KR20080080003A - 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법 Download PDF

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요시유키 이시이
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후지필름 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 로터리 인코더(51)에 의해 카운팅된 펄스수가 소정의 규정 펄스수로 된 시점에서 CCD 카메라(72)를 구동해서 하프컷 부위(34a)의 화상을 촬영하고, 위치 어긋남량 산출부(128)에 있어서 기준 위치에 대한 하프컷 부위(34a)의 위치 어긋남량을 산출한다. 제어 펄스 보정부(132)는 상기 위치 어긋남량에 따라서 기판간 이송량을 보정하고, 부착 기구(46)에 있어서의 긴 형상 감광성 웹(22)의 기판간 이송량을 조정한 후, 부착 기구(46)에 유리 기판(24)을 반입해서 라미네이트 처리를 행한다.
Figure P1020080013200
감광성 적층체

Description

감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}
본 발명은 기판과, 지지체 상에 감광 재료층이 형성된 긴 형상 감광성 웹을 한쌍의 압착 롤러 사이에 송출하고, 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.
예를 들면, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP용 기판은 감광성 수지층(감광 재료층)을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)를 기판 표면에 부착해서 구성된다. 감광성 시트체는 예를 들면, 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광성 수지층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 있다.
이러한 종류의 감광성 시트체의 부착에 사용되는 제조 장치는 통상, 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정의 간격씩 이간시켜서 라미네이션 롤러 사이에 반송함과 아울러, 상기 기판에 부착되는 감광성 수지층의 범위에 대응하는 보호 필름을 박리한 감광성 시트체를 상기 라미네이션 롤러 사이에 반송하는 방식이 채용되고 있다.
예를 들면, 일본 특허공개 평11-34280호 공보에 개시되어 있는 제조 장치에서는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 필름롤(1)로부터 풀리는 적층체 필름(감광성 시트체)(1a)은 가이드 롤러(2a, 2b)에 둘러감겨 수평의 필름 반송면을 따라 연장 되어 있다. 이 가이드 롤러(2b)에는 적층체 필름(1a)의 이송량에 따른 수의 펄스 신호를 출력하는 로터리 인코더(3)가 부착되어 있다.
수평의 필름 반송면을 따라 연장되는 적층체 필름(1a)은 석션 롤러(4)에 걸어 감겨짐과 아울러, 상기 가이드 롤러(2b)와 상기 석션 롤러(4) 사이에는 하프 커터 장치(5)와 커버 필름 박리 장치(6)가 설치되어 있다.
하프 커터 장치(5)는 적층체 필름(1a)의 반송 방향으로 소정 간격 이간되는 한쌍의 디스크 커터(5a, 5b)를 구비하고 있다. 디스크 커터(5a, 5b)는 적층체 필름(1a)의 필름 폭 방향을 따라 이동함으로써, 도 12에 나타내는 바와 같이, 상기 적층체 필름(1a)의 커버 필름(도시하지 않음)에 있어서의 박리 부분(A)과 잔존 부분(B) 사이의 2개소의 경계 부분(14a, 14b)을 지지 필름을 남긴 상태로 감광성 수지층(도시하지 않음)과 함께 절단한다.
커버 필름 박리 장치(6)는 점착 테이프롤(7)로부터 풀리는 점착 테이프(7a)를 가압 롤러(8a, 8b) 사이에서 커버 필름의 박리 부분(A)에 강하게 압착시킨 후, 권취롤(9)에 의해 권취된다. 이것에 의해 커버 필름의 박리 부분(A)은 감광성 수지층으로부터 박리되어 점착 테이프(7a)와 함께 권취롤(9)에 권취된다.
석션 롤러(4)의 하류에는 기판 반송 장치(10)에 의해 소정의 간격으로 반송되는 복수의 기판(11)의 상면에 커버 필름의 박리된 적층체 필름(1a)의 박리 부 분(A)을 겹쳐서 압착하는 한쌍의 라미네이션 롤러(12a, 12b)가 배치되어 있다. 이 라미네이션 롤러(12a, 12b)의 하류측에는 지지 필름 권취롤(13)이 배치되어 있다. 감광성 수지층에 부착되어 있는 지지 필름(도시하지 않음)은 기판(11)에 감광성 수지층을 잔존시킨 상태로 커버 필름의 잔존 부분(B)과 함께 지지 필름 권취롤(13)에 권취된다.
그런데 커버 필름의 박리된 적층체 필름(1a)의 박리 부분(A)을 기판(11)의 원하는 범위에 정확하게 부착하기 위해서는 예를 들면, 커버 필름의 박리 부분(A)과 잔존 부분(B)의 경계 부분(14a)이 기판(11)의 선단부로부터 거리(K)로 되는 소정 위치로 설정되도록 적층체 필름(1a)을 라미네이션 롤러(12a, 12b) 사이에 고정밀도로 송출할 필요가 있다.
이 경우, 종래의 제조 장치에서는 로터리 인코더(3)로부터 출력되는 펄스 신호의 펄스수를 카운팅하고, 하프 커터 장치(5)에 의해 형성된 경계 부분(14a)이 라미네이션 롤러(12a, 12b)에 도달할 때까지의 규정 펄스수로 된 시점에서 기판(11)에 대한 적층체 필름(1a)의 박리 부분(A)의 압착을 개시하도록 되어 있다.
