KR20140073447A - 유기 el 밀봉 장치 - Google Patents

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Abstract

OLED 기판에 고정밀도로 밀봉 기판을 맞붙일 수 있고, 이 제조 작업을 효율적으로 행하는 것.
유기 EL 밀봉 장치(10)를, 지지부(53)의 이동에 의해 복수의 밀봉 기판(17)이 부착된 전사 롤러(52)를 이동시켜, OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)에 당해 전사 롤러(52)에 부착된 밀봉 기판(17)을 당접하고, 전사 롤러(52)의 회전 동작과, 각 롤러(30∼48)를 포함하여 구성되는 반송 수단에 의한 OLED 기재 필름(21)의 반송 동작을 동기시켜, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하도록 구성한다.

Description

유기 EL 밀봉 장치{SEALING APPARATUS FOR ORGANIC EL}
본 발명은, 유기 EL(Electro Luminescence) 패널에 밀봉 필름을 부착하는 유기 EL 밀봉 장치에 관한 것이다.
종래, 유기 EL, 소위 유기 발광 다이오드(OLED:Organic Light-Emitting Diode)의 패널에 밀봉 기판을 부착하는 기술로서 특허문헌 1에 기재된 기술이 있다. 이 기술은, 유기 EL 조명 장치 등에 사용되는 유기 EL 패널을 제조할 때에, OLED 기판인 복수의 소자 기판을 가지는 소자 머더 기판에, 복수의 밀봉 기판을 가지는 밀봉 머더 기판을 부착한 후, 1쌍의 소자 기판 및 밀봉 기판마다 분단하여 1매의 유기 EL 패널을 얻는 것이다.
이 유기 EL 패널의 특징은, 유기 EL 소자 및 단자 영역이 형성되어, 유리 기판을 베이스로 한 소자 기판과, 그 유기 EL 소자를 피복하는 밀봉 부재와, 밀봉 부재를 개재하여 소자 기판에 맞붙여진 밀봉 기판을 구비하고, 유기 EL 소자 및 단자 영역의 사이의 영역에만 배치된 제 1 스페이서를 구비하는 것에 있다. 그리고, 제 1 스페이서로, 분단 공정에 있어서의 응력 집중이나 환경 온도의 변화 등의 외적 스트레스에 의한 유기 EL 패널의 변형을 억제하고, 밀봉 부재의 박리의 발생을 억제하고 있다. 또한, 그 박리에 기인하는 밀봉 부재의 기밀성의 저하를 억제하도록 되어 있다.
또한, 롤에 감긴 필름을 다른 롤에 권취하여 반송하는 롤 투 롤 법을 이용하여, 밀봉 머더 기판상에 복수의 시트 형상 밀봉재를 부착함으로써, 시트 형상 밀봉재를 복수열로 동시에 부착, 이 부착에 필요로 하는 택 타임이 단축 가능하게 되어 있다.
국제공개 제 2010/024006호 공보
그런데, 특허문헌 1의 유기 EL 패널에 있어서는, 롤 투 롤 법을 이용하여, 복수의 시트 형상 밀봉재를 밀봉 머더 기판상에 부착하여 제조의 효율화를 도모하고 있다. 그러나, 이것은 밀봉 기판의 제조이며, 유기 EL 패널을 제조하기 위해서는, 소자 머더 기판에 밀봉 머더 기판을 부착한 후, 분단하여 1매씩의 유기 EL 패널을 얻을 필요가 있다. 따라서, 유기 EL 패널을 효율적으로 제조할 수 없다는 문제가 있다.
또한, 제 1 스페이서로 1매의 유기 EL 패널로 하기 위한 분단시의 외적 스트레스를 흡수하고 있으나, 분단이 필요한 한, 분단 동작에 의한 스트레스로 유기 EL 패널에 어느 정도 장해가 발생하는 것은 부정할 수 없다. 따라서, OLED 기판인 소자 기판에 밀봉 기판을 고정밀도로 맞붙인 밀봉 상태를 유지할 수 없다는 문제가 있다.
본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것이며, OLED 기판에 고정밀도로 밀봉 기판을 맞붙일 수 있고, 이 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있는 유기 EL 밀봉 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 장척 형상의 필름에 복수의 유기 EL 소자 제작용의 제 1 기판이 반송 방향에 미리 정해진 간격으로 부착되어 이루어지는 기재 필름을 롤 투 롤로 반송하는 반송 수단과, 롤러 주회(周回) 방향에 상기 간격과 동일한 간격으로 필름재에 의한 복수의 유기 EL 소자 제작용의 제 2 기판이 부착된 전사 롤러와, 상기 전사 롤러를 자유롭게 회전 구동시킴과 함께 상기 반송 방향과 수직인 상하 방향으로 이동하는 회전 이동 수단을 구비하고, 상기 회전 이동 수단에 의해 상기 전사 롤러를 이동하고 상기 기재 필름에 부착된 제 1 기판에 당해 전사 롤러에 부착된 제 2 기판을 당접하고, 당해 회전 이동 수단에 의한 당해 전사 롤러의 회전 동작과, 상기 반송 수단에 의한 당해 기재 필름의 반송 동작을 동기시켜, 당해 제 1 기판에 당해 제 2 기판을 맞붙여 일방을 타방에 의해 밀봉하도록 하였다.
본 발명에 의하면, OLED 기판에 고정밀도로 밀봉 기판을 맞붙일 수 있어, 이 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있는 유기 EL 밀봉 장치를 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 유기 EL 밀봉 장치(10)를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.
도 2a는, 장척 형상의 OLED 기재 필름의 평면도이다.
도 2b는, 도 2a에 나타낸 A1-A1 단면에 상당하는 유기 EL 소자의 단면도이다.
도 3은, OLED 기재 필름을 반송 방향과 직교하는 폭 방향으로 절단하여 반송 방향으로부터, 그 절단면 및 상하 롤러를 보았을 때의 구성도이다.
도 4는, 본 실시형태의 유기 EL 밀봉 장치의 동작 제어를 행하는 제어 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 5는, 제 1 실시형태의 유기 EL 밀봉 장치에 의해 OLED 기판을 밀봉 기판으로 밀봉하는 동작을 설명하기 위한 플로우 차트이다.
도 6은, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 유기 EL 밀봉 장치를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.
도 7은, 제 2 실시형태의 유기 EL 밀봉 장치에 의해 OLED 기판을 밀봉 기판으로 밀봉하는 동작을 설명하기 위한 제 1 플로우 차트이다.
도 8은, 제 2 실시형태의 유기 EL 밀봉 장치에 의해 OLED 기판을 밀봉 기판으로 밀봉하는 동작을 설명하기 위한 제 2 플로우 차트이다.
이하, 본 발명의 실시형태를, 도면을 참조하여 설명한다.
<제 1 실시형태의 구성>
도 1은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 유기 EL 밀봉 장치(10)를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다. 이하의 설명에서는, 제 1 기판이 OLED 기판(22)이고, 제 2 기판이 밀봉 기판(17)인 것으로 하여 설명한다.
유기 EL 밀봉 장치(10)는, 질소(N2) 환경 중에 배치되며, 화살표(Y1)로 나타낸 바와 같이 도시하지 않은 전(前) 공정으로부터, 롤 투 롤로 반송되어 오는 OLED 기재 필름(기재 필름)(21)에 부착된 OLED 기판(제 1 기판)(22)에, 밀봉 기판(제 2 기판)(17)을 맞붙여 밀봉하는 것이다. 이것에 의해 유기 EL 조명 장치 등의 전기 제품에 이용되는 제품 필름(24)을 제조한다.
