TWI227890B - Method and apparatus for laminating stamper and multi-layered recording medium - Google Patents
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Description
1227890 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於壓模貼合方法及裝置,以及多層記錄媒 體,特別係關於能夠進行碟片和壓模之間的定心’並能將 壓模相對於碟片進行貼合之壓模貼合方法及裝置’以及藉 由該裝置所製造出來的多層記錄媒體。 【先前技術】 目前,作爲下世代的記錄媒體,被提出各種多層構造 碟片。 第1 4圖係表示唯讀型的雙層碟片的構造的槪略剖面 圖。如該圖所示,唯讀型的雙層碟片 200,具有厚度 1 · 1 m m的底層基板2 0 2 ;而在此底層基板2 0 2的一側表面 ,形成具有厚度0.1mm的光透過層204的狀態。 第1 5圖係在第1 4圖中的底層基板和光透過層的邊界 部分的擴大圖。如該圖所示,在底層基板2 0 2和光透過層 2 04,各自形成以中心孔2 0 6 (參照第1 4圖)爲中心的螺 旋狀訊坑2 0 8。而且,在這些訊坑2 0 8的表面,分別藉由 濺鍍或蒸鍍等,設置反射層(未圖示),並在互相面對的 訊坑2 0 8之間,形成可以塡補由該訊坑所產生的凹凸之樹 脂層2 1 0。 對於如此構成的雙層碟片,從光透過層204的上方照 射雷射光,能夠進行讀取。 另外’在上述多層碟片的樹脂層2 1 0表面,形成訊坑 (2) 1227890 208或凹軌構造等之際,使用各種製造方法。 弟1 6 0和弟1 7圖係表不使用旋轉塗佈法來形成訊坑 的程序之製程說明圖。當要使用旋轉塗佈法來形成訊坑時 ’首先’如弟1 6圖所不’使底層基板2 0 2和透光性的, 模2〗2,夾住被塗佈在底層基板2 0 2的內緣側之紫外線硬 化樹脂般地貼合,接著以中心孔2 0 6爲旋轉中心,如箭頭 2 1 4所示地使底層基板202和壓模2 ] 2 —起旋轉。 如此,若使底層基板2 02和壓模2 1 2 —起旋轉,紫外 線硬化樹脂藉由離心力擴展至碟片外周側,以紫外線硬化 樹脂來塡補底層基板2 02和壓模212之間。以紫外線硬化 樹脂塡補前述間隙之後,從壓模2 1 2的上方照射紫外線, 藉由前述紫外線硬化樹脂的硬化,形成樹脂層2 1 6。 而且,樹脂層2 1 6被形成之後,如第1 7圖所示,將 壓模2 1 2往上方提升,使該壓模2 1 2和樹脂層2 1 6剝離。 若如此地使壓模2 1 2從樹脂層2 1 6剝離,則在樹脂層2 1 6 的表面,露出從壓模2 1 2轉錄來的訊坑2 0 8,所以,之後 只要藉由濺鍍或蒸鍍等在樹脂層2 1 6的表面上’形成反射 層,然後藉由旋轉塗佈等的方法’形成光透過層便可以。 再者,在上述習知例中,係說明關於在樹脂層2 1 6的 表面上形成訊坑2 0 8的程序;然而使用壓模的此方式’並 不僅被限定於前述訊坑2 0 8的形成’當然也可以應用在碟 片圓周狀地形成凹軌構造、或是組合前述凹軌構造和訊坑 的形態中。 另外,相對於底層基板之壓模的間隙’必須能夠均句 冬 (3) 1227890 地設定在數十微米〜數百微米之間。但是,將壓模貼合在 底層基板上的情況,係使壓模相對於前述底層基板呈對稱 狀地靠近來進行貼合,但是有可能發生此壓模產生傾斜、 或是由於壓模本身的重量而在該壓模上產生翹曲、或是由 於預先塗佈在底層基板的內緣側之紫外線硬化樹脂(也就 是樹脂)的黏性阻力,而在壓模上產生翹曲等的情況。 一旦壓模如此地發生傾斜或是翹曲,則在碟片和壓模 之間硬化的紫外線硬化樹脂(也就是樹脂層)的厚度會相 異,結果’在上層記錄層的位置,於厚度方向,會發生變 成不固定的問題點。 