KR20030076192A - 화학 증폭형 포지티브 내식막 조성물 - Google Patents
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Abstract
Description
번호 | 막 두께(㎛) | 노광량(msec) | 치수(㎛) | 해상도(㎛) |
실시예 1실시예 2 | 1.541.611.491.54 | 1351359292 | 1.000.931.000.95 | 0.410.45 |
비교예 1비교예 2 | 1.541.611.491.54 | 165165158158 | 1.000.861.000.88 | 0.530.65 |
Claims (14)
- 감방사선성 산 발생제(A),그 자체는 알칼리 수용액에 불용성 또는 난용성이지만 산의 작용에 의해 알칼리 수용액에 가용성으로 되는 수지(B),염기성 화합물(C) 및파장 범위가 300 내지 450nm인 광에 대한 몰 흡광 계수 범위가 100 내지 50000인 화합물(D)의 4성분을 함유하는 화학 증폭형 포지티브 내식막 조성물.
- 제1항에 있어서, 성분(A)가 하기 화학식 1의 화합물인 조성물.화학식 1위의 화학식 1에서,R1내지 R3은 각각 독립적으로 수소원자 또는 탄화수소기이며,R4는 탄화수소기이며, 단 R1내지 R4의 탄화수소기에서 수소원자 중 1개 이상이 수산기, 니트로기, 시아노기, 알킬아미노기, N,N'-디알킬아미노기, 알콕시기, 사이클로알킬옥시기, 아릴옥시기, 알킬카보닐기, 사이클로알킬카보닐기, 아릴카보닐기, 알킬카보닐옥시기, 사이클로알킬카보닐옥시기, 아릴카보닐옥시기, 알콕시카보닐기, 사이클로알킬옥시카보닐기, 아릴옥시카보닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수 있고, 상기 탄화수소기에서 -CH2-기 중 1개 이상이 -C0-기로 치환될 수 있다.
- 제2항에 있어서, 화학식 1에서, R1이 2-메틸페닐기이고, R2및 R3이 수소원자이고, R4가 n-프로필기, n-부틸기, n-옥틸기, 톨루일기, 2,4,6-트리메틸페닐기, 2,4,6-트리이소프로필페닐기, 4-도데실페닐기, 4-메톡시페닐기, 2-나프틸기, 벤질기 또는 화학식(2)의 기이고, 단 상기한 R1내지 R4의 기에서 수소원자 중 1개 이상이 수산기, 니트로기, 시아노기, 알킬아미노기, N,N'-디알킬아미노기, 알콕시기, 사이클로알킬옥시기, 아릴옥시기, 알킬카보닐기, 사이클로알킬카보닐기, 아릴카보닐기, 알킬카보닐옥시기, 사이클로알킬카보닐옥시기, 아릴카보닐옥시기, 알콕시카보닐기, 사이클로알킬옥시카보닐기, 아릴옥시카보닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수 있는 조성물.
- 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 성분(B)가 페놀성 수산기 및 페놀성 수산기가 1-에톡시에틸기, 1-에톡시프로필기 또는 2-테트라하이드로피라닐기에 의해 보호된 기를 갖는 수지인 조성물.
- 제4항에 있어서, 성분(B)가 수산기의 일부가 1-에톡시에틸기, 1-에톡시프로필기 또는 2-테트라하이드로피라닐기에 의해 보호된 폴리비닐페놀인 조성물.
- 제4항에 있어서, 성분(B)가 수산기의 일부가 1-에톡시에틸기, 1-에톡시프로필기 또는 2-테트라하이드로피라닐기에 의해 보호된 노볼락 수지인 조성물.
- 제1항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서, 성분(C)가 유기 수산화암모늄 화합물인 조성물.
- 제7항에 있어서, 유기 수산화암모늄 화합물이 화학식 3의 수산화암모늄 화합물인 조성물.화학식 3위의 화학식 3에서,R5내지 R8은 각각 독립적으로 탄화수소기이거나, R6및 R7은 탄화수소기이며 R5및 R8은 이들이 결합된 질소원자와 함께 환을 형성하여 복소환기를 나타내고, 단R5내지 R8에서 수소원자 중 1개 이상이 수산기, 니트로기, 시아노기, 알킬아미노기, N,N'-디알킬아미노기, 알콕시기, 사이클로알킬옥시기, 아릴옥시기, 알킬카보닐기, 사이클로알킬카보닐기, 아릴카보닐기, 알킬카보닐옥시기, 사이클로알킬카보닐옥시기, 아릴카보닐옥시기, 알콕시카보닐기, 사이클로알킬옥시카보닐기, 아릴옥시카보닐기 또는 할로겐 원자로 치환될 수 있고, 상기 탄화수소기에서 -CH2-기가 -C0-기로 치환될 수 있다.
- 제8항에 있어서, 화학식 3의 수산화암모늄 화합물이 테트라메틸 암모늄 하이드록사이드, 테트라-n-부틸 암모늄 하이드록사이드, 테트라-n-헥실 암모늄 하이드록사이드, 테트라-n-옥틸 암모늄 하이드록사이드, 페닐트리메틸 암모늄 하이드록사이드, 3-(트리플루오로메틸)페닐트리메틸 암모늄 하이드록사이드 및 콜린으로부터 선택된 하나 이상의 화합물인 조성물.
- 제1항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서, 성분(D)가 하기 화학식 4의 화합물인 조성물.화학식 4위의 화학식 4에서,R9및 R10은 각각 독립적으로 아릴기이며, 당해 아릴기 위의 수소원자의 일부 또는 전체가 수산기, 알킬기, 알콕시기 또는 알콕시카보닐기로 치환될 수 있으며,R11내지 R16은 각각 독립적으로 수소원자 또는 알킬기이다.
- 제1항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서, 성분(D)가 하기 화학식 5의 화합물인 조성물.화학식 5위의 화학식 5에서,R17은 아릴기이며, 당해 아릴기 위의 수소원자의 일부 또는 전체가 수산기, 알킬기, 알콕시기, 알콕시카보닐기 또는 N,N-디알킬아미노기로 치환될 수 있으며,R18은 수소원자 또는 알킬기이며,R19및 R20은 각각 독립적으로 수소원자, 알킬기, 알콕시기, 알콕시카보닐기, 시아노기 또는 벤조일기이다.
- 제10항에 있어서, 성분(D)가 1,7-비스-(3-메톡시-4-하이드록시페닐)-1,6-헵타디엔-3,5-디온인 조성물.
- 제11항에 있어서, 성분(D)가, R17이 3-메톡시-4-하이드록시페닐기이고 R18이 수소원자이고 R19및 R20이 에톡시카보닐기인 화학식 5의 화합물인 조성물.
- 제11항에 있어서, 성분(D)가, R17이 3-메톡시-4-하이드록시페닐기이고 R18이 수소원자이고 R19가 시아노기이고 R20이 이소프로폭시카보닐기인 화학식 5의 화합물인 조성물.
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