단, 유기 EL 밀봉 장치(10)를 질소 환경 중에 배치하는 것은, OLED 기재 필름(21) 및 밀봉 기판(17)이 공기와 수분에 접촉하여 손상되지 않도록 하여 고품질을 유지하기 위해서이다. 또한, 밀봉 기판(17)과, OLED 기판(22)의 표면은 필름 재로 형성되어 있다고 한다. 또한, OLED 기재 필름(21)은 가요성을 가지는 필름이다.
도 2a는 장척 형상의 OLED 기재 필름(21)의 평면도, 도 2b는 도 2a에 나타낸 A1-A1 단면에 상당하는 유기 EL 소자의 단면도이다. 도 2a에 나타낸 바와 같이, OLED 기재 필름(21)은, 장척 형상의 기판 필름(21a)에, OLED 기판(22)을 미리 정해진 간격(L1)으로 복수 부착한 것이다. 간격(L1)은, OLED 기판(22)의 중심으로부터 인접하는 OLED 기판(22)의 중심까지의 길이이다.
OLED 기판(22)은, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 기판 필름(21a)에, 양극(22a), 유기물 막(22b), 음극(22c)의 각층을 적층하여 이루어지는 OLED 기판(유기 EL 소자)(22)을 부착한 것이다. 또한, 음극(22c)과 양극(22a)의 사이에 전원(Va)에 의해 소저 전위의 전압이 인가되며, 이것에 의해 화살표(Y10)로 나타낸 바와 같이 발광하도록 되어있다. 이와 같은 구성의 OLED 기판(22)의 음극(22c) 측으로부터 밀봉 기판(17)이 맞붙여지며, OLED 기판(22)이 수분이나 산소에 접촉되지 않도록 밀봉된다. 단, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)은 상사형(相似形)이며, 밀봉 기판(17)의 쪽이, 도 2b에 나타낸 바와 같이 OLED 기판(22)을 푹 덮는 것이 가능한 큰 사이즈로 되어 있다. 따라서, 도 1이나 후술한 도 6에서 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)이 동일하게 표현되어 있으나, 실제로는 도 2b에 나타낸 사이즈 관계로 되어 있다.
도 1에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(10)는, OLED 기재 필름(21)을 화살표(Y1)로 나타낸 수평 방향으로 반송하는 가이드 롤러(30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37)와, 가이드 롤러(31 및 32) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(38)와, 가이드 롤러(36 및 37) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(39)를 구비한다. 또한, OLED 기재 필름(21)을 가이드 롤러(30)와 상하로 한 쌍이 되어 끼우는 닙 롤러(41)와, 후술하는 전사 롤러(52)가 하방으로부터 눌러져 OLED 기재 필름(21)의 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)을 끼워 넣는 닙 롤러(42)와, OLED 기재 필름(21)을 가이드 롤러(37)와 상하로 한 쌍이 되어 끼우는 닙 롤러(43)를 구비한다.
댄서 롤러(38)는 OLED 기재 필름(21)이 통과할 때에, 상하로 이동하여 늘어짐이 생기지 않도록 텐션을 걸고, 댄서 롤러(39)는 제품 필름(24)이 통과할 때에, 상하로 이동하여 늘어짐이 생기지 않도록 텐션을 거는 역할을 담당한다.
또한, 유기 EL 밀봉 장치(10)는, 가이드 롤러(33 및 34) 간에 배치되며, OLED 기재 필름(21) 상의 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)을 상하로 끼워 넣어 가열하는 가열 롤러(45a, 45b)와, OLED 기재 필름(21) 상의 OLED 기판(22)이 가열에 의해 경화된 밀봉 기판(17a)으로 밀봉된 제품 필름(24)을, 롤 형상으로 권취하는 최하류측의 필름 권취부(48)를 구비한다. 단, 상기의 경화는, 가요성을 가지는 경화이다. 이와 관련하여, 대부분의 재료는 얇게 함으로써 가요성을 가지게 되나, 본 예에서도, 얇은 것에 의해 가요성을 가지게 된다.
또한, 가이드 롤러(30∼37), 댄서 롤러(38, 39), 닙 롤러(41∼43), 가열 롤러(45a, 45b), 전사 롤러(52)를, 단순히, 롤러(30∼37, 38, 39, 41∼43, 45a, 45b, 52)라고도 한다. OLED 기재 필름(21) 및 제품 필름(24)을, 단순히, 필름(21, 24)이라고도 한다. 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)을, 단순히, 기판(17, 22)이라고도 한다.
또한, OLED 기재 필름(21) 및 제품 필름(24)의 하측에 배치되는 롤러(30∼37)는, 도 3에 나타낸 롤러(30)를 대표하여 나타낸 구성으로 되어 있다. 도 3은 OLED 기재 필름(21)을 반송 방향과 직교하는 폭 방향으로 절단하여 반송 방향으로부터, 그 절단면 및 상하 롤러(41, 30)를 보았을 때의 구성도이다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 롤러(30)는, OLED 기판(22)의 폭보다 긴 간격으로, 이 OLED 기판(22)의 양측의 필름(21) 상에 직경(r1)의 롤러(30a, 30b)가 배치되며, 각 롤러(30a, 30b)의 중심이 가늘고 긴 원기둥 막대 형상의 축(30c)으로 고정되어 구성되어 있다. 축(30c)과, 각 롤러(30a, 30b) 사이에 OLED 기판(22)을 넘기는 오목부가 형성되고, 이 오목부에 OLED 기판(22)에 의한 볼록부가, 비접촉으로 통과 가능한 사이즈로 되어있다.
이 오목부에는, 도 1에 나타낸 가이드 롤러(33) 이후의 하류측 롤러에 있어서도 동일하게, OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)(또는 17a)에 의한 볼록부가 통과하도록 되어있다.
또한, 유기 EL 밀봉 장치(10)는, 가이드 롤러(30 및 31) 간에 배치된 사행 검출 센서(40)와, 가이드 롤러(32 및 33) 간에 배치된 밀봉 기판 부착 기구(51)를 구비한다.
사행 검출 센서(40)는, OLED 기재 필름(21)의 반송시의 사행을 검출하고, 도시하지 않은 사행 보정부를 구비하여 사행을 보정하는 사행 검출 보정 수단이다.
밀봉 기판 부착 기구(51)는, 전사 롤러(52)를, 지지부(53)의 회전축(54)으로 자유롭게 회전할 수 있도록 지지하고, 지지부(53)가 OLED 기재 필름(21)의 수평인 반송 방향에 대하여 수직인 상하 방향(Y2, Y3)으로 자유롭게 이동 가능한 기구로 되어 있다.
전사 롤러(52)는, 주회면이 유연성이 있는 고무 등의 탄성 부재로 형성되어 있고, 당해 주회면에, 주회 방향에 미리 정해진 간격으로 복수의 밀봉 기판(17)이 부착되어 있다. 이 부착은, 흡인 척, 정전 척, 또는 점착물에 의해 행해진다. 이 예에서는, 전사 롤러(52)로의 각 밀봉 기판(17)의 부착 간격은, 도 2a에 나타낸 OLED 기재 필름(21)의 OLED 기판(22)의 부착 간격(L1)과 동일하며, 전사 롤러(52)로의 부착은, 사람이 행하도록 되어있다. 또한, 밀봉 기판(17)의 형상은, OLED 기판(22)과 동일 형상이며, 본 실시형태에서는 직사각형 형상으로 하고 있으나, 사각, 원, 삼각, 별 등의 임의 형상이 있다. 또한, 부착 간격(L1)은 넓게 하거나 좁게 하거나 할 수도 있다.
