JPS63182554A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPS63182554A JPS63182554A JP62013461A JP1346187A JPS63182554A JP S63182554 A JPS63182554 A JP S63182554A JP 62013461 A JP62013461 A JP 62013461A JP 1346187 A JP1346187 A JP 1346187A JP S63182554 A JPS63182554 A JP S63182554A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N2021/8909—Scan signal processing specially adapted for inspection of running sheets
- G01N2021/8912—Processing using lane subdivision
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、連続走行するウェブなどのような被検査体の
表面に存在する欠陥部分を光電検出して評価するための
表面検査装置に関するものである。
表面に存在する欠陥部分を光電検出して評価するための
表面検査装置に関するものである。
フィルム、紙、薄板などのような連続走行するシート状
物の表面に存在する欠陥を検出するために種々の表面検
査装置が知られており、これらの装置によって製品や半
製品の品質管理が行われている。
物の表面に存在する欠陥を検出するために種々の表面検
査装置が知られており、これらの装置によって製品や半
製品の品質管理が行われている。
こうした表面検査装置の中でも、被検査体の表面にレー
ザによる走査光を照射してその反射光や透過光を受光器
により光電検出し、この光電検出出力によって表面欠陥
の有無を評価するようにしたものは、無接触でしかも高
速で検査できるため製造ラインなどには多く採用されて
きている。
ザによる走査光を照射してその反射光や透過光を受光器
により光電検出し、この光電検出出力によって表面欠陥
の有無を評価するようにしたものは、無接触でしかも高
速で検査できるため製造ラインなどには多く採用されて
きている。
このような光電式の表面検査装置としては、例えば特公
昭５６−３９４１９号公報で知られるものがある。ここ
に示された表面検査装置では、走査光の１走査ごとに欠
陥信号及びその位置情報を各々のメモリあるいはシフト
レジスタに格納してゆき、数走査分のデータがたまった
ところでこれらのデータをコンピュータに出力して欠陥
の評価を行うようにしている。
昭５６−３９４１９号公報で知られるものがある。ここ
に示された表面検査装置では、走査光の１走査ごとに欠
陥信号及びその位置情報を各々のメモリあるいはシフト
レジスタに格納してゆき、数走査分のデータがたまった
ところでこれらのデータをコンピュータに出力して欠陥
の評価を行うようにしている。
しかしながら、上記公報に示されたような従来の表面検
査装置では、光電検出される欠陥信号を１走査ごとに各
々のメモリに記憶してゆくことから、記憶できる最大の
走査本数は使用するメモリの段数によって制限される。
査装置では、光電検出される欠陥信号を１走査ごとに各
々のメモリに記憶してゆくことから、記憶できる最大の
走査本数は使用するメモリの段数によって制限される。
したがって、例えば１秒あたり３０００回の走査を行う
装置では、３０００個のメモリを使ったとしても１秒分
のデータしか記憶できず、ウェブなどの被検査体の走行
速度が１分あたり６０ｍであるときには１ｍ分の情報し
か記憶することができない。また、これとは逆に、被検
査体の走行速度が低速であるときには、所定の送り長さ
中の検査データを記憶する場合には、走査回数に応じて
大量のメモリが必要となってくる。
装置では、３０００個のメモリを使ったとしても１秒分
のデータしか記憶できず、ウェブなどの被検査体の走行
速度が１分あたり６０ｍであるときには１ｍ分の情報し
か記憶することができない。また、これとは逆に、被検
査体の走行速度が低速であるときには、所定の送り長さ
中の検査データを記憶する場合には、走査回数に応じて
大量のメモリが必要となってくる。
本発明はこのような従来技術の欠点に鑑みてなされたも
ので、受光器からの検査出力を記憶するだめのメモリ数
