KR20080080002A - 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법 Download PDF

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요시유키 이시이
아키히코 하세
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후지필름 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 부착 기구(46)에 있어서 유리 기판(24)에 긴 형상 감광성 웹(22)이 부착되고, 커터 기구(48)에 의해 분리된 감광성 적층체(24a)는 보호 필름이 박리된 후, 검출부(104)로 반송된다. 검출부(104)에서는 유리 기판(24) 또는 감광성 수지층(28)의 전단부가 포토 센서(106)에 의해 검출된 타이밍에서 CCD 카메라(108a, 108b)에 의해 화상이 촬영되고, 촬영된 화상에 기초해서 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 전단부의 부착 위치가 산출된다. 마찬가지로 해서 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 후단부의 부착 위치가 산출된다.
Figure P1020080013195
감광성 적층체

Description

감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}
본 발명은 기판과, 지지체 상에 감광 재료층이 형성된 긴 형상 감광성 웹을 한쌍의 압착 롤러 사이에 송출하고, 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.
예를 들면, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP용 기판은 감광성 수지층(감광 재료층)을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)를 기판 표면에 부착해서 구성된다. 감광성 시트체는 예를 들면, 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광성 수지층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 있다.
이러한 종류의 감광성 시트체의 부착에 사용되는 제조 장치는 통상, 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정의 간격씩 이간시켜서 라미네이션 롤러 사이에 반송함과 아울러, 상기 기판에 부착되는 감광성 수지층의 범위에 대응하는 보호 필름을 박리한 감광성 시트체를 상기 라미네이션 롤러 사이에 반송하는 방식이 채용되고 있다.
예를 들면, 일본 특허 제 3316093 호 공보에 개시되어 있는 제조 장치에서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 롤(1)로부터 감광성 시트체(2)를 풀어서 하프 커터 장치(3)에 공급하고, 감광성 시트체(2)를 구성하는 지지체 상에 적층되어 있는 보호 필름 및 감광성 수지층을 소정의 간격으로 절단한다. 이어서, 보호 필름 제거부(4)에 상기 감광성 시트체(2)를 공급하고, 기판(5)의 부착 범위에 대응하는 보호 필름을 점착 테이프 등을 이용해서 박리한 후, 열압착 롤러(6a, 6b) 사이에 공급한다. 한편, 열압착 롤러(6a, 6b) 사이에는 가열된 기판(5)이 반입되어 보호 필름이 박리됨으로써 노출된 감광성 수지층을 통해 감광성 시트체(2)가 기판(5)의 하면부에 가열 압착된다. 감광성 시트체(2)가 가열 압착된 기판(5)은 열압착 롤러(6a, 6b)로부터 반출된 후, 분리 장치(7)에 공급되어 기판(5) 사이의 감광성 시트체(2)가 절단됨으로써 감광성 적층체가 제조된다.
그런데 감광성 시트체(2)는 가요성의 지지체 상에 감광성 수지층 및 보호 필름을 적층해서 형성한 것이며, 텐션을 부여한 상태로 반송되기 때문에 감광성 시트체(2)에 연장이 발생된다. 특히, 열압착 롤러(6a, 6b)는 감광성 시트체(2)를 가열해서 기판(5)에 부착하기 때문에 열압착 롤러(6a, 6b)의 근방에서의 연장이 크다. 따라서, 감광성 시트체(2)에 대한 기판(5)의 위치를 조정해서 기판(5)의 소정 범위에 보호 필름이 박리된 감광성 수지층을 정확하게 위치 결정해서 부착할 필요가 있다.
또한, 제조된 감광성 적층체는 기판(5)의 소정의 위치에 감광성 시트체(2)가 부착되어 있는지의 여부를 검사할 필요가 있다. 이 경우, 예를 들면, 도 10에 나타 내는 바와 같이, 기판(5)의 전후의 측단부와 감광성 시트체(2)의 측단부의 거리(L1f, L1b)를 측정함과 아울러, 기판(5)의 전단부 및 후단부와 감광성 시트체(2)에 형성된 하프컷부(Hf, Hb)의 거리(L2f, L2b)를 측정하고, 이들 거리(L1f, L1b 및 L2f, L2b)가 허용 범위 내에 있는지의 여부를 판정함으로써 감광성 적층체의 품질 보증을 행하고 있다.