또한, 밀봉 기판 부착 기구(51)는, 복수의 밀봉 기판(17)이 부착된 전사 롤러(52)를, 화살표(Y2)로 나타낸 상방향으로 이동하고, 밀봉 기판(17)의 우측단을, OLED 기재 필름(21)의 OLED 기판(22)의 우측단을 덮도록 당접한다. 이 당접 상태로부터, OLED 기재 필름(21)의 반송(Y1 방향)에 동기시켜 전사 롤러(52)를 시계 방향으로 회전시킴으로써, 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)에 우측단으로부터 좌측단을 향해, 도 2b에 나타낸 상태가 되도록 맞붙이게 되어 있다. 이 맞붙임은, 밀봉 기판(17)의 OLED 기판(22)을 향한 면에 점착제가 도포되어 있어 실현된다. 이 때, OLED 기판(22)으로의 밀봉 기판(17)의 점착력(F1)은, 전사 롤러(52)로의 밀봉 기판(17)의 점착력(F2)보다 강하게 되어 있으므로, 밀봉 기판(17)은 매끄럽게 OLED 기판(22)에 부착되어 이행(전사)한다. 단, OLED 기판(22)의 OLED 기재 필름(21)으로의 점착력(F0)은, F0>F1이다. 따라서, F0>F1>F2의 관계로 되어 있다.
부착 완료 후에는, OLED 기재 필름(21)의 다음의 OLED 기판(22)이 반송되어 오나, 전사 롤러(52)의 다음의 밀봉 기판(17)도 OLED 기판(22)과 동일한 간격으로 부착되어 있으므로, 동일하게 다음의 OLED 기판(22)에 다음의 밀봉 기판(17)이 맞붙여진다. 이후 동일하게, 전사 롤러(52)의 모든 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)에 맞붙여진다. 모든 밀봉 기판(17)의 맞붙임이 완료되면, OLED 기재 필름(21)의 반송이 일단 정지하고, 전사 롤러(52)가 화살표(Y3)로 나타낸 하방으로 하강한다. 이 하강에 의해 소정 위치에 정지하면, 전사 롤러(52)에 사람이 소정 매수의 밀봉 기판(17)을 부착하여 세트하도록 되어있다.
가열 롤러(45a, 45b)는, 주회면이 유연성 또한 내열성이 있는 고무 등의 탄성 부재로 형성되어 있고, 밀봉 기판(17)으로 밀봉된 OLED 기판(22)을, 이 위로부터 끼워 가열함으로써, 밀봉 기판(17)을 경화시키도록 되어있다. 또한, 경화한 밀봉 기판을 부호(17a)로 나타낸다.
각 필름(21, 24)의 반송 동작, 사행 검출 센서(40)에서의 사행 검출에 의한 사행 보정 동작, 밀봉 기판 부착 기구(51)에 의한 부착 동작, 가열 롤러(45a, 45b)에 의한 가열 동작 등의 유기 EL 밀봉 장치(10)에 관련된 동작 제어는, 도 4에 나타낸 제어 장치(101)에 의해 행해진다.
즉, 제어 장치(101)는, CPU(Central Processing Unit)(101a), ROM(Read Only Memory)(10lb), RAM(Random Access Memory)(101c), 기억 장치(HDD:Hard Disk Drive 등)(101d)을 구비하고, 이들(101a∼101d)이 버스(102)에 접속된 일반적인 구성으로 되어있다. 이와 같은 구성에 있어서, 예를 들면 CPU(101a)가 ROM(101b)에 기록된 프로그램(101f)을 실행하여, 제어장치(101)의 제어를 실현하도록 되어있다.
<제 1 실시형태의 동작>
다음으로, 도 1에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(10)에 의해 OLED 기판(22)을 밀봉 기판(17)으로 밀봉하는 동작을, 도 5에 나타낸 플로우 차트를 참조하여 설명한다. 또한, 설명 중의 각 동작 제어는, 제어 장치(101)에서 행해지는 것으로 한다. 또한, 유기 EL 밀봉 장치(10)는, 질소(N2) 환경 중에 배치되어 있고, 전사 롤러(52)에는 소정 매수의 밀봉 기판(17)이 부착되어 있는 것으로 한다.
도 5에 나타낸 단계(S1)에 있어서, 도 1에 화살표(Y1)로 나타낸 바와 같이 도시하지 않은 전 공정으로부터, 롤 투 롤로 반송되어 오는 OLED 기재 필름(21)이, 각 롤러(30∼37, 38, 39, 41∼43)를 통과하여 최하류단의 필름 권취부(48)에서 권취되면서 반송된다. 이 때, 필름(21)에는, 댄서 롤러(38, 39)로 늘어짐이 생기지 않도록 텐션이 걸리며, 또한, 사행 검출 보정 수단인 사행 검출 센서(40)에서 사행 보정이 행해져, 적정하게 반송된다.
다음으로, 단계(S2)에 있어서, 반송되는 OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)이, 전사 롤러(52) 상방에 배치된 닙 롤러(42)의 상류측의 소정 위치에 도달하였는지의 여부가 판단된다. 미(未) 도달로 판단(No)된 경우에는, 단계(S1)의 동작 및 단계(S2)의 판단이 반복된다.
도달하였다고 판단(Yes)된 경우, 단계(S3)에 있어서, 밀봉 기판 부착 기구(51)에 의해 전사 롤러(52)가 화살표(Y2)로 나타낸 상방향으로 상승되며, 전사 롤러(52)에 부착된 밀봉 기판(17)의 우측단이, OLED 기재 필름(21)의 OLED 기판(22)의 우측단을 덮도록 당접된다.
단계(S4)에 있어서, 그 당접 상태로부터, OLED 기재 필름(21)의 반송 방향(Y1)으로의 이동에 동기하여 전사 롤러(52)가 시계 방향으로 회전시켜지며, 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)에 우측단으로부터 좌측단을 향하여 맞붙여진다. 이 맞붙임 완료 후에는, OLED 기재 필름(21)의 반송에 의해 다음의 OLED 기판(22)이 소정 위치에 도달하고, 이것에 동기하여 전사 롤러(52)의 회전에 의해 이동한 밀봉 기판(17)이 그 도달한 OLED 기판(22)의 우측단으로부터 맞붙여진다. 이후 동일한 밀봉 동작이, 전사 롤러(52)에 부착된 밀봉 기판(17)의 매수분 순차적으로 실행된다.
다음으로, 단계(S5)에 있어서, 전사 롤러(52)의 모든 밀봉 기판(17)의 맞붙임이 완료되었는지의 여부가 판단된다. 미완료(No)로 판단된 경우는, 단계(S4)의 밀봉 동작 및 단계(S5)의 판단이 순차 반복된다. 단계(S5)에서 완료(Yes)로 판단된 경우, 단계(S6)에 있어서, 밀봉 기판 부착 기구(51)에 의해 전사 롤러(52)가 화살표(Y3)로 나타낸 하방으로 하강되며, 소정 위치에서 정지된다. 이 정지 위치에서, 단계(S7)에 있어서, 전사 롤러(52)에 사람이 소정 매수의 밀봉 기판(17)을 부착하여 세트한다. 이 세트 후에는, 상기 단계(S3)로 돌아가 상기 처리 동작이 행해진다.
