KR900005154A - 표면검사장치 - Google Patents

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KR900005154A
KR900005154A KR1019890013455A KR890013455A KR900005154A KR 900005154 A KR900005154 A KR 900005154A KR 1019890013455 A KR1019890013455 A KR 1019890013455A KR 890013455 A KR890013455 A KR 890013455A KR 900005154 A KR900005154 A KR 900005154A
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지아끼 후까자와
겐지 아이자와
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아오이죠이찌
가부시끼가이샤 도시바
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    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
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Abstract

내용 없음.

Description

표면검사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 표면검사장치의 일실시예를 나타낸 도면.
제2도-제4도는 본 발명의 표면검사장치의 작용을 나타낸 설명도.

Claims (10)

  1. 검사대상표면을 향해서 레이저광을 조사하는 광주사기, 상기 광주사기와 서로 인접되어 배치된 복수의 凸렌즈를 갖고 피검사 표면으로부터의 회절광을 집광시키는 렌즈수단, 상기 렌즈수단에 의해서 집광된 회절광을 필터링하는 필터수단들, 상기 필터수단을 거친 회절광을 전기신호로 변환시키는 광전변환기, 상기 凸렌즈들의 배렬방향에 대해서 직각방향으로 배렬되고 상기 렌즈 수단의 양단과 인접 凸렌즈들간의 인접부분으로부터 상기 필터수단을 향하여 연장 설비되고 상기 회절광의 횡단을 저지하는 칸막이판으로 구성된 표면검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광전변환기가 복수의 광전자증배관인 표면검사장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 광전자증배관이 반도체 광 센서인 표면검사장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 필터수단과 상기 광전변환기 사이에 광도봉(light guide)이 배치되어 있는 표면검사장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 필터수단과 상기 광전변환기 사이에 밴들 화이버(bundle fiber)가 배치되어 있는 표면검사장치.
  6. 제1항에 있어서, 상이한 회절광 성분들을 결속(bundling)시키기 위하여 복수의 밴들 화이버들이 상기 필터수단과 광전자변환기 사이에 배치되어 있는 표면검사장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 필터수단이 복수의 광확산부를 갖는 광도봉을 포함하는 표면검사장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 반투과경이 각 凸렌즈 위에 배치되고 제1의 공간필터는 상기 반투과경을 통과한 투과광을 받아들이고 제2의 공간필터는 상기 반투과경으로부터 반사된 광을 받아들이게 각각 배치된 표면검사장치.
  9. 제1항에 있어서, 반투과경은 각 凸렌즈 위에 배치되고 복수의 광확산부를 갖는 제1의 광도봉이 상기 반투과경을 통과한 광을 받아들이고 또 복수의 광확산부를 갖는 제2의 광도봉은 상기 반투과경으로부터 반사된 광을 받아들이게 배치되어 있는 표면검사장치.
  10. 제1항에 있어서, 복수의 광확산부를 갖는 제1의 광도봉이 상기 렌즈수단 위에 배치되고 또 복수의 광확산부를 갖는 제2의 광도봉은 상기 제1의 광도봉 위에 배치되어 상기 제1의 광도봉을 통과한 회절광을 집광시키는 표면검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890013455A 1988-09-20 1989-09-19 표면검사장치 KR920009801B1 (ko)

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EP0360232A3 (en) 1991-06-05
US5074668A (en) 1991-12-24
JPH0282142A (ja) 1990-03-22
EP0360232A2 (en) 1990-03-28
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