KR20080059045A - 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

Abstract

이차원 광원(69a,69b)으로부터의 조명광을 긴 감광성 웹(22a,22b)에 조사하고, 그 투과광을 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)를 구성하는 CCD카메라(72a,72b)에 의해 수광함으로써 기준 위치에 배치된 기준편(67a,67b)과 함께 하프 커트 부위(34)의 화상을 촬상하고, 촬상한 화상으로부터 기준편(67a,67b)에 대한 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb 및 △Ma,△Mb)을 산출하고, 위치 어긋남량(△La,△Lb 및 △Ma,△Mb)에 따라서 고무 롤러(80a)를 구동해서 감광성 웹(22a,22b)의 송출량을 보정한다.

감광성 적층체 제조 장치, 제조 방법

Description

감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}

본 발명은 기판과 지지체상에 감광 재료층이 형성된 긴 감광성 웹을 한 쌍의 압착 롤러 사이에 송출하여 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.

예를 들면 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP용 기판에는 감광성 수지층(감광 재료층)을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)가 기판 표면에 부착되어 구성되어 있다. 감광성 시트체는 가요성 플라스틱 지지체상에 감광성 수지층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 있다.

이런 종류의 감광성 시트체의 부착에 사용되는 제조 장치는 보통 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정 간격씩 이간시켜서 반송하는 것과 아울러 상기 기판에 부착된 감광성 수지층의 범위에 대응해서 상기 감광성 시트체로부터 보호 필름을 박리하는 방식이 채용되어 있다.

예를 들면 일본 특허공개 평 11-34280호 공보에 개시되어 있는 제조 장치에서는 도 9에 나타내는 바와 같이 필름 롤(1)로부터 풀려진 적층체 필름(감광성 시 트체)(1a)은 가이드 롤러(2a,2b)에 감겨져서 수평의 필름 반송면에 따라 연장되어 있다. 이 가이드 롤러(2b)에는 적층체 필름(1a)의 송출량에 따른 수의 펄스 신호를 출력하는 로터리 엔코더(3)가 부착되어 있다.

수평의 필름 반송면에 따라 연장되는 적층체 필름(1a)은 석션 롤러(4)에 감겨진 것과 아울러 상기 가이드 롤러(2b)와 상기 석션 롤러(4) 사이에는 하프 커터 장치(5)와 커버 필름 박리 장치(6)가 설치되어 있다.

하프 커터 장치(5)는 적층체 필름(1a)의 반송 방향으로 소정 간격 이간하는 1쌍의 디스크 커터(5a,5b)를 구비하고 있다. 디스크 커터(5a,5b)는 적층체 필름(1a)의 필름 폭 방향에 따라 이동함으로써 상기 적층체 필름(1a)의 커버 필름(도시생략)에 있어서의 박리 부분과 잔존 부분의 2개소의 경계 부분을 그 이면측의 감광성 수지층(도시생략)과 일체로 절단한다.

커버 필름 박리 장치(6)는 점착 테이프 롤(7)로부터 풀리는 점착 테이프(7a)를 압압 롤러(8a,8b) 사이에서 커버 필름의 박리 부분에 강하게 압착시킨 후, 와인딩 롤(winding roll)(9)에 의해 와인딩한다. 이것에 의해 커버 필름의 박리 부분은 감광성 수지층으로부터 박리되서 점착 테이프(7a)와 함께 와인딩 롤(9)에 와인딩된다.

석션 롤러(4)의 하류에는 기판 반송 장치(10)에 의해 소정의 간격으로 반송되는 복수의 기판(11) 윗면에 커버 필름이 박리된 적층체 필름(1a)의 박리 부분을 겹쳐서 압착하는 1쌍의 라미네이션 롤러(12a,12b)가 배치되어 있다. 이 라미네이션 롤러(12a,12b)의 하류측에는 지지 필름 와인딩 롤(13)이 배치되어 있다. 기판(11) 에 부착되어 있는 투광성 지지 필름(도시생략)은 기판(11)에 감광성 수지층을 잔존시킨 상태로 커버 필름의 잔존 부분과 함께 지지 필름 와인딩 롤(13)에 와인딩된다.

그런데, 커버 필름이 박리된 적층체 필름(1a)의 박리 부분을 기판(11)의 원하는 범위에 정확하게 부착하기 위해서는 커버 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계부분을 기준으로 해서 적층체 필름(1a)을 라미네이션 롤러(12a,12b) 사이에 고정밀도로 송출할 필요가 있다.

그러나, 적층체 필름(1a)은 가요성의 지지 필름상에 감광성 수지층을 형성한 것이며, 텐션을 부여한 상태로 반송되기 때문에 반송 중에 발생한 연장의 영향에 의해 상기 경계 부분의 위치가 어긋나버릴 우려가 있다. 또한, 라미네이션 롤러(12a,12b)는 적층체 필름(1a)과 기판(11)을 가열한 상태에서 부착하기 때문에 특히 라미네이션 롤러(12a,12b)의 근방에서 적층체 필름(1a)의 연장이 커져 버린다.

이 경우, 라미네이션 롤러(12a,12b) 사이에 있어서 상기 적층체 필름(1a)의 상기 경계 부분의 위치를 검출할 수 있다면 그 위치를 조정해서 고정밀도의 부착 처리를 행할 수 있다. 그러나, 적층체 필름(1a) 및 기판(11)을 라미네이션 롤러(12a,12b)로 끼운 채 경계 부분의 위치를 검출하는 것은 라미네이션 롤러(12a,12b)가 검출을 저해하기 때문에 현실적으로는 불가능하다.

그래서, 석션 롤러(4)와 라미네이션 롤러(12a,12b) 사이의 소정 부위에 상기경계 부분을 검출하는 센서를 배치하고, 이 센서가 경계 부분을 검출했을 시점으로부터의 적층체 필름(1a)의 송출량을 제어하도록 한 제조 장치가 본 출원인에 의해 제안되어 있다(일본 특허공개 2006-297889호 공보 참조).