또한, 상기 단계(S4∼S7)에서의 처리 동작시에, 단계(S8)에 있어서, 전사 롤러(52)보다 하류측에 반송된 밀봉 기판(17)으로 밀봉된 OLED 기판(22)은, 가열 롤러(45a, 45b)로 끼워지면서 가열되어 경화되고, 밀봉이 완료된다. 이것에 의해 제품 필름(24)이 제조된다. 이 제품 필름(24)은, 단계(S9)에 있어서, 필름 권취부(48)에서 롤 형상으로 권취된다. 이 권취 후에는, 다른 공정에서 가공되어, 최종 제품이 된다.
<제 1 실시형태의 효과>
본 실시형태의 도 1에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(10)에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
유기 EL 밀봉 장치(10)는, 장척 형상의 기판 필름(21a)에 복수의 OLED 기판(22)이 반송 방향(Y1)에 미리 정해진 간격(L1)으로 부착되어 이루어지는 OLED 기재 필름(21)을, 복수의 롤러를 이용하여 롤 투 롤로 반송하는 반송 수단과, 롤러 주회 방향에 간격(L1)과 동일한 간격으로 필름재에 의한 복수의 밀봉 기판(17)이 부착된 전사 롤러(52)와, 전사 롤러(52)를 자유롭게 회전 구동시킴과 함께 반송 방향(Y1)과 수직인 상하 방향으로 이동하는 회전 이동 수단을 구비한다. 반송 수단은, 각 가이드 롤러(30∼37), 댄서 롤러(38, 39), 닙 롤러(41∼43), 필름 권취부(48)의 각 롤러를 이용하여 구성되어 있다. 회전 이동 수단은, 전사 롤러(52)를 자유롭게 회전할 수 있도록 지지하는 지지부(53)를 가지는 밀봉 기판 부착 기구(51)에 의해 구성되어 있다.
그리고, 유기 EL 밀봉 장치(10)를, 회전 이동 수단에 의해 전사 롤러(52)를 이동하여 OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)에 당해 전사 롤러(52)로 부착된 밀봉 기판(17)을 당접하고, 회전 이동 수단에 의한 당해 전사 롤러(52)의 회전 동작과, 반송 수단에 의한 당해 OLED 기재 필름(21)의 반송 동작을 동기시켜, 당해 OLED 기판(22)에 당해 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하도록 구성하였다.
이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하는 제조 작업을, 롤 투 롤로 반송되는 OLED 기재 필름(21)의 각 OLED 기판(22)에, 전사 롤러(52)로 연속하여 복수의 밀봉 기판(17)을 순차적으로 맞붙여 실행할 수 있다. 따라서, 그 제조 작업의 택 타임을 단축할 수 있어, 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 회전 이동 수단은, 전사 롤러(52)를 이동하여 OLED 기판(22)의 가장자리에 전사 롤러(52)에 부착된 밀봉 기판(17)의 가장자리를 당접하고, 이 당접된 OLED 기판(22)의 일단(一端)으로부터 타단(他端)을 향해 전사 롤러(52)의 회전 동작으로 밀봉 기판(17)이 맞붙여지는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)이 가장자리로부터 서서히 공기(질소)를 내보내도록 부착되므로, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 사이에 기포가 생기지 않도록 밀봉을 행할 수 있다.
또한, 반송 수단에 이용되는 롤러(도 3에 대표하여 나타낸 롤러(30))는, OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)을 밀봉 기판(17)으로 밀봉한 상태에 있어서 당해 OLED 기재 필름(21)으로부터 볼록 형상으로 돌출된 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17, 17a)이, 반송 방향으로 통과할 수 있는 오목부를 가지는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, 장척 형상의 OLED 기재 필름(21)에 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17, 17a)이 소정 간격으로 볼록 형상에 부착되어 있어도, 그 볼록 형상 부분이 오목부를 빠져나가므로, OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)을 파손하지 않고, 연속적으로 롤 투 롤로 반송할 수 있다.
또한, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 형상은, 상술한 바와 같이 밀봉 기판(17)의 쪽이 큰 상사형이다.
이것에 의해, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 쌍방을 대향시킬 때에, 쌍방이 상사형이므로 쌍방의 중심이 맞도록 하면 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있다.
또한, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 부착하는 힘(F1)은, 전사 롤러(52)에 당해 밀봉 기판(17)을 부착하는 힘(F2) 보다 강하게 되어 있는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, 전사 롤러(52)에 부착된 밀봉 기판(17)을, OLED 기판(22)에 맞붙여 이행(전사)시킬 때에, 용이하게 행할 수 있다.
또한, OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)이 맞붙여진 상태에서, 당해 밀봉 기판(17)을 가열하여 경화(가요성을 가지는 경화)시키는 가열 수단으로서의 가열 롤러(45a, 45b)를 더 구비하는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙인 후에, 가열하여 경화시키므로, OLED 기판(22)으로의 밀봉 기판(17)의 맞붙임 강도가 높아져, 제품 필름(24)을 고품질로 제조할 수 있다.
또한, 반송 수단에서 반송되는 OLED 기재 필름(21)의 사행을 검출하여 사행 보정을 행하는 사행 검출 보정 수단으로서의 사행 검출 센서(40)를 더 구비하는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, OLED 기재 필름(21)을 상시 직선 형상 등의 소정 진로로 반송할 수 있으므로, 필름(21) 상의 OLED 기판(22)의 정지 등을 적정한 위치에서 행할 수 있다.
<제 1 실시형태의 응용예>
상기 구성에서는, 전사 롤러(52)로의 밀봉 기판(17)의 부착을 사람이 행하나, 자동으로 행하도록 해도 된다. 이 경우, 전사 롤러(52)에 있어서의 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)에 맞붙이는 맞붙임 위치에 대해 기판(22)의 직경 방향에 대향하는 하방측의 위치에, 밀봉 기판(17)의 공급 수단(도시 생략)을 구비한다. 단, 다음에 공급 수단의 설명을 행하나, 구성 요소는 도시하지 않는 것으로 한다.
공급 수단은, 장척 형상 필름에 밀봉 기판(17)이 상기 간격(L1){도 2a}이고 또한 점착력(F2)보다 약한 점착력(F3)으로 부착된 롤 필름을, 복수의 롤러에 의해 롤 투 롤로 반송하는 제 1 수단을 구비한다. 또한, 제 1 수단에서 반송되는 롤 필름 상의 밀봉 기판(17)을, 전사 롤러(52)의 회전에 동기시켜 반송하고, 전사 롤러(52)의 맞붙임 위치와 대향하는 하방 위치의 주회면에 당접시키면서, 롤 필름으로부터 전사 롤러(52)에 밀봉 기판(17)을 전사시켜 이행하는 제 2 수단을 구비하여 구성한다.
이 구성에 의하면 다음과 같은 효과가 얻어진다. 전사 롤러(52)로부터 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)에 맞붙여져 전사되면, 전사 롤러(52)의 그 밀봉 기판(17)이 부착되어 있던 부분에는 아무것도 없게 되나, 전사 롤러(52)가 더 회전하면, 그 아무것도 없는 부분에, 제 1 수단에서 반송되어 오는 롤 필름 상의 밀봉 기판(17)이, 제 2 수단에서 전사 롤러(52)에 부착되어 전사된다. 이 전사 동작이 연속하여 행해지므로, 전사 롤러(52)에 의한 OLED 기판(22)으로의 밀봉 기판(17)의 맞붙임을 연속하여 행하는 것이 가능해진다.
