JP4688824B2 - 天井走行車システム及び天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法 - Google Patents
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Description
この発明は天井走行車の軌道に沿ってバッファを設けたシステムに関し、特に天井走行車システムを設置したスペース内で、処理設備の搬出入などを行う際に、バッファが障害にならないようにすることに関する。
出願人は、天井走行車の走行軌道の下部や側部にバッファを配設することを提案した（特許文献１）。このようにすると、物品の保管用のストッカを減らすことができ、搬送先のポート付近のバッファを利用できるので、搬送先のポート付近のバッファまで物品を搬送しておいて、ポートが空いた際に搬入するなどのことができる。またバッファを利用して、複数の天井走行車間で搬送作業を分割することができる。
しかしながらバッファは、周囲の処理装置などの設備を搬出入する際の妨げとなる。軌道下部のバッファは、天井走行車で搬送中の物品と干渉しないように、天井走行車よりも低い位置に配置される。また軌道側部のバッファは、天井走行車で搬送中の物品とほぼ同じ高さに配置される。設備の入れ替え時などには、天井走行車は邪魔にならない位置へ自走して退避できるが、バッファは軌道の周囲で通路の上部や設備の上部を塞ぎ、これらの移動を妨げる。
特開２００５−２０６３７１号
この発明の課題は、天井走行車システムの周囲の装置などの移動時に、バッファが邪魔にならないようにすることにある。
この発明での追加の課題は、バッファをコンパクトに格納することにある。
この発明での追加の課題は、バッファをコンパクトにかつ出っ張りが生じないように格納することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、バッファの格納や復旧を容易にすることにある。
この発明での追加の課題は、バッファをコンパクトに格納することにある。
この発明での追加の課題は、バッファをコンパクトにかつ出っ張りが生じないように格納することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、バッファの格納や復旧を容易にすることにある。
この発明は、クリーンルーム内で上方より吊り下げた軌道に沿って天井走行車を走行させることにより、半導体の処理装置あるいは検査装置からなる複数の処理装置間で、半導体ウエハあるいはレチクルから成る物品を収納したカセットを搬送すると共に、該軌道の側方または下方に、カセットの収納スペースを備えたバッファを上方より吊り下げた天井走行車システムにおいて、
天井走行車は、カセットの上部に設けられたフランジを支持する昇降台と、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を軌道の長手方向と直交する方向に水平移動させる水平移動手段とを備えて、水平移動手段と昇降駆動部と昇降台とが軌道の下部に位置する状態で走行し、
バッファは下部のフレームと下部のフレームを支持する支柱とを備え、下部のフレームの上部がカセットを収納するための収納スペースとなり、
前記支柱は、上から下への順で第１の支柱、第２の支柱、第３の支柱、第４の支柱の４本の直立した支柱から成り、第１の支柱の上部が前記上部のフレームに、第４の支柱の下部が前記下部のフレームに取り付けられ、第１の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第２の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第２の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第３の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第３の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第４の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、
前記処理装置の搬出入時に処理装置の搬出入用のスペースを設けるために、前記第２の支柱と第３の支柱とが前記下部フレームの上部へ水平に倒れるようにすることにより、前記下部フレームを処理装置の搬出入を妨げない高さへと上方へ格納自在に構成したことを特徴とする。
天井走行車は、カセットの上部に設けられたフランジを支持する昇降台と、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を軌道の長手方向と直交する方向に水平移動させる水平移動手段とを備えて、水平移動手段と昇降駆動部と昇降台とが軌道の下部に位置する状態で走行し、