그러나 종래의 검사 방법에서는 기판(5)에 대한 감광성 시트체(2)의 부착 위치를 사람이 계측하고 있었기 때문에 계측에 엄청난 시간을 요할 뿐만 아니라 계측 미스를 야기할 우려가 있어 제조된 모든 감광성 적층체를 효율적이고 또한 확실하게 검사하는 것이 매우 곤란했다.
본 발명은 기판에 부착된 감광 재료층의 위치를 효율적이고 또한 고정밀도로 계측해서 제조된 감광성 적층체의 품질 보증을 행할 수 있는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹을 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착하고, 이어서, 상기 보호 필름으로부터 상기 지지체를 박리함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서,
상기 감광성 적층체를 구성하는 상기 기판의 기판 단부, 또는 상기 기판에 부착된 상기 감광 재료층의 감광 재료층 단부를 검출하는 단부 검출부와,
상기 단부 검출부에 의한 상기 기판 단부 또는 상기 감광 재료층 단부의 검출 타이밍에 따라서 상기 기판 단부 및 상기 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영하는 촬영부와,
상기 촬영부에 의해 촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판에 대한 상기 감광 재료층의 부착 위치를 산출하는 부착 위치 산출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹을 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착하고, 이어서, 상기 보호 필름으로부터 상기 지지체를 박리함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서,
상기 감광성 적층체를 구성하는 상기 기판의 기판 단부, 또는 상기 기판에 부착된 상기 감광 재료층의 감광 재료층 단부를 검출하는 스텝과,
상기 기판 단부 또는 상기 감광 재료층 단부의 검출 타이밍에 따라서 상기 기판 단부 및 상기 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영하는 스텝과,
촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판에 대한 상기 감광 재료층의 부착 위치를 산출하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는 기판 단부 또는 기판에 부착된 감광 재료층의 단부를 검출하고, 그 검출 타이밍에 따라서 기판 단부 및 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영해서 감광 재료층의 기판에 대한 부착 위치를 산출함으로써 제조된 감광성 적층체의 품질 검사를 용이하고 또한 정확하게 행할 수 있다. 또한, 품질 검사의 결 과를 표시함으로써 불량품이 출하되어 버리는 사태를 사전에 회피하는 것이 가능해진다.
첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 명백해질 것이다.
도 1은 본 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조 장치(20)의 개략 구성도이며, 이 제조 장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터 등의 제작 공정에서 소정의 폭 치수로 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사(라미네이트)하는 작업을 행한다.
도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 긴 형상 감광성 웹(22)의 단면도이다. 이 긴 형상 감광성 웹(22)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과, 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 장치(20)는 긴 형상 감광성 웹(22)을 롤 형상으로 권취한 감광성 웹롤(23)을 수용하고, 감광성 웹롤(23)로부터 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출할 수 있는 웹 송출 기구(32)와, 송출된 긴 형상 감광성 웹(22)의 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)의 폭 방향으로 절단할 수 있는 2개소의 경계 부분인 하프컷 부위(가공 부위)(34a, 34b)(도 2 참조)를 형성하는 가공 기구(36)(가공부)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다.
라벨 접착 기구(40)의 하류에는 긴 형상 감광성 웹(22)을 택트(tact) 이송으 로부터 연속 이송으로 변경하기 위한 리저버(reserver) 기구(42)와, 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 박리 기구(44)와, 유리 기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태로 부착 위치에 공급하는 기판 공급 기구(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적으로 부착하는 부착 기구(46)가 배치된다.
부착 기구(46)에 있어서의 부착 위치의 상류 근방에는 하프컷 부위(34a, 34b)를 포함하는 긴 형상 감광성 웹(22)의 화상을 촬영하는 촬영부(47)가 배치된다. 제조 장치(20)는 촬영부(47)에 의해 촬영된 하프컷 부위(34a, 34b)의 화상에 기초해서 부착 기구(46)에 대한 하프컷 부위(34a, 34b)의 위치 어긋남량을 산출하여 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량의 보정을 행한다.
웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 대략 사용이 완료된 긴 형상 감광성 웹(22)의 후단과, 새롭게 사용되는 긴 형상 감광성 웹(22)의 선단을 부착하는 부착대(49)가 배치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웹롤(23)의 권취 어긋남에 의한 폭 방향의 어긋남을 제어하기 위해서 필름 단말 위치 검출기(51)가 배치된다. 여기에서, 필름 단말 위치 조정은 웹 송출 기구(32)를 폭 방향으로 이동시켜서 행하지만 롤러를 조합한 위치 조정 기구를 부설해서 행해도 좋다.
