JPH0641923B2 - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH0641923B2 JPH0641923B2 JP63233647A JP23364788A JPH0641923B2 JP H0641923 B2 JPH0641923 B2 JP H0641923B2 JP 63233647 A JP63233647 A JP 63233647A JP 23364788 A JP23364788 A JP 23364788A JP H0641923 B2 JPH0641923 B2 JP H0641923B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- lens
- spatial filter
- surface inspection
- diffracted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
- G01N2021/8905—Directional selective optics, e.g. slits, spatial filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、板材表面の欠陥をレーザビームの回析光で検
査する表面検査装置に関する。
査する表面検査装置に関する。
（従来の技術） 従来の表面検査装置の一例（例えば特公昭５２−２１３
８７号）を示す第16図において、図示しない駆動機構で
矢印８方向に移動する検査対象の板材７の左上方には、
図示しない移動機構で板材７の移動方向８と直角方向９
に且つ板材７と平行に移動して板材７の表面にレーザ光
（以下、光という）を走査する光走査器１が設けられ、
右上方には走査された光の反射光を受光し透過光を上方
の空間フィルタ４に送るレンズ２が反射光軸に対して直
角に且つ板材７と平行に設けられ、空間フィルタ４を透
過した光は、光電子増倍管５を経て図示しない信号処理
装置へ送られて板材７の欠陥による回析パターンの変化
が検知されている。そして、この装置は、板材７の表面
の地肌や検出する欠陥のパターンに合わせた空間フィル
タ４を用いることで、単純な反射光量の変化だけによる
検出装置に比べてより目視に近い検査をすることができ
る。
８７号）を示す第16図において、図示しない駆動機構で
矢印８方向に移動する検査対象の板材７の左上方には、
図示しない移動機構で板材７の移動方向８と直角方向９
に且つ板材７と平行に移動して板材７の表面にレーザ光
（以下、光という）を走査する光走査器１が設けられ、
右上方には走査された光の反射光を受光し透過光を上方
の空間フィルタ４に送るレンズ２が反射光軸に対して直
角に且つ板材７と平行に設けられ、空間フィルタ４を透
過した光は、光電子増倍管５を経て図示しない信号処理
装置へ送られて板材７の欠陥による回析パターンの変化
が検知されている。そして、この装置は、板材７の表面
の地肌や検出する欠陥のパターンに合わせた空間フィル
タ４を用いることで、単純な反射光量の変化だけによる
検出装置に比べてより目視に近い検査をすることができ
る。
（発明が解決しようとする課題） ところがこの装置は、レンズ２の精度上走査幅を広くで
きない（200〜300mmが限度である）ので、幅の広い板材
７を検査するには検出器を何台も並べなければならな
い。
きない（200〜300mmが限度である）ので、幅の広い板材
７を検査するには検出器を何台も並べなければならな
い。
また、回析光成分を分離して検出し、欠陥の種別を識別
するのは、空間フィルタの位置に複数の光電子増幅管を
設ければよいが、各ヘッドにこの機構が要る。
するのは、空間フィルタの位置に複数の光電子増幅管を
設ければよいが、各ヘッドにこの機構が要る。
これは静止回析パターンを生成しなくてはならないこと
に起因し、つまり、第16図に示すように、光が矢印９方
向に移動するとき、各走査点から検査面に対して同一方
向に回析した光が空間フィルタ４の同一点にこなくては
ならないことにある。今、集光すべき回析角をθ、走査
面からレンズ２までの距離をｈ，レンズ２の集点距離を
ｆ，走査幅をｗ、レンズ２の口径をＤとすると、 となり、走査幅Ｗを増すと口径比ｆ／Ｄの小さな明るい
レンズが要るが、これには限界がありこれで走査幅Ｗが
制約される。
に起因し、つまり、第16図に示すように、光が矢印９方
向に移動するとき、各走査点から検査面に対して同一方
向に回析した光が空間フィルタ４の同一点にこなくては
ならないことにある。今、集光すべき回析角をθ、走査
面からレンズ２までの距離をｈ，レンズ２の集点距離を