【發明內容】 本發明係著眼於上述習知的問題點,其目的在於提供 一種可以使成爲貼合對象的壓模不會產生傾斜或是翹曲, 能夠以一樣的間隙來將壓模貼合在碟片上之壓模貼合方法 及裝置,以及藉由該裝置所製造出來的多層記錄媒體。 本發明係根據洞察到若將碟片和壓模的背面,預先分 別地使其被吸附在可以呈現出互相平行的台上,並使互相 面對的追些台互相靠近,壓模便可以相對於碟片呈平行, 且可以防止在壓模上產生翹曲的技術,而創作出來。 亦即,關於本發明的壓模貼合方法,係在具有中心孔 的碟片的內緣側塗佈樹脂之後,夾住此樹脂般地貼合壓模 ’用來形成旋轉塗佈處理前的狀態之壓模貼合方法,其程 序爲: -7- (4) (4)1227890 一邊使前述中心孔嵌合在從旋轉器台突出的定心構件 上,一邊將前述碟片固定在前述旋轉器台上,並將樹脂塗 佈在前述碟片的內緣側之後,將前述定心構件嵌合在前述 壓模的中心孔,來使前述壓模經由前述樹脂重疊在前述碟 片上,同時根據貼合頭的按壓使前述壓模往前述碟片側下 降,再根據與前述定心構件之間的嵌合來進行前述壓模的 定心之後,利用前述貼合頭吸住前述壓模,再根據前述貼 合頭的下降,設定相對於前述碟片之前述壓模的間隙,同 時根據前述定心構件,來保持前述間隙。 又,關於本發明的壓模貼合裝置,係進行具有中心孔 的碟片和壓模之間的定心,且藉由樹脂來進行貼合,用來 形成旋轉塗佈處理前的狀態之壓模貼合裝置,其特徵爲具 備: 具有碟面吸引手段,可以整個面地吸住前述碟片的一 面之旋轉器台; 從該旋轉器台突出,進行前述碟片和前述壓模之間的 定心,同時進行突出方向的保持之定心構件; 具有往復移動手段,可以將前述樹脂供應至前述碟片 的內緣側之分配器; 具有壓模吸引手段,作成可以整個面地吸住前述壓模 的一面,且相對於前述旋轉器台可以升降的貼合頭;及 藉由該貼合頭的下降,使前述壓模靠近前述旋轉器台 ,並藉由將前述中心孔嵌合在前述定心構件,來進行前述 壓模的定心之後,藉由前述壓模吸引手段的運轉,使前述 (5) (5)1227890 1塱模密接在前述貼合頭上,來設定相對於前述碟片之前述 壓模的間隙之控制手段。 而且’理想爲:以中空橡膠構件和連接此中空橡膠構 件的介質供給部,來構成前述定心構件,利用從該介質供 給部將介質供應至前述中空橡膠構件中,來使前述中空橡 膠構件擴徑,進行前述碟片和前述壓模之間的定心與突出 方向的保持;或是,以中空橡膠構件和可以***此中空橡 膠構件內部的擴徑構件,來構成前述定心構件,利用將前 述擴徑構件***前述中空橡膠構件內,來使前述中空橡膠 構件擴徑’進行前述碟片和前述壓模之間的定心與突出方 向的保持。 而且,關於本發明的多層記錄媒體,係藉由申請專利 範圍第2、3或4項中的其中一項所記載的壓模貼合裝置 ,而被製造出來。 若根據上述程序和構成,首先,將碟片的中心孔嵌合 在從旋轉器台突出的定心構件上,進行相對於旋轉器台之 碟片的定心。而且,在進行此碟片的定心的同時,使碟片 吸引手段運轉,使前述碟片密接在旋轉器台上。若如此地 使碟片密接在旋轉器台上,由於碟片仿形在旋轉器台的表 面上,所以能夠防止前述碟片發生浮起等的情況產生。 而且,使碟片密接在旋轉器台上之後,使往復移動手 段運轉,並使分配器的吐出口移動至碟片的內緣側,將樹 脂塗佈在碟片內緣側。再者,樹脂的塗佈作業完成之後, 只要再度使往復移動手段運轉,使分配器的位置後退至不 -9 - (6) 1227890 會妨礙碟片的位置便可以。又,在此所使用的樹脂,只要 能夠在塡補碟片和壓模之間的間隙之後’使其硬化的樹脂 便可以;具體而言,理想爲紫外線硬化樹脂等。 將樹脂塗佈在碟片內緣側之後,使壓模從碟片上方往 下降。然後,藉由壓模的下降,一旦壓模的中心孔和定心 構件之間的嵌合程度變大,則壓模的軸心變成與前述碟片 的軸心一致。當碟片和壓模的軸心一致之後,使按壓該壓 模之貼合頭的壓模吸引手段運轉,使壓模固定在貼合頭上 。如此地被進行壓模的定心之後,若吸住前述壓模,則能 夠在與碟片之間的軸心不會偏移的情況下,使壓模靠近前 述碟片。