가공 기구(36)는 웹 송출 기구(32)에 수용 권취되어 있는 감광성 웹롤(23)의 롤 직경을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 가공 기구(36)는 거리(M)만큼 이간된 한쌍의 둥근날(52a, 52b)을 구비한다. 둥근날(52a, 52b)은 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 주행해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 사이에 둔 소정의 2개소의 위치에 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조).
도 2에 나타내는 바와 같이, 하프컷 부위(34a, 34b)는 적어도 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)을 절단할 필요가 있고, 실제상, 가요성 베이스 필름(26)까지 절개되도록 둥근날(52a, 52b)의 절개 깊이가 설정된다. 둥근날(52a, 52b)은 회전하는 일 없이 고정된 상태로 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이나 상기 긴 형상 감광성 웹(22) 상을 미끄러지는 일 없이 회전하면서 상기 폭 방향으로 이동해서 상기 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프컷 부위(34a, 34b)는 둥근날(52a, 52b)을 대체해서 예를 들면, 레이저광이나 초음파를 이용한 컷팅 방식 외에 나이프날, 눌러 자르는 날(톰슨날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 좋다.
하프컷 부위(34a, 34b)는 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 부착했을 때, 예를 들면, 상기 유리 기판(24)의 양 단부로부터 각각 10㎜씩 내측으로 들어간 위치로 되도록 설정된다. 또한, 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)은 후술하는 부착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자 형상으로 부착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.
라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 남기기 때문에 하프컷 부위(34b)측의 박리 부분(A)과 하프컷 부위(34a)측의 박리 부분(A)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 좁고 긴 형상으로 구성되어 있고, 예를 들면, 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙 부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미세 점착을 포함함)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양 측, 즉, 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양 단부에 전방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 긴 형상 감광성 웹(22)을 하방으로부터 유지하기 위한 수용대(56)가 승강 가능하게 배치된다.
리저버 기구(42)는 상류측의 긴 형상 감광성 웹(22)의 택트 반송과, 하류측의 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해서 화살표 방향으로 요동 가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다.
리저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 긴 형상 감광성 웹(22)의 송출측의 텐션 변동을 차단하여 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(B)을 제외하고 보호 필름 권취부(64)에 권취된다.
박리 기구(44)의 하류측에는 긴 형상 감광성 웹(22)에 텐션을 부여할 수 있는 텐션 제어 기구(66)가 배치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)의 구동 작용 하에 텐션 댄서(70)가 요동 변위됨으로써 긴 형상 감광성 웹(22)의 텐션을 조정할 수 있다. 또한, 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라서 사용하면 좋고, 삭제할 수도 있다.
기판 공급 기구(45)는 유리 기판(24)을 끼우도록 배치되는 기판 가열부(예를 들면, 히터)(74)와, 이 유리 기판(24)을 화살표(Y) 방향으로 반송하는 반송부(76)와, 유리 기판(24)의 후단부의 정지 위치를 검출하는 정지 위치 검출 센서(78)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리 기판(24)의 온도를 상시 감시하여 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생시킴과 아울러, 이상 정보를 발신해서 이상 유리 기판(24)을 후공정에서 NG 배출, 품질 관리 또는 생산 관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도시하지 않은 에어 부상 플레이트가 배치되어 유리 기판(24)이 부상되어 화살표(Y) 방향으로 반송된다. 유리 기판(24)의 반송은 롤러 컨베이어로도 행할 수 있다.
유리 기판(24)의 온도 측정은 기판 가열부(74) 내 또는 부착 위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정 방법으로서는 접촉식(예를 들면, 열전대) 외에 비접촉식이어도 좋다.
부착 기구(46)는 상하에 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a, 80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b)에는 백업 롤러(82a, 82b)가 슬라이딩 접촉한다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84)에 의해 고무 롤러(80b)측에 가압된다.
유리 기판(24)은 부착 기구(46)로부터 화살표(Y) 방향으로 연장되는 반송로 를 구성하는 복수의 기판 반송 롤러(90a~90d)에 의해 반송된다. 기판 반송 롤러(90b, 90c) 사이에는 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)을 절단함으로써 유리 기판(24)에 감광 재료층이 부착된 감광성 적층체(24a)를 분리하는 커터 기구(48)가 배치된다.