이 경우, 상기 센서와 상기 라미네이션 롤러(12a,12b) 사이의 거리, 및 이 사이에 있어서의 적층체 필름(1a)의 연장율을 알면, 라미네이션(12a,12b) 사이에 경계 부분을 고정밀도로 설정할 수 있다.

그러나, 상기 센서는 경계 부분을 검출할 수는 있지만, 그 경계 부분이 원하는 위치로부터 어느 정도 어긋나 있는지까지 검출할 수 있는 것은 아니다.

본 발명의 일반적인 목적은 긴 감광성 웹에 형성된 가공 부위의 기준 위치에 대한 위치를 간이한 구성으로 고정밀도로 검출해서 고품질의 감광성 적층체를 제조할 수 있는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 주된 목적은 검출한 가공 부위의 위치에 따라 기판의 원하는 위치에 긴 감광성 웹을 고정밀도로 부착할 수 있는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명은 지지체상에 감광 재료층과 보호 필름이 순서대로적층되어 이루어지는 긴 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리하고, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 1쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치하는 동시에 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서,

상기 가공 부위를 형성하는 가공부와 상기 압착 롤러 사이에 있어서의 상기 긴 감광성 웹의 반송로 중의 소정 부위에 배치되어 기준 위치에 대한 상기 가공 부위의 위치를 검출하는 위치 검출 수단을 구비하고,

상기 위치 검출 수단은,

상기 감광 재료층을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 조명광을 상기 긴 감광성 웹에 조사하는 광원과,

상기 긴 감광성 웹의 적어도 반송 방향으로 연장되는 검출 영역을 갖고, 상기 긴 감광성 웹을 투과하거나 또는, 상기 긴 감광성 웹에 의해 반사된 상기 조명광에 의거하여 상기 가공 부위를 검출하는 검출부와,

상기 검출부에 의해 검출된 상기 가공 부위의 상기 기준 위치에 대한 위치를 산출하는 산출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 지지체상에 감광 재료층과 보호 필름이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리하며, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 가열된 1쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서,

상기 감광 재료층을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 조명광을 상기 긴 감광성 웹에 조사하고, 상기 긴 감광성 웹을 투과하거나 또는 상기 긴 감광성 웹에 의해 반사된 상기 조명광을 상기 긴 감광성 웹의 반송 방향으로 연장하는 검출 영역을 갖는 검출부에 의해 검출하는 단계와,

상기 검출부에 의해 검출된 상기 가공 부위의 위치를 소정의 기준 위치에 대한 위치로서 산출하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는 긴 감광성 웹의 반송 방향으로 연장되는 검출 영역을 갖는 검출부를 이용하여 긴 감광성 웹에 형성된 가공 부위의 기준 위치에 대한 위치를 간이한 구성으로 고정밀도로 검출할 수 있다. 이 경우, 예를 들면 검출된 가공 부위의 위치에 따라 긴 감광성 웹의 반송량이나 가공 부위의 형성 위치를 조정하고, 기판의 원하는 위치에 감광 재료층이 부착된 고품질의 감광성 적층체를 제조할 수 있다.

첨부한 도면과 협동하는 다음의 적합한 실시형태 예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 분명해질 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조 장치(20)의 개략구성도이고, 이 제조 장치(20)는 액정 또는 유기EL용 컬러필터 등의 제작 공정으로 긴 감광성 웹(22a,22b)의 각 감광성 수지층(28)(후술한다)을 병렬해서 유리 기판(24)에 열전사하는 작업을 행한다. 감광성 웹(22a,22b)은 각각 소정의 폭 치수로 설정되어 있다.

도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 감광성 웹(22a,22b)의 단면도이다. 이 감광성 웹(22a,22b)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과, 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.

도 1 에 나타내는 바와 같이 제조 장치(20)는 감광성 웹(22a,22b)을 롤 모양으로 권회한 2개(2개 이상이면 좋다)의 감광성 웹 롤(23a,23b)을 수용하고, 각 감광성 웹 롤(23a,23b)로부터 상기 감광성 웹(22a,22b)을 동기해서 송출할 수 있는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)와, 송출된 각 감광성 웹(22a,22b)의 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)에 폭 방향으로 절단할 수 있는 경계 위치인 하프 커트 부위(가공 부위)(34)를 형성하는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 각 보호 필름(30)에 접착시키는 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)를 구비한다.

제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)의 하류에는 각 감광성 웹(22a,22b)을 택트 송출로부터 연속 송출로 변경하기 위한 제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b)와, 각 감광성 웹(22a,22b)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)와, 유리 기판(24)을 소정의 온도에서 가열한 상태로 부착 위치에 반송하는 기판 반송 기구(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적 또한 병렬로 부착하는 부착 기구(46)가 배치된다.

부착 기구(46)에 있어서의 부착 위치의 상류 근방에는 각 감광성 웹(22a,22b)의 경계 위치인 각각의 하프 커트 부위(34)의 위치를 검출하는 제 1 및 제 2 검출 기구(위치 검출 수단)(47a,47b)가 배치된다.

제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)의 하류 근방에는 대략 사용이 완료된 감광성 웹(22a,22b)의 후단과, 새롭게 사용되는 감광성 웹(22a,22b)의 선단을 부착하는 각각의 부착대(49)가 배치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웹 롤(23a,23b)이 어긋나게 감아지는 것에 의한 폭 방향의 어긋남을 제어하기 위해 필름 단말 위치 검출기(51)가 배치된다. 여기서, 필름 단말 위치 조정은 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)를 폭 방향으로 이동시켜서 행하지만, 롤러를 조합시킨 위치 조정 기구를 부설해서 행해도 좋다. 또한, 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)는 감광성 웹 롤(23a,23b)을 장전해서 감광성 웹(22a,22b)을 풀어내는 풀림축을 2축 또는 3축 등의 다축으로 구성해도 좋다.

