KR970706652A - 탄성 표면파 장치(surface acoustic wave device) - Google Patents
탄성 표면파 장치(surface acoustic wave device)Info
- Publication number
- KR970706652A KR970706652A KR1019960706597A KR19960706597A KR970706652A KR 970706652 A KR970706652 A KR 970706652A KR 1019960706597 A KR1019960706597 A KR 1019960706597A KR 19960706597 A KR19960706597 A KR 19960706597A KR 970706652 A KR970706652 A KR 970706652A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- idt
- input
- output
- connection
- pair
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/644—Coupled resonator filters having two acoustic tracks
- H03H9/6456—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
- H03H9/6459—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와 N2쌍의 접속용 IDT와 반사기를 가지는제1전극 구조열과, N1쌍의 입출력용 IDT와 N2쌍의 접속용 IDT와 반사기를 가지는 제2전극 구조열이 종속 접속되며, 제1전극 구조열의 접속용 IDT와 제2전극 구조열의 접속용 IDT가 종속 접속면에 대해 전기적으로 대칭이 되도록 배치되어 있다. 입출력용 IDT의 쌍수(N1)와 접속용 IDT의 쌍수(N2)는 다르며, 규격화 전극막 두께를 h/L로 했을때, 입출력용 IDT의 쌍수 N1이, 수식 1을 만족한다. 삽입손실이 작고, 진폭 리플과 군지연시간 리플이 적으며, 비대역폭이 비교적 넓어, 쉐이프 펙터(shape factor)가 좋고, 대역외 감쇠량이 큰 우수한 특성을 실현할 수 있어서, 이동체 통신 등이 이용하는 필터, 특히, 디지탈 통신용의 중간 주파 필터로서 유용하다.
43-11(h/L)≤N1≤61-11(h/L) (1)
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 실시형태에 의한 탄성 표면파 장치의 전극 구조를 나타내는 도면이다, 제3도는 본 발명의 한 실시형태에 의한 탄성 표면파 장치에 있어서, 규격화 알루미늄막 두께(h/L)가 1.7%인 경우에, 빗모양 전극의 총쌍수(N1+N2)를 일정하게 하여, 빗모양 전극의 쌍수비(N2/N1)를 변화시킨 경우의 저역 스퓨리어스 레벨의 변화를 나타내는 그래프이다, 제5도는 본 발명의 한 실시형태에 의한 탄성 표면파 장치에 있어서, 규격화 알루미늄막 두께(h/L)가 1.0%인 경우에, 빗모양 전극의 총쌍수(N1+N2)를 일정하게 하여, 빗모양 전극의 쌍수비(N2/N1)를 변화시킨 경우의 저역 스퓨리어스 레벨의 변화를 나타내는 그래프이다, 제6도는 본 발명의 한 실시형태에 의한 탄성 표면파 장치에 있어서, 규격화 알루미늄막 두께(h/L)가 3.0%인 경우에, 빗모양 전극의 총쌍수(N1+N2)를 일정하게 하여, 빗모양 전극의 쌍수비(N2/N1)를 변화시킨 경우의 저역 스퓨리어스 레벨의 변화를 나타내는 그래프이다, 제7도는 본 발명의 한 실시형태에 의한 탄성 표면파 장치에 있어서, 규격화 알루미늄막 두께를 변화시킨 경우에, 저역측 스퓨리어스를 억제하는데 적절한 빗모양 전극의 쌍수비(N2/N1)의 범위 변화를 나타내는 그래프이다.
Claims (11)
- 압전 기판과, 상기 압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 한쪽에 근접하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 입출력용 IDT와 상기 접속용 IDT의 외측에 배치된 2개의 반사기를 가지는 제1전극 구조열과, 상기 압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 다른쪽에 근잡하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 접속용 IDT와 상기 입출력용 IDT의 외측에 형성된 2개의 반사기를 지니며, 상기 제1전극 구조열과 종속 접속된 제2전극 구조열을 가지고, 상기 제1전극 구조열의 상기 접속용 IDT와 상기 제2전극 구조열의 상기 접속용 IDT가 종속 접속면에 대해 전기적으로 대칭이 되도록 배치되어 있는 탄성 표면파 장치로서, 상기 탄성 표면파 장치를 격자아암 임피던스와 직렬아암 임피던스로 나태내어지는 전기적으로 등가인 대칭격자형 회로로 나타냈을 때, 상기 격자아암 임피던스의 적어도 1개의 공진점과 적어도 1개의 반공진점 및 상기 직렬아암 임피던스의 적어도 1개의 공진점과 적어도 1개의 반공진점을 이용하여 통과대역을 형성하고, 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)와 상기 접속용 IDT의 쌍수(N2)가 다른 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 격자아암 임피던스의 적어도 2개의 공진점과 적어도 1개의 반공진점과, 상기 직렬아암 임피던스의 적어도 2개의 공진점과 적어도 2개의 반공진점을 이용하여 통과 대역을 형성한 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.
- 압전 기판과, 상기 압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 한쪽에 근접하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 입출력용 IDT와 상기 접속용 IDT의 외측에 배치된 2개의 반사기를 가지는 제1전극 구조열과, 상기 압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 다른쪽에 근접하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 접속용 IDT와 상기 입출력용 IDT의 외측에 형성된 2개의 반사기를 지니며, 상기 제1전극 구조열과 종속 접속된 제2전극 구조열을 가지고, 상기 제1전극 구조열의 상기 접속용 IDT와 상기 제2전극 구조열의 상기 접속용 IDT가 종속 접속면에 대해 전기적으로 대칭이 되도록 배치되어 있는 탄성 표면파 장치로서, 상기 입출력 IDT의 쌍수(N1)와 상기 접속용 IDT의 쌍수(N2)가 다르고, 상기 입출력용 IDT와 상기 접속용 IDT의 규격화 전극막 두께를 h/L로 했을 때, 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)가 수식(1)을 만족하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.43-11(h/L)N1 61-11(h/L) (1)
- 제3항에 있어서, 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)가 수식(2)를 만족하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.50-11(h/L)N1 59-11(h/L) (2)
- 압전 기판과, 상기 압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 한쪽에 근접하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 입출력용 IDT와 상기 접속용 IDT의 외측에 배치된 2개의 반사기를 가지는 제1전극 구조열과, 상기 압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 다른쪽에 근접하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 접속용 IDT와 상기 입출력용 IDT의 외측에 형성된 2개의 반사기를 가지며, 상기 제1전극 구조열과 종속 접속된 제2전극 구조열을 가지고, 상기 제1전극 구조열의 상기 접속용 IDT와 상기 제2전극 구조열의 상기 접속용 IDT가 종속 접속면에 대해 전기적으로 대칭이 되도록 배치되어 있는 탄성 표면파 장치로서, 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)와 상기 접속용 IDT의 쌍수(N2)가 다르고, 상기 입출력용 IDT와 상기 접속용 IDT의 규격화 전극막 두께를 h/L로 했을 때, 상기 접속용 IDT의 쌍수(N2)와 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)의 비(N2/N1)가 수식(3)을 만족하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.0.542-0.021(h/L)+0.029(h/L)2 N2/N1 0.734-0.028(h/L)+0.029(h/L)2(3)
- 제5항에 있어서, 상기 접속용 IDT의 쌍수(N2)와 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)의 비(N2/N1)가, 수식(4)를 만족하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.0.597-0.020(h/L)+0.027(h/L)2 N2/N1 0.690-0.032(h/L)+0.031(h/L)2(4)
- 압전 기판과, 상기 압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 한쪽에 근접하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 입출력용 IDT와 상기 접속용 IDT의 외측에 배치된 2개의 반사기를 가지는 제1전극 구조열과, 상기 압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 다른쪽에 근접하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 접속용 IDT와 상기 입출력용 IDT의 외측에 형성된 2개의 반사기를 가지며, 상기 제1전극 구조열과 종속 접속된 제2전극 구조열을 가지고, 상기 제1전극 구조열의 상기 접속용 IDT와 상기 제2전극 구조열의 상기 접속용 IDT가 종속 접속면에 대해 전기적으로 대칭이 되도록 배치되어 있는 탄성 표면파 장치로서, 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)와 상기 접속용 IDT의 쌍수(N2)가 다르고, 상기 입출력용 IDT와 상기 접속용 IDT의 규격화 전극막 두께를 h/L로 했을 때, 상기 접속용 IDT의 쌍수(N2)와 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)의 비(N2/N1)가, 수식(3)을 만족하고, 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)가 수식(1)을 만족하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.0.542-0.021(h/L)+0.029(h/L)2 N2/N1 0.734-0.028(h/L)+0.029(h/L)2(3)43-11(h/L)N1 61-11(h/L) (1)
- 제7항에 있어서, 상기 접속용 IDT의 쌍수(N2)와 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1) 비(N2/N1)가, 수식(4)을 만족하고, 상기 입출력용 IDT의 쌍수(N1)가, 수식(2)를 만족하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.0.597-0.020(h/L)+0.027(h/L)2 N2/N1 0.690-0.032(h/L)+0.031(h/L)2(4)50-11(h/L)N1 59-11(h/L) (2)