그러나 적층체 필름(1a)은 가요성의 지지 필름 상에 감광성 수지층을 형성한 것이며, 텐션을 부여한 상태로 반송되기 때문에 반송 중에 적층체 필름(1a)이 연장됨으로써 기판(11)에 부착되는 상기 경계 부분(14a)의 위치가 어긋나 버릴 우려가 있다. 특히, 라미네이션 롤러(12a, 12b)는 적층체 필름(1a)과 기판(11)을 가열한 상태로 부착되기 때문에 라미네이션 롤러(12a, 12b)의 근방에서의 적층체 필름(1a)의 연장이 크다.
따라서, 기판(11)에 대한 부착 처리를 연속적으로 행하면 부착 위치의 어긋남이 누적되어 허용 범위를 초과해 버린다. 그 때문에 소정 매수의 부착 처리를 행한 후, 기판(11)에 대한 적층체 필름(1a)의 부착 위치의 어긋남량을 계측하고, 그 어긋남을 보정하기 위해 하프 커터 장치(5)에 의한 경계 부분(14a, 14b)의 형성 위치를 수정할 필요가 있다. 이 경우, 연속적으로 처리할 수 있는 감광성 적층체의 매수가 제약되기 때문에 생산 효율이 현저하게 저하되어 버린다.
본 발명은 긴 형상 감광성 웹에 형성된 가공 부위의 위치를 간이한 구성으로 고정밀도로 검출할 수 있음과 아울러, 고품질의 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹을 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서,
상기 가공 부위가 형성된 상기 긴 형상 감광성 웹의 이송량을 계측하는 이송량 계측부와,
상기 가공 부위를 형성하는 가공부와 상기 압착 롤러 사이에 있어서의 상기 긴 형상 감광성 웹의 반송로 중에 배치되고, 기준 위치에 대한 상기 가공 부위의 위치 어긋남 정보를 취득하는 위치 어긋남 정보 취득부와,
상기 위치 어긋남 정보를 취득하기 위해서 상기 이송량 계측부(51)에 의해 계측된 상기 이송량이 소정의 설정 이송량으로 된 시점에서 상기 위치 어긋남 정보 취득부를 가압하는 가압부와,
취득한 상기 위치 어긋남 정보에 기초해서 상기 긴 형상 감광성 웹의 상기 압착 롤러에 대한 이송량을 보정하는 이송량 보정부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹을 송출하고, 상기 보호 필름의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위를 상기 보호 필름으로부터 상기 감광 재료층에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름의 상기 박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹을 가열된 한쌍의 압착 롤러 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판 사이에 상기 보호 필름의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층을 상기 기판에 부착함으로써 감광성 적층체를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서,
상기 가공 부위가 형성된 상기 긴 형상 감광성 웹의 이송량을 계측하는 스텝과,
상기 가공 부위를 형성하는 가공부와 상기 압착 롤러 사이에 있어서의 상기 긴 형상 감광성 웹의 반송로 중에 있어서 계측된 상기 이송량이 소정의 설정 이송량으로 된 시점에서 기준 위치에 대한 상기 가공 부위의 위치 어긋남 정보를 취득하는 스텝과,
취득한 상기 위치 어긋남 정보에 기초해서 상기 긴 형상 감광성 웹의 상기 압착 롤러에 대한 이송량을 보정하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는 긴 형상 감광성 웹에 형성된 가공 부위의 위치를 간이한 구성으로 고정밀도로 검출할 수 있다. 또한, 검출된 상기 가공 부위의 위치의 기준 위치에 대한 위치 어긋남 정보를 취득해서 긴 형상 감광성 웹의 이송량을 보정함으로써 고품질의 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있다.
첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조 장치(20)의 개략 구성도이며, 이 제조 장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터 등의 제작 공정에서 소정의 폭 치수로 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사(라미네이트)하는 작업을 행한다.
도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 긴 형상 감광성 웹(22)의 단면도이다. 이 긴 형상 감광성 웹(22)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과, 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 장치(20)는 긴 형상 감광성 웹(22)을 롤 형상으로 권취한 감광성 웹롤(23)을 수용하고, 감광성 웹롤(23)로부터 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출할 수 있는 웹 송출 기구(32)와, 송출된 긴 형상 감광성 웹(22)의 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)의 폭 방향으로 절단할 수 있는 2개소의 경계 부분인 하프컷 부위(가공 부위)(34a, 34b)(도 2 참조)를 형성하는 가공 기구(36)(가공부)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 보 호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다.
라벨 접착 기구(40)의 하류에는 긴 형상 감광성 웹(22)을 택트(tact) 이송으로부터 연속 이송으로 변경하기 위한 리저버(reserver) 기구(42)와, 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 박리 기구(44)와, 유리 기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태로 부착 위치에 공급하는 기판 공급 기구(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적으로 부착하는 부착 기구(46)가 배치된다.
부착 기구(46)에 있어서의 부착 위치의 상류 근방에는 하프컷 부위(34a)를 포함하는 긴 형상 감광성 웹(22)의 화상을 촬영하는 촬영부(47)가 배치된다.
웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 대략 사용이 완료된 긴 형상 감광성 웹(22)의 후단과, 새롭게 사용되는 긴 형상 감광성 웹(22)의 선단을 부착하는 부착대(49)가 배치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웹롤(23)의 권취 어긋남에 의한 폭 방향의 어긋남을 제어하기 위해서 필름 단말 위치 검출기(53)가 배치된다. 여기에서, 필름 단말 위치 조정은 웹 송출 기구(32)를 폭 방향으로 이동시켜서 행하지만 롤러를 조합한 위치 조정 기구를 부설해서 행해도 좋다.