제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)에 수용 권회되어 있는 각 감광성 웹 롤(23a,23b)의 롤 지름을 산출하기 위한 1쌍의 롤러(50) 하류에 배치된다. 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)는 각각 단일의 둥근 날(52)을 구비하고, 이 둥근 날(52)은 감광성 웹(22a,22b)의 폭 방향으로 주행해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)(도 2)을 사이에 둔 소정의 2군데의 위치에 하프 커트 부위(34)를 형성한다.

도 2에 나타내는 바와 같이 하프 커트 부위(34)는 적어도 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)을 절단할 필요가 있고, 실제상 베이스 필름(26)까지 잘리도록 둥근 날(52)의 절개 깊이가 설정된다. 둥근 날(52)은 회전하지 않고 고정된 상태로 감광성 웹(22a,22b)의 폭 방향으로 이동해서 하프 커터 부위(34)를 형성하는 방식이나, 상기 감광성 웹(22a,22b)상을 미끄러지지 않고 회전하면서 상기 폭 방향으로 이동해서 상기 하프 커트 부위(34)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프 커트 부위(34)는 둥근 날(52)에 대체해서 예를 들면 레이저광이나 초음파를 사용한 커트 방식 외 나이프날, 작두날(톰슨날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 좋다.

또한, 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)는 각각 감광성 웹(22a,22b)의 반송 방향(화살표(A) 방향)으로 잔존 부분(30b)의 폭에 대응한 거리만큼 이간해서 2대 설치하고, 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)(도 2)을 사이에 두고 2개의 하프 커트 부위(34)를 동시에 형성해도 좋다.

하프 커트 부위(34)는 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 부착했을 때, 예를 들면 상기 유리 기판(24)의 양단부로부터 각각 10mm씩 내측으로 들어간 위치로 되도록 설정된다. 또한, 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)은 후술하는 부착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자 모양으로 부착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.

제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 남기므로, 박리측 전방의 박리 부분(30aa)과 박리측 후방의 박리 부분(30ab)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다. 도 2에 나타내는 바와 같이 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 사이에 두고, 먼저 박리되는 부분을 전방의 박리 부분(30aa)이라고 하는 한편, 후에 박리되는 부분을 후방의 박리 부분(30ab)이라고 한다.

도 3에 나타내는 바와 같이 접착 라벨(38)은 직사각형 모양으로 구성되어 있고, 예를 들면 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미점착을 포함한다)(38a)를 갖는 것과 아울러 이 비접착부(38a)의 양측, 즉 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양단부에 전방의 박리 부분(30aa)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와 후방의 박리 부분(30ab)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.

도 1 에 나타내는 바와 같이 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)는 각각 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 감광성 웹(22a,22b)을 하방으로부터 유지하기 위한 받침대(56)가 승강 가능하게 배치된다.

제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b)는 상류측의 감광성 웹(22a,22b)의 택트 반송과, 하류측의 상기 감광성 웹(22a,22b)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해 화살표 방향으로 요동 가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다. 제 2 리저버 기구(42b)에는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)로부터 송출되는 각 감광성 웹(22a,22b)이 부착 기구(46)에 이르기까지의 각 반송로 길이를 동일하게 조정하기 위한 댄서 롤러(61)가 배치된다.

제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b)의 하류에 배치되는 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)는 각각 감광성 웹(22a,22b)의 송출측의 텐션 변동을 차단하고, 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 각 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해서 감광성 웹(22a,22b)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 제외하고 각각 보호 필름 와인딩부(64)에 와인딩된다.

제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)의 하류측에는 감광성 웹(22a,22b)에 텐션을 부여할 수 있는 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)가 배치된다. 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)는 각각 실린더(68)를 구비하고, 상기 실린더(68)의 구동 작용하에 각각 텐션 댄서(70)가 요동 변위함으로써 각 텐션 댄서(70)가 미끄럼 접촉하는 감광성 웹(22a,22b)의 텐션을 조정할 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)는 필요에 따라서 사용하면 좋고, 삭제할 수도 있다.

하프 커트 부위(34)의 위치를 검출하는 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)는 도 4에 나타내는 바와 같이 반송 롤러(73)와 반송 롤러(71a,71b) 사이의 긴 감광성 웹(22a,22b)이 직선상으로 이루어지는 부분에 배치되어 있고, 도 5에 나타내는 바와 같이 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송 방향으로 연장하는 검출 영역을 갖는 이차원 센서인 예를 들면 CCD카메라(검출부)(72a,72b)와, 감광성 웹(22a,22b)을 통해서 CCD카메라(72a,72b)에 대향 배치되어 조명광을 긴 감광성 웹(22a,22b)에 조사하는 이차원 광원(69a,69b)을 구비한다.

CCD카메라(72a,72b)는 상기 검출 영역을 형성하는 복수의 검출 화소를 갖는다. CCD카메라(72a,72b)는 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송 방향에 대한 하프 커트 부위(34)의 위치를 검출할 수 있는 것이면 좋고, 따라서 복수의 검출 화소가 상기 반송 방향으로 배열된 일차원 센서로 구성할 수도 있다. 또한, 이차원 광원(69a,69b)으로부터 출력되는 조명광은 감광성 수지층(28)을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 광, 예를 들면 적색광으로 한다.

CCD카메라(72a,72b)의 검출 영역의 기준 위치에는 부착 기구(46)를 구성하는 고무 롤러(80a,80b)의 위치를 기준으로 해서 위치 결정된 기준편(67a,67b)이 배치된다. 구체적으로는 도 4에 나타내는 바와 같이 예를 들면 유리 기판(24)에 부착된 선행하는 감광성 수지층(28) 후단부의 하프 커터 부위(34)가 고무 롤러(80a,80b)의 중심선상에 위치하고 있을 때, 상기 후단부의 하프 커트 부위(34)로부터 후행하는 다음의 감광성 수지층(28) 후단부의 하프 커트 부위(34)까지의 기준 길이(L)로 되는 위치에 각 기준편(67a,67b)이 배치된다. 이 경우, 기준 길이(L)는 유리 기판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)의 설계상의 길이이다.

