JP2008213149A - 感光性積層体の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板に貼り付けられた感光材料層の位置を効率的且つ高精度に計測して、製造された感光性積層体の品質保証を行うことのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】貼り付け機構46においてガラス基板24に長尺状感光性ウエブ22が貼り付けられ、カッタ機構48によって分離された感光性積層体24aは、保護フイルムが剥離された後、検出部104に搬送される。検出部104では、ガラス基板24又は感光性樹脂層の前端部がフォトセンサ106によって検出されたタイミングでCCDカメラ108a、108bにより画像が撮影され、撮影された画像に基づき、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の前端部の貼り付け位置が算出される。同様にして、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の後端部の貼り付け位置が算出される。
【選択図】図1
【解決手段】貼り付け機構46においてガラス基板24に長尺状感光性ウエブ22が貼り付けられ、カッタ機構48によって分離された感光性積層体24aは、保護フイルムが剥離された後、検出部104に搬送される。検出部104では、ガラス基板24又は感光性樹脂層の前端部がフォトセンサ106によって検出されたタイミングでCCDカメラ108a、108bにより画像が撮影され、撮影された画像に基づき、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の前端部の貼り付け位置が算出される。同様にして、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の後端部の貼り付け位置が算出される。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板は、感光性樹脂層(感光材料層)を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。
例えば、特許文献1に開示されている製造装置では、図9に示すように、ロール1から感光性シート体2を繰り出してハーフカッタ装置3に供給し、感光性シート体2を構成する支持体上に積層されている保護フイルム及び感光性樹脂層を所定の間隔で切断する。次いで、保護フイルム除去部4に前記感光性シート体2を供給し、基板5の貼り付け範囲に対応する保護フイルムを粘着テープ等を用いて剥離した後、熱圧着ローラ6a、6b間に供給する。一方、熱圧着ローラ6a、6b間には、加熱された基板5が搬入され、保護フイルムが剥離されることで露出した感光性樹脂層を介して感光性シート体2が基板5の下面部に加熱圧着される。感光性シート体2が加熱圧着された基板5は、熱圧着ローラ6a、6bから搬出された後、分離装置7に供給され、基板5間の感光性シート体2が切断されることで感光性積層体が製造される。
ところで、感光性シート体2は、可撓性の支持体の上に感光性樹脂層及び保護フイルムを積層して形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、感光性シート体2に延びが発生する。特に、熱圧着ローラ6a、6bは、感光性シート体2を加熱して基板5に貼り付けるため、熱圧着ローラ6a、6bの近傍での延びが大きい。従って、感光性シート体2に対する基板5の位置を調整し、基板5の所定範囲に保護フイルムが剥離された感光性樹脂層を正確に位置決めして貼り付ける必要がある。
また、製造された感光性積層体は、基板5の所定の位置に感光性シート体2が貼り付けられているか否かを検査する必要がある。この場合、例えば、図10に示すように、基板5の前後の側端部と感光性シート体2の側端部との距離L1f、L1bを測定するとともに、基板5の前端部及び後端部と感光性シート体2に形成されたハーフカット部Hf、Hbとの距離L2f、L2bを測定し、これらの距離L1f、L1b及びL2f、L2bが許容範囲内にあるか否かを判定することで、感光性積層体の品質保証を行っている。
しかしながら、従来の検査方法では、基板5に対する感光性シート体2の貼り付け位置を人手により計測していたため、計測に多大な時間を要するだけでなく、計測ミスを惹起するおそれがあり、製造された全ての感光性積層体を効率的且つ確実に検査することが極めて困難であった。
本発明は、基板に貼り付けられた感光材料層の位置を効率的且つ高精度に計測して、製造された感光性積層体の品質保証を行うことのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出する端部検出部と、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影する撮影部と、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出する貼り付け位置算出部と、
を備えることを特徴とする。
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出する端部検出部と、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影する撮影部と、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出する貼り付け位置算出部と、
を備えることを特徴とする。
また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出するステップと、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影するステップと、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出するステップと、
からなることを特徴とする。
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出するステップと、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影するステップと、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出するステップと、
からなることを特徴とする。
本発明では、基板端部又は基板に貼り付けられた感光材料層の端部を検出し、その検出タイミングに従って基板端部及び感光材料層端部を含む画像を撮影して、感光材料層の基板に対する貼り付け位置を算出することにより、製造された感光性積層体の品質検査を容易且つ正確に行うことができる。なお、品質検査の結果を表示することにより、不良品が出荷されてしまう事態を事前に回避することが可能となる。
図1は、本実施形態に係る感光性積層体の製造装置20の概略構成図であり、この製造装置20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ22の感光性樹脂層28(後述する)をガラス基板24に熱転写(ラミネート)する作業を行う。