기판 반송 롤러(90d)의 하류측에는 복수의 감광성 적층체(24a)를 적층한 상태로 스톡(stock)하는 스토커(94)가 배치되어 있고, 이 스토커(94)에는 커터 기구(48)에 의해 분리된 감광성 적층체(24a)가 로봇(96)에 의해 이송 적재된다. 스토커(94)에 인접해서 감광성 적층체(24a)에 잔존하는 가요성 베이스 필름(26)을 박리하는 박리부(98)가 배치된다. 박리부(98)는 박리 롤러(100)를 갖고, 박리 롤러(100)를 통해 박리된 가요성 베이스 필름(26)이 권취 롤러(102)에 의해 권취된다.
박리부(98)에 계속해서 가요성 베이스 필름(26)이 박리된 감광성 적층체(24b)를 구성하는 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착 위치를 검출하는 검출부(104)가 배치된다. 검출부(104)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 반송되는 유리 기판(24)의 전단부 및 후단부 또는 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 전단부 및 후단부를 검출하는 포토 센서(106)(단부 검출부)와, 유리 기판(24)의 단부 화상 및 감광성 수지층(28)의 단부 화상을 촬영하는 CCD 카메라(108a, 108b)(촬영부)를 구비한다. 이 경우, CCD 카메라(108a, 108b)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(24)의 단부와 감광성 수지층(28)의 단부가 동시에 촬영되도록 각 촬영 영역(109a, 109b)이 설정된다.
또한, 이상과 같이 구성되는 제조 장치(20)에서는 웹 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 리저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66) 및 촬영부(47)가 부착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만 이것과는 반대로 상기 웹 송출 기구(32)로부터 상기 촬영부(47)까지를 상기 부착 기구(46)의 하방에 배치하고, 긴 형상 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되어 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 하측에 부착하는 구성이어도 좋고, 또한, 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송로를 직선 형상으로 구성해도 좋다.
제조 장치(20) 내측은 구획벽(110)을 통해 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)으로 구획된다. 제 1 클린룸(112a)에는 웹 송출 기구(32)로부터 텐션 제어 기구(66)까지가 수용되고, 제 2 클린룸(112b)에는 촬영부(47) 이후의 기구가 수용된다. 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)은 관통부(114)를 통해 연통된다.
도 7은 검출부(104)의 제어 회로 블록을 나타낸다. 검출부(104)는 포토 센서(106)가 유리 기판(24) 또는 감광성 수지층(28)의 단부를 검출한 검출 타이밍에 따라서 CCD 카메라(108a, 108b)가 촬영한 화상을 처리하는 화상 처리부(120)와, 처리된 화상 정보에 기초해서 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착 위치를 산출하는 부착 위치 산출부(122)와, 산출된 부착 위치가 적정 위치인지의 여부를 판정하는 판정부(124)와, 판정부(124)에 의한 판정 결과를 표시하는 표시부(126)를 구비한다.
다음에 이상과 같이 구성되는 제조 장치(20)의 동작에 대해서 본 발명에 따른 제조 방법과의 관련에 의해 설명한다.
우선, 웹 송출 기구(32)에 부착되어 있는 감광성 웹롤(23)로부터 긴 형상 감광성 웹(22)이 송출된다. 긴 형상 감광성 웹(22)은 가공 기구(36)에 반송된다.
가공 기구(36)에서는 둥근날(52a, 52b)이 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 가요성 베이스 필름(26)까지 절개하여 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)만큼 이간되는 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조). 이것에 의해 긴 형상 감광성 웹(22)에는 잔존 부분(B)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)이 형성된다(도 2 참조).
또한, 잔존 부분(B)의 폭(M)은 긴 형상 감광성 웹(22)이 연장되지 않는 것을 전제로 하고, 부착 기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 공급되는 유리 기판(24) 사이의 거리를 기준으로 해서 설정된다. 또한, 폭(M)으로 형성되는 1세트의 하프컷 부위(34a, 34b)는 유리 기판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)의 기준 길이의 간격으로 긴 형상 감광성 웹(22)에 형성된다.
이어서, 긴 형상 감광성 웹(22)은 라벨 접착 기구(40)에 반송되어 보호 필름(30)의 소정의 부착 부위가 수용대(56) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54b~54g)에 의해 흡착 유지되어 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)에 걸쳐 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).
