KR20080038029A - 감광성 웹의 프리 박리 장치 - Google Patents

Abstract

프리 박리(prepeeling) 장치(144)는 유리 기판(24) 사이에 노정(露呈)되는 잔존 부분(30b)을 가압해서 상기 잔존 부분(30b)을 상기 유리 기판(24)으로부터 박리시키는 박리 부재(150)와, 상기 박리 부재(150)를 화살표(C) 방향으로 진퇴시킬 수 있는 이동 기구(152)를 구비한다. 박리 부재(150)는 수용 롤러(162)와 일체로 케이싱(158)에 수용되어 있고, 이 케이싱(158)은 1축 로봇(156)을 통해 화살표(C) 방향으로 진퇴하고, 유리 기판(24) 사이의 잔존 부분(30b)에 대응해서 배치된다. 박리 부재(150)는 잔존 부분(30b)의 폭방향으로 긴 판상으로 구성됨과 아울러, 상기 잔존 부분(30b)에 접촉하는 파형상 선단부(172a, 172b)를 제공한다.

프리 박리 장치

Description

감광성 웹의 프리 박리 장치{APPARATUS FOR PREPEELING PHOTOSENSITIVE WEB}

본 발명은 지지층과 적어도 감광 재료층이 적층된 감광성 웹을 상기 감광 재료층측이 기판을 향하도록 해서 상기 기판에 접착한 후, 상기 지지층을 상기 기판 사이에 노정되는 상기 감광성 웹의 일부와 일체로 상기 기판으로부터 박리하기 전에 상기 감광성 웹의 일부를 상기 기판으로부터 미리 박리시키는 감광성 웹의 프리 박리(PREPEELING) 장치에 관한 것이다.

예를 들면, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP 패널용 기판에서는 감광 재료(감광성 수지)층을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)를 기판 표면에 부착해서 구성되어 있다. 감광성 시트체는 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 있다.

그래서, 이러한 종류의 감광성 시트체의 부착에 사용되는 부착 장치(라미네이트 장치)는 통상, 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정의 간격씩 이간시켜 반송함과 아울러, 상기 기판에 부착되는 감광 재료층의 범위에 대응해서 상기 감광성 시트체로부터 보호 필름을 박리하는 방식이 채용되어 있다.

예를 들면, 일본국 특허 공개 2003-337411호 공보에 개시되어 있는 감광층 전사 장치가 알려져 있다. 이 감광층 전사 장치는 기판을 일정 간격으로 공급하는 기판 공급 수단과, 상기 기판의 전사 영역에 맞춰서 감광층 및 보호 필름(커버 필름)을 절단하고, 이 절단된 상기 전사 영역의 보호 필름만을 박리시키는 필름 전처리 수단과, 상기 필름 전처리 수단에 의해 보호 필름이 박리된 적층체 필름을 상기 기판 공급 수단으로부터의 기판에 상기 보호 필름이 박리된 감광층 영역과 상기 전사 영역을 일치시켜서 공급하고, 상기 감광층 영역을 상기 전사 영역에 열압착하는 열압착 수단과, 그 열압착 수단에 의해 적층체 필름이 열압착된 각 기판 사이에서 적층체 필름을 기판으로부터 박리하는 방향으로 압출해서 적어도 보호 필름과 기판을 박리하는 예비 박리 수단과, 상기 적층체 필름을 구성하는 지지체를 기판으로부터 박리하는 박리 수단을 구비하고 있다.

이것에 의해, 각 기판 사이에서 적어도 보호 필름과 기판이 미리 박리되기 때문에 상기 보호 필름이 안정적으로 지지체와 함께 박리되어 공정 내에서 낙하되어 이물 불량이 되거나, 상기 기판에 남아서 상기 기판의 반송 이상이나 품질 이상이 되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명은 이러한 종류의 프리 박리에 관한 것으로, 간단한 구성으로 기판으로부터 지지층(지지체)을 양호하고 또한 확실하게 박리할 수 있고, 라미네이트 정밀도를 향상시키는 것이 가능한 감광성 웹의 프리 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 지지층과 적어도 감광 재료층이 적층된 감광성 웹을 상기 감광 재료층측이 기판을 향하도록 해서 상기 기판에 접착한 후, 상기 지지층을 상기 기판 사이에 노정되는 상기 감광성 웹의 일부와 일체로 상기 기판으로부터 박리하기 전에 상기 감광성 웹의 일부를 상기 기판으로부터 미리 박리시키는 감광성 웹의 프리 박리 장치에 관한 것이다.

이 프리 박리 장치는 상기 기판 사이에 노정되는 감광성 웹의 일부를 가압해서 상기 감광성 웹의 일부를 상기 기판으로부터 박리시키는 박리 부재와, 상기 박리 부재를 기판 반송 방향으로 진퇴시킬 수 있는 이동 기구와, 상기 박리 부재에 의한 상기 감광성 웹의 가압 위치를 검출하기 위한 검출기를 구비하고 있다.

그리고, 박리 부재는 감광성 웹의 기판 반송 방향으로 교차하는 폭방향으로 긴 판상으로 구성됨과 아울러, 상기 감광성 웹의 일부에 접하는 복수의 가압부를 제공하고 있다.

본 발명에서는 검출기를 통해 박리 부재에 의한 감광성 웹의 가압 위치가 검출됨과 아울러, 상기 가압 위치에 대응해서 박리 부재를 기판 반송 방향으로 진퇴시키는 것이 가능해진다. 이 때문에, 박리 부재가 기판에 접촉되는 일이 없고, 상 기 박리 부재에 의해 기판간에 노정되는 감광성 웹의 일부를 확실하게 가압할 수 있다.

그 때, 박리 부재의 복수의 가압부가 감광성 웹에 접하기 때문에 이 감광성 웹의 폭방향으로 단속적으로 집중 하중을 부여할 수 있어 상기 감광성 웹의 일부를 기판으로부터 양호하게 프리 박리시키는 것이 가능해진다. 이것에 의해, 특히 기판의 기판 반송 방향 후단으로부터 감광성 웹의 일부가 미리 박리되기 때문에 다음 단의 박리 처리에서는 상기 감광성 웹의 일부와 함께 지지층을 상기 기판으로부터 용이하고 또한 확실하게 박리할 수 있다.

첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기의 목적, 특징 및 이점이 보다 명백해질 것이다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 프리 박리 장치를 장착하는 감광성 적층체의 제조 장치(20)의 개략 구성도이다.

이 제조 장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터의 제작 공정에서 긴 감광성 웹(22a, 22b)의 각 감광성 수지층(28)(후술함)을 병렬해서 유리 기판(24)에 열전사하는 작업을 행한다. 이하, 감광성 웹(22a, 22b)이 라미네이트된 유리 기판(24)을 부착 기판(24a)이라고도 한다. 감광성 웹(22a, 22b)은 각각 소정의 폭치수로 설정되어 있고, 예를 들면, 상기 감광성 웹(22a)이 상기 감광성 웹(22b)보다 폭 넓게 구성되어 있다.

도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 감광성 웹(22a, 22b)의 단면도이다. 이 감 광성 웹(22a, 22b)은 기본적으로는 가요성 베이스 필름(지지층)(26)과, 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과, 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 장치(20)는 감광성 웹(22a, 22b)을 롤상으로 권취한 2개(2개 이상이면 좋다)의 감광성 웹롤(23a, 23b)을 수용하고, 각 감광성 웹롤(23a, 23b)로부터 상기 감광성 웹(22a, 22b)을 동기해서 송출할 수 있는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a, 32b)와, 송출된 각 감광성 웹(22a, 22b)의 보호 필름(30)에 폭방향으로 절단할 수 있는 경계 위치인 하프컷 부위(34)를 형성하는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 각 보호 필름(30)에 접착시키는 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a, 40b)를 구비한다.

제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a, 40b)의 하류에는 각 감광성 웹(22a, 22b)을 택트 이송으로부터 연속 이송으로 변경하기 위한 제 1 및 제 2 리저버 기구(42a, 42b)와, 각 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)와, 유리 기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태로 부착 위치에 반송하는 기판 반송 기구(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적으로 또한 병렬로 부착하는 부착 기구(46)가 배치된다.

부착 기구(46)에 있어서의 부착 위치의 상류 근방에는 각 감광성 웹(22a, 22b)의 경계 위치인 각각의 하프컷 부위(34)를 직접 검출하는 제 1 및 제 2 검출 기구(47a, 47b)가 배치된다.

제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a, 32b)의 하류 근방에는 대략 사용이 완료된 감광성 웹(22a, 22b)의 후단과, 새롭게 사용되는 감광성 웹(22a, 22b)의 선단을 부착하는 각각의 부착대(49)가 배치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웹롤(23a, 23b)의 권취 어긋남에 의한 폭방향의 어긋남을 제어하기 위해서 필름 단말 위치 검출기(51)가 배치된다. 여기에서, 필름 단말 위치 조정은 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a, 32b)를 폭방향으로 이동시켜서 행하지만, 롤러를 조합한 위치 조정 기구를 부설해서 행해도 좋다. 또한, 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a, 32b)는 감광성 웹롤(23a, 23b)을 장전해서 감광성 웹(22a, 22b)을 푸는 풀림축을 2축 또는 3축 등의 다축으로 구성해도 좋다.

제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)는 제 1 및 제 2웹 송출 기구(32a, 32b)에 수용 권취되어 있는 각 감광성 웹롤(23a, 23b)의 롤 직경을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)는 각각 단일의 원형날(52)을 구비하고, 이 원형날(52)은 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 주행해서 상기 감광성 웹(22a, 22b)의 소정의 위치에 하프컷 부위(34)를 형성한다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 하프컷 부위(34)는 적어도 보호 필름(30)을 절단할 필요가 있고, 실제상 이 보호 필름(30)을 확실하게 절단하기 위해서 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 절개하도록 원형날(52)의 절개부 깊이가 설정된다. 원형날(52)은 회전하지 않고 고정된 상태로 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 이동해서 하프컷 부위(34)를 형성하는 방식이나, 상기 감광성 웹(22a, 22b) 상을 미끄러지는 일 없이 회전하면서 상기 폭방향으로 이동해서 상기 하프컷 부 위(34)를 형성하는 방식이 채용된다. 이 하프컷 부위(34)는 원형날(52)을 대체해서 예를 들면, 레이저광이나 초음파를 사용한 컷팅 방식 외에 나이프날, 작두날(톰슨날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 좋다.

또한, 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)는 각각 감광성 웹(22a, 22b)의 반송 방향(화살표(A) 방향)으로 소정의 거리 만큼 이간해서 2대 배치하고, 잔존 부분(30b)을 사이에 두고 2개의 하프컷 부위(34)를 동시에 형성해도 좋다.

하프컷 부위(34)는 예를 들면, 양측의 유리 기판(24)에 각각 10㎜씩 들어간 위치로 설정된다. 유리 기판(24) 사이의 하프컷 부위(34)에서 끼워진 부분은 후술하는 부착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자상으로 붙일 때의 마스크로서 기능하는 것이다.

제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a, 40b)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 남기기 때문에 박리측 전방의 박리 부분(30aa)과 박리측 후방의 박리 부분(30ab)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 사이에 두고 먼저 박리되는 부분을 전방의 박리 부분(30aa)으로 하는 한편, 나중에 박리되는 부분을 후방의 박리 부분(30ab)으로 한다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 좁고 긴 형상으로 구성되어 있고, 예를 들면, 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미점착을 포함함)(38a)를 갖는 것과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양측, 즉, 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양단부에 전방 의 박리 부분(30aa)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(30ab)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a, 40b)는 각각 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 감광성 웹(22a, 22b)을 하방으로부터 유지하기 위한 수용대(56)가 승강 가능하게 배치된다.

제 1 및 제 2 리저버 기구(42a, 42b)는 상류측의 감광성 웹(22a, 22b)의 택트 반송과, 하류측의 상기 감광성 웹(22a, 22b)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해서 요동 가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다. 제 2 리저버 기구(42b)에는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a, 32b)로부터 송출되는 각 감광성 웹(22a, 22b)이 부착 기구(46)에 이르기까지의 각 반송로 길이를 동일하게 조정하기 위한 댄서 롤러(61)가 배치된다.

제 1 및 제 2 리저버 기구(42a, 42b)의 하류에 배치되는 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)는 각각 감광성 웹(22a, 22b)의 송출측의 텐션 변동을 차단하고, 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 각 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 제외하고 각각 보호 필름 감김부(64)에 감긴다.

제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)의 하류측에는 감광성 웹(22a, 22b)에 텐 션을 부여할 수 있는 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a, 66b)가 배치된다. 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a, 66b)는 각각 실린더(68)를 구비하고, 상기 실린더(68)의 구동 작용하에 각각 텐션 댄서(70)가 요동 변위됨으로써, 각 텐션 댄서(70)가 슬라이딩 접촉하는 감광성 웹(22a, 22b)의 텐션이 조정 가능하다.

제 1 및 제 2 검출 기구(47a, 47b)는 레이저 센서나 포토 센서 등의 광전 센서(72a, 72b)를 구비하고 있고, 상기 광전 센서(72a, 72b)는 하프컷 부위(34)의 쐐기상의 홈형상부나, 보호 필름(30)의 두께에 의한 단차, 혹은, 이들의 조합에 의한 변화를 직접 검출하고, 이 검출 신호를 경계 위치 신호로 한다. 광전 센서(72a, 72b)는 백업 롤러(73a, 73b)에 대향해서 배치된다. 또한, 광전 센서(72a, 72b) 대신에 비접촉 변위계나 CCD 카메라 등의 화상 검사 수단 등을 사용해도 좋다. 또한, CCD 카메라는 백업 롤러(73a, 73b)에 대향하지 않는 위치에 배치해도 좋다.

기판 반송 기구(45)는 유리 기판(24)을 끼우도록 배치되는 복수 세트의 기판 가열부(예를 들면, 히터)(74)와, 이 유리 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하는 반송부(76)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리 기판(24)의 온도를 상시 감시하여 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생시킴과 아울러, 이상 정보를 발신해서 이상한 유리 기판(24)을 후공정에서 NG 배출, 품질 관리 또는 생산 관리 등으로 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도시하지 않은 에어 부상 플레이트가 배치되고, 유리 기판(24)이 부상되어 화살표(C) 방향으로 반송된다. 유리 기판(24)의 반송은 롤러 컨베이어로도 행할 수 있다.

유리 기판(24)의 온도 측정은 기판 가열부(74)내 또는 부착 위치 직전에서 행하는 것이 바람직하다. 측정 방법으로서는 접촉식(예를 들면, 열전대) 외에 비접촉식이여도 좋다.

기판 가열부(74)의 상류에는 복수의 유리 기판(24)이 수용되는 기판 스토커(71)가 설치된다. 이 기판 스토커(71)에 수용되어 있는 각 유리 기판(24)은 로봇(75)의 핸드부(75a)에 설치된 흡착 패드(79)에 흡착되어 인출되고, 기판 가열부(74)에 삽입된다.

기판 가열부(74)의 하류에는 유리 기판(24)의 선단과 접촉해서 이 유리 기판(24)을 유지하는 스토퍼(77)와, 상기 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출하는 위치 센서(78)가 배치된다. 위치 센서(78)는 유리 기판(24)이 부착 위치를 향하는 도중에 유리 기판 선단을 검출하고, 그것으로부터 정량 이송함으로써, 라미네이트용 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정의 위치로 위치 결정하기 위한 것에 있다. 여기에서, 위치 센서(78)는 복수개 배치해서 각 위치에 있어서의 유리 기판(24)의 도착 타이밍을 감시하고, 기판 반송 개시시의 슬립 등에 의한 지연을 체크하는 것이 바람직하다. 또한, 유리 기판(24)의 가열은 상기와 같은 반송 가열 외에 배치식의 오븐을 사용해서 로봇 반송해도 좋다.

부착 기구(46)는 상하로 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(80a, 80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b)에는 백업 롤러(82a, 82b)가 슬라이딩 접촉함과 아울러, 상기 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가압 실린더(84a, 84b)에 의해 고무 롤러(80b)측으로 가압된다.

고무 롤러(80a)의 근방에는 감광성 웹(22a, 22b)이 상기 고무 롤러(80a)에 접촉되는 것을 방지하기 위한 접촉 방지 롤러(86)가 이동 가능하게 배치된다. 부착 기구(46)의 상류 근방에는 감광성 웹(22a, 22b)을 미리 소정 온도로 예비 가열하기 위한 예비 가열부(87)가 배치된다. 이 예비 가열부(87)는 예를 들면, 적외선 바히터 등의 가열 수단을 구비한다.

유리 기판(24)은 부착 기구(46)로부터 반송로(88)를 통해 화살표(C) 방향으로 반송된다. 이 반송로(88)에는 필름 반송 롤러(90a, 90b)와 기판 반송 롤러(92)가 배치된다. 고무 롤러(80a, 80b)와 기판 반송 롤러(92)의 간격은 유리 기판(24)의 1매분의 길이 이하로 설정되는 것이 바람직하다.

부착 기구(46)의 하류에 냉각 기구(122)와 베이스 자동 박리 기구(142)가 본 실시형태에 따른 프리 박리 장치(144)를 사이에 두고 설치된다. 베이스 자동 박리 기구(142)는 각 유리 기판(24)이 소정 간격씩 이간되어 부착되어 있는 긴 베이스 필름(26)을 연속해서 박리하는 것이며, 박리 롤러(146)와 감김축(148)을 구비하고 있다. 감김축(148)은 구동시에 토크 제어해서 베이스 필름(26)에 장력을 부여하는 한편, 예를 들면, 박리 롤러(146)에 장력 검출기(도시하지 않음)를 설치함으로써, 장력의 피드백 제어를 행하는 것이 바람직하다.

베이스 자동 박리 기구(142)는 도시하지 않은 액츄에이터를 통해 화살표(C) 방향으로 진퇴할 수 있다. 박리 롤러(146) 또는 그 직전에 필름면을 30℃~120℃정도까지 재가열함으로써, 박리시의 색재층의 박리가 저지되어 고품질의 라미네이트면을 얻을 수 있다.

프리 박리 장치(144)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(24) 사이에 노정되는 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 가압해서 상기 잔존 부분(30b)을 하프컷 부위(34)에 대응하는 감광성 수지층(28)과 일체로 상기 유리 기판(24)으로부터 박리시키는 박리 부재(150)와, 상기 박리 부재(150)의 화살표(C) 방향(기판 반송 방향)으로 진퇴 가능한 이동 기구(152)와, 상기 박리 부재(150)에 의한 상기 잔존 부분(30b)의 가압 위치를 검출하기 위한 검출기, 예를 들면, CCD 카메라(154)(도 1 참조)를 구비한다.

이동 기구(152)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 화살표(C) 방향으로 진퇴 가능한 1축 로봇(156)을 구비하고, 이 1축 로봇(156)에 연결되는 케이싱(158)은 가이드 레일(예를 들면, LM 가이드)(160)을 통해 화살표(C) 방향으로 진퇴 가능하게 배치된다.

케이싱(158)에는 복수의 수용 롤러(162)가 회전 가능하게 장착되어 있고, 상기 수용 롤러(162) 사이에는 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 좌우 한쌍의 승강 실린더(164a, 164b)가 배치된다.

각 승강 실린더(164a, 164b)로부터 상방으로 연장되는 로드(166a, 166b)에는 프레임(168a, 168b)이 요동 가능하게 지지되고, 각 프레임(168a, 168b)은 연결부(169)를 통해 서로 연결된다. 프레임(168a, 168b)에는 박리 부재(150)를 구성하는 박리판(170a, 170b)이 고착됨과 아울러, 각 박리판(170a, 170b)은 잔존 부분(30b)에 접하는 복수의 가압부인 파형상 선단부(172a, 172b)를 제공한다. 박리판(170a, 170b) 사이, 즉, 박리 부재(150)의 폭방향(화살표(D) 방향)으로 분할된 부분에는 유리 기판(24)이 존재하는지의 여부를 검출하는 기판 검출기(174)가 배치 된다.

기판 검출기(174)는 실린더(액츄에이터)(176)를 구비하고, 이 실린더(176)로부터 상방으로 연장되는 로드(176a)에 접촉형 센서(178a, 178b)가 설치된다(도 5 참조). 접촉형 센서(178a, 178b)는 상승단 위치에 있어서, 유리 기판(24)에 접촉되는 높이 이상의 위치로 설정된다.

박리 부재(150)가 유리 기판(24) 사이의 가압 위치에 배치될 때에는 접촉형 센서(178a, 178b)는 상기 유리 기판(24) 및 잔존 부분(30b) 중 어느 것에나 접촉하는 일이 없다. 한편, 유리 기판(24) 사이의 가압 위치에 대해서 박리 부재(150)의 위치가 어긋나 있을 때에는 접촉형 센서(178a)가 상류측 유리 기판(24)의 후단부에 또는, 상기 접촉형 센서(178b)가 하류측 유리 기판(24)의 선단부에 접촉한다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 박리 부재(150)는 승강 실린더(164a, 164b)를 통해 유리 기판(24)의 잔존 부분(30b)이 형성되는 한쪽의 면과는 반대의 다른쪽의 면(179)으로부터 높이(H)(7㎜~15㎜)의 범위 내에서 상기 잔존 부분(30b)측으로 진퇴 가능하다. 수용 롤러(162)와 유리 기판(24)의 다른쪽의 면(179)까지의 깊이(D)는 1㎜~5㎜의 범위 내로 설정된다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 각 박리판(170a, 170b)의 파형상 선단부(172a, 172b)는 잔존 부분(30b)측으로 돌출되는 산부끼리의 거리(L1)가 20㎜~50㎜의 범위내로 설정됨과 아울러, 상기 산부와 곡부의 거리(L2)가 3㎜~6㎜의 범위 내로 설정된다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 케이싱(158)에는 박리 롤러(146)측으로부터 베 이스 필름(26)에 접촉 가능한 기판 상승 방지용 누름 부재(177)가 장착된다. 이 누름 부재(177)는 박리 부재(150)에 의한 잔존 부분(30b)을 밀어 올릴 때에 유리 기판(24)이 필요 이상으로 밀려 올라가는 것을 저지하는 기능을 갖고 있다. 또한, 누름 부재(177)는 도시하지 않지만, 예를 들면, 실린더를 통해 승강 가능하게 구성하고, 박리 부재(150)를 밀어 올릴 때에 상기 누름 부재(177)를 베이스 필름(26)에 접촉시켜서 유리 기판(24)의 변위를 가급적으로 억제할 수도 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 베이스 자동 박리 기구(142)의 하류에는 유리 기판(24)에 실제로 부착된 감광성 수지층(28)의 에어리어 위치를 측정하는 측정기(180)가 배치된다. 이 측정기(180)는 예를 들면, CCD 등의 카메라(182)를 구비하고, 감광성 수지층(28)이 부착된 유리 기판(24)을 촬영하기 위해서 상기 카메라(182)가 배치된다.

베이스 박리 기구(124)의 하류에는 복수의 감광성 적층체(208)가 수용되는 감광성 적층체 스토커(190)가 설치된다. 베이스 자동 박리 기구(142)로 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 박리된 감광성 적층체(208)는 로봇(192)의 핸드부(192a)에 설치된 흡착 패드(194)에 흡착되어 인출되고, 감광성 적층체 스토커(190)에 수용된다.

제조 장치(20)에서는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a, 32b), 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b), 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a, 40b), 제 1 및 제 2 리저버 기구(42a, 42b), 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b), 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a, 66b) 및 제 1 및 제 2 검출 기구(47a, 47b)가 부착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만, 이것과는 반대로 상기 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a, 32b)로부터 상기 제 1 및 제 2 검출 기구(47a, 47b)까지를 상기 부착 기구(46)의 하방에 배치하고, 감광성 웹(22a, 22b)의 상하가 반대로 되어 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 하측에 부착되어도 좋고, 또한, 상기 제조 장치(20) 전체를 직선상으로 구성해도 좋다.

제조 장치(20)는 라미네이트 공정 제어부(200)를 통해 전체 제어되어 있고, 이 제조 장치(20)의 각 기능부마다, 예를 들면, 라미네이트 제어부(202), 기판 가열 제어부(204) 및 베이스 박리 제어부(206) 등이 설치되고, 이들이 공정내 네트워크에 의해 연결되어 있다. 라미네이트 공정 제어부(200)는 공장 네트워크에 연결되어 있고, 도시하지 않은 공장 CPU로부터의 지시 정보(조건 설정이나 생산 정보)의 생산 관리나 가동 관리 등, 생산을 위한 정보 처리를 행한다.

기판 가열 제어부(204)는 상류 공정으로부터 유리 기판(24)을 수용하고, 이 유리 기판(24)을 원하는 온도까지 가열해서 부착 기구(46)에 공급하는 동작 및 상기 유리 기판(24)의 정보의 핸들링 등을 제어한다.

라미네이트 제어부(202)는 공정 전체의 마스터로서, 각 기능부의 제어를 행하는 것이며, 제 1 및 제 2 검출 기구(47a, 47b)에 의해 검출된 감광성 웹(22a, 22b)의 하프컷 부위(34)의 위치 정보에 기초해서 부착 위치에 있어서의 각 경계 위치와 유리 기판(24)의 상대 위치 및 각 경계 위치끼리의 상대 위치를 제어할 수 있는 제어 기구를 구성하고 있다.

베이스 박리 제어부(206)는 부착 기구(46)로부터 공급되는 부착 기판(24a)으 로부터 베이스 필름(26)을 박리하고, 또한 하류 공정에 감광성 적층체(208)를 배출하는 동작의 제어를 행함과 아울러, 상기 부착 기판(24a) 및 상기 감광성 적층체(208)의 정보를 핸들링 제어한다.

베이스 박리 제어부(206)는 또한 CCD 카메라(154)에 의해 촬상된 부착 기판(24a)의 화상 정보에 기초해서 유리 기판(24) 사이의 가압 위치를 측정하여 상기 유리 기판(24)이 정지할 때의 상기 가압 위치를 연산한다. 이 연산 결과에 기초해서 박리 부재(150)의 프리 박리용 정지 위치가 얻어져 이동 기구(152)가 제어된다.

제조 장치(20) 내는 칸막이벽(210)을 통해 제 1 클린룸(212a)과 제 2 클린룸(212b)으로 구분된다. 제 1 클린룸(212a)에는 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a, 32b)로부터 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a, 66b)까지가 수용됨과 아울러, 제 2 클린룸(212b)에는 제 1 및 제 2 검출 기구(47a, 47b) 이후가 수용된다. 제 1 클린룸(212a)과 제 2 클린룸(212b)은 관통부(214)를 통해 연통된다.

이렇게 구성되는 제조 장치(20)의 동작에 대해서 이하에 설명한다.

우선, 제 1 및 제 2 웹 송출 기구(32a, 32b)에 부착되어 있는 각 감광성 웹롤(23a, 23b)로부터 감광성 웹(22a, 22b)이 송출된다. 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)로 반송된다.

제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)에서는 원형날(52)이 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로 이동하고, 상기 감광성 웹(22a, 22b)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 절개해서 하프컷 부위(34)를 형성한다(도 2 참조). 또한, 감광성 웹(22a, 22b)은 도 1에 나타내는 바와 같이, 보호 필름(30) 의 잔존 부분(30b)의 치수에 대응해서 화살표(A) 방향으로 반송된 후에 정지되고, 원형날(52)의 주행 작용하에 하프컷 부위(34)가 형성된다. 이것에 의해, 감광성 웹(22a, 22b)에는 잔존 부분(30b)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리 부분(30ab)이 형성된다(도 2 참조).

이어서, 각 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a, 40b)로 반송되고, 보호 필름(30)의 소정의 부착 부위가 수용대(56) 상에 배치된다. 제 1 및 제 2 라벨 접착 기구(40a, 40b)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54a~54g)에 의해 흡착 유지되고, 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)에 걸쳐서 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리 부분(30ab)으로 일체적으로 접착된다(도 3 참조).

예를 들면, 7개의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22a, 22b)은 도 1에 나타내는 바와 같이, 제 1 및 제 2 리저버 기구(42a, 42b)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)에 연속적으로 반송된다. 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)에서는 도 6에 나타내는 바와 같이, 감광성 웹(22a, 22b)의 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 박리된다. 이 보호 필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해 박리되어 보호 필름 감김부(64)에 감긴다(도 1 참조).

제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 텐션 제어 기구(66a, 66b)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 제 1 및 제 2 검출 기구(47a, 47b)에서 광전 센서(72a, 72b)에 의해 하프컷 부위(34)의 검출이 더 행해진다.

각 감광성 웹(22a, 22b)은 하프컷 부위(34)의 검출 정보에 기초해서 필름 반송 롤러(90a, 90b)의 회전 작용하에 각각 부착 기구(46)에 정량 반송된다. 한편, 유리 기판(24)은 기판 반송 기구(45)의 작용하에 미리 가열된 상태로 부착 위치로 반송된다. 이 유리 기판(24)은 병렬되어 있는 감광성 웹(22a, 22b)의 감광성 수지층(28)의 부착 부분에 대응해서 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 일단 배치된다.

이 상태에서 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)를 상승시킴으로써, 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 유리 기판(24)이 소정의 프레스 압력으로 끼워 넣어진다. 또한, 고무 롤러(80a)의 회전 작용하에 이 유리 기판(24)에는 병렬되어 있는 각 감광성 수지층(28)이 전사(라미네이트)된다.

여기에서, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 80℃~150℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40도~90도, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝~400N/㎝이다.

고무 롤러(80a, 80b)를 통해 유리 기판(24)에 감광성 웹(22a, 22b)의 1매분의 라미네이트가 종료되면, 상기 고무 롤러(80a)의 회전이 정지되는 한편, 상기 감광성 웹(22a, 22b)이 라미네이트된 상기 유리 기판(24), 즉, 부착 기판(24a)이 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램프된다.

그리고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해 서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(92)의 회전이 개시되어 부착 기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 정량 반송되고, 감광성 웹(22a, 22b)의 기판간 위치가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치로 이동한다. 한편, 기판 반송 기구(45)를 통해 다음의 유리 기판(24)이 부착 위치를 향해서 반송된다.

이 다음의 유리 기판(24)의 선단이 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 배치되면, 상기 고무 롤러(80b)가 상승하고, 상기 고무 롤러(80a, 80b)에 의해 상기 다음의 유리 기판(24)과 감광성 웹(22a, 22b)이 클램프된다. 그리고, 고무 롤러(80a, 80b) 및 기판 반송 롤러(92)의 회전 작용하에 라미네이트가 개시됨과 아울러, 부착 기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 반송된다.

그 때, 부착 기판(24a)은 도 4에 나타내는 바와 같이, 각각의 단부끼리가 잔존 부분(30b)에 의해 덮여 있다. 따라서, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 전사될 때, 고무 롤러(80a, 80b)가 상기 감광성 수지층(28)에 의해 더러워지는 일이 없다.

한편, 라미네이트시의 열에 의해 감광성 수지층(28)의 하프컷 부위(34)에 드리핑이 야기되어 상기 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 접착될 우려가 있다. 이것에 의해 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리할 때에 하프컷 부위(34)에 대응해서 유리 기판(24)에 접착되는 감광성 수지층(28) 및 잔존 부분(30b)이 상기 유리 기판(24)으로부터 박리되지 않는 경우가 있다.

여기에서, 본 실시형태에서는 부착 기구(46)로 라미네이트된 부착 기판(24a)은 냉각 기구(122)를 통해 냉각된 후, 프리 박리 장치(144)로 이송된다. 이 프리 박리 장치(144)에서는 부착 기판(24a)이 일단 정지하면, 우선, 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판 검출기(174)를 구성하는 실린더(176)가 구동되어 로드(176a)와 일체로 접촉형 센서(178a, 178b)가 소정의 상승단 위치까지 상승한다.

접촉형 센서(178a, 178b)의 상승단 위치는 유리 기판(24)의 바닥면(다른쪽의 면(179)) 이상의 위치로 설정되어 있다. 따라서, 접촉형 센서(178a, 178b) 모두가 유리 기판(24)에 접촉하지 않는 경우에는 상기 유리 기판(24) 사이의 가압 위치가 박리 부재(150)의 승강 범위(이동 범위) 내에 대응해서 배치되어 있다고 판단된다. 또한, 접촉형 센서(178a, 178b) 대신에 비접촉형 센서를 사용해도 좋다.

그래서, 실린더(176)를 통해 기판 검출기(174)가 퇴피 위치까지 하강하는 한편, 승강 실린더(164a, 164b)가 구동된다. 이 때문에, 로드(166a, 166b)와 일체적으로 프레임(168a, 168b)이 상승하고, 상기 프레임(168a, 168b)에 고정되어 있는 박리판(170a, 170b)은 유리 기판(24) 사이에 삽입되어 잔존 부분(30b)을 연직 상방향으로 가압한다(도 7 참조).

이 때문에 유리 기판(24) 사이에 노정되는 잔존 부분(30b)은 하프컷 부위(34)에 대응해서 상기 유리 기판(24)에 접착되기 쉬운 감광성 수지층(28)과 일체로 상기 유리 기판(24)으로부터 박리된다. 그 때, 박리 부재(150)는 잔존 부분(30b)을 사이에 두고 상류측의 유리 기판(24)의 후단 부분에 근접해서 배치되어 있어 특히 이 상류측의 유리 기판(24)의 후단부에 접착되기 쉬운 상기 잔존 부분(30b)을 확실하게 박리할 수 있다.

또한, 상기한 바와 같이, 박리 부재(150)가 상승해서 잔존 부분(30b)을 양 유리 기판(24)으로부터 박리할 때, 베이스 자동 박리 기구(142)에서는 박리 롤러(146)가 화살표(C) 방향과는 역방향(화살표(C1) 방향)으로 이동하고 있다(도 7 참조). 그리고, 프리 박리 종료후에 감김축(148)의 회전 작용하에 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 연속해서 감긴다(도 1 참조).

이 경우, 본 실시형태에서는 CCD 카메라(154)를 통해 부착 기판(24a)의 화상 정보, 즉, 유리 기판(24) 사이의 화상 정보가 얻어지고, 이 화상 정보는 베이스 박리 제어부(206)에 보내진다.

베이스 박리 제어부(206)에서는 상기의 화상 정보에 기초해서 유리 기판(24) 사이의 가압 위치를 측정하고, 프리 박리 장치(144)에 있어서 상기 유리 기판(24)이 정지할 때의 상기 가압 위치가 연산된다. 이 연산 결과에 기초해서 1축 로봇(156)이 화살표(C) 방향, 혹은, 화살표(C) 방향과는 반대 방향으로 위치 조정되고, 박리 부재(150)는 프리 박리용 정지 위치에 배치되어 있다.

이 때문에 박리 부재(150)는 유리 기판(24)에 접촉되는 일이 없고, 상기 유리 기판(24) 사이에 노정되는 잔존 부분(30b)을 확실하게 가압할 수 있어 하프컷 부위(34)에 대응해서 상기 잔존 부분(30b)에 적층되어 있는 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)으로부터 양호하게 박리하는 것이 가능해진다. 이것에 의해, 특히 상류측의 유리 기판(24)의 후단부로부터 잔존 부분(30b) 및 하프컷 부위(34)에 대응하는 감광성 수지층(28)을 프리 박리할 수 있고, 베이스 자동 박리 기구(142)에 의해 베이스 필름(26)을 유리 기판(24)으로부터 박리할 때에 상기 잔존 부분(30b) 및 하프컷 부위(34)에 대응하는 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24) 으로부터 용이하고 또한 확실하게 박리하는 것이 가능해진다는 효과가 얻어진다.

또한, 박리 부재(150)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 2개의 박리판(170a, 170b)으로 분할됨과 아울러, 상기 박리판(170a, 170b)은 파형상 선단부(172a, 172b)를 제공하고 있다. 그 때, 파형상 선단부(172a, 172b)는 산부끼리의 거리(L1)가 20㎜~50㎜의 범위 내에서 설정됨과 아울러, 상기 산부와 곡부의 거리(L2)가 3㎜~6㎜ 사이로 설정되어 있다.

따라서, 파형상 선단부(172a, 172b)가 잔존 부분(30b)에 접촉할 때, 이 잔존 부분(30b)에 대해서 폭방향을 따라 큰 하중을 단속적으로 또한 집중적으로 부여할 수 있어 상기 잔존 부분(30b) 및 하프컷 부위(34)에 대응하는 감광성 수지층(28)을 한층 더 확실하게 박리하는 것이 가능해진다. 그 때, 박리 부재(150)는 유리 기판(24)의 바닥면(다른쪽의 면(179))으로부터 상방으로 높이(H)(7㎜~15㎜)의 범위 내에서 진퇴하고 있어 잔존 부분(30b)의 박리가 양호하게 수행된다.

여기에서, 각 박리판(170a, 170b)은 각각 개별의 승강 실린더(164a, 164b) 를 통해 승강 가능하다. 이 때문에 승강 실린더(164a, 164b)를 구동 제어함으로써, 예를 들면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 박리판(170a, 170b)을 경사시킨 상태로 상승시키는 것도 가능하다.

또한, 본 실시형태에서는 박리판(170a, 170b) 사이에 기판 검출기(174)가 배치되어 있다. 그리고, 박리 부재(150)의 상승에 앞서, 우선, 실린더(176)의 구동 작용하에 접촉형 센서(178a, 178b)가 상승하고, 상기 박리 부재(150)의 상승 범위 내에 유리 기판(24)이 존재하는지의 여부가 검사되어 있다.

따라서, 접촉형 센서(178a, 178b)에 의해 유리 기판(24)이 존재하지 않는 것이 검출된 후, 박리 부재(150)를 상승시키면, 이 박리 부재(150)가 유리 기판(24)에 접촉되는 것을 가급적으로 저지할 수 있다. 이것에 의해, 유리 기판(24)의 깨짐이나 상기 유리 기판(24)의 흔들림 등을 저지하여 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)의 연속 박리가 안정적으로 수행되어 가동률의 향상이 꾀해진다는 이점이 있다.

그런데, 베이스 필름(26)이 박리된 유리 기판(24)은 측정기(180)에 대응하는 검사 스테이션에 배치된다. 이 검사 스테이션에서는 유리 기판(24)이 위치 결정 고정된 상태로 카메라(182)에 의해 유리 기판(24)과 감광성 수지층(28)의 화상을 도입한다. 그리고, 화상 처리가 실시됨으로써, 부착 위치가 연산됨과 아울러, 부착 상태가 검사된다. 그 후 감광성 적층체(208)는 로봇(192)을 통해 감광성 적층체 스토커(190)에 수용된다.

또한, 본 실시형태에서는 2개의 감광성 웹롤(23a, 23b)을 사용하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 1개의 감광성 웹롤이나, 3개 이상의 감광성 웹롤을 채용해도 좋다.

또한, 본 실시형태에서는 각 박리판(170a, 170b)이 복수의 가압부로서 파형상 선단부(172a, 172b)를 제공하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 복수의 가압부로서, 도 9에 나타내는 바와 같이, 단부에 R을 갖는 톱날상의 삼각형 선단부(220)를 채용해도 좋고, 또한 도 10에 나타내는 바와 같이, 단부에 R을 갖는 빗살상의 선단부(222)를 채용해도 좋다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 프리 박리 장치를 장착하는 감광성 적층체의 제조 장치의 개략 구성도이다.

도 2는 상기 제조 장치에 사용되는 긴 감광성 웹의 단면도이다.

도 3은 상기 긴 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.

도 4는 상기 프리 박리 장치의 구성 설명도이다.

도 5는 상기 프리 박리 장치의 측면 설명도이다.

도 6은 상기 긴 감광성 웹으로부터 보호 필름을 박리할 때의 설명도이다.

도 7은 상기 프리 박리 장치의 동작 설명도이다.

도 8은 박리 부재의 동작의 일례를 설명하는 도면이다.

도 9는 가압부의 다른 형상의 설명도이다.

도 10은 가압부의 또 다른 형상의 설명도이다.

Claims (6)

1. 지지층(26)과 적어도 감광 재료층(28)이 적층된 감광성 웹(22a)을 상기 감광 재료층(28)측이 기판(24)을 향하도록 해서 상기 기판(24)에 접착한 후, 상기 지지층(26)을 상기 기판(24) 사이에 노정되는 상기 감광성 웹(22a)의 일부와 일체로 상기 기판(24)으로부터 박리하기 전에 상기 감광성 웹(22a)의 일부를 상기 기판으로부터 미리 박리시키는 감광성 웹의 프리 박리 장치로서:

   상기 기판(24) 사이에 노정되는 상기 감광성 웹(22a)의 일부를 가압해서 상기 감광성 웹(22a)의 일부를 상기 기판(24)으로부터 박리시키는 박리 부재(150)와,

   상기 박리 부재(150)를 기판 반송 방향으로 진퇴시킬 수 있는 이동 기구(152)와,

   상기 박리 부재(150)에 의한 상기 감광성 웹(22a)의 가압 위치를 검출하기 위한 검출기(154)를 구비하고;

   상기 박리 부재(150)는 상기 감광성 웹(22a)의 상기 기판 반송 방향으로 교차하는 폭방향으로 긴 판상으로 구성됨과 아울러, 상기 감광성 웹(22a)의 일부에 접하는 복수의 가압부를 제공하는 것을 특징으로 하는 감광성 웹의 프리 박리 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 박리 부재(150)는 상기 기판(24)의 상기 감광성 웹(22a)이 제공되는 한쪽의 면과는 반대의 다른쪽의 면으로부터 7㎜~15㎜의 범위 내에서 상기 감광성 웹(22a)측으로 진퇴하는 것을 특징으로 하는 감광성 웹의 프리 박리 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 박리 부재(150)는 상기 가압부로서 파형상 선단부(172a)를 제공하는 것을 특징으로 하는 감광성 웹의 프리 박리 장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 파형상 선단부(172a)는 상기 감광성 웹(22a)측으로 돌출되는 산부끼리의 거리가 20㎜~50㎜의 범위 내임과 아울러,

   상기 산부와 곡부의 거리가 3㎜~6㎜의 범위 내인 것을 특징으로 하는 감광성 웹의 프리 박리 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 박리 부재(150)는 상기 폭방향으로 분할됨과 아울러,

   상기 분할된 부분에는 상기 박리 부재(150)의 이동 범위 내에 상기 기판(24)이 존재하는지의 여부를 검출하는 기판 검출기(174)가 배치되는 것을 특징으로 하는 감광성 웹의 프리 박리 장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 기판 검출기(174)는 액츄에이터(176)를 통해 진퇴할 수 있음과 아울러,

   상기 기판(24)에 접촉함으로써 상기 박리 부재(150)가 상기 가압 위치로부터 어긋나 있는 것을 검출할 수 있는 접촉형 센서(178a)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광성 웹의 프리 박리 장치.

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