在此,由於壓模固定在貼合頭上,所以該壓模一 直與位於下方的碟片保持平行,進而,當然能夠防止由於 壓模本身的重量、或是被塗佈在碟片的內緣側之樹脂的黏 性阻力,而產生的翹曲的情況發生。 再者,預先檢討壓模中的中心孔要嵌合在定心構件上 的程度,才可以使其與碟片的軸心一致,並將該値記憶在 控制手段中。而且,只要當壓模超過該値而靠近碟片時, 前述控制手段判斷壓模的定心已經被進行,且藉由從控制 手段來的指示,碟片吸引手段將壓模固定,並使該壓模靠 近碟片至預先設定的距離爲止便可以。而且,設定相對於 碟片之壓模的間隙之後,定心構件由於按壓前述壓模中的 中心孔的端面,所以藉由定心構件所達成之壓模的高度方 向的保持被進行,於是壓模與前述碟片之間的間隙被保持 著。 _ 10- (7) 1227890 若如此地使碟片和壓模平行,並使間隙在整個區域保 持一定,之後利用以定心構件爲中心來使旋轉器台迴轉( 旋轉),樹脂便會從碟片內緣側擴展至外緣側,而可以形 成一定厚度的樹脂層。因此,能夠使在厚度方向中的上層 記錄層的位置保持一定。 另外,前述定心構件,若以中空橡膠構件和連接此中 空橡膠構件的介質供給部來構成,利用從該介質供給部將 介質導入前述中空橡膠構件中,能夠使該中空橡膠構件以 中心孔爲中心,均勻地膨脹。而且,藉由此膨脹,除了能 夠進行碟片和壓模之間的定心以外,若預先使膨脹前的中 空橡膠構件的外形設定成比中心孔的內徑小,則當將碟片 設置在旋轉器台上時,能夠防止碟片的中心孔的端面,在 中空橡膠構件上滑動。由於沒有產生此多餘的滑動,所以 可以防止由於該滑動所造成的塵埃的產生、或是定心構件 的尺寸變動的情況發生。 又,由於藉由膨脹來按壓中心孔的端面,所以能夠提 高壓模的保持力。因此,即使由於之後的旋轉塗佈程序, 旋轉力從中空橡膠構件傳達至壓模、或是沒有預期到的干 擾施加在壓模上,也能夠防止該壓模和定心構件之間的相 對位置發生變動。 而且,中空橡膠構件所具有的效果,也可以藉由改變 介質供給部而將擴徑構件***中空橡膠構件的內部來達成 。若作成可以將擴徑構件***中空橡膠構件的內部,能夠 不需要前述介質的配管路徑。再者,藉由位於中心孔的端 -11 - (8) (8)1227890 面和擴徑構件之間的中心橡膠構件的彈性變形,當然能夠 使施加在中心孔的端面上的力均勻化,並能夠提高定心的 精度。 【實施方式】 以下,參照圖面詳細地說明壓模貼合方法及裝置,以 及多層記錄媒體的具體實施形態。 第1圖係將關於本實施形態的壓模貼合裝置作爲壓模 貼合部加以應用的凹軌形成裝置的槪略平面圖。再者,在 本實施形態中,係將具有壓模剝離部的裝置,作成凹軌形 成裝置,但是該裝置並不限定於凹軌構造的形成,也可以 取代前述的凹軌構造而作成可以碟片旋轉狀地形成訊坑、 或是作成可以形成將前述凹軌構造和訊坑加以組合。 將關於本實施形態的壓模貼合裝置作爲壓模貼合部來 應用的凹軌形成裝置2 3 0,係對於在成爲多層記錄媒體之 可以寫錄的雙層碟片中的上層記錄側,形成凹軌構造的裝 置。而且,如第1圖所示,在凹軌形成裝置230中,設置 :用來將碟片和壓模供給至該裝置內的碟片·壓模供給部 2 3 2 ;進行碟片表面的淸潔的淸潔部2 3 4 ;用來將壓模貼 合在上述碟片上的壓模貼合部2 3 6 ;使位於碟片和壓模之 間的紫外線硬化樹脂固化,用來形成樹脂層的紫外線照射 部2 3 8 ;用來將碟片從壓模剝下的壓模剝離部24〇 ;及用 來將碟片和壓模排出的碟片排出部2 4 2。而且,在這些構 件之間,設置:供給臂2 4 4、第1移載臂2 4 6、第2移載 -12- (9) (9)1227890 p|5 2 4 8、及排出臂2 5 0 ;利用這些臂的旋轉運動,作成能 夠將碟片和壓模搬送至後側段。 第2圖係第]圖中的壓模貼合部的擴大圖、第3圖係 第2圖中的B B剖面圖、第4圖係第3圖的要部擴大圖。 如這些圖所示,在壓模貼合部2 3 6中,設置:藉由未 圖示的凸輪組件,而可以1 8 0度旋轉之圓盤狀的貼合台 3 5 0。