예를 들면, 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 긴 형상 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 리저버 기구(42)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 박 리 기구(44)에 연속적으로 반송된다. 박리 기구(44)에서는 긴 형상 감광성 웹(22)의 가요성 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 상기 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 박리된다. 이 보호 필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해 박리되어 보호 필름 권취부(64)에 권취된다(도 1 참조).
박리 기구(44)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 가요성 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 긴 형상 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(66)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 이어서, 촬영부(47)에 있어서 소정의 촬영 타이밍에서 하프컷 부위(34a, 34b)를 포함하는 긴 형상 감광성 웹(22)의 화상이 촬영된다.
촬영부(47)를 통과한 긴 형상 감광성 웹(22)은 부착 기구(46)에 반송됨으로써 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 전사 처리(라미네이트)가 행해진다. 이 경우, 촬영부(47)에 의해 촬영된 하프컷 부위(34a, 34b)의 화상에 기초해서 부착 기구(46)에 있어서의 하프컷 부위(34a, 34b)의 위치가 조정된다.
부착 기구(46)에서는 당초, 고무 롤러(80a, 80b)가 이간된 상태로 설정되어 있고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 긴 형상 감광성 웹(22)의 하프컷 부위(34a)가 위치 결정된 상태에 있어서 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송이 일단 정지된다. 이 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 구성하는 기판 가열부(74)에 의해 소정 온도로 가열된 유리 기판(24)의 선단부가 반송부(76)에 의해 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 반입되면 가압 실린더(84)의 작용하에 백업 롤러(82b) 및 고무 롤 러(80b)가 상승하고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)이 소정의 프레스 압력으로 끼워 넣어진다. 또한, 고무 롤러(80a, 80b)는 소정의 라미네이트 온도로 가열되어 있다.
이어서, 고무 롤러(80a, 80b)가 회전하여 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)이 화살표(Y) 방향으로 반송된다. 이 결과, 감광성 수지층(28)이 가열 용융되어 유리 기판(24)에 전사(라미네이트)된다.
또한, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 80℃~150℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40도~90도, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝~400N/㎝이다.
유리 기판(24)에 대해서 긴 형상 감광성 웹(22)의 1매분의 라미네이트가 종료되면 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지되는 한편, 긴 형상 감광성 웹(22)이 라미네이트된 유리 기판(24)의 선단부가 기판 반송 롤러(90a)에 의해 클램핑된다. 이 때, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에는 하프컷 부위(34b)가 배치된다.
그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(90a)의 회전이 저속으로 다시 개시되어 긴 형상 감광성 웹(22)이 유리 기판(24)에 라미네이트된 감광성 적층체가 화살표(Y) 방향으로 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)에 대응하는 거리만큼 반송되고, 다음의 하프컷 부위(34a)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치에 반송된 후, 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지된다. 또한, 긴 형상 감광성 웹(22)을 하프컷 부위(34a, 34b) 사이만큼 반송하는 처리를 이하에 있어서 「기판간 이송」 이라고 한다.
한편, 상기 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 통해 다음 유리 기판(24)이 부착 위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써 감광성 적층체가 연속적으로 제조된다.
그 때, 감광성 적층체는 각각의 단부가 도 2에 나타내는 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)에 의해 덮여 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a, 80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.
부착 기구(46)에 의해 감광성 수지층(28)이 부착된 유리 기판(24)은 부착 기구(46)에 의해 긴 형상 감광성 웹(22)이 기판간 이송된 후, 일단 정지 상태에 있을 때, 기판 반송 롤러(90b, 90c) 사이에 배치되어 있는 커터 기구(48)에 의해 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)이 절단되어 감광성 적층체(24a)로 된다. 또한, 이 감광성 적층체(24a)에는 보호 필름(30)이 잔존하고 있다.
분리된 감광성 적층체(24a)는 로봇(96)에 의해 일단 스토커(94)에 적층된다. 이어서, 스토커(94)에 적층된 감광성 적층체(24a)는 박리부(98)에 이송된 후, 박리 롤러(100)를 통해 보호 필름(30)이 감광성 적층체(24a)로부터 박리됨으로써 유리 기판(24)에 감광성 수지층(28)만이 부착된 감광성 적층체(24b)가 제조된다. 또한, 감광성 적층체(24a)로부터 박리된 보호 필름(30)은 권취 롤러(102)에 의해 권취된다.