を節約し、構成が簡単で安価な表面検査装置を提供する
ことを目的とする。
ので、受光器からの検査出力を記憶するだめのメモリ数
を節約し、構成が簡単で安価な表面検査装置を提供する
ことを目的とする。
本発明は上記目的を達成するために、受光器から出力さ
れる検査出力を、被検査体が予め設定された単位長さ進
むまでの間（この間の光走査回数をＮ回とする）、これ
を被検査体の幅方向に分割されたレーンごとに第１記憶
手段に加算して記憶してゆくようにしている。そして、
Ｎ回の走査が行われた後、前記第１記憶手段から得られ
る検査データを、スイッチング手段を介して第２記憶手
段に転送し、こうして第２記憶手段に送られた検査デー
タをコンピュータで代表される評価手段によって読み取
り、解析するようになっている。
れる検査出力を、被検査体が予め設定された単位長さ進
むまでの間（この間の光走査回数をＮ回とする）、これ
を被検査体の幅方向に分割されたレーンごとに第１記憶
手段に加算して記憶してゆくようにしている。そして、
Ｎ回の走査が行われた後、前記第１記憶手段から得られ
る検査データを、スイッチング手段を介して第２記憶手
段に転送し、こうして第２記憶手段に送られた検査デー
タをコンピュータで代表される評価手段によって読み取
り、解析するようになっている。
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
本発明を用いた表面検査装置の基本構成を概略的に示し
た第１図において、被検査体であるウェブ１は矢印２方
向に走行され、その表面には図中布から左へ向かって走
査される走査光３が照射される。この走査光３は、レー
ザ光源４がらのレーザ光をレンズ５で収斂させながら、
回転多面鏡６に入射させることによって得られる。この
回転多面鏡６は、ドライバ９によって駆動される。
た第１図において、被検査体であるウェブ１は矢印２方
向に走行され、その表面には図中布から左へ向かって走
査される走査光３が照射される。この走査光３は、レー
ザ光源４がらのレーザ光をレンズ５で収斂させながら、
回転多面鏡６に入射させることによって得られる。この
回転多面鏡６は、ドライバ９によって駆動される。
ウェブ１の表面で反射された検査光は、受光器１０で受
光される。受光器１０は検査光の強度に比例した光電信
号を出力し、フィルタ回路１１へと供給される。フィル
タ回路１１は光電信号に含まれるノイズ成分を除去し、
これを２値化回路１２に供給する。２値化回路１２は予
め設定されたスレッシュホールドレベルによって光電信
号を２値化し、■走査期間中に欠陥が検出されたときに
は第２図に■で示したようなパルス状の検査出力をメモ
リインターフェイス１５に入力する。
光される。受光器１０は検査光の強度に比例した光電信
号を出力し、フィルタ回路１１へと供給される。フィル
タ回路１１は光電信号に含まれるノイズ成分を除去し、
これを２値化回路１２に供給する。２値化回路１２は予
め設定されたスレッシュホールドレベルによって光電信
号を２値化し、■走査期間中に欠陥が検出されたときに
は第２図に■で示したようなパルス状の検査出力をメモ
リインターフェイス１５に入力する。
走査光が基点位置にきたことを検出するために、ホトデ
テクタ１６が設けられている。このホトデテクタ１６に
走査光が照射されると、この信号を受けて、検査幅発生
回路１７は第２図に示したような検査幅信号■をメモリ
インターフェイス１５に入力する。また、ホトデテクタ
１６がらの信号は、レーン分割信号発生回路１８にも供
給される。
テクタ１６が設けられている。このホトデテクタ１６に
走査光が照射されると、この信号を受けて、検査幅発生
回路１７は第２図に示したような検査幅信号■をメモリ
インターフェイス１５に入力する。また、ホトデテクタ
１６がらの信号は、レーン分割信号発生回路１８にも供
給される。
このレーン分割信号発生回路１８は、この入力パルスか
ら回転多面鏡６の回転に同期したレーン分割信号■をメ
モリインターフェイス１５に供給する。こうして得られ
るレーン分割信号■は、後述するようにレーンマークパ
ルス制御回路３１（第４図）に入力され、ウェブ１の幅
方向をレーンに細分し検査出力■のパルスがウェブ１の
幅方向においてどの位置にあるかを位置づけするための
レーンマークパルス■の発生に用いられる。
ら回転多面鏡６の回転に同期したレーン分割信号■をメ
モリインターフェイス１５に供給する。こうして得られ
るレーン分割信号■は、後述するようにレーンマークパ