而且,在此貼合台3 5 0上,對稱旋轉中心地設置一 對的旋轉器台3 5 2。 該旋轉器台3 5 2,與前述貼合台3 5 〇同樣地成爲圓盤 狀的形狀’並在其下方設置旋轉用伺服馬達354。而且, 此旋轉用伺服馬達3 5 4的旋轉軸,與旋轉器台3 5 2的中心 部連接’作成利用使前述旋轉用伺服馬達3 5 4運轉,可以 使旋轉器台3 5 2旋轉。 又,在貼合台3 5 0的上方,對應—對旋轉器台3 5 2的 位置’分別設置貼合頭3 5 6、及第]U V照射器3 5 8 ;藉由 將前述貼合頭3 5 6和前述第]UV照射器3 5 8,分別與旋轉 器台3 5 2組合’作成在貼合台3 5 〇上,可以形成構成關於 本實施形態的壓模貼合裝置之壓模貼合部2 3 6和暫時硬化 U V照射部3 6 0。 以下說明用來形成壓模貼合部2 3 6的旋轉器台3 5 2。 形成圓盤狀的旋轉器台3 5 2的外徑,設定成比成爲貼 合對象的碟片2 7 8的外徑稍微小。而且,在旋轉器台3 5 2 ,在其側面,設置朝向前述旋轉器台3 5 2的中心部之鑿穿 孔3 6 4 ’同時在靠近此鑿穿孔3 6 4的前述旋轉器台3 5 2的 -13- (10) 1227890 表面,設置複數個連通前述鑿穿孔3 64的吸引口 利用使未圖示的碟片吸引手段(也就是真空泵等 鑿穿孔3 64的端部開口,使該鑿穿孔3 64內部成 間,由吸引口 3 6 1進行吸入,而作成可以將碟片 在碟片吸引部上。再者,在旋轉器台3 5 2的背面 (未圖示)被設置在鑿穿孔3 6 4之間,作成可以 轉器台3 5 2輕量化。 又,在旋轉器台3 5 2,設置:可以從其中央 且構成定心構件之形成圓筒形狀的中空橡膠構件 且,在該中空橡膠構件3 7 0的內側,設置擴徑構 該擴徑構件3 72,被配置有:沿著中空橡膠構件 壁設置,相對於該中空橡膠構件的半徑方向可以 壓壁3 7 4 ;及在此按壓壁3 7 4的內側,沿著中空 3 7 0的軸心,而往上方突出的中心銷 3 7 6 ;藉由 L字形的爪之第1移載臂246,將此中心銷376 按壓壁3 74擴徑,來使中空橡膠構件3 70往碟片 心孔的側壁推壓,作成相對於中空橡膠構件 3 7 0 行碟片2 7 8的定心。 另外,在旋轉器台3 5 2的外方,設置可以將 台3 5 2包圍的導板3 7 8。而且,利用該導板3 7 8 前述旋轉器台3 5 2,能夠防止從壓模貼合部2 3 6 來的塵埃,堆積在已經被吸引在旋轉器台3 5 2 2 7 8的表面上的情況發生。 另一方面,形成壓模貼合部2 3 6的貼合頭3 3 6 ];並 )連接至 爲負壓空 2 7 8吸住 側,凹部 使前述旋 部突出, 3 7 0 ;而 件 3 72 ° 3 7 0的內 移動的按 橡膠構件 利用具有 壓下,使 2 7 8的中 ,可以進 該旋轉器 來包圍住 的外部飛 上的碟片 5 6,係如 -14- (11) 1227890 下述般的構成。 S亥貼合頭3 5 6,形成具有凸緣部3 8 2的圓盤狀 對旋轉器台3 5 2之作成小徑側的一側,形成藉由吸 壓模2 8 0密接的壓模安裝面3 8 4。再者,壓模安裝 的外徑,係形成比壓模2 8 0的外徑稍大,作成能夠 合頭3 5 6來按壓壓模2 8 0的整個表面。 另外,在貼合頭3 5 6中的壓模安裝面3 8 4的相 亦即在貼合頭3 5 6中,面對用來使該貼合頭3 5 6升 合的貼合板3 8 8的一側,形成凹部3 9 0 ;利用將前 頭3 5 6安裝在前述貼合板3 8 8上,可以形成與設在 3 8 8側的壓模吸引手段(也就是真空泵等,未圖示 的空氣吸引經路。再者,凹部3 90的形狀,.係從與 3 8 8的接觸面側開始至壓模安裝面3 84側爲止,形 個小直徑狀;利用該複數個小直徑孔來吸引與前述 裝面3 8 4接觸壓模2 8 0,除了能夠提高壓模2 8 0對 安裝面3 84的密合度以外,也可以藉由前述孔來防 2 8 0發生變形。