여기에서, 긴 형상 감광성 웹(22)은 소정의 텐션이 부여된 상태로 공급됨과 아울러, 부착 기구(46)에 있어서 가열되어 유리 기판(24)에 부착되기 때문에 연장이 발생되게 된다. 이 경우, 긴 형상 감광성 웹(22)의 연장량에 따라서는 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착 위치가 부적절해질 우려가 있다.
그래서 박리부(98)의 하류측에 배치된 검출부(104)는 감광성 적층체(24b)에 있어서의 감광성 수지층(28)의 부착 위치의 검출을 행한다.
우선, 도 4에 나타내는 바와 같이 검출부(104)를 구성하는 포토 센서(106)가 반송되는 유리 기판(24)의 전단부 또는 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 전단부를 검출하면 단부 검출 신호를 CCD 카메라(108a, 108b)에 출력한다. CCD 카메라(108a, 108b)는 상기 단부 검출 신호에 따라 유리 기판(24)의 촬영 영역(109a, 109b)의 화상을 촬영한다. 이 경우, 촬영 영역(109a, 109b)에는 유리 기판(24)의 전단 코너 부분 및 감광성 수지층(28)의 전단 코너 부분의 화상이 포함되어 있다.
화상 처리부(120)는 CCD 카메라(108a, 108b)에 의해 촬영된 화상을 처리하고, 유리 기판(24)의 전단 코너 부분 및 감광성 수지층(28)의 전단 코너 부분을 특정한다. 부착 위치 산출부(122)는 특정된 각 코너 부분의 위치의 정보에 기초해서 전단부에 있어서의 유리 기판(24)의 측부와 감광성 수지층(28)의 측부의 거리(L1f) 및 유리 기판(24)의 전단부와 감광성 수지층(28)의 전단부의 거리(L2f)를 산출한다(도 5 참조). 판정부(124)는 산출된 거리(L1f, L2f)를 미리 설정한 허용 거리와 비교해서 거리(L1f, L2f)가 허용 범위 내에 있는지의 여부를 판정한다. 판정 결과는 표시부(126)에 표시됨으로써 상기 감광성 적층체(24b)의 전단측에 있어서의 감 광성 수지층(28)의 부착 상태를 작업자에게 통지할 수 있다.
마찬가지로 해서 포토 센서(106)가 유리 기판(24)의 후단부 또는 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 후단부를 검출한 타이밍에서 CCD 카메라(108a, 108b)에 의해 화상이 촬영되어 후단부에 있어서의 유리 기판(24)과 감광성 수지층(28)의 거리(L1b, L2b)가 산출되고, 그 산출 결과에 기초한 판정 결과가 표시부(126)에 표시된다(도 6 참조).
이상과 같이 해서 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 부착 상태가 자동적으로 검출되고, 그 판정 결과가 표시부(126)에 표시된다. 따라서, 작업자는 표시된 판정 결과에 기초해서 제조 장치(20)에 의해 제조된 모든 감광성 적층체(24b)의 품질 검사를 행할 수 있다.
도 8은 다른 실시형태인 제조 장치(200)의 개략 구성도이다. 또한, 도 1에 나타내는 제조 장치(20)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.
제조 장치(200)에서는 부착 기구(46)에 의해 긴 형상 감광성 웹(22)이 부착된 유리 기판(24)이 분단되는 일 없이 냉각부(202)에 반송되어 냉각된 후, 박리부(204)에 공급된다. 박리부(204)에서는 푸셔(pusher)(206)에 의해 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)이 상방향으로 밀어 올려짐으로써 보호 필름(30)의 박리가 용이한 상태로 된 후, 보호 필름(30)이 감광성 수지층(28)으로부터 박리되고, 권취 롤러(208)에 의해 권취된다. 이것에 의해 유리 기판(24) 사이가 분리되어 감광성 적층체(24b)가 제조된다. 제조된 감광성 적층체(24b)는 제조 장치(20)의 경 우와 마찬가지로 검출부(104)에 의해 유리 기판(24) 및 감광성 수지층(28)의 단부의 위치가 검출되어 부착 위치의 산출 및 판정 처리가 행해진다.
