JP3973024B2 - 撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法、欠陥検出システム - Google Patents
撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法、欠陥検出システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP3973024B2 JP3973024B2 JP2002186739A JP2002186739A JP3973024B2 JP 3973024 B2 JP3973024 B2 JP 3973024B2 JP 2002186739 A JP2002186739 A JP 2002186739A JP 2002186739 A JP2002186739 A JP 2002186739A JP 3973024 B2 JP3973024 B2 JP 3973024B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- points
- comparison
- defect detection
- adjacent
- target point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式(又は8点近傍隣接比較方式)による斬新な欠陥検出方法、欠陥検出システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば撮像検査装置を使用して液晶板等の液晶パターン(例えばTFT表示部)のように繰り返し同一のパターンが存在する被検査体の欠陥検出を行う場合、撮像装置にて当該パターン群を撮像し、その画像データから欠陥検出を行うようにしているが、このような欠陥検出方法は大きく分けるとパターンの絶対的な位置情報を基に欠陥を検出する方法(Pattern Matching等)と、パターンの位置とは独立に欠陥を検出する方法(隣接比較、DRC(Design Rule Check)等)に分けられる。
LCDやPDP検査に適用する場合には、後者の方法が位置合わせの誤差がないため信頼性が高く一般的に採用されている方法である。
【0003】
従来の撮像検査装置における近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法について以下に説明する。
従来における欠陥検出方法は、撮像検査装置の撮像系にてパターン(例えばTFT表示部パターン)を撮像し、図13に示すような多数のパターン像を含む画像データ50を収集して、検査対象点Aを挟んで隣接する4点(1),(2),(3),(4)のうち、左右又は上下の隣接点(2),(3)又は隣接点(1),(4)の平均値(輝度データ平均値)のどちらか一方を選定し検査対象点Aとの比較点として検査対象点Aの欠陥検出を行っていた。
又は、左右、上下の4個の隣接点(2),(3)、隣接点(1),(4)を使用しても、その4点の平均値と検査対象点Aとの比較を行うだけであった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の欠陥検出方法の場合には、基板の隅部側に存在するパターンの欠陥検出において、左右方向(又は上下方向)の隣接2点の比較を行うと、一方の隣接点は基板上となるため、左右(又は上下)2点の輝度データが大きく異なることになり、このため、擬似欠陥が多発するという不都合があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、欠陥検出過程を改良し、基板等の隅部領域等においても擬似欠陥が発生することがなく、高精度で欠陥検出を行うことができる撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法、欠陥検出システムを提供することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、被検査体を撮像して得られる同一繰り返しパターンの検査部位の画像データを基に、8近傍点隣接比較方式により個々の検査部位の欠陥検出を行う撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法において、検査対象点を挟んで隣接する8点のうち、左右、上下又は斜め方向に隣接する3種の2点同士を優先順位を付けて順に比較し比較対象の適否判定を行う予備判定過程と、予備判定過程の判定結果に応じて検査対象点との比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を行う選定過程と、選定過程にて選定した最適な比較方向の2点の平均値と検査対象点とを比較し、当該検査対象点の欠陥の有無の検出を行う過程と、を含むことを特徴とするものである。
【0006】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法において、前記予備判定過程は、検査対象点を挟んで隣接する左右、上下又は斜め方向の各2点を任意の順序で優先させて比較対象の適否判定を行うことを特徴とするものである。
【0007】
請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法において、前記予備判定過程は、コンピュータ制御におけるパイプライン処理により左右、上下又は斜め方向に隣接する3種の2点同士を優先順位を付けて順に比較することを特徴とするものである。