図2は、製造装置20に使用される長尺状感光性ウエブ22の断面図である。この長尺状感光性ウエブ22は、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、感光性樹脂層(感光材料層)28と、保護フイルム30とを積層して構成される。
図1に示すように、製造装置20は、長尺状感光性ウエブ22をロール状に巻回した感光性ウエブロール23を収容し、感光性ウエブロール23から前記長尺状感光性ウエブ22を送り出し可能なウエブ送り出し機構32と、送り出された長尺状感光性ウエブ22の保護フイルム30及び感光性樹脂層28の幅方向に切断可能な2個所の境界部分であるハーフカット部位(加工部位)34a、34b(図2参照)を形成する加工機構36(加工部)と、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を保護フイルム30に接着させるラベル接着機構40とを備える。
ラベル接着機構40の下流には、長尺状感光性ウエブ22をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構42と、長尺状感光性ウエブ22から保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構44と、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構45と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に一体的に貼り付ける貼り付け機構46とが配設される。
貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位34a、34bを含む長尺状感光性ウエブ22の画像を撮影する撮影部47が配設される。製造装置20は、撮影部47によって撮影されたハーフカット部位34a、34bの画像に基づき、貼り付け機構46に対するハーフカット部位34a、34bの位置ずれ量を算出し、長尺状感光性ウエブ22の送り量の補正を行う。
ウエブ送り出し機構32の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ22の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ22の先端とを貼り付ける貼り付け台49が配設される。貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール23の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器51が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構32を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。
加工機構36は、ウエブ送り出し機構32に収容巻回されている感光性ウエブロール23のロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。加工機構36は、距離Mだけ離間した一対の丸刃52a、52bを備える。丸刃52a、52bは、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に走行して、保護フイルム30の残存部分Bを挟んだ所定の2個所の位置にハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。
図2に示すように、ハーフカット部位34a、34bは、少なくとも保護フイルム30及び感光性樹脂層28を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム26まで切り込むように丸刃52a、52bの切り込み深さが設定される。丸刃52a、52bは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動してハーフカット部位34a、34bを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ22上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34a、34bを形成する方式が採用される。このハーフカット部位34a、34bは、丸刃52a、52bに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。
ハーフカット部位34a、34bは、感光性樹脂層28をガラス基板24に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板24の両端部からそれぞれ10mmずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板24間の保護フイルム30の残存部分Bは、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
ラベル接着機構40は、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分Bを残すため、ハーフカット部位34b側の剥離部分Aとハーフカット部位34a側の剥離部分Aとを連結する接着ラベル38を供給する。
図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分Aに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分Aに接着される第2接着部38cとを有する。
図1に示すように、ラベル接着機構40は、最大7枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54gを備えるとともに、前記吸着パッド54a〜54gによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ22を下方から保持するための受け台56が昇降自在に配置される。
リザーバ機構42は、上流側の長尺状感光性ウエブ22のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ22の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ60を備える。
リザーバ機構42の下流に配置される剥離機構44は、長尺状感光性ウエブ22の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。サクションドラム62の近傍には、剥離ローラ63が配置されるとともに、この剥離ローラ63を介して長尺状感光性ウエブ22から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分Bを除いて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
剥離機構44の下流側には、長尺状感光性ウエブ22にテンションを付与可能なテンション制御機構66が配設される。テンション制御機構66は、シリンダ68の駆動作用下にテンションダンサー70が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構66は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
