KR930020562A - 진공처리장치 - Google Patents

Abstract

진공처리 챔버내에 유도된 처리가스를 사용하여 진공처리 챔버내에 놓을 제작물을 처리시키기 위한 진공처리장치에서, 실제적인 배기속도를 개선하기 위해, 상기 진공처리 챔버내로 상기 처리가스를 유도하기 위한 수단과, 상기 처리가스의 가스흐름을 조절하기 위한 수단과, 상기 처리가스에 의해 상기 제작물이 처리된 이후에 상기 처리가스를 배기시키기 위한 수단을 구비한 진공처리장치, 상기 배기수단이 배기펌프와, 상기 배기 펌프의 흡입구 크기보다 더 큰 확장면적으로 상기 제작물의 중앙에 대체로 직각인 방향으로 연장된 버퍼 공간과 처리될 상기 제작물의 표면 뒤련상에 형성된 가스배출구로 구성되며, 상기 가스배출구는 배기펌프의 흡입구의 크기보다 크거나 실제로 같은 크기를 가진다.

Description

진공처리장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1바람직한 실시예에 따른 진공처리장치의 개략도.

제2도 제1도에 도시된 장치에서 배기시스템의 변형을 나타낸 진공처리 장치의 개략도.

제3도는 본 발명의 제2바람직한 실시예에 따른 진공처리장치의 개략도.

Claims (9)

1. 가스 흡입구와 가스 배출구를 구비하며 상기 가스 흡입구를 통해 그 내부로 유도된 처리 가스를 사용함으로써 그 내부에 위치한 샘플을 처리하기 위한 진공처리 챔버와, 상기 진공처리 챔버내에 유도된 상기 처리가스를 배기하기 위한 상기 진공처리 캠버의 상기 가스 배출구에 결합된 흡입구를 구입한 것으로, 이것의 상기 흡입구의 크기가 상기 진공처리 챔버의 상기 가스 배출구의 크기보다 더 크지 않은 배기펌프로 구성된 진공처리장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 배기펌프의 상기 흡입구가 상기 진공처리 챔버의 상기 가스배출구에 직접 연결됨을 특징으로 하는 진공처리 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 배기펌프의 출구에 콘덕턴스 밸브가 공급됨을 특징으로 하는 진공장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 콘덕턴스 벨브의 크기가 상기 배기펌프의 출구의 크기보다 더 크지 않음을 특징으로 하는 진공처리장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 배기펌프의 상기 흡입구가 콘덕턴스 벨브를 통해 상기 진공처리 챔버의 상기 가스 출구에 연결되고 상기 콘덕턴스 밸브의 크기가 상기 진공처리 챔버의 상기 가스출구의 상기 크기보다 크지 않으며 상기 배기펌프의 픕입구의 상기 크기보다 더 작지 않음을 특징으로 하는 진공처리장치.
6. 상기 진공처리 챔버내로 상기 처리가스를 유도하기 위한 수단과, 상기 처리가스의 가스흐름을 조절하기 위한 수단과, 상기 샘플이 상기 처리가스에 의해 처리된 후에 상기 처리 가스를 배기하기 위한 수단과, 배기펌프와, 상기 배기펌프의 흡입구 크기보다 더 큰 확장영역으로 상기 샘플의 중앙에 실질적으로 수직인 방향으로 연장된 버퍼공간과, 처리될 기 샘플의 표면의 후측상에 형성될 가스배출구을 가지며, 상기 가스 배출구라 상기 배기 펌프의 상기 흡입구의 크기보다 크거나, 실질적으로 같은 크기를 갖는 상기 배기수단으로 구성된, 처리가스에 의해 샘플을 처리하기 위한 진공처리장치.
7. 진공처리 챔버내로 유도된 처리가스를 사용함으로써 상기 진공처리 챔버내에 위치한 샘플을 처리하는 진공 처리 장치에 있어서, 상기 진공처리 장치가 상기 진공처리 챔버내로 상기 처리가스를 유도하기 위한 수단과, 상기 처리가스의 가스흐름을 조절하기 위한 수단과, 상기 샘플이 상기 처리가스에 의해 처리된 후 상기 처리가스를 배기하기 위한 수단을 구비하며, 상기 배기수단이 배기펌프와, 상기 배기펌프의 흡입구의 크기보다 더 큰 확장영역으로 상기 샘프의 중앙에 실질적으로 직각인 방향으로 연장된 버퍼공간과, 처리될 상기 샘플의 표면의 후측상에 형성되고 상기 배기펌프의 상기 흡입구의 크기와 같은 크기를 가지는 가스 배출기와, 상기 샘플 둘레에 콘덕턴스를 균일하게 하기 위해 상기 샘플과 상기 배기펌프 사이에 공급되는 수단으로 구성되는 진공처리 장치.
8. 진공처리 챔버내로 유도된 처리가스를 사용함으로써 상기 진공처리 챔버내에 위치한 샘플을 처리시키는 진공처리 챔버에 있어서, 상기 진공처리장치가 상기 진공처리 챔버내로 상기 처리가스를 유도하기 위한 수단과, 상기 처리가스의 가스 흐름을 조절하기 위한 수단과, 상기 샘플이 상기 처리가스에 의해 처리된후 상기 처리가스를 배기하기 위한수단을 구비하며, 상기 배기수단이 복수개의 배기 펌프와, 각각의 상기 배기펌프의 흡입구의 크기보다 더 큰 확장영역으로 상기 샘플의 중앙에 실질적으로 직각인 방향으로연장된 버퍼, 공간과, 처리될 상기 샘플의 표면의 후측상에 형성되며 각각이, 상기 각 배기 펌프의 상기 흡입구의 크기보다 크거나 실직적으로 같은 크기를 가지는 복수개의 가스배출구로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
9. 진공처리 챔버내로 유도된 처리가스를 사용함으로써 상기 진공처리 챔버내에 위치한 제작물을 처리시키는 진공처리 챔버에 있어서, 상기 진공처리장치가 상기 진공처리 챔버내로 상기 처리가스를 유도하기 위한 수단과, 상기 처리가스의 흐름을 조절하기 위한 수단과, 상기 샘플이 상기 처리가스에 의해 처리된 후 상기처리가스를 배기하기 위한 수단을 구비하며, 상기 배기 수단은 복수개의 배기펌프와, 처리될 상기 샘플의 표면의 후측상에 형성되고 상기 샘플의 표면에 평행한 관계로, 그리고 상기 샘플의 중앙선에 대해 서로 대칭인 관계로 배열된 복수개의가스 배출구로 구성되며, 각각의 상기 가스배출기가 상기 배기 펌프 각각의 흡입구의 크기보다 크거나 대체로 같은 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.