本発明の欠陥検出方法によれば、欠陥検出過程を改良し、検査対象点を挟んで隣接する8点のうち、左右、上下又は斜め方向に隣接する3種の2点同士を優先順位を付けて順に比較し比較対象の適否判定を行う予備判定過程を設け、予備判定過程の判定結果に応じて検査対象点との比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を行い、選定した最適な比較方向の2点の平均値と検査対象点とを比較し、当該検査対象点の欠陥の有無の検出を行うものであるから、特に基板等の隅部領域等においても擬似欠陥が発生することがなく、高精度で検査対象点の欠陥検出を行うことができる。
【0008】
請求項4記載の発明は、被検査体を撮像して得られる同一繰り返しパターンの検査部位の画像データを基に、8近傍点隣接比較方式により個々の検査部位の欠陥検出を行う撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出システムにおいて、被検査体を撮像し、撮像素子に結像する光源、レンズを含む撮像系と、撮像素子から出力される光電変換された画像データを画像処理し欠陥検出用の画像データを生成する画像処理部と、全体の制御を行う制御部と、制御部の制御の基に前記画像データにおける検査対象点を挟んで左右、上下又は斜め方向に隣接する8点のうち、いずれかの方向の隣接2点の輝度データの各々の優先順位を付けた比較演算、平均値演算等の各種の演算処理を行う演算処理部と、演算処理部の演算結果から検査対象点との比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を行う選定部と、選定した最適な比較方向の2点の平均値と検査対象点の輝度データとを比較し、当該検査対象点の欠陥の有無の検出を行う欠陥検出部とを有することを特徴とするものである。
本発明の欠陥検出システムによれば、前記撮像系と、画像処理部と、制御部と、画像処理部と、演算処理部と、選定部と、欠陥検出部とを有する構成で、上述した欠陥検出方法を実現し、特に基板等の隅部領域等においても擬似欠陥が発生することがなく、高精度で検査対象点の欠陥検出を行うことができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態について詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1の撮像検査装置の全体構成を示す概略ブロック図であり、この撮像検査装置は、例えば多数の同一パターン、すなわちTFT表示部、配線部のパターンが表面に上下左右に列設された液晶板20を撮像し、撮像素子(CCD素子)4に結像する光源2、レンズ3を含む撮像系1と、撮像素子4から出力される光電変換された画像データを画像処理し欠陥検出用の画像データを生成する画像処理部5と、全体の制御を行う制御部(CPU)6と、制御部6の制御の基に前記画像データにおける検査対象点Aを挟んで左右、上下又は斜め方向に隣接する8点のうち、いずれかの方向の隣接2点の輝度データの各々の任意の優先順位を付けた比較演算、平均値演算等の各種の演算処理を行う演算処理部7と、演算処理部7の演算結果から検査対象点Aとの比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を行う選定部8と、選定した最適な比較方向の2点の平均値と検査対象点Aの輝度データとを比較し、当該検査対象点Aの欠陥の有無の検出を行う欠陥検出部9と、欠陥検出用の画像の表示を行う表示部10とを有している。
【0010】
次に、上述した構成の撮像検査装置を使用した8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法を以下に詳述する。
本実施の形態1の8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法は、撮像系1により液晶板20を撮像し、画像処理部5により欠陥検出用の画像データを生成して図2に原理的に示すような8近傍点隣接比較による検査対象点Aの欠陥検出を行う。
すなわち、まず、演算処理部7は、制御部6の制御の基に、検査対象点Aを挟んで隣接する8点のうち、左右、上下又は斜め方向に隣接する3種の2点同士を優先順位(例えば左右、上下、斜めの順)を付けて順に比較演算し、比較対象の適否判定を行う予備判定を実行する。
【0011】
具体的には、検査対象点Aの左右の2点(2),(6)の比較演算を行い、これら2点(2),(6)の輝度データが等しい場合には両側パターン同士は同様の形状が繰り返すパターンであると又は横方向の直線上にあると判定され、次に欠陥検出部9は2点(2),(6)の輝度データの平均値に明欠陥検出用の閾値ThB(100%以上)又は暗欠陥検出用の閾値ThD(100%以下)を乗じて、検査対象点Aの輝度データとの比較演算を行い、当該検査対象点Aの欠陥の有無の検出を行う。
すなわち、欠陥検出部9は検査対象点Aの輝度データが、2点(2),(6)の輝度データの平均値に閾値ThBを乗じた値より大きい場合には、検出結果は明欠陥となる。また、検査対象点Aの輝度データが、2点(2),(6)の輝度データの平均値に閾値ThDを乗じた値より小さい場合には、検出結果は暗欠陥となる。
【0012】