<제 2 실시형태의 구성>
도 6은, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 유기 EL 밀봉 장치(60)를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다. 단, 도 6에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(60)에 있어서, 도 1에 나타낸 제 1 실시형태의 유기 EL 밀봉 장치(10)에 대응하는 부분에는, 동일한 부호를 붙여, 그 설명을 적절히 생략한다.
유기 EL 밀봉 장치(60)는, 화살표(Y1)로 나타낸 바와 같이 도시하지 않은 전 공정으로부터, 롤 투 롤로 반송되어 오는 도 2a에 나타낸 OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)에, 밀봉 기판(17)을 배치(batch) 처리에 의해 도 2b에 나타낸 상태가 되도록 맞붙여 밀봉하는 것이다. 이것에 의해 유기 EL 조명 장치 등의 전기 제품에 이용되는 제품 필름(24)을 제조한다. 또한, 유기 EL 밀봉 장치(60)는 질소(N2) 환경 중에 배치되어 있어도 된다.
단, 밀봉 기판(17)은 필름재나 유리재 등에 의해 형성되고, OLED 기판(22)의 표면도 필름재나 유리재 등에 의해 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 각 기판(17, 22)의 표면 모두 필름재로 형성되어 있다고 한다.
유기 EL 밀봉 장치(60)는, OLED 기재 필름(21)을 화살표(Y1)로 나타낸 수평 방향으로 반송하는 가이드 롤러(30∼35, 35a, 35b, 36, 37)와, 댄서 롤러(38, 39)와, 닙 롤러(41, 43)와, OLED 기판(22)을 밀봉 후의 밀봉 기판(17)을 후술한 바와 같이 UV(자외선) 조사를 행하여 제조한 제품 필름(24)을 롤 형상으로 권취하는 최하류측의 필름 권취부(48)를 구비한다. 단, 도 6에 있어서 경화 후의 밀봉 기판(17)에는 부호(17a)를 붙인다.
또한, 가이드 롤러(30∼35, 35a, 35b, 36, 37), 댄서 롤러(38, 39), 닙 롤러(41, 43)를, 단순히, 롤러(30∼35, 35a, 35b, 36, 37, 38, 39, 41, 43)라고도 한다. OLED 기재 필름(21) 및 제품 필름(24)도, 단순히, 필름(21, 24)이라고 한다. 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)을, 단순히, 기판(17, 22)이라고도 한다.
또한, 필름(21, 24)의 하측에 배치되는 롤러(30∼35, 35a, 35b, 36, 37)는, 제 1 실시형태와 동일하게 도 3에 나타낸 롤러(30)와 동일한 구성으로 되어있다.
또한, 도 6에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(10)는, 닙 롤러(41)의 하류측에 배치된 사행 검출 센서(40)와, 가이드 롤러(33 및 34) 간에 배치된 진공 프레스 밀봉 기구(62)와, 가이드 롤러(35 및 35a) 간에 배치된 UV 조사기(71)를 구비한다.
사행 검출 센서(40)는, 필름(21)의 사행을 검출하고, 도시하지 않은 사행 보정부를 구비하여 사행을 보정하는 사행 검출 보정 수단이다.
진공 프레스 밀봉 기구(62)는, 하측 테이블부(63)와, 상측 테이블부(64)와, 디스펜서부(65)와, 카메라부(66)를 구비하여 구성되어 있다.
하측 테이블부(63)는, 바닥면이 사방(四方) 프레임으로 둘러싸인 오목 형상의 바깥 프레임 테이블(63a)과, 바깥 프레임 테이블(63a)의 오목 프레임 내에 배치된 평판 테이블(63b)과, 평판 테이블(63b)의 상면측에 내장된 평판 형상의 히터(63c)와, XYZθ 이동 기구(63d)를 구비하여 구성되어 있다.
XYZθ 이동 기구(63d)는, 바깥 프레임 테이블(63a)을, 수평에 대해 수직인 상하 방향(쌍방향 화살표(Y12))인 Z방향과, 필름(21)의 반송 방향(Y1)을 따른 쌍방향의 X방향과, 당해 X방향과 수평면 상에서 직교하는 Y방향으로 자유롭게 이동시키고, 또한, 바깥 프레임 테이블(63a)의 중심을 축으로서 수평면 상에 있어서 당해 바깥 프레임 테이블(63a)을 시계 방향 또는 반시계 방향으로 소정 각도(θ) 회전 이동하는 XYZθ 이동 기능을 가진다. 또한, XYZθ 이동 기구(63d)는, 평판 테이블(63b)도 Z방향으로 이동하는 기능을 가진다.
또한, 바깥 프레임 테이블(63a)을 Y방향인 도면을 향해 바로 앞 방향으로 이동시켜, 평판 테이블(63b)을 상방으로부터 일부분만을 나타낸 상태로서, 사람이 밀봉 기판(17)을 평판 테이블(63b) 상에 재치하여 세트하도록 되어있다.
상측 테이블부(64)는, 평판 형상을 이루고, OLED 기재 필름(21)을 끼운 바깥 프레임 테이블(63a)의 상방에 배치되어 있고, 평판 형상의 하면측(필름(21)의 반송측)에 히터(64a)가 내장되어 있다.
디스펜서부(65)는, 바깥 프레임 테이블(63a)의 오목 프레임 밖으로 배치되어 있고, 수평 및 수직 방향 화살표(Y13)로 나타낸 바와 같이, 상술한 XYZ 방향으로 이동이 자유로우며, 평판 테이블(63b) 상에 세트된 밀봉 기판(17)의 위에 도시하지 않은 UV 도포제를 도포하는 것이다. 이 도포는, 밀봉 기판(17) 상에 빈틈없이 또는 구획 형상 등의 미리 정해진 상태로 행해진다.
카메라부(66)는, 쌍방향 화살표(Y14)로 나타낸 바와 같이 필름(21)의 반송 방향 및 이 역방향으로 자유롭게 이동 가능하며, 상방에 렌즈부(66a)와, 하방에 렌즈부(66b)와, 이들 렌즈부(66a, 66b) 간에 프리즘 등의 편광 기구(66c)를 구비하여 구성되어 있다. 편광 기구(66c)는, 촬영광이 상하 중 어느 하나의 렌즈부(66a 또는 66b)로부터 입사되도록 전환하는 기능을 가진다.
상방의 렌즈부(66a)는, 상측 테이블(67)의 하방 소정 위치에서 일단 정지된 필름(21)의 OLED 기판(22)의 위치 맞춤용의 마크를 촬영하고, 하방의 렌즈부(66b)는, 평판 테이블(63b)에 세트된 밀봉 기판(17)의 위치 맞춤용의 마크를 촬영한다. 즉, 렌즈부(66a)에서 상방의 OLED 기판(22)의 마크를 촬영한 후에, 편광 기구(66c)에서 하방의 렌즈부(66b)로 전환하고, 이 렌즈부(66b)에서 하방의 밀봉 기판(17)의 마크를 촬영하도록 되어있다. 단, 각 마크는, 각 기판(22, 17)의 반송 방향을 따른 양측 에지여도 된다.