バッファは下部のフレームと下部のフレームを支持する支柱とを備え、下部のフレームの上部がカセットを収納するための収納スペースとなり、
前記支柱は、上から下への順で第１の支柱、第２の支柱、第３の支柱、第４の支柱の４本の直立した支柱から成り、第１の支柱の上部が前記上部のフレームに、第４の支柱の下部が前記下部のフレームに取り付けられ、第１の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第２の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第２の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第３の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第３の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第４の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、
前記処理装置の搬出入時に処理装置の搬出入用のスペースを設けるために、前記第２の支柱と第３の支柱とが前記下部フレームの上部へ水平に倒れるようにすることにより、前記下部フレームを処理装置の搬出入を妨げない高さへと上方へ格納自在に構成したことを特徴とする。
特に好ましくは、前記バッファを上方へ付勢する付勢手段を設ける。
またこの発明の天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法は、クリーンルーム内で上方より吊り下げた軌道に沿って天井走行車を走行させることにより、半導体の処理装置あるいは検査装置からなる複数の処理装置間で、半導体ウエハあるいはレチクルから成る物品を収納したカセットを搬送すると共に、該軌道の側方または下方に、カセットの収納スペースを備えたバッファを上方より吊り下げ、
天井走行車は、カセットの上部に設けられたフランジを支持する昇降台と、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を軌道の長手方向と直交する方向に水平移動させる水平移動手段とを備えて、水平移動手段と昇降駆動部と昇降台とが軌道の下部に位置する状態で走行し、
バッファは下部のフレームと下部のフレームを支持する支柱とを備え、下部のフレームの上部がカセットを収納するための収納スペースとなる天井走行車システム、の周囲の処理装置を搬出入するために、
前記支柱は、上から下への順で第１の支柱、第２の支柱、第３の支柱、第４の支柱の４本の直立した支柱から成り、第１の支柱の上部が前記上部のフレームに、第４の支柱の下部が前記下部のフレームに取り付けられ、第１の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第２の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第２の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第３の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第３の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第４の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、
前記処理装置の搬出入時に処理装置の搬出入用のスペースを設けるために、前記第２の支柱と第３の支柱とが前記下部フレームの上部へ水平に倒れるようにすることにより、前記下部フレームを処理装置の搬出入を妨げない高さへと上方へ格納することにより、処理装置の搬出入用のスペースを設けるステップと、
下部フレームを上方へ格納した後に、前記処理装置を搬出入するステップと、
前記処理装置の搬出入後に、前記第２の支柱と第３の支柱とを鉛直方向を向くように起こすことにより、収納スペースに物品を保管できるようにするステップ、とからなる。
天井走行車は、カセットの上部に設けられたフランジを支持する昇降台と、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を軌道の長手方向と直交する方向に水平移動させる水平移動手段とを備えて、水平移動手段と昇降駆動部と昇降台とが軌道の下部に位置する状態で走行し、
バッファは下部のフレームと下部のフレームを支持する支柱とを備え、下部のフレームの上部がカセットを収納するための収納スペースとなる天井走行車システム、の周囲の処理装置を搬出入するために、
