TWI231294B - Glass for a light filter and a light filter - Google Patents

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Description

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五、 發明說明（1 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之背景 本發明係關於濾光用玻璃及使用玻璃之濾光器。 已有將特定波長之光阻斷或使其通過之濾光器，亦有無 關波長而降低光之強度之濾光器。前者包括僅使特定波長 通過之帶通濾光器，阻斷特定波長之凹通濾光器，及僅使 比特定波長短或長之波長通過之高通與低通濾光器。後者 包括ND濾光器。 濾光器可分類成吸收型濾光器及干涉型濾光器。代表性 吸收型濾光器爲ND濾光器且代表性干涉型濾光器爲帶通 遽光器。塑膠製成之基材用於吸收型濾光器，如用於攝影 者。由於接受強雷射束之濾光器之基材需要耐久力及抗熱 性質，此種基材完全使用非晶玻璃。 帶通濾光器藉由在，例如，由玻璃製造之基材上，形成 多層介電膜（其藉由交替地層合具高折射率之介電薄層之 Η層及具低折射率之介電薄層之l層而製造）而製造。 在用於WDM (波長分隔多工）光學通訊系統之帶通濾光 器中，在設定窄的使光通過之帶寬度以將帶通濾光器應用 於較高密度之波長時，帶之中央波長之溫度安定力出現問 題。更特別地，帶通濾光器爲敏感元件，其中帶之中央頻 率隨溫度之些微變化而改變，因此，在使用帶通濾光器 時，應藉溫度控制器進行溫度補償。然而，此溫度控制器 實際上因爲帶通漉光器所在之處之空間限制而無法使用。 溫度安定力已變成逐漸重要之標的，因爲隨光資訊量增加 而減小帶寬爲必要的。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --------訂 ί·;------- MW (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1231294 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五 '發明說明（2 ) 過去已使用非晶玻璃作爲帶通濾光器用基材。此先前技 藝基材對膜之壓縮應力及其耐久力不足，因爲其熱膨脹性 質及機械強度不夠高。此外，非晶玻璃具有低表面硬度。 因此，對於濾光器用基材，特別是帶通濾光器用基材，非 晶破璃無法充份地滿足需求。 因此，本發明之目的爲提供一種適合用於濾光器基材之 材料，其已排除上述先行技藝基材缺點，而且具有足以在 使用以單層或多層膜形成之濾光器之溫度，避免折射率變 化之熱膨脹性質（即，具有高熱膨脹係數因而賦與膜壓縮 應力以改良膜之折射率之溫度安定力），亦具有賦與濾光 器充份耐久力之機械強度且進一步具有優良之透光率。 本發明之另一個目的爲提供一種由此基材製造之濾光 器。 ^3之概要 本發明人所進行以得到上述本發明目的之累積研究及實 驗已生成以下造成本發明之發現，其中具有特定範圍内之 熱膨脹係數、機械強度與透光率之玻璃適合完成本發明之 目的。 依據本發明，提供在-20°C至+70°C之溫度範園内具有90 X 1(T7/°C至i2〇 X l〇_7/°C範圍内之熱膨脹係數之濾光用玻 璃。 在本發明之一種狀態中，此玻璃具有75GPa或以上之楊 氏模數。 在本發明之另一種狀態中，此玻璃具有550或以上之 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — ΙΓΙ — — — — — — ilm — - I Ί I 11 I I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1231294 A7
五、發明說明（3 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
Vickers硬度。 在本發明之另一種狀態中，在95〇mn至i6〇〇mn之波長範 圍内對10毫米厚度之板之透光率爲90%或以上。 在本發明之另一種狀態中，此玻璃具有包含以下重量百 分比之組合物： 總量爲35_55%之一或更多種選自包括Si〇2、丑2〇3與P2〇5 之成份； 總量爲20_45%之一或更多種選自包括Ti〇2、La2〇3、 Zr02、Nb2〇5、Ta205、界03與 Y2〇3之成份； 總量爲3-20%之一或更多種選自包括Mg〇、CaO、 SrO、BaO與ZnO之成份； 總量爲5_30%之一或更多種選自包括Li2〇、Na2〇與κ2〇 之成份；及 總量爲0-1%之Sb2〇3與As203之一或兩者。 在本發明之另一種狀態中，此玻璃實質上無pb〇。 在本發明之另一種狀態中，提供一種藉由在上述玻璃上 形成介電膜而製造之濾光器。 在本發明之另一種狀態中，提供一種藉由在具有比組成 介電膜之介電物大之熱膨脹係數之玻璃上形成介電膜而製 造之濾光器。 發明之詳細説明 依照本發明限制濾光用玻璃之熱膨脹性質、揚氏模數、 Vickers硬度、透光率及組合物之原因敘述於下。玻璃之 組合物基於氧化物（重量百分比）而表示。