ｆ，走査幅をｗ、レンズ２の口径をＤとすると、 となり、走査幅Ｗを増すと口径比ｆ／Ｄの小さな明るい
レンズが要るが、これには限界がありこれで走査幅Ｗが
制約される。
そこで、本発明の目的は、幅広の板材の表面欠陥を容易
に検査することのできる表面検査装置を得ることであ
る。
に検査することのできる表面検査装置を得ることであ
る。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段および作用） 本発明は、板材面に光走査器で照射したレーザ光の回析
光を凸レンズで集光し、この光を空間フィルタを経て光
電変換器に導いて板材面の欠陥を検査する表面検査装置
において、上記凸レンズを光走査方向に複数枚隣接密着
して並べたレンズ列とし、このレンズ列と空間フィルタ
間の各レンズ間とレンズ列の両端に、縦に仕切板を設け
ることにより、幅の狭い凸レンズで容易に広幅の板材の
表面欠陥を検査することのできる表面検査装置である。
光を凸レンズで集光し、この光を空間フィルタを経て光
電変換器に導いて板材面の欠陥を検査する表面検査装置
において、上記凸レンズを光走査方向に複数枚隣接密着
して並べたレンズ列とし、このレンズ列と空間フィルタ
間の各レンズ間とレンズ列の両端に、縦に仕切板を設け
ることにより、幅の狭い凸レンズで容易に広幅の板材の
表面欠陥を検査することのできる表面検査装置である。
（実施例） 以下、本発明の表面検査装置の一実施例を図面で説明す
る。但し、第16図と重複する部分は省く。
る。但し、第16図と重複する部分は省く。
第１図において、板材７の右上方には、この板材７の表
面に矢印９方向に走査されてこの方向と直角方向に照射
された光の反射光を受光する複数の凸レンズ２が隣接し
て配置され、この凸レンズ２の上方には凸レンズ２で集
光された光を受光する複数の空間フィルタ４が横に隣接
し各凸レンズ２に対向して平行に設けられ、この空間フ
ィルタ４と凸レンズ２の隣接間と左右端には、空間フィ
ルタ４と凸レンズ２よりやや幅が広く光を反射・透過し
ない仕切板３が凸レンズ２の面に垂直に設けられてい
る。
面に矢印９方向に走査されてこの方向と直角方向に照射
された光の反射光を受光する複数の凸レンズ２が隣接し
て配置され、この凸レンズ２の上方には凸レンズ２で集
光された光を受光する複数の空間フィルタ４が横に隣接
し各凸レンズ２に対向して平行に設けられ、この空間フ
ィルタ４と凸レンズ２の隣接間と左右端には、空間フィ
ルタ４と凸レンズ２よりやや幅が広く光を反射・透過し
ない仕切板３が凸レンズ２の面に垂直に設けられてい
る。
更に、各空間フィルタ４の上側には、光電子増倍管５が
れぞれ配設され、この出力側は図示しない信号処理装置
の加算回路６に接続されている。
れぞれ配設され、この出力側は図示しない信号処理装置
の加算回路６に接続されている。
このような構成の表面検査装置において、光走査器１を
矢印９方向に移動させて光を矢印９方向と直角に板材７
の表面に照射すると、第１〜３図の点線で示す光（つま
り、ある一つの凸レンズ２に対応する区切られた焦点面
内にこのレンズ以外を通過した光）は入らない。この結
果、焦点面の１点に入射する光は、検査面から一定の方
向に回析された光だけとなる。そしてこの作用は、走査
位置に無関係で、単一レンズによる静止回析パターンに
相当するものが得られる。
矢印９方向に移動させて光を矢印９方向と直角に板材７
の表面に照射すると、第１〜３図の点線で示す光（つま
り、ある一つの凸レンズ２に対応する区切られた焦点面
内にこのレンズ以外を通過した光）は入らない。この結
果、焦点面の１点に入射する光は、検査面から一定の方
向に回析された光だけとなる。そしてこの作用は、走査
位置に無関係で、単一レンズによる静止回析パターンに
相当するものが得られる。
すなわち、本発明の表面検査装置の作用を説明する第２
図において、正反射方向（０次回析方向）に対してθ1
の角度で回析した光は、光が左端のＳ11〜Ｓ14と進むと
きに焦点面10の点Ｐ1に集光されるが、これを過ぎると
Ｓ24までは隣の凸レンズ２で点Ｐ2に集光される。この
ように、各凸レンズ２の焦点面上の対応する点（つまり
各凸レンズ２の焦点面をその中心で重ね合わせたとき一
致する点）には、板材７の表面から同じ角度で回析され
た光が集まる。従って、各凸レンズ２の焦点面の対応す
る位置を同一視すると、第16図の従来の単一レンズによ
るものと同じ回析パターンが得られる。
図において、正反射方向（０次回析方向）に対してθ1
の角度で回析した光は、光が左端のＳ11〜Ｓ14と進むと
きに焦点面10の点Ｐ1に集光されるが、これを過ぎると
Ｓ24までは隣の凸レンズ２で点Ｐ2に集光される。この
ように、各凸レンズ２の焦点面上の対応する点（つまり
