JP5318005B2 - 基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法 - Google Patents

基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法 Download PDF

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Description

本発明は、基板に処理を行う基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法に関する。
半導体基板、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板等の各種基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられる。
外部から基板処理装置に複数の基板を搬入および搬出するために基板収納容器が用いられる。このような基板収納容器としてＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）がある。この基板収納容器には、基板を取り出すためまたは基板を収納するための開口部が形成され、その開口部を開閉するための蓋が設けられる。
基板収納容器を載置するとともに、載置された基板収納容器の蓋を開閉するためのオープナーがある。オープナーを備える基板処理装置においては、例えば処理前の基板が収納された基板収納容器が基板処理装置のオープナーに載置される。この状態で、基板収納容器の蓋が開かれ、基板収納容器内の処理前の基板が基板処理装置内に取り出される。これにより、取り出された基板に所定の処理が施される。その後、基板処理装置による処理後の基板が空の基板収納容器内に収納される。処理後の基板が収納された基板収納容器は蓋が閉じられた状態で、オープナー上から基板処理装置の外部に搬送される（例えば、特許文献１参照）。
特開２００３−２５７９４５号公報
近年、基板に処理を行う処理部の積層化にともない、基板処理装置の処理能力の向上が図られている。この場合、基板処理装置による単位時間当たりに処理可能な基板の枚数が増加するので、基板収納容器から基板処理装置内に取り出す基板の数を増加させることが求められる。また、単位時間当たりに基板処理装置内から基板収納容器内に収納する基板の数を増加させることが求められる。したがって、基板収納容器を載置するオープナーの数も基板処理装置の処理能力の向上に応じて増加させることが好ましい。
しかしながら、フットプリントの制約等により設置可能なオープナーの数には制限がある。そのため、基板処理装置のスループットが基板収納容器の交換時間により律速される場合がある。
本発明の目的は、大型化を抑制しつつ基板処理のスループットを十分に向上させることができる基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法を提供することである。
（１）第１の発明に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、複数の基板が収納された基板収納容器が搬入および搬出されるストッカー装置と、ストッカー装置に搬入された基板収納容器から基板を取り出し、取り出された基板に所定の処理を行うとともに処理後の基板を基板収納容器に収納する本体部とストッカー装置の動作を制御する制御部とを備え、ストッカー装置は、基板収納容器が載置される複数の載置部と、複数の載置部の間で基板収納容器を搬送する搬送装置とを備え、搬送装置は、基板収納容器の上部を保持可能でかつ複数の載置部の間でそれぞれ独立に移動可能に構成された第１および第２の保持部を備え、第２の保持部は、第１の保持部の下方に設けられ、制御部は、第１の保持部と複数の載置部のいずれかとの間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部により保持される基板収納容器が第１の保持部と第２の保持部との間に位置するように第１の保持部と第２の保持部との間の上下方向の距離を基板収納容器の高さよりも大きくし、第２の保持部と最も高い位置に配置された載置部との間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部と第２の保持部との間の上下方向の距離を基板収納容器の高さよりも小さくするものである。
この基板処理装置においては、処理前の基板が収納された基板収納容器がストッカー装置に搬入される。基板収納容器がストッカー装置に搬入されると、本体部により基板収納容器に収納された基板が取り出され、取り出された基板に所定の処理が施される。処理後の基板は、本体部により基板収納容器に収納される。処理後の基板が収納された基板収納容器がストッカー装置から搬出される。
ストッカー装置においては、複数の載置部に基板収納容器が載置される。複数の載置部の間では搬送装置により基板収納容器が搬送される。
搬送装置は第１および第２の保持部を備える。これにより、いずれか一の載置部に一の基板収納容器が載置された状態で第１および第２の保持部のうち一方の保持部により他の基板収納容器を保持させるとともに他の基板収納容器を一の載置部に対向する位置で待機させることができる。
この状態で、一の載置部に載置された一の基板収納容器が搬送可能な状態になると、一の基板収納容器を第１および第２の保持部のうち他方の保持部により保持して一の載置部上から取り出させるとともに、一方の保持部により他の基板収納容器を一の載置部に迅速に載置させることができる。
このように、各載置部上での基板収納容器の交換時間が十分に短縮される。したがって、最小限の数の載置部を設けることにより、基板処理のスループットを向上させることができる。