裝---------訂—·------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1231294
五、發明說明) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 首先敘述有關熱膨脹性質。如前所述，帶之中央波長之 滅女疋力非常重要，而且需要具有比組成膜之材料大之熱 膨脹係數之玻璃-陶瓷。本發明人進行之研究及實驗已生 成以下 < 發現，如果在-20°C至+70°C之溫度範圍内之熱膨 脹係數爲90 X 10_YC或以上，則在使用玻璃作爲帶通濾光 器之，皿度範圍内可賦與膜充份之壓縮應力，而且如果熱膨 脹係數超過12〇x1(r7rc，基材與濾光器之間之熱膨脹係 數差異太大，使得發生如膜自基材分離之問題。熱膨脹係 數之較佳範圍爲95Χ1〇-7/Χ：至115χ1〇·7/ι，而且其更佳範 圍爲 105±5x10_7/°C。 在帶通濾、光器中，中央波長之溫度安定力在某種程度視 組成薄膜之介電物之折射率溫度係數而定，而且高程度地 視基材之熱膨脹係數而定。其乃因爲折射率由薄膜之膜原 子密度決定。即，膜原子密度越高，中央頻率之溫度造成 I變化越小。薄膜之膜原子密度大受其上形成薄膜之濾光 器用基材之熱膨脹係數影響。更特別地，膜形成過程時基 材之溫度變爲約200°C，基材因而被视爲膨脹。薄膜在此 膨脹基材上形成，而且在基材冷卻時，薄膜由於其間之熱 膨脹係數差異而接受壓縮應力。結果，薄膜之膜原子密度 增加，折射率因而增加。隨著基材之熱膨脹係數增加，施 加在形成於基材上之介電薄膜上壓縮應力增加，結果折射 率走化由於使用滤光器之溫度而減小。因此，希望將玻璃 之熱膨脹係數設定爲比介電薄膜之熱膨脹係數大之値。 關於使用帶通濾光器之嚴格條件，除了上述之性質，不 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------- ^-1-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1231294
五、發明說明（5 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I忽视對抗機械變形之強度，即，玻璃之楊氏模數與 Vickers硬度。 關於楊氏模數，由於在形成薄膜後將基材處理成小片（2 愛米X2毫米X2毫米或以下），基材需要高楊氏模數與及 強度。關於此後續處理，玻璃應較佳爲具有75Gpa或以上 之輪氏模數及550或以上之Vickers硬度。 關於透光率，如果透光率低，在產生信號時發生如信號 對噪音比減小之不便。因此希望透光率應儘量大且已發現 需要最小90%之透光率。用於帶通濾光器之波長範圍爲 950nm至1600nm，而且對此波長範圍對1 〇毫米厚度之板需 要90%或以上之透光率。至於此波長範園内之透光率，透 光率應較佳爲93%或以上，而且更佳爲95%或以上。 現在敘述上述限制基底玻璃之組合物範園之原因。
Si〇2、B2〇3與P2〇5成份爲玻璃形成成份。如果一或更多 種這些成份之總量低於35%，則玻璃之化學耐久力退化且 楊氏模數與Vickers硬度減小，而如果這些成份之總量超 過5 5%，則在熔化及形成基底玻璃時發生困難，此外，無 法得到玻璃之高熱膨脹性質。
Ti02、La203、Zr02、Nb205、Ta205、W03與 Y2〇3 成份爲 可賦與含相當大量鹼成份（即，Li、Na與K)之玻璃高熱 膨脹性質、高揚氏模數與Vickers硬度之重要成份。如果 一或更多種這些成份之總量低於20%，則無法得到這些效 果，而如果總量超過45%，則在熔化及形成玻璃時發困 難，而且在形成玻璃時對失玻化之抗性退化。 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------tri (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ¢. Ϊ231294
、發明說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 丄、NasO與K2〇成份對於改良玻璃之熔化性質及增加 高熱膨脹性質同時維持高楊氏模數爲有效的。如果一或更 夕種這些成份之總量低於5 %，則無法得到這些效果，而 如果總量超過30%，則化學耐久力及揚氏模數與 度退化。
Mg〇、Zn〇、ca〇、BaO與SrO成份對於改良玻璃之 熔化性質及增加高熱膨脹性質同時維持高楊氏模數爲有效 的。如果一或更多種這些成份之總量低於3 %，則無法得 到這些效果，而如果總量超過20%，玻璃之熔化及形成性 質退化。 在熔化玻璃時可加入Sb2〇3與As2〇3成份作爲精製劑。總 里至多1 %之這些成份之一或兩者之加成爲足夠的。較佳 爲之總量爲0.5%或更少。 在不損及所需玻璃性質之程度，可加入至多〇 5%之 SnO、CuO、CoO、NiO、Fe203、Ce〇 及/或 MnO。 至於PbO，由保護環境之觀點，此成份爲不希望的，而 且應以最大之程度避免使用此成份。