이 촬영에 의해, OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)의 쌍방의 마크가 불일치한 경우, XYZθ 이동 기구(63d)에 의해 밀봉 기판(17)이 재치된 바깥 프레임 테이블(63a)을 XYZθ 이동시키고, 쌍방의 마크를 일치시킨다. 일치 후에는, 카메라부(66)는, 바깥 프레임 테이블(63a)의 프레임 밖으로 이동하도록 되어있다.
또한, XYZθ 이동 기구(63d)는, 쌍방의 마크가 일치한 후, 바깥 프레임 테이블(63a)을 상방향으로 이동시켜, 도 6 중에 파선 프레임으로 나타낸 바와 같이, 바깥 프레임 테이블(63a)의 오목 프레임 내에 OLED 기판(22)을 수용하여 상측 테이블부(64)의 하면에 오목 테두리 상단을 극간없이 당접시켜, 밀폐 공간을 형성한다. 이 후에, 진공 프레스 밀봉 기구(62)의 도시하지 않은 진공 펌프로, 그 밀폐 공간의 공기(질소)를 빼내 진공 상태로 한다. 이 진공 상태가 된 밀폐 공간에 있어서, 평판 테이블(63b)을 상방으로 이동하고, 밀봉 기판(17)의 UV 도포제의 도포면을 OLED 기판(22)에 당접시키도록 되어있다.
또한, 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)에 당접시킬 경우에는, 이 당접한 각 기판(17, 22) 간에서 UV 도포제가 비어져 나오지 않도록 행한다. 즉, 밀봉 기판(17)으로의 UV 도포제의 도포 두께가 미리 정해진 두께로 유지되는 상태에, 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)에 당접시키도록 되어있다. 이와 관련하여, UV 도포제의 양이 많으면 비어져 나오기 쉽고, 적으면 도포 두께가 얇아져 후술한 UV 조사에 의한 UV 도포제의 경화에 의한 밀봉을 적정하게 행할 수 없다. 그래서, 적정한 경화 강도로 밀봉을 행할 수 있는 도포 두께가 되도록 되어있다.
이 당접 후에는, 상하의 히터(63c, 64a)로 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)을 소정 온도로 가열하여 쌍방의 기판(22, 17)을 보다 밀착시키도록 되어있다.
UV 조사기(71)는, 상기한 바와 같이 UV 도포제를 사이에 두고 밀착한 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)에 UV를 조사하고, UV 도포제를 경화시켜, OLED 기판(22)을 밀봉 기판(17a)에서 보다 강경(强硬)하게 밀봉하는 것이다. 단, 상기의 경화는, 가요성을 가지는 경화이다.
단, 각 필름(21, 24)의 반송 동작, 사행 검출 센서(40)에서의 사행 검출에 의한 사행 보정 동작, XYZθ 이동 기구(63d)의 바깥 프레임 테이블(63a) 및 평판 테이블(63b)의 이동 동작, 디스펜서부(65)의 도포 동작, 카메라부(66)의 촬영 동작, OLED 기판(22)으로의 밀봉 기판(17)의 위치 맞춤 동작, 진공 프레스 밀봉 기구(62)의 진공 처리 동작, 히터(63c, 64a)의 가열 동작, UV 조사기(71)에 의한 UV 조사 동작 등의 유기 EL 밀봉 장치(60)에 관련된 동작 제어는, 도 4에 나타낸 제어장치(101)에 의해 행해지도록 되어있다.
<제 2 실시형태의 동작>
다음으로, 도 6에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(60)에 의해 OLED 기판(22)을 밀봉 기판(17)으로 밀봉하는 동작을, 도 7 및 도 8에 나타낸 플로우 차트를 참조하여 설명한다. 또한, 설명 중의 각 동작 제어는, 제어 장치(101)에서 행해지는 것으로 한다.
도 7에 나타낸 단계(S11)에 있어서, 도 6에 나타낸 평판 테이블(63b)의 위에 밀봉 기판(17)이 사람에 의해 세트되면, 평판 테이블(63b)이 밀봉 기판(17)의 맞붙임을 행하기 위한 소정 위치로 되돌려지며, 밀봉 기판(17)의 상면에 디스펜서부(65)에 의해 UV 도포제가 도포된다.
한편, 단계(S12)에 있어서, 도 6에 화살표(Y1)로 나타낸 바와 같이 도시하지 않은 전 공정으로부터, 롤 투 롤로 반송되어 오는 OLED 기재 필름(21)이, 각 롤러(30∼35, 35a, 35b, 36, 37, 38, 39, 41, 43)를 통과하여 최하류단의 필름 권취부(48)에서 권취되면서 반송된다. 이 때, 필름(21)에는, 댄서 롤러(38, 39)로 늘어짐이 생기지 않도록 텐션이 걸리고, 또한, 사행 검출 센서(40)에서 사행 보정이 행해져, 적정하게 반송된다.
다음으로, 단계(S13)에 있어서, 반송되는 OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)이, 상측 테이블부(64)의 하면측의 소정 위치에 도달하면, 일단 정지되어 소정 위치에서 유지된다.
이 유지 후에, 단계(S14)에 있어서, 카메라부(66)에 의해 상하의 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)의 쌍방의 마크가 촬영된다.
단계(S15)에 있어서, 그 촬영된 쌍방의 마크가 일치하고 있는지의 여부가 판단된다. 이 결과, 불일치(No)로 판단된 경우, 단계(S16)에 있어서, XYZθ 이동 기구(63d)에 의해, 쌍방의 마크가 일치하도록, 밀봉 기판(17)이 평판 테이블(63b)에 세트된 바깥 프레임 테이블(63a)이 XYZθ 이동된다. 이 이동 후에는, 상기 단계(S14)에서 다시 촬영이 행해지며, 단계(S15)의 판단으로 일치(Yes)로 판단되면, 단계(S17)에서, XYZθ 이동 기구(63d)에 의해 바깥 프레임 테이블(63a)이 상방으로 이동된다.
이 이동에 의해 바깥 프레임 테이블(63a)이, 도 6 중에 파선 프레임으로 나타낸 바와 같이, 바깥 프레임 테이블(63a)의 오목 프레임 내에 OLED 기판(22)을 수용하여 상측 테이블부(64)의 하면에 오목 프레임의 상단이 극간없이 당접되어, 밀폐 공간이 형성된다.
이 후에, 도 8에 나타낸 단계(S18)에 있어서, 진공 프레스 밀봉 기구(62)의 진공 펌프(도시 생략)로, 그 밀폐 공간의 공기(질소)가 빼내져, 진공 상태가 된다.
다음으로, 단계(S19)에 있어서, 그 진공 상태가 된 밀폐 공간에 있어서, 평판 테이블(63b)이 상방으로 이동되며, 밀봉 기판(17)의 UV 도포제의 도포면이 OLED 기판(22)에 소정 상태로 당접되어 유지된다.
이 당접 후에, 단계(S20)에 있어서, 상하의 히터(63c, 64a)로 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)이 소정 온도로 가열되어, 쌍방의 기판(22, 17)이 밀착된다.
이 후에, 단계(S21)에 있어서, 진공 상태가 해제됨과 함께 평판 테이블(63b)이 하강되고, 바깥 프레임 테이블(63a)이 더 하강되어, 평판 테이블(63b)로의 밀봉 기판(17)의 세트 위치로 되돌려진다.
