DE68916351T2

DE68916351T2 - Gerät zur Oberflächenprüfung.

Info

Publication number: DE68916351T2
Application number: DE68916351T
Authority: DE
Inventors: Kenji Aizawa; Chiaki Fukazawa
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-09-20
Filing date: 1989-09-19
Publication date: 1995-02-02
Anticipated expiration: 2009-09-20
Also published as: JPH0641923B2; KR920009801B1; EP0360232A3; US5074668A; JPH0282142A; EP0360232A2; DE68916351D1; KR900005154A; EP0360232B1

Description

Diese Erfindung betrifft ein Gerät zur Oberflächenprüfung gemäß dem ersten Teil von Anspruch 1 (JP-A-62-75236).
Fig. 16A und 16B zeigen ein Beispiel eines herkömmlichen Oberflächenprüfgerätes (JP-A2-52-21387).
Gemäß Fig. 16A und 16B ist an der oberen linken Seite eines Prüflings oder eines flächigen Materials 7, das in der Richtung eines Pfeils 8 durch eine (nicht dargestellte) Antriebs- Vorrichtung bewegt wird, ein optischer Abtaster 1 angeordnet. Der optische Abtaster 1 wird in der zur Bewegungsrichtung 8 des flächigen Materials 7 rechtwinkligen Richtung 9 und in paralleler Richtung zum flächigen Material 7 von einer (nicht dargestellten) Antriebsvorrichtung bewegt und strahlt Laserlicht (nachstehend "Licht") gegen die Oberfläche des flächigen Materials 7. An der oberen rechten Seite des flächigen Materials 7 ist in der Richtung rechtwinklig zur Strahlenachse des reflektierten Lichts und in der Richtung parallel zum flächigen Material 7 eine Sammellinse 2 angeordnet, die von der Oberfläche des Flächengebildes 7 reflektiertes Licht empfängt und durch sie hindurchgetretenes Licht zu einem Raumfilter 4 über der Sammellinse 2 sendet. Das durch das Raumfilter 4 hindurchgetretene Licht wird zu einer (nicht dargestellten) Signalverarbeitungseinrichtung über einen Photovervielfacher 5 geleitet, so daß die durch Fehler in der Oberfläche des flächigen Materials hervorgerufenen Veränderungen der Beugungsbilder festgestellt werden. Dieses Gerät, welches das Raumfilter 4 entsprechend den Bildern der Strukturen oder Fehler in der Oberfläche des flächigen Materials Verwendet, ermöglicht eine Oberflächenprüfung, die der menschlichen Beobachtung viel näher kommt als bei anderen Geräten, die nur einfache Änderungen der Mengen reflektierten Lichts erfassen.
Jedoch kann bei diesem Gerät die Abtastbreite nicht vergrößert werden (die Breite ist auf 200 bis 300 mm begrenzt), weil sich die Genauigkeit der Prüfung verschlechtern wird, und somit ist es notwendig, mehrere Geräte nebeneinander anzuordnen, um breite flächige Materialien 7 zu prüfen.
Es ist auch notwendig, mehrere Photovervielfacher an der Stelle des Raumfilters anzuordnen, um die Komponenten des Beugungslichtes getrennt zu erfassen und die Arten der Oberflächenfehler zu unterscheiden. Diese Vorrichtungen sind bei jedem Gerät erforderlich, weil stationäre Beugungsbilder gebildet werden müssen, da das an jedem Abtastpunkt an der Oberfläche des flächigen Materials, bezogen auf die Oberfläche in derselben Richtung gebeugte Licht auf dieselbe Stelle des Raumfilters gebündelt werden muß, wenn sich das Licht in der Richtung des Pfeils 9 gemäß Fig. 16A und 16B bewegt.
Die nachstehende Gleichung gilt für der Annahme, daß der Beugungswinkel des zu bündelnden Lichts e ist, der Abstand zwischen der Abtastfläche und der Sammellinse 2 h beträgt, die Brennweite der Sammellinse 2 f ist, die Abtastbreite W ist und die Apertur der Sammellinse 2 D beträgt:
f/D = f/W + 2h·tan R
Bei einer Vergrößerung der Abtastbreite ist bei dieser Gleichung eine Sammellinse mit kleinem Öffnungsverhältnis f/D und großer Lichtstärke erforderlich. Jedoch bestehen Beschränkungen hinsichtlich des Öffnungsverhältnisses, und folglich wird die Abtastbreite begrenzt.
Bei einem weiteren bekannten Oberflächenprüfgerät, das in DE- A-2 208 372 beschrieben wird, tritt von einer Lichtquelle ausgesandtes Licht durch Löcher in einem Streifen des zu prüfenden flächigen Materials und dringt dann im Innern eines Kastens in diskrete Kammern ein, die je ein Lichtempfangselement aufnehmen. Vom Einlaßfenster aus erstrecken sich Trennwände rechtwinklig zu ihm, wodurch das eindringende Licht durch die Trennwände abgeschattet wird.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Es ist folglich Aufgabe dieser Erfindung, ein Gerät zur Oberflächenprüfung zu schaffen, das die Oberflächenprüfung breiter flächiger Materialien vereinfacht.
Die Vorstehende Aufgabe wird mit einem Gerät zur Oberflächenprüfung gemäß Anspruch 1 gelöst.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Die Erfindung wird in den nachstehend genannten Zeichnungen schematisch dargestellt, in denen zeigt:
Fig. 1 eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung,
Fig. 2 bis 4 eine Arbeitsweise des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung,
Fig. 5 bis 15 weitere Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung, und
Fig. 16 ein herkömmliches Oberflächenprüfgerät.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM

Bevorzugte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung sind in den Zeichnungen dargestellt, in denen die in Fig. 16A und 16B dargestellten Bauteile weggelassen sind.
Gemäß Fig. 1A und 1B sind an der oberen rechten Seite eines flächigen Materials 7 mehrere Sammellinsen 2 nebeneinander angeordnet, die von der Oberfläche des flächigen Materials 7 reflektiertes Licht empfangen. Das reflektierte Licht wird von Licht erzeugt, das in der zu einem Pfeil 9 senkrechten Richtung von einem optischen Abtaster 1 ausgestrahlt wird, der sich in der Richtung des Pfeils 9 bewegt. Eine Vielzahl von Raumfiltern 4, die von den Sammellinsen 2 gebündeltes Licht filtern, sind ebenfalls nebeneinander über und parallel zu den Sammellinsen 2 angeordnet. Jedes Raumfilter 4 entspricht jeder Sammellinse 2. Trennwände 3 sind senkrecht angeordnet und erstrecken sich von den aneinanderstoßenden Abschnitten zwischen den aneinandergrenzenden Raumfiltern 4 zu den aneinanderstoßenden Abschnitten zwischen den aneinandergrenzenden Sammellinsen 2 und von beiden Enden der Raumfilter 4 zu den beiden Enden der Sammellinsen 2. Die Trennwände 3, die Licht weder reflektieren noch durchlassen, sind etwas breiter als die Raumfilter 4 und die Sammellinsen 2.
Ferner sind über jedem Raumfilter 4 jedem Raumfilter 4 entsprechende Photovervielfacher 5 angeordnet, und die Ausgangsseiten der Photovervielfacher 5 sind mit einem Addierer 6 einer (nicht dargestellten) Signalverarbeitungseinrichtung verbunden.
Wenn bei diesem Gerät zur Oberflächenprüfung Licht von dem sich in der Richtung des Pfeils 9 bewegenden optischen Abtaster 1 in der zum Pfeil 9 senkrechten Richtung auf die Oberfläche des flächigen Materials gestrahlt wird, wird das in Fig. 1 bis 3 mit gestrichelten Linien dargestellte reflektierte Licht nicht durch die Trennwände 3 hindurchgeleitet (nämlich, das durch eine Sammellinse 2 hindurchgetretene Licht tritt nicht in die den übrigen Sammellinsen 2 entsprechenden Brennpunktsebenen ein).
Folglich ist das auf eine Stelle jeder Brennpunktsebene einfallende Licht nur Beugungslicht in einer Richtung, bezogen auf das flächige Prüflingsmaterial 7. Diese Erscheinung hat nichts mit der Abtastposition zu tun, und es werden Beugungsbilder erzielt, die den stationären Beugungsbildern durch eine Linse ähnlich sind.
Nämlich gemäß Fig. 2, welche die Arbeitsweise des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung darstellt, wird das Beugungslicht, das, bezogen auf die Richtung des nach rechts reflektierten Lichts (Beugungsrichtung nullter Ordnung), unter dem Beugungswinkel R&sub1; gebeugt wird, vom linken Ende S&sub1;&sub1; bis S&sub1;&sub4; auf eine Stelle P&sub1; der Brennpunktsebene 10 gebündelt. Das Licht von nach S&sub1;&sub4; bis S&sub2;&sub4;&sub1; wird von der nächsten Sammellinse 2 auf die nächste Stelle P&sub2; gebündelt. Somit wird das Beugungslicht mit demselben Beugungswinkel von der Oberfläche des flächigen Materials 7 auf die entsprechende Stelle der Brennpunktsebene jeder Sammellinse gebündelt (nämlich an der Stelle, die jeder anderen entspricht, wenn die Brennpunktsebenen jeder Sammellinse aufeinandergelegt werden). Wenn folglich die entsprechende Stelle auf der Brennpunktsebene jeder Sammellinse identifiziert ist, wird dasselbe Beugungsbild wie das herkömmliche Bild bei Verwendung einer Linse gemäß Fig. 16 erzielt.