또한, 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)는 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송로에 따라 도 5에 나타내는 화살표 방향으로 이동할 수 있게 구성함으로써 다른 기준 길이(L)에 대응해서 기준편(67a,67b)의 위치를 조정할 수 있다. 또한, 하프 커트 부위(34)의 기준 위치를 나타내는 기준편(67a,67b)의 위치를 CCD카메라(72a,72b)의 검출 영역내에서 기준 길이(L)에 대응해서 조정할 수 있게 해도 좋다. 또한, 기준편(67a,67b)을 사용하는 대신에 CCD카메라(72a,72b)를 구성하는 검출 화소를 특정해 그 검출 화소의 위치를 기준 위치로 해도 좋다.

기판 반송 기구(45)는 유리 기판(24)을 끼우도록 배치되는 복수조의 기판 가열부(예를 들면 히터)(74)와, 이 유리 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하는 반송부(76)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리 기판(24)의 온도를 상시 감시하고, 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생시킴과 아울러, 이상 정보를 발신해서 이상한 유리 기판(24)을 후공정에서 NG배출, 품질 관리 또는 생산 관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도시하지 않은 에어 부상 플레이트가 배치되고, 유리 기판(24)이 부상되서 화살표(C) 방향으로 반송된다. 유리 기판(24)의 반송은 롤러 컨베이어에서도 행할 수 있다.

유리 기판(24)의 온도 측정은 기판 가열부(74)내 또는 부착 위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정 방법으로서는 접촉식(예를 들면 열전대) 외 비접 촉식이라도 좋다.

기판 가열부(74)의 상류에는 복수의 유리 기판(24)이 수용되는 기판 스토커(71)가 형성된다. 이 기판 스토커(71)에 수용되어 있는 각 유리 기판(24)은 로봇(75)의 핸드부(75a)에 설치된 흡착 패드(79)에 흡착되어 꺼내져 기판 가열부(74)에 삽입된다.

부착 기구(46)는 상하로 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a,80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a,80b)에는 백업 롤러(82a,82b)가 미끄럼 접촉된다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84a,84b)에 의해 고무 롤러(80b)측에 압압된다.

고무 롤러(80a)의 근방에는 감광성 웹(22a,22b)이 상기 고무 롤러(80a)에 접촉하는 것을 방지하기 위한 접촉 방지 롤러(86)가 이동 가능하게 설치된다. 부착 기구(46)의 상류 근방에는 감광성 웹(22a,22b)을 미리 소정 온도에서 예비 가열하기 위한 예비 가열부(87)가 배치된다. 이 예비 가열부(87)는 예를 들면 적외선 바 히터 등의 가열 수단을 구비한다.

유리 기판(24)은 부착 기구(46)로부터 화살표(C) 방향으로 연장되는 반송로(88)를 통해서 반송된다. 이 반송로(88)에는 필름 반송 롤러(90a,90b) 및 기판 반송 롤러(92)가 배치된다. 고무 롤러(80a,80b)와 기판 반송 롤러(92)의 간격은 유리 기판(24) 1장분의 길이 이하로 설정되는 것이 바람직하다. 기판 반송 롤러(92)의 하류측 근방에는 반송된 유리 기판(24)의 선단부를 검지하는 기판 선단 검지 센서(94)가 배치된다. 기판 선단 검지 센서(94)는 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수 지층(28)의 후단부인 하프 커트 부위(34)가 부착 기구(46)의 고무 롤러(80a,80b) 사이에 배치되었을 때 유리 기판(24)의 선단부를 검지하는 위치에 배치된다.

또한, 기판 반송 롤러(92)의 하류에는 냉각 기구(122)와 베이스 자동 박리 기구(142)가 설치된다. 베이스 자동 박리 기구(142)는 소정 간격씩 이간하는 각 유리 기판(24)에 부착되어 있는 긴 베이스 필름(26)을 연속해서 박리하는 것이고, 프리 박리부(144)와 비교적 작은 지름인 박리 롤러(146)와, 와인딩 축(148)과, 자동부착 축(150)을 구비하고 있다. 와인딩 축(148)은 구동시에 토크 제어해서 베이스 필름(26)에 장력을 부여하는 한편, 예를 들면 박리 롤러(146)에 장력 검출기(도시생략)를 설치함으로써, 장력의 피드백 제어를 행하는 것이 바람직하다. 프리 박리부(144)는 유리 기판(24) 사이에서 승강 가능한 박리바(156)를 구비한다.

베이스 자동 박리 기구(142)의 하류에는 유리 기판(24)에 실제로 부착된 감광성 수지층(28)의 에어리어 위치를 측정하는 측정기(158)가 배치된다. 이 측정기(158)는 예를 들면 감광성 수지층(28)이 부착된 유리 기판(24)을 촬영하는 CCD 등의 카메라(160)를 구비한다.

또한, 베이스 자동 박리 기구(142)의 하류에는 측정기(158)에 의해 감광성 수지층(28)에 에어리어 위치가 측정된 복수의 감광성 적층체(106)가 수용되는 감광성 적층체 스토커(132)가 설치된다. 베이스 자동 박리 기구(142)로 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 박리된 감광성 적층체(106)는 로봇(134)의 핸드부(134a)에 설치된 흡착 패드(136)에 흡착되어 꺼내져 감광성 적층체 스토커(132)에 수용된다.

또한, 이상과 같이 구성되는 제조 장치(20)에서는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b), 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b), 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b), 제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b), 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b), 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)및 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)가 부착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만, 이것과는 반대로 상기 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)로부터 상기 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)까지를 상기 부착 기구(46)의 하방에 배치하고, 감광성 웹(22a,22b)의 상하가 반대로 되서 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 하측에 부착되어도 좋고, 또, 상기 제조 장치(20) 전체를 직선상으로 구성해도 좋다.

