JPS6275236A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPS6275236A JPS6275236A JP21453585A JP21453585A JPS6275236A JP S6275236 A JPS6275236 A JP S6275236A JP 21453585 A JP21453585 A JP 21453585A JP 21453585 A JP21453585 A JP 21453585A JP S6275236 A JPS6275236 A JP S6275236A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflected
- mask
- inspected
- light
- lenses
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、レーザ回折パターン方式を使用して板材等の
表面検査を行なう表面検査装置の改良に関する。
表面検査を行なう表面検査装置の改良に関する。
従来、この種の装置として例えば第３図に示す如きもの
がある。この装置は、複数（図では３個）のレーザ光源
２ａ、２ｂ、２ｃから出力されたレーザ光を各々回転ミ
ラー３ａ、３ｂ、３ｃ’Ｑ反射して検出対象物である例
えば圧延ｍ仮１の表面上に走査する。そして、これらの
走査範囲Ｌａ。
がある。この装置は、複数（図では３個）のレーザ光源
２ａ、２ｂ、２ｃから出力されたレーザ光を各々回転ミ
ラー３ａ、３ｂ、３ｃ’Ｑ反射して検出対象物である例
えば圧延ｍ仮１の表面上に走査する。そして、これらの
走査範囲Ｌａ。
Ｌｂ、Ｌｃにおける各反射回折光を各々球面レンズ４ａ
、４ｂ、４ｃで集光してマスク面５ａ。
、４ｂ、４ｃで集光してマスク面５ａ。
５ｂ、５ｃの同一位置に結像させ、これらのマスク面５
ａ、５ｂ、５ｃの所定の結像小領域にそれぞれ対向配設
した複数の光電変換器６ａ、６ｂ。
ａ、５ｂ、５ｃの所定の結像小領域にそれぞれ対向配設
した複数の光電変換器６ａ、６ｂ。
６Ｃにより上記結像を検出してその検出信号を各々信号
処理回路？ａ、７ｂ、７ｃに供給する。そして、この信
号処理回路７ａ、７ｂ、７ｃて所定の信号処理を行なっ
て反射回折パターンを検出し、この検出結果から上記圧
延鋼板１の表面状態を判別するようにしたものである。
処理回路？ａ、７ｂ、７ｃに供給する。そして、この信
号処理回路７ａ、７ｂ、７ｃて所定の信号処理を行なっ
て反射回折パターンを検出し、この検出結果から上記圧
延鋼板１の表面状態を判別するようにしたものである。
尚、上記各光電変換器６ａ、６ｂ、６ｃのマスク面５ａ
、５ｂ。
、５ｂ。
５Ｃに対する対向位置は、マスク面５ａ、５ｂ。
５Ｃに結像される反射回折パターンの形状に応じて設定
される。例えば、圧延鋼板１の表面に傷が無いとすれば
反射回折パターンは例えば第４図（ａ）のイのようにマ
スク面の中央部に集中したものとなり、また擦傷等があ
ると反射回折パターンは第４図（ｂ）のように例えば細
長いものとなるので、これらを検出するために各光電変
換器６ａ、６ｂ、６ｃは第４図（ａ）、（ｂ）の破線５
１．５２．５３に示す結像小領域の結像を検出できるよ
うに位置決めすればよい。
される。例えば、圧延鋼板１の表面に傷が無いとすれば
反射回折パターンは例えば第４図（ａ）のイのようにマ
スク面の中央部に集中したものとなり、また擦傷等があ
ると反射回折パターンは第４図（ｂ）のように例えば細
長いものとなるので、これらを検出するために各光電変
換器６ａ、６ｂ、６ｃは第４図（ａ）、（ｂ）の破線５
１．５２．５３に示す結像小領域の結像を検出できるよ
うに位置決めすればよい。
この様な装置を使用すれば、圧延鋼板１の搬送速度に比
べて各レーザ光の走査繰返し速度を高速に設定すること
により、圧延鋼板１の表面の傷の有無、その種類等をむ
らなく正確に検査することができ、極めて有用である。
べて各レーザ光の走査繰返し速度を高速に設定すること
により、圧延鋼板１の表面の傷の有無、その種類等をむ
らなく正確に検査することができ、極めて有用である。
ところがこの様な従来の装置は、被検査面に対するレー
ザ光の各走査範囲Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃ毎に球面レンズ４ａ
、４ｂ、４ｃを個別に設けて反射回折光の集光を行なっ
ているため、各球面レンズはそれぞれ正反射光ばかりで
なく例えば第５図に示すような乱反射光も集光しなけれ
ばならず、このため走査範囲Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃの長さよ
りも長さの長いものを必要とする。したがって、各球面
レンズ４ａ、４ｂ、４ｃで集光可能な走査範囲は自ずと
球面レンズの大きさよりも小さい範囲に限定されること
になり、これにより例えば第５図に示す如く各走査範囲
Ｌａ、Ｌｂ間の領域Ｗはたとえレーザ光で走査したとし