또한, 바깥 프레임 테이블(63a)의 하강 후, 단계(S22)에 있어서, OLED 기재 필름(21)이 정지 상태에서 반송 상태가 되고, UV 조사기(71)에 도달하면 다시 정지 상태가 된다.
이 때, 상측 테이블부(64)의 소정 위치에는, 다음의 OLED 기판(22)이 도달하여 정지 유지 상태가 되고, 이 OLED 기판(22)에 대해서는, 상기 단계(S11∼S20)의 처리가 동일하게 행해진다.
다음으로, 단계(S23)에 있어서, UV 조사기(71)에 의해, UV 도포제를 사이에 두고 밀착한 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)에 UV가 조사된다. 이것에 의해 UV 도포제가 경화하고, OLED 기판(22)이 밀봉 기판(17a)에서 강고하게 밀봉된 상태가 된다. 이것에 의해 제품 필름(24)이 제조된다. 이 제품 필름(24)은, 단계(S24)에 있어서, 필름 권취부(48)에서 롤 형상으로 권취된다.
<제 2 실시형태의 효과>
본 실시형태의 도 6에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(60)에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
유기 EL 밀봉 장치(60)는, 장척 형상의 기판 필름(21a)에 복수의 OLED 기판(22)이 반송 방향에 미리 정해진 간격으로 부착되어 이루어지는 OLED 기재 필름(21)을, 복수의 롤러를 이용해 롤 투 롤로 반송하는 반송 수단과, OLED 기재 필름(21)의 상방에 배치되는 상측 테이블부(64)과, OLED 기재 필름(21)을 개재한 상측 테이블부(64)의 하방 대향 위치에 배치되며, 필름재 또는 유리재에 의한 밀봉 기판(17)을 재치(하측 테이블부(63)의 구성 요소인 평판 테이블(63b)에 재치)하는 하측 테이블부(63)와, 하측 테이블부(63)를 상하 전후 좌우 및 회전 방향인 XYZθ 방향으로 자유롭게 이동하는 이동 수단으로서의 XYZθ 이동 기구(63d)와, 상측 테이블부(64)에 재치된 밀봉 기판(17) 상에 자외선으로 경화하는 UV 도포제를 도포하는 도포 수단으로서의 디스펜서부(65)와, 자외선(UV)을 조사하는 UV 조사 수단으로서의 UV 조사기(71)를 구비한다.
반송 수단은, 각 가이드 롤러(30∼35, 35a, 35b, 36, 37), 댄서 롤러(38, 39), 닙 롤러(41, 43), 필름 권취부(48)의 각 롤러를 이용하여 구성되어 있다.
그리고, 반송 수단은 반송되는 OLED 기재 필름(21)을 상측 테이블부(64)의 하방의 미리 정해진 위치에 OLED 기판(22)이 배치되도록 정지하고, XYZθ 이동 기구(63d)는, 밀봉 기판(17)이 재치된 하측 테이블부(63)를 상방향으로 이동하여 당해 하측 테이블부(63)와 상측 테이블부(64)의 사이에서, 상기 정지한 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)이 UV 도포제를 개재하여 당접하도록 파지하고, 그 당접한 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17) 간의 UV 도포제에 UV 조사기(71)로 UV를 조사하는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하는 제조 작업을, 롤 투 롤로 반송되는 OLED 기재 필름(21)의 각 OLED 기판(22)에, 하측 테이블부(63)에 재치된 밀봉 기판(17)을 상방으로 이동하여 OLED 기판(22)에 당접시켜, 상측 테이블부(64)와의 사이에 파지하여 맞붙일 수 있다. 따라서, 배치(batch) 처리로, OLED 기판(22)으로의 밀봉 기판(17)의 밀봉 작업을 행할 수 있으므로, 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 하측 테이블부(63) 및 상측 테이블부(64)의 대향 공간을 진공 상태로 하는 진공 수단으로서의 진공 펌프(도시 생략)를 더 구비하고, 하측 테이블부(63)와 상측 테이블부(64)의 사이에 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)이 당접 상태로 파지되기 전에, 진공 펌프에 의해 상기의 대향 공간을 진공 상태로 하고, 이 진공 상태에 있어서 당해 파지를 행하는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, 진공 중에서 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)에 맞붙일 수 있으므로, 쌍방의 기판(17, 22) 간에 기포가 개재하지 않아 쌍방을 밀착 상태로 맞붙일 수 있다.
또한, OLED 기판(22)으로의 UV 도포제를 개재한 밀봉 기판(17)의 당접은, UV 도포제의 도포 두께가 미리 정해진 두께 이상으로 유지되도록 행해지는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 사이에 소정 두께 이상의 UV 도포제가 개재되므로, UV 조사로 UV 도포제를 경화했을 때에, 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)에 고르게 맞붙인 상태에서 경화시킬 수 있다.
또한, OLED 기판(22)에 첨부된 위치 맞춤용의 마크와, 밀봉 기판(17)에 첨부된 위치 맞춤용의 마크의 쌍방을 촬영하는 촬영 수단으로서의 카메라부(66)를 더 구비하고, OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)의 쌍방이 당접 상태로 파지되기 전에, 상기 카메라부(66)에서 촬영된 쌍방의 마크가 미리 정해진 대향 상태에 일치하도록, XYZθ 이동 기구(63d)로, 밀봉 기판(17)이 재치된 하측 테이블부(63)를 이동시키는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, OLED 기재 필름(21) 상의 OLED 기판(22)과, 하측 테이블부(63)에 재치된 밀봉 기판(17)의 쌍방을 소정의 대향 상태에 일치시킬 수 있다.
또한, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 형상은, 상술한 바와 같이 밀봉 기판(17)의 쪽이 큰 상사형이다.
이것에 의해, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 쌍방을 대향시킬 때에, 쌍방이 상사형이므로 쌍방의 중심이 맞도록 하면 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있다.
또한, 반송 수단에서 반송되는 OLED 기재 필름(21)의 사행을 검출하여 사행 보정을 행하는 사행 검출 보정 수단으로서의 사행 검출 센서(40)를 더 구비하는 구성으로 하였다.
이 구성에 의하면, OLED 기재 필름(21)을 직선 상태로 반송할 수 있으므로, 필름(21) 상의 OLED 기판(22)의 정지 등을 적정한 위치에서 행할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 여러 가지 변형예가 포함된다. 예를 들면, 상기한 실시형태는 본 발명을 알기 쉽게 설명하기 위해 상세하게 설명한 것이며, 반드시 설명한 모든 구성을 구비하는 것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 어떤 실시형태의 구성의 일부를 다른 실시형태의 구성으로 치환하는 것도 가능하고, 또한, 어떤 실시형태의 구성에 다른 실시형태의 구성을 더하는 것도 가능하다. 또한, 각 실시형태의 구성의 일부에 대해, 다른 구성의 추가·삭제·치환을 하는 것이 가능하다.
또한, 상기의 각 구성, 기능, 처리부(제어부), 처리 수단 등은, 그들의 일부 또는 전부를, 예를 들면 집적 회로로 설계하는 등에 의해 하드웨어로 실현해도 된다. 또한, 상기의 각 구성, 기능 등은, 프로세서가 각각의 기능을 실현하는 프로그램을 해석하고, 실행함으로써 소프트웨어로 실현해도 된다. 각 기능을 실현하는 프로그램, 테이블, 파일 등의 정보는, 메모리나, 하드 디스크, SSD(Solid State Drive) 등의 기록 장치, 또는, IC(Integrated Circuit) 카드, SD(Secure Digital memory) 카드, DVD(Digital Versatile Disc) 등의 기록 매체에 둘 수 있다.