Ferner, bei Betrachtung beispielsweise einer Stelle P&sub3;, würde Licht, das vom flächigen Material 7 unter dem Beugungswinkel R&sub2; oder R&sub3;, bezogen auf die Richtung des nach rechts reflektierten Lichts, reflektiert wird, entsprechend den gestrichelten Linien die Stelle P&sub3; erreichen, wenn die Trennwände 3 nicht vorhanden wären. Wie weiter oben angegeben, schatten die Trennwände 3 das mit gestrichelten Linien dargestellte Licht ab, so daß das auf eine Stelle der Brennpunktsebene jeder Sammellinse 2 einfallende Licht auf das Beugungslicht in einer Richtung vom flächigen Prüfmaterial 7 begrenzt ist.
Als nächstes zeigt Fig. 3, wie das Licht bei Beugungswinkeln zwischen R und R+Φ , bezogen auf die Beugungsrichtung nullter Ordnung, im Falle einer Versetzung der Abtaststellung gebündelt wird.
Gemäß Fig. 3 wird das von Punkten A, B unter den Beugungswinkeln zwischen R und R+Φ reflektierte Licht auf Stellen zwischen P&sub1; und Q&sub1; der Brennpunktsebene gebündelt. Was einen Punkt C betrifft, so wird ein Teil des Lichtes vom Punkt C nach Stellen zwischen den Stellen P&sub1; und R&sub1; der Brennpunktsebene der ersten Sammellinse 2 und ein anderer Teil des Lichts vom Punkt C auf Stellen zwischen den Stellen R&sub2; und Q&sub2; der Brennpunktsebene der zweiten Sammellinse 2 gebündelt. Gemäß Fig. 3 entsprechen die Stellen P&sub2;, Q&sub1; und R&sub1; der ersten Sammellinse den Stellen P&sub2;, Q&sub2; bzw. R&sub2; der zweiten Sammellinse. Folglich wird das sich von der ersten Sammellinse zur zweiten Sammellinse erstreckende Beugungslicht gegenseitig ergänzt, und schließlich wird dieses Licht als das von der Stelle P&sub1; bis zur Stelle Q&sub1; oder von der Stelle P&sub2; bis Q&sub2; eingefangene Licht identifiziert. Folglich kann das Beugungslicht mit dem Beugungswinkel zwischen R und R+Φ durch Einfangen des Lichtes eingefangen werden, das auf die Stellen zwischen den Stellen Pi und Qi der entsprechenden Brennpunktsebene jeder Sammellinse einfällt (Hinweis: Das Beugungslicht in den mit gestrichelten Linien dargestellten Richtungen dringt nicht in Stellen zwischen der Stelle Pi und der Stelle Qi ein, weil es durch die Trennwände 3 abgeschattet wird). Gemäß Fig. 3 entspricht der Buchstabe i dem Bezugszeichen jeder Sammellinse 2.
In den der Beschreibung dieser Erfindung beigefügten Zeichnungen ist angenommen, daß die Sammellinsen 2 eine Hauptebene und keinen Astigmatismus besitzen.
Gemäß Fig. 1 befindet sich jedes Raumfilter 4 auf der entsprechenden Brennpunktsebene jeder Sammellinse, und die Durchlaßgrade in den Raumfiltern 4 sind geändert. Das durch die Raumfilter 4 hindurchtretende Licht dringt in die jeder Sammellinse 2 entsprechenden Photovervielfacher 5 ein. Ferner beeinflussen die Raumfilter 4 die Mengen des in die Photovervielfacher 5 eintretenden Lichts in Übereinstimmung mit den Beugungswinkeln, nämlich die Raumfilter 4 filtern das Licht nach Maßgabe der Ortsfrequenzen des Lichts.
Wenn beispielsweise angenommen wird, daß der Negativfilm des Beugungsbildes 11 (in Fig. 4) in Übereinstimmung mit den Oberflächenstrukturen des flächigen Materials 7 ein Raumfilter ist, werden die verschiedenen, den Oberflächenfehlern entsprechenden Teile des Beugungsbildes in die Photovervielfacher 5 eingeführt und werden zu elektrischen Signalen, welche durch die Oberflächenfehler des flächigen Materials 7 hervorgerufen werden.
Fig. 5A und 5B zeigen eine andere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung.