ルス制御回路３１（第４図）に入力され、ウェブ１の幅
方向をレーンに細分し検査出力■のパルスがウェブ１の
幅方向においてどの位置にあるかを位置づけするための
レーンマークパルス■の発生に用いられる。
メモリインターフェイス１５は、基本的に第３図に示し
たように構成されており、２値化回路１２からの検査出
力■はＯＲ回路２ｏを介して第１メモリ２１に供給され
る。第１メモリ２１は、■走査分の検査出力■を記憶し
、次の１走査分の検査出力■が入力されたときには、前
回までに記憶されていたデータは、スイッチング回路２
２を経てＯＲ回路２０に戻され、新たな検査出力■とと
もに再び第１メモリ２１に加算して記憶されるようにな
る。したがって、Ｎ回の光走査期間中に、いずれかのレ
ーンについて欠陥ありとする「１」のデータが第１シフ
トレジスタ３２に入力されると、次回の光走査でそのレ
ーンに欠陥なしの「０」のデータが入力されたとしても
、前回の「１」がそのまま保存されるようになる。
たように構成されており、２値化回路１２からの検査出
力■はＯＲ回路２ｏを介して第１メモリ２１に供給され
る。第１メモリ２１は、■走査分の検査出力■を記憶し
、次の１走査分の検査出力■が入力されたときには、前
回までに記憶されていたデータは、スイッチング回路２
２を経てＯＲ回路２０に戻され、新たな検査出力■とと
もに再び第１メモリ２１に加算して記憶されるようにな
る。したがって、Ｎ回の光走査期間中に、いずれかのレ
ーンについて欠陥ありとする「１」のデータが第１シフ
トレジスタ３２に入力されると、次回の光走査でそのレ
ーンに欠陥なしの「０」のデータが入力されたとしても
、前回の「１」がそのまま保存されるようになる。
こうして第１メモリ２１が上記の加算記憶をＮ回まで繰
り返したときには、スイッチング回路２２にスイッチン
グ信号が入力される。これによりスイッチング回路２２
が切り替わり、それまでに第１メモリ２１に加算されて
いた検査データは第２メモリ２３に転送される。この第
２メモリ２３は、これに接続されたコンピュータ８の解
析データの格納部として用いられ、この検査データの転
送が終わるとスイッチング回路２２は再び図示の接続位
置に切り替えられる。したがって、第２メモリ２３内の
検査データがコンピュータ８によって読み出され、欠陥
の評価が行われている間には、次の光走査による検査出
力■は第１メモリ２１に順次に加算して記憶されてゆく
。なお、エンコーダ５０からのラインスピードパルスは
コンピュータ８に入力され、コンピュータ８はこの信号
により予め設定されたデータセル、すなわち検査の単位
長さの通過を検知し、後述のリクエスト信号■を出力す
る。したがって、第１メモリ２１での加算回数Ｎは、検
査の単位長さくデータセル）を光走査した回数に相当す
る。
り返したときには、スイッチング回路２２にスイッチン
グ信号が入力される。これによりスイッチング回路２２
が切り替わり、それまでに第１メモリ２１に加算されて
いた検査データは第２メモリ２３に転送される。この第
２メモリ２３は、これに接続されたコンピュータ８の解
析データの格納部として用いられ、この検査データの転
送が終わるとスイッチング回路２２は再び図示の接続位
置に切り替えられる。したがって、第２メモリ２３内の
検査データがコンピュータ８によって読み出され、欠陥
の評価が行われている間には、次の光走査による検査出
力■は第１メモリ２１に順次に加算して記憶されてゆく
。なお、エンコーダ５０からのラインスピードパルスは
コンピュータ８に入力され、コンピュータ８はこの信号
により予め設定されたデータセル、すなわち検査の単位
長さの通過を検知し、後述のリクエスト信号■を出力す
る。したがって、第１メモリ２１での加算回数Ｎは、検
査の単位長さくデータセル）を光走査した回数に相当す
る。
メモリインターフェイス１５の一実施例を示す第４図に
おいて、２値化回路１２からの検査出力■は、欠陥信号
レーン分割回路３０に供給されてゆく。このとき、欠陥
信号レーン分割回路３０には、レーンマークパルス制御
回路３１から光走査と同期したレーンマーククロック■
が供給され、検査出力■はレーンマーククロック■の入
力ごとに、次のレーン位置の信号■としてＯＲ回路２０
を通り、第１シフトレジスタ３２に送り込まれる。
おいて、２値化回路１２からの検査出力■は、欠陥信号
レーン分割回路３０に供給されてゆく。このとき、欠陥
信号レーン分割回路３０には、レーンマークパルス制御
回路３１から光走査と同期したレーンマーククロック■