또한, 제어선이나 정보선은 설명상 필요하다고 생각되는 것을 나타내고 있고, 제품상 반드시 모든 제어선이나 정보선을 나타내고 있다고는 할 수 없다. 실제로는 거의 모든 구성이 서로 접속되어 있다고 생각해도 된다.
또한, OLED 기재 필름(21)에 밀봉 기판(17)이 부착되고, OLED 기판(22)이 전사 롤러(52) 또는 바깥 프레임 테이블(63a)에 세트되어 있는 구성이어도 된다.
10, 60: 유기 EL 밀봉 장치 17: 밀봉 기판(제 2 기판)
21: OLED 기재 필름 22: OLED 기판(제 1 기판)
24: 제품 필름 48: 필름 권취부
30, 31, 32, 33, 34, 35, 35a, 35b, 36, 37: 가이드 롤러(반송 수단)
38, 39: 댄서 롤러(반송 수단) 41∼43: 닙 롤러(반송 수단)
45a, 45b: 가열 롤러(가열 수단) 52: 전사 롤러
40: 사행 검출 센서(사행 보정 수단)
51: 밀봉 기판 부착 기구(회전 이동 수단) 53: 지지부(회전 이동 수단)
62: 진공 프레스 밀봉 기구 63: 하측 테이블부
63a: 바깥 프레임 테이블 63b: 평판 테이블
63c, 64a: 히터 63d: XYZθ 이동 기구
64: 상측 테이블부 65: 디스펜서부(도포 수단)
66: 카메라부 66a, 66b: 렌즈부
66c: 편광 기구 71: UV 조사기(UV 조사 수단)
101: 제어 장치

Claims (13)

  1. 장척 형상의 필름에 복수의 유기 EL 소자 제작용의 제 1 기판이 반송 방향에 미리 정해진 간격으로 부착되어 이루어지는 기재 필름을 롤 투 롤로 반송하는 반송 수단과,
    롤러 주회(周回) 방향에 상기 간격과 동일한 간격으로 필름재에 의한 복수의 유기 EL 소자 제작용의 제 2 기판이 부착된 전사 롤러와,
    상기 전사 롤러를 자유롭게 회전 구동시킴과 함께 상기 반송 방향과 수직인 상하 방향으로 이동하는 회전 이동 수단을 구비하고,
    상기 회전 이동 수단에 의해 상기 전사 롤러를 이동하여 상기 기재 필름에 부착된 제 1 기판에 당해 전사 롤러에 부착된 제 2 기판을 당접하고, 당해 회전 이동 수단에 의한 당해 전사 롤러의 회전 동작과, 상기 반송 수단에 의한 당해 기재 필름의 반송 동작을 동기시켜, 당해 제 1 기판에 당해 제 2 기판을 맞붙여 일방(一方)을 타방(他方)에 의해 밀봉하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 기판은 OLED 기판이며, 상기 제 2 기판은 밀봉 기판인 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 회전 이동 수단은, 상기 전사 롤러를 이동하여 상기 OLED 기판의 가장자리에 당해 전사 롤러에 부착된 밀봉 기판의 가장자리를 당접하고, 이 당접된 당해 OLED 기판의 일단으로부터 타단을 향해 전사 롤러의 회전 동작으로 당해 밀봉 기판이 맞붙여지도록 한 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 반송 수단에 이용되는 롤러는, 상기 기재 필름에 부착된 OLED 기판을 상기 밀봉 기판으로 밀봉한 상태에 있어서 당해 기재 필름으로부터 볼록 형상으로 돌출된 OLED 기판 및 밀봉 기판이, 상기 반송 방향으로 통과할 수 있는 오목부를 가지는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  5. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판을 맞붙이는 힘은, 상기 전사 롤러에 당해 밀봉 기판을 부착하는 힘보다 강하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  6. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 기재 필름에 부착된 OLED 기판에 상기 밀봉 기판이 맞붙여 밀봉된 상태에서, 당해 밀봉 기판을 가열하여 경화시키는 가열 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  7. 장척 형상의 필름에 복수의 유기 EL 소자 제작용의 제 1 기판이 반송 방향에 미리 정해진 간격으로 부착되어 이루어지는 기재 필름을 롤 투 롤로 반송하는 반송 수단과,
    상기 기재 필름의 상방으로 배치되는 상측 테이블부와,
    상기 기재 필름을 개재한 상기 상측 테이블부의 하방 대향 위치에 배치되며, 유기 EL 소자 제작용의 제 2 기판을 재치하는 하측 테이블부와,
    상기 하측 테이블부를 상하 전후 좌우 및 회전 방향으로 자유롭게 이동하는 이동 수단과,
    상기 하측 테이블부에 재치된 밀봉 기판상에 자외선으로 경화하는 UV 도포제를 도포하는 도포 수단과,
    자외선을 조사하는 UV 조사 수단을 구비하고,
    상기 반송 수단은 반송되는 상기 기재 필름을 상기 상측 테이블부의 하방의 미리 정해진 위치에 상기 제 1 기판이 배치되도록 정지하고, 상기 이동 수단은, 상기 제 2 기판이 재치된 하측 테이블부를 상방향으로 이동하여 당해 하측 테이블부와 상기 상측 테이블부의 사이에서, 상기 정지한 제 1 기판에 상기 제 2 기판이 상기 UV 도포제를 개재해서 당접하도록 파지하고, 그 당접한 제 1 기판 및 제 2 기판 간의 UV 도포제에 상기 UV 조사 수단에서 자외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제 1 기판은 OLED 기판이며, 상기 제 2 기판은 밀봉 기판인 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 하측 테이블부 및 상기 상측 테이블부의 대향 공간을 진공 상태로 하는 진공 수단을 더 구비하고,
    상기 하측 테이블부와 상기 상측 테이블부의 사이에 상기 밀봉 기판 및 상기 OLED 기판이 당접 상태로 파지되기 전에, 상기 진공 수단에 의해 상기 대향 공간을 진공 상태로 하고, 이 진공 상태에 있어서 당해 파지를 행하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  10. 제 8항 또는 제 9항에 있어서,
    상기 OLED 기판으로의 상기 UV 도포제를 개재한 상기 밀봉 기판의 당접은, 상기 UV 도포제의 도포 두께가 미리 정해진 두께 이상으로 유지되도록 행해지는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  11. 제 8항 또는 제 9항에 있어서,
    상기 OLED 기판에 첨부된 위치 맞춤용의 마크와, 상기 밀봉 기판에 첨부된 위치 맞춤용의 마크의 쌍방을 촬영하는 촬영 수단을 더 구비하고,
    상기 OLED 기판 및 상기 밀봉 기판의 쌍방이 당접 상태로 파지되기 전에, 상기 촬영 수단에서 촬영된 쌍방의 마크가 미리 정해진 대향 상태에 일치하도록, 상기 이동 수단으로, 당해 밀봉 기판이 재치된 상기 하측 테이블부를 이동시키는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  12. 제 1항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 OLED 기판과 상기 밀봉 기판은, 당해 밀봉 기판의 쪽이 큰 상사형(相似形)인 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
  13. 제 1항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 반송 수단에서 반송되는 상기 기재 필름의 사행을 검출하여 사행 보정을 행하는 사행 검출 보정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
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