KR19980070196A - 기판처리장치 - Google Patents

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KR19980070196A
KR19980070196A KR1019970071950A KR19970071950A KR19980070196A KR 19980070196 A KR19980070196 A KR 19980070196A KR 1019970071950 A KR1019970071950 A KR 1019970071950A KR 19970071950 A KR19970071950 A KR 19970071950A KR 19980070196 A KR19980070196 A KR 19980070196A
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우에야마쯔토무
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쯔지마사오
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이시다아키라
다이닛뽕스크린세이조오가부시키가이샤
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Abstract

외부장치와의 사이에서 스루풋의 차이가 있는 경우라도 운용 효율의 저하를 회피 또는 경감 가능한 기판처리장치를 제공하는 것이다.
기판처리장치(1)는 제1의 반송로(21)를 가지는 제1 기판 반송유닛(20) 및 제2의 반송로(31)를 가지는 제2 기판 반송유닛(30)을 구비한다. 제1의 반송로(21)를 따라서 회전식 도포유닛(10a) 및 회전식 현상유닛(10b)이 배치되고, 제2의 반송로(31)를 따라서 기판 카셋트(43)가 배치된다. 제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)은 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)으로부터 받아들인 기판(W)을 제2의 반송로(31)의 양 단부측에 배치된 노광장치(2a,2b)로 선택적으로 반입하고, 노광장치(2a,2b)로부터 기판(W)을 반출해서 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)으로 반송한다.

Description

기판처리장치
본 발명은 기판에 소정의 처리를 행하는 기판처리장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼, 액정표시장치용 유리기판, 포토마스크용 유리기판, 광 디스크용 유리기판 등의 기판에 여러 가지 처리를 행하기 위해 기판처리장치가 사용되고 있다. 예컨대, 반도체 디바이스의 제조 프로세스에서는 생산효율을 높이기 위해 일련의 처리 각각을 유닛(unit)화 하고, 복수의 기판처리유닛을 통합한 기판처리장치가 사용되고 있다.
포토리소그래피 공정에 있어서는, 노광처리의 전후 각종 기판처리가 기판처리장치에서 행해지고, 노광처리가 노광장치에서 행해진다. 이 경우, 기판처리장치에는 포토레지스트의 도포처리를 행하는 회전식 도포유닛(스핀 코터), 현상처리를 행하는 회전식 현상유닛(스핀 디벨로퍼), 가열처리를 행하는 가열유닛(핫 플레이트), 냉각처리를 행하는 냉각유닛(쿨 플레이트) 등의 각종 기판처리유닛이나 기판처리유닛 사이에서 기판의 반송을 행하는 기판 반송유닛이 설치되어 있다.
한편, 노광장치는 노광을 행하기 위한 축소 투영노광기(스텝퍼) 등의 노광기, 노광기에서 노광패턴의 인화를 위해 위치결정을 행하는 얼라인먼트 기구, 노광장치내에서 기판의 반송을 행하는 반송로봇 등을 구비한다.
포토리소그래피 공정에서는, 우선 기판처리장치에서 노광처리전의 기판처리가 행해지고, 다음에 노광장치에서 노광처리가 행해지며, 그 후 다시 기판처리장치에서 노광처리후의 기판처리가 행해진다. 따라서, 기판처리장치와 노광장치와의 사이에서 기판의 교환을 행할 필요가 있다. 그 때문에, 기판처리장치에는 기판의 교환을 행하는 기판반송유닛이 설치되어 있다. 이 기판반송유닛은 인터페이스 유닛(이하, IF 유닛이라 생략해서 기술한다)이라고 불려진다.
도 15는 종래의 IF 유닛을 구비한 기판처리장치의 평면도, 도 16은 도 15의 기판처리장치에서의 IF 유닛의 정면도, 도 17은 도 15의 기판처리장치에서의 IF 유닛의 측면도이다.
도 15에 있어서, 기판처리장치(200)는 복수의 회전식 도포유닛(160a), 복수의 회전식 현상유닛(160b), 기판 반송유닛(170) 및 IF 유닛(180)을 구비한다. 기판처리장치(200)의 일단부측에는 IF 유닛(180)에 인접하도록 노광장치(300)가 설치된다.
기판 반송유닛(170)은 기판을 X축 방향(화살표 X의 방향)으로 반송하는 기판 반송로봇(171)을 가진다. IF 유닛(180)은 기판 반송로봇(181)을 가진다. 기판 반송로봇(181)은 기판(W)을 유지하는 기판 유지부(182), 그 기판 유지부(182)를 X축 방향으로 이동시키는 X 방향 이동기구(183), 그 X 방향 이동기구(183)를 통해서 기판 유지부(182)를 Z축 방향(화살표 Z의 방향)으로 이동시키는 Z 방향 이동기구(184) 및 X 방향 이동기구(183)를 통해서 기판 유지부(182)를 Y축 방향(화살표 Y의 방향)으로 이동시키는 Y 방향 이동기구(185)를 포함한다.
이것에 의해, 기판 반송로봇(181)은 기판 유지부(182)로 기판(W)을 유지해서 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동시켜 기판 교환대(190), 기판 반입대(191), 기판 반출대(192) 및 버퍼부(193)와의 사이에서 기판(W)을 교환할 수 있다.
기판 교환대(190)는 기판 반송로봇(181)이 기판 반송로봇(171)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하기 위해 사용된다. 기판 반입대(191) 및 기판 반출대(192)는 기판 반송로봇(181)이 노광장치(300)내의 기판 반송로봇(미도시)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하기 위해 사용된다. 도 16에 나타낸 바와 같이, IF 유닛(180)의 측면에는 노광장치(300)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하기 위한 개구부(186)가 설치되어 있다. 버퍼부(193)는 기판처리장치(200)내에서의 처리시간과 노광장치(300)내에서의 처리시간에 차이가 생긴 경우에 기판(W)을 일시적으로 수납하기 위해 사용된다.
이 기판처리장치(200)에 있어서는, 우선 기판 반송유닛(170)의 기판 반송로봇(171)이 회전식 도포유닛(160a)에서 처리된 기판(W)을 기판 교환대(190)에 얹어놓는다. IF 유닛(180)의 기판 반송로봇(181)은 기판 교환대(190)에 얹혀진 기판(W)을 기판 유지부(182)로 받아 유지하고, 그 기판(W)을 기판 반입대(191)에 얹어 놓는다. 기판 반입대(191)에 얹혀진 기판(W)은 노광장치(300)내의 기판 반송로봇에 의해 노광장치(300)내로 받아 넣어진다.
노광장치(300)에서 노광처리가 행해진 기판(W)은 노광장치(300)내의 기판 반송로봇에 의해 노광장치(300)에서 반출되어 기판 반출대(192)에 얹혀진다. IF 유닛(180)의 기판 반송로봇(181)은 기판 반출대(192)에 얹혀진 기판(W)을 기판 유지부(182)로 받아 유지하고, 그 기판(W)을 기판 교환대(190)에 얹어 놓는다. 기판 교환대(190)에 얹혀진 기판(W)은 기판 반송유닛(170)의 기판 반송로봇(171)에 의해 회전식 현상유닛(160b)으로 반송된다.
일반적으로, 노광장치(300)에서 노광처리에 필요한 시간은, 기판처리장치(200)의 회전식 도포유닛(160a)이나 회전식 현상유닛(160b)에서 기판처리에 필요한 시간에 비해서 길다. 특히, 직경 300㎜와 같은 대구경의 기판을 처리하는 경우에는 노광장치(300)에서의 노광처리 시간이 증대한다.
이와 같이, 종래의 기판처리장치(200)에서는 기판처리장치(200)와 노광장치(300)와의 사이에서 스루풋(throughput)이 정합(整合)하지 않기 때문에, 기판처리장치(200)의 운용효율이 저하한다는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 외부장치와의 사이에서 스루풋의 차이가 있는 경우라도 운용효율의 저하를 회피 또는 경감하는 것이 가능한 기판처리장치를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에서의 기판처리장치의 평면도,
도 2는 도 1의 기판처리장치에서의 제2 기판 반송유닛의 측면도,
도 3은 본 발명의 제2 실시예에서의 기판처리장치의 평면도,
도 4는 도 3중의 A-A선 단면도,
도 5는 도 3중의 B-B선 단면도,
도 6은 제1 기판 반송로봇의 기판 유지부의 사시도,
도 7은 도 6의 기판 유지부의 단면도,
도 8은 제2 기판 반송로봇의 기판 유지부의 사시도,
도 9는 외부용 기판 반송로봇의 사시도,
도 10은 본 발명의 제3 실시예에서의 기판처리장치의 평면도,
도 11은 도 10의 C-C선 단면도,
도 12는 도 10의 D-D선 단면도,
도 13은 제4 기판 반송로봇의 사시도,
도 14는 본 발명의 제4 실시예에서의 기판처리장치의 평면도,
도 15는 종래 인터페이스 유닛을 구비한 기판처리장치의 평면도,
도 16은 도 15의 기판처리장치에서의 인터페이스 유닛의 정면도,
도 17은 도 15의 기판처리장치에서의 인터페이스 유닛의 측면도이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 기판처리장치, 2a,2b 노광장치,
10ab 회전식 도포유닛, 10b 회전식 현상유닛,
20 제1 기판 반송유닛, 21 제1의 반송로,
22 기판 반송로봇, 23,33,69 기판 유지아암,
30 제2 기판 반송유닛, 31 제2의 반송로,
32 기판 반송로봇, 33,71 기판 유지부,
34,72,83,98,112 이동체,
35,73,100,113 지지대,
36,74,101,114,128 베이스,
37 유지부재 42 카셋트 지지대,
43 기판 카셋트, 50a,50b 기판 교환부,
51a,51b 기판 지지핀,
60 제1 기판 반송로봇, 61 기판 지지프레임,
80a,80b 제2 기판 반송로봇, 90a,90b 기판 유지부,
91 제3의 반송로,
95 외부용 기판 반송로봇,
110 제1 기판 반송로봇,
120a,120b,120c 제3 기판 반송로봇.
제1 발명에 관한 기판처리장치는, 소정의 방향으로 연장되는 교환용 반송로와, 교환용 반송로의 한쪽 측부측에 배치되는 기판처리부와, 교환용 반송로의 다른쪽 측부측에 배치되어 기판을 수납하는 기판수납부와, 교환용 반송로에서 기판을 반송함과 동시에, 기판수납부 및 기판처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하고, 또 교환용 반송로의 양단부측에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 교환용 반송수단을 구비한 것이다.
제1 발명에 관한 기판처리장치에 있어서는, 교환용 반송수단이 기판처리부와의 사이에서 처리전의 기판 및 처리가 끝난 기판을 교환함과 동시에, 교환용 반송로의 양단부측으로 각각 분배하여 기판을 반송한다. 따라서, 교환용 반송로의 양단부측의 외측에 2개의 외부장치를 설치할 수 있고, 기판처리부에서 처리된 기판을 2개의 외부장치로 분배함으로써, 외부장치에서의 처리시간이 기판처리부에서의 처리시간에 비해 긴 경우라도 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 경감할 수 있다.
제2 발명에 관한 기판처리장치는, 제1 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 기판처리부가 교환용 반송로에 직교하는 방향으로 연장되는 처리부용 반송로와, 처리부용 반송로를 따라서 배치된 하나 또는 복수의 처리유닛과, 처리부용 반송로에서 기판을 반송함과 동시에 각 처리유닛에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 처리부용 반송수단을 구비하고, 교환용 반송수단이 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것이다.
이 경우, 교환용 반송수단은 기판처리부의 처리부용 반송로에서 기판을 반송함과 동시에, 각 처리유닛에 대해서 기판의 반입 또는 반출을 행하는 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판을 교환함으로써, 기판처리부로 처리전의 기판을 반입함과 동시에 처리가 끝난 기판을 기판처리부에서 반출할 수 있다.