各凸レンズ２の焦点面をその中心で重ね合わせたとき一
致する点）には、板材７の表面から同じ角度で回析され
た光が集まる。従って、各凸レンズ２の焦点面の対応す
る位置を同一視すると、第16図の従来の単一レンズによ
るものと同じ回析パターンが得られる。
さらに、例えば点Ｐ3に着目すると、板材７から正反射
方向とθ2またはθ3の角度で反射した光は、仕切板３が
もしなければ点線で示すように点Ｐ3に到達してしま
う。仕切板３はこれらの光を遮断することで上述のよう
に焦点面の一点に入射した光を検査面から一定の方向に
回析された光に限定する。
方向とθ2またはθ3の角度で反射した光は、仕切板３が
もしなければ点線で示すように点Ｐ3に到達してしま
う。仕切板３はこれらの光を遮断することで上述のよう
に焦点面の一点に入射した光を検査面から一定の方向に
回析された光に限定する。
次に、第３図は０次回析方向に対してθ〜θ＋φの範囲
の光が走査位置の移動でどう集光されるかを示す図であ
る。
の光が走査位置の移動でどう集光されるかを示す図であ
る。
第３図において、点Ａ，Ｂからのθ〜θ＋φの範囲の光
は焦点面の点Ｐ1からＱ1に集まる。点Ｃでは一部が隣接
凸レンズ２の焦点面のＰ1からＲ1の範囲に集まり、他は
第２のレンズのＲ2からＱ2の範囲に集まる。ここで、Ｐ
1とＰ2，Ｑ1とＱ2，Ｒ1とＲ2は、それぞれ第１のレンズ
と第２のレンズの対応する位置である。したがって、第
１，第２のレンズにまたがった回析光は、互いに補い合
い、合せるとＰ1，Ｑ1またはＰ2，Ｑ2に集まるのと同じ
ことになる。したがって、θからθ＋φの範囲の回析光
を集めるには、各レンズの焦点面の対応するＰiからＱi
の範囲の光を集めればよい（注：点線で示す方向への回
析光は、仕切板３で阻止されてＰiからＱiの範囲に入ら
ない）。ここでｉは各レンズに付けた番号に相当する。
は焦点面の点Ｐ1からＱ1に集まる。点Ｃでは一部が隣接
凸レンズ２の焦点面のＰ1からＲ1の範囲に集まり、他は
第２のレンズのＲ2からＱ2の範囲に集まる。ここで、Ｐ
1とＰ2，Ｑ1とＱ2，Ｒ1とＲ2は、それぞれ第１のレンズ
と第２のレンズの対応する位置である。したがって、第
１，第２のレンズにまたがった回析光は、互いに補い合
い、合せるとＰ1，Ｑ1またはＰ2，Ｑ2に集まるのと同じ
ことになる。したがって、θからθ＋φの範囲の回析光
を集めるには、各レンズの焦点面の対応するＰiからＱi
の範囲の光を集めればよい（注：点線で示す方向への回
析光は、仕切板３で阻止されてＰiからＱiの範囲に入ら
ない）。ここでｉは各レンズに付けた番号に相当する。
なお、本明細書に添付した図面では、レンズは主平面が
一つであり、非点収差はないとして作図している。
一つであり、非点収差はないとして作図している。
また、第１図において、空間フィルタ４は各レンズに対
応する焦点面にあり、且つ、この面内の透過率を変えて
あり、透過光は各レンズに対応して置かれた光電子増倍
管５に入る。そして、空間フィルタ４は、この光電子増
倍管５に入る光量を回析角に応じて調整する作用、すな
わち光の空間周波数に関するフィルタリングを行う。例
えば第４図に示す板材７の地肌による回析パターン11の
ネガフィルムを空間フィルタとすれば、これに対する欠
陥による回析パターンの相異分が光電子増倍管５に導か
れて欠陥による電気信号となる。
応する焦点面にあり、且つ、この面内の透過率を変えて
あり、透過光は各レンズに対応して置かれた光電子増倍
管５に入る。そして、空間フィルタ４は、この光電子増
倍管５に入る光量を回析角に応じて調整する作用、すな
わち光の空間周波数に関するフィルタリングを行う。例
えば第４図に示す板材７の地肌による回析パターン11の
ネガフィルムを空間フィルタとすれば、これに対する欠
陥による回析パターンの相異分が光電子増倍管５に導か
れて欠陥による電気信号となる。
第５図は本発明の表面検査装置の他の実施例を示す。
第５図において、空間フィルタ４の上部には、光電変換
器として長方形の受光面のある平板状の半導体光センサ
５Ａが取り付けられている。
器として長方形の受光面のある平板状の半導体光センサ
５Ａが取り付けられている。
この場合には、複数個の空間フィルタを通過した光をこ
の単一のセンサで電気信号にするので、第１図のような
加算回路６が要らないだけでなく、装置の高さを抑える
ことができる。
の単一のセンサで電気信号にするので、第１図のような
加算回路６が要らないだけでなく、装置の高さを抑える
ことができる。
第６図は本発明の表面検査装置の異なる他の実施例を示
し、空間フィルタ４の上部には光導棒12が設けられ、こ
の光導棒12の左右には光電子増倍管15Ａ，15Ｂが設けら
れている。