再者,上述貼合頭3 5 6的凹部3 9 0 爲複雜的形狀,不僅可以藉由機械加工的切削方法 ,也可以藉由燒結方法來製造。 在如此構成的貼合頭3 5 6的側方,往垂直方向 設置:與升降用伺服馬達3 9 1連接的螺栓;及由隨 栓的旋轉而可以進行往復運動的升降台3 92所構成 組件3 9 4。而且’連結臂3 9 6被設置在升降台3 9 2 板3 8 8之間,作成可以使貼合板3 8 8側隨著升降台 ;在面 引來使 面 384 利用貼 反側, 降而結 述貼合 貼合板 )連接 貼合板 成複數 壓模安 於壓模 Ji壓模 ,由於 來製造 直立地 著此螺 的單軸 和貼合 3 92進 -15 - (12) (12)1227890 行升降。 另外,在旋轉器台3 5 2的周圍,於不妨礙前述單軸組 件3 94的位置,設置其前端設有吐出噴嘴3 9 7的分配器 3 9 8 °在此,該分配器3 9 8,具備:藉由伺服馬達驅動之 作爲往復移動手段的螺栓機構400 ;藉由此螺栓機構400 的運轉’使分配器3 9 8前進,而可以藉由吐出噴嘴3 9 7將 組成樹脂的紫外線硬化樹脂塗佈在碟片2 7 8的內緣側。 再者,前述貼合台3 5 0的旋轉、旋轉用伺服馬達3 5 4 、升降用伺服馬達3 9 ]、碟片和壓模吸引手段、及分配器 3 9 8 ’全部與未圖示的控制手段連接,作成可以根據從該 控制手段來的運轉訊號,進行旋轉或升降等。 以下說明使用如此構成的凹軌形成裝置2 3 0,來將壓 模2 8 0貼合在碟片2 7 8上的程序。 第5圖〜第1 1圖,係表示碟片和壓模通過壓模貼合 部的情況之狀態說明圖。 首先,如第5圖所示,使用第1移載臂246,從淸潔 部2 3 4將碟片2 7 8往壓模反轉夾頭404移載。接著,如第 6圖所示,使第1移載臂2 4 6再度旋轉,將被保持在壓模 反轉夾頭4〇4上的碟片2 7 8,往旋轉器台3 52移載,同時 將被承載在淸潔部2 3 4上的壓模2 8 0,往壓模反轉夾頭 404移載。再者,第1移載臂246,係作成可以旋轉,且 可以往上下方向(第6圖中的紙面厚度方向)升降。因此 ,藉由第1移載臂246的下降,該第]移載臂2 4 6的腕部 ,按壓從旋轉器台3 5 2突出的中心銷3 7 6,而利用該中心 -16- (13) 1227890 銷3 7 6的下降,按壓壁3 7 4往徑方向擴大,經由中 構件3 7 0,按壓碟片2 7 8的空心孔內壁。因此,碟 ,除了與旋轉器台3 5 2的旋轉中心一致地被定心以 述碟片2 7 8,藉由碟片吸引手段所產生的負壓,而 在旋轉器台3 5 2的表面上。再者,只要以控制手段 第1移載臂246的旋轉,一直到碟片2 7 8被載置在 台3 5 2上爲止,然後使碟片吸引手段運轉,來吸 2 7 8便可以。 如此地使碟片2 7 8吸引在旋轉器台3 5 2上之後 手段使螺栓機構4 0 0運轉來使分配器3 9 8前進。而 安裝在該分配器3 9 8的前端之吐出噴嘴3 97,一旦 片2 78的內緣側,則使螺栓機構400停止,並藉由 伺服馬達3 5 4的運轉來使碟片2 7 8旋轉,同時從吐 3 9 7的前端吐出紫外線硬化樹脂,將紫外線硬化樹 在碟片2 7 8的內緣側。又,藉由伺服馬達驅動的螺 可以從內周到外周或是從外周到內周,一邊使分配 一邊使旋轉器台同步地旋轉,進行螺旋狀地塗佈。 只要塗佈預先設定的量的紫外線硬化樹脂之後,再 栓機構4 〇 〇運轉,來使分配器3 9 8從碟片2 7 8後退 的位置便可以。 如此地將紫外線硬化樹脂塗佈在碟片2 7 8的內 後,再度使第1移載臂246:旋轉,從壓模反轉夾頭 將壓模2 8 0放置在碟片2 7 8的上方。一旦壓模2 8 0 從第]移載臂24 6放下,前述壓模2 8 0的中心孔, 空橡膠 片27 8 外,前 被密接 判斷從 旋轉器 引碟片 ,控制 且,被 到達碟 旋轉用 出噴嘴 脂塗佈 栓,也 器移動 而且, 度使螺 至原先 緣側之 404, 如此地 與藉由 -17- (14) (14)1227890 按壓壁3 7 4而擴大其外徑的中空橡膠構件3 7 0的外表面接 觸,以與碟片2 7 8之間保持相當的距離的狀態,壓模2 8 0 藉由中空橡膠構件3 7 0而被保持。第7圖表示碟片2 7 8和 壓模2 8 0重疊的狀態。再者,旋轉器台3 5 2與構成壓模貼 合部2 3 6的貼合頭3 5 6之間,由於貼合頭3 5 6相對於前述 旋轉器台3 5 2,以位於保持充分的距離的上方的狀態,待 機中,所以即使第1移載臂2 4 6移動至旋轉器台3 5 2的上 方,其高度位置係位於貼合頭3 5 6的下側,因而能夠防止 雙方之間互相妨礙。 控制手段,一旦壓模2 8 0被保持在碟片2 7 8的上方, 則使升降用伺服馬達391運轉,來使升降台3 92連結臂 3 96、貼合板3 8 8,與貼合頭3 5 6 —起,往壓模2 8 0下降 〇 第1 2圖係表示貼合頭3 5 6的下降距離和時間之間的 關係的圖。相對於壓模貼合位置之貼合頭3 5 6的高度,在 第1移載臂24 6從旋轉器台3 5 2的上方進入的情況,如圖 中的點A所示,其高度係被設定在200mm。而且,從點 A的位置開始至點B所示的自動運轉待機位置(1 〇 〇 m m ) 爲止,以2秒的時間下降;接著,再以2秒的時間,從點 B的位置下降至點C所示的與壓模2 8 0的接觸位置(5 m m )。如此地使貼合頭3 5 6接觸壓模2 8 0之後,降低下降速 度,以一定的速度下降至點E所示的壓模貼合高度。在此 ,位於中空橡膠構件3 7 〇的途中的壓模2 8 〇,該與貼合頭 3 5 6 —起下降的前述壓模2 8 0,在點D的高度(1⑺m ), -18- (15) (15)1227890 藉由中空橡膠搆件3 7 0,與碟片2 7 8同樣地被進行定心。 再者,點D的高度,係根據壓模2 8 0的規格或其他的情況 ,而可以任意地設定;其咼度只要根據被配置在中空椽月翏 構件3 7 0內側的擴徑構件3 7 2的擴大程度,自由地設定便 可以。而且,若預先在控制手段中記憶著要進行壓模2 S 〇 的定心之高度(在本實施形態中爲1 m n〇 ,在貼合頭3 5 6 到達點D的時點,控制手段便會使壓模吸引手段運轉,使 壓模2 8 0被吸引在壓模安裝面3 8 4上。再者,從點c到點 D所需的時間係設定爲4秒。 如此地在貼合頭3 5 6到達壓模2 8 0的時點,如上所述 ,由於壓模2 8 0係處於藉由中空橡膠構件3 7 0而被定心的 狀態,所以只要使壓模280被吸引在壓模安裝面384上’ 以保持在該壓模2 8 0的定心位置(固定半徑方向的位朦) 的狀態,下降至點E所示之預先設定的貼合高度便可以。 再者,相對於碟片278之壓模2 8 0的貼合高度(也就是所 謂的間隙),係被任意地設定在數十微米〜數百微米之間 〇 而且,在貼合頭3 5 6到達點E,相對於碟片2 7 8之壓 模2 8 0的貼合高度被設定之後,使貼合頭3 5 6從點F上升 到達點G。再者,當使貼合頭3 5 6上升之際,藉由控制手 段預先使壓模吸引手段停止,以便能夠使貼合頭3 5 6和壓 模2 8 0之間容易分離。如此地使貼合頭3 5 6上升至點G之 後’如尿8圖所不’使貼合台3 5 0旋轉1 8 0度,來使貼合 後的碟片2 7 8和壓模2 8 0,與 -19 - (16) 1227890 旋轉器台3 5 2 —起往暫時硬化UV照射部36〇移動。 然後,利用此暫時硬化U V照射部3 6 0,使貼合後的碟片 2 7 8和壓検2 8 0旋轉,利用此離心力來使紫外線硬化樹脂 從碟片內緣側往外方擴徑,將紫外線硬化樹脂充塡在碟片 2 7 8和壓模2 8 0之間。接著,在此旋轉處理的同時,使第 】UV照射器3 5 8運轉,將紫外線經由壓模照射在紫外線硬 化樹脂上,使紫外線硬化樹脂硬化,直到厚度尺寸不再變 動爲止(也就是所謂的暫時硬化製程)。 