가공 기구(36)는 웹 송출 기구(32)에 수용 권취되어 있는 감광성 웹롤(23)의 롤 직경을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 이 롤러쌍(50)에는 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량을 계측하는 로터리 인코더(이송량 계측부)(51)가 연결된다. 가공 기구(36)는 거리(M)만큼 이간된 한쌍의 둥근날(52a, 52b)을 구비한다. 둥근날(52a, 52b)은 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 주행해서 보호 필름(30) 의 잔존 부분(B)을 사이에 둔 소정의 2개소의 위치에 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조).
도 2에 나타내는 바와 같이, 하프컷 부위(34a, 34b)는 적어도 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)을 절단할 필요가 있고, 실제상, 가요성 베이스 필름(26)까지 절개되도록 둥근날(52a, 52b)의 절개 깊이가 설정된다. 둥근날(52a, 52b)은 회전하는 일 없이 고정된 상태로 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이나, 상기 긴 형상 감광성 웹(22) 상을 미끄러지는 일 없이 회전하면서 상기 폭 방향으로 이동해서 상기 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프컷 부위(34a, 34b)는 둥근날(52a, 52b)을 대체해서 예를 들면, 레이저광이나 초음파를 이용한 컷팅 방식 외에 나이프날, 눌러 자르는 날(톰슨날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 좋다.
하프컷 부위(34a, 34b)는 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 부착했을 때, 예를 들면, 상기 유리 기판(24)의 양 단부로부터 각각 10㎜씩 내측으로 들어간 위치로 되도록 설정된다(도 12에 있어서의 거리(K)에 대응). 또한, 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)은 후술하는 부착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자 형상으로 부착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.
라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 남기기 때문에 하프컷 부위(34b)측의 박리 부분(A)과 하프컷 부위(34a)측의 박리 부분(A)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 좁고 긴 형상으로 구성되어 있고, 예를 들면 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미세 점착을 포함함)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양 측, 즉, 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양 단부에 전방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 긴 형상 감광성 웹(22)을 하방으로부터 유지하기 위한 수용대(56)가 승강 가능하게 배치된다.
리저버 기구(42)는 상류측의 긴 형상 감광성 웹(22)의 택트 반송과, 하류측의 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해서 화살표 방향으로 요동 가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다.
리저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 긴 형상 감광성 웹(22)의 송출측의 텐션 변동을 차단하여 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(B)을 제외하고 보호 필름 권취부(64)에 권취된다.
박리 기구(44)의 하류측에는 긴 형상 감광성 웹(22)에 텐션을 부여할 수 있는 텐션 제어 기구(66)가 배치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)의 구동 작용하에 텐션 댄서(70)가 요동 변위됨으로써 긴 형상 감광성 웹(22)의 텐션을 조정할 수 있다. 또한, 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라서 사용하면 좋고, 삭제할 수도 있다.
한쪽의 하프컷 부위(34a)의 위치를 검출하는 촬영부(47)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 반송 롤러(71)와 반송 롤러(73) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)이 직선 형상으로 되는 부분에 배치되어 있고, 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송 방향으로 연장되는 촬영 영역을 갖는 2차원 센서인, 예를 들면, CCD 카메라(72)와, 긴 형상 감광성 웹(22)을 통해 CCD 카메라(72)에 대향 배치되고, 조명광을 긴 형상 감광성 웹(22)에 조사하는 2차원 광원(69)을 구비한다.
CCD 카메라(72)는 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송 방향에 대한 하프컷 부위(34a)의 위치를 검출할 수 있는 것이면 좋고, 예를 들면, 복수의 검출 화소가 상기 반송 방향으로 배열된 1차원 CCD 카메라로 구성할 수도 있다. 또한, 2차원 광원(69)으로부터 출력되는 조명광은 감광성 수지층(28)을 감광하지 않는 파장으로 이루어지는 광, 예를 들면, 적색광으로 한다. CCD 카메라(72)의 촬영 영역에는 기준 위치를 규정하는 기준편(67)이 배치된다. 또한, 기준편(67)을 사용하는 대신에 CCD 카메라(72)를 구성하는 검출 화소를 특정하고, 그 검출 화소의 위치를 기준 위치로 해도 좋다.
기판 공급 기구(45)는 유리 기판(24)을 끼우도록 배치되는 기판 가열부(예를 들면, 히터)(74)와, 이 유리 기판(24)을 화살표(Y) 방향으로 반송하는 반송부(76)와, 유리 기판(24)의 후단부의 정지 위치를 검출하는 정지 위치 검출 센서(78)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리 기판(24)의 온도를 상시 감시하여 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생시킴과 아울러, 이상 정보를 발신해서 이상 유리 기판(24)을 후공정에서 NG 배출, 품질 관리 또는 생산 관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도시하지 않은 에어 부상 플레이트가 배치되어 유리 기판(24)이 부상되어 화살표(Y) 방향으로 반송된다. 유리 기판(24)의 반송은 롤러 컨베이어로도 행할 수 있다.
유리 기판(24)의 온도 측정은 기판 가열부(74) 내 또는 부착 위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정 방법으로서는 접촉식(예를 들면, 열전대) 외에 비접촉식이어도 좋다.
부착 기구(46)는 상하에 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a, 80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b)에는 백업 롤러(82a, 82b)가 슬라이딩 접촉한다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84)에 의해 고무 롤러(80b)측에 가압된다.
유리 기판(24)은 부착 기구(46)로부터 화살표(Y) 방향으로 연장되는 반송로(88)를 통해 반송된다. 이 반송로(88)에는 필름 반송 롤러(90a, 90b) 및 기판 반송 롤러(92)가 배치된다. 고무 롤러(80a, 80b)와 기판 반송 롤러(92)의 간격은 유리 기판(24)의 1매분의 길이 이하로 설정되는 것이 바람직하다.
또한, 기판 반송 롤러(92)의 하류측의 소정 위치에는 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)을 절단해서 감광성 적층체(100)로 하기 위한 커터 기구(48)가 배치된다.
또한, 이상과 같이 구성되는 제조 장치(20)에서는 웹 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 리저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66) 및 촬영부(47)가 부착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만 이것과는 반대로 상기 웹 송출 기구(32)로부터 상기 촬영부(47)까지를 상기 부착 기구(46)의 하방에 배치하고, 긴 형상 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되어 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 하측에 부착하는 구성이어도 좋고, 또한, 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송로를 직선 형상으로 구성해도 좋다.
제조 장치(20) 내측은 구획벽(110)을 통해 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)으로 구획된다. 제 1 클린룸(112a)에는 웹 송출 기구(32)로부터 텐션 제어 기구(66)까지가 수용되고, 제 2 클린룸(112b)에는 촬영부(47) 이후의 기구가 수용된다. 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)은 관통부(114)를 통해 연통된다.
도 5는 제조 장치(20)의 제어 회로 블록도를 나타낸다. 제조 장치(20)의 제어 회로는 촬영부(47)를 구성하는 CCD 카메라(72)에 의해 취득한 하프컷 부위(34a)를 포함하는 긴 형상 감광성 웹(22)의 화상 정보에 기초해서 하프컷 부위(34a)의 위치 어긋남 정보를 취득하는 화상 검사 제어반(120)(위치 어긋남 정보 취득부)과, 화상 검사 제어반(120)에 의해 취득한 상기 위치 어긋남 정보에 따라서 부착 기구(46)를 제어해서 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량을 보정하고, 하프컷 부위(34a)의 위치 조정을 행하는 라미네이터 제어반(122)을 구비한다.
화상 검사 제어반(120)은 CCD 카메라(72)에 의한 화상의 촬영 타이밍을 제어하는 셔터 신호를 CCD 카메라(72)에 출력하는 셔터 제어부(124)(가압부)와, CCD 카메라(72)에 의해 촬영된 하프컷 부위(34a) 및 기준편(67)의 화상 정보를 처리하는 화상 처리부(126)와, 처리된 화상 정보에 기초해서 기준편(67)의 위치에 의해 결정되는 기준 위치에 대한 하프컷 부위(34a)의 위치 어긋남량을 산출하는 위치 어긋남 량 산출부(128)를 갖는다.
셔터 제어부(124)에는 롤러쌍(50)에 의한 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량을 펄스수로서 카운팅하는 로터리 인코더(51)와, 가공 기구(36)를 제어해서 하프컷 부위(34a, 34b)를 가공하는 하프컷 제어부(130)가 접속된다. 하프컷 제어부(130)는 로터리 인코더(51)에 대해서 하프컷 부위(34a, 34b)의 가공시에 대응해서 펄스 카운팅 개시 신호를 출력함과 아울러, 셔터 제어부(124)에 대해서 긴 형상 감광성 웹(22)의 하프컷 부위(34a)가 촬영부(47)에 설정한 기준 위치에 도달할 때까지의 규정 이송량에 대응하는 규정 펄스수를 셔터 제어부(124)에 출력한다. 셔터 제어부(124)는 로터리 인코더(51)로부터 공급되는 펄스수의 카운팅 값과, 하프컷 제어부(130)로부터 공급되는 규정 펄스수를 비교해서 이들이 일치한 시점에서 CCD 카메라(72)에 셔터 신호를 출력한다.
라미네이터 제어반(122)은 위치 어긋남량 산출부(128)에 의해 산출된 하프컷 부위(34a)의 위치 어긋남량에 기초해서 부착 기구(46)에 의한 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송을 제어하는 제어 펄스를 보정하는 제어 펄스 보정부(132)(이송량 보정부)와, 제어 펄스 보정부(132)에 의한 보정 조건을 설정하기 위한 조작 표시 부(134)(보정 조건 설정부)와, 제어 펄스 보정부(132)에 의해 보정된 제어 펄스에 기초해서 부착 기구(46)를 제어하는 라미네이터 제어부(136)를 구비한다. 라미네이터 제어부(136)는 모터 제어부(138)를 통해 고무 롤러(80a, 80b)를 구동하는 구동 모터(140)를 제어한다. 또한, 보정 조건이란, 예를 들면, 제어 펄스 보정부(132)에 있어서 하프컷 부위(34a)의 위치를 보정하는 감광성 적층체(100)의 매수인 보정 빈도, 제어 펄스를 보정하기 위한 위치 어긋남량의 처리 방법 등의 조건이다.
다음에 이상과 같이 구성되는 제조 장치(20)의 동작에 대해서 본 발명에 따른 제조 방법과의 관련에 의해 설명한다.
우선, 웹 송출 기구(32)에 부착되어 있는 감광성 웹롤(23)로부터 긴 형상 감광성 웹(22)이 송출된다. 긴 형상 감광성 웹(22)은 가공 기구(36)에 반송된다.
가공 기구(36)에서는 둥근날(52a, 52b)이 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 가요성 베이스 필름(26)까지 절개하고, 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)만큼 이간되는 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조). 이것에 의해 긴 형상 감광성 웹(22)에는 잔존 부분(B)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)이 형성된다(도 2 참조).
또한, 잔존 부분(B)의 폭(M)은 긴 형상 감광성 웹(22)이 연장되지 않는 것을 전제로 하고, 부착 기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 공급되는 유리 기판(24) 사이의 거리를 기준으로 해서 설정되는 것으로 한다. 또한, 폭(M)으로 형성되는 1세트의 하프컷 부위(34a, 34b)는 유리 기판(24)에 부착되는 감광성 수지 층(28)의 기준 길이의 간격으로 긴 형상 감광성 웹(22)에 형성된다.
이어서, 긴 형상 감광성 웹(22)은 라벨 접착 기구(40)에 반송되어 보호 필름(30)의 소정의 부착 부위가 수용대(56) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54b~54g)에 의해 흡착 유지되어 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)에 걸쳐서 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).
예를 들면, 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 긴 형상 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 리저버 기구(42)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 박리 기구(44)에 연속적으로 반송된다. 박리 기구(44)에서는 긴 형상 감광성 웹(22)의 가요성 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 상기 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 박리된다. 이 보호 필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해 박리되어 보호 필름 권취부(64)에 권취된다(도 1 참조).
박리 기구(44)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 가요성 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 긴 형상 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(66)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 이어서, 촬영부(47)에 있어서 소정의 촬영 타이밍에서 하프컷 부위(34a) 및 기준편(67)을 포함하는 긴 형상 감광성 웹(22)의 화상이 촬영된다.
촬영부(47)에 의해 취득한 화상 정보는 화상 검사 제어반(120)에 있어서 하프컷 부위(34a)의 위치 어긋남량이 산출되고, 이어서, 라미네이터 제어반(122)에 있어서 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량의 보정 처리가 행해진다. 또한, 화상 검사 제어반(120) 및 라미네이터 제어반(122)에 있어서의 보정 처리의 상세한 것에 대해서는 후술한다.
촬영부(47)를 통과한 긴 형상 감광성 웹(22)은 부착 기구(46)에 반송됨으로써 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 전사 처리(라미네이트)가 행해진다.
부착 기구(46)에서는 당초, 고무 롤러(80a, 80b)가 이간된 상태로 설정되어 있고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 긴 형상 감광성 웹(22)의 하프컷 부위(34a)가 위치 결정된 상태에 있어서 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송이 일단 정지된다. 이 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 구성하는 기판 가열부(74)에 의해 소정 온도로 가열된 유리 기판(24)의 선단부가 반송부(76)에 의해 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 반입되면 가압 실린더(84)의 작용하에 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)가 상승하고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)이 소정의 프레스 압력으로 끼워 넣어진다. 또한, 고무 롤러(80a, 80b)는 소정의 라미네이트 온도로 가열되어 있다.
이어서, 라미네이터 제어부(136)의 제어하에 모터 제어부(138)를 통해 구동 모터(140)가 구동됨으로써 고무 롤러(80a, 80b)가 회전하여 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)이 화살표(Y) 방향으로 반송된다. 이 결과, 감광성 수지층(28)이 가열 용융되어 유리 기판(24)에 전사(라미네이트)된다.
또한, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 80℃~140℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40도~90도, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝~400N/㎝이다.
유리 기판(24)에 대해서 긴 형상 감광성 웹(22)의 1매분의 라미네이트가 종료되면 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지되는 한편, 긴 형상 감광성 웹(22)이 라미네이트된 유리 기판(24)인 감광성 적층체(100)의 선단부가 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램핑된다. 이 때, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에는 하프컷 부위(34b)가 배치된다.
그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(92)의 회전이 저속으로 다시 개시되어 감광성 적층체(100)가 화살표(Y) 방향으로 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)에 대응하는 거리만큼 반송되고, 다음 하프컷 부위(34a)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치에 반송된 후, 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지된다. 또한, 긴 형상 감광성 웹(22)을 하프컷 부위(34a, 34b) 사이만큼 반송하는 처리를 이하에 있어서 「기판간 이송」이라고 한다.
한편, 상기 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 통해 다음 유리 기판(24)이 부착 위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써 감광성 적층체(100)가 연속적으로 제조된다.
그 때, 감광성 적층체(100)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 각각의 단부끼리가 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)에 의해 덮여 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a, 80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.
부착 기구(46)에 의해 라미네이트된 감광성 적층체(100)는 커터 기구(48)에 의해 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)이 절단됨으로써 분리된다. 또한, 분리된 감광성 적층체(100)에는 가요성 베이스 필름(26)이 장착되어 있고, 이 가요성 베이스 필름(26)이 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)과 함께 박리된 후, 다음 처리 공정에 공급된다.
다음에 도 6에 나타내는 플로우차트에 따라서 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량의 보정 처리에 대해서 설명한다.
우선, 오퍼레이터는 터치 패널 등으로 이루어지는 조작 표시부(134)를 이용해서 보정 조건을 지정한다(스텝 S1).
이 경우, 조작 표시부(134)에서는 보정 조건으로서 예를 들면, 감광성 적층체(100)의 매수를 지정하고, 지정된 매수 이후의 감광성 적층체(100)로부터 보정 처리를 개시하도록 라미네이터 제어반(122)에 지시할 수 있다. 이 보정 조건을 지정함으로써 제조 장치(20)가 고정밀도로 조정되어 있는 제조 개시 당초에 있어서 보정을 행하지 않고 감광성 적층체(100)를 효율적으로 제조하는 것이 가능해진다.
또한, 보정 조건으로서 보정 처리를 행하는 빈도를 지정할 수 있다. 예를 들면, 화상 검사 제어반(120)에 의해 산출된 하프컷 부위(34a)의 위치 어긋남량을 매회 라미네이터 제어반(122)에 피드백해서 보정 처리를 행하거나 산출된 위치 어긋남량의 평균값을 구하고, 그 평균값을 이용해서 몇회에 1회의 보정 처리를 행하거나 또는 위치 어긋남량을 몇회에 1회 산출해서 보정 처리를 행하는 것이라는 보정 처리의 빈도를 지정할 수 있다.
또한, 보정 조건으로서 산출된 위치 어긋남량에 허용 범위를 설정하여 위치 어긋남량이 허용 범위 내에 있을 때에만 보정 처리를 행하고, 허용 범위 외인 경우에는 예를 들면, 조작 표시부(134)에 의해 경고 등을 행하여 제조 장치(20)의 동작을 일단 정지시키는 지정을 행할 수 있다.
보정 조건이 지정된 후, 하프컷 제어부(130)는 화상 검사 제어반(120)의 셔터 제어부(124)에 대해서 가공 기구(36)에 의해 긴 형상 감광성 웹(22)에 형성된 하프컷 부위(34a)가 촬영부(47)의 기준 위치에 도달할 때까지의 규정 이송량에 대응하는 규정 펄스수를 설정한다(스텝 S2). 이 경우, 규정 펄스수는 예를 들면, 하프컷 부위(34a, 34b)가 가공 기구(36)로부터 촬영부(47)의 기준 위치까지 이동하는 동안에 긴 형상 감광성 웹(22)이 연장 수축되지 않는 것을 조건으로 해서 선행하는 하프컷 부위(34a)의 위치에 다음 하프컷 부위(34a)가 도달할 때까지의 동안에 로터리 인코더(51)로부터 출력되는 펄스 신호의 펄스수로서 설정할 수 있다.
그래서 하프컷 제어부(130)는 가공 기구(36)를 제어해서 긴 형상 감광성 웹(22)에 하프컷 부위(34a, 34b)가 형성됨과 동시에(스텝 S3), 로터리 인코더(51)에 대해서 펄스 카운팅 개시 신호를 출력하여 로터리 인코더(51)가 펄스수의 카운팅을 개시한다(스텝 S4).
이어서, 하프컷 부위(34a, 34b)가 형성된 긴 형상 감광성 웹(22)이 반송되어 하프컷 부위(34a)가 촬영부(47)의 촬영 영역(142)(도 7, 도 8 참조)에 도달하고, 로터리 인코더(51)에 의해 카운팅된 펄스수가 스텝 S2에서 설정된 규정 펄스수와 일치했을 때(스텝 S5), 셔터 제어부(124)는 CCD 카메라(72)에 대해서 셔터 신호를 출력한다.
이 때, 2차원 광원(69)이 구동되어 조명광이 긴 형상 감광성 웹(22)에 조사되고, 기준편(67) 및 하프컷 부위(34a)를 촬영 영역(142)에 포함하는 긴 형상 감광성 웹(22)의 화상이 CCD 카메라(72)에 의해 촬영된다(스텝 S6). CCD 카메라(72)에 의해 촬영된 화상은 화상 정보로서 화상 처리부(126)에 송신되어 소정의 화상 처리가 실시됨으로써 기준편(67) 및 하프컷 부위(34a)의 위치 정보가 취득된다(스텝 S7). 취득된 위치 정보는 위치 어긋남량 산출부(128)에 송신되어 기준편(67)을 기준으로 해서 설정된 기준 위치에 대한 하프컷 부위(34a)의 위치의 위치 어긋남량(△K)이 산출된다(스텝 S8, 도 7, 도 8 참조).
산출된 하프컷 부위(34a)의 위치 어긋남량(△K)은 제어 펄스 보정부(132)에 송신된 후, 조작 표시부(134)에 의해 지정된 보정 조건에 따라서 기판간 이송 펄스수의 보정이 행해진다(스텝 S9, S10). 또한, 하프컷 부위(34a)를 매회 검출해서 보정 처리를 행하지 않은 경우에는 보정 처리를 스킵하는 회수에 따라서 스텝 S3~S9의 처리를 반복하게 된다.
제어 펄스 보정부(132)에 의해 보정된 기판간 이송 펄스수는 라미네이터 제어부(136)에 송신된다. 라미네이터 제어부(136)는 송신된 기판간 이송 펄스수에 기초해서 모터 제어부(138)를 통해 구동 모터(140)를 제어해서(스텝 S11), 기판간 이송량을 조정한다.
도 9는 긴 형상 감광성 웹(22)의 라미네이트 제어 및 보정된 기판간 이송 펄스수에 기초한 기판간 이송 제어의 설명도이다.
라미네이터 제어부(136)는 유리 기판(24)의 선단부에 대해서 도 12에 나타내는 거리(K)만큼 변위시킨 위치에 긴 형상 감광성 웹(22)의 하프컷 부위(34a)를 맞춘 상태로 라미네이트를 행한 후(라미네이트 1), 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송을 일단 정지시킨다. 이어서, 보정된 기판간 이송 펄스수에 따라서 저속으로 긴 형상 감광성 웹(22)을 기판간 이송함으로써 다음 하프컷 부위(34a)가 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치로 되도록 설정한 후, 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리 기판(24)을 공급하고, 다시 유리 기판(24)에 긴 형상 감광성 웹(22)을 라미네이트한다(스텝 S12, 라미네이트 2).
여기에서, 기판간 이송 처리를 행할 때, 도 7에 나타내는 바와 같이, 하프컷 부위(34a)의 위치가 가공 기구(36)측에 위치 어긋남량(△K)만큼 어긋나 있는 경우에는 위치 어긋남량(△K)에 따라서 기판간 이송 펄스수를 증가시켜 도 9의 패턴(144a)으로 기판간 이송 제어를 행한다. 또한, 도 8에 나타내는 바와 같이, 하프컷 부위(34a)의 위치가 고무 롤러(80a, 80b)측에 위치 어긋남량(△K)만큼 어긋나 있는 경우에는 위치 어긋남량(△K)에 따라서 기판간 이송 펄스수를 감소시켜 도 9의 패턴(144b)으로 기판간 이송 제어를 행한다.
이렇게 해서 기판간 이송 제어를 행함으로써 유리 기판(24)에 대한 하프컷 부위(34a)의 위치를 원하는 위치로 조정하여 고품질의 감광성 적층체(100)를 제조할 수 있다. 또한, 유리 기판(24)에 대한 긴 형상 감광성 웹(22)의 부착 위치의 조정 처리는 제조 장치(20)의 동작을 정지시키지 않고 행할 수 있기 때문에 감광성 적층체(100)를 효율적으로 제조할 수 있다. 또한, 촬영부(47)의 위치는 하프컷 부 위(34a, 34b)의 설정 이송량에 대응하는 기판간 이송 펄스수를 조정함으로써 가공 기구(36)와 부착 기구(46) 사이의 임의의 위치로 설정할 수 있다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조 장치(200)의 개략 구성도이다. 또한, 제 1 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조 장치(20)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 상세한 설명은 생략한다.
제조 장치(200)는 유리 기판(24)에 부착된 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 잔존하는 가요성 베이스 필름(26)을 연속적으로 박리하도록 구성된 것이며, 부착 기구(46)의 하류측에는 반송로(88)를 따라 라미네이트된 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)을 냉각하는 냉각 기구(202)와, 가요성 베이스 필름(26)을 감광성 수지층(28)으로부터 연속적으로 박리하는 베이스 박리 기구(204)가 순차적으로 배치된다.
베이스 박리 기구(204)는 프리박리부(206)와, 소경의 박리 롤러(208)와, 권취축(210)과, 자동 부착기(212)를 구비한다. 권취축(210)은 구동시에 토크 제어해서 가요성 베이스 필름(26)에 장력을 부여하는 한편, 예를 들면, 박리 롤러(208)에 장력 검출기(도시하지 않음)를 설치함으로써 장력의 피드백 제어를 행하는 것이 바람직하다. 프리박리부(206)는 유리 기판(24) 사이에서 승강할 수 있는 박리바(214)를 구비한다.
부착 기구(46)에 있어서 라미네이트된 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)은 냉각 기구(202)에 의해 냉각된 후, 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)이 프리박리부(206)를 구성하는 박리바(214)에 의해 상방으로 밀어 올려지 고, 이것에 의해 가요성 베이스 필름(26)의 일부가 감광성 수지층(28)으로부터 박리된다. 이어서, 감광성 수지층(28)이 부착된 유리 기판(24)이 화살표(Y) 방향으로 반송되는 한편, 가요성 베이스 필름(26)이 박리 롤러(208)를 통해 권취축(210)에 권취됨으로써 가요성 베이스 필름(26)이 감광성 수지층(28)으로부터 연속적으로 박리되어 유리 기판(24) 사이가 분리되어 감광성 적층체(100)가 제조된다.
또한, 상술한 제 1 및 제 2 실시형태에서는 1개의 감광성 웹롤(23)로부터 공급되는 긴 형상 감광성 웹(22)을 유리 기판(24)에 부착함으로써 소위, 1개 부착된 감광성 적층체(100)를 제조하도록 구성되어 있지만 예를 들면, 2개의 감광성 웹롤이나 3개 이상의 감광성 웹롤로부터 긴 형상 감광성 웹(22)을 공급해서 유리 기판(24)에 부착하여 소위, 2개 부착, 3개 부착 등의 감광성 적층체를 제조하도록 구성해도 좋다.
또한, 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량을 검출하는 로터리 인코더(51)는 가공 기구(36)의 전단의 롤러쌍(50)에 연결되어 있지만 촬영부(47)의 상류측의 원하는 위치, 예를 들면, 석션 드럼(62)에 연결하여 석션 드럼(62)의 회전량을 검출하도록 구성해도 좋다.
또한, 상술한 실시형태에서는 한쪽의 하프컷 부위(34a)의 위치 어긋남 정보를 취득해서 기판간 이송량을 보정하도록 되어 있지만 다른쪽의 하프컷 부위(34b)의 위치 어긋남 정보를 취득해서 기판간 이송량을 보정하는 것도 가능하다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 2는 제 1 실시형태에 따른 제조 장치에 사용되는 긴 형상 감광성 웹의 단면도이다.
도 3은 긴 형상 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.
도 4는 하프컷 부위를 형성하는 가공 기구, 하프컷 부위의 위치 어긋남 정보를 취득하는 촬영부 및 부착 기구의 배치 관계 설명도이다.
도 5는 하프컷 부위의 위치 어긋남 정보에 기초해서 기판간 이송 제어의 보정 처리를 행하는 회로 구성 블록도이다.
도 6은 하프컷 부위의 위치 어긋남 정보에 기초해서 기판간 이송 제어의 보정 처리를 행하는 플로우차트이다.
도 7은 촬영부에 의해 취득되는 하프컷 부위의 위치 어긋남 정보의 설명도이다.
도 8은 촬영부에 의해 취득되는 하프컷 부위의 위치 어긋남 정보의 설명도이다.
도 9는 긴 형상 감광성 웹의 라미네이트 제어 및 기판간 이송 제어의 설명도이다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 11은 종래 기술에 따른 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 12는 긴 형상 감광성 웹에 형성된 하프컷 부위와, 긴 형상 감광성 웹이 부착되는 기판의 위치 관계 설명도이다.

Claims (10)

  1. 지지체(26) 상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34a, 34b)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기 박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 가열된 한쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착함으로써 감광성 적층체(100)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 장치에 있어서:
    상기 가공 부위(34a, 34b)가 형성된 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량을 계측하는 이송량 계측부(51);
    상기 가공 부위(34a, 34b)를 형성하는 가공부(36)와 상기 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 있어서의 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송로 중에 배치되고, 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34a, 34b)의 위치 어긋남 정보를 취득하는 위치 어긋남 정보 취득부(120);
    상기 위치 어긋남 정보를 취득하기 위해서 상기 이송량 계측부(51)에 의해 계측된 상기 이송량이 소정의 설정 이송량으로 된 시점에서 상기 위치 어긋남 정보취득부(120)를 가압하는 가압부(124); 및
    취득한 상기 위치 어긋남 정보에 기초해서 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 상기 압착 롤러(80a, 80b)에 대한 이송량을 보정하는 이송량 보정부(132)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 위치 어긋남 정보 취득부(120)는 상기 가공 부위(34a, 34b)를 포함하는 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 화상을 촬영하는 카메라(72)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 가압부(124)는 상기 카메라(72)의 셔터를 제어하는 셔터 제어부(124)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 카메라(72)와 상기 긴 형상 감광성 웹(22) 사이에 상기 기준 위치를 규정하는 기준편(67)을 배치하고, 상기 카메라(72)는 상기 가공 부위(34a, 34b) 및 상기 기준편(67)을 포함하는 화상을 촬영하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 이송량 보정부(132)에 의한 보정 조건을 설정하는 보정 조건 설정부(134)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 보정 조건은 상기 감광성 적층체(100)의 처리 매수에 기초한 상기 이송량을 보정하기 위한 보정 빈도인 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 보정 조건은 상기 위치 어긋남 정보에 기초한 위치 어긋남량에 대한 허용 범위에 따른 조건이며;
    상기 이송량 보정부(132)는 상기 위치 어긋남량이 상기 허용 범위 내에 있을 때에 보정 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  8. 지지체(26) 상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순차적으로 적층되어 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출하고, 상기 보호 필름(30)의 박리 부분과 잔존 부분의 경계 위치에 대응하는 가공 부위(34a, 34b)를 상기 보호 필름(30)으로부터 상기 감광 재료층(28)에 이르는 부분에 형성하고, 상기 보호 필름(30)의 상기 박리 부분을 박리한 후, 소정의 간격으로 공급되는 기판(24)과 함께 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 가열된 한쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 연속적으로 송출하고, 상기 기판(24) 사이에 상기 보호 필름(30)의 상기 잔존 부분을 배치함과 아울러, 노출된 상기 감광 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착함으로써 감광성 적층체(100)를 제조하는 감광성 적층체의 제조 방법에 있어서:
    상기 가공 부위(34a, 34b)가 형성된 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 이송량을 계측하는 스텝;
    상기 가공 부위(34a, 34b)를 형성하는 가공부(36)와 상기 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 있어서의 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송로 중에 있어서 계측된 상기 이송량이 소정의 설정 이송량으로 된 시점에서 기준 위치에 대한 상기 가공 부위(34a, 34b)의 위치 어긋남 정보를 취득하는 스텝; 및
    취득한 상기 위치 어긋남 정보에 기초해서 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 상기 압착 롤러(80a, 80b)에 대한 이송량을 보정하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 이송량의 보정은 상기 감광성 적층체(100)의 처리 매수에 기초한 보정 빈도로 행하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 이송량의 보정은 상기 위치 어긋남 정보에 기초한 위치 어긋남량이 허용 범위 내에 있을 때에 행하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5256114B2 (ja) * 2009-05-11 2013-08-07 花王株式会社 複合伸縮部材の製造方法およびその製造装置
JP5960478B2 (ja) * 2012-03-30 2016-08-02 株式会社サカエ ラミネート装置
JP5902987B2 (ja) * 2012-03-30 2016-04-13 株式会社サカエ ラミネート装置
JP2014050864A (ja) * 2012-09-07 2014-03-20 Dainippon Printing Co Ltd ラベル用レーザ加工機
CN103979148B (zh) * 2014-05-02 2015-10-07 常德烟草机械有限责任公司 一种用于薄膜分切在线位置调整的控制***和方法
JP7131938B2 (ja) * 2018-03-29 2022-09-06 芝浦メカトロニクス株式会社 粘着テープの貼着装置
CN109183378A (zh) * 2018-08-29 2019-01-11 张家港鸿运织标有限公司 一种易撕断商标的加工装置
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