し、空間フィルタ４の上部には光導棒12が設けられ、こ
の光導棒12の左右には光電子増倍管15Ａ，15Ｂが設けら
れている。
この場合には、第５図と同じ効果がある他、応答の早い
光電子増倍管が使えて高速走査ができるので、高速ライ
ンの対象物の検査ができる利点がある。
光電子増倍管が使えて高速走査ができるので、高速ライ
ンの対象物の検査ができる利点がある。
第７図は本発明の表面検査装置の更に異なる他の実施例
を示し、空間フィルタ４の上部にはハンドルファイバ13
の下端が配設され、上側端は光電子増倍管５に接続され
ている。
を示し、空間フィルタ４の上部にはハンドルファイバ13
の下端が配設され、上側端は光電子増倍管５に接続され
ている。
この場合は、第６図と同じ効果があるとともに、光電子
増倍管５の取付位置が自由になる利点がある。
増倍管５の取付位置が自由になる利点がある。
第８図は本発明の表面検査装置の更に異なる他の実施例
を示し、空間フィルタ４の上部には下端に複数の光導入
口のあるハンドルファイバ13Ａ，13Ｂが設けられ、この
ハンドルファイバ13Ａ，13Ｂの上端は光電子増倍管５
Ａ，５Ｂに接続されている。そして、各ハンドルファイ
バの入口は、各レンズ２の焦点面の所望の回析光成分が
到達する位置に置かれ、点点で示す０次回析光とその周
りの回析光と斜線で示す上記以外の回析光とを分けて捕
えるように配置され、それぞれ束ねられている。この場
合には、光電増倍管５Ａ，５Ｂの出力は二つの異なる回
析光成分の変化をとらえるので、これを解析することで
表面欠陥の性状を検知できる利点がある。
を示し、空間フィルタ４の上部には下端に複数の光導入
口のあるハンドルファイバ13Ａ，13Ｂが設けられ、この
ハンドルファイバ13Ａ，13Ｂの上端は光電子増倍管５
Ａ，５Ｂに接続されている。そして、各ハンドルファイ
バの入口は、各レンズ２の焦点面の所望の回析光成分が
到達する位置に置かれ、点点で示す０次回析光とその周
りの回析光と斜線で示す上記以外の回析光とを分けて捕
えるように配置され、それぞれ束ねられている。この場
合には、光電増倍管５Ａ，５Ｂの出力は二つの異なる回
析光成分の変化をとらえるので、これを解析することで
表面欠陥の性状を検知できる利点がある。
さらに、ハンドルファイバの数を増やせば、二つ以上の
複数の回析光成分を分離検知できる。なお、このときは
空間フィルタはなくてもよい。
複数の回析光成分を分離検知できる。なお、このときは
空間フィルタはなくてもよい。
第９図は本発明の表面検査装置の更に異なる他の実施例
を示し、レンズ２の上部には、上部がほぼ焦点面となる
ように光導棒12が横に設けられ、斜線で示す所望の回析
光成分が到達する部分だけ光拡散部12aを設け、ここで
の拡散光を左右の光電増倍管５Ａ，５Ｂに導くもので、
等価的にバンドパスフィルタが形成される。第10図(a)
は第９図(a)の光拡散部12aの拡大平面図、第10図(b)は
第10図(a)の右側面図である。
を示し、レンズ２の上部には、上部がほぼ焦点面となる
ように光導棒12が横に設けられ、斜線で示す所望の回析
光成分が到達する部分だけ光拡散部12aを設け、ここで
の拡散光を左右の光電増倍管５Ａ，５Ｂに導くもので、
等価的にバンドパスフィルタが形成される。第10図(a)
は第９図(a)の光拡散部12aの拡大平面図、第10図(b)は
第10図(a)の右側面図である。
第10図(c)(d)は光導棒の軸と直角方向に拡散部のある部
分とない部分を設けることで、Ｙ（板材の移動）方向の
空間周波数のバンドパスも実現できることを示す。
分とない部分を設けることで、Ｙ（板材の移動）方向の
空間周波数のバンドパスも実現できることを示す。
第11図は本発明の表面検査装置の更に異なる他の実施例
を示し、各レンズ２と空間フィルタ４Ａ間に設けた半透
過鏡14の透過光を上方の空間フィルタ４Ａに、反射光を
前面の空間フィルタ４Ｂにそれぞれ導いて終端部の平板
状の光電変換器５Ｃ，５Ｄで電気信号に変えるもので、
二種の空間フィルタリングで欠陥の種別を識別し易くし
たものである。
を示し、各レンズ２と空間フィルタ４Ａ間に設けた半透
過鏡14の透過光を上方の空間フィルタ４Ａに、反射光を
前面の空間フィルタ４Ｂにそれぞれ導いて終端部の平板
状の光電変換器５Ｃ，５Ｄで電気信号に変えるもので、
二種の空間フィルタリングで欠陥の種別を識別し易くし
たものである。
第12図は上記二種の空間フィルタの例を示し、(a)は０
次光近傍の光を集め、(b)はＹ方向の０次近くを除いた
Ｘ軸方向の回析光を集めたものである。
次光近傍の光を集め、(b)はＹ方向の０次近くを除いた
Ｘ軸方向の回析光を集めたものである。
第13図は本発明の表面検査装置の更に異なる他の実施例