而且’暫時硬化製程結束之後,如第1 〇圖所示,只 要再度使貼合台3 5 0旋轉1 8 G度,來使貼合後的碟片2 7 8 和壓模2 8 0 ’與旋轉器台3 5 2 一起往壓模貼合部2 3 6側移 動’然後使用第1移載臂246將碟片27 8和壓模28〇加以 把持’再藉由第1移載臂2 4 6的旋轉,將碟片2 7 8和壓模 2 8 0搬送至紫外線照射部2 3 8,藉由此紫外線照射部238 ’來進行紫外線硬化樹脂的正式硬化便可以。 再者,在上述說明中,係表示一枚碟片2 7 8 (與壓模 2 8 0 )通過壓模貼合部的情況,但是實際的作業,係被設 置在第1移載臂2 4 6上的3根腕部分別同時地作用,來使 複數枚碟片2 7 8 (與壓模2 8 0 )通過壓模貼合部,此點請 務必瞭解。 另外’在本實施形態中,係在中空橡膠構件3 70的內 部’設置按壓檗3 74和中心銷3 76,作成使前述中空橡膠 _件-3 7 0如圖所示地擴徑,但是也可以不被限定於此形態 ’而使用其他形態。 -20- (17) 1227890 第1 3圖係表示定心構件的其他形態的剖面說 再者,除了定心構件以外,其構造與上述的旋轉器 的構造相同,關於共通的部分,係標上相同的符號 說明。 如該圖所示,構成袋狀的中空橡膠構件4 0 6 ’ 裝成從旋轉器台3 5 2的中央部分突出。而且,在前 橡膠構件406的下方,設置與該中空橡膠構件406 一對空氣配管4 0 8 ;而該空氣配管4 0 8的另一端則 示的壓力供給手段連接。若如此地經由空氣配管使 給手段與袋狀的中空橡膠構件406連接,則利用使 入中空橡膠構件4 0 6內來使中空橡膠構件4 0 6擴徑 若將空氣從中空橡膠構件406的內部吸出,則.可以 橡膠構件4 0 6的外徑縮小,而能夠容易地進行碟片 定心或取出。再者,發明人係著眼於耐摩耗性優異 使溫度變化其硬度變化也少的特定,因而中空橡膠 材質係使用矽橡膠,但是也不限定於此形態,只要 途或使用環境來選擇適當的材料便可以。 【發明之效果】 如以上所述,若根據本發明,將壓模重疊在碟 然後利用貼合頭的按壓,來使壓模往前述碟片側下 且,藉由與定心構件之間的嵌合,進行壓模的定心 利用貼合頭將壓模吸住。若如此地利用貼合頭的下 定相對於碟片之壓模的間隙,除了能夠進行碟片和 明圖。 台 352 來進行 係被安 述中空 連接的 與未圖 壓力供 空氣導 :又, 使中空 278的 同時即 構件的 根據用 片上, 降。而 之後, 降來設 壓模之 -21 - (18) 1227890 間的定心以外,在碟片和壓模之間,也可以進行不會產生 傾斜或翹曲的貼合。 【圖式簡單說明】 第]圖係將關於本實施形態的壓模貼合裝置作爲壓模 貼合部加以應用的凹軌形成裝置的槪略平面圖。 第2圖係第1圖中的壓模貼合部的擴大圖。 第3圖係第2圖中的B B剖面圖。 第4圖係第3圖的要部擴大圖。 第5圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第6圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第7圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第8圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第9圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之狀 態說明圖。 第1 〇圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之 狀態說明圖。 第1 1圖係表示碟片和壓模通過壓模貼合部的情況之 狀態說明圖。 第]2圖係表示貼合頭的下降距離和時間之間的關係 -22- (19) 1227890 的圖。 第】3圖係表示定心構件的其他形態的剖面說明圖。 第】4圖係表示唯讀型的雙層碟片的構造的槪略剖面 圖。 第1 5圖係在第]4圖中的底層基板和光透過層的邊界 部分的擴大圖。 