前記支柱は、上から下への順で第１の支柱、第２の支柱、第３の支柱、第４の支柱の４本の直立した支柱から成り、第１の支柱の上部が前記上部のフレームに、第４の支柱の下部が前記下部のフレームに取り付けられ、第１の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第２の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第２の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第３の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第３の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第４の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、
前記処理装置の搬出入時に処理装置の搬出入用のスペースを設けるために、前記第２の支柱と第３の支柱とが前記下部フレームの上部へ水平に倒れるようにすることにより、前記下部フレームを処理装置の搬出入を妨げない高さへと上方へ格納することにより、処理装置の搬出入用のスペースを設けるステップと、
下部フレームを上方へ格納した後に、前記処理装置を搬出入するステップと、
前記処理装置の搬出入後に、前記第２の支柱と第３の支柱とを鉛直方向を向くように起こすことにより、収納スペースに物品を保管できるようにするステップ、とからなる。
この発明では、処理装置の搬出入時などにバッファを上方へ格納できる。従ってクリーンルームのレイアウト変更などをバッファが妨げない。
またバッファを格納した際に、バッファの収納スペースにバッファの一部部材が格納されるようにするので、コンパクトにバッファを格納でき、格納時に追加のスペースを必要としない。
バッファに、物品の載置部と該載置部を上方から吊り下げる支柱とを設け、該支柱を前記載置部側へ折り曲げ自在に構成するので、支柱の折り曲げでバッファを格納でき、かつ格納時に出っ張りが生じない。
さらに前記バッファを上方へ付勢する付勢手段を設けると、バッファを上方へ格納するのも、格納したバッファを下へ降ろして復旧するのも容易になる。
バッファに、物品の載置部と該載置部を上方から吊り下げる支柱とを設け、該支柱を前記載置部側へ折り曲げ自在に構成するので、支柱の折り曲げでバッファを格納でき、かつ格納時に出っ張りが生じない。
さらに前記バッファを上方へ付勢する付勢手段を設けると、バッファを上方へ格納するのも、格納したバッファを下へ降ろして復旧するのも容易になる。
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
図１〜図５に、実施例を示す。なお各変形例において、特に指摘した点以外は、図１〜図５の実施例と同様である。各図において、２は天井走行車システムで、クリーンルームなどの建屋内に設け、半導体ウエハやレチクルなどの物品を例えばカセット２０に収納して搬送する。３は建屋の天井で、天井走行車６の軌道４を支柱５により上方から吊り下げ、同様にサイドバッファ３０を支柱３１などにより上方から吊り下げる。
天井走行車６はラテラルドライブ７とθドライブ８，昇降駆動部９，昇降台１０，並びにカバー１２を備え、ラテラルドライブ７によりθドライブ８〜昇降台１０を軌道４の長手方向に直交する方向に水平移動させる。θドライブ８は昇降駆動部９〜昇降台１０をを水平面内で旋回させ、特に設けなくてもよい。昇降駆動部９は図示しない巻き取りドラムを備えて昇降台１０を昇降させ、カバー１２は天井走行車６の走行方向の前後に設けられて、カセット２０などの物品の落下を防止する。そして昇降台１０はカセット２０のフランジ２２をチャックして支持する。
サイドバッファ３０は軌道４の側方に設けられてアンダーバッファ５０を支持し、アンダーバッファ５０は軌道４の下部に天井走行車６と干渉しないように配置されている。サイドバッファ３０は上部フレーム３２と下部フレーム３３とを備え、下部フレーム３３上にカセット２０を載置し、下部フレーム３３の上部のスペースが物品の収納スペースである。３４〜３７は支柱で、このうち支柱３５，３６は下部フレーム３３上の収納スペースへ折り畳み自在である。折り畳む方向は、軌道４の走行方向と例えば平行である。そして支柱３４〜３７はリンク３８，３９により互いに接続されている。また支柱３１と３４は同一の部材でもよい。４０は定張力バネで、下部フレーム３３を一定の張力で上向きに付勢し、４１は巻き取り部である。そして定張力バネ４０の張力は、その巻き取り長さによらず一定である。
アンダーバッファ５０は下部にフレーム５２を備えてカセット２０を載置し、支柱５３によりサイドバッファ３０の下部フレーム３３から支持されている。５４，５５は補強片で、設けなくてもよい。
６０は処理装置で、半導体の処理や検査などを行い、半導体処理装置に限らず、建屋内に配置された種々の装置を指す。そして軌道４やアンダーバッファ５０は処理装置６０の無い通路上に配置され、サイドバッファ３０は処理装置６０などの上部あるいは通路上に配置される。
図３に支柱間の接続を示し、ここでは支柱３６，３７間の接続を示し、支柱３４，３５間の接続も同様である。５６，５７は取付部材で、支柱３６，３７の継ぎ目付近に設け、これをリンク３８が接続し、５８はピンである。図３の上部左側は取付部材５６，５７の正面を示し、中央部はその側面を示す。ここから支柱３６，３７を互いに折り曲げると、図３の上部右側のように変形して、支柱３６を折り畳むことができる。また支柱３５，３６の接続では、図３の右下側のように、リンク３９を介して支柱３５，３６の向きを例えば１８０°変化させる。
図４，図５に、サイドバッファ３０とアンダーバッファ５０とを折り畳んだ姿を示す。Ｌ１は通常時のサイドバッファ３０の底面高さを、Ｌ２は通常時のアンダーバッファ５０の底面高さを示し、Ｈ１は折り畳んだ状態でのサイドバッファ３０の底面高さを、Ｈ２は折り畳んだ状態でのアンダーバッファ５０の底面高さを示す。なお図４の状態からアンダーバッファ５０をさらに９０°回動させて、フレーム５２を例えば鉛直向きにすると、アンダーバッファ５０の高さを高さＨ３まで上昇させることができる。
この状態で支柱３５，３６は、サイドバッファ３０の収納スペースの上部内側へ折り畳まれ、サイドバッファ３０が元々占めていたスペースから外に出っ張らない。そして折り畳まれた支柱３５，３６は、下部フレーム３３上の元々カセット２０の収納スペースであったスペースに収納されている。
サイドバッファ３０の下部フレーム３３は、定張力バネ４０により上向きに付勢されているので、軽い力で上側に押し上げることができる。そして下部フレーム３３を所定位置まで上昇させると、図示しないキーなどを用いて、この位置にサイドバッファ３０を固定する。あるいはまた、支柱３５，３６が所定角度まで折り曲げられたことにより、互いに係合する係合部材と被係合部材とを設け、下部フレーム３３を所定高さまで上昇させると、支柱３５，３６が互いに係合されるようにしてもよい。
このようにしてサイドバッファ３０とアンダーバッファ５０を上方へ格納すると、通路を自由に使える高さが高さレベルＨ２まで上昇し、処理装置６０などの搬出入が容易になる。図４よりもさらに背の高い処理装置の搬出入が必要な場合、アンダーバッファ５０を高さレベルＨ３まで退避させるようにするとよい。そして処理装置６０等の搬出入後に、元の状態にバッファ３０，５０を復旧させる場合、支柱３５，３６間の係合などを解除し、下部フレーム３３を下降させるとよい。下部フレーム３３の下降時に、バッファ３０，５０の重力の一部を低張力バネ４０が支えるので、簡単に下部フレーム３３を加工させることができる。下部フレーム３３を高さレベルＬ１まで下降させると、サイドバッファ３０等の自重と定張力バネ４０の張力との差により、サイドバッファ３０の姿が固定される。なおより確実に固定する場合、図示しないキーや係合手段により、支柱３４，３５及び支柱３５，３６、支柱３６，３７を互いに固定するとよい。
図６は第１の参考例を示し、７０〜７２はサイドバッファの支柱で、支柱７１を図６の鎖線のように上昇させて支柱７０に重ね、支柱７２も同様に図６の鎖線のように支柱７０に重ねる。７３，７４はガイドで、支柱７１，７２の上下動をガイドする。このようにしてサイドバッファを出っ張り無しに上方へ格納して、処理装置などの搬出入を妨げないようにする。
図７は第２の参考例のサイドバッファを示し、８１は支柱で、８２は上部フレーム、８３は下部フレームである。上部フレーム８２に沿って支柱８１，８１はスライド自在である。また下部フレーム８３はその中央部を図示しないヒンジで連結し、図７の鎖線のように折り畳み自在にしてある。ここで支柱８１，８１を下部フレーム８３の中央寄りにスライドさせると、下部フレーム８３が折り畳まれ、サイドバッファが占めるスペースを小さくできる。
図８は他の参考例を示し、９１は新たな上部フレーム、９２，９２は新たな支柱で、支柱９２，９２は上部フレーム９１に対してスライド自在で、図８の鎖線位置のようにスライドして、処理装置などの搬出入用に空きスペースを設けることができる。
天井走行車の種類や構造は任意である。また実施例ではアンダーバッファ５０をサイドバッファ３０により支持したが、アンダーバッファ５０を天井３や軌道４などから折り畳み自在な支柱により支持して、サイドバッファ３０と同様に折り畳んでもよい。この場合、サイドバッファ３０を設けず、天井走行車にはラテラルドライブ７を設けなくてもよい。
