KR20070024377A - 결함 검출 방법 및 결함 검출 장치 - Google Patents
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- 동일 반복 패턴을 갖는 피(被)검사물을 촬상(撮像)하여 화상을 취득하는 화상 취득 공정과,취득한 화상에 대하여 결함 강조 처리를 행하는 결함 강조 처리 공정을 갖는 결함 검출 방법으로서,상기 결함 강조 처리 공정은,촬상 화상에서 검사 대상점을 차례로 선정하는 검사 대상점 선정 공정과,선정된 검사 대상점의 휘도값으로부터 그 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값을 감하여 각각의 차를 구하고, 각 휘도차 데이터 중 값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 결함 강조값으로 하는 결함 강조값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 방법.
- 동일 반복 패턴을 갖는 피검사물을 촬상하여 화상을 취득하는 화상 취득 공정과,취득한 화상에 대하여 결함 강조 처리를 행하는 결함 강조 처리 공정을 갖는 결함 검출 방법으로서,상기 결함 강조 처리 공정은,촬상 화상에서 검사 대상점을 차례로 선정하는 검사 대상점 선정 공정과,선정된 검사 대상점의 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값으로부터 상 기 선정된 검사 대상점의 휘도값을 감하여 각각의 차를 구하고, 각 휘도차 데이터 중 값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 결함 강조값으로 하는 결함 강조값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 방법.
- 동일 반복 패턴을 갖는 피검사물을 촬상하여 화상을 취득하는 화상 취득 공정과,취득한 화상에 대하여 결함 강조 처리를 행하는 결함 강조 처리 공정을 갖는 결함 검출 방법으로서,상기 결함 강조 처리 공정은,촬상 화상에서 검사 대상점을 차례로 선정하는 검사 대상점 선정 공정과,선정된 검사 대상점의 휘도값으로부터 그 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값을 감하여 각각의 차를 구하고, 각 휘도차 데이터 중 값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 명결함용(明缺陷用) 결함 강조값으로 하는 동시에, 선정된 검사 대상점의 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값으로부터 상기 선정된 검사 대상점의 휘도값을 감하여 각각의 차를 구하고, 각 휘도차 데이터 중 값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 암결함용(暗缺陷用) 결함 강조값으로 하는 결함 강조값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 방법.
- 동일 반복 패턴을 갖는 피검사물을 촬상하여 화상을 취득하는 화상 취득 공 정과,취득한 화상에 대하여 결함 강조 처리를 행하는 결함 강조 처리 공정을 갖는 결함 검출 방법으로서,상기 결함 강조 처리 공정은,촬상 화상에서 검사 대상점을 차례로 선정하는 검사 대상점 선정 공정과,선정된 검사 대상점의 휘도값과, 그 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값의 차를 각각 구하고, 각 휘도차 데이터 중 그 절대값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 결함 강조값으로 하는 결함 강조값 산출 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 방법.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 결함 강조값 산출 공정에서 얻어진 결함 강조 결과에 대하여 미디언 필터(Median-filter)를 적용하여 노이즈 성분의 제거 처리를 행하는 노이즈 제거 공정과,노이즈 제거 공정에서 노이즈 성분이 제거된 결함 강조 결과의 각 결함 강조값을 소정의 임계값과 비교하여 결함 부분을 추출하는 결함 추출 공정과,결함 추출 공정에서 추출된 결함 부분의 면적 및 위치를 포함하는 결함 정보를 취득하여 결함 내용을 판별하는 결함 판별 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 방법.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 결함 강조 처리 공정은 검사 대상점으로부터 각 비교 대상점까지의 거리를 상이하게 하여 결함 강조 처리를 행하고, 얻어진 결함 강조값이 최대의 것을 그 검사 대상점의 결함 강조값으로 하는 합성 처리를 행하여 1개의 결함 강조 결과를 출력하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 방법.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 비교 대상점은 검사 대상점을 사이에 두고 좌우, 상하, 경사 방향으로 각각 배치되어 계 8개 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 결함 검출 방법.
- 동일 반복 패턴을 갖는 피검사물을 촬상하여 화상을 취득하는 화상 취득 수단과,취득한 화상에 대하여 결함 강조 처리를 행하는 결함 강조 처리 수단을 갖는 결함 검출 장치로서,상기 결함 강조 처리 수단은,촬상 화상에서 검사 대상점을 차례로 선정하는 검사 대상점 선정부와,선정된 검사 대상점의 휘도값으로부터 그 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값을 감하여 각각의 차를 구하고, 각 휘도차 데이터 중 값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 결함 강조값으로 하는 결함 강조값 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치.
- 동일 반복 패턴을 갖는 피검사물을 촬상하여 화상을 취득하는 화상 취득 수단과,취득한 화상에 대하여 결함 강조 처리를 행하는 결함 강조 처리 수단을 갖는 결함 검출 장치로서,상기 결함 강조 처리 수단은,촬상 화상에서 검사 대상점을 차례로 선정하는 검사 대상점 선정부와,선정된 검사 대상점의 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값으로부터 상기 선정된 검사 대상점의 휘도값을 감하여 각각의 차를 구하고, 각 휘도차 데이터 중 값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 결함 강조값으로 하는 결함 강조값 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치.
- 동일 반복 패턴을 갖는 피검사물을 촬상하여 화상을 취득하는 화상 취득 수단과,취득한 화상에 대하여 결함 강조 처리를 행하는 결함 강조 처리 수단을 갖는 결함 검출 장치로서,상기 결함 강조 처리 수단은,촬상 화상에서 검사 대상점을 차례로 선정하는 검사 대상점 선정부와,선정된 검사 대상점의 휘도값으로부터 그 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값을 감하여 각각의 차를 구하고, 각 휘도차 데이터 중 값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 명결함용 결함 강조값으로 하는 동시에, 선정된 검사 대상점의 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값으로부터 상기 선정된 검사 대상점의 휘도값을 감하여 각각의 차를 구하고, 각 휘도차 데이터 중 값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 암결함용 결함 강조값으로 하는 결함 강조값 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치.
- 동일 반복 패턴을 갖는 피검사물을 촬상하여 화상을 취득하는 화상 취득 수단과,취득한 화상에 대하여 결함 강조 처리를 행하는 결함 강조 처리 수단을 갖는 결함 검출 장치로서,상기 결함 강조 처리 수단은,촬상 화상에서 검사 대상점을 차례로 선정하는 검사 대상점 선정부와,선정된 검사 대상점의 휘도값과, 그 주위에 복수 배치된 비교 대상점의 휘도값의 차를 각각 구하고, 각 휘도차 데이터 중 그 절대값이 최소로 되는 것을 선택하여 상기 검사 대상점의 결함 강조값으로 하는 결함 강조값 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치.
- 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 결함 강조값 산출부에서 얻어진 결함 강조 결과에 대하여 미디언 필터를 적용하여 노이즈 성분의 제거 처리를 행하는 노이즈 제거 수단과,노이즈 제거 수단에 의해 노이즈 성분이 제거된 결함 강조 결과의 각 결함 강조값을 소정의 임계값과 비교하여 결함 부분을 추출하는 결함 추출 수단과,결함 추출 수단에 의해 추출된 결함 부분의 면적 및 위치를 포함하는 결함 정보를 취득하여 결함 내용을 판별하는 결함 판별 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치.
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