또한, 상술한 실시형태에서는 1개의 감광성 웹롤(23)로부터 공급되는 긴 형상 감광성 웹(22)을 유리 기판(24)에 부착함으로써 소위, 1개 부착된 감광성 적층체(24b)를 제조하도록 구성되어 있지만, 예를 들면, 2개의 감광성 웹롤이나 3개 이상의 감광성 웹롤로부터 긴 형상 감광성 웹(22)을 공급해서 유리 기판(24)에 부착하여 소위, 2개 부착, 3개 부착 등의 감광성 적층체(24b)를 제조하도록 구성해도 좋다.
도 1은 본 실시형태에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 2는 본 실시형태에 따른 제조 장치에 사용되는 긴 형상 감광성 웹의 단면도이다.
도 3은 긴 형상 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.
도 4는 단부 검출부 및 촬영부의 배치 관계 설명도이다.
도 5는 기판 및 감광 재료층 전단부의 촬영 상태의 설명도이다.
도 6은 기판 및 감광 재료층 후단부의 촬영 상태의 설명도이다.
도 7은 검출부의 제어 회로 블록도이다.
도 8은 다른 실시 형태에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 9는 종래 기술에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 10은 기판 및 감광성 시트체의 위치 관계의 설명도이다.

Claims (8)

  1. 지지체(26) 상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34a, 34b)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 가열된 한쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착하고, 이어서, 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 지지체(26)를 박리함으로써 감광성 적층체(24b)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서:
    상기 감광성 적층체(24b)를 구성하는 상기 기판(24)의 기판 단부, 또는 상기 기판(24)에 부착된 상기 감광 재료층(28)의 감광 재료층 단부를 검출하는 단부 검출부(106);
    상기 단부 검출부(106)에 의한 상기 기판 단부 또는 상기 감광 재료층 단부의 검출 타이밍에 따라서 상기 기판 단부 및 상기 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영하는 촬영부(108a, 108b); 및
    상기 촬영부(108a, 108b)에 의해 촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 부착 위치를 산출하는 부착 위치 산출 부(122)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 촬영부(108a, 108b)는 반송되는 상기 감광성 적층체(24b)에 있어서의 상기 기판(24)의 반송 방향의 전후 양 단부와, 상기 기판(24)에 부착된 상기 감광 재료층(28)의 반송 방향의 전후 양 단부의 양쪽의 화상을 촬영하고;
    상기 부착 위치 산출부(122)는 상기 촬영부(108a, 108b)에 의해 촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 전후의 부착 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 촬영부(108a, 108b)는 상기 기판(24) 및 상기 감광 재료층(28)의 반송 방향과 직교하는 양 측부의 화상을 촬영하고;
    상기 부착 위치 산출부(122)는 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 양 측부의 부착 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 부착 위치 산출부에 의해 산출된 상기 부착 위치의 양부(良否)를 판정하는 판정부(124); 및
    상기 판정부에 의한 판정 결과를 표시하는 표시부(126)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  5. 지지체(26) 상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34a, 34b)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 가열된 한쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착하고, 이어서, 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 지지체(26)를 박리함으로써 감광성 적층체(24b)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서:
    상기 감광성 적층체(24b)를 구성하는 상기 기판(24)의 기판 단부, 또는 상기 기판(24)에 부착된 상기 감광 재료층(28)의 감광 재료층 단부를 검출하는 스텝;
    상기 기판 단부 또는 상기 감광 재료층 단부의 검출 타이밍에 따라서 상기 기판 단부 및 상기 감광 재료층 단부를 포함하는 화상을 촬영하는 스텝; 및
    촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판에 대한 상기 감광 재료층의 부착 위치를 산출하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 화상을 촬영하는 스텝에서는 반송되는 상기 감광성 적층체(24b)에 있어서의 상기 기판(24)의 반송 방향의 전후 양 단부와, 상기 기판(24)에 부착된 상기 감광 재료층(28)의 반송 방향의 전후 양 단부의 양쪽의 화상을 촬영하고;
    상기 부착 위치를 산출하는 스텝에서는 촬영된 상기 화상을 처리하고, 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 전후의 부착 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 화상을 촬영하는 스텝에서는 상기 기판(24) 및 상기 감광 재료층(28)의 반송 방향과 직교하는 양 측부의 화상을 촬영하고;
    상기 부착 위치를 산출하는 스텝에서는 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 양 측부의 부착 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
  8. 제 5 항에 있어서, 산출된 상기 부착 위치의 양부를 판정하는 스텝; 및
    상기 판정 결과를 표시하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
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