を示し、第12図の半透過鏡14の上部と前面に光導棒12
Ａ，12Ｂを配置し、前面の光導棒12Ｂも前面がほぼ焦点
面に相当する位置になるよう設けられている。
を示し、第12図の半透過鏡14の上部と前面に光導棒12
Ａ，12Ｂを配置し、前面の光導棒12Ｂも前面がほぼ焦点
面に相当する位置になるよう設けられている。
この場合も第９図と同じく拡散部を所望の回析パターン
成分の到達する部分にして、バンドパスフィルタを等価
的に形成できる。
成分の到達する部分にして、バンドパスフィルタを等価
的に形成できる。
第14図は本発明の表面検査装置の更に異なる他の実施例
を示し、レンズ２の上部には、光導棒12Ａがその上部が
レンズ２の焦点になるように横設され、この光導棒12Ａ
の更に上には光導棒12Ｂが並設されている。
を示し、レンズ２の上部には、光導棒12Ａがその上部が
レンズ２の焦点になるように横設され、この光導棒12Ａ
の更に上には光導棒12Ｂが並設されている。
ここで、光導棒12Ａは回析光のうち特定の成分が入る部
分だけを拡散性とし、これで拡散された光は左右の光電
変換器５Ｈ，５Ｇに導かれる。第14図(a)では斜線で示
す回析光だけが集光される。
分だけを拡散性とし、これで拡散された光は左右の光電
変換器５Ｈ，５Ｇに導かれる。第14図(a)では斜線で示
す回析光だけが集光される。
また、光導棒12Ｂは光導棒12Ａの透過光を集めて、左右
の光電変換器５Ｅ，５Ｆに導く。この結果回析光の異な
る二成分が別々に集められて光電変換器５Ｅ〜５Ｈで電
気信号に変換される。
の光電変換器５Ｅ，５Ｆに導く。この結果回析光の異な
る二成分が別々に集められて光電変換器５Ｅ〜５Ｈで電
気信号に変換される。
第15図は、第14図の光導棒12Ａと12Ｂとの間にアクリル
樹脂の透明な棒14を設けて光導棒12Ａの透過光を効率よ
く集光したものである。なお、ここでこの棒14の代りに
シリンドリカルレンズを使ってもよい。
樹脂の透明な棒14を設けて光導棒12Ａの透過光を効率よ
く集光したものである。なお、ここでこの棒14の代りに
シリンドリカルレンズを使ってもよい。
［発明の効果］ 以下、本発明によれば、板材表面に光走査器で照射した
レーザ光の回析光を凸レンズで集光し、この光を空間フ
ィルタまたは空間フィルタ相当の機能の機構を経て光電
変換器に導いて板材表面の欠陥を検査する表面検査装置
において、上記凸レンズを光走査方向に複数枚並べたレ
ンズ列とし、このレンズ列と空間フィルタ間の各レンズ
間とレンズ列の両端に、縦に光を反射・透過させない仕
切板を設けたので、幅の狭いレンズで広幅の板材の表面
欠陥を容易に検査することのできる表面検査装置を得る
ことができる。
レーザ光の回析光を凸レンズで集光し、この光を空間フ
ィルタまたは空間フィルタ相当の機能の機構を経て光電
変換器に導いて板材表面の欠陥を検査する表面検査装置
において、上記凸レンズを光走査方向に複数枚並べたレ
ンズ列とし、このレンズ列と空間フィルタ間の各レンズ
間とレンズ列の両端に、縦に光を反射・透過させない仕
切板を設けたので、幅の狭いレンズで広幅の板材の表面
欠陥を容易に検査することのできる表面検査装置を得る
ことができる。
第１図は本発明の表面検査装置の一実施例を示す図、第
２図から第４図は本発明の表面検査装置の作用を示す説
明図、第５図から第15図は本発明の表面検査装置の他の
実施例を示す図、第16図は従来の表面検査装置を示す図
である。 １…光走査器 ２…レンズ ３…仕切板 ４…空間フィルタ ５…光電変換器 ７…板材
２図から第４図は本発明の表面検査装置の作用を示す説
明図、第５図から第15図は本発明の表面検査装置の他の
実施例を示す図、第16図は従来の表面検査装置を示す図
である。 １…光走査器 ２…レンズ ３…仕切板 ４…空間フィルタ ５…光電変換器 ７…板材
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−82142（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−75236（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−75235（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−223607（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−144050（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−80885（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−75234（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】検査対象面に光走査器で照射したレーザ光
の回析光を前記検査対象面と平行に設けられた凸レンズ
で集光し、この光を空間フィルタを経て光電変換器に導
いて前記検査対象面の欠陥を検査する表面検査装置にお
いて、 前記凸レンズを前記光走査器の走査方向に複数枚並べた
レンズ列とし、このレンズ列と前記空間フィルタ間の前
記複数のレンズ間と前記レンズ列の両端に前記レンズ列
のレンズ面と直角に前記回析光の横断を阻止する仕切板
を設けたことを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63233647A JPH0641923B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 表面検査装置 |
| EP89117323A EP0360232B1 (en) | 1988-09-20 | 1989-09-19 | A surface inspection apparatus |
| KR1019890013455A KR920009801B1 (ko) | 1988-09-20 | 1989-09-19 | 표면검사장치 |
| DE68916351T DE68916351T2 (de) | 1988-09-20 | 1989-09-19 | Gerät zur Oberflächenprüfung. |
| US07/409,073 US5074668A (en) | 1988-09-20 | 1989-09-19 | Surface inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63233647A JPH0641923B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0282142A JPH0282142A (ja) | 1990-03-22 |
| JPH0641923B2 true JPH0641923B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=16958320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63233647A Expired - Lifetime JPH0641923B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 表面検査装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5074668A (ja) |
| EP (1) | EP0360232B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0641923B2 (ja) |
| KR (1) | KR920009801B1 (ja) |
| DE (1) | DE68916351T2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5616046B2 (ja) * | 2009-10-15 | 2014-10-29 | 日本電産コパル電子株式会社 | フライングスポット方式の表面あるいは内層検査装置 |
| BR112014014823A2 (pt) * | 2011-12-20 | 2017-06-13 | 3M Innovative Properties Co | sensor para medir a não uniformidade da superfície |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE732855C (de) * | 1940-01-04 | 1943-03-13 | Siemens Ag | Lichtelektrische Einrichtung zum Feststellen von Loechern in lichtdurchlaessigen Werkstoffbahnen, z. B. aus weissem lichtdurchlaessigen Papier |
| US3612702A (en) * | 1969-09-09 | 1971-10-12 | Iris Corp | Web defect determination by laser beam irradiation and reflected light examination |
| FR2076193A5 (ja) * | 1970-01-06 | 1971-10-15 | Commissariat Energie Atomique | |
| DE2208372A1 (de) * | 1971-02-24 | 1972-09-07 | Columbia Research Corp., Gaithersburg, Md. (V.St.A.) | Vorrichtung zur Ermittlung von Fehlerstellen in dünnen Blechen oder Folien |
| DE2462346A1 (de) * | 1974-07-12 | 1977-03-03 | Sick Optik Elektronik Erwin | Vorrichtung zur ueberwachung einer materialbahn auf fehlstellen |
| US4260899A (en) * | 1979-06-14 | 1981-04-07 | Intec Corporation | Wide web laser scanner flaw detection method and apparatus |
| US4306808A (en) * | 1979-12-14 | 1981-12-22 | Ford Aerospace & Communications Corp. | Glass flaw inspection system |
| JPS5698634A (en) * | 1980-01-09 | 1981-08-08 | Dainippon Printing Co Ltd | Printed matter testing device |
| US4277178A (en) * | 1980-01-15 | 1981-07-07 | Ford Aerospace & Communications Corp. | Web element concentration detection system |
| JPS5796242A (en) * | 1980-12-06 | 1982-06-15 | Fuji Electric Co Ltd | Detector for defect of sheet-like substance |
| US4522497A (en) * | 1981-06-17 | 1985-06-11 | Ciba Geigy Ag | Web scanning apparatus |
| DE3125189C2 (de) * | 1981-06-26 | 1984-06-14 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Fehlersuchgerät für breite Bahnen |
| DE3334357C2 (de) * | 1983-09-22 | 1986-04-10 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Optisches Fehlersuchgerät für Bahnen |
| JPS6275236A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | Toshiba Corp | 表面検査装置 |
| JPS63182554A (ja) * | 1987-01-23 | 1988-07-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面検査装置 |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP63233647A patent/JPH0641923B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-09-19 KR KR1019890013455A patent/KR920009801B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1989-09-19 EP EP89117323A patent/EP0360232B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-19 US US07/409,073 patent/US5074668A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-19 DE DE68916351T patent/DE68916351T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920009801B1 (ko) | 1992-10-22 |