ても検査することができず、このため被検査面に不検査
領域が発生する欠点があった。また、上記不検査領域を
無くすために２台の検査装置を設けることが考えられて
いるが、このようにすると装置が非常に大形化して高価
になる欠点があり、実用に適さなかった。
ザ光の各走査範囲Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃ毎に球面レンズ４ａ
、４ｂ、４ｃを個別に設けて反射回折光の集光を行なっ
ているため、各球面レンズはそれぞれ正反射光ばかりで
なく例えば第５図に示すような乱反射光も集光しなけれ
ばならず、このため走査範囲Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃの長さよ
りも長さの長いものを必要とする。したがって、各球面
レンズ４ａ、４ｂ、４ｃで集光可能な走査範囲は自ずと
球面レンズの大きさよりも小さい範囲に限定されること
になり、これにより例えば第５図に示す如く各走査範囲
Ｌａ、Ｌｂ間の領域Ｗはたとえレーザ光で走査したとし
ても検査することができず、このため被検査面に不検査
領域が発生する欠点があった。また、上記不検査領域を
無くすために２台の検査装置を設けることが考えられて
いるが、このようにすると装置が非常に大形化して高価
になる欠点があり、実用に適さなかった。
本発明は、全走査領域の反射回折光をもれなくマスク面
に導けるようにして不検査領域をなくし、しかもこれを
複数の装置を使用することなく１台の装置で行ない得る
ようにし、これにより構成が簡単かつ小形で検査性能の
高い表面検査装置を提供することを目的とする。
に導けるようにして不検査領域をなくし、しかもこれを
複数の装置を使用することなく１台の装置で行ない得る
ようにし、これにより構成が簡単かつ小形で検査性能の
高い表面検査装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するために、被検査面のスポ
ット光走査位置とマスク面との間に、上記スポット光の
走査方向に端部を互いに線接触させた状態で配設された
複数の球面レンズを自゛する集光光学系を介在配置し、
上記各球面レンズにより被検査面の全走査範囲による反
射回折光を集光して各々対応するマスク面に静止結像さ
せるようにしたものである。
ット光走査位置とマスク面との間に、上記スポット光の
走査方向に端部を互いに線接触させた状態で配設された
複数の球面レンズを自゛する集光光学系を介在配置し、
上記各球面レンズにより被検査面の全走査範囲による反
射回折光を集光して各々対応するマスク面に静止結像さ
せるようにしたものである。
第１図は本発明の一実施例における表面検査装置の構成
を示すもので、２０はレーザ光源を示している。このレ
ーザ光源２０から出力されたレーザ光は、回転ミラー３
０で反射走査されたのち平面鏡３２および凹面鏡３３で
それぞれ反射されて圧延鋼板１の被検査面上に走査され
る。尚、Ｌは上記レーザ光の走査範囲を示すもので、図
では圧延鋼板１の全幅に渡って走査される場合を示して
いる。
を示すもので、２０はレーザ光源を示している。このレ
ーザ光源２０から出力されたレーザ光は、回転ミラー３
０で反射走査されたのち平面鏡３２および凹面鏡３３で
それぞれ反射されて圧延鋼板１の被検査面上に走査され
る。尚、Ｌは上記レーザ光の走査範囲を示すもので、図
では圧延鋼板１の全幅に渡って走査される場合を示して
いる。
一方、圧延鋼板１の上記走査範囲りの斜め上方には、集
光光学系としての球面レンズ４０ａ。
光光学系としての球面レンズ４０ａ。
４０ｂ、４０ｃおよびマスク面５０ａ、５０ｂ。
５０Ｃがそれぞれ配設しである。このうち各球面レンズ
４０ａ、４０ｂ、４０ｃは、それぞレレーザ光の走査方
向の両端部を所定の位置で切断し、その切断面を接合部
として隣接するものどうしを接合して一体化したもので
、上記被検査面の全走査範囲りによる反射回折光をもれ
なく集光して対応するマスク面５０ａ、５０ｂ、５０ｃ
に結像させる。これらのマスク面５０ａ、５０ｂ、５０
ｃの背面側には、それぞれ予め設定した結像小領域に光
ファイバ８１，８２．８３の光導入端が対向配設してあ
り、これらの光ファイバ８１，８２゜８３により上記各
マスク面５０ａ、５０ｂ、５０Ｃの共通する結像小領域
毎に結像がまとめられて光７ｕ変換器６１，６２．６３
に導かれている。そして上記各結像は、各光電変換器６
１．６２゜６３で光電変換されたのち信号処理回路７１
゜７２．７３に供給され、これらの回路で反射回折パタ
ーンを識別するために必要な信号処理がなされる。
４０ａ、４０ｂ、４０ｃは、それぞレレーザ光の走査方
向の両端部を所定の位置で切断し、その切断面を接合部
として隣接するものどうしを接合して一体化したもので
、上記被検査面の全走査範囲りによる反射回折光をもれ
なく集光して対応するマスク面５０ａ、５０ｂ、５０ｃ
に結像させる。これらのマスク面５０ａ、５０ｂ、５０
ｃの背面側には、それぞれ予め設定した結像小領域に光
ファイバ８１，８２．８３の光導入端が対向配設してあ
り、これらの光ファイバ８１，８２゜８３により上記各
マスク面５０ａ、５０ｂ、５０Ｃの共通する結像小領域
毎に結像がまとめられて光７ｕ変換器６１，６２．６３
に導かれている。そして上記各結像は、各光電変換器６
１．６２゜６３で光電変換されたのち信号処理回路７１
゜７２．７３に供給され、これらの回路で反射回折パタ
ーンを識別するために必要な信号処理がなされる。
この様な構成であるから、圧延鋼板１の被検査面に対し
、投光光学系によりレーザ光を走査すると、被検査面で
その表面状態に応じて反射光の回折が起り、この反射回
折光はその反射位置に応じて対応する球面レンズ４０
ａ、 ４０ ｂ、 ４０ ｃで集光され、マスク面
５０ ａ、 ５０ ｂ、 ５０ ｃに反射回折パタ
ーンとして結像される。尚、このとき上記球面レンズ４
０ａ、４０ｂ、４０ｃと被検査面上のレーザ走査範囲り
との間の距離および球面レンズ４０ ａ、 ４０ ｂ
、 ４０ ｃとマスク面５０ａ。
、投光光学系によりレーザ光を走査すると、被検査面で
その表面状態に応じて反射光の回折が起り、この反射回
折光はその反射位置に応じて対応する球面レンズ４０
ａ、 ４０ ｂ、 ４０ ｃで集光され、マスク面
５０ ａ、 ５０ ｂ、 ５０ ｃに反射回折パタ
ーンとして結像される。尚、このとき上記球面レンズ４
０ａ、４０ｂ、４０ｃと被検査面上のレーザ走査範囲り
との間の距離および球面レンズ４０ ａ、 ４０ ｂ
、 ４０ ｃとマスク面５０ａ。
５０ｂ、５０ｃとの間の距離は、それぞれ球面レンズ４
０ａ、４０ｂ、４０ｃの焦点距離に設定しである。この
ため、上記被検査面により生じた反射回折光は、各マス
ク面５０ａ、５０ｂ、５０ｃに静止回折パターンとして
結像される。
０ａ、４０ｂ、４０ｃの焦点距離に設定しである。この
ため、上記被検査面により生じた反射回折光は、各マス
ク面５０ａ、５０ｂ、５０ｃに静止回折パターンとして
結像される。
ところで、集光部としての上記球面レンズ４０ａ、４０
ｂ、４０ｃは、先に述べたように端部を切断してこの切
断面で相互に接合したものとなっている。このため、球
面レンズ４０ａ、４０ｂ。
ｂ、４０ｃは、先に述べたように端部を切断してこの切
断面で相互に接合したものとなっている。このため、球
面レンズ４０ａ、４０ｂ。
４０ｃは、それぞれ個々には焦点を有する独立したレン
ズとして作用するが、レーザ走査範囲り方向については
如何なる位置であっても集光作用を有する１枚のレンズ
として作用する。したがって、レーザ走査範囲して反射
された回折光は、走査範囲りの如何なる位置で反射され
たものであっても、もれなく球面レンズ４０ ａ、
４０ ｂ、 ４０ ｃで集光されてマスク面５０ ａ
、 ５０ ｂ、 ５０ ｃに結像することになる。
ズとして作用するが、レーザ走査範囲り方向については
如何なる位置であっても集光作用を有する１枚のレンズ
として作用する。したがって、レーザ走査範囲して反射
された回折光は、走査範囲りの如何なる位置で反射され
たものであっても、もれなく球面レンズ４０ ａ、
４０ ｂ、 ４０ ｃで集光されてマスク面５０ ａ
、 ５０ ｂ、 ５０ ｃに結像することになる。
第２図はその様子を示したものである。また、本装置で
は走査範囲り中の位置によっては、その反射回折光が集
光されるマスク面が従来とは異なる場合がある。例えば
、走査範囲中の任意の点Ｐにおいて反射された回折光■
１は、従来の装置では第５図に示す如く球面レンズ４ａ
により集光されてマスク面５ａの結像位置Ｐａに結像さ
れるが、本実施例の装置では第２図に示す〜 如く球
面レンズ４０ｂで集光されてマスク面５０ｂの結像位置
Ｐｂ’ に結像される。しかし、このように結像するマ
スク面が異なっても、マスク面上の結像位置は互いに等
しく、上記結像は光ファイバによりまとめられて結果的
に共通の光電変換器で光電変換されることになるので、
同等不具合は生じない。
は走査範囲り中の位置によっては、その反射回折光が集
光されるマスク面が従来とは異なる場合がある。例えば
、走査範囲中の任意の点Ｐにおいて反射された回折光■
１は、従来の装置では第５図に示す如く球面レンズ４ａ
により集光されてマスク面５ａの結像位置Ｐａに結像さ
れるが、本実施例の装置では第２図に示す〜 如く球
面レンズ４０ｂで集光されてマスク面５０ｂの結像位置
Ｐｂ’ に結像される。しかし、このように結像するマ
スク面が異なっても、マスク面上の結像位置は互いに等
しく、上記結像は光ファイバによりまとめられて結果的
に共通の光電変換器で光電変換されることになるので、
同等不具合は生じない。
このように本実施例の装置であれば、被検査面を全幅に
渡って走査した場合でも、その全範囲で反射された回折
光がもれなく球面レンズ４０ａ。
渡って走査した場合でも、その全範囲で反射された回折
光がもれなく球面レンズ４０ａ。
４０ｂ、４０ｃで集光されてマスク面５０ａ。
５０ｂ、５０Ｃに結像することになり、この結果１台の
装置を用意するだけで被検査面の全範囲の検査を行なう
ことが可能となって、構成簡単にして高能力の検査を行
なうことができる。また本実施例では、各球面レンズ４
０ａ、４０ｂ、４０ｃを相互に接合して一体化している
ので、被検査面に対する位置合せを簡単に行なえるとと
もに、震動等に対してレンズ相互が位置ずれを起こすこ
とがないことから信頼性が高くまたマウント構造の簡単
な装置を提供することができる。
装置を用意するだけで被検査面の全範囲の検査を行なう
ことが可能となって、構成簡単にして高能力の検査を行
なうことができる。また本実施例では、各球面レンズ４
０ａ、４０ｂ、４０ｃを相互に接合して一体化している
ので、被検査面に対する位置合せを簡単に行なえるとと
もに、震動等に対してレンズ相互が位置ずれを起こすこ
とがないことから信頼性が高くまたマウント構造の簡単
な装置を提供することができる。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではない。例
えば、球面レンズは相互に接合しなくても接触させただ
けでマウントしてもよい。また、投光光学系は１組のレ
ーザ光源２０．回転ミラー３０および反射光学系により
構成する以外に、第３図に示したように複数組のレーザ
光源と回転ミラーとを用いて走査を行なうように構成し
てもよい。さらに、受光検出部につ、いても各マスク面
の共通する結像小領域の像をまとめて光電変換器で検出
するもの以外に、第３図のように各マスク面毎に光電変
換器を設けて検出するように構成してもよい。その他、
球面レンズの形状や大きさ、配設数、接合手段等につい
ても、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実
施できる。
えば、球面レンズは相互に接合しなくても接触させただ
けでマウントしてもよい。また、投光光学系は１組のレ
ーザ光源２０．回転ミラー３０および反射光学系により
構成する以外に、第３図に示したように複数組のレーザ
光源と回転ミラーとを用いて走査を行なうように構成し
てもよい。さらに、受光検出部につ、いても各マスク面
の共通する結像小領域の像をまとめて光電変換器で検出
するもの以外に、第３図のように各マスク面毎に光電変
換器を設けて検出するように構成してもよい。その他、
球面レンズの形状や大きさ、配設数、接合手段等につい
ても、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実
施できる。
以上詳述したように本発明によれば、被検査面のスポッ
ト光走査位置とマスク面との間に、上記スポット光の走
査方向に端部を互いに線接触させた状態で配設された複
数の球面レンズを有する集光光学系を介在配置し、上記
各球面レンズにより披検査面の全走査範囲による反射回
折光を集光して各々対応するマスク面に静止結像させる
ようにしたことによって、全走査領域の反射回折光をも
れなくマスク面に導くことができ、これにより不検査領
域をなくし、しかもこれを複数の装置を使用することな
く１台の装置で行ない得て、構成が簡１１かつ小形で検
査性能の高い表面検査装置を提供することができる。
ト光走査位置とマスク面との間に、上記スポット光の走
査方向に端部を互いに線接触させた状態で配設された複
数の球面レンズを有する集光光学系を介在配置し、上記
各球面レンズにより披検査面の全走査範囲による反射回
折光を集光して各々対応するマスク面に静止結像させる
ようにしたことによって、全走査領域の反射回折光をも
れなくマスク面に導くことができ、これにより不検査領
域をなくし、しかもこれを複数の装置を使用することな
く１台の装置で行ない得て、構成が簡１１かつ小形で検
査性能の高い表面検査装置を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例における表面検査装置の構成
を示す斜視図、第２図は同装置の作用説明に用いるため
の球面レンズに対する反射回折光の通過位置を示す模式
図、第３図は従来の表面検査装置の構成を示す斜視図、
第４図（ａ）、（ｂ）はマスク面における反射回折パタ
ーンおよび結像小領域の位置の一例を示す拡大図、第５
図は従来装置の球面レンズに対する反射回折光の通過位
置を示す模式図である。 １・・・圧延鋼板、２０・・・レーザ光源、３０・・・
回転ミラー、３２・・・平面鏡、３３・・・凹面鏡、４
０ａ９４Ｑｂ、４０Ｃ−’球面レンズ、５０ａ、５０ｂ
。 ５０ｃ・・・マスク面、６１，６２．６３・・・光電変
換器、７１，７２．７３・・・信号処理回路、８１゜８
２．８３・・・光ファイバ、Ｌ・・・走査範囲。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 第３！０ （ａ） （ｂ）第４図 第５図 手続補正書 昭和６０年５月８日
を示す斜視図、第２図は同装置の作用説明に用いるため
の球面レンズに対する反射回折光の通過位置を示す模式
図、第３図は従来の表面検査装置の構成を示す斜視図、