図９〜図１４に各種の変形例を示す。図９〜図１１の１０１，１０２は支柱で、アンダーバッファを支持するものでもサイドバッファを支持するものでも良く、１０３はジョイントで、１０４はその軸、１０５，１０６は支柱１０１，１０２への取付片である。また図１０のジョイント１０８では、ピン１０９により支柱１０２への取り付け強度を改善している。
ここでジョイント１０３，１０８を９０°あるいは１８０°折り曲げ自在にすると、バッファの支柱１０１，１０２を９０°あるいは１８０°折り曲げることができる。そして図１１のように、バッファの支柱に例えば３つのジョイント１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃを設けると、バッファを上方へ格納することができる。
図１２はアコーディオン１１０を用いてバッファを昇降させる参考例を示し、左側はアコーディオンを展開しバッファを降ろした状態を、右側はアコーディオンを畳みバッファを格納した状態を示す。
図１３は、バッファ１２０を走行レール４に直角にスライドさせた後に、走行レール４に平行にスライドさせる参考例を示し、バッファ１２０の長さ分の通路を開けることができる。なお走行レール４に直角にスライドさせた状態のバッファを１２０'とし、引き続き走行レール４に平行にスライドさせた状態のバッファを１２０''として示す。
図１４はバッファ１２２を軸１２３を中心に９０°回転させる参考例を示し、図の左側はバッファ１２２の使用状態を平面視で示し、右側は軸１２３を中心に９０°回転させた状態を示す。このようにするとバッファの隙間に通路を設けることができ、バッファを天井走行車の走行方向に沿ってさらにスライドさせて１２２'の状態にすると、広い通路を開けることができる。
実施例では以下の効果が得られる。
(1) サイドバッファ３０を上方へ格納できる。
(2) 格納したサイドバッファ３０は、サイドバッファ３０が通常時に占めていたスペースからはみ出さず、出っ張りがない。
(3) またサイドバッファ３０の格納と連動して、アンダーバッファ５０も上方へ格納できる。
(4) 下部フレーム３３等へ加わる重力を、定張力バネ４０で軽減するので、サイドバッファ３０やアンダーバッファ５０の昇降が容易になる。従ってバッファ３０，５０を容易に格納でき、かつ容易に復旧できる。
(1) サイドバッファ３０を上方へ格納できる。
(2) 格納したサイドバッファ３０は、サイドバッファ３０が通常時に占めていたスペースからはみ出さず、出っ張りがない。
(3) またサイドバッファ３０の格納と連動して、アンダーバッファ５０も上方へ格納できる。
(4) 下部フレーム３３等へ加わる重力を、定張力バネ４０で軽減するので、サイドバッファ３０やアンダーバッファ５０の昇降が容易になる。従ってバッファ３０，５０を容易に格納でき、かつ容易に復旧できる。
２ 天井走行車システム
３ 天井
４ 軌道
５ 支柱
６ 天井走行車
７ ラテラルドライブ
８ θドライブ
９ 昇降駆動部
１０ 昇降台
１２ カバー
２０ カセット
２２ フランジ
３０ サイドバッファ
３１ 支柱
３２ 上部フレーム
３３ 下部フレーム
３４〜３７ 支柱
３８，３９ リンク
４０ 定張力バネ
４１ 巻き取り部
５０ アンダーバッファ
５２ フレーム
５３ 支柱
５４，５５ 補強片
５６，５７ 取付部材
５８ ピン
６０ 処理装置
７０〜７２ 支柱
７３，７４ ガイド
８１ 支柱
８２ 上部フレーム
８３ 下部フレーム
９１ 上部フレーム
９２ 支柱
９１，９２ 支柱
１０１，１０２ 支柱
１０３，１０８ ジョイント
１０４ 軸
１０５，１０６ 取付片
１０９ ピン
１１０ アコーディオン
１２０，１２２ バッファ
１２３ 軸
３ 天井
４ 軌道
５ 支柱
６ 天井走行車
７ ラテラルドライブ
８ θドライブ
９ 昇降駆動部
１０ 昇降台
１２ カバー
２０ カセット
２２ フランジ
３０ サイドバッファ
３１ 支柱
３２ 上部フレーム
３３ 下部フレーム
３４〜３７ 支柱
３８，３９ リンク
４０ 定張力バネ
４１ 巻き取り部
５０ アンダーバッファ
５２ フレーム
５３ 支柱
５４，５５ 補強片
５６，５７ 取付部材
５８ ピン
６０ 処理装置
７０〜７２ 支柱
７３，７４ ガイド
８１ 支柱
８２ 上部フレーム
８３ 下部フレーム
９１ 上部フレーム
９２ 支柱
９１，９２ 支柱
１０１，１０２ 支柱
１０３，１０８ ジョイント
１０４ 軸
１０５，１０６ 取付片
１０９ ピン
１１０ アコーディオン
１２０，１２２ バッファ
１２３ 軸
Claims (3)
- クリーンルーム内で上方より吊り下げた軌道に沿って天井走行車を走行させることにより、半導体の処理装置あるいは検査装置からなる複数の処理装置間で、半導体ウエハあるいはレチクルから成る物品を収納したカセットを搬送すると共に、該軌道の側方または下方に、カセットの収納スペースを備えたバッファを上方より吊り下げた天井走行車システムにおいて、
天井走行車は、カセットの上部に設けられたフランジを支持する昇降台と、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を軌道の長手方向と直交する方向に水平移動させる水平移動手段とを備えて、水平移動手段と昇降駆動部と昇降台とが軌道の下部に位置する状態で走行し、
バッファは下部のフレームと下部のフレームを支持する支柱とを備え、下部のフレームの上部がカセットを収納するための収納スペースとなり、
前記支柱は、上から下への順で第１の支柱、第２の支柱、第３の支柱、第４の支柱の４本の直立した支柱から成り、第１の支柱の上部が前記上部のフレームに、第４の支柱の下部が前記下部のフレームに取り付けられ、第１の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第２の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第２の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第３の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第３の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第４の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、
前記処理装置の搬出入時に処理装置の搬出入用のスペースを設けるために、前記第２の支柱と第３の支柱とが前記下部フレームの上部へ水平に倒れるようにすることにより、前記下部フレームを処理装置の搬出入を妨げない高さへと上方へ格納自在に構成したことを特徴とする、天井走行車システム。 - 前記バッファを上方へ付勢する付勢手段を設けたことを特徴とする、請求項１の天井走行車システム。
- クリーンルーム内で上方より吊り下げた軌道に沿って天井走行車を走行させることにより、半導体の処理装置あるいは検査装置からなる複数の処理装置間で、半導体ウエハあるいはレチクルから成る物品を収納したカセットを搬送すると共に、該軌道の側方または下方に、カセットの収納スペースを備えたバッファを上方より吊り下げ、
天井走行車は、カセットの上部に設けられたフランジを支持する昇降台と、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を軌道の長手方向と直交する方向に水平移動させる水平移動手段とを備えて、水平移動手段と昇降駆動部と昇降台とが軌道の下部に位置する状態で走行し、
バッファは下部のフレームと下部のフレームを支持する支柱とを備え、下部のフレームの上部がカセットを収納するための収納スペースとなる天井走行車システム、の周囲の処理装置を搬出入するために、
前記支柱は、上から下への順で第１の支柱、第２の支柱、第３の支柱、第４の支柱の４本の直立した支柱から成り、第１の支柱の上部が前記上部のフレームに、第４の支柱の下部が前記下部のフレームに取り付けられ、第１の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第２の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第２の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第３の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、第３の支柱の下部に取り付けた取り付け部材と第４の支柱の上部に取り付けた取り付け部材とが、リンクとピンとでピンを軸として回動自在に接続され、
前記処理装置の搬出入時に処理装置の搬出入用のスペースを設けるために、前記第２の支柱と第３の支柱とが前記下部フレームの上部へ水平に倒れるようにすることにより、前記下部フレームを処理装置の搬出入を妨げない高さへと上方へ格納することにより、処理装置の搬出入用のスペースを設けるステップと、
下部フレームを上方へ格納した後に、前記処理装置を搬出入するステップと、
前記処理装置の搬出入後に、前記第２の支柱と第３の支柱とを鉛直方向を向くように起こすことにより、収納スペースに物品を保管できるようにするステップ、
とからなる天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法。
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