Gemäß Fig. 5A und 5B ist ein planer optischer Halbleiter- Sensor 5A mit einer rechteckigen Lichtempfangsfläche als photoelektrischer Umsetzer über den Raumfiltern 4 angeordnet. Weil das durch eine Vielzahl Raumfilter 4 hindurchtretende Licht durch nur einen optischen Sensor 5A in elektrische Signale umgewandelt wird, ist in diesem Falle der Addierer 6 unnötig, und die Höhe des erfindungsgemäßen Gerätes kann verkleinert werden.
Fig. 6A und 6B zeigen eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung. Gemäß Fig. 6A und 6B ist über den Raumfiltern 4 ein Lichtleiter 12 angeordnet, und mit den linken und rechten Enden des Lichtleiters 12 sind zwei Photovervielfacher 15A, 15B verbunden.
In diesem Falle werden dieselben Vorteile wie in Fig. 5A und 5B erzielt. Außerdem ist durch Verwenden der rasch ansprechenden Photovervielfacher 15A, 15B Hochgeschwindigkeitsabtastung möglich, so daß die Oberflächenprüfung des flächigen Materials innerhalb einer Fertigungsschnellstraße bequem durchgeführt werden kann.
Fig. 7A und 7B zeigen eine andere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung. Gemäß Fig. 7A und 7B ist das untere Ende einer Bündelungsfaser 13 über den Raumfiltern 4 angeordnet, und das obere Ende der Bündelungsfaser 13 ist mit dem Photovervielfacher 5 verbunden.
In diesem Falle werden die gleichen Vorteile wie in Fig. 6A und 6B erzielt, und außerdem kann die Stellung des Photovervielfachers 5 frei gewählt werden.
Fig. 8A und 8B zeigen eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung. Gemäß Fig. 8A und 8B sind über den Raumfiltern 4 zwei Bündelungsfasern 13A, 13B angeordnet, deren unteren Endstücke eine Vielzahl optischer Einlaßöffnungen aufweisen. Die oberen Endstücke der Bündelungsfasern 13A, 13B sind mit den zugehörigen Photovervielfachern 5A, 5B verbunden. Die optischen Einlaßöffnungen jeder Bündelungsfaser sind an der Stelle angeordnet, die von den gewünschten Beugungslichtkomponenten an der Brennpunktsebene jeder Sammellinse 2 erreicht werden, so daß Beugungslicht nullter Ordnung und das mit Punkten markierte Umgebungslicht und das mit Schraffierung dargestellte weitere Licht getrennt eingefangen und gebündelt werden.
Da in diesem Falle die Ausgänge der Photovervielfacher 5A, 5B den Änderungen von zwei verschiedenen Beugungslichtkomponenten entsprechen, können die Merkmale der Oberflächenfehler durch Auswerten dieser Ausgänge festgestellt werden.
Ferner können durch Erhöhen der Anzahl der Bündelungsfasern mehr als zwei verschiedene Beugungslichtkomponenten getrennt festgestellt werden. In diesem Falle ist ein Raumfilter nicht notwendig.
Fig. 9A und 9B zeigen eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung. Gemäß Fig. 9A und 9B ist der Lichtleiter 12, dessen oberes Ende an der Brennpunktsebene angeordnet ist, über den Sammellinsen 2 waagerecht angeordnet, und Lichtstreuungsabschnitte 12a sind nur an den Oberflächenabschnitten des Lichtleiters 12 ausgebildet, an welchen, wie mit Schraffierung angegeben, gewünschte Beugungslichtkomponenten ankommen. Der Lichtleiter 12 leitet das von den Lichtstreuungsabschnitten 12a gestreute Licht zu den Photovervielfachern 5A, 5B am linken und rechten Ende des Lichtleiters 12, und dadurch ist das Äquivalent eines Bandpaßfilters gebildet.
Fig. 10A ist eine vergrößerte Draufsicht auf die Lichtstreuungsabschnitte 12a gemäß Fig. 9A und Fig. 10B ist eine Ansicht der Fig. 10A von rechts.
Fig. 10C und 10D stellen den Lichtleiter mit Blickrichtung rechtwinklig zur Achse des Lichtleiters 12 dar, der einen Bereich mit und einen Bereich ohne Lichtstreuungsabschnitt aufweist. Folglich ist der Bandpaßfilter mit einer Ortsfrequenz in Y-Richtung (in der Bewegungsrichtung des flächigen Materials) ebenfalls gebildet.
Fig. 11A und 11B zweigen eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung. Gemäß Fig. 11A und 11B sind zwischen jeder Sammellinse 2 und dem entsprechenden Raumfilter 4 halbdurchlässige Spiegel 14 angeordnet. Das durch die halbdurchlässigen Spiegel 14 hindurchtretende Licht wird in die vorstehend genannten Raumfilter 4A eingeleitet, und das von den halbdurchlässigen Spiegeln 14 reflektierte Licht wird in die Raumfilter 4B auf der Vorderseite der halbdurchlässigen Spiegel 14 eingeleitet, und dieses Licht wird durch plane photoelektrische Umsetzer 5C, 5D an den Endstücken dieser Raumfilter 4A bzw. 4B in elektrische Signale umgewandelt. Folglich wird durch die Anwendung von zwei Raumfilterarten die Klassifizierung der Oberflächenfehler des flächigen Materials vereinfacht.
Fig. 12A und 12B stellen das Beispiel der vorstehend genannten zwei Raumfilterarten dar, wobei Fig. 12A ein erstes Raumfilter zeigt, welches das Beugungslicht um Beugungslicht nullter Ordnung einfängt, und Fig. 12B ein zweites Raumfilter, das Beugungslicht in Richtung der X-Achse einfängt, ausgenommen Beugungslicht nullter Ordnung und zugehöriges Umgebungslicht in der Y-Richtung.
Fig. 13A und 13B zeigen eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung. Gemäß Fig. 13A und 13B sind über und auf der Vorderseite der in Fig. 12A bzw. 12B dargestellten halbdurchlässigen Spiegel 14 zwei Lichtleiter 12A, 12B angeordnet. Der Lichtleiter 12B ist so angeordnet, daß sich seine Vorderseite in einer der Brennpunktsebene der Sammellinsen 2 entsprechenden Position befindet. In diesem Falle, der dem in Fig. 9A und 9B dargestellten ähnlich ist, befinden sich die Lichtstreuungsabschnitte an den Oberflächenabschnitten des Lichtleiters 12A, 12B, die von gewünschten Beugungslichtkomponenten erreicht werden, so daß das Äquivalent eines Bandpaßfilters gebildet ist.
Fig. 14A und 14B zeigen eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung. Gemäß Fig. 14A und 14B ist der Lichtleiter 12A über den Sammellinsen 2 waagerecht so angeordnet, daß sich sein oberes Ende an der Brennpunktsebene der Sammellinsen 2 befindet, und der Lichtleiter 12B ist ferner über und parallel zum Lichtleiter 12A angeordnet.
In diesem Falle streuen nur die Teile des Lichtleiters 12A, an dem spezielle Beugungslichtkomponenten ankommen; das dort gestreute Licht wird zu photoelektrischen Umsetzern 5H, 5G am linken und rechten Ende des Lichtleiters 12A geleitet. Gemäß Fig. 14A wird nur das mit Schraffierung dargestellte Beugungslicht gebündelt.
Ferner fängt der Lichtleiter 12B das durch den Lichtleiter 12A hindurchtretende Licht ein und leitet es zu photoelektrischen Umsetzern 5E, 5F am linken und rechten Ende des Lichtleiters 12B ein. Folglich werden die beiden verschiedenen Komponenten des Beugungslichts getrennt eingefangen und von den photoelektrischen Umsetzern 5E bis 5H getrennt in elektrische Signale umgewandelt.
Fig. 15 zeigt eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gerätes zur Oberflächenprüfung. Gemäß Fig. 15 ist zwischen den Lichtleitern 12A und 12B ein durchsichtiger Stab 14 aus Acrylharz angeordnet, um das durch den Lichtleiter 12A hindurchtretende Licht zuverlässig einzufangen. Andernfalls kann anstelle des durchsichtigen Stabes 14 eine Zylinderlinse verwendet werden.