도 1에 나타내는 바와 같이 제조 장치(20)는 라미네이트 공정 제어부(100)에 의해 전체가 제어되어 있고, 이 제조 장치(20)의 각 기능부마다 예를 들면 라미네이트 제어부(102), 기판 가열 제어부(104) 및 하프 커트 제어부(108) 등이 설치되고, 이들이 공정내 네트워크에 의해 상호 접속되어 있다. 또한, 라미네이트 공정 제어부(100)는 공장 네트워크에 접속되어 있고, 도시하지 않은 공장 CPU로부터의 지시 정보(조건 설정이나 생산 정보)의 생산 관리나 가동 관리 등, 생산을 위한 정보 처리를 행한다.

기판 가열 제어부(104)는 상류 공정으로부터 유리 기판(24)을 받아들여, 이 유리 기판(24)을 원하는 온도까지 가열해서 부착 기구(46)에 공급하는 동작 및 상기 유리 기판(24)의 정보 핸들링 등을 제어한다.

라미네이트 제어부(102)는 공정 전체의 마스터로서 각 기구부의 제어를 행하 는 것이며 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)에 의해 검출된 감광성 웹(22a,22b)의 하프 커트 부위(34)의 위치 정보에 의거하여 부착 위치에 있어서의 각 경계 위치와 유리 기판(24)의 상대 위치 및 각 경계 위치끼리의 상대 위치를 제어할 수 있는 제어 기구를 구성하고 있다.

하프 커트 제어부(108)는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)를 제어하고, 감광성 웹(22a,22b)의 소정 위치에 하프 커트 부위(34)를 형성한다.

도 6은 라미네이트 공정 제어부(100), 라미네이트 제어부(102) 및 하프 커트 제어부(108)에 의한 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남을 보정하는 기구의 구성 블록을 나타낸다.

이 경우, 라미네이트 공정 제어부(100)는 유리 기판(24)의 선단부가 기판 선단 검지 센서(94)에 의해 검지되었을 때, CCD카메라(72a,72b)에 의해 촬영한 검출 영역의 화상에 의거하여 기준편(67a,67b)의 선단부의 기준 위치에 대한 각 감광성 웹(22a,22b)의 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb 및 △Ma,△Mb)을 산출하는 위치 어긋남량 산출부(산출부)(120)를 갖는다. 또한, 위치 어긋남량(△La,△Lb)은 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 후단부에 배치되는 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량이고, 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)은 유리 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28) 전단부에 배치되는 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량이다.

라미네이트 제어부(102)는 위치 어긋남량 산출부(120)에 의해 산출된 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb 및 △Ma,△Mb)에 의거하여 유리 기 판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)의 송출량을 제어하는 라미네이트 제어 펄스를 보정하고, 또한 유리 기판(24) 사이에서의 보호 필름(30) 잔존 부분(30b)의 송출량을 제어하는 기판간 송출 제어 펄스를 보정하는 제어 펄스 보정부(123)와, 보정된 라미네이트 제어 펄스 또는 기판간 송출 제어 펄스에 따라서 고무 롤러(80a)를 회전시키는 롤러 구동 모터(124)를 제어하는 롤러 제어부(126)를 갖는다.

하프 커터 제어부(108)는 위치 어긋남량 산출부(120)에 의해 산출된 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb 또는 △Ma,△Mb)이 소정의 허용량을 초과하고 있을 때, 상기 위치 어긋남량(△La,△Lb 또는 △Ma,△Mb)에 의거하여 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)에 의한 하프 커트 부위(34)의 위치를 보정하는 하프 커트 위치 보정부(128)를 갖는다.

제조 장치(20)내는 칸막이벽(110)을 통해서 제 1 클린 룸(112a)과 제 2 클린 룸(112b)으로 구획된다. 제 1 클린 룸(112a)에는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)부터 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)까지가 수용됨과 아울러, 제 2 클린 룸(112b)에는 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b) 이후가 수용된다. 제 1 클린 룸(112a)과 제 2 클린 룸(112b)은 관통부(114)를 통해서 연통된다.

이상과 같이 구성된 제조 장치(20)의 동작에 대해서 본 발명에 따른 제조 방법과 관련해서 이하에 설명한다.

우선, 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)에 부착되어 있는 각 감광성 웹 롤(23a,23b)로부터 감광성 웹(22a,22b)이 송출된다. 감광성 웹(22a,22b)은 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)에 반송된다.

제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)에서는 둥근 날(52)이 감광성 웹(22a,22b)의 폭 방향으로 이동하여 상기 감광성 웹(22a,22b)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 잘라서 하프 커트 부위(34)를 형성한다(도 2 참조). 또한, 감광성 웹(22a,22b)은 보호 필름(30) 잔존 부분(30b)의 폭(M)에 대응해서 화살표(A) 방향으로 반송된 후에 정지되어, 둥근 날(52)의 주행 작용하에 하프 커트 부위(34)가 형성된다. 이에 따라 감광성 웹(22a,22b)에는 잔존 부분(30b)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리 부분(30ab)이 형성된다(도 2 참조).

또한, 잔존 부분(30b)의 폭(M)은 감광성 웹(22a,22b)이 연장되지 않는 것을 전제로 해서 부착 기구(46)의 고무 롤러(80a,80b) 사이에 공급되는 유리 기판(24) 사이의 거리를 기준으로 해서 설정되는 것으로 한다. 또한, 폭(M)으로 형성되는 1쌍의 하프 커트 부위(34)는 유리 기판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)의 기준 길이(L) 간격으로 긴 감광성 웹(22a,22b)에 형성된다.

이어서, 각 감광성 웹(22a,22b)은 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)에 반송되어서, 보호 필름(30)의 소정의 부착 부위가 받침대(56)상에 배치된다. 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a,40b)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54b~54g)에 의해 흡착 유지되어, 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)에 걸쳐져 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리부분(30ab)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).