제3 발명에 관한 기판처리장치는, 제1 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 기판처리부가 기판을 반송하기 위한 반송영역과, 반송영역의 주위에 배치된 하나 또는 복수의 처리유닛과, 반송영역에 설치되어 각 처리유닛에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 처리부용 반송수단을 구비하고, 교환용 반송수단이 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것이다.
이 경우, 교환용 반송수단에서 처리부용 반송수단으로 인도된 기판은, 반송영역의 주위에 배치된 처리유닛으로 반입되어 소정의 처리가 행해진다. 또한, 처리유닛에서 소정의 기판처리가 종료된 기판은 처리부용 반송수단에 의해 처리유닛에서 반출되어 교환용 반송수단으로 넘겨진다. 이것에 의해, 교환용 반송수단과 처리유닛과의 사이에서 처리부용 반송수단을 통해서 기판의 교환을 행할 수 있다.
제4 발명에 관한 기판처리장치는, 기판에 소정의 처리를 행하는 하나 또는 복수의 처리유닛과, 각 처리유닛에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 처리부용 반송수단을 가지는 기판처리부와, 기판처리부에 인접하고 또 소정의 방향으로 연장되는 교환용 반송로와, 교환용 반송로에서 기판을 반송함과 동시에 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하고 또 교환용 반송로의 양단부측에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 교환용 반송수단을 구비한 것이다.
제4 발명에 관한 기판처리장치에 있어서는, 처리부용 반송수단이 기판처리부의 각 처리유닛에서 처리된 기판을 반출하여 교환용 반송수단으로 인도한다. 교환용 반송수단은 교환용 반송로를 이동해서 인도된 기판을 반송하고, 교환용 반송로의 양단부의 어느쪽인가로부터 기판을 반출한다. 또한, 교환용 반송수단은 교환용 반송로의 양단부의 어느쪽인가로부터 기판을 반입하여 교환용 반송로에서 반송한다.
이와 같이, 교환용 반송로의 양단부측에서 기판의 반출 및 반입을 행할 수 있기 때문에, 교환용 반송로의 양단부측에 2개의 외부장치를 설치할 수 있다. 따라서, 기판처리부에서 처리된 기판을 2개의 외부장치로 분배함으로써, 외부장치에서의 처리시간이 기판처리부의 각 처리유닛에서의 처리시간에 비해서 긴 경우라도 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 저감할 수 있다.
제5 발명에 관한 기판처리장치는, 제4 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 기판처리부가 교환용 반송로에 직교하는 방향으로 연장되는 처리부용 반송로를 가지고, 처리부용 반송수단이 상기 처리부용 반송로를 이동하는 것이다.
이 경우, 처리부용 반송수단은 교환용 반송수단에서 넘겨진 기판을 교환용 반송로에 직교하는 방향으로 연장되는 처리부용 반송로에서 반송하여 소정의 처리유닛으로 반입함과 동시에, 소정의 기판처리가 종료된 기판을 처리유닛에서 반출하고, 처리부용 반송로에서 반송하여 교환용 반송수단으로 기판을 넘길 수 있다.
제6 발명에 관한 기판처리장치는, 제4 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 기판처리부의 하나 또는 복수의 처리유닛이 처리부용 반송수단의 주위에 배치된 것이다.
이 경우, 처리부용 반송수단은 주위에 배치된 처리유닛과의 사이에서 기판의 반입 및 반출을 행할 수 있다.
제7 발명에 관한 기판처리장치는, 제4 ∼ 제6 발명의 어느 하나의 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송로를 따라서 기판처리부와 반대측에 배치되어 기판을 수납하는 기판수납부를 더 구비하고, 교환용 반송수단이 기판수납부에 대해서 기판의 저장 및 인출을 행하는 것이다.
이 경우, 교환용 반송수단은 기판수납부에서 기판을 인출하여 기판처리부로 반송함과 동시에, 기판처리부 또는 교환용 반송로의 양단부측에 배치된 외부장치에서 인도된 기판을 교환용 반송로에서 반송하여 기판수납부에 저장할 수 있다.
제8 발명에 관한 기판처리장치는, 제1 ∼ 제7 발명의 어느 하나의 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송수단이 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 이동부에 설치된 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 기판 유지아암을 포함하는 것이다.
이 경우, 교환용 반송수단의 기판 유지아암을 수평방향 및 연직방향으로 이동시키고, 또 회전시키는 것이 가능해진다. 따라서, 교환용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 여러 가지 장치를 교환용 반송로를 따라서 최적의 위치에 설치할 수 있다.
제9 발명에 관한 기판처리장치는, 제1 ∼ 제3 발명의 어느 하나의 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송로내의 양단부에 각각 배치되고, 또 교환용 반송로의 양단부의 외측에 배치되는 외부장치와의 사이에서 교환되는 기판을 일시적으로 유지하는 기판 유지부를 더 구비한 것이다.
이 경우, 교환용 반송수단에서 넘겨진 기판은 일시적으로 기판 유지부에 유지된 후 외부장치로 넘겨진다. 또한, 외부장치에서의 처리가 종료된 기판은 일시적으로 기판 유지부에 유지된 후 교환용 반송수단으로 넘겨진다. 따라서, 외부장치에서의 처리타이밍과 교환용 반송수단의 반송타이밍이 부정합한 경우라도 외부장치 및 교환용 반송수단이 기판의 교환을 위해 구속되는 시간이 단축되고, 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 저감할 수 있다.
제10 발명에 관한 기판처리장치는, 제9 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송수단이 교환용 반송로내에 이동 가능하게 설치된 제1 기판 반송수단과, 기판 유지부에 인접하는 위치에 각각 배치된 제2 기판 반송수단을 포함하고,제1 기판 반송수단이 기판수납부, 기판처리부 및 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하며, 제2 기판 반송수단이 제1 기판 반송수단 및 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것이다.
이 경우, 제2 기판 반송수단이 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행함으로써, 교환용 반송로에서의 제1 기판 반송수단의 이동거리가 단축되어 기판수납부, 기판처리부 및 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단에 의한 기판의 반송효율을 향상한다.
제11 발명에 관한 기판처리장치는, 제10 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 제1 기판 반송수단이 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 이동부에 설치된 제1 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 제1 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제1 기판 유지아암을 포함하고, 제2 기판 반송수단이 교환용 반송로에 고정된 고정부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 고정부에 설치된 제2 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 제2 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제2 기판 유지아암을 포함하는 것이다.
이 경우, 제1 기판 반송수단의 제1 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제1 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 기판수납부, 기판처리부 및 제2 기판 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
또한, 제2 기판 반송수단의 제2 기판 유지부가 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단 및 기판 유지부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
제12 발명에 관한 기판처리장치는, 제11 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 제1 기판 반송수단이 제2 기판 반송수단의 하측(下方)쪽을 이동 가능하게 형성된 것이다.
이 경우, 제2 기판 반송수단에 의해 제1 기판 반송수단의 반송영역이 제한되는 것이 방지된다.
제13 발명에 관한 기판처리장치는, 제9 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송수단이 교환용 반송로내에 이동 가능하게 설치된 제1 기판 반송수단과, 기판 유지부에 인접하는 위치에 각각 배치된 제2 기판 반송수단과, 기판처리부와의 기판 교환위치에 설치된 제3 기판 반송수단을 포함하고, 제1 기판 반송수단이 기판수납부 및 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하며, 제2 기판 반송수단이 제3 기판 반송수단 및 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하고, 제3 기판 반송수단이 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 기판처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것이다.
이 경우, 교환용 반송수단이 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 제3 기판 반송수단을 포함하고 있고, 제1 기판 반송수단은 기판수납부 및 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하며, 제2 기판 반송수단은 제3 기판 반송수단 및 기판유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하며, 제3 기판 반송수단은 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 기판처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하고 있다. 따라서, 하나의 교환용 반송수단뿐인 경우에 비해서 기판수납부, 기판 유지부 및 기판처리부와의 기판의 교환을 행하기 위해 구속되는 시간이 단축되어 기판처리장치의 운용효율의 저하를 더 회피 또는 저감할 수 있다.
제14 발명에 관한 기판처리장치는, 제13 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 제1 기판 반송수단이 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 이동부에 설치된 제1 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 제1 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제1 기판 유지아암을 포함하고, 제2 기판 반송수단이 교환용 반송로에 고정된 제1 고정부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 제1 고정부에 설치된 제2 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제2 기판 유지아암을 포함하며, 제3 기판 반송수단이 기판처리부와의 기판 교환위치에 고정된 제2 고정부와, 연직방향으로 이동 가능하게 제2 고정부에 설치된 제3 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제3 기판 유지아암을 포함하는 것이다.
이 경우, 제1 기판 반송수단의 제1 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제1 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 기판수납부 및 제3 기판 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
또한, 제2 기판 반송수단의 제2 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제3 기판 반송수단 및 기판 유지부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
게다가, 제3 기판 반송수단의 제3 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 기판 처리부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
제15 발명에 관한 기판처리장치는, 제14 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송로의 한쪽 단부에 배치된 한쪽의 제2 기판 반송수단과, 교환용 반송로의 다른쪽 단부에 배치된 다른쪽의 제2 기판 반송수단이 기판수납부보다 상방의 다른 높이에 배치되어 있고, 제3 기판 반송수단은 상하방향으로 복수 배치되며, 제3 기판 반송수단중 적어도 하나가 한쪽의 제2 기판 반송수단에 대응하는 높이에 배치되고, 제3 기판 반송수단중 적어도 다른 하나가 다른쪽의 제2 기판 반송수단에 대응하는 높이에 배치된 것이다.
이 경우, 상하방향으로 제2 기판 반송수단과 제3 기판 반송수단을 대응시켜 계층(階層) 형태로 배치함으로써 기판처리장치의 평면 점유면적이 커지게 되는 것이 방지되어 기판처리장치를 소형화 할 수 있다.
제16 발명에 관한 기판처리장치는, 제4 ∼ 제7의 어느 하나의 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송로내의 양단부에 각각 배치되고, 교환용 반송로의 양단부의 외측에 배치되는 외부장치와의 사이에서 교환되는 기판을 일시적으로 유지하는 기판 유지부를 더 구비한 것이다.
이 경우, 교환용 반송수단에서 넘겨진 기판은 일시적으로 기판 유지부에 유지된 후 외부장치로 넘겨진다. 또한, 외부장치에서의 처리가 종료된 기판은 일시적으로 기판 유지부에 유지된 후 교환용 반송수단으로 넘겨진다. 따라서, 외부장치에서의 처리타이밍과 교환용 반송수단의 반송타이밍이 부정합한 경우라도 외부장치 및 교환용 반송수단이 기판의 교환을 위해 구속되는 시간이 단축되어 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 저감할 수 있다.
제17 발명에 관한 기판처리장치는, 제16 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송수단이 교환용 반송로내에 이동 가능하게 설치된 제1 기판 반송수단과, 기판 유지부에 인접하는 위치에 각각 배치된 제2 기판 반송수단을 포함하고,제1 기판 반송수단이 처리부용 반송수단 및 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하고, 제2 기판 반송수단이 제1 기판 반송수단 및 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것이다.
이 경우, 제2 기판 반송수단이 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행함으로써, 교환용 반송로에서의 제1 기판 반송수단의 이동거리가 단축되어 기판처리부 및 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단에 의한 기판의 반송효율을 향상한다.
제18 발명에 관한 기판처리장치는, 제17 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 제1 기판 반송수단이 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 이동부에 설치된 제1 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 제1 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제1 기판 유지아암을 포함하고, 제2 기판 반송수단이 교환용 반송로에 고정된 고정부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 고정부에 설치된 제2 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 제2 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제2 기판 유지아암을 포함하는 것이다.
이 경우, 제1 기판 반송수단의 제1 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제1 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 기판처리부 및 제2 기판 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
또한, 제2 기판 반송수단의 제2 기판 유지부가 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단 및 기판 유지부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
제19 발명에 관한 기판처리장치는, 제18 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 제1 기판 반송수단이 제2 기판 반송수단의 하측을 이동 가능하게 형성된 것이다.
이 경우, 제2 기판 반송수단에 의해 제1 기판 반송수단의 반송영역이 제한되는 것이 방지된다.
제20 발명에 관한 기판처리장치는, 제16 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송수단이 교환용 반송로내에 이동 가능하게 설치된 제1 기판 반송수단과, 기판 유지부에 인접하는 위치에 각각 배치된 제2 기판 반송수단과, 처리부용 반송수단과의 기판 교환위치에 설치된 제3 기판 반송수단을 포함하고, 제1 기판 반송수단이 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하며, 제2 기판 반송수단이 제3 기판 반송수단 및 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하고, 제3 기판 반송수단이 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것이다.
이 경우, 교환용 반송수단이 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 제3 기판 반송수단을 포함하고 있고, 제1 기판 반송수단은 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하며, 제2 기판 반송수단은 제3 기판 반송수단 및 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하고, 제3 기판 반송수단은 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하고 있다. 따라서, 하나의 교환용 반송수단뿐인 경우에 비해서 기판 유지부 및 처리부용 반송수단과의 기판의 교환을 행하기 위해 구속되는 시간이 단축되고, 기판처리장치의 운용효율의 저하를 더 회피 또는 저감할 수 있다.
제21 발명에 관한 기판처리장치는, 제20 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 제1 기판 반송수단이 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 이동부에 설치된 제1 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 제1 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제1 기판 유지아암을 포함하고, 제2 기판 반송수단이 교환용 반송로에 고정된 제1 고정부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 제1 고정부에 설치된 제2 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 제2 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제2 기판 유지아암을 포함하며, 제3 기판 반송수단은 처리부용 반송수단과의 기판 교환위치에 고정되는 제2 고정부와, 연직방향으로 이동 가능하게 제2 고정부에 설치된 제3 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제3 기판 유지아암을 포함하는 것이다.
이 경우, 제1 기판 반송수단의 제1 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제1 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제3 기판 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
또한, 제2 기판 반송수단의 제2 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제3 기판 반송수단 및 기판 유지부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
게다가, 제3 기판 반송수단의 제3 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 처리부용 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다.
제22 발명에 관한 기판처리장치는, 제21 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 교환용 반송로의 한쪽 단부에 배치된 한쪽의 제2 기판 반송수단과 교환용 반송로의 다른쪽 단부에 배치된 다른쪽의 제2 기판 반송수단은 다른 높이에 배치되어 있고, 제3 기판 반송수단이 상하방향으로 복수 배치되어 있으며, 제3 기판 반송수단중 적어도 하나는 한쪽의 제2 기판 반송수단에 대응하는 높이에 배치되고,제3 기판 반송수단중 적어도 다른 하나가 다른쪽의 제2 기판 반송수단에 대응하는 높이에 배치된 것이다.
이 경우, 상하방향으로 제2 기판 반송수단과 제3 기판 반송수단을 대응시켜 계층 형태로 배치함으로써 기판처리장치의 평면 점유면적이 커지게 되는 것이 방지되어 기판처리장치를 소형화 할 수 있다.
제23의 발명에 관한 기판처리장치는, 제9 ∼ 제22의 어느 하나의 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 기판 유지부와 외부장치와의 사이에서 기판을 교환하는 외부용 기판 반송수단을 더 구비한 것이다.
이 경우, 외부장치가 기판 반송수단을 가지지 않는 경우라도 외부용 기판 반송수단을 사용해서 기판 유지부와 외부장치와의 사이에서 기판을 교환할 수 있다.
제24의 발명에 관한 기판처리장치는, 제23의 발명에 관한 기판처리장치의 구성에 있어서, 기판처리부의 하나 또는 복수의 처리유닛의 적어도 하나가 기판의 도포액을 도포하는 도포유닛이고, 외부용 기판 반송수단이 외부장치인 노광장치에 대해서 도포유닛에 의해 처리된 기판의 반입 및 반출을 행하는 것이다.
이 경우, 도포유닛에 의해 처리된 기판이 외부용 기판 반송수단에 의해 2개의 노광장치로 분배되어 반송된다. 따라서, 기판의 대구경화에 의해 노광장치에서의 처리시간이 증대하여 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 경감할 수 있다.
발명의 실시형태
도 1은 본 발명의 제1 실시예에서의 기판처리장치의 평면도, 도 2는 도 1의 기판처리장치에서의 제2 기판 반송유닛의 측면도이다.
도 1에 있어서, 기판처리장치(1)는 기판에 포토레지스트액의 도포처리를 행하는 복수의 회전식 도포유닛(스핀 코터)(10a), 기판에 현상처리를 행하는 복수의 회전식 현상유닛(스핀 디벨로퍼)(10b), 기판을 반송하는 제1 기판 반송유닛(20) 및 기판을 반송하는 제2 기판 반송유닛(30)을 구비한다.
제1 기판 반송유닛(20)은 X축 방향(화살표 X의 방향)으로 연장되는 제1의 반송로(21)를 가지고 있다. 제1의 반송로(21)에는 기판 반송로봇(22)이 X축 방향 및 연직 방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 설치되어 있다. 이 기판 반송로봇(22)상에는 기판(W)을 유지하는 기판 유지아암(23)이 전진 및 후퇴 가능하게 설치되어 있다.
복수의 회전식 도포유닛(10a)은 제1의 반송로(21)의 한쪽의 측부를 따라서 배치되고, 복수의 회전식 현상유닛(10b)은 제1의 반송로(21)의 다른쪽의 측부를 따라서 배치되어 있다. 회전식 도포유닛(10a) 및 회전식 현상유닛(10b)상에는 기판에 가열처리를 행하는 가열유닛(핫 플레이트) 및 기판에 냉각처리를 행하는 냉각유닛(쿨 플레이트)이 배치되어 있다(도시하지 않음).
제2 기판 반송유닛(30)은 제1의 반송로(21)의 일단부측에서 제1의 반송로(21)에 직교하는 방향, 즉 Y축 방향(화살표 Y의 방향)으로 연장되는 제2의 반송로(31)를 가진다. 제2의 반송로(31)에는 기판 반송로봇(32)이 Y축 방향 및 연직 방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 설치되어 있다. 이 기판 반송로봇(32)상에는 기판(W)을 유지하는 기판 유지아암(33)이 전진 및 후퇴 가능하게 설치되어 있다.
제2의 반송로(31)를 따라서 카셋트 지지대(42)가 배치되어 있다. 카셋트 지지대(42)상에는 복수의 기판 카셋트(43)가 얹혀져 있다. 각 기판 카셋트(43)에는 복수의 기판이 수납된다.
기판처리장치(1)의 제2의 반송로(31)의 양단부측에는 노광장치(2a,2b)가 각각 배치된다. 노광장치(2a)는 3개의 기판 지지핀(51a)을 가지는 기판 교환부(50a)를 가진다. 마찬가지로, 노광장치(2b)는 3개의 기판 지지핀(51b)을 가지는 기판 교환부(50b)를 가진다. 노광장치(2a)의 기판 교환부(50a)는 제2의 반송로(31)의 한쪽 단부측에 인접해서 배치되고, 노광장치(2b)의 기판 교환부(50b)는 제2의 반송로(31)의 다른쪽 단부측에 인접해서 배치된다.
제2의 반송로(31)의 일단부는 노광장치(2a)와의 사이에서 기판의 교환을 행하기 위한 교환포트 A로 되어 있고, 제2의 반송로(31)의 다른 단부는 노광장치(2b)와의 사이에서 기판의 교환을 행하기 위한 교환포트 B로 되어 있다.
노광장치(2a)는 노광을 행하기 위한 노광기, 노광기에서 노광패턴의 인화를 위해 위치결정을 행하는 얼라인먼트 기구 및 노광기와 기판 교환부(50a)와의 사이에서 기판의 반송을 행하는 기판 반송로봇을 구비한다. 마찬가지로, 노광장치(2b)는 노광기, 얼라인먼트 기구 및 노광기와 기판 교환부(50b)와의 사이에서 기판의 반송을 행하는 기판 반송로봇을 구비한다.
제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)은 제1의 반송로(21)에서 기판(W)을 반송하고, 회전식 도포유닛(10a), 회전식 현상유닛(10b) 등의 기판처리유닛에 대해서 기판(W)의 반입 및 반출을 행함과 동시에, 제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행한다.
제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)은 제2의 반송로(31)에서 기판(W)을 반송하고, 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행함과 동시에, 노광장치(2a)의 기판 교환부(50a) 및 노광장치(2b)의 기판 교환부(50b)에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하고, 또 기판 카셋트(43)에 대해서 기판(W)의 저장 및 인출을 행한다. 이 제2 기판 반송유닛(30)은 인덱서/인터페이스 유닛이라고 불려진다.
본 실시예에서는, 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)이 처리부용 반송수단에 상당하고, 제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)이 교환용 반송수단에 상당한다. 또한, 회전식 도포유닛(10a), 회전식 현상유닛(10b) 등의 기판처리유닛 및 제1 기판 반송유닛(20)이 배치되는 영역이 기판처리부에 상당하고, 기판 카셋트(43)가 기판수납부에 상당하며, 제1의 반송로(21)가 처리부용 반송로에 상당하고, 제2의 반송로(31)가 교환용 반송로에 상당한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 반송로봇(32)은 기판 유지아암(33), 이동체(34), 지지대(35) 및 베이스(36)를 포함한다. 제2의 반송로(31)에는 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(40)이 고정되어 있다. 베이스(36)는 Y축 방향으로 이동 가능하게 가이드 레일(40)로 안내되고 있다. 이 베이스(36)는 Y축 방향으로 배열 설치된 볼 나사(41)(도 1 참조), 모터 등으로 구성되는 Y 방향 이동기구(도시하지 않음)에 의해 Y축 방향으로 구동된다.
지지대(35)는 베이스(36)상에 Z축 방향(화살표 Z의 방향)으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이 지지대(35)는 볼 나사, 모터 등으로 구성되는 Z 방향 이동기구(도시하지 않음)에 의해 Z축 방향으로 구동된다. 이동체(34)는 지지대(35)상에 θ축 방향(연직축을 중심으로 하는 회전방향)으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 이 지지대(34)는 모터 등으로 구성되는 θ 방향 이동기구(도시하지 않음)에 의해 회전 구동된다.
기판 유지아암(33)은 수평방향으로 슬라이드 가능한 유지부재(37)를 가지고, 기판(W)을 수평자세로 유지한다. 이 기판 유지아암(33)은 이동체(34)상에 모터(도시하지 않음), 풀리(38), 벨트(39) 등으로 구성되는 수평방향 이동기구에 의해 X축방향으로 수평면내에서 전진 및 후퇴 가능하게 설치되어 있다.
다음에, 제1 실시예의 기판처리장치(1)의 동작의 일예를 설명한다.
제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)이 기판 카셋트(43)에 수납된 기판(W)을 인출한다. 이 경우, 기판 유지아암(33)이 베이스(36), 지지대(35) 및 이동체(34)를 통해서 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동함과 동시에 θ축 방향으로 회전하고, 기판 카셋트(43)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판 유지아암(33)이 X축 방향으로 전진하여 소정의 기판(W)의 하측으로 이동한 후 상승함으로써 기판(W)을 유지하고, X축 방향으로 후퇴한다.
기판 반송로봇(32)은 기판 유지아암(33)으로 유지한 기판(W)을 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)으로 넘긴다. 이 경우, 기판 유지아암(33)이 베이스(36), 지지대(35) 및 이동체(34)를 통해서 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동함과 동시에 θ축 방향으로 회전하고, 기판 반송로봇(22)의 기판 유지아암(23)의 전방에 위치한다. 기판 유지아암(23)이 X축 방향으로 전진하여 기판 유지아암(33)으로 유지된 기판(W)의 하측으로 이동한 후 상승함으로써 기판(W)을 유지하고, X축 방향으로 후퇴한다. 이것에 의해, 기판 반송로봇(22)이 기판(W)을 받는다.
제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)은 기판 유지아암(23)으로 유지한 기판(W)을 회전식 도포유닛(10a)으로 반입한다. 그 후, 이 기판 반송로봇(22)은 레지스트가 도포된 기판(W)을 회전식 도포유닛(10a)에서 반출하여 제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)으로 넘긴다.
기판 반송로봇(32)은 제2의 반송로(31)에서 기판(W)을 교환포트 A까지 반송하여 노광장치(2a)의 기판 교환부(50a)의 기판지지핀(51a)상에 얹어 놓는다. 그 후, 노광장치(2a)의 기판 반송로봇이 기판 교환부(50a)에 얹혀진 기판을 노광기로 반송한다.
그 동안, 제1 기판 반송로봇(20)의 기판 반송로봇(22)은 레지스트가 도포된 기판(W)을 회전식 도포유닛(10a)에서 반출하여 제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)으로 넘긴다. 기판 반송로봇(32)은 제2의 반송로(31)에서 기판(W)을 교환포트 B까지 반송하여 노광장치(2b)의 기판 교환부(50b)의 기판지지핀(51b)상에 얹어 놓는다. 그 후, 노광장치(2b)의 기판 반송로봇이 기판 교환부(50b)에 얹혀진 기판을 노광기로 반송한다.
한편, 노광장치(2a)의 노광기에 의해 노광처리가 행해진 기판은 기판 반송로봇에 의해 기판 교환부(50a)상에 얹혀진다. 제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)은 기판 교환부(50a)에 얹혀진 기판을 교환포트 A에서 받아들여 반송하고, 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)으로 넘긴다. 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)은 그 기판을 회전식 현상유닛(10b)으로 반입한다.
노광장치(2b)의 노광기에 의해 노광처리가 행해진 기판은 기판 반송로봇에 의해 기판 교환부(50b)상에 얹혀진다. 제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)은 기판 교환부(50b)에 얹혀진 기판을 교환포트 B에서 받아들여 반송하고, 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)으로 넘긴다. 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)은 그 기판을 다른 회전식 현상유닛(10b)으로 반입한다.
기판처리장치(1)에서 기판처리가 종료된 기판은 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)에서 제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)으로 넘겨져 기판 카셋트(43)에 저장된다.
제1 실시예의 기판처리장치(1)에 있어서는 각 회전식 도포유닛(10a)에서 처리된 기판이 2개의 노광장치(2a,2b)로 분배되기 때문에, 기판처리장치(1)와 노광장치(2a,2b)와의 스루풋의 부정합에 의한 기판처리장치(1)의 운용효율의 저하를 회피 또는 경감할 수 있다.
특히, 노광장치에서 노광처리에 필요한 시간이 각 회전식 도포유닛에서 기판처리에 필요한 시간의 2배인 경우에는 기판처리장치(1)의 운용에 전혀 쓸데없는 시간이 생기지 않는다.
또한, 노광장치(2a,2b) 등의 외부장치를 기판처리장치(1)의 양측에 설치할 수 있기 때문에, 레이아웃의 유연성이 증가한다. 그 결과, 클린 룸내의 데드(dead)스패이스를 저감하는 것이 가능해진다.
상기 제1 실시예에서는 기판처리장치(1)의 제2 기판 반송유닛(30)의 기판 반송로봇(32)이 노광장치(2a,2b)내의 기판 교환부(50a,50b)에 대해서 기판을 반입 및 반출하고 있지만, 노광장치의 기판 반송로봇이 기판처리장치(1)에 대해서 기판을 반입 및 반출하는 기능을 가지는 경우에는 기판처리장치(1)의 제2의 반송로(31)의 양단부에 기판 교환부 또는 도 16에 나타낸 기판 반입대(191) 및 기판 반출대(192)를 설치한다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에서의 기판처리장치의 평면도, 도 4는 도 3중의 A - A선 단면도, 도 5는 도 3중의 B - B선 단면도이다.
제2 실시예에 의한 기판처리장치(1)는 제1 실시예에 의한 기판처리장치(1)의 구성에 비해서 제2 기판 반송유닛(30)의 구조가 다르다. 또한, 제2의 반송로(31)의 양단부측에 배치된 노광장치(2a,2b)는 각각 기판의 반입반출 방식이 다른 노광장치이다. 즉, 노광장치(2a)는 기판처리장치(1)에 대해서 기판을 반입 및 반출하는 기구를 가지고 있다. 또한, 노광장치(2b)는 기판처리장치(1)에 대해서 기판을 반입 및 반출하는 기구를 갖지 않고, 기판을 받아들이기 위한 기판수입부(53) 및 기판을 인도하기 위한 기판인도부(54)가 설치되어 있다.
또, 도 3 ∼ 도 5에 있어서, 도 1 및 도 2에 나타낸 제1 실시예와 동일한 구조를 가지는 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명은 생략한다.
도 3 ∼ 도 5에 있어서, 제2 기판 반송유닛(30)은 제1 기판 반송유닛(20)의 제1의 반송로(21)의 일단부측에서 Y축 방향으로 연장되는 제2의 반송로(31)를 가진다. 제2의 반송로(31)에는 제1 기판 반송로봇(60), 한쌍의 제2 기판 반송로봇(80a,80b) 및 한쌍의 기판 유지부(90a,90b)가 배치되어 있다.
제1 기판 반송로봇(60)은 기판 유지부(71), 이동체(72), 지지대(73) 및 베이스(74)를 포함한다. 제2의 반송로(31)에는 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(75)이 고정되어 있고, 베이스(74)가 Y축 방향으로 이동 가능하게 가이드 레일(75)로 안내되어 있다. 이 베이스(74)는 Y축 방향으로 배열 설치된 볼 나사, 모터 등으로 구성되는 Y 방향 이동기구(도시하지 않음)에 의해 Y축 방향으로 구동된다.
지지대(73)는 베이스(74)상에 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이 지지대(73)는 볼 나사, 모터 등으로 구성되는 Z 방향 이동기구(도시하지 않음)에 의해 Z축 방향으로 이동된다.
이동체(72)에는 지지대(73)상에 θ축 방향으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 이 이동체(72)는 모터 등으로 구성되는 θ 방향 이동기구(도시하지 않음)에 의해 회전 구동된다.
도 6은 제1 기판 반송로봇의 기판 유지부의 사시도이고, 도 7은 도 6의 기판 유지부의 단면도이다. 제1 기판 반송로봇(60)의 기판 유지부(71)는 기판(W)을 지지해서 이동 가능한 기판 지지프레임(61) 및 기판 유지아암(69)을 구비한다.
기판 지지프레임(61)의 상면에는 3개의 지지핀(62)이 배치되어 있고, 이 지지핀(62)에 의해 기판(W)의 외주 테두리가 지지된다. 기판 지지프레임(61)은 연결부(63)를 통해서 수평방향으로 연장되는 가이드 레일(65)에 걸어 맞추어져(係合) 있다. 그리고, 수평 구동기구(도시하지 않음)에 의해 가이드 레일(65)을 따라서 수평방향으로 슬라이드 이동한다. 가이드 레일(65)은 가이드 부재(64)에 형성되어 있고, 또 가이드 부재(64)는 지주(支柱)(66)에 대해서 연직방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 가이드 부재(64)의 하부는 지주(66)에 고정된 실린더(68)의 로드에 연결되어 있다. 이것에 의해, 실린더(68)의 로드가 신축하면, 가이드 부재(64)가 연직방향으로 이동하고, 이것에 의해 기판 지지프레임(61)이 승강 이동한다.
기판 유지아암(69)은 기판(W)의 직경방향의 양단부를 유지 가능하게 형성되어 있고, 한쪽의 단부가 지주(70)를 통해서 이동체(72)에 연결되어 있다. 기판 유지아암(69)을 지지하는 지주(70)는 이동체(72)에 설치된 수평 이동기구(도시하지 않음)에 의해 수평방향으로 이동 가능하게 형성되어 있다.
기판 유지아암(69)은 기판 지지프레임(61)의 이동과는 반대 방향으로 슬라이드 이동한다. 기판 지지프레임(61)은 제2 기판 반송로봇(80a,80b) 및 제1 기판 반송유닛(20)측의 기판 반송로봇(22)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행할 때 사용되고, 기판 유지아암(69)은 기판 카셋트(43)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행할 때 사용된다. 또한, 기판 지지프레임(61)을 승강 이동시킴으로써, 기판 지지프레임(61)과 기판 유지아암(69)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행할 수 있다.
제2 기판 반송로봇(80a,80b)은 제2의 반송로(31)의 Y축 방향에서 제1 기판 반송로봇(60)의 양측에 배치되어 있다. 2개의 제2 기판 반송로봇(80a,80b)은 동일한 구조를 가지고 있다. 그래서, 이하에서는 제2 기판 반송로봇(80a)을 예로 설명한다.
제2 기판 반송로봇(80a)은 Y축 방향에 대해서 고정되어 있다. 도 8은 제2 기판 반송로봇의 사시도이다. 제2 기판 반송로봇(80a)은 기판(W)을 유지하는 기판 유지아암(81)을 구비한다. 기판 유지아암(81)은 이동체(83)의 상면에서 연장되는 지주(82)의 상단에 설치되어 있다. 지주(82)의 하부는 이동체(83)의 내부에 설치된 모터, 풀리, 구동벨트 등으로 구성되는 수평 이동기구(도시하지 않음)에 연결되어 이동체(83)의 상면 홈(85)을 따라서 이동 가능하게 설치되어 있다. 또한, 이동체(83)는 제2의 반송로(31)의 소정 위치에 고정되는 베이스(84)에 대해서 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위로 회전 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해, 기판 유지아암(81)으로 지지한 기판(W)을 Y축, Z축 및 θ축 방향으로 이동시킬수 있다.
제2 기판 반송로봇(80a,80b)과 노광장치(2a,2b)와의 사이에는 각각 기판 유지부(90a,90b)가 배치되어 있다. 기판 유지부(90a,90b)는 기판(W)을 일시적으로 유지하기 위해 설치되어 있고, 양단이 개방된 프레임 부재로 되어 그 내측에 복수의 기판(W)을 지지하는 선반이 설치되어 있다.
또한, 제2의 반송로(31)의 노광장치(2b)측의 단부에는 X축 방향으로 연장되는 제3의 반송로(91)가 설치되고, 이 제3의 반송로(91)에 외부용 기판 반송로봇(95)이 배치되어 있다. 외부용 기판 반송로봇(95)은 기판 유지부(95b)와 노광장치(2b)의 기판수입부(53) 및 기판인도부(54)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행한다.
도 9는 외부용 기판 반송로봇의 구조를 나타내는 사시도이다. 외부용 기판 반송로봇(95)은 기판 유지아암(96), 이동체(98), 지지대(100) 및 베이스(101)를 포함한다. 제3의 반송로(91)에는 X축 방향으로 연장되는 가이드 레일(102) 및 볼 나사(103)가 고정되어 있다. 베이스(101)는 가이드 레일(102)에 겅어 맞추어져 있고, X축 방향으로 배열 설치된 볼 나사(103), 모터 등으로 구성되는 X 방향 이동기구(도시하지 않음)에 의해 구동되어 가이드 레일(102)에 의해 X축 방향으로 안내된다.
지지대(100)는 베이스(101)상에 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이 지지대(100)는 볼 나사, 모터 등으로 구성되는 Z 방향 이동기구(도시하지 않음)에 의해 Z축 방향으로 구동된다.
이동체(98)는 지지대(100)상에 θ축 방향으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 이 이동체(98)는 모터 등으로 구성되는 θ 방향 이동기구(도시하지 않음)에 의해 회전 구동된다.
기판 유지아암(96)은 이동체(98)의 상면에서 연장되는 지주(97)의 상단에 접속되어 있다. 지주(97)의 하부는 이동체(98)내에 설치된 수평 이동기구(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 수평 이동기구는 모터, 풀리, 구동벨트 등으로 구성되어 지주(97)를 홈(99)을 따라서 수평방향(Y축 방향)으로 슬라이드 이동시킨다.
상기 구성을 가지는 기판처리장치(1)에 있어서, 제1 기판 반송로봇(60)은 기판 카셋트(43), 한쌍의 제2 기판 반송로봇(80a,80b) 및 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)에 각각 액세스 하고, 이들과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행한다.
제2 기판 반송로봇(80a)은 제1 기판 반송로봇(60)과 기판 유지부(90a)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행한다. 또한, 제2 기판 반송로봇(80b)은 제1 기판 반송로봇(60)과 기판 유지부(90b)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행한다. 게다가, 기판 유지부(90a)는 제2 기판 반송로봇(80a)과 노광장치(2a)와의 사이에서 교환되는 기판(W)을 일시적으로 유지하고, 기판 유지부(90b)는 제2 기판 반송로봇(80b)과 외부용 기판 반송로봇(95)과의 사이에서 교환되는 기판(W)을 일시적으로 유지한다.
외부용 기판 반송로봇(95)은 기판 유지부(90b)에 유지된 기판(W)을 노광장치(2b)의 기판수입부(53)로 넘기고, 또한 노광장치(2b)의 기판인도부(54)에서 기판(W)을 받아 기판 유지부(90b)에 유지시킨다.
또한, 제2 기판 반송유닛(30)의 제2의 반송로(31)에 있어서는 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이 Z축 방향으로 하방측에서 제1 계층(H1), 제2 계층(H2) 및 제3 계층(H3)이 구성되어 있다. 제2 기판 반송로봇(80b)은 제2 계층(H2)에 배치되고, 제2 기판 반송로봇(80a)은 제3 계층(H3)에 배치되어 있다. 그리고, 제1 기판 반송로봇(60)은 제1 계층(H1)에서 기판 카셋트(43)와의 사이에서 기판(W)의 인출 및 저장을 행하고, 또 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행한다.
또한, 제1 기판 반송로봇(60)은 제2 계층(H2)에서 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)과 제2 기판 반송로봇(80b)과의 사이에서 기판(W)을 반송하여 교환한다. 게다가, 제1 기판 반송로봇(60)은 제3 계층(H3)에서 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)과 제2 기판 반송로봇(80a)과의 사이에서 기판(W)을 반송하여 교환한다.
기판 카셋트(43)는 제2 계층(H2)보다 하측의 제1 계층(H1)과 거의 같은 높이에 배치되어 있다. 이 때문에, 제1 기판 반송로봇(60)은 제2 기판 반송로봇(80a,80b)의 하측을 통과하여 이동하고, 또 제2 기판 반송로봇(80a,80b)의 하방측의 기판 카셋트(43)에 액세스 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 기판 반송로봇(60) 및 제2 기판 반송로봇(80a,80b)이 교환용 반송수단에 상당한다. 또한, 제1 기판 반송로봇(60)이 제1 기판 반송수단에 상당하고, 제2 기판 반송로봇(80a,80b)이 제2 기판 반송수단에 상당하며, 외부용 기판 반송로봇(95)이 외부용 기판 반송수단에 상당한다.
다음에, 제2 실시예의 기판처리장치(1)의 동작의 일예를 도 3 ∼ 도 9를 참조해서 설명한다.
제2 기판 반송유닛(30)의 제1 기판 반송로봇(60)은 기판 카셋트(43)에 수납된 기판(W)을 인출한다. 이 경우에는 제1 기판 반송로봇(60)의 기판 유지아암(69)이 베이스(74), 지지대(73) 및 이동체(72)를 통해서 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동함과 동시에 θ축 방향으로 회전하여 기판 카셋트(43)의 전방에 위치한다. 게다가, 기판 유지아암(69)이 X 축 방향으로 전진해서 기판 카셋트(43)내의 소정의 기판(W)의 하측으로 이동한 후 싱승함으로써 기판(W)을 유지하고, 또 X축 방향으로 후퇴한다.
제1 기판 반송로봇(60)은 기판 카셋트(43)에서 인출된 기판(W)을 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)으로 넘긴다. 이 경우에는 제1 기판 반송로봇(60)이 베이스(74), 지지대(73) 및 이동체(72)를 통해서 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동함과 동시에 θ축 방향으로 회전하여 기판 반송로봇(22)의 기판 유지아암(23)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판 유지아암(69)으로 유지한 기판(W)을 기판 지지프레임(61)으로 인도한 후, 기판 지지프레임(61)이 X축 방향으로 전진하여 기판 반송로봇(22)의 기판 유지아암(23)이 기판 지지프레임(61)의 하측으로 이동한다. 게다가, 기판 유지아암(23)이 상승함으로써 기판(W)을 유지하고, X축 방향으로 후퇴한다. 그것에 의해, 기판 반송로봇(22)가 기판(W)을 받는다.
제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)은 기판 유지아암(23)으로 유지한 기판(W)을 회전식 도포유닛(10a)으로 반입한다. 그 후, 기판 반송로봇(22)은 레지스트가 도포된 기판(W)을 회전식 도포유닛(10a)에서 반출하고, 제2 기판 반송유닛(30)의 제1 기판 반송로봇(60)으로 넘긴다. 기판 반송로봇(22)에서 제1 기판 반송로봇(60)으로의 기판(W)의 교환동작은 상기 제1 기판 반송로봇(60)에서 기판 반송로봇(22)으로의 기판(W)의 교환동작과 반대 수순으로 행해진다. 이 기판(W)의 교환은 기판(W)을 노광장치(2a)측으로 반송하는 경우에는 제3 계층(H3)에서 행해지고, 기판(W)을 노광장치(2b)측으로 반송하는 경우에는 제2 계층(H2)에서 행해진다.
제1 기판 반송로봇(60)은 기판 반송로봇(22)에서 받아들인 기판(W)을 유지하여 제2의 반송로(31)를 Y축 방향으로 이동하고, 제3 계층(H3)에서 제2 기판 반송로봇(80a)으로 기판(W)을 넘긴다. 이 경우에는 제1 기판 반송로봇(60)은 기판 유지아암(69)으로 기판(W)을 유지하여 이동하고, 제2 기판 반송로봇(80a)의 기판유지아암(81)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판(W)을 기판 유지아암(69)에서 기판 지지프레임(61)으로 인도한 후 기판 지지프레임(61)을 Y축 방향으로 전진시킨다. 제2 기판 반송로봇(80a)은 기판 유지아암(81)을 기판 지지프레임(61)으로 지지된 기판(W)의 하측으로 이동시킨 후 상승함으로써 기판 지지프레임(61)에서 기판(W)을 받고, 또 Y축 방향으로 후퇴한다. 이것에 의해, 기판(W)이 제1 기판 반송로봇(60)의 기판 지지프레임(61)에서 제2 기판 반송로봇(80a)으로 넘겨진다.
제2 기판 반송로봇(80a)에서는 기판 유지아암(81)을 θ축 방향으로 회전하고, 또 기판 유지아암(81)을 기판 유지부(90a)측으로 전진시켜 기판 유지부(90a)의 선반에 기판(W)을 얹어놓고, 후퇴한다.
노광장치(2a)는 스스로 구비한 기판반송기구에 의해 기판 유지부(90a)에서 소정의 기판(W)을 받아 노광기로 노광처리를 행한다.
노광장치(2a)의 노광기에 의해 노광처리가 행해진 기판(W)은 다시 기판 유지부(90a)에 얹혀진다. 제2 기판 반송로봇(80a)은 기판 유지아암(81)에 의해 기판 유지부(90a)에서 노광처리가 끝난 기판(W)을 받는다. 게다가, 제1 기판 반송로봇(60)과의 사이에서 상기와 반대동작을 행하고, 기판(W)을 제1 기판 반송로봇(60)의 기판 지지프레임(61)으로 넘긴다.
제1 기판 반송로봇(60)은 제 2반송로(31)를 이동하고, 제3 계층(H3)에서 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)으로 노광처리가 끝난 기판(W)을 넘긴다. 이 경우, 제1 기판 반송로봇(60)은 기판(W)을 기판 유지아암(69)에서 기판 지지프레임(61)으로 인도함과 동시에, X축 방향으로 전진해서 기판(W)을 제1 기판 반송로봇(60)의 기판 지지프레임(61)에서 기판 반송로봇(22)의 기판 유지아암(23)으로 넘긴다. 게다가, 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)은 받아들인 기판(W)을 회전식 현상유닛(10b)으로 반입한다.
한편, 회전식 현상유닛(10a)에 의해 레지스트가 도포된 기판(W)을 노광장치(2b)로 반송하는 경우에는 제1 기판 반송로봇(60)이 기판 반송유닛(20)에서 받아들인 기판(W)을 유지해서 제2의 반송로(31)를 Y축 방향으로 이동하고, 제2 계층(H2)에서 제2 기판 반송로봇(80b)으로 기판(W)을 넘긴다. 이 경우에는 제1 기판 반송로봇(60)은 기판 유지아암(69)으로 기판(W)을 유지하여 이동하고, 제2 기판 반송로봇(80b)의 기판 유지아암(81)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판(W)을 기판 유지아암(69)에서 기판 지지프레임(61)으로 인도한 후, 기판 지지프레임(61)을 Y축 방향으로 전진시킨다. 제2 기판 반송로봇(80b)은 기판 유지아암(81)을 기판 지지프레임(61)으로 지지된 기판(W)의 하측으로 이동시킨 후, 상승함으로써 기판 지지프레임(61)에서 기판(W)을 받아들이고, 또 Y축 방향으로 후퇴한다. 이것에 의해, 기판(W)이 제1 기판 반송로봇(60)에서 제2 기판 반송로봇(80b)으로 넘겨진다.
제2 기판 반송로봇(80b)에서는 기판 지지프레임(81)을 θ축 방향으로 회전하고, 또 기판 지지프레임(81)을 기판 유지부(90b)측으로 전진시켜 기판 유지부(90b)의 선반에 기판(W)을 얹어놓고 후퇴한다.
외부용 기판 반송로봇(95)은 제3의 반송로(91)를 X축 방향으로 이동하고, 기판 유지부(90b)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판 유지아암(96)을 Y축 방향으로 전진해서 소정의 기판(W)의 하측으로 이동한 후 상승함으로써 기판(W)을 유지하고, 또 Y축 방향으로 후퇴한다.
게다가, 외부용 기판 반송로봇(95)은 기판(W)을 유지하여 제3의 반송로(91)를 이동하고, 노광장치(2b)의 기판수입부(53)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판 유지아암(96)을 Y축 방향으로 전진시켜 기판(W)을 기판수입부(53)로 넘긴다. 그 후, 기판 유지아암(96)을 Y축 방향으로 후퇴시킨다.
게다가, 노광장치(2b)의 노광기에 의해 노광처리가 행해진 기판(W)은 기판 인도부(54)에서 외부용 기판 반송로봇(95)으로 인도되고, 외부용 기판 반송로봇(95)에 의해 기판 유지부(90b)로 넘겨진다. 제2 기판 반송로봇(80b)은 기판 유지부(90b)에서 노광처리가 끝난 기판(W)을 받는다. 그리고, 제1 기판 반송로봇(60)이 제2의 반송로(31)를 이동하고, 제2 기판 반송로봇(80b)의 기판 유지아암(81)의 전방에 위치한다. 게다가, 기판 지지프레임(61)을 기판(W)의 하측으로 전진시켜 상승함으로써 기판 유지아암(81)상의 기판(W)을 기판 지지프레임(61)상에 받아놓는다.
제1 기판 반송로봇(60)은 기판(W)을 기판 지지프레임(61)에서 기판 유지아암(69)으로 인도한 후, 기판(W)을 유지해서 제2의 반송로(31)를 이동하고, 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판(W)을 기판 유지아암(69)에서 기판 지지프레임(61)으로 인도한 후, 제2 계층(H2)에서 기판(W)을 기판 지지프레임(61)에서 기판 반송로봇(22)의 기판 유지아암(23)으로 넘긴다.
제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)은 받아들인 기판(W)을 다른 회전식 현상유닛(10b)으로 반입한다.
기판처리장치(1)에서의 기판처리가 종료된 기판(W)은 제1 계층(H1)에서 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)에서 제2 기판 반송유닛(30)의 제1 기판 반송로봇(60)으로 넘겨져 기판 카셋트(43)에 저장된다.
제2 실시예의 기판처리장치(1)에 있어서는 제1 실시예의 기판처리장치(1)와 마찬가지로, 각 회전식 도포유닛(10a)에서 처리된 기판이 2개의 노광장치(2a,2b)로 분배되기 때문에, 기판처리장치(1)와 노광장치(2a,2b)와의 스루풋의 부정합에 의한 기판처리장치(1)의 운용효율의 저하를 회피 또는 저감할 수 있다. 게다가, 노광장치(2a,2b) 등의 외부장치를 기판처리장치(1)의 양측에 설치할 수 있기 때문에, 레이아웃의 유연성이 증가한다. 그 결과, 클린 룸내의 데드 스패이스를 저감할 수 있다.
게다가, 제2 실시예에서는 노광장치(2a,2b)와의 기판 교환부분에 복수의 기판(W)을 일시적으로 유지 가능한 기판 유지부(90a,90b)를 배치함으로써, 노광장치(2a,2b)와 기판처리장치(1)와의 스루풋의 부정합의 조정을 용이하게 하고, 기판처리의 쓸데없는 시간을 없앨 수 있다.
게다가, 한쌍의 제2 기판 반송로봇(80a,80b)을 설치함으로써, 제1 기판 반송로봇(60)의 이동거리가 단축되어 제1 기판 반송로봇(60)에 의한 기판(W)의 반송효율을 높일수 있다.
게다가, 제1 기판 반송로봇(60) 및 한쌍의 제2 기판 반송로봇(80a,80b)을 각각 제1 ∼ 제3 계층(H1∼H3)에 배치함으로써, 제2의 반송로(31)의 평면 점유면적이 커지게 되는 것이 방지되고, 그것에 의해 기판처리장치를 소형화 할 수 있다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에서의 기판처리장치의 평면도, 도 11은 도 10중의 C - C선 단면도, 도 12는 도 10중의 D - D선 단면도이다. 제3 실시예에 의한 기판처리장치는 제2 실시예에 의한 기판처리장치의 구성에 비해서 제2 기판 반송유닛(30)의 구성이 다르다. 그래서, 도 10 ∼ 도 12에 있어서, 도 3 ∼ 도 5에 나타낸 제2 실시예와 동일한 구성을 가지는 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙여 상세한 설명을 생략한다.
도 10 ∼ 도 12에 있어서, 제2 기판 반송유닛(30)은 제1 기판 반송유닛(20)의 제1의 반송로(21)의 일단부측에서 Y축 방향으로 연장되는 제2의 반송로(31)를 가진다. 제2의 반송로(31)에는 제1 기판 반송로봇(110), 한쌍의 제2 기판 반송로봇(80a,80b), 한쌍의 기판 유지부(90a,90b) 및 3대의 제3 기판 반송로봇(120a∼120c)이 배치되어 있다.
제1 기판 반송로봇(110)은 도 6에 나타낸 제2 실시예에서의 제1 기판 반송로봇(60)과 같이 기판 유지아암을 구비한 기판 유지부(111), 이동체(112), 지지대(113) 및 베이스(114)를 포함하고, 기판(W)을 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동하며, 또 연직축의 주위에서 회전 가능하게 구성되어 있다. 기판 유지부(111)는 도 6에 나타낸 제2 실시예의 기판 유지부(71)와 동일한 구조를 가지고 있다. 따라서, 이하의 설명에서는 기판 유지부(111)의 각 부에 대해서 도 6에 나타낸 부호를 참조한다.
3대의 제3 기판 반송로봇(120a∼120c)은 도 11에 나타낸 바와 같이, 제2의 반송로(31)의 Z축 방향으로 구성된 제1∼제3 계층(H1∼H3)에 각각 배치되어 있다. 도 13은 1대의 제3 기판 반송로봇의 사시도이다. 제3 기판 반송로봇(120a)은 기판 지지프레임(121)을 가지고 있다. 기판 지지프레임(121)의 상면에는 4개의 지지핀(122)이 배치되어 있고, 이 지지핀(122)에 의해 기판(W)의 외주 테두리가 지지된다. 기판 지지프레임(121)은 연결부(123)를 통해서 수평방향으로 연장되는 가이드 레일(124)에 걸어 맞추어져 있다. 그리고, 기판 지지프레임(121)은 수평 구동기구(도시하지 않음)에 의해 가이드 레일(124)을 따라서 수평방향(X축 방향)으로 슬라이드 이동한다. 가이드 레일(124)은 가이드 부재(125)에 형성되어 있다. 가이드 부재(125)의 하부는 지주(126)에 고정된 실린더(127)의 로드에 연결되어 있다. 이것에 의해, 실린더(127)의 로드가 신축하면 가이드 부재(125)가 연직방향으로 이동하고, 이것에 의해 기판 지지프레임(121)이 승강 이동한다.
지주(126)는 고정 플레이트(128)에 고정되어 있고, 또 고정 플레이트(128)는 제1 기판 반송유닛(20)과 제2 기판 반송유닛(30)과의 경계 위치에 형성된 프레임(130)에 고정되어 있다.
상기 구성에 있어서, 제1 기판 반송로봇(110)은 기판 카셋트(43) 및 3대의 제3 기판 반송로봇(120a∼120c)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행한다. 또한, 3대의 제3 기판 반송로봇(120a∼120c)은 각각 대응하는 제1 ∼제3 계층(H1∼H3)에서 제1 기판 반송로봇(110) 및 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행한다.
본 실시예에 있어서, 제2 기판 반송로봇(80a,80b)이 제2 기판 반송수단에 상당하고, 제1 기판 반송로봇(110)이 제1 기판 반송수단에 상당하며, 제3 기판 반송로봇(120a∼120c)이 제3 기판 반송수단에 상당한다.
다음에, 제3 실시예의 기판처리장치(1)의 동작의 일예를 설명한다. 제2 기판 반송유닛(30)의 제1 기판 반송로봇(110)은 기판 카셋트(43)에 수납된 기판(W)을 인출한다. 이 경우에는, 제1 기판 반송로봇(110)의 기판 유지아암(69)이 베이스(114), 지지대(113) 및 이동체(112)를 통해서 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동함과 동시에 θ축 방향으로 회전하고, 기판 카셋트(43)의 전방에 위치한다. 게다가, 기판 유지아암(69)이 X축 방향으로 전진해서 기판 카셋트(43)내의 소정의 기판(W)의 하측으로 이동한 후 상승함으로써 기판(W)을 유지하고, 또 X축 방향으로 후퇴한다.
제1 기판 반송로봇(110)은 도 11에 나나탠 바와 같이, 기판 카셋트(43)에서 인출한 기판(W)을 제3 계층(H3)의 제3 기판 반송로봇(120a)으로 넘긴다. 이 경우에는, 제1 기판 반송로봇(110)은 베이스(114), 지지대(113) 및 이동체(112)를 통해서 X축 방향 및 Z축 방향으로 이동함과 동시에 θ축 방향으로 회전하고, 제3 기판 반송로봇(120a)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판 유지아암(69)을 X축 방향으로 전진하고, 또 제3 기판 반송로봇(120a)의 기판 지지프레임(121)이 상승함으로써 기판(W)이 제1 기판 반송로봇(110)의 기판 유지아암(69)에서 제3 기판 반송로봇(120a)의 기판 지지프레임(121)으로 넘겨진다. 그 후, 제1 기판 반송로봇(110)의 기판 유지아암(69)이 X축 방향으로 후퇴한다.
기판(W)을 받아들인 제3 기판 반송로봇(120a)은 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)으로 기판(W)을 넘긴다. 이 경우에는 제3 기판 반송로봇(120a)의 기판 지지프레임(121)이 X축 방향으로 전진한다. 기판 반송로봇(22)은 기판 유지아암(23)을 기판(W)의 하측으로 이동시킨 후 상승함으로써 기판 지지프레임(121)에서 기판(W)을 받아들인다. 그 후, 기판 지지프레임(121)이 X축 방향으로 후퇴한다.
제1 기판반송로유닛(20)의 기판 반송로봇(22)은 기판 유지아암(23)으로 유지한 기판(W)을 회전식 도포유닛(10b)으로 반입한다. 그 후, 이 기판 반송로봇(22)은 레지스트가 도포된 기판(W)을 회전식 도포유닛(10a)에서 반출하고, 제2 기판 반송로봇(120a,120c)의 어느 것인가로 기판(W)을 넘긴다. 즉, 레지스트가 도포된 기판(W)을 노광장치(2b)로 반송하는 경우에는 제2 계층(H2)의 제3 기판 반송로봇(120b)으로 기판(W)을 넘기고, 노광장치(2a)로 반송하는 경우에는 제3 기판 반송로봇(120c)으로 넘긴다.
여기서는, 우선 노광장치(2a)로 기판(W)을 반송하는 경우를 설명한다. 기판 반송로봇(22)은 기판(W)을 유지한 기판 유지아암(23)을 Z축 방향으로 상승하고, 제3 계층(H3)에서 기판(W)을 제3 기판 반송로봇(120c)으로 넘긴다. 기판 반송로봇(22)에서 제3 기판 반송로봇(120c)으로의 기판(W)의 교환동작은 상기 제3 기판 반송로봇(120a)에서 기판 반송로봇(22)으로의 기판(W)의 교환동작과는 반대 수순으로 행해진다.
제3 기판 반송로봇(120c)의 기판 지지프레임(121)으로 기판(W)이 넘겨지면, 제2 기판 반송로봇(80a)의 기판 유지아암(81)을 θ축 방향으로 회전하고, 또 기판 유지아암(81)을 Y축 방향으로 전진시켜 기판 지지프레임(121)에 지지된 기판(W)의 하측으로 이동시킨 후 상승시킴으로써 기판(W)을 유지하고, 또 Y축 방향으로 후퇴한다. 이것에 의해, 제2 기판 반송로봇(80a)이 기판 지지프레임(121)에서 기판(W)을 받는다.
게다가, 제2 기판 반송로봇(80a)에서는 기판 유지아암(81)을 θ축 방향으로 회전하고, 또 기판 유지아암(81)을 기판 유지부(90a)측으로 전진시켜 기판 유지부(90a)의 선반에 기판(W)을 얹어놓고 후퇴한다.
노광장치(2a)는 스스로 구비한 기판반송기구에 의해 일시 기판 유지부(90a)에서 소정의 기판(W)을 받아들여 노광기로 노광처리를 행한다.
노광장치(2a)의 노광기에 의해 노광처리가 행해진 기판(W)은 기판 유지부(90a)에 얹혀진다. 제2 기판 반송로봇(80a)은 기판 유지아암(81)에 의해 기판 유지부(90a)에서 노광처리가 끝난 기판(W)을 받는다. 게다가, 제2 기판 반송로봇(80a)과는 상기와 반대동작을 행하고, 기판(W)을 제3 기판 반송로봇(120c)의 기판 지지프레임(121)으로 인도한다.
게다가, 제3 기판 반송로봇(120c)의 기판 지지프레임(121)이 기판(W)을 유지해서 X축 방향으로 전진하고, 기판(W)을 기판 반송로봇(22)의 기판 지지프레임(23)으로 넘긴다. 또, 기판 반송로봇(22)은 받은 기판(W)을 회전식 현상유닛(10b)으로 반입한다.
한편, 회전식 현상유닛(10a)에 의해 레지스트가 도포된 기판(W)을 노광장치(2b)로 반송하는 경우에는 기판 반송로봇(22)이 기판(W)을 유지한 기판 유지아암(23)을 Z축 방향으로 상승하고, 제2 계층(H2)에서 기판(W)을 제3 기판 반송로봇(120b)으로 넘긴다.
제3 기판 반송로봇(120b)의 기판 지지프레임(121)으로 기판(W)이 넘겨지면, 제2 기판 반송로봇(80b)의 기판 지지프레임(81)을 θ축 방향으로 회전하고, 또 기판 지지프레임(81)을 제3 기판 반송로봇(120b)의 기판 지지프레임(121)으로 지지된 기판(W)의 하측으로 이동시킨 후 상승하고 또 Y축 방향으로 후퇴한다. 이것에 의해, 제2 기판 반송로봇(80b)이 기판 지지프레임(121)에서 기판(W)을 받는다.
게다가, 제2 기판 반송로봇(80b)에서는 기판 지지프레임(81)을 θ축 방향으로 회전하고, 또 기판 지지프레임(81)을 기판 유지부(90b)측으로 전진시켜 기판 유지부(90b)의 선반에 기판(W)을 얹어놓고 후퇴한다.
외부용 기판 반송로봇(95)은 제3의 반송로(91)를 X축 방향으로 이동하고, 기판 유지부(90b)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판 유지아암(69)을 Y축 방향으로 전진시켜 소정의 기판(W)의 하측으로 이동한 후 상승함으로써 기판(W)을 유지하고, 또 X축 방향으로 후퇴한다.
게다가, 외부용 기판 반송로봇(95)은 기판(W)을 유지하여 제3의 반송로(91)를 이동하고, 노광장치(2a)의 기판수입부(53)의 전방에 위치한다. 그리고, 기판 유지아암(96)을 X축 방향으로 전진시켜 기판(W)을 기판수입부(53)로 넘긴다. 그 후, 기판 유지아암(96)을 Y축 방향으로 후퇴시킨다.
게다가, 노광장치(2b)의 노광기에 의해 노광처리가 행해진 기판(W)은 기판 인도부(54)에서 외부용 기판 반송로봇(95)으로 인도되고, 외부용 기판 반송로봇(95)에 의해 기판 유지부(90b)로 넘겨진다. 또, 제2 기판 반송로봇(80b)은 기판 유지부(90b)에서 노광처리가 끝난 기판(W)을 받는다. 그리고, 제2 기판 반송로봇(80b)이 상기와 반대의 동작을 행하고, 기판(W)을 제2 기판 반송로봇(80b)의 기판 유지아암(81)에서 제3 기판 반송로봇(120b)의 기판 지지프레임(121)으로 넘긴다.
게다가, 제3 기판 반송로봇(120b)은 기판 지지프레임(121)을 X축 방향으로 전진시켜 기판(W)을 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)으로 넘긴다.
제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)은 받은 기판(W)을 다른 회전식 현상유닛(10b)으로 반입한다.
기판처리장치(1)로의 기판처리가 종료된 기판(W)은 제1 계층(H1)에서 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)에서 제3 기판 반송로봇(120a)으로 넘겨지고, 또 제1 기판 반송로봇(110)으로 넘겨진다. 제1 기판 반송로봇(110)은 기판처리가 종료된 기판(W)을 기판 카셋트(43)에 저장한다.
제3 실시예의 기판처리장치(1)에서는 제1 및 제2 실시예의 기판처리장치(1)와 마찬가지로 각 회전식 도포유닛(10a)에서 처리된 기판이 2개의 노광장치(2a,2b)로 분배되기 때문에, 기판처리장치(1)와 노광장치(2a,2b)와의 스루풋의 부정합에 의한 기판처리장치(1)의 운용효율의 저하를 회피 또는 저감할 수 있다. 게다가, 노광장치(2a,2b) 등의 외부장치를 기판처리장치(1)의 양측에 설치할 수 있기 때문에, 레이아웃의 유연성이 증가한다. 그 결과, 클린 룸내의 데드 스패이스를 저감할 수 있다.
게다가, 제3 실시예에서는 연직방향으로 3대의 제3 기판 반송로봇(120a∼120c)을 배치함으로써, 제1 기판 반송로봇(110)과 제1 기판 반송유닛(20)의 기판 반송로봇(22)과의 사이에서 교환되는 기판(W)을 제3 기판 반송로봇(120a∼120c)에 일시적으로 유지할 수 있다. 이것에 의해, 기판처리장치(1)와 노광장치(2a,2b)와의 스루풋의 부정합의 조정이 더 용이하게 되어 기판처리의 쓸데없는 시간을 없앨 수있다.
도 14는 본 발명의 제4 실시예에서의 기판처리장치의 평면도이다. 제 4 실시예의 기판처리장치(1)는 제2 실시예에 의한 기판처리장치(1)의 구성에 비해서 기판처리부측의 구성만이 상이하다. 따라서, 도 14에 있어서, 제2 실시예와 동일한 구성을 가지는 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙인다.
도 14의 기판처리장치(1)의 기판처리부에서는 복수의 회전식 도포유닛(10a),회전식 현상유닛(10b)이 기판 반송로봇(130)의 주위를 둘러싸도록 배치되어 있다. 기판 반송로봇(130)은 기판(W)을 유지하는 기판 유지아암(131)을 가진다. 기판 유지아암(131)은 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 형성되어 있다. 게다가, 기판 유지아암(131)은 수평방향으로 진퇴이동 가능하게 형성되어 있다. 기판 반송로봇(130)은 기판 유지아암(131)을 통해서 제1 기판 반송로봇(60)과의 사이에서 기판(W)의 교환을 행함과 동시에, 기판(W)을 회전식 도포유닛(10a), 회전식 현상유닛(10b)으로 반송하고, 처리가 끝난 기판(W)을 반출한다. 여기서, 기판 반송로봇(130)이 본 발명의 처리부용 반송수단에 상당한다.
이와 같은 기판처리부를 가지는 기판처리장치(1)에서도 제2 및 제3 실시예의 기판처리장치(1)와 마찬가지로 노광장치(2a,2b)와의 사이에서 스루풋의 부정합에 의한 운용효율의 저하를 회피 또는 저감할 수 있다.
또, 제1 및 제3 실시예에 의한 기판처리장치(1)의 기판처리부에 대신해서 제4 실시예에 의한 기판처리장치(1)의 기판처리부의 구성을 적용하는 것도 가능하다.
이상의 설명으로부터 분명해진 바와 같이, 본 발명의 제1 발명에 의하면, 교환용 반송수단이 기판처리부와의 사이에서 처리전의 기판 및 처리가 끝난 기판을 교환함과 동시에, 교환용 반송로의 양단부측으로 각각 분배하여 기판을 반송한다. 따라서, 교환용 반송로의 양단부측의 외측에 2개의 외부장치를 설치할 수 있고, 기판처리부에서 처리된 기판을 2개의 외부장치로 분배함으로써, 외부장치에서의 처리시간이 기판처리부에서의 처리시간에 비해 긴 경우라도 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 경감할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제2 발명에 의하면, 교환용 반송수단은 기판처리부의 처리부용 반송로에서 기판을 반송함과 동시에, 각 처리유닛에 대해서 기판의 반입 또는 반출을 행하는 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판을 교환함으로써, 기판처리부로 처리전의 기판을 반입함과 동시에 처리가 끝난 기판을 기판처리부에서 반출할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제3 발명에 의하면, 교환용 반송수단에서 처리부용 반송수단으로 인도된 기판은, 반송영역의 주위에 배치된 처리유닛으로 반입되어 소정의 처리가 행해진다. 또한, 처리유닛에서 소정의 기판처리가 종료된 기판은 처리부용 반송수단에 의해 처리유닛에서 반출되어 교환용 반송수단으로 넘겨진다. 이것에 의해, 교환용 반송수단과 처리유닛과의 사이에서 처리부용 반송수단을 통해서 기판의 교환을 행할 수 있다는 효과가 있다.
또, 본 발명의 제4 발명에 의하면, 교환용 반송로의 양단부측에서 기판의 반출 및 반입을 행할 수 있기 때문에, 교환용 반송로의 양단부측에 2개의 외부장치를 설치할 수 있다. 따라서, 기판처리부에서 처리된 기판을 2개의 외부장치로 분배함으로써, 외부장치에서의 처리시간이 기판처리부의 각 처리유닛에서의 처리시간에 비해서 긴 경우라도 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 저감할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제5 발명에 의하면, 처리부용 반송수단은 교환용 반송수단에서 넘겨진 기판을 교환용 반송로에 직교하는 방향으로 연장되는 처리부용 반송로에서 반송하여 소정의 처리유닛으로 반입함과 동시에, 소정의 기판처리가 종료된 기판을 처리유닛에서 반출하고, 처리부용 반송로에서 반송하여 교환용 반송수단으로 기판을 넘길 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제6 발명에 의하면, 처리부용 반송수단은 주위에 배치된 처리유닛과의 사이에서 기판의 반입 및 반출을 행할 수 있다는 효과가 있다.
또, 본 발명의 제7 발명에 의하면, 교환용 반송수단은 기판수납부에서 기판을 인출하여 기판처리부로 반송함과 동시에, 기판처리부 또는 교환용 반송로의 양단부측에 배치된 외부장치에서 인도된 기판을 교환용 반송로에서 반송하여 기판수납부에 저장할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제8 발명에 의하면, 교환용 반송수단의 기판 유지아암을 수평방향 및 연직방향으로 이동시키고, 또 회전시키는 것이 가능해진다. 따라서, 교환용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 여러 가지 장치를 교환용 반송로를 따라서 최적의 위치에 설치할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제9 발명에 의하면, 교환용 반송수단에서 넘겨진 기판은 일시적으로 기판 유지부에 유지된 후 외부장치로 넘겨진다. 또한, 외부장치에서의 처리가 종료된 기판은 일시적으로 기판 유지부에 유지된 후 교환용 반송수단으로 넘겨진다. 따라서, 외부장치에서의 처리타이밍과 교환용 반송수단의 반송타이밍이 부정합한 경우라도 외부장치 및 교환용 반송수단이 기판의 교환을 위해 구속되는 시간이 단축되고, 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 저감할 수 있다는 효과가 있다.
또, 본 발명의 제10 발명에 의하면, 제2 기판 반송수단이 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행함으로써, 교환용 반송로에서의 제1 기판 반송수단의 이동거리가 단축되어 기판수납부, 기판처리부 및 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단에 의한 기판의 반송효율을 향상한는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제11 발명에 의하면, 제1 기판 반송수단의 제1 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제1 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 기판수납부, 기판처리부 및 제2 기판 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 기판 반송수단의 제2 기판 유지부가 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단 및 기판 유지부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제12 발명에 의하면, 제2 기판 반송수단에 의해 제1 기판 반송수단의 반송영역이 제한되는 것이 방지된다는 효과가 있다.
또, 본 발명의 제13 발명에 의하면, 교환용 반송수단이 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 제3 기판 반송수단을 포함하고 있고, 제1 기판 반송수단은 기판수납부 및 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하며, 제2 기판 반송수단은 제3 기판 반송수단 및 기판유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하며, 제3 기판 반송수단은 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 기판처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하고 있다. 따라서, 하나의 교환용 반송수단뿐인 경우에 비해서 기판수납부, 기판 유지부 및 기판처리부와의 기판의 교환을 행하기 위해 구속되는 시간이 단축되어 기판처리장치의 운용효율의 저하를 더 회피 또는 저감할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제14 발명에 의하면, 제1 기판 반송수단의 제1 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제1 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 기판수납부 및 제3 기판 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 기판 반송수단의 제2 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제3 기판 반송수단 및 기판 유지부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다. 게다가, 제3 기판 반송수단의 제3 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 기판 처리부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다는 효과가 있다. .
또한, 본 발명의 제15 발명에 의하면, 상하방향으로 제2 기판 반송수단과 제3 기판 반송수단을 대응시켜 계층(階層) 형태로 배치함으로써 기판처리장치의 평면 점유면적이 커지게 되는 것이 방지되어 기판처리장치를 소형화 할 수 있다는 효과가 있다.
또, 본 발명의 제16 발명에 의하면, 교환용 반송수단에서 넘겨진 기판은 일시적으로 기판 유지부에 유지된 후 외부장치로 넘겨진다. 또한, 외부장치에서의 처리가 종료된 기판은 일시적으로 기판 유지부에 유지된 후 교환용 반송수단으로 넘겨진다. 따라서, 외부장치에서의 처리타이밍과 교환용 반송수단의 반송타이밍이 부정합한 경우라도 외부장치 및 교환용 반송수단이 기판의 교환을 위해 구속되는 시간이 단축되어 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 저감할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제17 발명에 의하면, 제2 기판 반송수단이 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행함으로써, 교환용 반송로에서의 제1 기판 반송수단의 이동거리가 단축되어 기판처리부 및 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단에 의한 기판의 반송효율을 향상한다 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제18 발명에 의하면, 제1 기판 반송수단의 제1 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제1 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 기판처리부 및 제2 기판 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 기판 반송수단의 제2 기판 유지부가 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단 및 기판 유지부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다는 효과가 있다.
또, 본 발명의 제19 발명에 의하면, 제2 기판 반송수단에 의해 제1 기판 반송수단의 반송영역이 제한되는 것이 방지된다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제20 발명에 의하면, 교환용 반송수단이 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 제3 기판 반송수단을 포함하고 있고, 제1 기판 반송수단은 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하며, 제2 기판 반송수단은 제3 기판 반송수단 및 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하고, 제3 기판 반송수단은 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하고 있다. 따라서, 하나의 교환용 반송수단뿐인 경우에 비해서 기판 유지부 및 처리부용 반송수단과의 기판의 교환을 행하기 위해 구속되는 시간이 단축되고, 기판처리장치의 운용효율의 저하를 더 회피 또는 저감할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제21 발명에 의하면, 제1 기판 반송수단의 제1 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제1 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제3 기판 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 기판 반송수단의 제2 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제3 기판 반송수단 및 기판 유지부를 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다. 게다가, 제3 기판 반송수단의 제3 기판 유지아암이 수평방향 및 연직방향으로 이동 가능하게 되어 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 제1 기판 반송수단, 제2 기판 반송수단 및 처리부용 반송수단을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해진다는 효과가 있다. .
또, 본 발명의 제22 발명에 의하면, 상하방향으로 제2 기판 반송수단과 제3 기판 반송수단을 대응시켜 계층 형태로 배치함으로써 기판처리장치의 평면 점유면적이 커지게 되는 것이 방지되어 기판처리장치를 소형화 할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제23 발명에 의하면, 외부장치가 기판 반송수단을 가지지 않는 경우라도 외부용 기판 반송수단을 사용해서 기판 유지부와 외부장치와의 사이에서 기판을 교환할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 제24 발명에 의하면, 도포유닛에 의해 처리된 기판이 외부용 기판 반송수단에 의해 2개의 노광장치로 분배되어 반송된다. 따라서, 기판의 대구경화에 의해 노광장치에서의 처리시간이 증대하여 기판처리장치의 운용효율의 저하를 회피 또는 경감할 수 있다는 효과가 있다.

Claims (24)

  1. 소정의 방향으로 연장되는 교환용 반송로와,
    상기 교환용 반송로의 한쪽 측부측에 배치되는 기판처리부와,
    상기 교환용 반송로의 다른쪽 측부측에 배치되어 기판을 수납하는 기판수납부와,
    상기 교환용 반송로에서 기판을 반송함과 동시에, 상기 기판수납부 및 상기 기판처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하고, 또 상기 교환용 반송로의 양단부측에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 교환용 반송수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판처리부는, 상기 교환용 반송로에 직교하는 방향으로 연장되는 처리부용 반송로와, 상기 처리부용 반송로를 따라서 배치된 하나 또는 복수의 처리유닛과, 상기 처리부용 반송로에서 기판을 반송함과 동시에 각 처리유닛에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 처리부용 반송수단을 구비하고,
    상기 교환용 반송수단은, 상기 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 기판처리부는, 기판을 반송하기 위한 반송영역과, 상기 반송영역의 주위에 배치된 하나 또는 복수의 처리유닛과, 상기 반송영역에 설치되어 각 처리유닛에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 처리부용 반송수단을 구비하고,
    상기 교환용 반송수단은, 상기 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 기판에 소정의 처리를 행하는 하나 또는 복수의 처리유닛과, 각 처리유닛에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 처리부용 반송수단을 가지는 기판처리부와,
    상기 기판처리부에 인접하고, 또 소정의 방향으로 연장되는 교환용 반송로와,
    상기 교환용 반송로에서 기판을 반송함과 동시에, 상기 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하고, 또 상기 교환용 반송로의 양단부측에 대해서 기판의 반입 및 반출을 행하는 교환용 반송수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 기판처리부는, 상기 교환용 반송로에 직교하는 방향으로 연장되는 처리부용 반송로를 가지고,
    상기 처리부용 반송수단은, 상기 처리부용 반송로를 이동하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 기판처리부의 상기 하나 또는 복수의 처리유닛은, 상기 처리부용 반송수단의 주위에 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제4 항 내지 제6 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 교환용 반송로를 따라서 상기 기판처리부와 반대측에 배치되어 기판을 수납하는 기판수납부를 더 구비하고,
    상기 교환용 반송수단은, 상기 기판수납부에 대해서 기판의 저장 및 인출을 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 제1 항 내지 제7 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 교환용 반송수단은, 상기 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 이동부에 설치된 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 기판 유지아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  9. 제1 항 내지 제3 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 교환용 반송로내의 양단부에 각각 배치되고, 또 상기 교환용 반송로의 양단부의 외측에 배치되는 외부장치와의 사이에서 교환되는 기판을 일시적으로 유지하는 기판 유지부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 교환용 반송수단은, 상기 교환용 반송로내에 이동 가능하게 설치된 제1 기판 반송수단과, 상기 기판 유지부에 인접하는 위치에 각각 배치된 제2 기판 반송수단을 포함하고,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 기판수납부, 상기 기판처리부 및 상기 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하고,
    상기 제2 기판 반송수단은, 상기 제1 기판 반송수단 및 상기 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 이동부에 설치된 제1 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 제1 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제1 기판 유지아암을 포함하고,
    상기 제2 기판 반송수단은, 상기 교환용 반송로에 고정된 고정부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 고정부에 설치된 제2 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 제2 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제2 기판 유지아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 제2 기판 반송수단의 하측을 이동 가능하게 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 교환용 반송수단은, 상기 교환용 반송로내에 이동 가능하게 설치된 제1 기판 반송수단과, 상기 기판 유지부에 인접하는 위치에 각각 설치된 제2 기판 반송수단과, 상기 기판처리부와의 기판 교환위치에 설치된 제3 기판 반송수단을 포함하고,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 기판수납부 및 상기 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하고,
    상기 제2 기판 반송수단은, 상기 제3 기판 반송수단 및 상기 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하며,
    상기 제3 기판 반송수단은, 상기 제1 기판 반송수단, 상기 제2 기판 반송수단 및 상기 기판처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 이동부에 설치된 제1 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 제1 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제1 기판 유지아암을 포함하고,
    상기 제2 기판 반송수단은, 상기 교환용 반송로에 고정된 제1 고정부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 제1 고정부에 설치된 제2 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 제2 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제2 기판 유지아암을 포함하며,
    상기 제3 기판 반송수단은, 상기 기판처리부와의 기판 교환위치에 고정된 제2 고정부와, 연직방향으로 이동 가능하게 상기 고정부에 설치된 제3 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 제3 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제3 기판 유지아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 교환용 반송로의 한쪽 단부에 배치된 한쪽의 상기 제2 기판 반송수단과 상기 교환용 반송로의 다른쪽 단부에 배치된 다른쪽의 상기 제2 기판 반송수단은 상기 기판수납부보다 상방의 다른 높이에 배치되어 있고,
    상기 제3 기판 반송수단은 상하방향으로 복수 배치되어 있고, 상기 제3 기판 반송수단중 적어도 하나는 상기 한쪽의 제2 기판 반송수단에 대응하는 높이에 배치되고,
    상기 제3 기판 반송수단중 적어도 다른 하나는 상기 다른쪽의 제2 기판 반송수단에 대응하는 높이에 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  16. 제4 항 내지 제7 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 교환용 반송로내의 양단부에 각각 배치되고, 상기 교환용 반송로의 양단부의 외측에 배치되는 외부장치와의 사이에서 교환되는 기판을 일시적으로 유지하는 기판 유지부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 교환용 반송수단은, 상기 교환용 반송로내에 이동 가능하게 설치된 제1 기판 반송수단과, 상기 기판 유지부에 인접하는 위치에 각각 배치된 제2 기판 반송수단을 포함하고,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 처리부용 반송수단 및 상기 제2 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하고,
    상기 제2 기판 반송수단은, 상기 제1 기판 반송수단 및 상기 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 이동부에 설치된 제1 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 제1 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제1 기판 유지아암을 포함하고,
    상기 제2 기판 반송수단은, 상기 교환용 반송로에 고정된 고정부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 고정부에 설치된 제2 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 제2 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제2 기판 유지아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 제2 기판 반송수단의 하측을 이동 가능하게 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  20. 제16 항에 있어서,
    상기 교환용 반송수단은, 상기 교환용 반송로내에 이동 가능하게 설치된 제1 기판 반송수단과, 상기 기판 유지부에 인접하는 위치에 각각 설치된 제2 기판 반송수단과, 상기 기판처리부와의 기판 교환위치에 설치된 제3 기판 반송수단을 포함하고,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 제3 기판 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하고,
    상기 제2 기판 반송수단은, 상기 제3 기판 반송수단 및 상기 기판 유지부와의 사이에서 기판의 교환을 행하며,
    상기 제3 기판 반송수단은, 상기 제1 기판 반송수단, 상기 제2 기판 반송수단 및 상기 처리부용 반송수단과의 사이에서 기판의 교환을 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  21. 제20 항에 있어서,
    상기 제1 기판 반송수단은, 상기 교환용 반송로를 이동 가능한 이동부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 이동부에 설치된 제1 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 제1 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제1 기판 유지아암을 포함하고,
    상기 제2 기판 반송수단은, 상기 교환용 반송로에 고정된 제1 고정부와, 연직방향으로 이동 가능함과 동시에 연직축의 주위에서 회전 가능하게 상기 고정부에 설치된 제2 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 제2 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제2 기판 유지아암을 포함하며,
    상기 제3 기판 반송수단은, 상기 처리부용 반송수단과의 기판 교환위치에 고정된 제2 고정부와, 연직방향으로 이동 가능하게 상기 제2 고정부에 설치된 제3 가동부와, 수평방향으로 이동 가능하게 상기 제3 가동부에 설치되어 기판을 유지하는 제3 기판 유지아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 교환용 반송로의 한쪽 단부에 배치된 한쪽의 상기 제2 기판 반송수단과 상기 교환용 반송로의 다른쪽 단부에 배치된 다른쪽의 상기 제2 기판 반송수단은 다른 높이에 배치되어 있고,
    상기 제3 기판 반송수단은 상하방향으로 복수 배치되어 있고, 상기 제3 기판 반송수단중 적어도 하나는 상기 한쪽의 제2 기판 반송수단에 대응하는 높이에 배치되고,
    상기 제3 기판 반송수단중 적어도 다른 하나는 상기 다른쪽의 제2 기판 반송수단에 대응하는 높이에 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  23. 제9 항 내지 제22 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 유지부와 상기 외부장치와의 사이에서 기판을 교환하는 외부용 기판 반송수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  24. 제23 항에 있어서,
    상기 기판처리부의 상기 하나 또는 복수의 처리유닛의 적어도 하나는 기판의 도포액을 도포하는 도포유닛이고, 상기 외부용 기판 반송수단은 상기 외부장치인 노광장치에 대해서 상기 도포유닛에 의해 처리된 기판의 반입 및 반출을 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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