| EP0360232A3 (en) | 1991-06-05 |
| US5074668A (en) | 1991-12-24 |
| JPH0282142A (ja) | 1990-03-22 |
| EP0360232A2 (en) | 1990-03-28 |
| DE68916351T2 (de) | 1995-02-02 |
| DE68916351D1 (de) | 1994-07-28 |
| KR900005154A (ko) | 1990-04-13 |
| EP0360232B1 (en) | 1994-06-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100322326B1 (ko) | 인렌즈오프엑시스조사기를갖는검사시스템 | |
| EP0500293B1 (en) | Particle detection method and apparatus | |
| US5604585A (en) | Particle detection system employing a subsystem for collecting scattered light from the particles | |
| US4886975A (en) | Surface examining apparatus for detecting the presence of foreign particles on two or more surfaces | |
| US4930896A (en) | Surface structure measuring apparatus | |
| US5805278A (en) | Particle detection method and apparatus | |
| US6124924A (en) | Focus error correction method and apparatus | |
| CA2153774C (en) | Particle detection system with reflective line-to-spot collector | |
| JP3978528B2 (ja) | パターン欠陥検査装置及びレーザ顕微鏡 | |
| US5153428A (en) | Confocal laser scanning microscope having relay lens and a slit for removing stray light | |
| JP3453128B2 (ja) | 光学式走査装置及び欠陥検出装置 | |
| US20020171028A1 (en) | Focus error correction method and apparatus | |
| JPS6273143A (ja) | 光学式ウエブ監視装置 | |
| JPH0641923B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2539182B2 (ja) | 半導体ウエハ上の異物検査方法 | |
| JP3217097B2 (ja) | 高分解能顕微鏡 | |
| US5706081A (en) | Apparatus for inspecting surface defects with regularly reflected light and peripherally scattered light | |
| JPS63173940A (ja) | 光学式欠陥検出装置 | |
| KR0154559B1 (ko) | 결함 레티클 검사장치 및 방법 | |
| JPH0695036A (ja) | 光学素子 | |
| JPH102864A (ja) | 異物検査装置 | |
| JP2000180373A (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
| JP2000136982A (ja) | アレイ素子検査方法およびアレイ素子検査装置 | |
| JPH05332947A (ja) | 表面検査装置及び方法 | |
| JPH0814547B2 (ja) | 表面検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090601 Year of fee payment: 15 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090601 Year of fee payment: 15 |