基板供給機構45は、ガラス基板24を挟持するように配設される基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を矢印Y方向に搬送する搬送部76と、ガラス基板24の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ78とを備える。基板加熱部74では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送部76の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部76には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印Y方向に搬送される。ガラス基板24の搬送は、ローラコンベアでも行える。
ガラス基板24の温度測定は、基板加熱部74内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式(例えば、熱電対)の他、非接触式であってもよい。
貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ(圧着ローラ)80a、80bを備える。ゴムローラ80a、80bには、バックアップローラ82a、82bが摺接する。一方のバックアップローラ82bは、ローラクランプ部83を構成する加圧シリンダ84によりゴムローラ80b側に押圧される。
ガラス基板24は、貼り付け機構46から矢印Y方向に延在する搬送路を構成する複数の基板搬送ローラ90a〜90dによって搬送される。基板搬送ローラ90b、90c間には、ガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22を切断することで、ガラス基板24に感光材料層が貼り付けられた感光性積層体24aを分離するカッタ機構48が配設される。
基板搬送ローラ90dの下流側には、複数の感光性積層体24aを積層した状態でストックするストッカ94が配置されており、このストッカ94には、カッタ機構48により分離された感光性積層体24aがロボット96によって移載される。ストッカ94に隣接して、感光性積層体24aに残存する可撓性ベースフイルム26を剥離する剥離部98が配置される。剥離部98は、剥離ローラ100を有し、剥離ローラ100を介して剥離された可撓性ベースフイルム26が巻き取りローラ102により巻き取られる。
剥離部98に続いて、可撓性ベースフイルム26が剥離された感光性積層体24bを構成するガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け位置を検出する検出部104が配置される。検出部104は、図4に示すように、搬送されるガラス基板24の前端部及び後端部、又は、ガラス基板24に貼り付けられた感光性樹脂層28の前端部及び後端部を検出するフォトセンサ106(端部検出部)と、ガラス基板24の端部画像及び感光性樹脂層28の端部画像を撮影するCCDカメラ108a、108b(撮影部)とを備える。この場合、CCDカメラ108a、108bは、図5及び図6に示すように、ガラス基板24の端部と感光性樹脂層28の端部とが同時に撮影されるよう、各撮影域109a、109bが設定される。
なお、以上のように構成される製造装置20では、ウエブ送り出し機構32、加工機構36、ラベル接着機構40、リザーバ機構42、剥離機構44、テンション制御機構66並びに撮影部47が、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構32から前記撮影部47までを前記貼り付け機構46の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ22の上下が逆になって感光性樹脂層28をガラス基板24の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ22の搬送路を直線状に構成してもよい。
製造装置20内は、仕切り壁110を介して第1クリーンルーム112aと第2クリーンルーム112bとに仕切られる。第1クリーンルーム112aには、ウエブ送り出し機構32からテンション制御機構66までが収容され、第2クリーンルーム112bには、撮影部47以降の機構が収容される。第1クリーンルーム112aと第2クリーンルーム112bとは、貫通部114を介して連通する。
図7は、検出部104の制御回路ブロックを示す。検出部104は、フォトセンサ106がガラス基板24又は感光性樹脂層28の端部を検出した検出タイミングに従ってCCDカメラ108a、108bが撮影した画像を処理する画像処理部120と、処理された画像情報に基づいてガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け位置を算出する貼り付け位置算出部122と、算出された貼り付け位置が適正位置であるか否かを判定する判定部124と、判定部124による判定結果を表示する表示部126とを備える。
次に、以上のように構成される製造装置20の動作について、本発明に係る製造方法との関連で説明する。
先ず、ウエブ送り出し機構32に取り付けられている感光性ウエブロール23から長尺状感光性ウエブ22が送り出される。長尺状感光性ウエブ22は、加工機構36に搬送される。
加工機構36では、丸刃52a、52bが長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ22を保護フイルム30から感光性樹脂層28乃至可撓性ベースフイルム26まで切り込み、保護フイルム30の残存部分Bの幅Mだけ離間するハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。これにより、長尺状感光性ウエブ22には、残存部分Bを挟んで前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとが設けられる(図2参照)。
なお、残存部分Bの幅Mは、長尺状感光性ウエブ22が延びないことを前提として、貼り付け機構46のゴムローラ80a、80b間に供給されるガラス基板24間の距離を基準として設定される。また、幅Mで形成される一組のハーフカット部位34a、34bは、ガラス基板24に貼り付けられる感光性樹脂層28の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ22に形成される。
次いで、長尺状感光性ウエブ22は、ラベル接着機構40に搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受け台56上に配置される。ラベル接着機構40では、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド54b〜54gにより吸着保持され、各接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分Bを跨いで、前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとに一体的に接着される(図3参照)。