が供給され、検査出力■はレーンマーククロック■の入
力ごとに、次のレーン位置の信号■としてＯＲ回路２０
を通り、第１シフトレジスタ３２に送り込まれる。
レーンマーククロック■は、１回の光走査の間に第１シ
フトレジ゛スタ３２のビット数と同数のパルスを発生す
るから、２回目の光走査が開始されると、第１シフトレ
ジスタ３２からの出力は、図示位置に接続されているス
イッチング回路２２を経て再びＯＲ回路２０に戻される
。
フトレジ゛スタ３２のビット数と同数のパルスを発生す
るから、２回目の光走査が開始されると、第１シフトレ
ジスタ３２からの出力は、図示位置に接続されているス
イッチング回路２２を経て再びＯＲ回路２０に戻される
。
この２回目の光走査によってＯＲ回路２０に供給されて
くる検査出力■のレーン位置と、スイッチング回路２２
を経て再びＯＲ回路２０に戻されてくる検査データ■の
レーン位置とは一致するから、２回目以降の光走査を繰
り返してゆく内には、第１シフトレジスタ３２の各々の
ビット位置にはレーン位置ごとに検査出力■が加算され
てゆ（ようになる。したがって、Ｎ回の光走査期間中に
、いずれかのレーンについて欠陥ありとする「１」のデ
ータが第１シフトレジスタ３２に入力されると、次回の
光走査でそのレーンに欠陥なしの「０」のデータが入力
されたとしても、前回の「１」がそのまま保存されるよ
うになる。
くる検査出力■のレーン位置と、スイッチング回路２２
を経て再びＯＲ回路２０に戻されてくる検査データ■の
レーン位置とは一致するから、２回目以降の光走査を繰
り返してゆく内には、第１シフトレジスタ３２の各々の
ビット位置にはレーン位置ごとに検査出力■が加算され
てゆ（ようになる。したがって、Ｎ回の光走査期間中に
、いずれかのレーンについて欠陥ありとする「１」のデ
ータが第１シフトレジスタ３２に入力されると、次回の
光走査でそのレーンに欠陥なしの「０」のデータが入力
されたとしても、前回の「１」がそのまま保存されるよ
うになる。
こうして光走査が続けられてゆく内に、予めウェブ１の
送り方向に設定されたデータセル分の走査が終了した時
点（Ｎ回の光走査が終了した時点）で、コンピュータ８
からデータ読み出しタイミング制御回路３４にリクエス
ト信号■が出力される。これによりデータ読み出しタイ
ミング制御回路３４は、リクエスト信号■の入力後、次
の検査幅信号■の立ち上がりに同期したゲート幅信号■
と、このゲート幅信号■から１走査分遅れたレディ信号
■とを生成する。
送り方向に設定されたデータセル分の走査が終了した時
点（Ｎ回の光走査が終了した時点）で、コンピュータ８
からデータ読み出しタイミング制御回路３４にリクエス
ト信号■が出力される。これによりデータ読み出しタイ
ミング制御回路３４は、リクエスト信号■の入力後、次
の検査幅信号■の立ち上がりに同期したゲート幅信号■
と、このゲート幅信号■から１走査分遅れたレディ信号
■とを生成する。
前記ゲート幅信号■がスイッチング回路２２゜３６に出
力されると、その信号期間中は各々のスイッチング回路
２２．３６が図示位置から切り替わる。この結果、Ｎ回
の走査期間中に第１シフトレジスタ３２で加算して記憶
された検査データ■は、レーンマーククロック■ごとに
第２シフトレジスタ３７に転送されるようになる。この
転送の間にも、新しい検査出力■は第１シフトレジスタ
３２に供給されてくるが、これは第１シフトレジスタ３
２の空ビツト位置に順次に記憶されてゆくから、情報漏
れは生じることがない。
力されると、その信号期間中は各々のスイッチング回路
２２．３６が図示位置から切り替わる。この結果、Ｎ回
の走査期間中に第１シフトレジスタ３２で加算して記憶
された検査データ■は、レーンマーククロック■ごとに
第２シフトレジスタ３７に転送されるようになる。この
転送の間にも、新しい検査出力■は第１シフトレジスタ
３２に供給されてくるが、これは第１シフトレジスタ３
２の空ビツト位置に順次に記憶されてゆくから、情報漏
れは生じることがない。
検査データ■が第１シフトレジスタ３２から第２シフト
レジスタ３７に転送し終わった時点で、ゲート幅信号■
の発生期間が終了する。これによリスイツチング回路２
２．３６は図示位置に復帰する。また、コンピュータ８
はレディ信号■の期間中だけ読み込みパルス［相］を発
生し、これがスイッチング回路３６を介して第２シフト
レジスタ３７に供給される。したがって、コンピュータ
８は第２シフトレジスタ３７から送り出される検査デー
タ■を順次に読み取ってゆ（。そして、コンピュータ８