次に、検査対象点Aの左右の2点(2),(6)の比較演算を行い、これら2点(2),(6)の輝度データが等しくないと判定した場合には、選定部8は検査対象点Aとの比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を縦方向に切り替える。これにより、演算処理部7は、自動的に上下の2点(4),(8)の比較演算を行い、これら2点(4),(8)の輝度データが等しい場合には、次に欠陥検出部9は2点(4),(8)の輝度データの平均値に明欠陥検出用の閾値ThB(100%以上)又は暗欠陥検出用の閾値ThD(100%以下)を乗じて、検査対象点Aの輝度データとの比較演算を行い、当該検査対象点Aの欠陥の有無の検出を行う。
すなわち、欠陥検出部9は検査対象点Aの輝度データが、2点(4),(8)の輝度データの平均値に閾値ThBを乗じた値より大きい場合には、明欠陥となる。また、検査対象点Aの輝度データが、2点(4),(8)の輝度データの平均値に閾値ThDを乗じた値より小さい場合には、暗欠陥となる。
【0013】
更に、検査対象点Aの上下の2点(4),(8)の比較演算を行い、これら2点(4),(8)の輝度データが等しくないと判定された場合には、選定部8は検査対象点Aとの比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を斜め方向に切り替える。
これにより、演算処理部7が自動的に検査対象点Aの斜めの2点(1),(5)又は(3),(7)の比較演算を行い、以降は上述した場合と同様に欠陥検出部9による明欠陥又は暗欠陥の検出が行われる。
【0014】
このようにして比較される点を含むパターンが例えば基板の隅に存在するような場合でも、例えば自動的に横方向の比較検査を停止し、比較方向を縦方向に切り替えることによって従来のような擬似欠陥発生を無くすことができる。
また、上述した本実施の形態1では、演算処理部7と、選定部8、欠陥検出部9を用いたハードウェア構成にて2点比較処理、欠陥検出処理を行う場合を説明したが、図3に示すような制御部(CPU)6によるパイプライン処理(複数の制御命令を順に出力する処理)にて一連の横、縦、斜めの優先順位を付けた2点比較処理を行うことが可能である。
【0015】
次に、図4を参照して、例えばTFT表示部のパターン像31、配線部のパターン像32が表面に上下左右に列設され、隅部に基板端部33が存在する液晶板の画像データ30に基づく8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法について説明する。
この場合には、検査対象点A’を含むTFT表示部のパターン像31に横方向に隣り合う点(6)と基板端部33上の点(2)との比較では、これら両者の輝度データは大きく異なるため、前記選定部8は2点比較方向を縦方向の2点(4)’,(8)’に切り替える。
【0016】
これにより、演算処理部7は、自動的に上下の2点(4)’,(8)’の比較演算を行い、これら2点(4)’,(8)’の輝度データが等しい場合には、次に欠陥検出部9は2点(4)’,(8)’の輝度データの平均値と検査対象点A’の輝度データとの比較演算を行い、当該検査対象点A’の欠陥の有無の検出を行う。検査対象点A’の輝度データが2点(4)’,(8)’の輝度データの平均値より小さい場合には、検査対象点A’は暗欠陥となる。
この場合も、2点比較方向を横方向から縦方向に切り替えることによって従来のような擬似欠陥発生を無くすことができる。
【0017】
次に、検査領域別の欠陥判定について図5乃至図8を参照して説明する。
図5はTFT表示部のパターン像31内同士の8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法を、図6は配線部のパターン像32の縦配線における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法を示す。
また、図7は配線部のパターン像32の横配線における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法を示し、図8は配線部のパターン像32の配線の交差点上の8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法を示す。
【0018】
図5乃至図8において、検査対象点Aの周辺領域を明暗に分けて8ビットのコードで表すと、下記表1のようになる。
【0019】
【表1】
【0020】
この結果、検査対象点Aの周辺領域の値により各々独立の閾値と欠陥判定基準を与え、TFT表示部と配線部との検査条件を変えることで、TFT表示部、配線部の欠陥検査を同時に行う可能となる。
また、図8に示す交差点(横配線、縦配線の交差部分)における検査対象点Aの場合、交差点を基準に特定の位置を検査対象点Aとして特定でき、これにより、任意の位置にグレイレベルによらずに検査対象点Aを指定して検査条件を設定できる。
【0021】
(実施の形態2)
次に、図9乃至図12を参照して本発明の実施の形態2について説明する。
図9は、DRC(Design Rule Check)法を適用する方向変化の少ないランダムパターンを示すものである。DRC法は微小欠陥検出に有効である。
【0022】
図9に示すランダムパターンの検査対象点Aに対して、横(左右)方向の隣接2点を比較し欠陥検出を行う場合には、図10左欄に示すように、横方向の隣接2点(2),(6)に対する既述した場合と同様な比較演算が行われ、これら2点(2),(6)の輝度データが等しい場合には両側パターン同士は同様の形状が繰り返すパターンであると又は横方向の直線上にあると判定され、次に欠陥検出部9は2点(2),(6)の輝度データの平均値と検査対象点Aとの比較を行い、検査対象点Aの輝度データが2点(2),(6)の輝度データの平均値より小さいので検査対象点Aは暗欠陥であるとする。
逆に、図10右欄に示す場合には、検査対象点Aの輝度データが2点(2),(6)の輝度データの平均値より大きいので検査対象点Aは明欠陥であるとする。
【0023】
次に、図9に示すランダムパターンの検査対象点Aに対して、縦(上下)方向の隣接2点(4),(8)を比較し欠陥検出を行う場合には、図11に示すように、縦方向の隣接2点(4),(8)に対する既述した場合と同様な比較演算が行われ、これら2点(4),(8)の輝度データが等しい場合には両側パターン同士は同様の形状が繰り返すパターンであると又は縦方向の直線上にあると判定され、次に欠陥検出部9は2点(4),(8)の輝度データの平均値と検査対象点Aとの比較を行い、検査対象点Aの輝度データが2点(4),(8)の輝度データの平均値より小さい図11の上側に示す例の場合には検査対象点Aは暗欠陥であるとする。
また、検査対象点Aの輝度データが2点(4),(8)の輝度データの平均値より大きい図11の下側に示す例の場合には検査対象点Aは明欠陥であるとする。
【0024】
次に、図9に示すランダムパターンの検査対象点Aに対して、斜め方向の隣接2点(3),(7)を比較し欠陥検出を行う場合には、図12に示すように、斜め方向の隣接2点(3),(7)に対する既述した場合と同様な比較演算が行われ、これら2点(3),(7)の輝度データが等しい場合には両側パターン同士は同様の形状が繰り返すパターンであると又は斜め方向の直線上にあると判定され、次に欠陥検出部9は2点(3),(7)の輝度データの平均値と検査対象点Aとの比較を行い、検査対象点Aの輝度データが2点(3),(7)の輝度データの平均値より小さい場合には検査対象点Aは暗欠陥であるとし、また検査対象点Aの輝度データが2点(3),(7)の輝度データの平均値より大きい場合には検査対象点Aは明欠陥であるとする。
【0025】
このように、本実施の形態1、2によれば、検査対象点Aと隣接点との比較を行う前に、まず優先順位を付けつつ左右、上下又は斜め方向の隣接する比較点2点が同じレベルの輝度を有しているか否かを判断する予備判定を行い、予備判定を行った後、初めてこの両点が比較対象として適切であるとしてこの両点の平均値と検査対象点Aとを比較し明、暗の判定により欠陥検出を行うものである。
【0026】
この結果、特に液晶板等のパターンエッジ部での擬似欠陥を発生を防止し、高精度に検査対象点Aの欠陥検出を行うことができる。
なお、本発明は面積をもったパターン上の欠陥検出の他、直線状のパターンの欠陥検出にも適用可能である。
【0027】
【発明の効果】
本発明によれば、特に基板等の隅部領域等においても擬似欠陥が発生することがなく、高精度で検査対象点の欠陥検出を行うことができる撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法を提供できる。
また本発明によれば、撮像系と、画像処理部と、制御部と、画像処理部と、演算処理部と、選定部と、欠陥検出部とを有する構成で、本発明の欠陥検出方法を実現し、特に基板等の隅部領域等においても擬似欠陥が発生することがなく、高精度で検査対象点の欠陥検出を行うことができる撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の撮像検査装置の概略ブロック図である。
【図2】本実施の形態1の8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法の原理的説明図である。
【図3】本実施の形態1の欠陥検出方法におけるパイプライン処理の説明図である。
【図4】本実施の形態1の8近傍点隣接比較方式による基板上のパターンの欠陥検出方法の説明図である。
【図5】本実施の形態1の8近傍点隣接比較方式による表示部内の欠陥検出方法の説明図である。
【図6】本実施の形態1の8近傍点隣接比較方式による縦配線上の欠陥検出方法の説明図である。
【図7】本実施の形態1の8近傍点隣接比較方式による横配線上の欠陥検出方法の説明図である。
【図8】本実施の形態1の8近傍点隣接比較方式による交差点上の欠陥検出方法の説明図である。
【図9】本発明の実施の形態2のランダムパターンの説明図である。
【図10】本実施の形態2の8近傍点隣接比較方式によるランダムパターン上の横方向の欠陥検出方法の説明図である。
【図11】本実施の形態2の8近傍点隣接比較方式によるランダムパターン上の縦方向の欠陥検出方法の説明図である。
【図12】本実施の形態2の8近傍点隣接比較方式によるランダムパターン上の斜め方向の欠陥検出方法の説明図である。
【図13】従来の欠陥検出方法の概略説明図である。
【符号の説明】
1 撮像系
2 光源
3 レンズ
4 撮像素子
5 画像処理部
6 制御部
7 演算処理部
8 選定部
9 欠陥検出部
10 表示部
20 液晶板
30 画像データ
31 パターン像
32 パターン像
33 基板端部
A 検査対象点
A’検査対象点
Claims (4)
- 被検査体を撮像して得られる同一繰り返しパターンの検査部位の画像データを基に、8近傍点隣接比較方式により個々の検査部位の欠陥検出を行う撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法において、
検査対象点を挟んで隣接する8点のうち、左右、上下又は斜め方向に隣接する3種の2点同士を優先順位を付けて順に比較し比較対象の適否判定を行う予備判定過程と、
予備判定過程の判定結果に応じて検査対象点との比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を行う選定過程と、
選定過程にて選定した最適な比較方向の2点の平均値と検査対象点とを比較し、当該検査対象点の欠陥の有無の検出を行う過程と、
を含むことを特徴とする撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法。 - 前記予備判定過程は、検査対象点を挟んで隣接する左右、上下又は斜め方向の各2点を任意の順序で優先させて比較対象の適否判定を行うことを特徴とする請求項1記載の撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法。
- 前記予備判定過程は、コンピュータ制御におけるパイプライン処理により左右、上下又は斜め方向に隣接する3種の2点同士を優先順位を付けて順に比較することを特徴とする請求項1又は2記載の撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法。
- 被検査体を撮像して得られる同一繰り返しパターンの検査部位の画像データを基に、8近傍点隣接比較方式により個々の検査部位の欠陥検出を行う撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出システムにおいて、
被検査体を撮像し、撮像素子に結像する光源、レンズを含む撮像系と、撮像素子から出力される光電変換された画像データを画像処理し欠陥検出用の画像データを生成する画像処理部と、全体の制御を行う制御部と、制御部の制御の基に前記画像データにおける検査対象点を挟んで左右、上下又は斜め方向に隣接する8点のうち、いずれかの方向の隣接2点の輝度データの各々の優先順位を付けた比較演算、平均値演算等の各種の演算処理を行う演算処理部と、演算処理部の演算結果から検査対象点との比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を行う選定部と、選定した最適な比較方向の2点の平均値と検査対象点の輝度データとを比較し、当該検査対象点の欠陥の有無の検出を行う欠陥検出部とを有することを特徴とする撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002186739A JP3973024B2 (ja) | 2002-06-26 | 2002-06-26 | 撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法、欠陥検出システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002186739A JP3973024B2 (ja) | 2002-06-26 | 2002-06-26 | 撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法、欠陥検出システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004028836A JP2004028836A (ja) | 2004-01-29 |
JP3973024B2 true JP3973024B2 (ja) | 2007-09-05 |
Family
ID=31182003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002186739A Expired - Fee Related JP3973024B2 (ja) | 2002-06-26 | 2002-06-26 | 撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法、欠陥検出システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3973024B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4882529B2 (ja) | 2005-08-26 | 2012-02-22 | セイコーエプソン株式会社 | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
JP5414215B2 (ja) | 2008-07-30 | 2014-02-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 回路パターン検査装置、および回路パターンの検査方法 |
JP4528850B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2010-08-25 | シャープ株式会社 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法、欠陥検出プログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP5275017B2 (ja) | 2008-12-25 | 2013-08-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法及びその装置 |
WO2010146745A1 (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-23 | シャープ株式会社 | 表示パネルの検査方法、及び表示装置の製造方法 |
US8428334B2 (en) * | 2010-03-26 | 2013-04-23 | Cooper S.K. Kuo | Inspection System |
US8866899B2 (en) * | 2011-06-07 | 2014-10-21 | Photon Dynamics Inc. | Systems and methods for defect detection using a whole raw image |
-
2002
- 2002-06-26 JP JP2002186739A patent/JP3973024B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004028836A (ja) | 2004-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7978903B2 (en) | Defect detecting method and defect detecting device | |
JP3431075B2 (ja) | 液晶ディスプレイパネルムラの分類処理方法、その装置及びプログラム | |
JP3973024B2 (ja) | 撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法、欠陥検出システム | |
JP2005172559A (ja) | パネルの線欠陥検出方法及び装置 | |
JP3907874B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2007064642A (ja) | 目視検査装置 | |
US7538750B2 (en) | Method of inspecting a flat panel display | |
KR101409568B1 (ko) | 표시패널 검사장치 및 그 검사방법 | |
JP2009250937A (ja) | パターン検査装置および方法 | |
JP3091039U (ja) | 撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出装置 | |
JP2006201523A (ja) | 液晶表示パネルの検査方法および検査装置 | |
JP2004219291A (ja) | 画面の線欠陥検出方法及び装置 | |
JP2009079915A (ja) | 微小寸法測定方法および測定装置 | |
JP3123275B2 (ja) | 電子部品の欠品検査における検査データの作成方法 | |
JP3127598B2 (ja) | 画像中の濃度変動構成画素抽出方法および濃度変動塊判定方法 | |
JP3311628B2 (ja) | 薄型表示機器の欠陥箇所位置決め装置 | |
JP4401126B2 (ja) | 寸法測定装置の所定部位登録方法 | |
JP3808320B2 (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
JP2009097923A (ja) | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 | |
JP2005195515A (ja) | 平面表示装置の検査装置及びその方法 | |
JP2004045125A (ja) | 欠陥検査方法及び装置 | |
JP2001319221A (ja) | 検査方法及び装置 | |
JP2002259951A (ja) | 繰り返しパターン消去方法、欠陥検査方法及び装置 | |
JP2005195514A (ja) | 欠点検査装置及びその方法 | |
JP2006071521A (ja) | パターン検査方法および装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061102 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070508 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3973024 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100622 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130622 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130622 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |