KR960037102A - 혼입물 제거장치 및 제거방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 배기가스내에 함유된 미반응 처리가스나 반응생성물 등의 혼입물을 효율좋게 제거할 수 있는 혼입물 제거장치 및 제거방법을 제공한다.
본 발명에 있어서, 트랩본체는, 진공펌프의 상류측에 위치하고 있는 배기통로에 삽입된 하우징에 착탈자재로 부착되고, 접촉하는 배기가스중의 혼입물을 냉각하여 이 혼입물을 액화하기 위한 냉각핀을 갖추고 있다. 따라서, 배기통로를 통해 흐르는 배기가스내에 함유된 미반응 처리가스나 반응생성물 등의 혼입물은 이들이 트랩본체와 접촉함으로써 냉각핀에 의해 냉각되어 액화하여 트랩본체의 표면에 부착된다. 따라서, 배기가스내의 혼입물을 제거할 수 있고, 하류측의 진공펌프에 손상을 주거나 배기통로가 막히는 것을 방지할 수 있다.

Description

혼입물 제거장치 및 제거방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 따른 제거장치 및 진공배기시스템을 설치한 처리장치 전체를 나타낸 개략구성도.

Claims (9)

  1. 처리장치로부터 진공펌프에 의해 배기가스를 흡인하여 방출하는 진공배기시스템에 장착되어 배기가스내에 함유된 혼입물을 제거하기 위한 혼입물 제거장치에 있어서, 상기 진공펌프의 상류측에 위치하고 있는 배기통로에 삽입된 하우징과, 상기 하우징에 착탈자재로 부착되고, 접촉하는 배기가스중의 혼입물을 냉각하여 이 혼입물을 액화하기 위한 냉각수단을 갖춘 트랩본체를 구비한 것을 특징으로 하는 혼입물 제거장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 냉각수단은, 상기 배기가스의 유로방향과 교차하도록 설치되어 상기 배기가스와 접촉하는 복수개의 트랩핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 혼입물 제거장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 배기가스의 유로방향에 대해 상기 트랩핀의 각도를 조정하여 상기 배기가스와 접촉하는 상기 트랩핀의 접촉면적을 조정가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 혼입물 제거장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 하우징에, 그 측벽에 상기 배기가스내에 함유된 혼입물이 부착되는 것을 방지하도록 상기 배기가스를 가열하기 위한 가열수단을 더 설치한 것을 특징으로 하는 혼입물 제거장치.
  5. 진공펌프의 상류측에 위치하고 있는 배기통로에 삽입된 하우징과, 상기 하우징에 착탈자재로 부착되고, 접촉하는 배기가스중의 혼입물을 냉각하여 이 혼입물을 액화하기 위한 냉각수단을 갖춘 트랩본체를 포함하는 제거장치를 구비하고서, 처리장치로부터 상기 진공펌프에 의해 배기가스를 흡입하여 방출하는 진공배기시스템에 있어서, 상기 배기가스중의 혼입물을 상기 트랩본체의 냉각수단에 의해 냉각하여 액화한 후에 상기 진공배기시스템과 제거장치를 격리하는 수단과, 상기 혼입물이 수분 혹은 알콜 등과 반응하여 반응성 가스 및 응고된 퇴적물을 생성하도록 격리된 제거장치의 하우징내로 수분 혹은 알콜 등을 도입하는 도입수단 및, 상기 제거장치의 하우징으로부터 반응성 가스 및 응고된 퇴적물을 제거하는 제거수단을 구비한 것을 특징으로 하는 진공배기시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 하우징에, 상기 반응성 가스의 농도를 측정하기 위한 가스농도측정수단을 설치한 것을 특징으로 하는 진공배기시스템.
  7. 제5항에 있어서, 상기 진공배기시스템의 측벽에 상기 배기가스내에 함유된 혼입물이 부착되는 것을 방지하도록 상기 배기가스를 가열하기 위한 가열수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 진공배기시스템.
  8. 진공펌프의 상류측에 위치하고 있는 배기통로에 삽입된 하우징과, 상기 하우징에 착탈자재로 부착되고, 접촉하는 배기가스중의 혼입물을 냉각하여 이 혼입물을 액화하기 위한 냉각수단을 갖춘 트랩본체를 포함하는 제거장치를 구비하고서, 처리장치로부터 상기 진공펌프에 의해 배기가스를 흡입하여 방출하는 진공배기시스템으로부터 혼입물을 제거하기 위한 혼입물 제거방법에 있어서, 상기 배기가스중의 혼입물을 상기 트랩본체의 냉각수단에 의해 냉각하여 액화한 후에 상기 진공배기시스템과 제거장치를 격리하는 공정과, 상기 혼입물이 수분 혹은 알콜 등과 반응하여 반응성 가스 및 응고된 퇴적물을 생성하도록 격리된 제거장치의 하우징내로 수분 혹은 알콜 등을 도입하는 공정 및, 상기 제거장치의 하우징으로부터 반응성 가스 및 응고된 퇴적물을 제거하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 혼입물 제거방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 격리공정, 수분 또는 알콜 등의 도입공정 및 제거공정을 소정 횟수 반복해서 실행하는 것을 특징으로 하는 혼입물 제거방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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