は読み取られた検査データ■に基づいて、各レーンにお
ける欠陥部の分布を評価する。この評価の結果はデータ
セルの位置情報とともにプリンタ４０でプリントアウト
され、そのデータセル中分については不良品として判別
できる。
レジスタ３７に転送し終わった時点で、ゲート幅信号■
の発生期間が終了する。これによリスイツチング回路２
２．３６は図示位置に復帰する。また、コンピュータ８
はレディ信号■の期間中だけ読み込みパルス［相］を発
生し、これがスイッチング回路３６を介して第２シフト
レジスタ３７に供給される。したがって、コンピュータ
８は第２シフトレジスタ３７から送り出される検査デー
タ■を順次に読み取ってゆ（。そして、コンピュータ８
は読み取られた検査データ■に基づいて、各レーンにお
ける欠陥部の分布を評価する。この評価の結果はデータ
セルの位置情報とともにプリンタ４０でプリントアウト
され、そのデータセル中分については不良品として判別
できる。
なお、第２シフトレジスタ３７に検査データ■を転送し
た後には、スイッチング回路２２によって第２シフトレ
ジスタ３７は第１シフトレジスタ３２から切り離される
ので、次回のリクエスト信号■が発生されるまでの間、
すなわち再びＮ回の光走査が繰り返されるまでの間に、
コンピュータ８は検査データ■の読み取り及びその評価
、さらにプリントアウトなどの処理をゆっくりと行うこ
とができるようになる。また、ウェブ１走行速度が変化
した場合においても、エンコーダ５０からの信号により
、データセルの単位長さが通過し終わるまでリクエスト
信号が出ないので、走査数ＮがＮ゛に変化して第１シフ
トレジスタ３２での加算回数が変わるだけで、欠陥の評
価に対しては影響を与えることがない。
た後には、スイッチング回路２２によって第２シフトレ
ジスタ３７は第１シフトレジスタ３２から切り離される
ので、次回のリクエスト信号■が発生されるまでの間、
すなわち再びＮ回の光走査が繰り返されるまでの間に、
コンピュータ８は検査データ■の読み取り及びその評価
、さらにプリントアウトなどの処理をゆっくりと行うこ
とができるようになる。また、ウェブ１走行速度が変化
した場合においても、エンコーダ５０からの信号により
、データセルの単位長さが通過し終わるまでリクエスト
信号が出ないので、走査数ＮがＮ゛に変化して第１シフ
トレジスタ３２での加算回数が変わるだけで、欠陥の評
価に対しては影響を与えることがない。
以上に説明したように、本発明の表面検査装置によれば
、被検査体表面における欠陥を検査するにあたり、第１
記憶手段と第２記憶手段とをスイッチ手段を介して直列
接続し、Ｎ回の走査ごとに加算し、Ｎ回の光走査が完了
した時点でスイッチング手段を切り替えて第１記憶手段
で加算して得られた検査データを第２記憶手段に転送す
るようにしている。そして、第２記憶手段にＮ回の光走
査ごとに転送された検査データについては、次回のＮ回
の光走査が終わるまでにコンピュータによって読み出し
、評価ができるようになる。したがって、記憶手段の増
設による構造の複雑化やコストアンプを招くことなく、
また光走査の速度や被検査体の送り速度に影響を受ける
ことなく予め設定されたデータセル中の欠陥部分を的確
に把握することができるようになる。
、被検査体表面における欠陥を検査するにあたり、第１
記憶手段と第２記憶手段とをスイッチ手段を介して直列
接続し、Ｎ回の走査ごとに加算し、Ｎ回の光走査が完了
した時点でスイッチング手段を切り替えて第１記憶手段
で加算して得られた検査データを第２記憶手段に転送す
るようにしている。そして、第２記憶手段にＮ回の光走
査ごとに転送された検査データについては、次回のＮ回
の光走査が終わるまでにコンピュータによって読み出し
、評価ができるようになる。したがって、記憶手段の増
設による構造の複雑化やコストアンプを招くことなく、
また光走査の速度や被検査体の送り速度に影響を受ける
ことなく予め設定されたデータセル中の欠陥部分を的確
に把握することができるようになる。
第１図は本発明を用いた表面検査装置の原理構成図であ
る。 第２図は本発明の表面検査装置の各部における信号波形
の概略を示すチャート図である。 第３図は本発明の表面検査装置に用いられるメモリイン
ターフェイスの概念図である。 第４図はメモリインターフェイスの一実施例を示すブロ
ック図である。 １・・・ウェブ ６・・・回転多面鏡 ８・・・コンピュータ ＝１３− １０・・受光器 １５・・メモリインターフェイス １６・・ホトデテクタ ２０・・ＯＲ回路 ２２・・スイッチング回路 ３２・・第１シフトレジスタ ３７・・第２シフトレジスタ。
