、処理装置101に対応する位置に到達したことがセンサーで検知され、この走行は停止される。その後、このウエハWbh2は、処理装置101に搬入されプラズマエッチング処理される。エッチング処理済みのウエハWbh2は、処理装置101外へ取り出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。その後、そのウエハWbh2を受け取ったリニア台車122a−2は、搬送ライン122より処理装置105に向かって走行させられる。この後、ウエハWbh2は、処理装置105に搬入されプラズマCVD処理される。プラズマCVD処理済のウエハWbh2は、処理装置105外へ取り出され、リニア台車122a−2のウエハ保持具122bに渡される。その後、そのウエハWbh2は、FOUP500bの元の位置に戻される。FOUP 500bには、これらの特急のウエハが5枚収納されているものとする。残りの3枚の特急のウエハは、先程のウエハWbh1、Wbh2と同様に搬送処理されてFOUP500bの元の位置に戻される。
【0044】
尚、ここでFOUP500dに先程の処理速度が速い、すなわち処理時間が短いウエハか、または、処理速度が遅い、すなわち処理時間が長いウエハのどちらかが収納されているものとする。例えば、処理時間が短いウエハが収納されている場合、このウエハWdSは搬送ライン122で搬送され処理装置103でプラズマエッチング処理、引続き処理装置105でプラズマCVD処理される。その後、処理済ウエハはFOUP500dの元の位置に戻されて回収される。一方、処理時間が長いウエハが収納されている場合、このウエハWdL1は、搬送ライン121で搬送され処理装置101、102でプラズマエッチング処理、引続き処理装置104、106でプラズマCVD処理される。その後、処理済みウエハFOUP500dの元の位置に戻されて回収される。尚、このような処理は、上述したFOUP500c内のウエハの処理の合間(待ち時間)を利用して実施される。この様なことはセンサー、制御装置により円滑に処理される。
【0045】
この様にして処理が完了したウエハを全て回収したFOUP500bは、その後、AGV410の台412に載置される。その後、このAGV410は、別のベイ等、別の場所へ移動させられる(矢印604または605)。尚、この間FOUP500cおよび500dにあるウエハは、搬送ライン121により搬送され、その途中、処理装置102または103及び処理装置104または106にて順次処理される。この処理ウエハは、FOUP500cおよび500dの元の位置に戻される。その後、FOUP500b内の特急のウエハのベイ100での処理が全て終了した時点で、特急のウエハに対応して選択された処理装置101と105の加工条件がFOUP500cおよび500d内の加工条件が元に戻される。その後、FOUP500cおよび500d内の未処理のウエハは、搬入ライン121により搬送され処理装置101〜106により処理される。処理済のウエハはFOUP500c、500dの元の位置に戻され回収される。
【0046】
以上、本発明の一実施例につき説明をした。
このような一実施例では次のような効果が得られる。
1.処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとが同じベイ内の搬送ラインに混在したとしても、ベイ内搬送ラインとして、この場合、並搬送可能に2つの搬送ラインを有しているため、処理時間が長いウエハの搬送・処理と処理時間が短いウエハの搬送・処理とを別々に分離して行うことができる。このように、ウエハの加工・処理条件により2つの搬送ラインの使い分けができる、つまり、処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとの搬送ラインの使い分けができるため、従来技術でのように、ウエハの搬送・処理待ち時間が生じるのを防止できる。つまり従来技術では、搬送時間は処理時間の長い方に律速されるが、本実施例では2つの搬送ラインをそれぞれ個別に使用するため、このような律速が生じない。従って、処理時間が遅くなることがなく、全体のスピードが低下することがなく、ひいてはベイ全体のスループットが低下するのを防ぐことができる。
2.処理条件が同じで、処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとが同じベイ内の搬送ラインに混在したとしても、ベイ内搬送ラインとして、この場合、並搬送可能に2つの搬送ラインを有しているため、処理時間が長いウエハの搬送・処理と処理時間が短いウエハの搬送・処理とを別々に分離して行うことができる。このように、処理条件が同じでも処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとの搬送ラインの使い分けができるため、従来技術でのように、ウエハの搬送・処理待ち時間が生じるのを防止できる。つまり従来技術では、搬送時間は、処理時間の長い方に律速されるが、本実施例では2つの搬送ラインをそれぞれ個別に使用するためこのような律速が生じない。従って、処理時間が遅くなることがなく、全体のスピードが低下することがなく、ひいてはベイ全体のスループットが低下するのを防ぐことができる。
3.処理条件が違うもので、処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとが同じベイ内の搬送ラインに混在したとしても、ベイ内搬送ラインとして、この場合、並搬送可能に2つの搬送ラインを有しているため、処理時間が長いウエハの搬送・処理と処理時間が短いウエハの搬送・処理とを別々に分離して行うことができる。このように、処理条件が違うもので、処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとの搬送ラインの使い分けがげきるため、従来技術でのような、ウエハの搬送処理待ち時間が生じるのを防止できる。つまり従来技術では、搬送時間は処理時間の長い方に律速されるが、本実施例では2つの搬送ラインをそれぞれ個別に使用するためこのような律速が生じない。従って、処理時間が遅くなることがなく、全体のスピードが低下することがなく、ひいてはベイ全体のスループットが低下するのを防ぐことができる。
【0047】
4.同一FOUP内に処理内容が違うウエハが混在した場合で、処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとが同じベイ内の搬送ラインに混在したとしても、ベイ内搬送ラインとして、この場合、並搬送可能に2つの搬送ラインを有しているため、処理時間が長いウエハの搬送・処理と処理時間が短いウエハの搬送・処理とを別々に分離して行うことができる。このように、同一FOUP内であって処理時間が違う処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとの搬送ラインの使い分けを有するため、従来技術でのような、ウエハの搬送処理待ち時間が生じるのを防止できる。つまり、従来技術では、搬送時間は処理時間の長い方に律速されるが、本実施例では2つの搬送ラインをそれぞれ個別に使用するため、このような律速が生じない。従って、処理時間が遅くなることがなく、全体のスピードが低下することがなく、ひいてはベイ全体のスループットが低下するのを防ぐことができる。
5.特急のウエハ処理で、処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとが同じベイ内の搬送ラインに混在したとしても、ベイ内搬送ラインとして、この場合、並搬送可能に2つの搬送ラインを有しているため、処理時間が長いウエハの搬送・処理と処理時間が短いウエハの搬送・処理とを別々に分離して行うことができる。このように、処理時間が長いウエハと処理時間が短いウエハとの搬送ラインの使い分けができるため、従来技術でのような、ウエハの搬送処理待ち時間が生じるのを防止できる。つまり従来技術では、搬送時間は、処理時間の長い方に律速されるが、本実施例では、2つの搬送ラインをそれぞれ個別に使用するためこのような律速が生じない。従って、処理時間が遅くなることがなく、全体のスピードが低下することがなく、ひいてはベイ全体のスループットが低下するのを防ぐことができる。
【0048】
更に、このような一実施例では、次のような効果も得られる。
6.枚葉搬送ラインが、この場合、並搬送可能に2つの搬送ラインで構成され、しかも、この2つの搬送ラインが、上下位置でセットされた構造であるため、もう1つの搬送ラインに追設によるクリーンルーム占有床面積(フットプリント)の増大も抑制することができる。このため、フットプリント当りのスループットの低下を防止することができる。
7.枚葉搬送ラインを構成する、この場合、上下2つの搬送ラインの搬送空間が、清浄ガス雰囲気に保持される構造のため、これが設置されるクリーンルームの清浄度をより低く緩和できる。このため、クリーンルームも建造費を節減できる。
8.ベイ間搬送ラインとベイ内搬送ライン(枚葉搬送ライン)とを大気ローダタイプのベイストッカーで連結した構造であるため、ベイ間搬送ラインとベイストッカーとの間でのFOUPの取扱いを自動化・容易化できる。
9.ベイストッカーを大気ローダ(大気−清浄ガス雰囲気間ローダ)で構成すれば良く、ベイ内の各処理装置毎に大気ローダ部を設ける必要がないため、装置構成を簡略化でき、その設備費を低減することができる。
【0049】
10.ベイストッカーの大気ローダ部の清浄ガス雰囲気と枚葉搬送ラインの搬送空間の洗浄ガス雰囲気とが連通しているため、これら空間に清浄ガスを供給する装置を集約でき、これによる設備費及び運転費を節減することができる。