第４図（ａ）、（ｂ）はマスク面における反射回折パタ
ーンおよび結像小領域の位置の一例を示す拡大図、第５
図は従来装置の球面レンズに対する反射回折光の通過位
置を示す模式図である。 １・・・圧延鋼板、２０・・・レーザ光源、３０・・・
回転ミラー、３２・・・平面鏡、３３・・・凹面鏡、４
０ａ９４Ｑｂ、４０Ｃ−’球面レンズ、５０ａ、５０ｂ
。 ５０ｃ・・・マスク面、６１，６２．６３・・・光電変
換器、７１，７２．７３・・・信号処理回路、８１゜８
２．８３・・・光ファイバ、Ｌ・・・走査範囲。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 第３！０ （ａ） （ｂ）第４図 第５図 手続補正書 昭和６０年５月８日
Claims (2)
- （１）検査対象物の被検査面に対しスポット光を走査す
る投光光学系と、前記スポット光の走査方向に端部を互
いに線接触させた状態で配設された複数の球面レンズを
有しこれらの球面レンズにより前記被検査面の全走査範
囲による反射回折光を集光してそれぞれ対応するマスク
面に結像させる集光光学系と、前記各マスク面の予め設
定された結像小領域の結像を抽出し光電変換器で検出す
る受光検出部と、前記光電変換器の検出出力を導入して
所定の信号を処理を行なう信号処理回路とを具備したこ
とを特徴とする表面検査装置。 - （２）集光光学系の各球面レンズは、スポット光の走査
方向の端部をそれぞれ所定の位置で切断してこの切断面
を接合面として接合し一体化したものである特許請求の
範囲第（１）項記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21453585A JPS6275236A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21453585A JPS6275236A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6275236A true JPS6275236A (ja) | 1987-04-07 |
Family
ID=16657339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21453585A Pending JPS6275236A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6275236A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0360232A2 (en) * | 1988-09-20 | 1990-03-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | A surface inspection apparatus |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5059081A (ja) * | 1973-09-26 | 1975-05-22 | ||
| JPS54154341A (en) * | 1978-02-27 | 1979-12-05 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optical monitor |
| JPS56126745A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-05 | Matsushita Electric Works Ltd | Automatic inspecting device for surface of plate material |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP21453585A patent/JPS6275236A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5059081A (ja) * | 1973-09-26 | 1975-05-22 | ||
| JPS54154341A (en) * | 1978-02-27 | 1979-12-05 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optical monitor |
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| EP0360232A2 (en) * | 1988-09-20 | 1990-03-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | A surface inspection apparatus |
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