- 압전 기판과, 상기 압전 기판상에 형성되어 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 한쪽에 근접하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 입출력용 IDT와 상기 접속용 IDT의 외측에 배치된 2개의 반사기를 가지는 제1전극 구조열과, 상기 압전 기판상에 형성되어 있는 N1쌍의 입출력용 IDT와, 상기 입출력용 IDT의 다른쪽에 근접하여 배치된 N2쌍의 접속용 IDT와, 상기 접속용 IDT와 상기 입출력용 IDT의 외측에 형성된 2개의 반사기를 가지며, 상기 제1전극 구조열과 종속 접속된 제2전극 구조열을 가지고, 상기 제1전극 구조열의 상기 접속용 IDT와 상기 제2전극 구조열의 상기 접속용 IDT가 종속 접속면에 대해 전기적으로 대칭이 되도록 배치되어 있는 탄성 표면파 장치로서, 상기 입출력용 IDT외 쌍수(N1)와 상기 접속용 IDT의 쌍수(N2)가 다르고, 통과 대역 중앙의 주파수(fo)에서의 공역 영상 임피던스를 Zo=R(fo)+jI(fo)로 하여, 상기 통과 대역내에서 n개로 분할했을 때의 각 점(fi)에서의 주파수의 공역 영상 임피던스를 z(fi)=R(fi+jI(fi)(i=1,2,3,…,n)로 했을 때, 수식(5)로 나타내어지는 규격화 공역 영상 임피던스 지승편차(DCII)가 수식(6)을 만족하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.DCII={(R(fi)-R(fo))2}1/2/(nR(fo))+{(I(fi)-I(fo))2}1/2/(nI(fo)) (5)0DCII0.2 (6)
- 제9항에 있어서, 상기 규격화 공역 영상 임피던스 자승편차(DCII)가 수식(7)을 만족하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.0DCII0.13 (7)
- 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압전 기판이 4붕산 리튬 기판인 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10914695 | 1995-04-11 | ||
JP95-109146 | 1995-04-11 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970706652A true KR970706652A (ko) | 1997-11-03 |
KR100407463B1 KR100407463B1 (ko) | 2004-03-30 |
Family
ID=14502783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960706597A KR100407463B1 (ko) | 1995-04-11 | 1996-04-11 | 탄성표면파장치 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5850167A (ko) |
EP (1) | EP0766384B1 (ko) |
JP (1) | JP4014630B2 (ko) |
KR (1) | KR100407463B1 (ko) |
DE (1) | DE69632710T2 (ko) |
WO (1) | WO1996032777A1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100732265B1 (ko) * | 1999-08-16 | 2007-06-25 | 에프코스 아게 | 대칭성이 개선되고, 선택적으로 대역 감쇠 저지가 향상된 듀얼 모드 표면 탄성파 필터 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3239064B2 (ja) * | 1996-05-28 | 2001-12-17 | 富士通株式会社 | 弾性表面波装置 |
JP3253568B2 (ja) * | 1997-08-29 | 2002-02-04 | 富士通株式会社 | 多段接続型弾性表面波フィルタ |
JP3301399B2 (ja) * | 1998-02-16 | 2002-07-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
TW465179B (en) | 1999-05-27 | 2001-11-21 | Murata Manufacturing Co | Surface acoustic wave device and method of producing the same |
US6720842B2 (en) | 2000-02-14 | 2004-04-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter device having first through third surface acoustic wave filter elements |
JP3435638B2 (ja) * | 2000-10-27 | 2003-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
JP2003124778A (ja) * | 2001-10-05 | 2003-04-25 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 一方向性弾性表面波変換器 |
JP2003289234A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-10-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置、通信装置 |
SE529375C2 (sv) * | 2005-07-22 | 2007-07-24 | Sandvik Intellectual Property | Anordning för förbättrad plasmaaktivitet i PVD-reaktorer |
US9048807B2 (en) * | 2010-03-18 | 2015-06-02 | University Of Maine System Board Of Trustees | Surface acoustic wave resonator with an open circuit grating for high temperature environments |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58154917A (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-14 | Hitachi Ltd | 弾性表面波バンドパスフイルタ |
JPS61285814A (ja) * | 1985-06-12 | 1986-12-16 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 縦型2重モ−ドsawフイルタ |
JPS63269612A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-07 | Asahi Glass Co Ltd | 水晶弾性表面波共振子 |
JP2748009B2 (ja) * | 1989-01-31 | 1998-05-06 | キンセキ株式会社 | 表面弾性波共振子フィルタ |