對於製造依照本發明之濾光用玻璃，將具有上述組合物 之基底玻璃熔化及形成預定形狀，如果需要則退火。藉由 以習知方法將如此得到之玻璃研磨及拋光，提供具有1 〇A 至5·oA範圍内之表面粗度（Ra)(算術平均粗度）之濾光用 玻璃。 依照本發明之玻璃適合用於其中多層介電膜形成於玻璃 基材上之干涉型濾光器，特別是具有介電多層膜（其藉由 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱)' ' —·---------裝--------txi:------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1231294 A7 B7 五、發明說明（7 ) 交替地層合具高折射率之介電薄層（H層）及具低折射率之 介質薄層（L層）而形成）之帶通濾光器。 至於介電物，較佳為使用Ti02、Ta202、Nb205與Si02< 無機氧化物。在用於950nm至1600nm之波長範園之帶通濾 光器，較佳為使用 Ti02/Si02、Ta202/Si02及Nb205/Si02之組 合作為Η層與L層之組合。 本發明之濾光器可藉由在玻璃基材之表面上形成介電膜 而提供。為了形成薄膜，可使用沈積、RF離子電鍍、磁 控噴鍍、電漿離子電鍍等。其中，沈積特佳。 實例 現在進行本發明之實例。表1、2與3顯示依照本發明之 濾光用玻璃之實例1至8及先行技藝濾光用玻璃基材之比 較例之組合物、熱膨脹係數、揚氏模數、Vickers硬度及 透光率。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格mo X 297公釐） 1231294 A7 B7 五、發明說明（8 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表1 實例 1 2 3 Si〇2 41.39 39.39 41.39 (Wt.%) B0O3 2.00 PA La〇03 Ti02 30.00 30.00 26.00 Zr02 2.10 Nb205 Ta205 W03 Y203 4.00 MgO 0.5 ZnO BaO 3.50 3.50 2.50 SrO 0.5 Li〇0 2.00 2.00 v 2.00 Na〇0 14.10 14.10 13.00 K20 9.00 9.00 8.00 Sb203 0.01 0.01 t 熱膨脹係數（X1(T7/°C) (一 20oC 至+70oC) 110 X 100 115 楊氏模數(GPa) 85 87 114 Vickers 硬度(Hv) 550 580 640 透光率(％) (950 — 1600nm) 99 99 97 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — I.------------- ----ITi ：------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1231294 A7 B7 五、發明說明（9 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表2 實例 4 5 β Si02 17.10 20.00 28.60 (Wt·%) Β〗03 21.50 10.00 10.00 PA 8.60 L3.2O3 17.00 12.00 10.00 Ti02 7.60 5.00 7.60 Zr02 4.50 4.50 4.50 Nb203 7.90 7.90 7.90 Ta205 7.00 W03 2.60 Y2〇3 5.00 MgO 1.00 1.00 1.00 ZnO 1.00 BaO 2.00 10.00 SrO 14.80 11.80 4.80 Li20 8.50 8.50 8.50 Na20 K20 Sb2〇3 0.10 0.10 Δ^2^3 0.10 熱膨脹係數(Χ10·7/Τ) (—20°C 至+70。〇 90 95 96 楊氏模數(GPa) 117 110 120 Vickers 硬度(Hv) 680 630 870 透光率(％) (950 - 1600nm) 97 96 96 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼裝----I---* 訂—^-------. 1231294 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（10 ) 表3 實例 7 8 比較例1 Si02 20.00 40.00 47.00 (Wt.%) B〇〇3 10.00 7.10 pa 8.60 1.39 15.00 Ti02 7.60 25.00 ZrO〇 4.50 5.00 Nb2〇3 7.90 Ta205 W03 2.00 Y2〇3 MgO 1.00 PbO=9.70 ZnO 2.00 0.50 6.10 BaO 2,00 2.00 10.00 SrO 10.80 1.00 Li20 8.50 4.00 Na20 12.10 6.00 K〇0 9.00 14.00 Sb2〇3 0.10 0.01 0.10 熱膨脹係數（xnrVc) (—20°C 至+70°C) 95 110 88 楊氏模數(GPa) Ί20 85 70 Vickers^^(Hv) fi80 550 480 透光率(％) (950 — 1600nm) 97 99 99 -13- II·---------------- —tri·:------- 隹 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1231294 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（11) 為了製造上述例1至8之玻璃，將包括氧化物、碳酸鹽 與硝酸鹽之材料稱重且在約125(rc至135(rc範圍内之溫度 在習知溶化裝置中混合及炫化。