예를 들면, 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22a,22b)은 도 1에 나 타내는 바와 같이 제 1 및 제 2 리저버 기구(42a,42b)를 통해서 송출측의 텐션 변동을 막은 후, 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)에 연속적으로 반송된다. 제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)에서는 감광성 웹(22a,22b)의 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 지지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 감광성 웹(22a,22b)으로부터 박리된다. 이 보호필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해서 박리되어 보호 필름 와인딩부(64)에 와인딩된다.(도 1 참조).

제 1 및 제 2 박리 기구(44a,44b)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 감광성 웹(22a,22b)은 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a,66b)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 이어서 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)에 있어서 하프 커트 부위(34)의 검출이 행해진다.

제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)를 구성하는 이차원 광원(69a,69b)으로부터 적색광인 조명광이 긴 감광성 웹(22a,22b)에 조사되어 그 투과광이 CCD카메라(72a,72b)에 유도됨으로써 하프 커트 부위(34)를 포함하는 긴 감광성 웹(22a,22b)의 화상과, 기준 위치에 배치된 기준편(67a,67b)의 화상이 촬상된다. 또한, 하프 커트 부위(34)는 긴 감광성 웹(22a,22b)으로부터 감광성 수지층(28)을 제거한 상태로 형성되어 있기 때문에, 휘도가 높은 하프 커트 부위(34)의 화상이 얻어진다. 위치 어긋남량 산출부(120)는 촬상된 화상에 의거하여 기준편(67a,67b)의 선단부에 대한 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb)을 산출한다.

이 경우, 도 2에 나타내는 박리 부분(30aa)측의 하프 커트 부위(34)와 기준편(67a,67b)의 선단부가 일치해서 위치 어긋남량(△La,△Lb)이 0이고, 고무 롤 러(80a,80b) 사이의 소정 위치에 선행하는 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34)가 배치되도록 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)와 부착 기구(46) 사이의 기준 길이(L)가 설정되어 있는 것으로 한다.

그래서, 상기의 상태로부터 감광성 웹(22a,22b)을 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)의 폭(M)에 대응시킨 거리만큼 반송해서 정지시키는 한편, 유리 기판(24)을 기판 반송 기구(45)의 작용하에 미리 가열된 상태로 부착 위치에 반송한다. 유리 기판(24)은 병렬되어 있는 감광성 웹(22a,22b)의 감광성 수지층(28)의 부착 부분에 대응해서 고무 롤러(80a,80b) 사이에 일단 배치된다.

이어서, 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)를 상승시킴으로써 고무 롤러(80a,80b) 사이에 유리 기판(24)이 소정의 프레스 압력으로 끼워진다. 롤러 제어부(126)(도 6)는 제어 펄스 보정부(123)로부터 공급되는 보정되어 있지 않은 기준 길이(L)에 대응한 라미네이트 제어 펄스에 의거하여 롤러 구동 모터(124)를 구동해 고무 롤러(80a)의 회전 작용하에 감광성 웹(22a,22b) 및 유리 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송한다. 이 결과, 병렬되어 있는 각 감광성 수지층(28)이 가열 용융되어서 유리 기판(24)에 전사(라미네이트)된다. 이 경우, 감광성 웹(22a,22b)에 연장이 없으면, 감광성 웹(22a,22b)의 감광성 수지층(28)이 후방의 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34)로부터 유리 기판(24)의 소정 부위에 정확하게 전사되게 된다.

또한, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(80a,80b)의 온도가 80℃~150℃, 상기 고무 롤러(80a,80b)의 고무 경도가 40 도~90도, 상기 고무 롤러(80a,80b)의 프레스압(선압)이 50N/cm~400N/cm이다.

기판 선단 검지 센서(94)가 유리 기판(24)의 선단을 검지해 고무 롤러(80a,80b)를 통해서 유리 기판(24)에 감광성 웹(22a,22b)의 1장분의 라미네이트가 종료되면, 상기 고무 롤러(80a)의 회전이 정지되는 한편, 상기 감광성 웹(22a,22b)이 라미네이트된 상기 유리 기판(24)(이하, 부착 기판(24a)이라고도 한다.)이 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램프된다.

그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간하는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(92)의 회전이 개시되어 부착 기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b) 폭(M)에 대응하는 거리만큼 반송되어, 보호 필름(30) 후방의 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치로 이동한다. 한편, 기판 반송 기구(45)를 통해서 다음의 유리 기판(24)이 부착 위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써 부착 기판(24a)이 연속적으로 제조된다.

그때, 부착 기판(24a)은 도 4에 나타내는 바와 같이 각각의 단부끼리가 잔존 부분(30b)에 의해 덮여져 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a,80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.

부착 기구(46)로 라미네이트된 부착 기판(24a)은 냉각 기구(122)를 통해서 냉각된 후, 프리 박리부(144)에 이송된다. 이 프리 박리부(144)에서는 박리 바(156)가 유리 기판(24) 사이에 임시로 들어가 상승하고, 이것에 의해 유리 기 판(24) 사이의 보호 필름(30)이 들어 올려져, 인접하는 유리 기판(24)의 후단 및 선단으로부터 박리된다.

이어서, 베이스 자동 박리 기구(142)에서는 와인딩 축(148)의 회전 작용하에 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 연속해서 와인딩된다. 또한, 트러블 정지에서의 분리나, 불량품 분리시의 절단 후, 새롭게 라미네이트 처리가 개시된 부착 기판(24a)의 베이스 필름(26) 선단과, 와인딩 축(148)에 와인딩되어 있는 베이스 필름(26)의 후단은 자동 부착기(150)를 통해서 자동적으로 부착된다.

베이스 필름(26)이 박리된 부착 기판(24a)은 측정기(158)에 대응하는 검사 스테이션에 배치된다. 이 검사 스테이션에서는 유리 기판(24)이 위치 결정, 고정된 상태로 4대의 카메라(160)에 의해 유리 기판(24)과 감광성 수지층(28)의 화상을 받아들인다. 그리고, 화상 처리가 실시됨으로써 부착 위치가 연산된다.

감광성 수지층(28)의 부착 위치가 확인된 부착 기판(24a)은 로봇(134)에 의해 꺼내져, 감광성 적층체(106)로서 감광성 적층체 스토커(132)에 수용된다.