第1 6圖係表不使用旋轉塗佈法來形成凹軌層的程序 之製程說明圖。 第17隨表示使用旋轉塗佈法來形成凹軌層的程序 之製程說明圖。 【符號說明】‘ 230:凹軌形成裝置 2 3 2 :碟片·壓模供給部 2 3 4 :淸潔部 2 3 6 :壓模貼合部 2 3 8 :紫外線照射部 2 4 0 :壓模剝離部 2 4 2 :碟片排出部 2 4 4 :供給臂 246.弟1移載臂 2 4 8 :第2移載部 2 5 0 :排出臂 2 7 8 :碟片 -23- (20)1227890 2 8 0 :壓模 3 5 0 :貼合台 3 5 2 :旋轉器召 3 5 4 :旋轉用伺 3 5 6 :貼合頭 3 5 8 :第 1UV p 3 6 0 :暫時硬{七 3 6 1 :吸引口 3 6 4 :鑿穿孔 3 7 0 :中空橡膠 3 7 2 :擴徑構付 3 7 4 :按壓壁 3 7 6 :中心銷 3 7 8 :導板 3 8 2 :凸緣部 3 8 4 :壓模安裝 3 8 8 :貼合板 3 9 0 :凹部 3 9 1 :升降用作 3 9 2 :升降台 3 9 4 :單軸組f) 3 9 6 :連結臂 3 9 7 :吐出噴嘆 3 9 8 :分配器 服馬達 :射器 UV照射部 構件 面 鲁 服馬達 -24 - (21) (21)1227890 4 0 0 :螺栓機構 4 04 :壓模反轉夾頭 4 0 6 :中空橡膠構件 4 0 8 :空氣配管
-25-
Claims (1)
- (1) (1)1227890 拾、申請專利範圍 1 · 一種壓模貼合方法,係在具有中心孔的碟片的內緣 側塗佈樹脂之後,夾住此樹脂般地貼合壓模,用來形成旋 轉塗佈處理前的狀態之壓模貼合方法,其特徵爲: 一邊使前述中心孔嵌合在從旋轉器台突出的定心構件 上’一邊將前述碟片固定在前述旋轉器台上,並將樹脂塗 佈在前述碟片的內緣側之後,將前述定心構件嵌合在前述 壓模的中心孔’來使前述壓模經由前述樹脂重疊在前述碟 片上’同時根據貼合頭的按壓使前述壓模往前述碟片側下 降’再根據與前述定心構件之間的嵌合來進行前述壓模的 定心之後,利用前述貼合頭吸住前述壓模,再根據前述貼 合頭的下降,設定相對於前述碟片之前述壓模的間隙,同 時根據前述定心構件,來保持前述間隙。 2 . —種壓模貼合裝置,係進行具有中心孔的碟片和壓 模之間的定心,且藉由樹脂來進行貼合,用來形成旋轉塗 佈處理前的狀態之壓模貼合裝置,其特徵爲具備: 具有碟面吸引手段,可以整個面地吸住前述碟片的一 面之旋轉器台; 從該旋轉器台突出,進行前述碟片和前述壓模之間的 定心,同時進行突出方向的保持之定心構件; 具有往復移動手段,可以將前述樹脂供應至前述碟片 的內緣側之分配器; 具有壓模吸引手段,作成可以整個面地吸住前述壓模 的一面,且相對於前述旋轉器台可以升降的貼合頭;及 -26- (2) 1227890 藉由該貼合頭的下降,使前述壓模靠近前述旋轉器台 ’並藉由將前述中心孔嵌合在前述定心構件,來進行前述 壓模的定心之後,藉由前述壓模吸引手段的運轉,使前述 壓模密接在前述貼合頭上,來設定相對於前述碟片之前述 壓模的間隙之控制手段。 3 .如申請專利範圍第2項所述的壓模貼合裝置,其中 以中空橡膠構件和連接此中空橡膠構件的介質供給部,來 構成前述定心構件,利用從該介質供給部將介質供應至前 述中空橡膠構件中,來使前述中空橡膠構件擴徑,進行前 述碟片和前述壓模之間的定心與突出方向的保持。 4 .如申請專利範圍第2項所述的壓模貼合裝置,其中 以中空橡膠構件和可以***此中空橡膠構件內部的擴徑構 件,來構成前述定心構件,利用將前述擴徑構件***前述 中空橡膠構件內’來使前述中空橡膠構件擴徑’進行前述 碟片和前述壓模之間的定心與突出方向的保持。 5.—種多層記錄媒體,其特徵爲: 藉由申請專利範圍第2、3或4項中的其中一項所記 載的壓模貼合裝置’而被製造出來。
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