例えば、7枚の接着ラベル38が接着された長尺状感光性ウエブ22は、図1に示すように、リザーバ機構42を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構44に連続的に搬送される。剥離機構44では、長尺状感光性ウエブ22の可撓性ベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、保護フイルム30が残存部分Bを残して前記長尺状感光性ウエブ22から剥離される。この保護フイルム30は、剥離ローラ63を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる(図1参照)。
剥離機構44の作用下に、保護フイルム30が残存部分Bを残して可撓性ベースフイルム26から剥離された後、長尺状感光性ウエブ22は、テンション制御機構66によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部47において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位34a、34bを含む長尺状感光性ウエブ22の画像が撮影される。
撮影部47を通過した長尺状感光性ウエブ22は、貼り付け機構46に搬送されることで、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の転写処理(ラミネート)が行われる。この場合、撮影部47によって撮影されたハーフカット部位34a、34bの画像に基づき、貼り付け機構46におけるハーフカット部位34a、34bの位置が調整される。
貼り付け機構46では、当初、ゴムローラ80a、80bが離間した状態に設定されており、ゴムローラ80a、80b間の所定位置に長尺状感光性ウエブ22のハーフカット部位34aが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ22の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構45を構成する基板加熱部74によって所定温度に加熱されたガラス基板24の先端部が搬送部76によってゴムローラ80a、80b間に搬入されると、加圧シリンダ84の作用下にバックアップローラ82b及びゴムローラ80bが上昇し、ゴムローラ80a、80b間にガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ80a、80bは、所定のラミネート温度に加熱されている。
次いで、ゴムローラ80a、80bが回転し、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22が矢印Y方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層28が加熱溶融されてガラス基板24に転写(ラミネート)される。
なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、ゴムローラ80a、80bの温度が80℃〜140℃、前記ゴムローラ80a、80bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムローラ80a、80bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。
ガラス基板24に対して長尺状感光性ウエブ22の一枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ80a、80bの回転が停止される一方、長尺状感光性ウエブ22がラミネートされたガラス基板24の先端部が基板搬送ローラ90aによりクランプされる。このとき、ゴムローラ80a、80b間の所定位置には、ハーフカット部位34bが配置される。
そして、ゴムローラ80bが、ゴムローラ80aから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ90aの回転が低速で再び開始され、長尺状感光性ウエブ22がガラス基板24にラミネートされた感光性積層体が矢印Y方向に保護フイルム30の残存部分Bの幅Mに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位34aがゴムローラ80aの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ80a、80bの回転が停止される。なお、長尺状感光性ウエブ22をハーフカット部位34a、34b間だけ搬送する処理を、以下において「基板間送り」という。
一方、前記の状態において、基板供給機構45を介して次なるガラス基板24が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体が連続的に製造される。
その際、感光性積層体は、それぞれの端部が図2に示す保護フイルム30の残存部分Bによって覆われている。従って、感光性樹脂層28がガラス基板24に転写される際、ゴムローラ80a、80bが前記感光性樹脂層28により汚れることがない。
貼り付け機構46によって感光性樹脂層28が貼り付けられたガラス基板24は、貼り付け機構46で長尺状感光性ウエブ22が基板間送りされた後、一旦停止状態にあるとき、基板搬送ローラ90b、90c間に配設されているカッタ機構48によってガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22が切断され、感光性積層体24aとされる。なお、この感光性積層体24aには、保護フイルム30が残存している。
分離された感光性積層体24aは、ロボット96によって一旦ストッカ94に積層される。次いで、ストッカ94に積層された感光性積層体24aは、剥離部98に移載された後、剥離ローラ100を介して保護フイルム30が感光性積層体24aから剥離されることで、ガラス基板24に感光性樹脂層28のみが貼り付けられた感光性積層体24bが製造される。なお、感光性積層体24aから剥離された保護フイルム30は、巻き取りローラ102により巻き取られる。
ここで、長尺状感光性ウエブ22は、所定のテンションが付与された状態で供給されるとともに、貼り付け機構46において加熱されてガラス基板24に貼り付けられるため、延びが発生することになる。この場合、長尺状感光性ウエブ22の延び量によっては、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け位置が不適切となるおそれがある。
そこで、剥離部98の下流側に配置された検出部104は、感光性積層体24bにおける感光性樹脂層28の貼り付け位置の検出を行う。
先ず、図4に示すように、検出部104を構成するフォトセンサ106が、搬送されるガラス基板24の前端部又はガラス基板24に貼り付けられた感光性樹脂層28の前端部を検出すると、端部検出信号をCCDカメラ108a、108bに出力する。CCDカメラ108a、108bは、前記端部検出信号に従い、ガラス基板24の撮影域109a、109bの画像を撮影する。この場合、撮影域109a、109bには、ガラス基板24の前端コーナ部分及び感光性樹脂層28の前端コーナ部分の画像が含まれている。