11.枚葉搬送ラインを構成する二つの搬送ラインが、この場合上下位置でセットされ、そして、それぞれの搬送ラインと対応する処理装置との間でウエハが独立して受渡しできるため、それぞれの搬送ラインでのウエハの搬送、それぞれの搬送ラインと対応する処理装置との間でのウエハの受渡し及び各処理装置でのウエハの処理をスムーズに行うことができる。これにより、処理時間が違うウエハが混在した場合でも、特急処理が必要なウエハが来た場合でもベイ内のスループット及び全体でのスループットの低下を抑制できる。
12.本実施例では、枚葉搬送ラインの空間の高さと各処理室のロック室の高さが略同一高さであるため、枚葉搬送ラインに、各処理装置を特別なインターフェース部を用いなくとも連設できる。したがって、各ベイの構築が容易になり、各ベイの構築に要する時間を短縮でき、その費用を節減できる。
【0050】
尚、上記の一実施例で、枚葉搬送ラインに故障を検知する故障検知装置を取り付けるようにする(図4)。このような構成で、例えば、搬送ライン121が、何らかの原因で故障した場合、この故障が、故障検知装置で直ちに検知される。この検知信号は、制御装置(図示省略)に送られ、これにより、例えば、搬送ライン122の作動が開始される。このため、このような異常事態が発生しても、ベイ内でのウエハの枚葉搬送は、停止されることなく継続される。従って、各処理装置での処理を停止することなく継続して処理・搬送でき、ベイ内での全ての作業がスムーズに実施される。さらに、このようにベイ内でのウエハの搬送・処理がストップされることがないので、他の関係するベイでのウエハの搬送・処理を全てストップさせずに実施することができる。
【0051】
また、上記の一実施例では、枚葉搬送ラインを上下位置にそれぞれ配置された搬送ラインの組合わせで構成したが、この他に例えば、下側位置の搬送ラインは一実施例と同じものを使用し、そして上側位置の搬送ラインにOHTを使用するようにしても良い。
【0052】
図18、図19は、本発明の第2の実施例を示すものである。図18、図19で本発明の一実施例を示す図4、図6、図7、図14等と異なる点は、枚葉搬送ライン120bが、この場合、ループ状の搬送ライン121とその長手方向中央部に配置された直線上の搬送ライン123とで構成されている点である。
図18で処理装置101〜106が、搬送ライン121の長手搬送方向並びに搬送ライン123の搬送方向に沿って、その両側に各3台毎それぞれ配置されている。
図18で、搬送ライン123にはウエハのすくい部を有するロボット123−1、123−2が、この場合、2台、搬送ライン123の搬送方向の両サイドに1台ずつ可動に配置されている。
【0053】
図19で、搬送ライン121のループ状の搬送室700の底壁部には、例えば、上記一実施例と同様にリニアレール121a−1、リニア台車121a−2でなる移動体121aが設けられている。この移動体121aのリニア台車121a−2にはウエハ保持台121bが設けられている。ここで、移動体121a、ウエハ保持台121bは、上記一実施例のそれらと同様であるため、詳細な説明を省略する。
図19で、搬送室700の各々対面するサイドにはゲート701a、701bが設けられている。そして、これとは反対サイドには、例えば、ロック室102a、105aがゲート102d、105dを介してそれぞれ設けられている。ロック室102a、105aの中にはすくい部12−1、15−1を有したロボット12、15がそれぞれ配置されている。ロック室102a、105aにはゲート102c、105cを介してそれぞれ処理室102b、105bが設けられている。尚、図19で、その他の構成等については上記一実施例を示す図13でのそれらと同様であり、詳細な説明を省略する。図19で、搬送室700内には、清浄ガス、例えば窒素ガスが供給され、窒素ガス雰囲気に保持されている。
【0054】
図19で、搬送ライン123をその内部に含む搬送室702が設けられている。搬送室702の、この場合、頂壁部には搬送ライン123が設けられている。つまり、搬送室702の頂壁部には移動体123aが設けられている。この移動体123aには非接触移動体、この場合、リニアレール123a−1とリニア台車123a−2とでなる移動体123aが用いられる。搬送室702の頂壁部には、リニアレール123a−1が設けられている。リニア台車123a−2は、リニアレール123a−1にガイドされ移動可能に設けられている。リニア台車123a−2には、ウエハのすくい部を有するロボット123−2が設けられている。搬送室702内の雰囲気は大気雰囲気であっても清浄ガス雰囲気であっても良い。
【0055】
図18、図19で、ベイストッカー部130で所定のウエハを受け取った直線状の搬送ライン123のロボット123−2は、リニア台車123a−2を移動させることで搬送ライン123を直線状に移動させられる。その後、この移動は、所定の処理装置に対応する位置にリニア台車123a−2が到達した時点で停止させられる。その後、すくい部にウエハを有するロボット123−2は搬送室702の底壁に向かって下降させられる。この下降は、ロック室102aのロボット12のウエハのすくい部12−1との間でウエハを受け渡し可能な高さで停止させられる。その後、ゲート701aが開けられ、ウエハを有するすくい部はゲート701aを通して搬送室700内に繰り出され停止させられる。一方、ゲート102dが開けられ、ロック室102aのロボット12のすくい部12−1がゲート102dを通して搬送室700内に繰り出され、ウエハの受け渡しのために停止させられる。すくい部からウエハを渡したロボット123−2はゲート701aを通って引き戻され、その後、元の位置(高さ)に戻されて待機させられる。ウエハを受け取ったロボット12のすくい部12−1は、ゲート102dを通ってロック室102a内に引き戻される。その後、ゲート102dが閉じられ、ロック室102a内は処理室102b内と同圧力に減圧排気される。その後、ゲート102cが開けられ、ウエハは、ロック室102aから処理室102bへ搬送され、ここで所定処理される。尚、処理後のウエハは上記操作と逆操作によりベイストッカー部130に戻される。
図18で直線状の搬送ライン123のもう一つのロボット123−1も同様の構成、作用をなすので、詳細説明を省略する。
図18で、例えば、左側に配置されたロボット123−1が、左辺部及び中央部に配置された処理装置を受持ち、また、右側に配置されたロボット123−2が右辺部及び中央部に配置された処理装置を受持つよう制御しても良い。
【0056】
図18、図19で、例えば、
▲1▼ベイ内での各処理装置毎にウエハの処理が異なる場合でも、ループ状の搬送ラインと直線状の搬送ラインとを使い分けることで、ベイ内でのウエハの搬送及びウエハ搬送装置と各処理装置とのウエハの取合いがウエハの処理が異なることに律速されるのを防止でき、これによってスループットの低下を抑制することができる。
▲2▼ウエハの処理内容が、例えば、FOUP毎に異なっている場合でも、ループ状の搬送ラインと直線状の搬送ラインとを使い分けることで、ベイ内でのウエハの搬送及びウエハ搬送装置と各処理装置とのウエハの取合いがFOUP毎にウエハの処理内容が異なっていたとしても、これに律速されるのを防止でき、これによりスループットの低下を抑制することができる。
▲3▼ベイ内でのウエハの処理が同一の場合に生じる危険性がある、ベイ内搬送装置と各処理装置とのウエハの取合い及びベイ内でのウエハの搬送の混乱を、ループ状の搬送ラインと直線状の搬送ラインとを使い分けることで防止でき、これによってベイ内でのスループットの低下を抑制することができる。
【0057】
▲4▼処理時間の違うウエハが混在した場合でも、ループ状の搬送ラインと直線状の搬送ラインとを使い分けることで、処理時間の短いウエハと処理時間の長いウエハとの使い分けができるため、スループットの低下を抑制することができる。
▲5▼多品種少量生産の場合、特急を要するウエハが来た場合、例えば、直線状の搬送ラインを活用することで、特急を要するウエハの搬送処理を普通に処理されるウエハの搬送処理と独立して行うことができるため、そのウエハの処理に時間がかかるのを防止でき、スループットの低下を抑制することができる。
▲6▼ウエハ搬送ラインが故障してもループ状の搬送ラインと直線状の搬送ラインとのどちらかを使用できるので、ベイ内処理や他のベイでの処理がストップするのを防止できる。
▲7▼枚葉搬送ラインが、この場合、ループ状の搬送ラインと直線状の搬送ラインの二つの搬送ラインで構成され、しかも、直線状の搬送ラインをループ状搬送ラインの設置範囲内で追設できるため、フットプリントの増大を抑制でき、フットプリント当たりのスループットの低下を防止することができる。
また、本実施例では、上記一実施例に比べ、直線状の搬送ラインとしたため、枚葉搬送ラインの構成、構造がより簡単となり、その追設費用を削減することができる。
尚、その他、上記一実施例の効果と同様の効果を得ることができる。
【0058】
図20、図21は本発明の第3の実施例を示すものである。図20、図21で、本発明の一実施例を示す図4、図6、図7、図14等と異なる点は、枚葉搬送ラインが、この場合、直線状の搬送ラインと、同じく直線状の搬送ラインとで構成されている点である。
図20、図21で、この場合、各搬送ライン124、125は上下の位置関係にあり、搬送ライン125が下側位置、搬送ライン124が上側位置にセットされた構造となっている。更に、図20で、このような枚葉搬送ライン120bはベイ間搬送ライン400a、400bに挟まれて設置されており、それぞれと対応にその両端部にはベイストッカー部130a、130bが設けられている。
