JP3239064B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents

弾性表面波装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一般に弾性表面波装
置に関し、特に帯域外減衰特性が向上し、また入力イン
ピーダンスと出力インピーダンスとが、それぞれ所望の
設計値に設定された弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波（ＳＡＷ）装置は、携帯電話
等、小型・軽量の超短波ないし極超短波帯域用無線装置
において、フィルタや共振器として広く使われている。
【０００３】これらのフィルタや共振器では、広い通過
帯域特性を有すると同時に、帯域外での減衰量が非常に
大きいことが要求される。また、これらの弾性表面波装
置を電子装置において使う場合、電子装置を構成する集
積回路装置とのインピーダンス整合をとる必要がある。
【０００４】図１９（Ａ），（Ｂ）は、従来の典型的な
ＳＡＷフィルタを示す。
【０００５】図１９（Ａ）を参照するに、ＳＡＷフィル
タはいわゆる二重モード型のＳＡＷフィルタであり、圧
電基板（図示せず）上に形成された一対の反射器１０
Ａ，１０Ｂの間に三つの櫛形電極１１Ａ，１１Ｂ，１１
Ｃを備えている。図１９の例では、基板は３６°Ｙ−Ｘ
ＬｉＴａＯ３ 単結晶板よりなり、反射器１０Ａ，１０
Ｂは基板のＸ軸方向に配列され、Ｘ軸方向に伝搬する弾
性表面波の経路を規定する。一方、各々の電極１１Ａ，
１１Ｂ，１１Ｃは、複数の一次側電極指を形成された１
次側電極（１１Ａ）１ ，（１１Ｂ）１ ，（１１Ｃ）１
と、前記１次側電極指と対向する２次側電極指を形成
された２次側電極（１１Ａ）２ ，（１１Ｂ）２ ，（１
１Ｃ）２ とよりなり、通常の櫛形電極と同様に、前記
１次側電極指と２次側電極指とは、前記Ｘ軸方向に交互
に配列され、前記弾性表面波の経路と交差する。その
際、電極指のピッチは、通過帯域の中心周波数および圧
電基板上をＸ軸方向に伝搬する弾性表面波の音速により
決定される。
【０００６】図１９（Ａ）の構成では、電極１１Ａおよ
び１１Ｃの１次側電極（１１Ａ）１，（１１Ｃ）１ は
入力端子に接続され、また２次側電極（１１Ａ）２ ，
（１１Ｃ）２ は接地される。一方、電極１１Ｂの１次
側電極（１１Ｂ）１ は接地され、２次側電極（１１
Ｂ）２ は出力端子に接続される。すなわち、図１９
（Ａ）のＳＡＷフィルタは、いわゆる２入力１出力型の
ＳＡＷフィルタを構成する。
【０００７】かかる二重モード型ＳＡＷフィルタでは、
図１９（Ｂ）に示すように、前記反射器１０Ａ，１０Ｂ
の間に形成された周波数がｆ１ の１次のモードと周波
数がｆ３ の３次のモードとを使い、図２０に示すよう
な、周波数ｆ１ とｆ３ との間に通過帯域を有する通過
帯域特性を実現する。ただし、図１９（Ｂ）は、図１９
（Ａ）の構造中における弾性表面波のエネルギ分布を示
す。
【０００８】従来は、前記１次のモードおよび３次のモ
ードが対称的であることから、これら１次および３次の
モードが効率的に励起されるように、前記櫛形電極１１
Ａ〜１１Ｃも対称的に構成され、その結果、従来の二重
モード型ＳＡＷフィルタでは、前記電極１１Ａにおける
電極指の対数Ｎ１ と、電極１１Ｃにおける電極指の対
数Ｎ３ とが互いに等しくなるように形成されていた。
（Ｎ１ ＝Ｎ３ ）
【発明が解決しようとする課題】しかし、図２０の通過
帯域特性では、周波数ｆ１ ，ｆ３ で規定される通過帯
域外にも、大小様々なスプリアスピークが観測される。
特に１５５０〜１６００ＭＨｚ の範囲では、かかる通
過帯域に隣接したスプリアスピークの存在により、急峻
であるべき通過帯域特性がゆるやかになっているのがわ
かる。一方、ＳＡＷフィルタあるいは共振器では、通過
帯域では平坦で、通過帯域外では急峻に減衰するような
通過帯域特性を有するのが好ましい。また、通過帯域外
では、減衰量は最大化できるのが好ましい。
【０００９】また、図１９（Ａ）に示す従来のＳＡＷフ
ィルタでは、出力電極１１Ｂと入力電極１１Ａ，１１Ｃ
とで電極指の長さ、すなわち電極交差幅Ｗは必然的に等
しくなり、その結果かかるＳＡＷフィルタの入力インピ
ーダンスと出力インピーダンスとの関係は、電極１１Ａ
〜１１Ｃの電極対数で決まってしまう。一般にＳＡＷフ
ィルタの入出力インピーダンスは電極対数と電極交差幅
に反比例する。すなわち、従来のＳＡＷフィルタでは、
入力インピーダンスと出力インピーダンスとを独立に、
かつ自由に設定することが困難であった。これに対し、
最近の携帯電話等の小型無線装置では、ＳＡＷフィルタ
の入出力インピーダンスを、かかる無線装置で使われる
集積回路装置のインピーダンスに合わせて自在に設定で
きることが要望されている。
【００１０】そこで、本発明は、上記の課題を解決し
た、新規で有用な弾性表面波装置を提供することを概括
的課題とする。
【００１１】本発明のより具体的な課題は、通過帯域外
におけるスプリアスピークを抑圧した、急峻な通過帯域
特性を有する弾性表面波装置を提供することにある。
【００１２】本発明の別の課題は、入力インピーダンス
と出力インピーダンスとを、容易に所望の設計値に設定
できる構成の弾性表面波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題
を、請求項１に記載したように、圧電基板と、前記圧電
基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励
起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対
の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面
波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とより
なる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素
とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧
電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の
方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む
１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方
向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２
次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々におい
て、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指
とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬
経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに
重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾
性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通
の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置
要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異
なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要
素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第
１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極
を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電
極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続
され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々
は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２
重モード型弾性表面波装置であることを特徴とする弾性
表面波装置により、または請求項２に記載したように、
圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々
が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路
に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射
電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成され
た複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第
２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電
極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表
面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平
行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波
の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行
な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数
の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と
前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交
互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所
定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置
であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前
記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前
記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形
電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記
第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装
置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一
の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置
要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続すること
により、カスケード接続され、前記第１および第２の弾
性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に
第１，第２および第３の櫛形電極を、前記複数の櫛形電
極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であ
り、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１
および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極
パッドに接続し、前記第２の弾性表面波装置要素におい
て、前記第１および第３の櫛形電極の２次側電極を、共
通に出力電極パッドに接続し、前記第１の弾性表面波装
置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２
の弾性表面波装置要素の第２の櫛形電極の１次側電極に
接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、また
は請求項３に記載したように、圧電基板と、前記圧電基
板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起
される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の
反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波
の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりな
る、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素と
よりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電
基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方
向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１
次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向
に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次
側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々におい
て、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指
とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬
経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに
重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾
性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通
の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置
要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異
なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要
素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第
１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極
を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電
極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続
され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々
は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２
重モード型弾性表面波装置であり、前記第１の弾性表面
波装置要素において、前記第２の櫛形電極の１次側電極
とを入力電極パッドに接続し、前記第２の弾性表面波装
置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出
力電極パッドに接続し、前記第１の弾性表面波装置要素
の前記第１の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性
表面波装置要素の第１の櫛形電極の１次側電極と接続
し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第３の櫛形電
極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第
３の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする
弾性表面波装置により、または請求項４に記載したよう
に、圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各
々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経
路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反
射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成さ
れた複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および
第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形
電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性
表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に
平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面
波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平
行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複
数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指
と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って
交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、
所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装
置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、
前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前
記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波
装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の
一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装
置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続するこ
とにより、カスケード接続され、前記第１および第２の
弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間
に第１，第２および第３の櫛形電極を、前記複数の櫛形
電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置で
あり、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第
１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電
極パッドに接続し、前記第２の弾性表面波装置要素にお
いて、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッ
ドに接続し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２
の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置
要素の第１および第３の櫛形電極の１次側電極に共通に
接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、また
は請求項５に記載したように、圧電基板と、前記圧電基
板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起
される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の
反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波
の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりな
る、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素と
よりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電
基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方
向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１
次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向
に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次
側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々におい
て、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指
とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬
経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに
重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾
性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通
の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置
要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異
なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要
素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第
１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極
を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電
極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続
され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々
は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２
重モード型弾性表面波装置であり、前記第１および第２
の弾性表面波装置要素の各々において、前記第１、第２
および第３の櫛形電極は、それぞれ互いに異なる第１，
第２および第３の電極対数を有することを特徴とする弾
性表面波装置により、または請求項６に記載したよう
に、圧電基板を支持するパッケージと、前記圧電基板上
に形成された少なくとも一つの弾性表面波装置要素とよ
りなる弾性表面波装置であって、前記弾性表面波装置
は、前記圧電基板上に、弾性表面波の伝搬経路に沿って
形成された、入力側櫛形電極と出力側櫛形電極とを少な
くとも含む複数の櫛形電極よりなり、前記入力側櫛形電
極は、前記パッケージ上に設けられた第１の接地電極パ
ッドに接続され、前記出力が櫛形電極は、前記パッケー
ジ上に設けられた第２の別の接地電極パッドに接続さ
れ、前記パッケージは、さらに前記圧電基板を覆う金属
キャップを有し、前記金属キャップは、前記第１および
第２の接地電極パッドの一方にのみ接続されることを特
徴とする弾性表面波装置により、または請求項７に記載
したように、圧電基板と、前記圧電基板上に、前記圧電
基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成
され、前記伝搬経路を規定する第１および第２の反射電
極と、前記第１および第２の反射電極の間に順次配設さ
れた第１，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モー
ド型弾性表面波装置において、前記第１の櫛形電極の電
極対数を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して、自
然数で与えられる対数分の変化をさせたことを特徴とす
る弾性表面波装置により、または請求項８に記載したよ
うに、圧電基板と、前記圧電基板上に、前記圧電基板上
に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成され、
前記伝搬経路を規定する第１および第２の反射電極と、
前記第１および第２の反射電極の間に順次配設された第
１，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モード型弾
性表面波装置において、前記第１の櫛形電極の電極対数
を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して変化させ、
前記第１の櫛形電極の電極対数をＸ，前記第２の櫛形電
極の電極対数をＹ，前記第３の櫛形電極の電極対数をＺ
として、Ｘ＜Ｙ＜Ｚの関係が成立することを特徴とする
弾性表面波装置により、または請求項９に記載したよう
に、圧電基板上に、前記圧電基板表面に励起される弾性
表面波の経路に沿って配設された複数の櫛形電極よりな
り、各々の櫛形電極が、複数の電極指を有する１次側電
極と、前記１次側電極指の複数の電極指に対して交互に
配列された別の複数の電極指を有する２次側電極とより
なる弾性表面波装置において、前記複数の櫛型電極は、
それぞれの電極対数Ｎ1，Ｎ2，Ｎ3を有し、前記電極対
数は相互に異なっており、関係Ｎ1≠Ｎ2≠Ｎ3が成立
し、１次側電極が入／出力端子に接続された櫛形電極の
２次側電極は、別の入／出力端子に接続されることを特
徴とする弾性表面波装置により、解決する。
【００１３】図１は、本発明の第１の特徴を示す図であ
る。
【００１４】図１を参照するに、ＳＡＷフィルタは図１
９（Ａ）に示したものと同様な二重モード型の装置であ
るが、本発明では、櫛形電極１１Ａの電極対数Ｎ１ と
櫛形電極１１Ｃの電極対数Ｎ３ 、さらに櫛形電極１１
Ｂの電極対数Ｎ２ を相互に異ならせてあることがわか
る（Ｎ１ ≠Ｎ３ ≠Ｎ２ ）。
【００１５】図２は、図１のＳＡＷフィルタの周波数特
性の計算結果を示す。ただし、図２中、実線で示した特
性曲線は、図２０の特性曲線に対応し、電極対数Ｎ１
，Ｎ２ ，Ｎ３ を、それぞれ２０，４０，２０とした
場合をあらわす。一方、図２中、破線で示した曲線は、
電極対数Ｎ１ ，Ｎ２ ，Ｎ３ をそれぞれ２５，３５，
４５とした場合を、また点線で示した曲線は、電極対数
Ｎ１ ，Ｎ２ ，Ｎ３ をそれぞれ２０，４０，３０とし
た場合をあらわす。ただし、図２の計算では、圧電基板
として３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３ を仮定し、基板表面
に形成された櫛形電極１１Ａ〜１１Ｃは、弾性表面波の
波長の８％の厚さを有するＡｌ電極より形成されている
と仮定した。
【００１６】本発明の発明者は、かかる計算により、電
極対数Ｎ１ ，Ｎ３ を非対称にした場合、帯域外スプリ
アスピークの高さが著しく減少することを見出した。か
かる帯域外スプリアスピークの抑圧が生じる理由は十分
に解明されているわけではないが、図１の構成では、電
極１１Ａと１１Ｃとが中央の電極１１Ｂに対して非対称
になるため、電極１１Ａで励起された後、反射器１０Ａ
で反射されて電極１１Ｂに戻ってくる波と、電極１１Ｃ
で励起された後、反射器１０Ｂで反射されて電極１１Ｂ
に戻ってくる波とが互いに打ち消し合い、その結果、図
２０に示したような帯域外のスプリアスピークが消滅す
るものと考えられる。
【００１７】本発明の第２の特徴によれば、圧電基板上
に形成された第１の弾性表面波装置の電極交差幅に対し
て、同じ圧電基板上に形成され、前記第１の弾性表面波
装置にカスケード接続された第２の弾性表面波装置の電
極交差幅を変えることにより、フィルタの周波数特性に
影響を及ぼす櫛形電極のピッチを変えることなく、入力
側ＳＡＷフィルタの入力インピーダンスと、出力側ＳＡ
Ｗフィルタの出力インピーダンスとを、回路設計上の要
求に従って、自在に、かつ独立に設定することが可能に
なる。また、このように複数のＳＡＷフィルタをカスケ
ード接続することにより、通過帯域内レベルに対して帯
域外レベルを、１段のみのＳＡＷフィルタの場合に対し
て下げることが可能になり、ＳＡＷフィルタの選択度を
向上させることができる。すなわち、本発明により、通
過帯域外のスプリアスピークを抑圧することが可能にな
る。また、入力インピーダンスに対する出力インピーダ
ンスの比を、単一段では不可能な非常に大きな値に設定
することができる。
【００１８】また、このようなＳＡＷフィルタを多段接
続する場合、一の段のＳＡＷフィルタの出力インピーダ
ンスを次段のＳＡＷフィルタの入力インピーダンスに整
合させる必要があるが、その場合、前記一の段のＳＡＷ
フィルタの入力インピーダンスＺ１ と出力インピーダ
ンスＺ２ 、および前記次段のＳＡＷフィルタの入力イ
ンピーダンスＺ３ と出力インピーダンスＺ４ との間に
は、前記一の段のＳＡＷフィルタと前記次段のＳＡＷフ
ィルタとが電極交差幅を除き、実質的に同一構成を有す
る場合、次の関係式が成立する。
【００１９】 Ｚ１ ： Ｚ２ ＝ Ｚ３ ： Ｚ４ 一方、前記インピーダンス整合の条件より、Ｚ２ とＺ
３ との間には、Ｚ２＝Ｚ３ が成立しなければならな
い。その結果、前記出力インピーダンスＺ２ および入
力インピーダンスＺ３ は、多段ＳＡＷフィルタの入力
インピーダンスＺ１ および出力インピーダンスＺ４ に
より、関係式 Ｚ２ ＝Ｚ３ ＝√（Ｚ１ ×Ｚ４ ） で与えられる。
【００２０】
【発明の実施の形態】まず、本発明の第１実施例を、先
に説明した図１、および図３，図４を参照しながら説明
する。
【００２１】図３を参照するに、この図は、図１に示し
た構造を、実際に４２°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３ 基板上に
形成した、本発明の第１実施例によるＳＡＷフィルタ１
１の周波数特性を示す。ただし、図３の例では、電極対
数Ｎ１ ，Ｎ２ ，Ｎ３ を２０：４０：３０とし、また
電極１１Ａ〜１１Ｃは、基板上に励起される弾性表面波
の波長の６％の厚さを有するＡｌ電極より形成してい
る。
【００２２】一方、図４は、図１９に示した従来の構造
において、基板に４２°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３ を使い、
電極対数Ｎ１ ，Ｎ２ ，Ｎ３ を２１：３５：２１とし
た場合の周波数特性を示す。ただし、電極は、図３の場
合と同様に、弾性表面波の波長の６％の厚さのＡｌ電極
より構成している。
【００２３】図３，４を参照するに、図４の従来の周波
数特性において、通過帯域の低周波側に出現していた顕
著なスプリアスピークが、図３の周波数特性ではほとん
ど消滅していることがわかる。また、図３の周波数特性
では、通過帯域の高周波側のスプリアスピークも抑圧さ
れている。
【００２４】本実施例によるＳＡＷフィルタ１１は特に
ＧＨｚ 帯での使用を念頭においたものであるが、この
ような超高周波帯域で使われるＳＡＷフィルタでは、圧
電基板上の櫛形電極の厚さが励起される弾性表面波の波
長に対して無視できなくなり、その結果生じる付加質量
の効果により、圧電基板として使われているＬｉＴａＯ
３ 単結晶板の最適カット角が、従来の３６°Ｙよりも
高角度側にずれる。かかる電極の付加質量効果を考慮し
た最適カット角は、ＬｉＴａＯ３ 基板の場合、４０°
Ｙ〜４４°Ｙの範囲、またＬｉＮｂＯ３ 基板の場合に
は、６６°Ｙ〜７４°Ｙの範囲となる。
【００２５】また、ＳＡＷフィルタ１１において、櫛形
電極１１Ａ〜１１ＣとしてＡｌを主成分とする電極を使
った場合、かかる付加質量効果は、電極の厚さが励起さ
れる弾性表面波の波長の５〜１０％の範囲にある場合に
顕著に現れる。またＬｉＮｂＯ３ 基板を使う場合に
は、付加質量効果は、前記Ａｌ系櫛形電極の厚さが励起
される弾性表面波波長の４〜１２％の範囲にある場合に
顕著に現れる。
【００２６】次に、本発明の第２実施例を、図５を参照
しながら説明する。ただし、図５中、先に説明した部分
に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略
する。
【００２７】図５を参照するに、本実施例によるＳＡＷ
フィルタは、前記第１実施例と同様な４２°Ｙ−ＸＬｉ
ＴａＯ３ 基板１上に構成され、前記図１９あるいは図
１に示したのと同様な、Ｘ軸方向に整列した反射器１０
Ａ，１０Ｂ、および反射器１０Ａ，１０Ｂ間に順次配列
された櫛形電極１１Ａ，１１Ｂ，１１ＣよりなるＳＡＷ
フィルタ１１と、同じ基板１上に構成され、Ｘ軸方向に
整列した反射器２０Ａ，２０Ｂ、および反射器２０Ａ，
２０Ｂ間に順次配列された櫛形電極２１Ａ，２１Ｂ，２
１ＣよりなるＳＡＷフィルタ２１とを含み、ＳＡＷフィ
ルタ１１とＳＡＷフィルタ２１とは、櫛形電極１１Ｂを
構成する２次側電極（１１Ｂ）２ を櫛形電極２１Ｂを
構成する１次側電極（２１Ｂ）２ に接続することによ
り、カスケード接続される。ただし、本実施例によるＳ
ＡＷフィルタでは、ＳＡＷフィルタ１１の電極対数Ｎ１
，Ｎ２ ，Ｎ３ の間には、先の実施例のようにＮ１ ≠
Ｎ３ ≠Ｎ２ の関係が成立してもよいが、この関係は必
ずしも成立する必要はない。
【００２８】図５の実施例では、櫛形電極１１Ａ，１１
Ｃの１次側電極（１１Ａ）１ ，（１１Ｃ）１ が共通に
入力電極パッドに接続され、また櫛型電極１１Ａ，１１
Ｃの２次側電極（１１Ａ）２ ，（１１Ｂ）１ 、および
櫛形電極１１Ｂの１次側電極（１１Ｂ）１ は接地され
ている。すなわち、ＳＡＷフィルタ１１は２入力１出力
型のフィルタを構成する。これに対し、ＳＡＷフィルタ
２１では、櫛形電極２１Ａ，２１Ｃの２次側電極（２１
Ａ）２ ，（２１Ｃ）２ が共通に出力電極パッドに接続
され、また櫛型電極２１Ａ，２１Ｃの１次側電極（２１
Ａ）１ ，（２１Ｃ）１ 、および櫛形電極２１Ｂの２次
側電極（２１Ｂ）２ は接地されている。すなわち、Ｓ
ＡＷフィルタ２１は１入力２出力型のフィルタを構成す
る。
【００２９】図５の実施例では、ＳＡＷフィルタ１１の
電極交差幅がＷ１ であるのに対し、ＳＡＷフィルタ２
１の電極交差幅がＷ２ （≠Ｗ１ ）とされ、その結果、
ＳＡＷフィルタ全体の入力インピーダンスと出力インピ
ーダンスとが異なった値に設定される。すなわち、ＳＡ
Ｗフィルタ全体の入力インピーダンスは、電極交差幅が
Ｗ１ のＳＡＷフィルタ１１の入力インピーダンスで決
定されるのに対し、全体の出力インピーダンスは、電極
交差幅がＷ２ のＳＡＷフィルタ２１の出力インピーダ
ンスで決定される。
【００３０】先にも説明したように、ＳＡＷフィルタの
入出力インピーダンスは電極対数と電極交差幅に反比例
するが、電極対数はフィルタの通過帯域特性を決定する
ため、自在に選択することはできない。これに対し、電
極交差幅は、フィルタの通過帯域特性とは無関係に設定
できるため、図５の実施例では、電極交差幅Ｗ１ と電
極交差幅Ｗ２ とを独立に設定することにより、ＳＡＷ
フィルタ１の入力インピーダンスとＳＡＷフィルタ２の
出力インピーダンスとを、独立かつ自在に変化させてい
る。
【００３１】図６は、図５のＳＡＷフィルタの一変形例
を示す。ただし、図６中、先に説明した部分には同一の
参照符号を付し、説明を省略する。
【００３２】図６を参照するに、櫛形電極１１Ｂの１次
側電極（１１Ｂ）１ が入力電極パッドに接続され、一
方電極１１Ｂの２次側電極（１１Ｂ）２ は接地され
る。これに対し、櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの１次側電極
（１１Ａ）１ ，（１１Ｃ）１は接地され、２次側電極
（１１Ａ）２ ，（１１Ｃ）２ は、それぞれ櫛形電極２
１Ａの１次側電極（２１Ａ）１ および櫛形電極２１Ｃ
の１次側電極（２１Ｃ）１ に接続される。すなわち、
ＳＡＷフィルタ１１は、図６の実施例では１入力２出力
型の構成を有する。
【００３３】一方、ＳＡＷフィルタ２１では、前記櫛形
電極２１Ａ，２１Ｃの２次側電極（２１Ａ）２ ，（２
１Ｃ）２ が接地され、また櫛形電極２１Ｂの１次側電
極（２１Ｂ）１ が接地される。その際、出力は、前記
櫛形電極２１Ｂの２次側電極（２１Ｂ）２ から得られ
る。すなわち、ＳＡＷフィルタ２１は２入力１出力の構
成を有する。
【００３４】図６のＳＡＷフィルタにおいても、フィル
タ全体の入力インピーダンスとフィルタ全体の出力イン
ピーダンスを、ＳＡＷフィルタ１１の電極交差幅Ｗ１
とＳＡＷフィルタ２１の電極交差幅Ｗ２ とを、互いに
独立に設定することで、所望の設計値にあわせて自在に
設定することができる。
【００３５】図７は、図５のＳＡＷフィルタのさらに別
の実施例を示す。ただし、図７中、先に説明した部分に
は同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【００３６】図７を参照するに、本実施例では、ＳＡＷ
フィルタ１１は、図５の実施例と同様な１入力２出力の
構成を有する。また、ＳＡＷフィルタ２１も、ＳＡＷフ
ィルタ１１と同様な２入力１出力の構成を有する。すな
わち、櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの１次側電極（１１Ａ）
１ ，（１１Ｃ）１ が共通に入力電極パッドに接続さ
れ、また櫛型電極１１Ａ，１１Ｃの２次側電極（１１
Ａ）２ ，（１１Ｂ）１ 、および櫛形電極１１Ｂの１次
側電極（１１Ｂ）１ は接地されている。同様に、ＳＡ
Ｗフィルタ２１でも、櫛形電極２１Ａ，２１Ｃの１次側
電極（２１Ａ）１，（２１Ｃ）２ が共通に櫛形電極１
１Ｂの２次側電極（１１Ｂ）２ に接続され、２次側電
極（２１Ａ）２ ，（２１Ｃ）２ が接地、櫛形電極２１
Ｂの２次側電極（２１Ｂ）２ が出力電極パッドに接続
されている。すなわち、図７の構成では、二つの１入力
２出力型ＳＡＷフィルタ１１，２１が、カスケード接続
される。
【００３７】図７のＳＡＷフィルタでは、ＳＡＷフィル
タ１１とＳＡＷ２１との接続部における損失を最小化す
るために、ＳＡＷフィルタ１１の出力インピーダンスと
ＳＡＷフィルタ２１の入力インピーダンスとを整合させ
ている。
【００３８】すなわち、ＳＡＷフィルタ１１の入力イン
ピーダンスをＺ１ 、出力インピーダンスをＺ2 、ＳＡ
Ｗフィルタ２１の入力インピーダンスをＺ３ ，出力イ
ンピーダンスをＺ４ として、一般に関係式 Ｚ１ ： Ｚ２ ＝ Ｚ３ ： Ｚ４ が成立するが、本実施例では、前記インピーダンス整合
を達成するため、前記電極交差幅Ｗ１ ，Ｗ２ は、関係
式 Ｚ２ ＝Ｚ３ が成立するように設定される。
【００３９】 その結果、Ｚ１ ，Ｚ２ ，Ｚ３ ，Ｚ４ の間には、関係
式 Ｚ２ ＝ Ｚ３ ＝ √（Ｚ１ ×Ｚ４ ） が成立する。
【００４０】図７の構成のＳＡＷフィルタでは、例えば
ＳＡＷフィルタ１１の電極交差幅Ｗ１ を６０λ，ＳＡ
Ｗフィルタ２１の電極交差幅Ｗ２ を３５λとし、ＳＡ
Ｗフィルタ１１，２１の電極対数Ｎ１ ，Ｎ２ ，Ｎ３
を、Ｎ１ ：Ｎ２ ：Ｎ３ ＝１５：２１：１５に設定す
る。ただし、λは圧電基板上に励起される弾性表面波の
波長であり、約４．３μｍの値を有する。この場合、Ｓ
ＡＷフィルタ１１の入力インピーダンス、すなわちＳＡ
Ｗフィルタ全体の入力インピーダンスは５０Ω、ＳＡＷ
フィルタ２１の出力インピーダンス、すなわちＳＡＷフ
ィルタ全体の出力インピーダンスは１５０Ωとなる。
【００４１】図７のＳＡＷフィルタでは、ＳＡＷフィル
タ１１と２１との間にインピーダンス整合が成立してい
るため、これを多段カスケード接続することが可能であ
るが、その場合には、入力インピーダンスと出力インピ
ーダンスの差をさらに大きくすることが可能である。
【００４２】また、このような多段接続されたＳＡＷフ
ィルタでは、通過帯域レベルに対して通過帯域外レベル
を、単一段よりなるＳＡＷフィルタに比べて効果的に抑
圧することが可能である。
【００４３】図８は、図７のＳＡＷフィルタの周波数特
性を、入力側を５０Ωの抵抗で終端し、出力側を１５０
Ωの抵抗で終端した場合について示す。
【００４４】図８を参照するに、かかるＳＡＷフィルタ
を多段接続した構成により、通過帯域外のスプリアスピ
ークが、効果的に抑圧されていることがわかる。すなわ
ち、本実施例によるＳＡＷフィルタにより、図１〜３で
説明したＳＡＷフィルタと同様な、スプリアスピークの
抑圧が可能になり、ＳＡＷフィルタの周波数特性が向上
する。
【００４５】図９は本発明の第３実施例によるＳＡＷフ
ィルタの構成を示す。ただし、図９中、先に説明した部
分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【００４６】本実施例では、単一のＳＡＷフィルタにお
いて、出力インピーダンスの値を入力インピーダンスの
値に対して変化させる。
【００４７】図９を参照するに、櫛形電極１１Ｂの１次
側電極（１１Ｂ）１ は第１の入力電極パッドに接続さ
れ、さらに２次側電極（１１Ｂ）２ は第２の入力電極
パッドに接続される。すなわち、図９のＳＡＷフィルタ
は、前記第１および第２の入力電極パッドに別個の入力
信号を供給した場合、いわゆる差動型のフィルタを構成
する。また、従来のように、電極（１１Ｂ）２ を接地
してもよい。
【００４８】さらに、図９のＳＡＷフィルタでは、櫛形
電極１１Ａの２次側電極（１１Ａ）２ と櫛形電極１１
Ｃの２次側電極（１１Ｃ）２ とが接続され、さらに櫛
形電極１１Ａの１次側電極（１１Ａ）１ が第１の出力
端子に、櫛形電極１１Ｃの１次側電極（１１Ｃ）１ が
第２の出力端子に接続される。換言すると、櫛形電極１
１Ａと櫛形電極１１Ｃとはカスケード接続される。ま
た、前記電極（１１Ａ）１または電極（１１Ｃ）１ を
接地してもよい。
【００４９】図９の構成では、櫛形電極１１Ａ〜１１Ｃ
は、いずれも同一の電極交差幅Ｗを有するが、出力電極
を構成する櫛形電極１１Ａおよび１１Ｃがカスケード接
続されるため、ＳＡＷフィルタの出力インピーダンス
は、櫛形電極１１Ａの出力インピーダンスＺ１ と櫛形
電極１１Ｃの出力インピーダンスＺ３ の和になる。す
なわち、図９の構成では、ＳＡＷフィルタの出力インピ
ーダンスを、入力インピーダンスＺ２ に対して、完全
に自在にではないが、増大あるいは減少させることが可
能である。ただし、入力インピーダンスＺ２ は、櫛形
電極１１Ｂの入力インピーダンスＺ２ に等しい。
【００５０】図１０は、本発明の第４実施例によるＳＡ
Ｗフィルタの、パッケージを含む構成を示す。ただし、
先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省
略する。
【００５１】図１０を参照するに、図５に示した構成の
ＳＡＷフィルタを担持する圧電基板１がセラミックパッ
ケージ基板１００上に担持され、前記パッケージ基板１
００上には第１の側に接地電極１０１および１０３が、
入力電極１０２を両側から挟持するように形成される。
また、前記パッケージ基板１００は、第２の側に、別の
接地電極１０４および１０６が、出力電極１０５を両側
から挟持するように形成される。
【００５２】図１０の構成では、圧電基板１上のＳＡＷ
フィルタ１１のうち、櫛形電極１１Ａの接地電極（図５
の電極（１１Ａ）２ ）はパッケージ１００上の前記接
地電極１０１に、Ａｌワイヤ１０７で接続され、櫛形電
極１１Ｃの接地電極（図５の電極（１１Ｃ）２ ）は、
パッケージ１００上の前記接地電極１０３に、別のＡｌ
ワイヤ１０７で接続される。さらに、櫛形電極１１Ｂの
接地電極（図５の電極（１１Ｂ）１ ）は、前記接地電
極１０３に、別のＡｌワイヤ１０７により接続される。
一方、前記櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの出力電極（図５の
電極（１１Ａ）１ ，（１１Ｃ）１ は、共通に、前記接
地電極１０１と１０３の間に配設された入力電極１０２
に、別のＡｌワイヤ１０７により接続される。
【００５３】これに対し、圧電基板１上のＳＡＷフィル
タ２１のうち、櫛形電極２１Ａの接地電極（図５の電極
（２１Ａ）１ ）はパッケージ１００上の前記接地電極
１０４に、別のＡｌワイヤ１０７で接続され、櫛形電極
２１Ｃの接地電極（図５の電極（２１Ｃ）２ ）は、パ
ッケージ１００上の前記接地電極１０３に、別のＡｌワ
イヤ１０７で接続される。さらに、櫛形電極２１Ｂの接
地電極（図５の電極（２１Ｂ）２ ）は、前記接地電極
１０４に、別のＡｌワイヤ１０７により接続される。一
方、前記櫛形電極２１Ａ，２１Ｃの出力電極（図５の電
極（２１Ａ）２，（２１Ｃ）２ は、共通に、前記接地
電極１０４と１０６の間に配設された入力電極１０５
に、別のＡｌワイヤ１０７により接続される。また、Ｓ
ＡＷフィルタ１１とＳＡＷフィルタ２１とは、櫛形電極
１１Ｂの２次側電極（１１Ｂ）２を櫛形電極２１Ｂの１
次側電極（２１Ｂ）１ に接続することにより、カスケ
ード接続される。
【００５４】一般にセラミックパッケージ上に形成され
た電極相互間では容量結合が形成されるのが避けられな
いが、本実施例の構成では、入力側の接地電極１０１，
１０３に対して出力側の接地電極１０４，１０６を、パ
ッケージの対向縁部に形成することにより、このような
接地電極が相互に干渉してＳＡＷフィルタの選択特性が
劣化する問題が回避される。また、図１０の構成では入
力側，出力側のそれぞれにおいて、接地電極、例えは電
極１０１と１０３、あるいは電極１０４と１０６を独立
させ、相互干渉を回避している。
【００５５】図１１は、図１０の構成のＳＡＷフィルタ
の通過帯域特性を、図１０の構成において、ＳＡＷフィ
ルタ１１および２１の接地接続を、入力側接地電極１０
１，１０３および出力側接地電極１０４，１０６とで入
れ換えた場合と比較して示す。
【００５６】図１１中、特性Ｂは図１０の構成のＳＡＷ
フィルタの通過帯域特性を、一方特性Ａは、前記フィル
タ１１を構成する櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの２次側電極
（１１Ａ）２ ，（１１Ｃ）2 をそれぞれ接地電極１０
１および１０４にＡｌワイヤにより接続した場合に対応
する。
【００５７】図１１よりわかるように、図１０の構成を
使うことにより、ＳＡＷフィルタの通過帯域外レベルが
著しく改善される。逆に、特性Ａでは、かかる接地電極
間の干渉により帯域外レベルが低下してしまう。
【００５８】ところで、このような、パッケージも含め
たＳＡＷフィルタの構成においては、入力側接地電極出
力側接地電極との干渉を回避するように、ＳＡＷフィル
タを保護する金属キャップの構成についても改良が要求
される。
【００５９】図１２は、本発明の第５実施例による、図
１０のＳＡＷフィルタの金属キャップまで含めた構成を
示す分解図である。
【００６０】図１２を参照するに、パッケージ本体１０
０は、ベース１００Ａとベース１００Ａ上に形成された
電極保持部１００Ｂとよりなり、さらにかかるパッケー
ジ本体１００上にスペーサ１１０を介して金属キャップ
１２０が設けられる。ベース１００Ａは、四隅にカット
１００Ａ１ ，１００Ａ２ ，１００Ａ３ および１００
Ａ４ を形成され、また上主面上に接地電極１００Ｇが
形成される。さらに、前記接地電極１００Ｇには、パッ
ケージ１００の出力側縁部に電極リード１００Ｇａおよ
び１００Ｇｂが形成され、電極リード１００Ｇａおよび
１００Ｇｂからは、ベース１００Ａの側壁面上を電極リ
ード１００ｇａおよび１００ｇｂが、ぞれぞれ接地電極
リードとして延在する。同様に、パッケージ１００の入
力側縁部には電極リード１００Ｇｃおよび１００Ｇｄが
形成され、電極リード１００Ｇｃおよび１００Ｇｄから
は、ベース１００Ａの側壁面上を電極リード１００ｇｃ
および１００ｇｄが、ぞれぞれ接地電極リードとして延
在する。
【００６１】前記ベース１００Ａ上にはＳＡＷフィルタ
を担持する圧電基板１が保持され、また同じベース１０
０Ａ上には前記電極保持部１００Ｂが設けられる。その
際、電極保持部１００Ｂには中央部にベース１００Ａ上
の接地電極１００Ｇを露出する開口部が形成され、前記
圧電基板１はかかる開口部を介して前記接地電極１００
Ｇに接着される。
【００６２】電極保持部１００Ｂは四隅にそれぞれ前記
カット１００Ａ１ 〜１００Ａ４ に対応するカット１０
０Ｂ１ 〜１００Ｂ４ を形成され、電極１０１〜１０３
は、電極保持部１００Ｂの上主面上に、入力側縁部に沿
って形成される。また、電極１０４〜１０６は出力側縁
部に沿って形成される。電極１０４〜１０６からは、そ
れぞれ電極リード１０４ａ，１０５ａ，１０６ａが、電
極保持部１００Ｂの出力側側壁面上を延在し、電極リー
ド１０４ａはベース１００Ａ側壁面上の電極リード１０
０ｇａに接続する。同様に、電極リード１０６ａはベー
ス１００Ａ側壁面上の電極リード１００ｇｂに接続す
る。さらに、電極リード１０５ａは、ベース１００Ａ側
壁面上の電極リード１００ｏに接続する。さらに同様な
電極リードが、入力側縁部に沿った電極１０１〜１０３
についても形成される。
【００６３】一方、スペーサ１１０は前記電極１０１〜
１０６の一部および圧電基板１を露出するリング状の構
成を有し、四隅にはそれぞれ前記カット１００Ｂ１ 〜
１００Ｂ４ に対応するカット１１０１ 〜１１０４ が
形成される。また、スペーサ１１０の上主面上には接地
電極１１０Ａが形成され、前記金属キャップ１２０はか
かる接地電極１１０Ａ上にロウ付けされる。
【００６４】その際、前記カット１１０１ を構成する
スペーサ１１０の側壁面上には、接地電極１１０Ａから
延在する電極リードが形成され、かかるカット１１０１
上の電極リードは、スペーサ１１０を電極保持部１０
０Ｂ上に装着する際、前記電極保持部１００Ｂ上におい
て前記接地電極１０４からカット１００Ｂ１ に向かっ
て延在する電極リード１０４ａ’に接続される。換言す
ると、前記金属キャップ１２０は、前記接地電極１０４
にのみ電気的に接続され、他の接地電極１０１，１０３
あるいは１０６には接続されない。その結果、図１１で
説明した接地電極相互間の干渉によるＳＡＷフィルタの
通過帯域特性の劣化が生じるのを回避することができ
る。
【００６５】図１３は、図１２のＳＡＷフィルタの通過
帯域特性を示す。
【００６６】図１３を参照するに、特性Ｂは図１２のＳ
ＡＷフィルタのものを、一方特性Ａは図１２において、
金属キャップ１２０をその四隅全てにおいて接地した場
合を示す。図１２よりわかるように、金属キャップ１２
０を四隅全てにおいて接地した場合、一か所のみで接地
した場合に対して通過帯域外レベルが著しく上昇してし
まう。これば、複数の接地電極が、前記金属キャップ１
２０を介して相互作用していることを示す。
【００６７】図１４は、本発明の第６実施例によるＳＡ
Ｗフィルタの、パッケージまで含めた構成を示す図であ
る。ただし、図１４の実施例は図１０の実施例の変形で
あり、図１４中、先に説明した部分には同一の参照符号
を付し、説明を省略する。
【００６８】図１４を参照するに、本実施例では、図１
０と同じパッケージ１００上に、前記ＳＡＷフィルタ１
１（または２１）のみを担持した圧電基板１が設けられ
る。この場合、出力側櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの接地
は、出力側接地電極１０４，１０６において、また入力
側櫛形電極１１Ｂの接地は、入力側接地電極１０１にお
いてとられる。ただし、図１４の構成では、接地電極１
０１にも入力信号が供給され、その結果、ＳＡＷフィル
タは差動型フィルタとして動作する。
【００６９】かかる構成においても、入力側接地電極と
出力側接地電極との間の容量結合が抑制され、その結果
図１０あるいは図１２に示したのと同様な優れた帯域外
減衰特性が得られる。
【００７０】図１５は、本発明の第７実施例によるＳＡ
Ｗフィルタの構成を示す図である。ただし、先に説明し
た部分は同じ参照符号で示し、説明を省略する。
【００７１】先に説明した図１４のＳＡＷフィルタは、
接地電極にも入力信号を供給することにより差動型のフ
ィルタとして動作するが、本実施例によるＳＡＷフィル
タも、図１のＳＡＷフィルタにおいて、櫛形電極１１Ａ
の２次側電極（１１Ａ）２および櫛形電極１１Ｃの２次
側電極（１１Ｃ）２ を接地するかわりに、これらに１
次側電極（１１Ａ）１ および（１１Ｃ）１ に供給され
る第１の入力信号Ｉｎ１ とは別の第２の入力信号Ｉｎ
２ を供給することにより、差動型フィルタの構成を有
する。また、その際、櫛形電極１１Ｂの１次側電極（１
１Ｂ）１ も図１の構成の場合のように接地されるかわ
りに、２次側電極（１１Ｂ）２ から出力される出力信
号Ｏｕｔ１ とは別の出力信号Ｏｕｔ２ を出力する出力
電極として作用する。
【００７２】図１５の構成においても、図１の構成と同
様に、電極対数Ｎ１ ，Ｎ２ ，Ｎ３が非対称に設定され
ている（Ｎ１ ≠Ｎ３ ≠Ｎ２ ）。
【００７３】図１６は本実施例の別の変形例であり、図
５の構成のＳＡＷフィルタを作動型に変形したものであ
る。ただし、図１６中、先に説明した部分には同一の参
照符号を付し、説明を省略する。
【００７４】図１６を参照するに、櫛形電極１１Ａ，１
１Ｃのそれぞれの２次側電極（１１Ａ）2 ，（１１Ｃ）
２ には、１次側電極（１１Ａ）１ ，（１１Ｃ）１ に
供給される入力信号Ｉｎ１ とは別の入力信号Ｉｎ２ が
共通に供給され、また櫛形電極２１Ａ，２１Ｃのそれぞ
れの１次側電極（２１）Ａ１ ，（２１Ｃ）１ からは、
２次側電極（２１Ａ）２ ，（２１Ｃ）２ から出力され
る出力信号Ｏｕｔ１とは別の出力信号Ｏｕｔ２ が得ら
れる。
【００７５】図５の構成と同様に、図１６の構成におい
ても、ＳＡＷフィルタ１１の電極交差幅Ｗ１ とＳＡＷ
フィルタ２１の電極交差幅Ｗ２ とは異なった大きさを
有する。
【００７６】さらに、図１７および１８の構成は、それ
ぞれ図６および図７のＳＡＷフィルタを差動型に変形し
た例を示す。これらの例においても、接地電極に図６あ
るいは図７で使われた入力信号Ｉｎ１ とは別の入力信
号Ｉｎ２ を供給し、あるいは接地電極から図６あるい
は図７の出力信号Ｏｕｔ１ とは別の出力信号Ｏｕｔ２
を取り出すことにより、ＳＡＷフィルタを差動型フィル
タとして動作させることができる。図１７，１８の構成
は先の説明より明らかであり、説明を省略する。ただ
し、図１５〜１８の構成では、ＳＡＷフィルタを入力端
子および出力端子の双方について差動型に構成したが、
入力端子および出力端子の一方についてのみ差動型に構
成してもよい。
【００７７】以上の各実施例において、圧電基板１とし
て、第１実施例の場合と同様に、ＬｉＴａＯ３ あるい
はＬｉＮｂＯ３ の単結晶を、ＬｉＴａＯ３ の場合４０
°Ｙ〜４４°Ｙの範囲の回転角で、またＬｉＮｂＯ３
の場合６６°Ｙ〜７４°Ｙの範囲の回転角でカットし
た、回転Ｙ板を使うのが好ましい。また、その際、圧電
基板上に形成される櫛形電極は、圧電基板としてＬｉＴ
ａＯ３ を使う場合、圧電基板上に励起される弾性表面
波の波長の５〜１０％の範囲の厚さのＡｌあるいはＡｌ
合金により構成するのが好ましい。圧電基板としてＬｉ
ＮｂＯ３ を使う場合には、櫛形電極を、励起弾性表面
波の波長の４〜１２％の範囲の圧だのＡｌあるいはＡｌ
合金により構成するのが好ましい。
【００７８】
【発明の効果】請求項１〜４記載の本発明の特徴によれ
ば、弾性表面波装置を、圧電基板上に共通に形成された
少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素を含む
ように構成し、前記第１の弾性表面波装置要素を前記第
２の弾性表面波装置要素にカスケード接続し、その際前
記第１の弾性表面波装置要素の電極交差幅を、前記第２
の弾性表面波装置要素の電極交差幅に対して変化させる
ことにより、前記第１および第２の弾性表面波装置要素
を含む弾性表面波装置の入力インピーダンスと出力イン
ピーダンスとを、自在に設定することが可能になる。
【００７９】請求項５記載の本発明の特徴によれば、前
記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々をいわゆ
る二重モード型フィルタとして構成し、弾性表面波の経
路に沿って配設された第１、第２および第３の櫛形電極
を、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極
対数を有するように形成することにより、通過帯域外の
スプリアスピークを効果的に抑圧することが可能にな
る。
【００８０】請求項６記載の本発明の特徴によれば、圧
電基板を支持するパッケージと、前記圧電基板上に形成
された少なくとも一つの弾性表面波装置要素とよりなる
弾性表面波装置において、前記圧電基板上に、弾性表面
波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極中に含
まれる入力側櫛形電極を、前記パッケージ上に設けられ
た第１の接地電極パッドに接続し、また前記複数の櫛形
電極中に含まれる出力側櫛形電極を、前記パッケージ上
に、好ましくは反対側に設けられた第２の別の接地電極
パッドに接続することにより、接地電極相互間の干渉が
回避され、その結果、フィルタの通過帯域特性が向上す
る。
【００８１】請求項７，８記載の本発明によれば、圧電
基板上に弾性表面波の伝搬経路に沿って順次配設された
第１，第２および第３の櫛形電極を含む二重モード型弾
性表面波装置において、前記第１の櫛形電極の電極対数
を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して変化させる
ことにより、通過帯域外におけるスプリアスピークを実
質的に抑圧することが可能である。
【００８２】請求項９記載の本発明の特徴によれば、複
数の電極指を有する１次側電極と、前記１次側電極指の
複数の電極指に対して交互に配列された別の複数の電極
指を有する２次側電極とよりなる複数の櫛形電極を、弾
性表面波の経路の沿って配列した弾性表面波装置におい
て、１次側電極が入／出力端子に接続された櫛形電極の
２次側電極を、別の入／出力端子に接続することによ
り、非常に簡単な構成で、差動型のＳＡＷフィルタを形
成することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理、および本発明の第１実施例によ
るＳＡＷフィルタの構成を示す図である。
【図２】計算で求められた図３のＳＡＷフィルタの周波
数特性を、図１９のフィルタ特性と比較して示す図であ
る。
【図３】図１のＳＡＷフィルタの実際の周波数特性を、
図１９のＳＡＷフィルタの実際の周波数特性と比較して
示す図である。
【図４】図１９のＳＡＷフィルタの実際の周波数特性を
示す図である。
【図５】本発明の第２実施例によるＳＡＷフィルタの構
成を示す図である。
【図６】図５のＳＡＷフィルタの変形例を示す図であ
る。
【図７】図５のＳＡＷフィルタの別の変形例を示す図で
ある。
【図８】図７のＳＡＷフィルタの周波数特性を示す図で
ある。
【図９】本発明の第３実施例によるＳＡＷフィルタの構
成を示す図である。
【図１０】本発明の第４実施例によるＳＡＷフィルタの
構成を示す図である。
【図１１】図１０のＳＡＷフィルタの周波数特性を示す
図である。
【図１２】図１０のＳＡＷフィルタの構成を、金属キャ
ップまで含めて示す本発明の第５実施例による分解図で
ある。
【図１３】図１２のＳＡＷフィルタの周波数特性を示す
図である。
【図１４】本発明の第６実施例によるＳＡＷフィルタの
構成を示す図である。
【図１５】本発明の第７実施例によるＳＡＷフィルタの
構成を示す図である。
【図１６】本発明第７実施例の一変形例を示す図であ
る。
【図１７】本発明第７実施例の別の変形例を示す図であ
る。
【図１８】本発明第７実施例のさらに別の変形例を示す
図である。
【図１９】（Ａ），（Ｂ）は、従来の二重モード型ＳＡ
Ｗフィルタの構成および動作原理を説明する図である。
【図２０】図１９のＳＡＷフィルタの計算で求められた
周波数特性を示す図である。
【符号の説明】
１， 圧電基板 １０Ａ，１０Ｂ，２０Ａ，２０Ｂ 反射器 １１，２１ ＳＡＷフィルタ １１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ 櫛
形電極 （１１Ａ）1 ，（１１Ｂ）1 ，（１１Ｃ）1 ，（２１
Ａ）1 ，（２１Ｂ）1 ，（２１Ｃ）1 １次側電極 （１１Ａ）2 ，（１１Ｂ）2 ，（１１Ｃ）2 ，（２１
Ａ）2 ，（２１Ｂ）2 ，（２１Ｃ）2 ２次側電極 １００ パッケージ基板 １００Ａ ベース １００Ａ1 ，１００Ａ2 ，１００Ａ3 ，１００Ａ4 ，１
００Ｂ1 ，１００Ｂ2，１００Ｂ3 ，１００Ｂ4 ，１１
０1 ，１１０2 ，１１０3 ，１１０4 カット面 １００Ｂ 電極保持部 １００Ｇ，１１０Ａ 接地電極 １００Ｇａ，１００Ｇｂ，１００Ｇｃ，１００Ｇｄ 接
地電極リード １０１，１０３，１０４，１０６ 接地端子電極 １０４ａ，１０５ａ，１０６ａ 電極リード １０２ 入力端子電極 １０５ 出力端子電極 １０７ Ａｌワイヤ １０７ａ 導体パターン １１０ スペーサ １２０ 金属電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 嘉朗 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１ 番１号 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−262693（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−136651（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−55872（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−204781（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−205342（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−326669（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−238047（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−294049（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−265092（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−285814（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/64 H01L 41/09 H03H 9/25

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 圧電基板と、 前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基
    板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成さ
    れた一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記
    弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電
    極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波
    装置要素とよりなり、 前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上にお
    いて、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る
    複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極
    と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る
    複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極と
    よりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複
    数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記
    伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に
    沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構
    成の弾性表面波装置であって、 前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、 前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、 前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面
    波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中
    の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波
    装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続する
    ことにより、カスケード接続され、 前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前
    記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電
    極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モー
    ド型弾性表面波装置であることを特徴とする弾性表面波
    装置。
  2. 【請求項２】 圧電基板と、 前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基
    板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成さ
    れた一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記
    弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電
    極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波
    装置要素とよりなり、 前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上にお
    いて、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る
    複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極
    と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る
    複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極と
    よりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複
    数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記
    伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に
    沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構
    成の弾性表面波装置であって、 前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、 前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、 前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面
    波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中
    の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波
    装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続する
    ことにより、カスケード接続され、 前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前
    記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電
    極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モー
    ド型弾性表面波装置であり、 前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１およ
    び第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッ
    ドに接続し、 前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第１およ
    び第３の櫛形電極の２次側電極を、共通に出力電極パッ
    ドに接続し、 前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の
    ２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第２の
    櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性
    表面波装置。
  3. 【請求項３】 圧電基板と、 前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基
    板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成さ
    れた一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記
    弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電
    極とよりなる、 少なくとも第１および第２の弾性表面波
    装置要素とよりなり、 前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上にお
    いて、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る
    複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極
    と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る
    複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極と
    よりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複
    数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記
    伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に
    沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構
    成の弾性表面波装置であって、 前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、 前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、 前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面
    波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中
    の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波
    装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続する
    ことにより、カスケード接続され、 前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前
    記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電
    極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モー
    ド型弾性表面波装置であり、 前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛
    形電極の１次側電極とを入力電極パッドに接続し、 前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛
    形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、 前記第１の弾性表面波装置要素の前記第１の櫛形電極の
    ２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１の
    櫛形電極の１次側電極と接続し、 前記第１の弾性表面波装置要素の前記第３の櫛形電極の
    ２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第３の
    櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性
    表面波装置。
  4. 【請求項４】 圧電基板と、 前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基
    板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成さ
    れた一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記
    弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電
    極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波
    装置要素とよりなり、 前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上にお
    いて、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る
    複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極
    と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る
    複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極と
    よりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複
    数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記
    伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に
    沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構
    成の弾性表面波装置であって、 前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、 前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、 前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面
    波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中
    の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波
    装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続する
    ことにより、カスケード接続され、 前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前
    記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電
    極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モー
    ド型弾性表面波装置であり、 前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１およ
    び第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッ
    ドに接続し、 前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛
    形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、 前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の
    ２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１お
    よび第３の櫛形電極の１次側電極に共通に接続したこと
    を特徴とする弾性表面波装置。
  5. 【請求項５】 圧電基板と、 前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基
    板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成さ
    れた一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記
    弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電
    極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波
    装置要素とよりなり、 前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上にお
    いて、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る
    複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極
    と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る
    複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極と
    よりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複
    数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記
    伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に
    沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構
    成の弾性表面波装置であって、 前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、 前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛
    形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、 前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面
    波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中
    の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波
    装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続する
    ことにより、カスケード接続され、 前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前
    記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電
    極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モー
    ド型弾性表面波装置であり、 前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々におい
    て、前記第１、第２および第３の櫛形電極は、それぞれ
    互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有する
    ことを特徴とする弾性表面波装置。
  6. 【請求項６】 圧電基板を支持するパッケージと、 前記圧電基板上に形成された少なくとも一つの弾性表面
    波装置要素とよりなる弾性表面波装置であって、 前記弾性表面波装置は、前記圧電基板上に、弾性表面波
    の伝搬経路に沿って形成された、入力側櫛形電極と出力
    側櫛形電極とを少なくとも含む複数の櫛形電極よりな
    り、 前記入力側櫛形電極は、前記パッケージ上に設けられた
    第１の接地電極パッドに接続され、 前記出力が櫛形電極は、前記パッケージ上に設けられた
    第２の別の接地電極パッドに接続され、 前記パッケージは、さらに前記圧電基板を覆う金属キャ
    ップを有し、前記金属キャップは、前記第１および第２
    の接地電極パッドの一方にのみ接続されることを特徴と
    する弾性表面波装置。
  7. 【請求項７】 圧電基板と、 前記圧電基板上に、前記圧電基板上に励起される弾性表
    面波の伝搬経路に沿って形成され、前記伝搬経路を規定
    する第１および第２の反射電極と、 前記第１および第２の反射電極の間に順次配設された第
    １，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モード型弾
    性表面波装置において、 前記第１の櫛形電極の電極対数を、前記第３の櫛形電極
    の電極対数に対して、自然数で与えられる対数分の変化
    をさせたことを特徴とする弾性表面波装置。
  8. 【請求項８】 圧電基板と、 前記圧電基板上に、前記圧電基板上に励起される弾性表
    面波の伝搬経路に沿って形成され、前記伝搬経路を規定
    する第１および第２の反射電極と、 前記第１および第２の反射電極の間に順次配設された第
    １，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モード型弾
    性表面波装置において、 前記第１の櫛形電極の電極対数を、前記第３の櫛形電極
    の電極対数に対して変化させ、 前記第１の櫛形電極の電極対数をＸ，前記第２の櫛形電
    極の電極対数をＹ，前記第３の櫛形電極の電極対数をＺ
    として、Ｘ＜Ｙ＜Ｚの関係が成立することを特徴とする
    弾性表面波装置。
  9. 【請求項９】 圧電基板上に、前記圧電基板表面に励起
    される弾性表面波の経路に沿って配設された複数の櫛形
    電極よりなり、各々の櫛形電極が、複数の電 極指を有す
    る１次側電極と、前記１次側電極指の複数の電極指に対
    して交互に配列された別の複数の電極指を有する２次側
    電極とよりなる弾性表面波装置において、 前記複数の櫛型電極は、それぞれの電極対数Ｎ1，Ｎ2，
    Ｎ3を有し、 前記電極対数は相互に異なっており、関係Ｎ1≠Ｎ2≠Ｎ
    3が成立し、 １次側電極が入／出力端子に接続された櫛形電極の２次
    側電極は、別の入／出力端子に接続されることを特徴と
    する弾性表面波装置 。
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