画像処理部120は、CCDカメラ108a、108bによって撮影された画像を処理し、ガラス基板24の前端コーナ部分及び感光性樹脂層28の前端コーナ部分を特定する。貼り付け位置算出部122は、特定された各コーナ部分の位置の情報に基づき、前端部におけるガラス基板24の側部と感光性樹脂層28の側部との距離L1f、及び、ガラス基板24の前端部と感光性樹脂層28の前端部との距離L2fを算出する(図5参照)。判定部124は、算出された距離L1f、L2fを予め設定した許容距離と比較し、距離L1f、L2fが許容範囲内にあるか否かを判定する。判定結果は、表示部126に表示されることで、当該感光性積層体24bの前端側における感光性樹脂層28の貼り付け状態を作業者に報知することができる。
同様にして、フォトセンサ106がガラス基板24の後端部又はガラス基板24に貼り付けられた感光性樹脂層28の後端部を検出したタイミングでCCDカメラ108a、108bにより画像が撮影され、後端部におけるガラス基板24と感光性樹脂層28との距離L1b、L2bが算出され、その算出結果に基づく判定結果が表示部126に表示される(図6参照)。
以上のようにして、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け状態が自動的に検出され、その判定結果が表示部126に表示される。従って、作業者は、表示された判定結果に基づき、製造装置20によって製造された全ての感光性積層体24bの品質検査を行うことができる。
図8は、他の実施形態である製造装置200の概略構成図である。なお、図1に示す製造装置20と同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
製造装置200では、貼り付け機構46によって長尺状感光性ウエブ22が貼り付けられたガラス基板24が、分断されることなく冷却部202に搬送されて冷却された後、剥離部204に供給される。剥離部204では、プッシャ206によってガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22が上方向に押し上げられることで、保護フイルム30の剥離が容易な状態とされた後、保護フイルム30が感光性樹脂層28から剥離され、巻き取りローラ208により巻き取られる。これにより、ガラス基板24間が分離され、感光性積層体24bが製造される。製造された感光性積層体24bは、製造装置20の場合と同様に、検出部104によってガラス基板24及び感光性樹脂層28の端部の位置が検出され、貼り付け位置の算出及び判定処理が行われる。
なお、上述した実施形態では、1本の感光性ウエブロール23から供給される長尺状感光性ウエブ22をガラス基板24に貼り付けることにより、いわゆる、一丁張りの感光性積層体24bを製造するように構成しているが、例えば、2本の感光性ウエブロールや、3本以上の感光性ウエブロールから長尺状感光性ウエブ22を供給してガラス基板24に貼り付け、いわゆる、2丁張り、3丁張り等の感光性積層体24bを製造するように構成してもよい。
20、200…製造装置
22…長尺状感光性ウエブ
24…ガラス基板
24a、24b…感光性積層体
26…可撓性ベースフイルム
28…感光性樹脂層
30…保護フイルム
34a、34b…ハーフカット部位
36…加工機構
45…基板供給機構
46…貼り付け機構
47…撮影部
48…カッタ機構
80a、80b…ゴムローラ
98、204…剥離部
104…検出部
106…フォトセンサ
108a、108b…CCDカメラ
120…画像処理部
122…貼り付け位置算出部
124…判定部
126…表示部
22…長尺状感光性ウエブ
24…ガラス基板
24a、24b…感光性積層体
26…可撓性ベースフイルム
28…感光性樹脂層
30…保護フイルム
34a、34b…ハーフカット部位
36…加工機構
45…基板供給機構
46…貼り付け機構
47…撮影部
48…カッタ機構
80a、80b…ゴムローラ
98、204…剥離部
104…検出部
106…フォトセンサ
108a、108b…CCDカメラ
120…画像処理部
122…貼り付け位置算出部
124…判定部
126…表示部
Claims (5)
- 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出する端部検出部と、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影する撮影部と、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出する貼り付け位置算出部と、
を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記撮影部は、搬送機構によって搬送される前記感光性積層体における前記基板の前後両端部と、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の前後両端部との両方の画像を撮影し、
前記貼り付け位置算出部は、前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の前後の貼り付け位置を算出することを特徴とする感光性積層体の製造装置。 - 請求項1又は2記載の製造装置において、
前記貼り付け位置算出部により算出された前記貼り付け位置の良否を判定する判定部と、
前記判定部による判定結果を表示する表示部と、
を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。 - 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出するステップと、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影するステップと、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出するステップと、
からなることを特徴とする感光性積層体の製造方法。 - 請求項4記載の製造方法において、
算出された前記貼り付け位置の良否を判定するステップと、
前記判定の結果を表示するステップと、
からなることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016120605A (ja) * | 2014-12-24 | 2016-07-07 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 貼付方法及びフィルム |
CN109177138A (zh) * | 2018-07-27 | 2019-01-11 | 深圳市德富强机器人有限公司 | 一种玻璃与膜片的对位方法及装置 |
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CN111331858A (zh) * | 2018-11-02 | 2020-06-26 | 北部湾大学 | 板形工件包边***软件上料取放流程 |
WO2023041567A1 (de) * | 2021-09-15 | 2023-03-23 | Wedi Gmbh | Verfahren zur kaschierung eines bauplattenkerns mit einer selbstklebenden nutzlage und mit einer selbstklebenden nutzlage kaschierter bauplattenkern |
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