図20、図21で、このような枚葉搬送ライン120bの具体的な構造は、先の一実施例を示した図6、図7と略同様であり、詳細な説明を省略する。また、図20で、この場合、6台の処理装置101〜106が枚葉搬送ラインにそれの搬送方向に対してその両側に各3台それぞれ配置されている。
更に、ベイ間搬送ライン、ベイストッカー部の構成、これと枚葉搬送ラインとの取り合い構造、及び枚葉搬送ラインと各処理装置との取り合い構造は、例えば、先に説明した一実施例のそれらと略同様であり、詳細説明を省略する。
【0059】
図20、図21で、例えば、
▲1▼ベイ内での各処理装置毎にウエハの処理が異なる場合でも、二つの直線状の搬送ラインを使い分けることで、ベイ内でのウエハの搬送及びウエハ搬送装置と各処理装置とのウエハの取り合いが、ウエハの処理が異なることにより律速されるのを防止でき、これによってスループットの低下を抑制することができる。
▲2▼ウエハの処理室内が、例えば、FOUP毎に異なっている場合でも、二つの直線状の搬送ラインを使い分けることで、ベイ内でのウエハの搬送、及びウエハ搬送装置と各処理装置とのウエハの取り合いが、FOUP毎にウエハの処理内容が異なっていたとしても、これによって律速されるのを防止でき、これによってベイ内でのスループットの低下を抑制することができる。
▲3▼ベイ内でのウエハの処理が同一の場合に生じる危険性があるベイ内搬送装置と各処理装置とのウエハの取り合い及びベイ内でのウエハの搬送の混乱を、二つの直線状の搬送ラインを使い分けることで防止でき、これによってベイ内でのスループットの低下を抑制することができる。
【0060】
▲4▼処理時間の違うウエハが混在した場合でも、二つの直線状の搬送ラインを使い分けることで、処理時間の短いウエハと処理時間の長いウエハとの使い分けができるため、スループットの低下を抑制することができる。
▲5▼多品種少量生産の場合、特急を要するウエハが来た場合、例えば、直線状の搬送ラインのいずれか一方を活用することで、特急を要するウエハの搬送処理を普通に処理されるウエハの搬送処理と独立して行うことができるため、そのウエハの処理に時間がかかるのを防止でき、スループットの低下を抑制することができる。
▲6▼ウエハ搬送ラインが故障しても直線状の搬送ラインのどちらかを使用できるので、ベイ内でのウエハの搬送、処理や他のベイでの処理がストップするのを防止できる。
【0061】
また、本実施例では、上記一実施例、第2の実施例に比べ、枚葉搬送ラインを、この場合、二つの直線状の搬送ラインで構成できるため、フットプリントの増大を更に抑制でき、フットプリント当たりのスループットの低下を更に防止することができる。また、枚葉搬送ラインを、この場合、二つの直線状の搬送ラインで構成できるため、枚葉搬送ラインの構成、構造をより簡単化でき、費用を削減することができる。
更に、図20に示すようなベイからベイ間搬送ラインを横切り隣り合った他のベイへウエハを搬送する場合、どちらかの対応するベイストッカー部を使用することで、最短搬送距離でベイから他のベイへウエハを搬送することができる。このため、ウエハの搬送時間を短縮できスループットを向上させることができる。
【0062】
図22〜図25は、本発明の第4の実施例を示すものである。
図22〜図25で、本発明の一実施例を示す図13〜17と異なる点は、枚葉搬送ライン120の下方位置に処理装置107のロック室107aを配置したことにある。
【0063】
図22、図23は、枚葉搬送ライン120の上方搬送ライン122と例えば処理装置107との取合い構造およびウエハの搬送例を示すものである。また、図24、図25は、枚葉搬送ライン120の下方位置にある搬送ライン126と例えば処理装置107との取合い構造およびウエハの搬送例を示すものである。
図22、図23で、枚葉搬送ライン120の空間の下方位置に処理装置107のロック室107aが配置されている。枚葉搬送ラインの空間とロック室107aとはゲート107eで仕切られている。この場合、ウエハ保持台122a−2とウエハ保持具122bとの中心とゲート107eの開口部中心とは、垂直位置で一致させられている。ゲート107eの開口部の大きさは、少なくともウエハWの大きさよりも大きい、つまりウエハWが通過可能な大きさとなっている。この場合、搬送ライン126のリニアレール126a−1は、二つに分離されている。このリニアレールは、ゲート107eをまたぎ配置されている。尚、搬送ライン122の構成は、一実施例の場合と同様であり、説明を省略する。ロック室107aの底壁部には、ウエハ保持台107gが設けられている。ウエハ保持台107gの上表面がウエハ保持面となり、そのウエハ保持面は、ゲート107eの開口部に対応している。ロック室107aにはゲート107cを介して搬送室107fが連設され、また、搬送室107fには、ゲート107dを介して処理室107bが連設されている。搬送室107fには、ロボット107hが設けられている。
【0064】
図22で、ウエハ保持具122bにウエハWが保持され、この状態でウエハ保持台122a−2は処理装置107に向って搬送ライン122を移動させられる。このウエハ保持台122a−2が図22に示すように処理装置107に対応する位置に到着した時点でウエハ保持台122a−2の移動は停止させられる(図23(a))。その後、ロック室107a内に清浄ガス、例えば、窒素ガスが導入され、これによりロック室107a内は、枚葉搬送ラインの空間の圧力、略大気圧に調整される。その後、ゲート107eが開かれる。その後、ロック室107aのウエハ保持台107gに収納されていたウエハ押し上げピン107jが上昇させられる。このウエハ押し上げピン107jの上昇は、ゲート107eの開口部を通過しその先端がウエハ保持具122bに外周面を保持されているウエハWの裏面に到達する状態まで続けられる(図23(b))。その後、ウエハ保持具122bを半径方向に開くことでウエハWは、ウエハ保持具122bからウエハ押上げピン107jに受け渡される。その後、ウエハWを受取ったウエハ押し上げピン107jは下降させられる。この下降は、ウエハ保持台107gにウエハWを渡した時点で停止させられる。その後、ゲート107eが閉じられる(図23(c))。この状態で、ロック室107a内は減圧排気される。搬送室107fと同圧力となった時点でゲート107cが開かれる。その後、押し上げピン107jが再起動され、これによりウエハWはウエハ保持台107gより浮かされた状態となる。その後、ロボット107hのすくい部が、ゲート107cの開口部を通ってロック室107a内に繰り出される。ロック室107a内に繰り出されたロボット107hのすくい部が、ウエハWの裏面に到達された時点で移動が停止される(図23(d))。その後、ウエハ押上げピン107jは、下降させられてウエハ保持台107gに収納させられる。その後、すくい部にウエハWを受取ったロボット107hは、ゲート107cを通って搬送室107f内に引き戻される。その後、ゲート107cは閉じられる(図23(e))。尚、その後の運転操作は、一実施例と同様であり説明を省略する。また、処理室107bで処理されたウエハは、上記操作と逆の操作により処理室107bから107h、搬送室107hからロック室107aそしてロック室107aから枚葉搬送ラインの空間に戻され搬送ライン122のウエハ保持具122bに受け渡され保持される。その後、このウエハは別の処理装置または、FOUPに搬送される。
【0065】
図24、図25でゲート107eをまたぎ配置されたリニアレール126a−1にウエハ保持台が移動可能に設けられている。ウエハ保持台には、ウエハ保持具が設けられている。この場合、ウエハ保持具はウエハの裏面外周辺部をすくう、すくい具を有している。すくい具は120°間隔で3個配置され、半径方向に開閉動可能となっている。この場合、ウエハ保持台、ウエハ保持具の中心とゲート107eの開口部中心とは垂直位置で一致させられている。尚、その他の構造は図22、図23と略同様であり説明を省略する。図24で、ウエハ保持台のウエハ保持具にウエハWが保持され、この状態でウエハ保持台は処理装置107に向かって搬送ラインを移動させられる。このウエハ保持台が図24に示すように処理装置107に対応する位置に到着した時点でウエハ保持台の移動は停止させられる(図25(a))。その後、ロック室107a内に清浄ガス例えば窒素ガスが導入され、これによりロック室107a内は枚葉搬送ラインの空間の圧力、略大気圧に調整される。その後、ゲート107eが開かれる。その後、ロック室107aのウエハ保持台107gに収納されていたウエハ押し上げピン107jが上昇させられる。このウエハ押し上げピン107jの上昇は、ゲート107eの開口部を通過し、その先端がウエハ保持具に外周面を保持されているウエハWの裏面に到達する状態まで続けられる。その後、ウエハ保持具を半径方向に開くことで、ウエハWは、ウエハ保持具からウエハ押し上げピン107jに受け渡される。(図25(b))その後、ウエハWを受け取ったウエハ押し上げピン107jは下降させられる。その後、ゲート107eが閉じられる(図25(c))。
尚、その後のウエハの搬送・処理は図23(d)(e)と略同様であるため説明を省略する。
【0066】
このような本実施例では、上記一実施例での効果の他に次のような効果が得られる。
1.真空処理室のロック室を枚葉搬送ラインの下方位置に直接配置した構造であるため、この分真空処理装置の奥行寸法を小さくでき、フットプリントをこの分、狭小化でき、フットプリント当たりのスループットを更に向上できる。
2.真空処理装置の真空搬送室の搬送ロボットの動作から上下動作を省略できるため、その価格の低減と共に故障等の発生率を低下させることができる。
尚、本実施例では、処理装置のロック室を枚葉搬送ラインの下方位置に配置した例につき説明したが、この他に処理装置のロック室を枚葉搬送ラインの上方位置に配置した構造としても良い。この場合も、本実施例での効果と同様の効果を得ることができる。
【0067】
図26は、本発明の第5の実施例を示すもので、ベイ間搬送ラインとベイストッカー部と枚葉搬送ラインとの取合い構成に係わるものである。
本発明の一実施例を示す図11と異なる点は次の通りである。
まず、本実施例と一実施例との大きな相違点は、ベイ間搬送ライン400c、ベイストッカー部130c、枚葉搬送ライン120dでのウエハの搬送が全て枚葉で実施されるように構成された点にある。
図26で、ベイ間搬送ライン400cは、ウエハが枚葉で搬送されるように構成されている。例えば、ベイ間搬送ライン400cは、清浄ガス雰囲気または減圧雰囲気の空間を形成するトンネル状の搬送室(図示省略)と、該搬送室内に設置されウエハを一枚毎保持し搬送する手段(図示省略)を有している。このウエハ搬送手段は、例えば、先に一実施例で説明したようなリニア移動体と、このリニア移動体に設けられたウエハ保持具を有している。ウエハは、例えば、被処理面上向き姿勢にてウエハ保持具に保持される。複数台のウエハ保持具が連動して、または、独立して移動可能にリニア移動体に設けられている。
【0068】
図26で、このベイ間搬送ライン400cの搬送室及びリニア移動体はベイストッカー部130cの前流側で分岐させられ、そして、その後流側でベイ間搬送ライン400cの搬送室及びリニア移動体にそれぞれ合流連結されている。また、この場合、ループ状の枚葉搬送ライン120dのベイストッカーサイド部分が、ベイストッカー部130cの分岐搬送ライン130c−1に連結されている。枚葉搬送ライン120dは、ループ状の搬送室(図示省略)と、この搬送室内に設置されウエハを一枚毎保持し搬送する手段(図示省略)であって、この場合、上下方向の2ヶ所に設置された搬送手段とを有している。ループ状の搬送室内は、清浄ガス雰囲気または減圧雰囲気に調整される。この場合の2セットのウエハ搬送手段は、先に説明したようなリニア移動体と、このリニア移動体に設けられたウエハ保持具を有している。下側のウエハ保持具では、ウエハは、例えば、被処理面上向き水平姿勢にて保持される。また、上側のウエハ保持具では、ウエハは、例えば、被処理面上向き水平姿勢、または、被処理面下向き水平姿勢にて保持される。下側には、複数台のウエハ保持具が連動して、または、独立して移動可能に下側のリニア移動体に設けられている。また、上側には複数台のウエハ保持具が連動して、または、独立して移動可能に上側のリニア移動体に取り付けられている。
【0069】
図26で、枚葉搬送ライン120dの搬送室及びリニア移動体は、ベイストッカー部130cの分岐搬送ライン130c−1の搬送室及びリニア移動体にそれぞれ連結されている。枚葉搬送ライン120dの搬送室とベイストッカー部130cの分岐搬送ライン130c−1の搬送室とは連通状態となっている。
図26で、枚葉搬送ライン120dの例えば、上側位置の搬送ラインのリニア移動体が、分岐搬送ライン130c−1のリニア移動体にウエハを受渡し可能に連結されている。この場合、分岐搬送ライン130c−1と枚葉搬送ライン120dとの間でのウエハ受渡しは、上側位置の搬送ラインを用いて実施される。また、上側位置の搬送ラインと下側位置の搬送ラインとの間で、ウエハの受け渡しが可能な構造となっている。つまり、このような場合、分岐搬送ライン130c−1を搬送されてきたウエハは、分岐搬送ライン130c−1から上側位置の搬送ラインに渡される。その後、ウエハが有する処理情報により、このウエハはそのまま上側位置の搬送ラインを搬送されて、所定の処理装置に搬送されたり、また、上側位置の搬送ラインから下側位置の搬送ラインに渡され、その後、この搬送ラインを搬送されて所定の処理装置に搬送される。その後、ベイ内での所定処理が終了したウエハは、上側位置の搬送ラインを搬送された後に、この搬送ラインからベイストッカー部130cに渡されたり、また、下側位置の搬送ラインを搬送された後に、この搬送ラインから上側位置の搬送ラインへ、そして、この搬送ラインからベイストッカー部130cに渡される。
尚、このような搬送ラインの使い分けの制御は、例えば、上記一実施例の場合と略同様にして実施されるので、その詳細は省略する。
【0070】
図26で、更に、ベイストッカー部130cにおいて分岐搬送ライン130c−1の後流サイドから分岐された搬送ラインが、その後、分岐搬送ラインの前流側で分岐搬送ラインに合流連結されている。この搬送ライン130c−2は、トンネル状の搬送室(図示省略)と、この搬送室内に設置され、先に説明したリニア移動体のリニアレールとを有している。この場合、搬送室は分岐搬送室に、また、リニアレールは分岐搬送ラインのリニアレールにそれぞれ連結されている。搬送室と分岐搬送室とは連通状態となっている。
この場合、搬送室内がストッカ的機能及び搬送を整理するためのバッファ機能を有している。
【0071】
図26で、ベイ間搬送ライン400cを一枚毎搬送されてきたウエハの内でベイでの処理が必要と判断されたウエハは、ベイ間搬送ライン400cから分岐搬送ライン130c−1に分流搬送される。この分岐搬送ライン130c−1に搬送されてきたウエハは、その処理内容等により枚葉搬送ライン120dの上側、または、下側に配置されて搬送ラインを一枚毎搬送される。このようにしてウエハは一枚毎、所定の処理装置に搬送され、そして所定処理される。処理済みのウエハは、枚葉搬送ライン120dの搬送ラインを一枚毎搬送されベイストッカー部130cを介してベイ間搬送ライン400cに搬送合流させられる。その後、このウエハは、ベイ間搬送ライン400cにより別のベイ等へ搬送される。
図26で、必要に応じ処理前または処理済みのウエハはベイストッカー部130cに一時保管されるようになっている。図26では2枚のウエハを一時保管可能となっているが、この枚数については適宜決められる。
【0072】
以上のような実施例では、上記一実施例での効果を得ることができると共に、更に次のような効果を得ることができる。
1.ベイ間搬送ラインと枚葉搬送ラインとがウエハを一枚毎搬送するラインであるため、これらラインと連結するベイストッカー部の構成、構造を一実施例に比べ大幅に簡素化、小型化できる。このため、一実施例に比べ、搬送ラインの構築費用を節減できる。また、フットプリントを狭小化できるので、フットプリント当たりのスループットを向上させることができる。
2.ベイ間搬送ライン、ベイストッカー部、枚葉搬送ラインを清浄ガス雰囲気、または減圧雰囲気とするため、これらが設置されるクリーンルームの清浄度をより緩やかなものとすることができ、この面での設備費等の費用を節減することができる。
【0073】
以上の実施例ではウエハ自体を一枚毎搬送し処理する例について説明したが、この他に、例えば、清浄ガス雰囲気又は減圧雰囲気を保持された空間であって、ウエハを一枚のみ収容可能な空間を備えたウエハ保持具を用い、ウエハを一枚毎搬送し処理するように構成しても良い。
この場合、図16を用いて説明した搬送室、つまりベイ間搬送ライン、ベイストッカー部、ベイ内の枚葉搬送ラインを構成する搬送室は、特に必要とされない。ただし、ウエハ保持具を移動させる移動体、例えば、リニアレールとリニア台車とでなるリニア移動体の設置は、勿論、この場合も必要である。更に、この場合、各処理装置の、例えば、ロック室内とウエハ保持具内とを連通させ、及びその連通を遮断する手段が必要となる。
【0074】
例えば、ウエハを一枚収容したウエハ保持具は、ベイ間搬送ライン、ベイストッカー部、ベイ内の搬送ラインのどちらかの搬送ラインのリニアレール上をリニア台車に載せられて所定の処理装置の所まで搬送される。その後、ウエハ保持具内とロック室内とは連通させられ、ウエハ保持具内のウエハはロック室内に搬入され、その後、ロック室から処理室に搬入されてここで所定処理される。処理済みのウエハは処理室からロック室へ搬出され、ウエハ保持具内に戻されて収容される。その後、ウエハ保持具内とロック室内との連通は遮断され、ウエハ保持具はロック室から分離させられる。その後、このウエハ保持具は、例えば、他の処理装置やベイストッカー部に向かって搬送される。ベイストッカー部に搬送されてきたウエハ保持具は、その後、ベイ間搬送ラインにより他のベイ等へ搬送される。
【0075】
このような例の場合、図26を用いて説明した実施例での効果の他に、更に、次のような効果を得ることができる。
1.ベイ間搬送ライン、ベイストッカー部、ベイ内の枚葉搬送ラインを全て開放構造とできるため、これらの構成、構造を更に簡素化でき、それらの構築費を節減することができる。
2.ベイ間搬送ライン、ベイストッカー部、ベイ内の枚葉搬送ラインを全て開放構造とでき、ウエハはウエハ保持具に収容して搬送するため、これら搬送室内の清浄度をより緩やかなものとすることができ、この面での設備費等の費用を節減することができる。
3.ベイ間搬送ライン、ベイストッカー部、ベイ内の枚葉搬送ラインを全て開放構造、つまり、クリーンルーム内に開放構造にできるため、メンテナンス、修理を容易に行うことができる。
【0076】
図27は、本発明の第6の実施例を示すものである。図27で、本発明の一実施例を示す図4、図13等と異なる点は、次のとおりである。
図27で、枚葉搬送ライン120に沿って配置された処理装置108は次のような構成となっている。図27で、この場合、共通の真空搬送室108cを備え、これに、真空処理室、例えば、ウエハが一枚毎処理される枚葉タイプの真空処理室108dが複数室設けられている。図27で、真空搬送室108cの形状は、例えば、六角形である。真空処理室108dが4室、この場合、各辺に対応し、それぞれゲート108hを介して真空搬送室108cの、この場合、側壁部に設けられている。真空搬送室内108cには、ウエハの搬送ロボット、この場合、2つのウエハすくい部を別々に有するダブルアームタイプのロボット108iが設けられている。
【0077】
図27で、その左辺部、つまり、ベイ間搬送ライン400側に配置された処理装置108は、真空搬送室108cの残された二辺の側壁部に対応しそれぞれゲート108gを介してウエハ保持室108bが2室設けられている。それぞれのウエハ保持室108bには、それぞれゲート108fを介してロック室108aが設けられている。それぞれのロック室108a内には、ウエハ搬送用のロボット108jが設けられている。また、それぞれのロック室108aと枚葉搬送ライン120とはゲート108eを介してウエハを、この場合は、一枚毎に受渡し可能な取合い構造となっている。この取合い構造等は上記の一実施例の場合と略同様であり説明を省略する。
図27で、その左辺部に配置された処理装置108では、枚葉搬送ライン120の搬送ラインのいずれかを搬送されてきたウエハは、開けられているゲート108eを通してロック室108aのロボット108jにより受取られ(ゲート108e閉)、ウエハ保持室108bにて一時保持される。このウエハ保持室108bでは、真空処理室108dでのウエハの処理内容によるが、ウエハの清浄処理、ベーク処理、加熱等が実施される。その後、このウエハは、開けられているゲート108hを通して真空搬送室108cのロボット108iによりウエハ保持室108bから真空搬送室108cへ、そして、真空搬送室108cから真空処理室108dのいずれかへ搬送されて処理される。このようにして各真空処理室でのウエハの処理が実施される。真空処理室108dでの処理が終了したウエハは開けられているゲート108hを通して真空搬送室108cのロボット108iによりウエハ保持室108bに搬送され、ここで一時保持される(ゲート108h閉)。例えば、ウエハが加熱処理された場合は、このウエハ保持室108bが冷却室として使用される。その後、このウエハは、開けられているゲート108fを通してロボット108jによりウエハ保持室108bからロック室108aへ搬送される(ゲート108f閉)。その後、このウエハは、開けられるゲート108eを通してロック室108aから枚葉搬送ライン120の搬送ラインのいずれかに渡され、別の場所、例えば、別の処理装置やFOUP等に搬送される。
【0078】
このような構成では、ウエハ保持室を備えているため、本発明の一実施例の構成に比べ、真空搬送室、各真空処理室内の汚染を防止することができ、汚染によるスループットの低下を抑制することができる。
また、例えば、左側のロック室108aを枚葉搬送ライン120の、例えば、下側位置の搬送ライン121にゲート108eを介して取合いとし、また、右側のロック室108aと枚葉搬送ライン120の上側位置の搬送ライン122にゲート108eを介して取合いをすることもできる。
このように構成した場合、搬送処理ラインを、下側位置の搬送ライン121⇔左側のロック室108a⇔左側のウエハ保持室108b⇔真空搬送室108c⇔左側の2つの真空処理室108dと、上側位置の搬送ライン122⇔右側のロック室108a⇔右側のウエハ保持室108b⇔真空搬送室108c⇔右側の2つの真空処理室108dとの2つのラインに分離し使い分けすることができる。このため、2つのラインで異なるウエハの処理を並列にて実施でき、ウエハの処理にとって裕度を更に確保することができる。また、2つのラインの内、どちらかのラインが故障等により停止したとしても残りのラインによりウエハの搬送・処理を続行させることができ、ウエハの生産性の低下を抑制することができる。
【0079】
また、図27で、その中央部に配置された処理装置109では、真空搬送室109cの残されたニ辺の側壁部に対応してそれぞれゲート109gを介してロック室109aが設けられている。それぞれのロック室109a内にはウエハ搬送用のロボット109jが設けられている。また、それぞれのロック室109aと枚葉搬送ライン120とはゲート109eをそれぞれ介しウエハを、この場合、一枚毎に受渡し可能な取合い構造となっている。この取合い構造、その他の構造については左辺部の処理装置108と同様であり説明を省略する。
図27で、その中央部に配置された処理装置109では、枚葉搬送ライン120の搬送ラインのいずれかを搬送されてきたウエハは、開けられているゲート109eを通ってロック室109aに受け取られる(ゲート109e開)。その後、このウエハは、開けられているゲート109gを通ってロック室109aから真空搬送室109cへ、そして真空搬送室109cのロボット109jにより真空搬送室109cから真空処理室109dのいずれかに搬送される。このようにして、各真空処理室109dでのウエハの処理が実施される。真空処理室109dでの処理が終了したウエハは、真空搬送室109cのロボット109iにより開いているゲート109gを通って真空搬送室109cからロック室109aに搬送される(ゲート閉)。その後、このウエハは、開かれているゲート109eを通ってロボット109jによりロック室109aから枚葉搬送ライン120の搬送ラインのいずれかに渡され、別の場所、例えば、別の処理装置やFOUP等に搬送される。
このような構成では、先述した左辺部に配置した例に比べ、ウエハ保持室108bを備えていないため、この分、処理装置の奥行寸法を小さくでき、フットプリントを減少させることができる。従って、このような構成では、左辺部に配置した例に比べ、フットプリント当りのスループットを向上させることができる。尚、このような作用効果は、本発明の一実施例でのそれと略同様である。
【0080】
図27で、ベイ間搬送ライン400から最も離れたサイド、つまり、その右辺部に配置された処理装置110では、それぞれのロック室110bにはそれぞれゲート110fを介してウエハ搬送室110aが設けられている。それぞれのウエハ搬送室110aには、ウエハ搬送用のロボット110jが設けられている。この場合、ウエハ搬送室110aはロック機能を有しておらず枚葉搬送ライン120の空間と常に連通状態となっている。
【0081】
図27で、その右辺部に配置された処理装置110では、枚葉搬送ライン120の搬送ラインのいずれかを搬送されてきたウエハは、ウエハ搬送室110aのロボット110jにより受取られ、開かれたゲート110fを通ってロック室110b内に搬入される(ゲート110f閉)。その後、ロック室110b内のウエハは、開かれたゲート110gを通って真空搬送室110cのロボット110iにより真空搬送室110cへ搬送され、更に、真空搬送室110cから真空処理室110dのいずれかに搬送されて処理される。真空処理室110dでの処理が終了したウエハは、開かれたゲート110hを通って真空搬送室110dのロボット110iにより真空搬送室110cからロック室110bに搬送される(ゲート閉110g)。その後、このウエハは、ウエハ搬送室110aのロボット110jによりロック室110bから枚葉搬送ライン120の搬送ラインのいずれかに渡されて別の場所、例えば、別の処理装置やFOUP等に搬送される。
【0082】
このような構成では、ウエハ搬送室110aが枚葉搬送ライン120と各処理装置とのインターフェースとしての機能を有するため、ベイ内での各処理装置の据付け工事が容易となる。例えば、各処理装置は、各処理装置の製造メーカでロック室を含む範囲で製造されるため、ベイ内での枚葉搬送ラインとの取合いにおいて寸法的なずれや誤差を生じ、据付けが極めて困難なものとなる。しかし、本実施例のように、それらのインターフェース部を設けることで、この問題を解決することができる。また、このような構成では、ロック室を備えているため、本発明の一実施例の構成に比べ、真空搬送室、各真空処理室内の汚染を防止でき、汚染によるスループットの低下を抑制することができる。また、例えば、左側のウエハ搬送室を枚葉搬送ラインの、例えば、下側位置の搬送ラインと取合いとし、また、右側のウエハ搬送室を枚葉搬送ラインの上側位置の搬送ラインと取合いとすることもできる。
【0083】
このように構成した場合、搬送処理ラインを、下側位置の搬送ライン121⇔左側のウエハ搬送室110a⇔左側のロック室110b⇔真空搬送室110c⇔左側の2つの真空処理室110dと、上側位置の搬送ライン122⇔右側のウエハ搬送室110a⇔右側のロック室110b⇔真空搬送室110c⇔右側の2つの真空処理室110cとの2つのラインに分離し使い分けすることができる。このため、左辺部に配置された例の場合の作用効果と同様の作用効果を得ることができる。
尚、このような構成の場合、ウエハ搬送室に減圧手段を設ける必要はなく、枚葉搬送ラインの空間雰囲気が清浄ガス雰囲気である場合はこれと連通するウエハ搬送室内に清浄ガスを供給する手段を設ければ良い。また、枚葉搬送ラインの空間が開放空間である場合には、これと同じく開放構造とすれば良い。
【0084】
以上、図27を用い本発明の第7の実施例を説明したが、図27で、本発明の一実施例を示す図4、図13等と同様の構成、作用等については説明を省略した。
更に、図27での実施例に対し、次のような変形、改良を行うことができる。
▲1▼図27では、共通の真空搬送室に複数室の枚葉処理用の真空処理室を設けたタイプの処理装置を例にとり説明したが、特にこれには限定されない。例えば、真空処理室が複数のウエハを同時に処理する、つまり、バッチ処理室のみであったり、このようなバッチ処理室と枚葉処理室との組合わせであったりしても、本発明を実施する上で、特に問題を生じない。
▲2▼ベイを、枚葉マルチタイプの処理装置やバッチ処理装置や、(バッチ処理+枚葉処理)装置や真空処理室が1室である単一処理装置等の組合わせで構成しても、本発明を実施する上で、特に問題を生じない。
▲3▼ベイを、このような真空処理装置とそれ以外の処理装置、例えば、常圧でウエハが処理される処理装置や、加圧状態でウエハが処理される処理装置等の組合わせで構成しても、本発明を実施する上で、特に問題を生じない。
【0085】
例えば、リソグラフィ、プラズマCVD装置、スパッタ装置、プラズマエッチング装置、検査・評価装置、CMP(Chemical MechanicalPolisher)、真空蒸着装置、メッキ装置等がベイの構成に採用される。
尚、このような処理装置としては、ベイでのウエハの処理に必要な処理装置が、実用上、選択されて配置されることは言うまでもない。
【0086】
図28は本発明の第7の実施例を示すものである。図28は枚葉搬送ライン部を横切った状態の断面図である。
図28で左側の搬送室703には、その左方向でロック室、処理室がゲートを介して順次連設されている。図28で右側の搬送室703には、その右方向でロック室、処理室がゲートを介して順次連設されている。図28で、この場合、搬送室703、例えば、ロック室102a、処理室102cのそれぞれの底壁面は略同一高さである。この場合、基礎(床)面からの高さH1である。一方、図28で、この場合、搬送室703、例えば、ロック室105a’、処理室105b’のそれぞれの頂壁面は、略同一高さである。この場合、基礎(床)面からの高さH2である。従って、図28で搬送室703の高さH3は、H2−H1となる。
【0087】
図28でこのような搬送室703内には、下側の搬送ライン121の、例えば、、非接触移動体のリニアレール121a−1が、その底壁面に設けられ、上側の搬送ライン122の、例えば、非接触移動体のリニアレール122a−2が、その頂壁部に設けられている。ここで、各搬送ライン121、122の構成、構造は、先の一実施例と略同様であり、詳細説明を省略する。また、各搬送室703内は、先の一実施例と同様に清浄ガス雰囲気となっている。
図28で、左側及び右側のロック室102a、105a’内には、一実施例と同様のウエハすくい部12−1、15−1’を有する搬送用のロボット12、15’が設けられている。一般的にロック室102a、105a’までを含む処理装置が装置メーカによって別々に製造され、例えば、半導体工場のベイに各々搬入、設置される。ここで、例えば、ロック室の高さがそれぞれの装置に係わらず略同一高さに統一されている場合には、特に問題ない。しかし多くの場合、それぞれの装置においてロック室の高さが異なっている。
【0088】
図28に示す実施例では、このような点を考慮したもので、枚葉搬送ラインをインターフェイス部とすることで、先述したように装置毎にロック室の高さが異なっていても、これによる問題を解決でき、ベイの構築をスムーズに行うことができる。
図28で、例えば、左側の搬送室703で、下側の搬送ライン121を搬送されてきた、または、搬送されるウエハのロック室102aのロボット12との受け渡しは、先の一実施例での場合と同様に行われる。一方、上側の搬送ライン122を搬送されてきたウエハのロック室102aのロボット12との受け渡しは、次のようにして実施される。まず、ウエハを保持している状態でウエハ保持具122bが下降させられる。この下降は、ロック室102aのロボット12の間でウエハ受け渡し可能な高さ(位置)で停止させられる。その後、ゲート102dが開けられ、ロック室102aのロボット12のウエハのすくい部12−1がウエハ保持具122bに向かって繰り出され、その結果、ウエハ保持具122bのウエハはロボット12のすくい部12−1にすくい渡される。その後、このウエハは先の一実施例での場合と同様に、処理室102bで所定処理される。この間、ウエハを渡したウエハ保持具122bは、下側の搬送ライン121でのウエハの搬送を阻害しないように元の高さの所に戻されて待機させられる。処理室102bでの処理が終了したウエハは処理室102bからロック室102aへ戻される。また、待機させられているウエハ保持具122bは下降させられ、所定の高さ(位置)で停止させられる。その後、ロック室102a内は圧力をリークされてゲート102dが開けられる。この状態でロック室102a内の処理済みのウエハはロボット12を繰り出すことでロック室102a内から搬送室703内に搬送され、そして、ウエハ保持具122bに再び渡される。その後、このウエハはウエハ保持具122bに保持されて、例えば、搬送室内を右側のロック室105a’に対応する位置まで搬送される。このウエハは、ウエハ保持具122bからロック室105a’のロボット15’のウエハすくい部15−1’に渡される。その後、このウエハは先の一実施例と同様に処理室105b’で所定処理される。処理室105b’での処理が終了したウエハは処理室105b’からロック室105a’へ戻される。その後、ロック室105a’内は圧力をリークされてゲートが開けられる。この状態で、ロック室105a’内の処理済みのウエハはロボット15’を繰り出すことでロック室105a’から搬送室703内に搬送され、そしてウエハ保持具122bに再び渡される。その後、このウエハは搬送室703内を、例えば、他の処理装置で処理するために搬送されたり、例えば、ベイストッカー部のFOUPに戻すために搬送される。
【0089】
図28で、更に下側の搬送ライン121を搬送されてきたウエハのロック室122aのロボット12との受け渡しは、次のようにして実施される。まず、下側の搬送ライン121でウエハを保持するウエハ保持台121bが搬送され、この搬送は、所定の処理装置102のロック室102aに対応する位置に到着した時点で停止させられる。その後、ゲート102dが開けられ、ロック室102aのロボット12のウエハすくい部12−1がウエハ保持台121bに向かって繰り出され、その結果、ウエハ保持台121bのウエハは、ロボット12のすくい部12−1にすくい渡される。その後、このウエハは先の一実施例での場合と同様に処理室102bで所定処理される。この間、例えば、ウエハを渡したウエハ保持台121bは、次のウエハの搬送を阻害しないように、搬送室703内を前に進められる。処理室102bでの処理が終了したウエハは、処理室102bからロック室102aへ戻される。一方、このロック室102aに対応した位置には、ウエハ受け取りのためのウエハ保持台121bが移動させられている。その後、ロック室102a内は圧力をリークされてゲート102dが開けられる。この状態で、ロック室102a内の処理済みのウエハはロボット12を繰り出すことで、ロック室102a内から搬送室703内に搬送され、そして、ウエハ保持台121bに渡される。その後、このウエハはウエハ保持台121bに保持されて、例えば、搬送室703内を右側のロック室105a’に対応する位置まで搬送される。その後、このウエハは一実施例での場合と同様に押し上げピンにより搬送室703内をその頂壁部に向かって上昇させられる。この上昇は、所定の高さに達した時点で停止させられる。その後、ゲート105d’が開けられ、ロック室105a’のロボット15’のウエハのすくい部15−1’がウエハ保持台121bに向かって繰り出され、その結果、ウエハ保持台121bのウエハは、ロボット15’のすくい部15−1’にすくい渡される。その後、このウエハは、先の一実施例での場合と同様に処理室105b’で所定処理される。この間、例えば、ウエハを渡したウエハ保持台121bは、次のウエハの搬送を阻害しないように、搬送室703内を更に前へ進められる。処理室105b’での処理が終了したウエハは、処理室105b’からロック室105a’へ戻される。一方、このロック室105a’に対応した位置には、ウエハ受け取りのためのウエハ保持台121bが移動させられている。その後、ロック室105a’内は圧力をリークされてゲートが開けられる。この状態で、ロック室105a’内の処理済みのウエハはロボット15’を繰り出すことで、ロック室105a’内から搬送室703内へ搬送され、そして、ウエハ保持台121bに渡される。その後、このウエハは搬送室703内を、例えば、他の処理装置で処理するために搬送されたり、例えば、ベイストッカー部のFOUPに戻すために搬送される。
【0090】
このような実施例では、上記の一実施例での効果と同様の効果が得られると共に、更に次のような効果が得られる。
1.ベイ内に設置される各処理装置の、例えば、ロック室の高さが異なっていたとしても、このような枚葉搬送ラインをインターフェイス部とすることで、ベイの構築をスムーズに行うことができる。これによってベイの構築工程を短縮でき、ベイの構築費用を節減することができる。また、ベイの立ち上げ時間を短縮することができ、スループットを向上させることができる。
このような本実施例では、処理装置のロック室で、高さが低いロック室に搬送室の底壁の高さを合わせ、処理装置のロック室で高さの高いロック室に搬送室の頂壁の高さを合わせるように構成しているが、このようなことは、本実施例に特に限定されない。つまり、各処理装置の高さに対応するインターフェイス部を持つように枚葉搬送ラインを構成すれば、いかなる構造であっても良い。
【0091】
図29、図30は本発明の第8の実施例を示すものである。図29、図30は、特に図22、23で示し説明した実施例、つまり、枚葉搬送ライン120の空間の下方位置に処理装置のロック室704が配置された構成の、また、別の実施例を示すものである。
【0092】
図29、図30で、先の実施例を示した図22、図23と異なる点は、次の通りである。
この異なる点は、特に図29により明らかに説明される。図29で枚葉搬送ライン120、この場合、下の搬送ライン126の下方位置に配置されているロック室704が、1つの処理装置のみでなく、複数の処理装置(101、102)、この場合、二台の処理装置に共通して構成されている。ロック室704内には、ウエハの搬送手段が設けられている。搬送手段には、この場合、非接触移動体、この場合、リニアレール127a−1とリニア台車127a−2とでなる移動体127aが用いられる。ロック室704の底壁部には、リニアレール127a−1が設けられている。リニアレール127a−1はロック室704の長手方向で処理装置が並べられている方向に設けられている。リニアレール127a−1には、少なくとも1台、リニア台車127a−2が移動可能に設けられている。このリニア台車127a−2のウエハ保持台127bは、ロック室704と搬送室101aとの間に設けられたゲート101dの開口部に対応させられている。この場合、このゲート107eは処理装置1台、この場合、左側の処理装置1台にのみ対応して設けられている。尚、図29、図30で、先の実施例を示した図22、図23と同様の構成、構造は同一符号で示し説明を省略した。
【0093】
図29、図30で、枚葉搬送ライン120の、例えば、下側の搬送ライン126で搬送されてきたウエハは、ロック室704に搬入される。このロック室704内に搬入されたウエハは、この中のウエハ保持台127bに渡される。ウエハを受け取ったウエハ保持台127bは、例えば、右側に配置された処理装置102の搬送室102aに向かってロック室704内を移動させられる。このウエハ保持台127bの移動は、このウエハ保持台127bが、右側に配置された処理装置102のゲート102dに対応する位置に到着した時点で停止される。その後、ゲート102dが開かれ、ウエハ保持台127bのウエハは、搬送室102aそして処理室102bへ搬送されて所定処理される。処理済みのウエハは、先程の操作と逆操作により処理室102b→搬送室102a→ロック室704、そして下側の搬送ライン126に搬送されてウエハ保持台126bに渡される。処理済みのウエハを受け取ったウエハ保持台126bは、下側の搬送ライン126を別の処理装置やベイストッカー部等へ向かって搬送される。
【0094】
図29、図30で、枚葉搬送ライン120の、例えば、下側の搬送ライン126で搬送されてきた次のウエハは、ロック室704内に搬入される。このロック室704内に搬入されたウエハは、この中のウエハ保持台127bに渡される。ウエハを受け取ったウエハ保持台127bは、この場合、移動させられない。つまり、このウエハは、この場合、左側の処理装置101で処理される必要があり、このゲート101dに対応した位置にウエハ保持台127bが停止されている。その後、ゲート101dが開けられ、ウエハ保持台127bのウエハは搬送室101a、そして処理室101bへ搬送されて所定処理される。処理済みのウエハは、先程の操作と逆操作により処理室101b→搬送室101a→ロック室704、そして下側の搬送ライン126に搬送されウエハ保持台126bに渡される。この処理済みのウエハを受け取ったウエハ保持台126bは、下側の搬送ライン126を別の処理装置やベイストッカー部へ向かって搬送される。
【0095】
図29、図30で、図22、図23の実施例に比べ、処理装置毎に枚葉搬送ラインとのゲート等の取り合いを少なくして簡素化できるため、ベイの構築費を節減することができる。
尚、図29、図30で枚葉搬送ラインで、下側の搬送ラインを使用する場合につき説明したが、上側の搬送ラインを使用、また、上側、下側の搬送ラインを使用する場合も同様に操作でき、特に問題は生じない。
図29、図30で次のような使用も有効である。
▲1▼処理装置内のウエハの搬送をロック室を介して実施する。例えば、左側の処理装置で所定処理されたウエハを、ロック室内を搬送して右側の処理装置の処理室へ搬送し、ここで、次の所定処理する。また、この逆操作も実施できる。
【0096】
図31、図32は、本発明の第9の実施例を示すものである。図31、図32は特に図22、図23で示し説明した実施例、つまり、枚葉搬送ラインの空間の下方位置に処理装置のロック室が配置された構成の、更に別の実施例を示すものである。
図31、図32で、先の実施例を示す図22、図23と異なる点は、処理装置の搬送室101a、102aが、ゲート800を介して連設された点である。尚、この他、図22、図23と同様の構成は同一符号で示し説明を省略する。
図31、図32で、このような構成は、
▲1▼矢印610で示すように処理装置毎に独立してウエハを搬送、処理する。
▲2▼矢印611で示すように、他の装置のロック室、搬送室を介して一方の搬送室、処理室へウエハを搬送し処理できる。このような場合は、ウエハを所定処理装置に搬送または処理済みのウエハを枚葉搬送ライン120に取り出す場合、搬送ラインの都合による悪影響を小さく抑制できる。例えば、搬送ラインのリニア台車がウエハを保持した状態で右側の処理装置102のロック室706に対応した場所に何等かの原因で停止した場合、左側の搬送室101a、ロック室705を使用することで、右側の処理装置102の処理室102bからの処理済みウエハを枚葉搬送ライン120にスムーズに受け渡しすることができる。また、例えば、同様の状態で、搬送ラインで搬送されてきたウエハを右側の処理装置102の処理室102bに搬送する必要が生じた場合、左側のロック室706、搬送室101aを使用することで、右側の処理装置102の処理室102bにウエハを搬送することができる。
▲3▼更に、処理装置が3台並設されたものでは、例えば、中央部の処理装置のロック室に対応した位置に何等かの原因で、リニア台車が停止した場合、左側のロック室→左側の搬送室→中央部搬送室→右側搬送室→右側のロック室→リニア台車のウエハ保持台というように、この停止したリニア台車をスキップしてウエハを搬送することができる。
【0097】
▲4▼また、一方の処理装置で処理されたウエハをこの搬送室→ゲート→他方の搬送室→他方の処理室に搬送し、同一ウエハを連続して処理することができる。
▲5▼尚、▲1▼のようなウエハのパラレル搬送処理、▲4▼のようなウエハのシリーズ搬送処理を、それぞれ独立して実施できるように構成しても、また、併せて実施できるように構成しても良い。
【0098】
以上の本実施例においては、搬送ラインとして移動体とウエハ保持台(具)とを備えたものを用い、移動体に、スループットに影響を及ぼすパーティクル発生を抑制するため、リニアレールとリニア台車とでなるリニア移動体を用いているが、特にこれに限定されない。例えば、移動体に、ガイドテープとこのガイドテープを検知し移動する手段とでなるものを用いて良い。
また、枚葉搬送ラインの搬送空間の雰囲気を、以上の実施例では清浄ガス、例えば、窒素ガス雰囲気として説明しているが、本発明の主旨、目的からしてこれは必要な要件ではない。例えば、この搬送空間の雰囲気は、減圧雰囲気であっても良い。このような場合、ベイストッカー部での取り合い構造がやや複雑になる。例えば、FOUPとこの搬送空間とをロック室で連結する必要が生じる。一方、この搬送空間と各処理装置との取り合い構造は、これらの処理装置が真空処理装置(例えば、プラズマエッチング装置、プラズマCVD装置、スパッタ装置等)である場合、ロック室等が不要になり、より構造を簡素化できる。ただし、これらの処理装置の内で大気雰囲気での処理装置(例えば、リソグラフィ、CMP、検査・評価装置等)がある場合は、逆にロック室等の連設用の手段が必要となる。更にこの搬送空間を減圧雰囲気とするための減圧排気装置等の設置が必要となり、また、これら設備の運転費用が必要である。
【0099】
例えば、この搬送空間の雰囲気は、例えば、クリーンルーム内と同様の雰囲気、つまり、特段の対応をしない雰囲気であっても良い。このような場合、FOUPと、この搬送空間とをお互いの雰囲気調整用のロック室で連結する必要が生じる。ただ、この搬送空間と各処理装置との取り合い構造は、上記実施例の場合と同じようにすることができる。また、このような搬送空間の場合、清浄ガスの供給手段や低圧排気手段等の設置が不要であり、従って運転費用も不要にできる。
【0100】
以上、枚葉搬送ラインの搬送空間の雰囲気の各種例について述べたが、処理装置が真空処理装置、大気雰囲気での処理装置等であった場合、これらの装置への搬送途中において、ウエハへのパーティクルの付着が生じ、これによる歩留まり低下を防止するためには、この搬送空間の雰囲気は、清浄ガス雰囲気か減圧雰囲気に制御されるのが好ましい。ただし、一枚のみウエハを収容できるFOUPを用いてウエハを搬送する場合は、先に説明したようにこの限りではない。
また、上記の実施例では、ベイ間搬送ラインにAGVを使用した例を説明したが、この他にOHT(Over Head Transfer) 等の搬送手段を使用しても良い。
【0101】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明によれば、ベイ内に並搬送可能に少なくとももう一つの別の搬送ラインを設けることで、ベイ内でのウエハ搬送に係り生じる問題を解決することができ、ベイ内でのスループットの低下、ひいてはベイ全体のスループットの低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第2の従来技術を示すウエハ枚葉生産システムの平面図。
【図2】第3の従来技術を示す露光後の被処理基板の処理ラインの平面図。
【図3】第4の従来技術を示すTFTアレイ形成ラインの平面図。
【図4】本発明による半導体製造ラインの一実施例を部分的に示す平面図。
【図5】図4の一実施例の枚葉搬送ラインのベイストッカーとは反対側の部分の斜視外観図。
【図6】図5のI−I視断面図。
【図7】図5の詳細な縦断面図。
【図8】図4の本発明の一実施例の枚葉搬送ラインの下側位置の搬送ラインの部分平面図。
【図9】図4の本発明の一実施例の枚葉搬送ラインの上側位置の搬送ラインの部分平面図。
【図10】図9のウエハ保持部分のウエハ保持具及びその作用を説明するための平面図。
【図11】図4の本発明の一実施例の枚葉搬送ラインを説明するもので、ベイ間搬送ラインとベイ内の枚葉搬送ラインとの取合いを示す部分的な平面図。
【図12】図11の正面図。
【図13】図4の本発明の一実施例の枚葉搬送ラインと真空処理装置との取合い例を示す部分的な平面図。
【図14】図13の上側位置の搬送ラインと真空処理装置との取合い構造を示す縦断面図。
【図15】図14のウエハの搬送状況を模式的に示した縦断面図。
【図16】図13の下側位置の搬送ラインと真空処理装置との取合い例を示す部分的な平面図。
【図17】図16のウエハの搬送状況を模式的に示した縦断面図。
【図18】本発明による半導体製造ラインの第2の実施例を部分的に示す平面図。
【図19】図18の要部の縦断面図。
【図20】本発明による半導体製造ラインの第3の実施例を部分的に示す平面図。
【図21】図20の要部の縦断面図。
【図22】本発明による半導体製造ラインの第4の実施例を示すもので、上側位置の搬送ラインと真空処理装置との取合い構造の第2の実施例を示す縦断面図。
【図23】図22のウエハの搬送状況を模式的に示した縦断面図。
【図24】本発明による半導体製造ラインの第4の実施例を示すもので、下側位置の搬送ラインを真空搬送装置との取合い構造の第2の実施例を示す縦断面図。
【図25】図24のウエハの搬送状況を模式的に示した縦断面図。
【図26】本発明による半導体製造ラインの第5の実施例を示すもので、ベイ間搬送ラインとベイ内の枚葉搬送ラインとの取合いを示す部分的な平面図。
【図27】本発明による半導体製造ラインの第6の実施例を示すもので、ベイ内枚葉搬送ラインと各処理装置との取合いを示すベイ部分の平面図。
【図28】本発明による半導体製造ラインの第7の実施例を示すもので、枚葉搬送ライン部を横切った状態の断面図。
【図29】本発明による半導体製造ラインの第8の実施例を示すもので、枚葉搬送ラインと各処理装置との取合いの別の実施例を示す部分的な平面図。
【図30】図29の要部の縦断面図。
【図31】本発明による半導体製造ラインの第9の実施例を示すもので、枚葉搬送ラインと各処理装置との取合いの更に別の実施例を示す部分的な平面図。
【図32】図31の要部の縦断面図。
【符号の説明】
100、200、300……ベイ、101〜111……処理装置、107a、704〜706……ロック室、120、120a、102b……枚葉搬送ライン、121〜126……搬送ライン、130、130a〜130c、230、330……ベイストッカー、400、400a〜400c……ベイ間搬送ライン、410……AGV、500a〜500d……FOUP、110a、101a、102a、700、702、703……搬送室、800……ゲート、900〜902……故障検知装置
Claims (4)
- 複数のベイ間をベイ間搬送ラインで結んだ基板の搬送装置を用いた基板の搬送方法であって、前記基板の搬送装置のベイが、複数のFOUPを載置し得るベイストッカと、前記ベイ内にそれぞれ独立して配置された第1の搬送ラインおよび該第1の搬送ラインの基板搬送面と相対する基板搬送面を有する第2の搬送ラインと、前記第1の搬送ラインおよび第2の搬送ラインの基板搬送面に沿って配置された複数の処理装置とを備え、前記複数の処理装置を用いて処理装置での処理時間の異なる基板の処理を行うための基板を枚葉搬送する搬送方法であって、
前記ベイ間搬送ラインによりFOUPを搬送するステップと、
該搬送されたFOUPを前記ベイストッカへ載置するステップと、
前記FOUP内から取り出した任意の基板をベイ内の第1の搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
前記FOUP内から取り出した任意の基板をベイ内の第2の搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
前記ベイ内の複数の処理装置のいずれかの処理装置と、前記ベイ内の第1の搬送ラインまたは第2の搬送ラインとの間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
前記ベイ内の基板の枚葉搬送を、前記基板の処理情報により前記第1の搬送ラインと前記第2の搬送ラインとを処理装置での処理時間の短い基板と処理装置での処理時間の長い基板とに対応して使い分けて実施するステップと、
を備える基板の搬送方法。 - 複数のベイ間をベイ間搬送ラインで結んだ基板の搬送装置を用いた基板の搬送方法であって、前記基板の搬送装置のベイが、複数のFOUPを載置し得るベイストッカと、前記ベイ内にそれぞれ独立して配置され略水平面の基板搬送面を有する第1の搬送ラインおよび該第1の搬送ラインの基板搬送面と上下方向に相対する基板搬送面を有する第2の搬送ラインと、前記第1の搬送ラインおよび第2の搬送ラインの基板搬送面に沿って配置された複数の処理装置とを備え、前記複数の処理装置を用いて処理装置での処理時間の異なる基板の処理を行うための基板を枚葉搬送する搬送方法であって、
前記ベイ間搬送ラインによりFOUPを搬送するステップと、
該搬送されたFOUPを前記ベイストッカへ載置するステップと、
前記FOUP内から取り出した任意の基板をベイ内の第1の搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
前記FOUP内から取り出した任意の基板を前記第2の搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
前記ベイ内の複数の処理装置のいずれかの処理装置と、前記ベイ内の第1の搬送ラインまたは第2の搬送ラインとの間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
前記ベイ内の基板の枚葉搬送を、前記基板の処理情報により前記第1の搬送ラインと前記第2の搬送ラインとを処理装置での処理時間の短い基板と処理装置での処理時間の長い基板とに対応して使い分けて実施するステップと
を備える基板の搬送方法。 - ベイが、複数のFOUPを載置し得るベイストッカと、前記ベイ内にそれぞれ独立して配置された第1の搬送ラインおよび該第1の搬送ラインの基板搬送面と上下方向に相対する基板搬送面を有する第2の搬送ラインとで構成され前記各処理装置で処理される基板を枚葉で搬送する枚葉搬送ラインと、前記第1の搬送ラインおよび第2の搬送ラインの基板搬送面に沿って配置された複数の処理装置とを備えており、前記ベイ内で前記基板を枚葉搬送する基板の搬送方法であって、
前記ベイストッカに載置された任意のFOUP内から取り出した任意の基板を前記第1の搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
前記ベイストッカに載置された任意のFOUP内から取り出した任意の基板を前記第2の搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
前記第1の搬送ラインと前記複数の処理装置のいずれかの処理装置との間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
前記第2の搬送ラインと前記複数の処理装置のいずれかの処理装置との間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
前記基板の枚葉搬送を、前記基板の処理情報により前記第1の搬送ラインと前記第2の搬送ラインとを処理装置での処理時間の短い基板と処理装置での処理時間の長い基板とに対応して使い分けて前記ベイ内で実施するステップと、
を備える基板の搬送方法。 - ベイが、複数のFOUPを載置し得るベイストッカと、前記ベイ内にそれぞれ独立して配置された第1の搬送ラインおよび該第1の搬送ラインの基板搬送面と上下方向に相対する基板搬送面を有する第2の搬送ラインとで構成され各処理装置で処理される基板を枚葉で並搬送可能に設けた枚葉搬送ラインと、前記第1の搬送ラインおよび第2の搬送ラインの基板搬送面に沿って配置された複数の処理装置とを備え、前記ベイ外から該ベイ内に枚葉搬送されてきた任意のFOUP内の任意の前記基板を枚葉搬送する基板の搬送方法であって、
前記ベイストッカに載置された任意のFOUP内から取り出した任意の基板を前記枚葉搬送ラインを構成する第1の搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
前記ベイストッカに載置された任意のFOUP内から取り出した任意の基板を前記第1の搬送ラインとは独立した第2の搬送ラインにより枚葉搬送するステップと、
前記第1の搬送ラインと前記処理装置のいずれかの処理装置との間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
前記第2の搬送ラインと前記処理装置のいずれかの処理装置との間で前記基板を枚葉で受け渡し搬送するステップと、
前記基板の枚葉搬送を、前記基板の処理情報により前記第1の記搬送ラインと前記第2の搬送ラインとを処理装置での処理時間の短い基板と処理装置での処理時間の長い基板とに対応して使い分けて前記ベイ内で実施するステップと
を備える基板の搬送方法。
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