그런데, 이상의 설명에서는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a,32b)로부터 송출되는 감광성 웹(22a,22b)이 연장되는 일 없이 정확하게 부착 기구(46)에 공급되는 것을 전제로 하고 있지만, 실제로는 가요성을 갖는 감광성 웹(22a,22b)이 텐션이나 열의 영향을 받아서 소정량 연장되어 버리기 때문에, 유리 기판(24)의 소정 위치에 감광성 수지층(28)이 고정밀도로 전사되지 않는 일이 염려된다.

거기서, 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)를 구성하는 CCD카메라(72a,72b)는 기판 선단 검지 센서(94)가 유리 기판(24)의 선단을 검지해서 감광성 웹(22a,22b) 및 유리 기판(24)의 반송이 정지되었을 때, 박리 부분(30aa)측의 하프 커트 부위(34) 및 기준편(67a,67b)을 포함하는 화상을 촬상하고, 그 화상을 위치 어긋남량 산출부(120)에 공급한다. 위치 어긋남량 산출부(120)는 공급된 화상에 의거하여 기준 위치인 기준편(67a,67b)의 선단부에 대한 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△La,△Lb)을 산출한다.

이 경우, 위치 어긋남량(△La,△Lb)의 부호를 기준편(67a,67b)에 대하여 감광성 웹(22a,22b)이 공급되는 상류측을 +, 하류측을 -라고 하면, 예를 들면 위치 어긋남량(△La,△Lb)이 +일 때는 유리 기판(24)에 부착되는 감광성 수지층(28)이 기준 길이(L)보다 위치 어긋남량(△La,△Lb)만큼 연장되어 있고, -일 때는 기준 길이(L)보다 짧아져 있다고 판정할 수 있다.

산출된 위치 어긋남량(△La,△Lb)이 소정의 허용량 이내일 때, 위치 어긋남량 산출부(120)는 위치 어긋남량(△La,△Lb)을 제어 펄스 보정부(123)에 공급해 감광성 웹(22a,22b)의 라미네이트 제어 펄스를 위치 어긋남량(△La,△Lb)에 따라서 보정한다.

다음에, 제 1 및 제 2 검출 기구(47a,47b)를 구성하는 CCD카메라(72a,72b)는 긴 감광성 웹(22a,22b)이 고무 롤러(80a)의 회전 작용하에 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b) 폭(M)에 대응한 거리만큼 반송되어 정지되었을 때, 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34) 및 기준편(67a,67b)을 포함하는 화상을 촬상해 그 화상을 위치 어긋남량 산출부(120)에 공급한다. 위치 어긋남량 산출부(120)는 공급된 화상에 의거하여 기준 위치인 기준편(67a,67b)의 선단부에 대한 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)을 산출한다.

이 경우, 박리 부분(30ab)측의 하프 커트 부위(34)의 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)에 의거하여 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b) 폭(M)의 변동량을 검출할 수 있다.

산출된 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)이 소정의 허용량 이내일 때, 위치 어긋남량 산출부(120)는 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)을 제어 펄스 보정부(123)에 공급해 긴 감광성 웹(22a,22b)의 기판간 송출 제어 펄스를 위치 어긋남량(△Ma,△Mb)에 따라서 보정한다.

이후, 롤러 제어부(126)는 보정된 라미네이트 제어 펄스와, 보정된 기판간 빈 공간 제어 펄스에 따라서 롤러 구동 모터(124)를 구동하고, 긴 감광성 웹(22a,22b)을 반송 제어한다.

한편, 위치 어긋남량 산출부(120)에 의해 산출된 위치 어긋남량(△La,△Lb 또는△Ma,△Mb)이 소정의 허용량을 초과하고 있을 때에는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a,36b)에 의한 하프 커트 부위(34)의 가공 위치를 보정함으로써 대응한다. 이 경우, 하프 커트 위치 보정부(128)는 위치 어긋남량(△La,△Lb 또는 △Ma,△Mb)에 의거해 하프 커트 부위(34)의 가공 위치를 변경하여 감광성 웹(22a,22b)에 하프 커트 부위(34)를 형성한다.

또한, 제 1 실시형태에서는 2개의 감광성 웹 롤(23a,23b)을 사용하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 1개의 감광성 웹 롤러나, 3개 이상의 감광성 웹 롤러를 채용해도 좋다. 또한, 이하에 설명하는 제 2 실시형태에 있어서도 마찬가지이 다.

도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 감광성 적층체 제조 장치(300)의 개략구성도이다. 또한, 제 1 실시형태에 따른 감광성 적층체 제조 장치(20)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 첨부하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

제조 장치(300)는 부착 기구(46)의 하류에 배치되어, 각 유리 기판(24) 사이

의 감광성 웹(22a,22b)을 일체적으로 절단할 수 있는 기판간 웹 절단 기구(48)를 구비한다.

이렇게 구성되는 제조 장치(300)에서는 상기의 제 1 실시형태와 마찬가지로 부착 기구(46)로 라미네이트된 부착 기판(24a)은 화살표(C) 방향으로 반송된다. 그리고, 부착 기판(24a) 사이가 기판간 웹 절단 기구(48)에 대응하는 위치에 이르면, 이 기판간 웹 절단 기구(48)는 상기 부착 기판(24a)과 동일한 반송 속도로 화살표(C) 방향으로 이동하면서, 상기 부착 기판(24a) 사이에서 2개의 감광성 웹(22a,22b)을 일체적으로 절단한다.

이 절단 후에 기판간 웹 절단 기구(48)는 소정의 대기 위치로 되돌려지는 한편, 부착 기판(24a)에서는 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 순차적으로 박리(매엽 박리)되서 감광성 적층체(106)가 제조된다.