る。 第２図は本発明の表面検査装置の各部における信号波形
の概略を示すチャート図である。 第３図は本発明の表面検査装置に用いられるメモリイン
ターフェイスの概念図である。 第４図はメモリインターフェイスの一実施例を示すブロ
ック図である。 １・・・ウェブ ６・・・回転多面鏡 ８・・・コンピュータ ＝１３− １０・・受光器 １５・・メモリインターフェイス １６・・ホトデテクタ ２０・・ＯＲ回路 ２２・・スイッチング回路 ３２・・第１シフトレジスタ ３７・・第２シフトレジスタ。
Claims (1)
- （１）投光器からの走査光を連続走行する被検査体に照
射し、その反射光もしくは透過光を受光器で受けて被検
査体の欠陥を検査する表面検査装置において、 前記受光器からの検査出力を前記走査光の走査に同期し
て順次に加算して記憶する第１記憶手段と、この第１記
憶手段に接続され被検査体が予め設定された単位長さ走
行したときに導通されるスイッチング手段と、このスイ
ッチング手段を介して前記第１記憶手段から転送された
前記加算後の検査データを記憶する第２記憶手段と、こ
の第２記憶手段に格納された検査データを読み取り、こ
の検査データに基づいて前記被検査体上に存在する欠陥
を評価する評価手段とから構成されたことを特徴とする
表面検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62013461A JPS63182554A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 表面検査装置 |
| DE3801860A DE3801860C2 (de) | 1987-01-23 | 1988-01-22 | Vorrichtung zur Untersuchung einer Oberfläche eines fortlaufend bewegten Bandmaterials |
| US07/147,710 US4868403A (en) | 1987-01-23 | 1988-01-25 | Surface inspecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62013461A JPS63182554A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63182554A true JPS63182554A (ja) | 1988-07-27 |
Family
ID=11833784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62013461A Pending JPS63182554A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 表面検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JPS63182554A (ja) |
| DE (1) | DE3801860C2 (ja) |
Cited By (1)
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| JPH03134548A (ja) * | 1989-10-19 | 1991-06-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 表面検査装置 |
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- 1988-01-22 DE DE3801860A patent/DE3801860C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-01-25 US US07/147,710 patent/US4868403A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3801860C2 (de) | 1997-04-24 |
| DE3801860A1 (de) | 1988-08-04 |
| US4868403A (en) | 1989-09-19 |
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