將熔化之玻璃攪拌以均化 之然後形成預定形狀且退火以提供成形玻璃。然後，以 800-2000#之鑽石片將成形玻璃研磨5至3〇分鐘，最後以 具有0·02μιη至3μιη之平均直徑之氧化銻拋光顆粒拋光3〇 至60分鐘。表面粗度（Ra)(在中央線之粗度）為5人或以 下。 比較實例1至8及比較例1，先行技藝濾光用玻璃基材之 熱膨脹係數為88X1(T7/°C，其對於賦與成形膜壓縮應力為 不足的。先行技藝玻璃基材亦呈現7〇GPa之低揚氏模數及 48 0之Vickers硬度。相對地，本發明之玻璃具有足以赋與 成形膜壓縮應力之熱膨脹係數及充份之楊氏模數與 Vickers硬度，其顯示本發明之玻璃適合用於濾光用基 材。 藉由在上述實例之玻璃基材上形成Ti02/Si02、 Ta202/Si02及Nb205/Si02之多層膜之干涉型濾光器具有優良 之中央波長之溫度安定力。並且發現最適合用於光學通訊 之帶通濾光器。
依照本發明，如上所述，克服先行技藝基材之缺點且提 供具有優良之中央波長之溫度安定力之濾光用玻璃基材。 這些特點，即，高透光率、高熱膨脹係數、高楊氏模數及 高Vickers硬度，適合用於干涉型濾光器，特別是帶通濾 光器，而且最適合用於光學通訊系統之WDM及DWDM -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） -------------------訂---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1231294 A7 B7 五、發明說明（12) (密度波長分隔多工）。此外，藉由在本發明之玻璃基材上 形成Ti02/Si〇2、Ta2〇2/Si〇2及Nb205/Si02之多層介電膜提供 之帶通濾光器元件具有優良之中央波長之溫度安定力，而 且不僅可於地面之光學通訊系統，亦可用於太空人造衛 星。 — II--------t衣--------訂--------Aw (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

  1. ABCD 1231%49108971號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(94年1月) 申請專利範園
    1· 一種濾光用玻璃，其在-20°C至+70。(：之溫度範圍内具有90 X 1(T7/°C至120 X 1〇·7/°(：範圍内之熱膨脹係數，且包含 以重量百分比計之： 總量為35-55%之一或更多種選自包括Si02、B2〇3及 P2〇5之成份； 等於或少於4 1 . 5 %之S i Ο 2 ; 總量為3-20%之一或更多種選自包括MgO、CaO、 SrO、BaO及ZnO之成份； 〇-14.5%iNa20;& 總量為0·1%之一或更多種選自包括Sb203及As203 之成份。 2·根據申請專利範圍第1項之滤光用玻璃，其包含以重量 百分比計之： 總量為2 0-45%之一或更多種選自包括Ti02、 La203、Zr02、Nb2 05、Ta2 05、W03 及 Y2〇3 之成 份； 等於或少於3 0 %之T i Ο 2做為必要成分； 〇-5%izr〇2; 0-1% 之 MgO ; 0-2 %之ZnO ; 總量為5 -30%之一或更多種選自包括L i2 Ο、Na2 Ο及 K20之成份；且 實質上無PbO。 3·根據申請專利範圍第1項之濾光用玻璃，其包含以重量 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 1231294 as B8 C8 ___ ____D8 六、申請專利範圍 百分比計之： 總量為20-45%之一或更多種選自包括Ti〇2、 La2〇3、Zr02、Nb2 05、Ta205、w〇3 及 Y2〇3 之成 份； 0-5%^ZrO2 ； 〇 - 1 % 之 M g Ο ; 〇-2%iZnO; 總量為5-30〇/〇之一或更多種選自包括Li2〇、Na2〇及 K20之成份； 等於或大於2%之Li20 ;且 實質上無P b 0。 4·根據申請專利範圍第1項之滤光用破璃，其包含以重量 百分比計之： 實質上無Al203、Cd0及PbO; 總量為2 0 -45%之一或更多種選自包括Ti〇2、 La2 0 3、Zr02、Nb205、Ta2Os、W03 及 Y2〇3 之成 份； 等於或少於3 0 %之T i Ο 2做為必要成分；及 0-5%iZrO2。 5·根據申請專利範圍第1項之濾光用玻璃，其包含以重量 百分比計之： 實質上無A1203、CdO及PbO ; 等於或少於3 0 %之T i Ο 2做為必要成分； 0-5%之冗1：〇2;及 -2- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐) 1231294 _ _____ D8 總量為5-30%之一或更多種選自包括Li20、Na20及 K 2 〇之成份。 6. 根據申請專利範圍第1項之濾光用玻璃，其包含以重量 百分比計之： 實質上無A1203、CdO及PbO ; 總量為2 0-45%之一或更多種選自包括Ti02、 La2〇3、Zr02、Nb205、Ta205、W03 及 Y2〇3 之成 份； 等於或少於3 0 %之T i 0 2做為必要成分；及 0-5%iZrO2〇 7. 根據申請專利範圍第1項之濾光用玻璃，其包含以重量 百分比計之： 實質上無CaO及CdO ; 總量為20-45%之一或更多種選自包括Ti02、 La2〇3、Zr02、Nb205、Ta2〇5、W〇3&Y2〇3 之成 份， 等於或少於3 0 %之T i O 2做為必要成分；及 總量為5 -30%之一或更多種選自包括Li20、Na2〇及 K 2 〇之成份。 8·根據申請專利範圍第1項之濾光用玻璃，其包含以重量 百分比計之： 實質上無CaO及CdO ; 總量為20-45%之一或更多種選自包括Ti02、 L a 2 Ο 3、Z r Ο 2、N b 2 Ο 5、T a 2 0 5、W Ο 3 及 Y 2 0 3 之成 -3 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) Αδ Β8 C8 D8 1231294 、申請專利範圍 份； 等於或少於30%之Ti02做為必要成分；及 總量為5-3 0%之一或更多種選自包括Li2〇、Na20及 K 2 Ο之成份 〇 9 ·根據申請專利範圍第1至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含17-41.5%之8兔02。 说根據申請專利範圍第丨至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含0-21%之只2〇3。 U·根據申請專利範圍第i至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含0 - 9 · 0 %之P 2 〇 5。 U·根據申請專利範圍第3項之濾光用玻璃，其包含等於或 少於3 0 %之T i Ο 2做為必要成份。 13·根據申請專利範圍第3項之濾光用玻璃，其包含等於或 多於5 %之T i Ο 2。 从根據申請專利範圍第1至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含5-30%之1^〇2。 15·根據申請專利範圍第1至8項中任一項之滤光用玻璃， 其包含0- 1 7%之La203。 16·根據申請專利範圍第1至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含0·8%之Nb2O5。 17·根據申請專利範圍第1至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含0-7%之丁&2〇5。 18·根據申請專利範圍第1至$項中任一項之滤光用玻璃， -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇χ 297公釐) 1231294 A8 B8 C8 申請專利範圍 其包含0-3%之冒〇3。 19·根據申請專利範圍第1至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含0-5%之丫2〇3。 20·根據申請專利範圍第1至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含0-10%之8&〇。 21·根據申請專利範圍第1至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含0-15%之81*〇。 22·根據申請專利範圍第i、2、4、5、6、7或8項之濾光 用坡璃，其包含等於或少於8.5 %之Li2〇。 23·根據申請專利範圍第i、2、4、5、6、7或8項之濾光 用坡璃，其包含等於或多於2〇/〇之Li2〇。 24·根據申請專利範圍第1至8項中任一項之濾光用玻璃， 其包含2-8.5%之1^20。 25. 根據申請專利範圍第項中任一項之滤光用玻璃， 其包含0-9%之〖2〇。 26. 根據中請專利範圍第！至8項中任κ慮光用玻璃， 其具有75GPa或以上之楊氏模數。 27. 根據申請專利範圍第項中任一嚷之滤光用玻璃， 其具有550或以上之Vickers硬度。 28. 根據申請專利範圍第…項中任之滤光用玻璃， 其中在950nm至1600nm之波長範圍内符1〇毫米厚度之 板之透光率為90%或以上。 29·種濾光器，其藉由在根據申請專利範圍第丨至8項中 任一項之濾光用玻璃上形成介電膜而製造。 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 8 8 8 8 ABCD 1231294 六、申請專利範圍 30. —種濾光器，其藉由在具有比組成介電膜之介電物大 之熱膨脹係數之破璃上形成介電膜而製造。 6 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)
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