또한, 상술한 각 실시형태에서는 감광성 웹(22a,22b)을 투과한 조명광을 CCD카메라(72a,72b)에 의해 수광함으로써 하프 커트 부위(34)를 검출하도록 하고 있지만, 도 8에 나타내는 바와 같이 구성된 검출 기구(162a,162b)를 이용하여 감광성 웹(22a,22b)에 의해 반사된 조명광에 의거해 하프 커트 부위(34)를 검출하도록 해 도 좋다.

즉, 광원(164a,164b)으로부터 출력된 조명광은 하프미러(166a,166b)에 의해 반사되서 감광성 웹(22a,22b)에 도입된 후, 감광성 웹(22a,22b)에 의해 반사되어 하프미러(166a,166b)를 투과해서 CCD카메라(72a,72b)에 도입된다. 이 경우, 하프 커트 부위(34)에 의해 반사된 조명광은 감광성 웹(22a,22b)의 다른 부위에 의해 반사된 조명광보다 크게 산란되기 때문에 주위보다 광량이 적은 스트라이프상의 화상으로서 검출할 수 있다. 또한, 광원(164a,164b) 및 하프미러(166a,166b)는 동축 낙사 조명 광학계를 구성한다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 제조 장치의 개략구성도이다.

도 2는 상기 제조 장치에 사용되는 긴 감광성 웹의 단면도이다.

도 3은 상기 긴 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.

도 4는 하프 커트 부위의 위치를 검출하는 제 1 및 제 2 검출 기구의 구성, 및 제 1 및 제 2 검출 기구와 부착 기구의 배치 관계의 설명도이다.

도 5는 제 1 및 제 2 검출 기구에 의해 하프 커트 부위를 검출하는 상태의 설명도이다.

도 6은 하프 커트 부위의 위치 어긋남을 검출해서 보정하기 위한 회로 구성 블록도이다.

도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 제조 장치의 개략구성도이다.

도 8은 제 1 및 제 2 검출 기구의 다른 구성의 설명도이다.

도 9는 일본 특허공개 평 11-34280호 공보의 제조 장치의 개략구성도이다.

Claims (12)

1. 지지체(26)상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴 감광성 웹(22a,22b)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분(30aa,30ab)과 잔존 부분(30b)의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기 박리 부분(30aa,30ab)을 박리하고, 소정의 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 가열된 1쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분(30b)을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착함으로써 감광성 적층체(106)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서:

   상기 가공 부위(34)를 형성하는 가공부(36a,36b)와 상기 압착 롤러(80a,80b) 사이에 있어서의 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송로중 소정 부위에 배치되어 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치를 검출하는 위치 검출 수단(47a,47b)을 구비하고;

   상기 위치 검출 수단(47a, 47b)은 상기 감광 재료층(28)을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 조명광을 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 조사하는 광원(69a,69b);

   상기 긴 감광성 웹(22a, 22b)의 적어도 반송 방향으로 연장되는 검출 영역을 갖고, 상기 긴 감광성 웹(22a, 22b)을 투과하거나 또는 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 의해 반사된 상기 조명광에 의거하여 상기 가공 부위(34)를 검출하는 검출부(72a,72b); 및

   상기 검출부(72a,72b)에 의해 검출된 상기 가공 부위(34)의 상기 기준 위치 에 대한 위치를 산출하는 산출부(120)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 검출부(72a,72b)는 상기 검출 영역을 구성하는 복수의 검출 화소를 갖는 이차원 센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 검출부(72a,72b)는 상기 검출 영역을 구성하는 복수의 검출 화소를 갖는 일차원 센서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 검출 영역의 소정 위치를 상기 기준 위치로 설정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 검출부(72a,72b)와 상기 긴 감광성 웹(22a,22b) 사이에 상기 기준 위치를 규정하는 기준편(67a,67b)을 설치하고, 상기 검출부(72a,72b)는 상기 가공 부위(34) 및 상기 기준편(67a,67b)을 검출하는 것을 특징 으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 위치 검출 수단(47a,47b)은 상기 압착 롤러(80a,80b)의 위치를 기준으로 해서 설정한 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 압착 룰러(80a,80b)의 위치를 기준으로 하는 부위에 설치되어 상기 감광 재료층(28)이 부착된 상기 기판(24)의 반송 방향 단부를 검지하는 기판 검지 센서(94)를 구비하고;

   상기 위치 검출 수단(47a,47b)은 상기 기판 검지 센서(94)가 상기 기판(24)의 반송 방향 단부를 검지했을 때, 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 산출부(120)에 의해 산출된 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치인 위치 어긋남량에 따라 상기 압착 룰러(80a,80b)를 제어하고, 상기 기판(24)에 대한 상기 감광 재료층(28)의 부착 타이밍을 보정하는 부착 타이밍 보정부(123)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 산출부(120)에 의해 산출된 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치인 위치 어긋남량에 따라서 상기 가공부(36a,36b)를 제어하고, 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 대한 상기 가공 부위(34)의 가공 위치를 보정하는 가공 위치 보정부(128)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
10. 지지체(26)상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순서대로 적층되어 이루어지는 긴 감광성 웹(22a,22b)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분(30aa,30ab)과 잔존 부분(30b)의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기 박리 부분(30aa,30ab)을 박리하고, 소정 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 가열된 1쌍의 압착 롤러(80a,80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분(30b)을 배치함과 아울러 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착함으로써 감광성 적층체(106)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서:

    상기 감광 재료층(28)을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 조명광을 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 조사하고, 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)을 투과하거나 또는 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)에 의해 반사된 상기 조명광을 상기 긴 감광성 웹(22a,22b)의 반송 방향으로 연장되는 검출 영역을 갖는 검출부(47a,47b)에 의해 검출하는 단계; 및

    상기 검출부(47a,47b)에 의해 검출된 상기 가공 부위(34)의 위치를 소정의 기준 위치에 대한 위치로서 산출하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 검출 영역의 소정 위치를 상기 기준 위치로 설정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
12. 제 10 항에 있어서, 상기 압착 롤러(80a,80b)의 위치를 기준으로 해서 설정한 상기 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34)의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.

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