Claims

1. Gerät zur Oberflächenprüfung, mit einem Laserlicht auf eine Prüflingsoberfläche (7) strahlenden optischen Abtaster (1), einer Linseneinrichtung (2) zum Bündeln von Beugungslicht von der Oberfläche (7) mit einer Vielzahl von Sammellinsen, die in der Abtastrichtung des optischen Abtasters (1) und aneinandergrenzend angeordnet sind und an der Oberfläche (7) gebeugtes Beugungslicht bündeln, und mit photoelektrischen Umsetzereinrichtungen zum Umwandeln des Beugungslichts in elektrische Signale, gekennzeichnet durch Filtereinrichtungen (4) zum Filtern des von der Linseneinrichtung gebündelten Beugungslichts, mit einer Vielzahl von aneinandergrenzenden Filtern (4), von denen jeder einer Sammellinse (2) der Linseneinrichtung entspricht,

Trennwände (3), welche das an der Oberfläche (7) gebeugte Beugungslicht abschatten und rechtwinklig zur Anordnungsrichtung der Sammellinsen angeordnet sind und sich von beiden Enden der Linseneinrichtung (2) zu beiden Enden der Filtereinrichtung (4) und von den aneinanderstoßenden Abschnitten zwischen den aneinandergrenzenden Sammellinsen zu den aneinanderstoßenden Abschnitten zwischen den aneinandergrenzenden Filtern (4) erstrecken.

2. Gerät zur Oberflächenprüfung nach Anspruch 1, bei dem der photoelektrische Umsetzer eine Vielzahl Photovervielfacher (5) umfaßt.

3. Gerät zur Oberflächenprüfung nach Anspruch 1 oder 2, bei dem der photoelektrische Umsetzer einen planen optischen Halbleiter-Sensor (5A) umfaßt.

4. Gerät zur Oberflächenprüfung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem ein Lichtleiter (12) zwischen der Filtereinrichtung (4) und dem photoelektrischen Umsetzer (5) angeordnet ist.

5. Gerät zur Oberflächenprüfung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem eine Bündelungsfaser (12) zwischen der Filtereinrichtung (4) und dem photoelektrischen Umsetzer (15A, 15B) angeordnet ist.

6. Gerät zur Oberflächenprüfung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem eine Vielzahl Bündelungsfasern (13A, 13B) zum Bündeln verschiedener Beugungslichtkomponenten zwischen der Filtereinrichtung (4) und dem photoelektrischen Umsetzer (5A, 5B) angeordnet ist.

7. Gerät zur Oberflächenprüfung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem die Filtereinrichtung einen Lichtleiter (12) mit einer Vielzahl von Lichtstreuungsabschnitten (12a) umfaßt.

8. Gerät zur Oberflächenprüfung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem ein halbdurchlässiger Spiegel (14) über jeder Sammellinse (2) angeordnet ist und erste Raumfilter (4A) zum Empfangen von durch den halbdurchlässigen Spiegel hindurchgetretenem Licht und zweite Raumfilter (4B) zum Empfangen von vom halbdurchlässigen Spiegel (14) reflektiertem Licht entsprechend angeordnet sind.

9. Gerät zur Oberflächenprüfung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem ein halbdurchlässiger Spiegel (14) über jeder Sammellinse (2) angeordnet ist, ein erster Lichtleiter (12A) mit einer Vielzahl Lichtstreuungsabschnitten so angeordnet ist, daß er durch den halbdurchlässigen Spiegel (14) hindurchgetretenes Licht empfängt, und ein zweiter Lichtleiter (12B) mit einer Vielzahl Lichtstreuungsabschnitten so angeordnet ist, daß er vom halbdurchlässigen Spiegel (14) reflektiertes Licht empfängt.

10. Gerät zur Oberflächenprüfung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem ein erster Lichtleiter (12A) mit einer Vielzahl Lichtstreuungsabschnitten über der Linseneinrichtung (2) zum Einfangen räumlicher Komponenten von Beugungslicht angeordnet ist und ein zweiter Lichtleiter (12B) mit einer Vielzahl Lichtstreuungsabschnitten über dem ersten Lichtleiter (12A) zum Einfangen von Beugungslicht durch den ersten Lichtleiter.