JPH03270309A (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-02 | Fujitsu Ltd | 多電極構成型弾性表面波素子 |
JP3369581B2 (ja) * | 1991-11-01 | 2003-01-20 | 株式会社東芝 | 多段接続多重モードフィルタ及び弾性表面波フィルタ装置 |
JPH06169231A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Kyocera Corp | 縦型多重モード弾性表面波フィルタ |
JPH06244676A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Daishinku Co | 多段接続型弾性表面波フィルタ |
JP3307455B2 (ja) * | 1993-03-22 | 2002-07-24 | 日本碍子株式会社 | 弾性表面波フィルタ装置 |
JP3214226B2 (ja) * | 1994-05-11 | 2001-10-02 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波共振子フィルタ |
-
1996
- 1996-04-11 WO PCT/JP1996/001002 patent/WO1996032777A1/ja active IP Right Grant
- 1996-04-11 EP EP96909347A patent/EP0766384B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-11 KR KR1019960706597A patent/KR100407463B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-04-11 JP JP53088496A patent/JP4014630B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-11 DE DE69632710T patent/DE69632710T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-11 US US08/750,501 patent/US5850167A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100732265B1 (ko) * | 1999-08-16 | 2007-06-25 | 에프코스 아게 | 대칭성이 개선되고, 선택적으로 대역 감쇠 저지가 향상된 듀얼 모드 표면 탄성파 필터 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4014630B2 (ja) | 2007-11-28 |
DE69632710T2 (de) | 2004-10-14 |
EP0766384A4 (en) | 1998-07-29 |
DE69632710D1 (de) | 2004-07-22 |
US5850167A (en) | 1998-12-15 |
EP0766384B1 (en) | 2004-06-16 |
KR100407463B1 (ko) | 2004-03-30 |
EP0766384A1 (en) | 1997-04-02 |
WO1996032777A1 (fr) | 1996-10-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5694096A (en) | Surface acoustic wave filter | |
US11601114B2 (en) | Surface acoustic wave device and surface acoustic wave filter | |
KR100210120B1 (ko) | 탄성 표면파 필터 | |
KR0177907B1 (ko) | 탄성 표면파 필터 | |
KR100290804B1 (ko) | 탄성표면파필터 | |
CN1139184C (zh) | 具有改善的边缘陡度的表面声波滤波器 | |
US8476991B2 (en) | Elastic wave resonator, elastic wave filter, and antenna sharing device using the same | |
KR100376906B1 (ko) | 탄성 표면파 장치 및 통신 장치 | |
KR19980079838A (ko) | 단간정합용 탄성표면파 공진기를 구비하는 탄성표면파 필터 | |
EP1037385B1 (en) | Surface acoustic wave filter, duplexer, and communications device | |
JP3241293B2 (ja) | 弾性表面波素子およびこれを用いた分波器 | |
KR970706652A (ko) | 탄성 표면파 장치(surface acoustic wave device) | |
KR20000035608A (ko) | 탄성 표면파 필터 | |
US6292071B1 (en) | Surface acoustic wave filter for improving flatness of a pass band and a method of manufacturing thereof | |
JPH11312951A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
JP2000077972A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
JP3918433B2 (ja) | 横2重モードsawフィルタ | |
JPH04132409A (ja) | 弾性表面波共振器 | |
KR920019071A (ko) | 넓은 대역에 대한 소정 통과대역 특성과 적은 삽입손실을 갖는 대역 필터용 표면 탄성파 장치 | |
JPH05183378A (ja) | 弾性表面波素子 | |
JP2021022850A (ja) | フィルタ回路及び複合フィルタ装置 | |
KR102031717B1 (ko) | 컴팩트 표면탄성파 필터 | |
JPH03295308A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
JPH06291600A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
JP3478447B2 (ja) | 弾性表面波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
N231 | Notification of change of applicant | ||
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131022 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141021 Year of fee payment: 12 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |