JP2008246678A - 感光性積層体製造装置 - Google Patents
感光性積層体製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008246678A JP2008246678A JP2007087147A JP2007087147A JP2008246678A JP 2008246678 A JP2008246678 A JP 2008246678A JP 2007087147 A JP2007087147 A JP 2007087147A JP 2007087147 A JP2007087147 A JP 2007087147A JP 2008246678 A JP2008246678 A JP 2008246678A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive
- manufacturing apparatus
- web
- substrate
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Abstract
【課題】当該製造装置の製造状態を監視し、不具合が発生した際、その原因を容易に特定することができるとともに、無駄な作業を回避して、所望の感光性積層体を効率的に製造する。
【解決手段】長尺状感光性ウエブのテンション、搬送速度、温度、ガラス基板の搬送速度、温度、貼り付け機構における圧着圧力、感光性積層体の画像等の製造状態情報を取得して所定の判定値と比較し、その判定結果をモニタ158に表示させるとともに、他の処理装置に送信することにより、不具合の有無を事前に把握し、必要に応じて調整して処理を遂行する。
【選択図】図5
【解決手段】長尺状感光性ウエブのテンション、搬送速度、温度、ガラス基板の搬送速度、温度、貼り付け機構における圧着圧力、感光性積層体の画像等の製造状態情報を取得して所定の判定値と比較し、その判定結果をモニタ158に表示させるとともに、他の処理装置に送信することにより、不具合の有無を事前に把握し、必要に応じて調整して処理を遂行する。
【選択図】図5
Description
本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置に関する。
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板は、感光性樹脂層(感光材料層)を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ(圧着ローラ)間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。
例えば、特許文献1に開示されている製造装置では、図7に示すように、ロール1から感光性シート体2を繰り出してハーフカッタ装置3に供給し、感光性シート体2を構成する支持体上に積層されている保護フイルム及び感光性樹脂層を所定の間隔で切断する。次いで、保護フイルム除去部4に前記感光性シート体2を供給し、基板5の貼り付け範囲に対応する保護フイルムを粘着テープ等を用いて剥離した後、熱圧着ローラ6a、6b間に供給する。一方、熱圧着ローラ6a、6b間には、加熱された基板5が搬入され、保護フイルムが剥離されることで露出した感光性樹脂層を介して感光性シート体2が基板5の下面部に加熱圧着される。感光性シート体2が加熱圧着された基板5は、熱圧着ローラ6a、6bから搬出された後、分離装置7によって基板5間の感光性シート体2が切断され、図示しない剥離装置により支持体が剥離されて感光性積層体が製造される。
ところで、このような製造装置を用いて、貼り付けむらや気泡の混入がなく、また、皺や段差のない高品質な感光性積層体を製造するためには、感光性シート体2及び基板5の温度や搬送速度、熱圧着ローラ6a、6bにより付与される圧着圧力等を監視して、これらを高精度に調整する必要がある。
この場合、現状の製造装置では、例えば、熱圧着ローラ6a、6b自体の温度を測定し、その温度が所定温度となるように制御を行っている。また、搬送速度については、熱圧着ローラ6a、6bの回転速度を搬送速度として検出している。
しかしながら、貼り付け時の温度は、供給される感光性シート体2及び基板5の温度に依存しており、例えば、感光性シート体2又は基板5の温度が熱圧着ローラ6a、6bよりも低いと、実際の貼り付け時の温度は、測定された熱圧着ローラ6a、6bの温度よりも低くなってしまう。また、熱圧着ローラ6a、6bと、感光性シート体2との間では、感光性シート体2の伸びや滑りの影響があるため、熱圧着ローラ6a、6bの回転速度から得た搬送速度と、実際の搬送速度との間にずれが生じてしまう。
一方、例えば、液晶パネル用基板等を製造する場合には、上記の製造装置で製造された感光性積層体に対して、露光処理、現像処理、ベーク処理等の多数の後処理が施される。この場合、これらの多数の処理を経た最終製品上で不具合の有無を判定しようとすると、不具合が発見されたときには、既に多数の処理が施された後であるため、不具合を含む各処理に要した時間が無駄になってしまう。また、不具合の原因と思われる個所を上流に遡って確認しなければならないため、解析作業に多大な時間を要することになる。
本発明は、前記の不具合に鑑みなされたものであり、当該製造装置の製造状態を監視し、不具合が発生した際、その原因を容易に特定することができるとともに、無駄な作業を回避して、所望の感光性積層体を効率的に製造することのできる感光性積層体製造装置を提供することを目的とする。
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離して前記感光材料層を露出させた後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置する一方、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置において、
当該製造装置によって製造される前記感光性積層体に自他識別情報を設定する設定手段と、
当該製造装置による前記感光性積層体の製造状態に係る製造状態情報を取得する取得手段と、
取得した前記製造状態情報を予め設定した判定値と比較して、前記製造状態の良否を判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果を前記自他識別情報に関連させて処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする。
当該製造装置によって製造される前記感光性積層体に自他識別情報を設定する設定手段と、
当該製造装置による前記感光性積層体の製造状態に係る製造状態情報を取得する取得手段と、
取得した前記製造状態情報を予め設定した判定値と比較して、前記製造状態の良否を判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果を前記自他識別情報に関連させて処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする。
本発明では、当該製造装置の製造状態を判定値と比較しながら監視し、不具合が発生した際、その判定結果に基づいて不具合の原因を容易に特定することができる。また、不具合を含む状態で製造された感光性積層体が他の処理装置に搬送されて処理が行われる事態を事前に回避することができるため、無駄な作業を無くし、所望の感光性積層体を効率的に製造することができる。さらに、適切な製造状態情報を取得して製造状態の良否を判定することにより、製造装置の状態を正確に把握することができる。
図1は、本実施形態に係る感光性積層体の製造装置であるラミネート装置20の概略構成図であり、このラミネート装置20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製造工程中、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ22の感光性樹脂層28(後述する)をガラス基板24に熱転写(ラミネート)する作業を行う。
図2は、ラミネート装置20に使用される長尺状感光性ウエブ22の断面図である。この長尺状感光性ウエブ22は、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、クッション層27と、中間層29と、感光性樹脂層(感光材料層)28と、保護フイルム30とを順次積層して構成される。
可撓性ベースフイルム26は、ポリエチレンテレフタレート(PET)で形成され、クッション層27は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層29は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層28は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム30は、ポリプロピレンで形成される。なお、クッション層27は、ガラス基板24の微小な凹凸に影響されることなく、気泡が混入しない状態で感光性樹脂層28をガラス基板24に貼り付けるためのものである。
図1に示すように、ラミネート装置20は、長尺状感光性ウエブ22をロール状に巻回した感光性ウエブロール23を収容し、感光性ウエブロール23から前記長尺状感光性ウエブ22を送り出し可能なウエブ送り出し機構32と、送り出された長尺状感光性ウエブ22の保護フイルム30及び感光性樹脂層28の幅方向に、2個所のハーフカット部位(加工部位)34a、34b(図2参照)を形成する加工機構36と、接着ラベル38(図3参照)を保護フイルム30に接着させるラベル接着機構40とを備える。
ラベル接着機構40の下流には、長尺状感光性ウエブ22をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構42と、長尺状感光性ウエブ22から保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構44と、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構45と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に一体的に貼り付ける貼り付け機構46とが配設される。
貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位34a、34bを含む長尺状感光性ウエブ22の画像を撮影する撮影部47が配設される。ラミネート装置20は、撮影部47によって撮影されたハーフカット部位34a、34bの画像に基づき、貼り付け機構46に対するハーフカット部位34a、34bの位置ずれ量を算出し、長尺状感光性ウエブ22の送り量の補正を行う。
ウエブ送り出し機構32の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ22の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ22の先端とを貼り付ける貼り付け台49が配設される。貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール23の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器51が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構32を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。
加工機構36は、ウエブ送り出し機構32に収容巻回されている感光性ウエブロール23のロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。加工機構36は、所定距離だけ離間した一対の丸刃52a、52bを備える。丸刃52a、52bは、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に走行して、保護フイルム30の残存部分Bを挟んだ所定の2個所の位置にハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。
図2に示すように、ハーフカット部位34a、34bは、少なくとも保護フイルム30及び感光性樹脂層28を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム26まで切り込むように丸刃52a、52bの切り込み深さが設定される。丸刃52a、52bは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動してハーフカット部位34a、34bを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ22上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34a、34bを形成する方式が採用される。このハーフカット部位34a、34bは、丸刃52a、52bに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。
ハーフカット部位34a、34bは、感光性樹脂層28をガラス基板24に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板24の両端部からそれぞれ10mmずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板24間の保護フイルム30の残存部分Bは、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
ラベル接着機構40は、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分Bを残すため、ハーフカット部位34b側の剥離部分Aとハーフカット部位34a側の剥離部分Aとを連結する接着ラベル38を供給する。
図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分Aに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分Aに接着される第2接着部38cとを有する。
図1に示すように、ラベル接着機構40は、最大7枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54gを備えるとともに、前記吸着パッド54a〜54gによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ22を下方から保持するための受け台56が昇降自在に配置される。
リザーバ機構42は、上流側の長尺状感光性ウエブ22のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ22の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ60を備える。
リザーバ機構42の下流に配置される剥離機構44は、長尺状感光性ウエブ22の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。サクションドラム62の近傍には、剥離ローラ63が配置されるとともに、この剥離ローラ63を介して長尺状感光性ウエブ22から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分Bを除いて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
剥離機構44の下流側には、長尺状感光性ウエブ22にテンションを付与可能なテンション制御機構66が配設される。テンション制御機構66は、シリンダ68の駆動作用下にテンションダンサー70が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構66は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
基板供給機構45は、ガラス基板24を特定するための自他識別情報である基板ID情報を、例えば、バーコード等の形態でガラス基板24に記録するプリンタ72(設定手段)と、ガラス基板24を挟持するように配設され、ガラス基板24を所定の温度、例えば、100℃〜150℃に加熱する基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を貼り付け機構46に供給する搬送機構76とを備える。
基板供給機構45と貼り付け機構46との間には、貼り付け機構46に供給されるガラス基板24の搬送速度を測定する基板搬送速度測定器77と、ガラス基板24の温度を測定する基板温度測定器78とが配設される。また、撮影部47の下流側のローラ73と貼り付け機構46との間には、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22の搬送速度を測定するウエブ搬送速度測定器79と、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22を所定の温度、例えば、70℃〜90℃に予熱するウエブ予熱部81と、長尺状感光性ウエブ22の温度を測定するウエブ温度測定器85とが配設される。さらに、ローラ73には、長尺状感光性ウエブ22に付与されるテンションを測定するテンション測定器71が連結される。
基板搬送速度測定器77及びウエブ搬送速度測定器79としては、例えば、非接触式の測定器であるドップラ速度測定器を用いることができる。また、基板温度測定器78及びウエブ温度測定器85は、図4に示すように、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22の搬送方向と直交する幅方向に長尺に構成され、搬送されるガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22の二次元温度分布を測定する、例えば、赤外線サーモカメラを用いることができる。
貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ(圧着ローラ)80a、80bを備える。ゴムローラ80a、80bには、バックアップローラ82a、82bが摺接する。バックアップローラ82bは、ローラクランプ部83を構成する加圧シリンダ84によりゴムローラ80b側に押圧される。
ゴムローラ80aの回転軸88には、ゴムローラ80aによるガラス基板24に対する長尺状感光性ウエブ22の圧着圧力を測定する圧力測定器89が配設される。この圧力測定器89としては、例えば、回転軸88の加圧時における歪みを検出して圧着圧力を測定する歪みゲージを用いることができる。
長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24は、貼り付け機構46から矢印Y方向に延在する搬送路を構成する複数の基板搬送ローラ90a、90bによって冷却機構100に搬送されて冷却される。冷却機構100の下流には、ガラス基板24に貼り付けられた長尺状感光性ウエブ22から可撓性ベースフイルム26を剥離するための剥離機構102と、可撓性ベースフイルム26が剥離されることで分離された感光性積層体24aに貼り付けられた感光性樹脂層28の状態を検査するため、感光性積層体24aの画像を撮影する撮影部104(撮影手段)とが配設される。
剥離機構102は、ガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22を上方向に押し上げることで、可撓性ベースフイルム26の剥離を容易とするためのプッシャ106と、可撓性ベースフイルム26を剥離しながら巻き取る巻き取りローラ108とを備える。
撮影部104は、例えば、感光性積層体24aにガラス基板24側から赤外線等の照明光を照射する照明光源110と、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22を透過した照明光を受光して感光性積層体24aの画像を撮影するCCDカメラ112とを備える。
なお、以上のように構成されるラミネート装置20では、ウエブ送り出し機構32、加工機構36、ラベル接着機構40、リザーバ機構42、剥離機構44、テンション制御機構66並びに撮影部47が、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構32から前記撮影部47までを前記貼り付け機構46の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ22の上下が逆になって感光性樹脂層28をガラス基板24の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ22の搬送路を直線状に構成してもよい。
ラミネート装置20内は、仕切り壁114を介して第1クリーンルーム116aと第2クリーンルーム116bとに仕切られる。第1クリーンルーム116aには、ウエブ送り出し機構32からテンション制御機構66までが収容され、第2クリーンルーム116bには、撮影部47以降の機構が収容される。第1クリーンルーム116aと第2クリーンルーム116bとは、貫通部118を介して連通する。
図5は、ラミネート装置20を構成するプリンタ72を制御するとともに、取得手段により取得した製造状態情報に基づく製造状態の判定処理を行うラミネート制御装置128の詳細な構成ブロックを示す。なお、ラミネート制御装置128には、感光性積層体24aの製造状態を管理する上位の生産管理コンピュータ127が接続される。
ラミネート制御装置128は、基板供給機構45に配設されるプリンタ72を制御するプリンタ制御部136と、テンション測定器71によって測定された長尺状感光性ウエブ22のテンションを所定の判定値と比較して判定するテンション判定部137と、ウエブ搬送速度測定器79によって測定されたウエブ搬送速度を所定の判定値と比較して判定するウエブ搬送速度判定部138と、基板搬送速度測定器77によって測定された基板搬送速度を所定の判定値と比較して判定する基板搬送速度判定部140と、ウエブ温度測定器85によって測定された長尺状感光性ウエブ22の温度を所定の判定値と比較して判定するウエブ温度判定部142と、基板温度測定器78によって測定されたガラス基板24の温度を所定の判定値と比較して判定する基板温度判定部144と、圧力測定器89によって測定されたゴムローラ80a、80bによるラミネート圧力を所定の判定値と比較して判定するラミネート圧力判定部146と、撮影部104のCCDカメラ112によって撮影された感光性積層体24aの画像を所定の判定値と比較して検査判定する画像検査判定部148とを備える。
プリンタ制御部136には、ラミネート装置20に供給される個々のガラス基板24を特定するための自他識別情報である基板ID情報が基板ID情報記憶部150から供給される。また、判定手段であるテンション判定部137、ウエブ搬送速度判定部138、基板搬送速度判定部140、ウエブ温度判定部142、基板温度判定部144、ラミネート圧力判定部146、画像検査判定部148には、所望の感光性積層体24aを製造するために必要な長尺状感光性ウエブ22のテンション、速度、温度、圧力、画像パラメータ等の許容範囲に係る判定値が判定値記憶部152から供給される。基板ID情報及び判定値は、生産管理コンピュータ127から送信されて基板ID情報記憶部150及び判定値記憶部152に記憶される。
長尺状感光性ウエブ22のテンションの判定値は、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22が所定の伸び率の範囲内にあり、且つ、長尺状感光性ウエブ22にたるみ等が発生しない値として設定されるものであり、例えば、長尺状感光性ウエブ22の単位幅当たり50N/m〜150N/mの範囲として設定される。ウエブ搬送速度及び基板搬送速度の判定値は、感光性積層体24aの製造のタクトタイム、製造に使用するガラス基板24のサイズに基づいて設定されるものであり、例えば、1.0m/分〜10.0m/分の範囲として設定される。貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22の温度の判定値は、ゴムローラ80a、80bの加熱温度、例えば、80℃〜140℃よりも低い温度範囲、例えば、70℃〜90℃の範囲として設定される。貼り付け機構46に供給されるガラス基板24の温度の判定値は、ゴムローラ80a、80bの加熱温度に近い温度範囲、例えば、100℃〜150℃の範囲として設定される。ゴムローラ80a、80bによるラミネート圧力の判定値は、例えば、線圧として50N/cm〜400N/cmの範囲として設定される。なお、これらの判定値は、供給される長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24の材質によって適宜選択できるようにすることが好ましい。
画像検査判定部148に供給される判定値としては、例えば、図6に示すように、CCDカメラ112によって撮影された感光性積層体24aの撮影域154の画像において、ガラス基板24の幅方向両端部と感光性樹脂層28の幅方向両端部との距離L1a、L1b、ガラス基板24の後端部と感光性樹脂層28の後端部との距離L2に対する許容範囲を設定することができる。同様に、ガラス基板24の前端部と感光性樹脂層28の前端部との距離に対する許容範囲を設定することができる。また、画像検査判定部148に供給される他の判定に係る項目としては、例えば、撮影された画像に含まれる気泡、異物、感光性樹脂層28の段差、長尺状感光性ウエブ22のクッション層27の剥がれ状態、可撓性ベースフイルム26の剥離状態等を含めることができる。
さらに、ラミネート制御装置128は、テンション判定部137、ウエブ搬送速度判定部138、基板搬送速度判定部140、ウエブ温度判定部142、基板温度判定部144、ラミネート圧力判定部146、画像検査判定部148による判定結果を、基板ID情報記憶部150から読み出した基板ID情報と関連させて処理する判定結果処理部156(処理手段)を備える。判定結果処理部156は、基板ID情報及びその判定結果をモニタ158(表示手段)に表示させるとともに、判定結果送信部160(送信手段)を介して他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信する。
次に、以上のように構成されるラミネート装置20の動作について説明する。
先ず、ウエブ送り出し機構32に取り付けられている感光性ウエブロール23から長尺状感光性ウエブ22が送り出される。長尺状感光性ウエブ22は、加工機構36に搬送される。
加工機構36では、丸刃52a、52bが長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ22を保護フイルム30から感光性樹脂層28〜可撓性ベースフイルム26まで切り込み、保護フイルム30の残存部分Bの幅だけ離間するハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。これにより、長尺状感光性ウエブ22には、残存部分Bを挟んで前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとが設けられる。
なお、残存部分Bの幅は、長尺状感光性ウエブ22が延びないことを前提として、貼り付け機構46のゴムローラ80a、80b間に供給されるガラス基板24間の距離を基準として設定される。また、一組のハーフカット部位34a、34bは、ガラス基板24に貼り付けられる感光性樹脂層28の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ22に形成される。
次いで、長尺状感光性ウエブ22は、ラベル接着機構40に搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受け台56上に配置される。ラベル接着機構40では、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド54b〜54gにより吸着保持され、各接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分Bを跨いで、前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとに一体的に接着される(図3参照)。
例えば、7枚の接着ラベル38が接着された長尺状感光性ウエブ22は、図1に示すように、リザーバ機構42を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構44に連続的に搬送される。剥離機構44では、長尺状感光性ウエブ22の可撓性ベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、保護フイルム30が残存部分Bを残して前記長尺状感光性ウエブ22から剥離される。この保護フイルム30は、剥離ローラ63を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる(図1参照)。
剥離機構44の作用下に、保護フイルム30が残存部分Bを残して可撓性ベースフイルム26から剥離された後、長尺状感光性ウエブ22は、テンション制御機構66によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部47において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位34a、34bを含む長尺状感光性ウエブ22の画像が撮影される。撮影部47を通過した長尺状感光性ウエブ22は、ウエブ予熱部81によって所定の予熱温度まで加熱された後、貼り付け機構46に供給される。
一方、ガラス基板24は、プリンタ72によって所定の部位に基板ID情報が記録された後、基板供給機構45に供給される。すなわち、ラミネート制御装置128におけるプリンタ制御部136は、生産管理コンピュータ127から供給されて基板ID情報記憶部150に記憶されている基板ID情報に基づき、プリンタ72を制御してガラス基板24に基板ID情報を記録するとともに、この基板ID情報を判定結果処理部156に供給する。次いで、基板供給機構45に供給されたガラス基板24は、基板加熱部74によって所定温度に加熱された後、貼り付け機構46に供給される。
ここで、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22のテンションは、テンション測定器71によって測定され、テンション判定部137に供給される。テンション判定部137は、判定値記憶部152に記憶されているテンションの判定値と、測定された長尺状感光性ウエブ22のテンションとを比較し、前記テンションが規定の範囲内にあるか否かの判定を行う。また、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24の搬送速度は、ウエブ搬送速度測定器79及び基板搬送速度測定器77によって測定され、ウエブ搬送速度判定部138及び基板搬送速度判定部140に供給される。ウエブ搬送速度判定部138は、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定された長尺状感光性ウエブ22の搬送速度とを比較し、前記搬送速度が規定速度の範囲内にあるか否かの判定を行う。同様にして、基板搬送速度判定部140は、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定されたガラス基板24の搬送速度とを比較し、前記搬送速度が規定速度の範囲内にあるか否かの判定を行う。これらの判定結果は、判定結果処理部156によって処理され、モニタ158に表示されるとともに、判定結果送信部160により他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信される。
そこで、例えば、長尺状感光性ウエブ22のテンションが許容範囲内に設定されていないとする判定結果が得られた場合、貼り付け機構46における貼り付け処理を直ちに停止させ、あるいは、上流のテンション制御機構66に対して測定されたテンションの値をフィードバックし、テンションの調整を行うことができる。
また、搬送速度が許容範囲内に設定されていないとする判定結果が得られた場合、貼り付け機構46における貼り付け処理を直ちに停止させ、あるいは、長尺状感光性ウエブ22又はガラス基板24の搬送速度が所定の搬送速度となるような調整処理を行うことにより、不適切な感光性積層体24aが製造されてしまう事態を事前に回避することができる。
また、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24の温度は、貼り付け機構46の直前において、ウエブ温度測定器85及び基板温度測定器78によって測定され、ウエブ温度判定部142及び基板温度判定部144に供給される。ウエブ温度判定部142は、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定された長尺状感光性ウエブ22の温度とを比較し、前記温度が規定温度の範囲内にあるか否かの判定を行う。同様にして、基板温度判定部144は、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定されたガラス基板24の温度とを比較し、前記温度が規定温度の範囲内にあるか否かの判定を行う。これらの判定結果は、判定結果処理部156によって処理され、モニタ158に表示されるとともに、判定結果送信部160により他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信される。
この場合、測定された温度が許容範囲内に設定されていないときには、テンションや搬送速度の場合と同様の処理を行うことで、不適切な感光性積層体24aが製造されてしまう事態を事前に回避することができる。なお、ウエブ温度測定器85及び基板温度測定器78は、図4に示すように、搬送される長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24の温度を二次元的に測定し、測定された温度の分布に基づいて良否判定を行うことにより、温度むらの影響を考慮したより適切な良否判定を行うことができる。
一方、長尺状感光性ウエブ22のテンション、搬送速度及び温度が所定の許容範囲内に設定されている場合、貼り付け機構46において、ガラス基板24に長尺状感光性ウエブ22を転写する処理(ラミネート)が行われる。この場合、撮影部47によって撮影されたハーフカット部位34a、34bの画像に基づき、貼り付け機構46におけるハーフカット部位34a、34bの位置が調整される。
貼り付け機構46では、当初、ゴムローラ80a、80bが離間した状態に設定されており、ゴムローラ80a、80b間の所定位置に長尺状感光性ウエブ22のハーフカット部位34aが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ22の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構45を構成する基板加熱部74によって所定温度に加熱されたガラス基板24の先端部が搬送機構76によってゴムローラ80a、80b間に搬入されると、加圧シリンダ84の作用下にバックアップローラ82b及びゴムローラ80bが上昇し、ゴムローラ80a、80b間にガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ80a、80bは、所定のラミネート温度に加熱されている。
次いで、ゴムローラ80a、80bが回転し、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22が矢印Y方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層28が加熱溶融されてガラス基板24に転写(ラミネート)される。
なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/分〜10.0m/分、ゴムローラ80a、80bの温度が80℃〜140℃、前記ゴムローラ80a、80bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムローラ80a、80bのラミネート圧力(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。
この場合、ゴムローラ80aの回転軸88に配設された圧力測定器89によりラミネート圧力が測定され、ラミネート圧力判定部146において、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定されたラミネート圧力とが比較され、ラミネート圧力が規定圧力の範囲内にあるかの判定が行われる。この判定結果は、判定結果処理部156によって処理され、モニタ158に表示されるとともに、判定結果送信部160により他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信される。そして、ラミネート圧力が不適正である場合には、感光性積層体24aの製造処理を中断してラミネート圧力の調整を行うことにより、不良品の発生を最小限に抑えることができる。
適切な状態でラミネート処理が行われた長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24は、基板搬送ローラ90a、90bによって冷却機構100に搬送されて冷却された後、剥離機構102に供給される。剥離機構102では、ガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22がプッシャ106によって持ち上げられることで可撓性ベースフイルム26の一部がクッション層27から剥離された後、可撓性ベースフイルム26が巻き取りローラ108によって巻き取られる。このとき、ガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22も巻き取りローラ108に巻き取られることで、ガラス基板24が分離され、感光性積層体24aが製造される。
分離された感光性積層体24aは、撮影部104に搬送され、CCDカメラ112を用いて感光性積層体24aの貼り付け状態の検査が行われる。
すなわち、撮影部104を構成する照明光源110から出力された照明光は、感光性積層体24aを透過してCCDカメラ112に入射し、感光性積層体24aの画像が撮影される。画像検査判定部148は、撮影された画像と、判定値記憶部152から供給される判定値とを用いて、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け状態の検査判定処理を行う。なお、感光性樹脂層28には、クッション層27が装着されており、このクッション層27は、現像処理の際に除去される。
例えば、図6に示すように、撮影された画像を処理することで、ガラス基板24の端部と感光性樹脂層28の端部との距離L1a、L1b、L2が許容範囲内にあるか否かを判定し、また、撮影された画像に気泡、異物、段差があるか否かを判定し、感光性樹脂層28上のクッション層27の一部が剥がれているか否かを判定し、可撓性ベースフイルム26が確実に剥離されているか否かを判定する。これらの判定結果は、判定結果処理部156によって処理され、モニタ158に表示されるとともに、判定結果送信部160により他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信される。
この場合、例えば、撮影部104によって撮影された画像に基づく判定結果として、感光性積層体24aに不具合があるものと判定された場合、他側の処理装置への感光性積層体24aの搬送処理を停止させることにより、無駄な処理を遂行してしまう事態を回避することができる。
なお、上述した実施形態では、1本の感光性ウエブロール23から供給される長尺状感光性ウエブ22をガラス基板24に貼り付けることにより、いわゆる、一丁張りの感光性積層体24aを製造するように構成しているが、例えば、2本の感光性ウエブロールや、3本以上の感光性ウエブロールから長尺状感光性ウエブ22を供給してガラス基板24に貼り付け、いわゆる、2丁張り、3丁張り等の感光性積層体24aを製造するように構成してもよい。
20…ラミネート装置
22…長尺状感光性ウエブ
24…ガラス基板
45…基板供給機構
46…貼り付け機構
47、104…撮影部
71…テンション測定器
72…プリンタ
77…基板搬送速度測定器
78…基板温度測定器
79…ウエブ搬送速度測定器
85…ウエブ温度測定器
89…圧力測定器
112…CCDカメラ
128…ラミネート制御装置
136…プリンタ制御部
137…テンション判定部
138…ウエブ搬送速度判定部
140…基板搬送速度判定部
142…ウエブ温度判定部
144…基板温度判定部
146…ラミネート圧力判定部
148…画像検査判定部
150…基板ID情報記憶部
152…判定値記憶部
156…判定結果処理部
158…モニタ
160…判定結果送信部
22…長尺状感光性ウエブ
24…ガラス基板
45…基板供給機構
46…貼り付け機構
47、104…撮影部
71…テンション測定器
72…プリンタ
77…基板搬送速度測定器
78…基板温度測定器
79…ウエブ搬送速度測定器
85…ウエブ温度測定器
89…圧力測定器
112…CCDカメラ
128…ラミネート制御装置
136…プリンタ制御部
137…テンション判定部
138…ウエブ搬送速度判定部
140…基板搬送速度判定部
142…ウエブ温度判定部
144…基板温度判定部
146…ラミネート圧力判定部
148…画像検査判定部
150…基板ID情報記憶部
152…判定値記憶部
156…判定結果処理部
158…モニタ
160…判定結果送信部
Claims (11)
- 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離して前記感光材料層を露出させた後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置する一方、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置において、
当該製造装置によって製造される前記感光性積層体に自他識別情報を設定する設定手段と、
当該製造装置による前記感光性積層体の製造状態に係る製造状態情報を取得する取得手段と、
取得した前記製造状態情報を予め設定した判定値と比較して、前記製造状態の良否を判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果を前記自他識別情報に関連させて処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記設定手段は、前記自他識別情報を前記基板に記録設定することを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラ間に供給される前記長尺状感光性ウエブの搬送速度を前記製造状態情報として測定するウエブ搬送速度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラ間に供給される前記基板の搬送速度を前記製造状態情報として測定する基板搬送速度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラの直前における前記長尺状感光性ウエブの温度を前記製造状態情報として測定するウエブ温度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラの直前における前記基板の温度を前記製造状態情報として測定する基板温度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラによる前記基板に対する前記長尺状感光性ウエブの圧着圧力を前記製造状態情報として測定する圧力測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記基板に供給される前記長尺状感光性ウエブのテンションを前記製造状態情報として取得するテンション測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記基板に前記感光材料層が貼り付けられた前記感光性積層体の画像を前記製造状態情報として撮影して取得する撮影手段を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記処理手段は、前記判定結果を前記自他識別情報とともに表示する表示手段を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記処理手段は、前記判定結果を前記自他識別情報とともに他の処理装置に送信する送信手段を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007087147A JP2008246678A (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 感光性積層体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007087147A JP2008246678A (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 感光性積層体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008246678A true JP2008246678A (ja) | 2008-10-16 |
Family
ID=39972226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007087147A Pending JP2008246678A (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 感光性積層体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008246678A (ja) |
-
2007
- 2007-03-29 JP JP2007087147A patent/JP2008246678A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4769165B2 (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
TWI352662B (en) | Method of and apparatus for laminated substrate as | |
JP2008238763A (ja) | 長尺状ウエブの貼り付け方法 | |
JP4674142B2 (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
KR20080059045A (ko) | 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법 | |
JP2008213150A (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP2008216295A (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP4774243B2 (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
KR20080050440A (ko) | 웹 부착 방법 | |
JP2008213149A (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP2008110488A (ja) | 感光性ウエブの剥離装置及び剥離方法 | |
KR100832837B1 (ko) | 감광성 적층체의 제조 방법 및 제조 장치 | |
JP2009083943A (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP4881585B2 (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP4898388B2 (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP2008246678A (ja) | 感光性積層体製造装置 | |
TWI338619B (en) | Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body | |
JP2011140232A (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP2006264017A (ja) | 積層体のラミネート方法及びラミネート装置 | |
JP2011194605A (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP2008132776A (ja) | 感光性積層体の製造装置 | |
JP2009229700A (ja) | 感光性積層体の貼り付け位置検査装置 | |
JP2008149642A (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP2009226883A (ja) | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 | |
JP2009172965A (ja) | 感光性ウエブの剥離装置及び剥離方法 |