また、搬送装置において、第２の保持部は第１の保持部の下方に設けられる。それにより、第１および第２の保持部を含む構造体がコンパクトに構成される。
さらに、第１の保持部と複数の載置部のいずれかとの間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部により保持される基板収納容器が第１の保持部と第２の保持部との間に位置するように第１の保持部と第２の保持部との上下方向の距離が基板収納容器の高さよりも大きくなる。また、第２の保持部と最も高い位置に配置された載置部との間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部と第２の保持部との間の上下方向の距離が基板収納容器の高さよりも小さくなる。
これらより、基板処理装置の大型化を抑制しつつ、基板処理のスループットを十分に向上させることが可能となる。
第１および第２の保持部は、それぞれ独立に移動可能に構成される。
この場合、載置部上からの基板収納容器の取り出し動作、基板収納容器の載置部への載置動作、および基板収納容器の搬送動作を並行して行うことが可能となる。それにより、ストッカー装置内での基板収納容器の搬送時間が短縮される。
（２）複数の載置部は、水平方向に整列するように配置され、搬送装置は、第１および第２の保持部を複数の載置部の整列方向に沿って移動させる水平移動機構と、第１および第２の保持部をそれぞれ独立して上下方向に移動させる上下移動機構とをさらに備えてもよい。
この場合、水平移動機構により、第１および第２の保持部が複数の載置部の整列方向に移動する。また、上下移動機構により、第１および第２の保持部がそれぞれ独立して上下方向に移動する。
これにより、簡単な構成でいずれかの載置部上に載置された基板収納容器を第１および第２の保持部のうち一方の保持部によりその載置部上から取り出し、取り出した基板収納容器を他の載置部へ搬送し、第１および第２の保持部のうち他方の保持部により保持された基板収納容器をその基板収納容器が取り出された載置部上に載置することが可能である。
さらに、上下方向においては、第１および第２の保持部を相対的に移動させることができるので、第１および第２の保持部を互いに近接させ、または離間させることができる。これにより、上下方向で制限された基板処理装置内の空間を有効に利用することができる。
（３）上下移動機構は、第１および第２の保持部を上下方向に移動可能に支持する支持体と、支持体を上下方向に移動させる支持体上下移動機構と、支持体に対して第１および第２の保持部をそれぞれ上下方向に移動させる第１および第２の保持部移動機構とを含み、水平移動機構は、支持体を複数の載置部の整列方向に沿って移動させてもよい。
この場合、上下移動機構により支持体を上下方向に移動させつつ、第１および第２の保持部移動機構により第１および第２の保持部を上下方向に移動させることができる。それにより、第１および第２の保持部の上下方向の移動が高速化する。その結果、ストッカー装置における基板収納容器の搬送時間を十分に短縮化することができる。
また、水平移動機構により支持体が複数の載置部の整列方向に沿って移動する。これにより、第１および第２の保持部を同時に複数の載置部の整列方向に沿って移動させることができる。
（４）支持体は、互いに間隔をおいてそれぞれ上下方向に延びるように設けられた第１および第２の支持部材を含み、第１の保持部移動機構は、第１の保持部を第１の支持部材に沿って移動させ、第２の保持部移動機構は、第２の保持部を第２の支持部材に沿って移動させ、第１および第２の保持部は、第１および第２の支持部材の間の位置と複数の載置部の各々の位置との間で進退可能に構成されてもよい。
この場合、第１および第２の保持部移動機構により第１および第２の保持部がそれぞれ第１および第２の支持部材に沿って上下方向に移動する。これにより、簡単な構成で第１および第２の保持部を上下方向に移動させることができる。
また、第１および第２の保持部は、第１の支持部材と第２の支持部材との間の位置と複数の載置部の各々の位置との間で進退する。これにより、単純な動作でいずれかの載置部上に載置された基板収納容器を第１および第２の保持部のうち一方の保持部によりその載置部上から取り出し、第１および第２の保持部のうち他方の保持部により保持された基板収納容器をその載置部上に載置することができる。したがって、第１および第２の支持部材の構成および動作を単純化することができる。
（５）基板収納容器は、基板を取り出すためまたは基板を収納するための開口部およびその開口部を開閉するための蓋を含み、ストッカー装置は、基板収納容器の蓋を開閉するオープナーをさらに備え、複数の載置部のうち少なくとも一部の載置部はオープナーの上面に設けられ、制御部は、少なくとも一部の載置部のうちいずれか一の載置部に一の基板収納容器が載置された状態で第２の保持部により他の基板収納容器を保持させるとともに第２の保持部および他の基板収納容器を一の載置部が設けられたオープナーに対向する位置で待機させ、一の載置部に載置された一の基板収納容器が搬送可能な状態となると、一の基板収納容器を第１の保持部により保持して一の載置部上から取り出させるとともに、第２の保持部により他の基板収納容器を一の載置部に載置させるように搬送装置を制御してもよい。
この場合、少なくとも一部の載置部のうちいずれか一の載置部に一の基板収納容器が載置された状態で第２の保持部により上方から他の基板収納容器が保持されるとともに、第２の保持部および保持された他の基板収納容器が一の載置部が設けられたオープナーに対向する位置で待機する。
一の載置部に載置された一の基板収納容器が搬送可能な状態となると、一の基板収納容器が第１の保持部により上方から保持されて一の載置部上から取り出されるとともに、第２の保持部により保持された他の基板収納容器が一の載置部に迅速に載置される。
このように、各載置部上での基板収納容器の交換時間が十分に短縮される。したがって、最小限の数の載置部を設けることにより、基板処理のスループットを向上させることができる。
これらより、基板処理装置の大型化を抑制しつつ、基板処理のスループットを十分に向上させることが可能となる。
（６）制御部は、第１または第２の保持部に異常が発生したか否かを判定し、第１および第２の保持部のうち一方に異常が発生した場合に、一方の保持部の動作を停止させ、他方の保持部に各載置部への基板収納容器の載置動作、各載置部からの基板収納容器の取り出し動作、および複数の載置部間での基板収納容器の搬送動作を行わせるように搬送装置を制御してもよい。
この場合、第１および第２の保持部のうちいずれか一方の保持部に異常が発生しても、正常な他方の保持部を用いて各載置部への基板収納容器の載置動作、各載置部からの基板収納容器の取り出し動作、および複数の載置部間での基板収納容器の搬送動作を継続することができる。その結果、基板処理装置の生産効率が著しく低下することが防止される。
（７）第２の発明に係るストッカー装置は、複数の基板を収納可能な基板収納容器が載置される複数の載置部と、複数の載置部の間で基板収納容器を搬送する搬送装置と、制御部とを備え、搬送装置は、基板収納容器の上部を保持可能でかつ複数の載置部の間でそれぞれ独立に移動可能に構成された第１および第２の保持部を備え、第２の保持部は、第１の保持部の下方に設けられ、制御部は、第１の保持部と複数の載置部のいずれかとの間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部により保持される基板収納容器が第１の保持部と第２の保持部との間に位置するように第１の保持部と第２の保持部との間の上下方向の距離を基板収納容器の高さよりも大きくし、第２の保持部と最も高い位置に配置された載置部との間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部と第２の保持部との間の上下方向の距離を基板収納容器の高さよりも小さくするものである。
このストッカー装置においては、複数の載置部に基板収納容器が載置される。複数の載置部の間では搬送装置により基板収納容器が搬送される。
搬送装置は第１および第２の保持部を備える。これにより、いずれか一の載置部に一の基板収納容器が載置された状態で第１および第２の保持部のうち一方の保持部により他の基板収納容器を保持させるとともに他の基板収納容器を一の載置部に対向する位置で待機させることができる。
この状態で、一の載置部に載置された一の基板収納容器が搬送可能な状態になると、一の基板収納容器を第１および第２の保持部のうち他方の保持部により保持して一の載置部上から取り出させるとともに、一方の保持部により他の基板収納容器を一の載置部に迅速に載置させることができる。
このように、各載置部上での基板収納容器の交換時間が十分に短縮される。したがって、最小限の数の載置部を設けることにより、ストッカー装置内での基板収納容器の搬送時間を短縮することができる。
また、搬送装置において、第２の保持部は第１の保持部の下方に設けられる。それにより、第１および第２の保持部を含む構造体がコンパクトに構成される。
さらに、第１の保持部と複数の載置部のいずれかとの間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部により保持される基板収納容器が第１の保持部と第２の保持部との間に位置するように第１の保持部と第２の保持部との上下方向の距離が基板収納容器の高さよりも大きくなる。また、第２の保持部と最も高い位置に配置された載置部との間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部と第２の保持部との間の上下方向の距離が基板収納容器の高さよりも小さくなる。
これらより、ストッカー装置の大型化を抑制しつつ、基板の搬送時間を短縮することができる。したがって、このストッカー装置を基板処理装置に設けた場合に、基板処理のスループットを十分に向上させることが可能となる。
第１および第２の保持部は、それぞれ独立に移動可能に構成される。
この場合、載置部上からの基板収納容器の取り出し動作、基板収納容器の載置部への載置動作、および基板収納容器の搬送動作を並行して行うことが可能となる。それにより、ストッカー装置内での基板収納容器の搬送時間が短縮される。
（８）複数の載置部は、水平方向に整列するように配置され、搬送装置は、第１および第２の保持部を複数の載置部の整列方向に沿って移動させる水平移動機構と、第１および第２の保持部をそれぞれ独立して上下方向に移動させる上下移動機構とをさらに備えてもよい。
この場合、水平移動機構により、第１および第２の保持部が複数の載置部の整列方向に移動する。また、上下移動機構により、第１および第２の保持部がそれぞれ独立して上下方向に移動する。
これにより、簡単な構成でいずれかの載置部上に載置された基板収納容器を第１および第２の保持部のうち一方の保持部によりその載置部上から取り出し、取り出した基板収納容器を他の載置部へ搬送し、第１および第２の保持部のうち他方の保持部により保持された基板収納容器をその基板収納容器が取り出された載置部上に載置することが可能である。
さらに、上下方向においては、第１および第２の保持部を相対的に移動させることができるので、第１および第２の保持部を互いに近接させ、または離間させることができる。これにより、上下方向で制限されたストッカー装置内の空間を有効に利用することができる。
（９）上下移動機構は、第１および第２の保持部を上下方向に移動可能に支持する支持体と、支持体を上下方向に移動させる支持体上下移動機構と、支持体に対して第１および第２の保持部をそれぞれ上下方向に移動させる第１および第２の保持部移動機構とを含み、水平移動機構は、支持体を複数の載置部の整列方向に沿って移動させてもよい。
この場合、上下移動機構により支持体を上下方向に移動させつつ、第１および第２の保持部移動機構により第１および第２の保持部を上下方向に移動させることができる。それにより、第１および第２の保持部の上下方向の移動が高速化する。その結果、ストッカー装置における基板収納容器の搬送時間を十分に短縮化することができる。
また、水平移動機構により支持体が複数の載置部の整列方向に沿って移動する。これにより、第１および第２の保持部を同時に複数の載置部の整列方向に沿って移動させることができる。
（１０）支持体は、互いに間隔をおいてそれぞれ上下方向に延びるように設けられた第１および第２の支持部材を含み、第１の保持部移動機構は、第１の保持部を第１の支持部材に沿って移動させ、第２の保持部移動機構は、第２の保持部を第２の支持部材に沿って移動させ、第１および第２の保持部は、第１および第２の支持部材の間の位置と複数の載置部の各々の位置との間で進退可能に構成されてもよい。
この場合、第１および第２の保持部移動機構により第１および第２の保持部がそれぞれ第１および第２の支持部材に沿って上下方向に移動する。これにより、簡単な構成で第１および第２の保持部を上下方向に移動させることができる。
また、第１および第２の保持部は、第１の支持部材と第２の支持部材との間の位置と複数の載置部の各々の位置との間で進退する。これにより、単純な動作でいずれかの載置部上に載置された基板収納容器を第１および第２の保持部のうち一方の保持部によりその載置部上から取り出し、第１および第２の保持部のうち他方の保持部により保持された基板収納容器をその載置部上に載置することができる。したがって、第１および第２の支持部材の構成および動作を単純化することができる。
（１１）基板収納容器は、基板を取り出すためまたは基板を収納するための開口部およびその開口部を開閉するための蓋を含み、ストッカー装置は、基板収納容器の蓋を開閉するオープナーをさらに備え、複数の載置部のうち少なくとも一部の載置部はオープナーの上面に設けられ、制御部は、少なくとも一部の載置部のうちいずれか一の載置部に一の基板収納容器が載置された状態で第２の保持部により他の基板収納容器を保持させるとともに第２の保持部および他の基板収納容器を一の載置部が設けられたオープナーに対向する位置で待機させ、一の載置部に載置された一の基板収納容器が搬送可能な状態となると、一の基板収納容器を第１の保持部により保持して一の載置部上から取り出させるとともに、第２の保持部により他の基板収納容器を一の載置部に載置させるように搬送装置を制御してもよい。
このストッカー装置においては、複数の載置部に基板収納容器が載置される。複数の載置部の間では搬送装置により基板収納容器が搬送される。
少なくとも一部の載置部のうちいずれか一の載置部に一の基板収納容器が載置された状態で第２の保持部により上方から他の基板収納容器が保持されるとともに、第２の保持部および保持された他の基板収納容器が一の載置部が設けられたオープナーに対向する位置で待機する。
一の載置部に載置された一の基板収納容器が搬送可能な状態となると、一の基板収納容器が第１の保持部により上方から保持されて一の載置部上から取り出されるとともに、第２の保持部により保持された他の基板収納容器が一の載置部に迅速に載置される。
このように、各載置部上での基板収納容器の交換時間が十分に短縮される。したがって、最小限の数の載置部を設けることにより、ストッカー装置内での基板収納容器の搬送時間を短縮することができる。
これらより、ストッカー装置の大型化を抑制しつつ、基板の搬送時間を短縮することができる。したがって、このストッカー装置を基板処理装置に設けた場合に、基板処理のスループットを十分に向上させることが可能となる。
（１２）制御部は、第１または第２の保持部に異常が発生したか否かを判定し、第１および第２の保持部のうち一方に異常が発生した場合に、一方の保持部の動作を停止させ、他方の保持部に各載置部への基板収納容器の載置動作、各載置部からの基板収納容器の取り出し動作、および複数の載置部間での基板収納容器の搬送動作を行わせるように搬送装置を制御してもよい。
この場合、第１および第２の保持部のうちいずれか一方の保持部に異常が発生しても、正常な他方の保持部を用いて各載置部への基板収納容器の載置動作、各載置部からの基板収納容器の取り出し動作、および複数の載置部間での基板収納容器の搬送動作を継続することができる。その結果、このストッカー装置を基板処理装置に設けた場合に、基板処理装置の生産効率が著しく低下することが防止される。
（１３）第３の発明に係る基板収納容器の搬送方法は、ストッカー装置を用いて複数の基板を収納可能な基板収納容器を搬送する搬送方法であって、ストッカー装置は、基板収納容器が載置される複数の載置部と、複数の載置部の間で基板収納容器を搬送する搬送装置とを備え、搬送装置は、基板収納容器の上部を保持可能でかつ複数の載置部の間でそれぞれ独立に移動可能に構成された第１および第２の保持部を備え、第２の保持部は、第１の保持部の下方に設けられ、搬送方法は、基板収納容器が載置される複数の載置部の間で基板収納容器を第１および第２の保持部により搬送するステップを備え、搬送するステップは、第１の保持部と複数の載置部のいずれかとの間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部により保持される基板収納容器が第１の保持部と第２の保持部との間に位置するように第１の保持部と第２の保持部との間の上下方向の距離を基板収納容器の高さよりも大きくし、第２の保持部と最も高い位置に配置された載置部との間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部と第２の保持部との間の上下方向の距離を基板収納容器の高さよりも小さくするステップを備えるものである。
この基板収納容器の搬送方法においては、複数の載置部に基板収納容器が載置される。複数の載置部の間では第１および第２の保持部により基板収納容器が搬送される。
搬送装置は第１および第２の保持部を備える。これにより、いずれか一の載置部に一の基板収納容器が載置された状態で第１および第２の保持部のうちの一方の保持部により他の基板収納容器を保持させるとともに他の基板収納容器を一の載置部に対向する位置で待機させることができる。
一の載置部に載置された一の基板収納容器が搬送可能な状態となると、一の基板収納容器が第１の保持部により上方から保持されて一の載置部上から取り出されるとともに、第２の保持部により保持された他の基板収納容器が一の載置部に迅速に載置される。
このように、各載置部上での基板収納容器の交換時間が十分に短縮される。したがって、最小限の数の載置部を設けることにより、基板収納容器の搬送時間を短縮することができる。
さらに、搬送するステップにおいては、第１の保持部と複数の載置部のいずれかとの間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部により保持される基板収納容器が第１の保持部と第２の保持部との間に位置するように第１の保持部と第２の保持部との上下方向の距離が基板収納容器の高さよりも大きくなる。また、第２の保持部と最も高い位置に配置された載置部との間で基板収納容器の受け渡しを行う場合に第１の保持部と第２の保持部との間の上下方向の距離が基板収納容器の高さよりも小さくなる。
これらより、基板収納容器を搬送するための構成の大型化を抑制しつつ、基板の搬送時間を短縮することができる。したがって、この搬送方法を基板処理装置に適用することにより、基板処理のスループットを十分に向上させることが可能となる。
（１４）搬送するステップは、第１または第２の保持部に異常が発生したか否かを判定するステップと、第１および第２の保持部のうち一方に異常が発生した場合に、一方の保持部の動作を停止させ、他方の保持部に各載置部への基板収納容器の載置動作、各載置部からの基板収納容器の取り出し動作、および複数の載置部間での基板収納容器の搬送動作を行わせるステップとをさらに備えてもよい。
この場合、第１および第２の保持部のうちいずれか一方の保持部に異常が発生しても、正常な他方の保持部を用いて各載置部への基板収納容器の載置動作、各載置部からの基板収納容器の取り出し動作、および複数の載置部間での基板収納容器の搬送動作を継続することができる。その結果、この搬送方法を基板処理装置に適用することにより、基板処理装置の生産効率が著しく低下することが防止される。
本発明によれば、基板収納容器を搬送する構成の大型化を抑制しつつ基板処理のスループットを十分に向上させることができる。
本発明の一実施の形態に係る基板処理装置を一側方から見た一部切り欠き断面図である。 図１のＡ−Ａ線縦断面図である。 図１のＢ−Ｂ線横断面図である。 図１のＣ−Ｃ線における一部拡大縦断面図である。 第１のハンドの動作を示す図４のＤ−Ｄ線横断面図である。 ストッカー装置におけるキャリアの交換動作を説明するための模式的縦断面図である。 ストッカー装置におけるキャリアの交換動作を説明するための模式的縦断面図である。 ストッカー装置におけるキャリアの交換動作を説明するための模式的縦断面図である。 本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の制御系を示すブロック図である。 メインコントローラによる異常判定処理の一例を示すフローチャートである。 他の実施の形態に係る基板処理装置のストッカー装置およびインデクサブロックの一部切り欠き断面図である。 図１１のＧ−Ｇ線横断面図である。 ３つのハンドを備える搬送装置を説明するための図である。
以下、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置、ストッカー装置および基板収納容器の搬送方法について図面を参照しつつ説明する。以下の説明において、基板とは、半導体基板、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板等をいう。
本実施の形態に係る基板処理装置には、外部（例えば他の基板処理装置）から複数枚の基板を多段に収納するキャリアが搬入される。基板処理装置内では、搬入されたキャリアから処理前の基板が取り出され、取り出された基板に所定の処理が施される。その後、処理後の基板がキャリアに収納される。処理後の基板を収納するキャリアが基板処理装置から搬出される。本実施の形態では、キャリアとしてＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）が用いられる。ＦＯＵＰには、基板を取り出すためまたは基板を収納するための開口部が形成され、その開口部を開閉するための蓋が設けられる。ＦＯＵＰを用いることにより、複数の基板を密閉空間内に保持しつつ搬送することが可能となる。
（１）基板処理装置の構成
図１は本発明の一実施の形態に係る基板処理装置を一側方から見た一部切り欠き断面図であり、図２は図１のＡ−Ａ線縦断面図であり、図３は図１のＢ−Ｂ線横断面図である。なお、図１〜図３ならびに後述する図４〜図８および図１１〜図１３には、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向を示す矢印を付す。Ｘ方向およびＹ方向は水平面内で互いに直交し、Ｚ方向は鉛直方向に相当する。
図１に示すように、基板処理装置１は、ストッカー装置２、インデクサブロック３、処理ブロック４およびインターフェースブロック５を含む。ストッカー装置２、インデクサブロック３、処理ブロック４およびインターフェースブロック５は、この順でＸ方向に沿って並ぶように配置される。また、インターフェースブロック５に隣接するように露光装置６が配置される。
この基板処理装置１は、クリーンルーム内に設置される。基板処理装置１の上方では、クリーンルームの天井７にレール８が取り付けられる。レール８には、基板処理装置１とその外部（他の基板処理装置等）との間でキャリアＦを搬送する外部搬送装置７０が設けられる。
図２に示すように、外部搬送装置７０は、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）機構を有する。この外部搬送装置７０は、レール８に沿ってキャリアＦを搬送する搬送車７１を備える。搬送車７１には、把持部７２、ロープ７３および図示しないウィンチが設けられる。把持部７２は、キャリアＦの上部に設けられた突起ＦＣを把持する。ロープ７３は、搬送車７１から把持部７２を吊るすために用いられる。ウィンチは、ロープ７３の巻き上げまたは繰り出しを行う。
図１に示すように、ストッカー装置２とインデクサブロック３との間には、雰囲気遮断用の隔壁３１が設けられる。この隔壁３１には、図２に示すように、ストッカー装置２とインデクサブロック３との間で基板Ｗの受け渡しを行うための４つの開口部３１ａが形成されている。
図１〜図３に示すように、ストッカー装置２は、複数のオープナー２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、受取棚２２ａ、引渡棚２２ｂ、複数の保管棚２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆおよび搬送装置２００を備える。ストッカー装置２の床面上には、隔壁３１に接するように４つのオープナー２１ａ〜２１ｄが設けられる。４つのオープナー２１ａ〜２１ｄは、Ｘ方向に等間隔で整列するように配置され、それぞれキャリアＦが載置される載置部２１ｆを備える。
図２に示すように、隔壁３１の４つの開口部３１ａは、それぞれ４つのオープナー２１ａ〜２１ｄの載置部２１ｆの高さから上の領域に形成されている。各オープナー２１ａ〜２１ｄは、隔壁３１に形成された開口部３１ａを開閉するシャッターおよびシャッター駆動部（図示せず）を備える。シャッター駆動部は、シャッターとともに載置部２１ｆに載置されたキャリアＦの蓋を開閉する。
４つの保管棚２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆは、４つのオープナー２１ａ〜２１ｄの上部にそれぞれ設けられる。各保管棚２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆには、キャリアＦが載置される。受取棚２２ａおよび引渡棚２２ｂは、オープナー２１ａ〜２１ｄの整列方向（Ｘ方向）における両端の２つの保管棚２２ｃ，２２ｆの上部にそれぞれ設けられる。各受取棚２２ａおよび引渡棚２２ｂには、キャリアＦが載置される。
ストッカー装置２の搬送装置２００（図１および図３）は、上記の複数のオープナー２１ａ〜２１ｄ、受取棚２２ａ、引渡棚２２ｂおよび保管棚２２ｃ〜２２ｆの間でキャリアＦを搬送するために用いられる。詳細は後述する。
図１および図３に示すように、インデクサブロック３は、ストッカー装置２、インデクサブロック３、処理ブロック４およびインターフェースブロック５の動作を制御するメインコントローラ３９およびインデクサロボット３４を備える。メインコントローラ３９は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリ、またはマイクロコンピュータからなり、基板処理装置１内の各構成要素の動作を制御する。インデクサロボット３４には、基板Ｗを受け渡すためのハンド３４ａが設けられる。
さらに、図２および図３に示すように、インデクサブロック３は、操作パネル９０を備える。操作パネル９０は、インデクサブロック３の側壁に設けられる。操作パネル９０は、作業者による操作に応じてメインコントローラ３９（図１）に指令信号を出力する。操作パネル９０は警報装置９１を含む。警報装置９１は、例えばランプまたはスピーカ等の出力装置である。
図１の処理ブロック４は、複数の処理部４Ｕおよび複数の処理部４Ｕ間で基板Ｗを搬送する図示しない搬送ロボットを備える。処理ブロック４において、複数の処理部４Ｕは、複数段に積層配置される。図１の例では、インデクサブロック３に隣接する４つの処理部４Ｕが４段に積層配置されている。
処理ブロック４の複数の処理部４Ｕには、基板Ｗにレジスト膜を形成するレジスト膜用塗布処理部、基板Ｗを加熱または冷却する熱処理部、および露光後の基板Ｗを現像する現像処理部が含まれる。
インデクサブロック３と処理ブロック４との間には、雰囲気遮断用の隔壁３２（図１および図３）が設けられる。この隔壁３２には、処理ブロック４における処理部４Ｕの段数と同じ数（４つ）の開口部３２ａが形成される。また、隔壁３２の各開口部３２ａには基板載置部３３が設けられる。これらの開口部３２ａおよび基板載置部３３は、インデクサブロック３と処理ブロック４との間で基板Ｗの受け渡しを行うために用いられる。
インターフェースブロック５は、基板処理装置１と露光装置６との間で基板Ｗの受け渡しを行う図示しない搬送ロボットを備える。
（２）基板処理装置の動作
（２−ａ）基板処理装置の動作の概略
基板処理装置１における一連の動作の概略を、主として図２を参照しつつ説明する。まず、ストッカー装置２の受取棚２２ａに処理前の基板Ｗが収納されたキャリアＦが載置される（キャリア搬入工程）。
次に、受取棚２２ａに載置されたキャリアＦがストッカー装置２内で搬送され、オープナー２１ａ，２１ｂの載置部２１ｆのいずれかに載置される（第１のキャリア搬送工程）。なお、キャリアＦをオープナー２１ａ，２１ｂの載置部２１ｆのいずれにも載置できない場合、そのキャリアＦは保管棚２２ｃに載置される。
続いて、図３のインデクサロボット３４によりオープナー２１ａ，２１ｂのいずれかの載置部２１ｆに載置されたキャリアＦから処理前の基板Ｗが取り出される（基板取り出し工程）。
上記の基板取り出し工程においては、キャリアＦからの基板Ｗの取出しが繰り返されることにより、キャリアＦが空になる。空のキャリアＦがストッカー装置２内で搬送され、オープナー２１ｃ，２１ｄの載置部２１ｆのいずれかに載置される（第２のキャリア搬送工程）。なお、キャリアＦをオープナー２１ｃ，２１ｄの載置部２１ｆのいずれにも載置できない場合、そのキャリアＦは保管棚２２ｄ，２２ｅのいずれかに載置される。
基板取り出し工程においてキャリアＦから取り出された基板Ｗは、図１の処理ブロック４および露光装置６内に搬送され、所定の処理が施される（基板処理工程）。
図３のインデクサロボット３４によりオープナー２１ｃ，２１ｄのいずれかの載置部２１ｆに載置された空のキャリアＦ内に処理後の基板Ｗが搬送され、収納される（基板収納工程）。
オープナー２１ｃ，２１ｄの載置部２１ｆ（図２および図３）に載置された空のキャリアＦに処理後の基板Ｗが所定数収納されると、処理後の基板Ｗが収納されたキャリアＦが搬送され、引渡棚２２ｂに載置される（第３のキャリア搬送工程）。なお、キャリアＦを引渡棚２２ｂに載置できない場合、そのキャリアＦは保管棚２２ｆに載置される。最後に、引渡棚２２ｂに載置されたキャリアＦが外部に搬出される（キャリア搬出工程）。上記の各工程の詳細を説明する。
（２−ｂ）キャリア搬入工程
図１および図２に示すように、ストッカー装置２の上部は開放されている。基板処理装置１へのキャリアＦの搬入は次のように行われる。まず、処理前の基板Ｗが収納されたキャリアＦが外部搬送装置７０により搬送され、受取棚２２ａの上方位置で停止する。
そして、図２に示すように、搬送車７１のウィンチが動作することによりロープ７３が繰り出され、把持部７２により把持されたキャリアＦが下降してストッカー装置２の受取棚２２ａ上に載置される（図２の矢印Ｑ１参照）。次に、把持部７２による突起ＦＣの把持状態が解除され、ウィンチが動作することによりロープ７３が巻き上げられる。これにより、把持部７２が上昇して搬送車７１内に収容される。
（２−ｃ）第１のキャリア搬送工程
第１のキャリア搬送工程においては、ストッカー装置２内で受取棚２２ａ上に載置されたキャリアＦが、搬送装置２００（図１および図３）により搬送され、２つのオープナー２１ａ，２１ｂの載置部２１ｆ（図２および図３）のいずれかに載置される。キャリアＦをオープナー２１ａ，２１ｂの載置部２１ｆのいずれにも載置できない場合、そのキャリアＦは保管棚２２ｃ（図２）に載置される。
（２−ｄ）基板取り出し工程
２つのオープナー２１ａ，２１ｂ（図２および図３）により載置部２１ｆに載置されたキャリアＦの蓋が開かれるとともに開口部３１ａ（図２および図３）のシャッターが開かれる。
インデクサブロック３のインデクサロボット３４（図１および図３）によりキャリアＦから処理前の基板Ｗが取り出され、隔壁３２（図１および図３）に設けられた複数の基板載置部３３のうちのいずれかに搬送される。このようにして、基板処理装置１内に搬入されたキャリアＦから処理前の基板Ｗが処理ブロック４（図１および図３）内へ取り出される。
（２−ｅ）第２のキャリア搬送工程
上記の取り出し動作が繰り返して行われることによりキャリアＦが空になると、空のキャリアＦは搬送装置２００（図１および図３）により搬送され、図２の２つのオープナー２１ｃ，２１ｄの載置部２１ｆ（図２および図３）のいずれかに載置される。キャリアＦをオープナー２１ｃ，２１ｄのいずれにも載置できない場合、そのキャリアＦは保管棚２２ｄ，２２ｅ（図２および図３）のいずれかに載置される。
（２−ｆ）基板処理工程
処理ブロック４（図１および図３）においては、搬送ロボットにより基板載置部３３（図１および図３）に載置された処理前の基板Ｗが複数の処理部４Ｕのうちのいずれかに搬送される。これにより、インデクサブロック３から搬送された処理前の基板Ｗにフォトレジストの塗布処理および熱処理等が施される。
基板Ｗは、さらに搬送ロボットによりインターフェースブロック５（図１）を介して露光装置６（図１）に搬送される。露光装置６においては、インターフェースブロック５から搬送される基板Ｗに対して露光処理が施される。露光処理が施された基板Ｗは、インターフェースブロック５を介して再び処理ブロック４に搬送される。
処理ブロック４においては、露光処理後の基板Ｗに現像処理および熱処理等が施される。上記の一連の処理（塗布処理、露光処理、現像処理および熱処理等）が施された基板Ｗは、搬送ロボットにより搬送され、再び基板載置部３３に載置される。そして、インデクサブロック３のインデクサロボット３４（図１および図３）により受け取られる。
（２−ｇ）基板収納工程
上記のように、処理前の基板Ｗが取り出されることにより空になったキャリアＦは、ストッカー装置２の２つのオープナー２１ｃ，２１ｄの載置部２１ｆ（図２および図３）の少なくとも一方に載置される。この状態で、キャリアＦの蓋および開口部３１ａ（図２および図３）のシャッターが開かれる。これにより、処理後の基板Ｗが、インデクサロボット３４により空のキャリアＦ内へ搬送される。このようにして、処理ブロック４および露光装置６による処理後の基板Ｗが、空のキャリアＦに収納される。
（２−ｈ）第３のキャリア搬送工程
オープナー２１ｃ，２１ｄの載置部２１ｆ（図２および図３）に載置された空のキャリアＦに処理後の基板Ｗが所定数収納されると、キャリアＦの蓋が閉じられるとともに開口部３１ａ（図２および図３）のシャッターが閉じられる。
そして、処理後の基板Ｗが収納されたキャリアＦは図３の搬送装置２００により搬送され、引渡棚２２ｂ（図２）に載置される。キャリアＦを引渡棚２２ｂに載置できない場合、そのキャリアＦは保管棚２２ｆ（図２）に載置される。
（２−ｉ）キャリア搬出工程
引渡棚２２ｂ（図２）の上方位置には予め外部搬送装置７０（図２）が待機している。図２に示すように、引渡棚２２ｂにキャリアＦが載置されると、搬送車７１のウィンチが動作することによりロープ７３が繰り出される。これにより、把持部７２が下降してキャリアＦの上部に達すると、キャリアＦの突起ＦＣが把持部７２により把持される。この状態で、ウィンチが動作することによりロープ７３が巻き上げられる。それにより、把持部７２が上昇してキャリアＦが搬送車７１内に収容される（図２の矢印Ｑ２参照）。その後、外部搬送装置７０が移動することにより、処理後の基板Ｗが収納されたキャリアＦが基板処理装置１の外部に搬送される。
（３）ストッカー装置が備える搬送装置の詳細
図４は図１のＣ−Ｃ線における一部拡大縦断面図である。図４では、搬送装置２００を拡大して図示する。図３および図４に示すように、搬送装置２００は、主として第１の搬送フレーム２１０、第２の搬送フレーム２２０、第１のハンド２３０、第２のハンド２４０、第１の移動機構Ｍ１、第２の移動機構Ｍ２、第３の移動機構Ｍ３および第４の移動機構Ｍ４を備える。
図３に示すように、ストッカー装置２の床面上には、複数のオープナー２１ａ〜２１ｄの前方でレール２００Ｒがオープナー２１ａ〜２１ｄの整列方向（Ｘ方向）に沿って延びるように取り付けられる。
図４に示すように、レール２００Ｒ上に、第１の移動機構Ｍ１が設けられる。第１の移動機構Ｍ１上に第１の搬送フレーム２１０が設けられる。第１の搬送フレーム２１０は、天板２１１、底板２１２および互いに対向する一対の側板２１３を備える。第１の移動機構Ｍ１は、例えばモータを備える。第１の移動機構Ｍ１は、モータが動作することによりレール２００Ｒ上を移動する。これにより、第１の搬送フレーム２１０は第１の移動機構Ｍ１とともに図３のオープナー２１ａ〜２１ｄの整列方向（Ｘ方向）に移動可能となっている。
一対の側板２１３の内側には、天板２１１から底板２１２にかけて一対のレール２１０Ｒが上下方向（Ｚ方向）に延びるように取り付けられる。一対のレール２１０Ｒの内側には、それぞれ２つの第２の移動機構Ｍ２が設けられる。
第１の搬送フレーム２１０内では、複数の第２の移動機構Ｍ２により第２の搬送フレーム２２０が支持される。第２の搬送フレーム２２０は、天板２２１および互いに対向する一対の側板２２２を備える。第２の搬送フレーム２２０の底部は開放状態となっている。各側板２２２における上端近傍部分および下端近傍部分がそれぞれ第２の移動機構Ｍ２に接続される。第２の移動機構Ｍ２は、例えばモータを備える。第２の移動機構Ｍ２は、モータが動作することによりレール２１０Ｒ上を移動する。これにより、第２の搬送フレーム２２０は、第１の搬送フレーム２１０内で第２の移動機構Ｍ２とともに上下方向（Ｚ方向）に移動可能となっている。
一対の側板２２２の内側には、一対のレール２２０Ｒが上下方向（Ｚ方向）に延びるように取り付けられる。一対のレール２２０Ｒの内側には、それぞれ第３の移動機構Ｍ３および第４の移動機構Ｍ４が設けられる。
第２の搬送フレーム２２０内では、第３の移動機構Ｍ３により第１のハンド２３０が支持される。第１のハンド２３０は、支持板２３１、多関節アーム２３２および把持部２３３を備える。支持板２３１が第３の移動機構Ｍ３に接続される。第３の移動機構Ｍ３は、例えばモータを備える。第３の移動機構Ｍ３は、モータが動作することによりレール２２０Ｒ上を移動する。これにより、第１のハンド２３０は、第２の搬送フレーム２２０内で第３の移動機構Ｍ３とともに上下方向（Ｚ方向）に移動可能となっている。
同様に、第２の搬送フレーム２２０内では、第４の移動機構Ｍ４により第２のハンド２４０が支持される。第２のハンド２４０は、第１のハンド２３０の下方に位置し、支持板２４１、多関節アーム２４２および把持部２４３を備える。支持板２４１が第４の移動機構Ｍ４に接続される。これにより、第２のハンド２４０も、第２の搬送フレーム２２０内で第４の移動機構Ｍ４とともに上下方向（Ｚ方向）に移動可能となっている。
第１および第２のハンド２３０，２４０は、それぞれ第３および第４の移動機構Ｍ３，Ｍ４を介して第２の搬送フレーム２２０内で支持される。そのため、第１および第２のハンド２３０，２４０は、上下方向（Ｚ方向）において、第２の搬送フレーム２２０内で相対的に移動可能となっている。
このようにして、ストッカー装置２内では、第１、第２および第３の移動機構Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３により、第１のハンド２３０が上下方向（Ｚ方向）およびオープナー２１ａ〜２１ｄ（図３）の整列方向（Ｘ方向）に移動する。また、第１、第２および第４の移動機構Ｍ１，Ｍ２，Ｍ４により、第２のハンド２４０が上下方向（Ｚ方向）およびオープナー２１ａ〜２１ｄ（図３）の整列方向（Ｘ方向）に移動する。
第１のハンド２３０について説明する。図５は第１のハンド２３０の動作を示す図４のＤ−Ｄ線横断面図である。以下の説明において、第１のハンド２３０の動作開始前には、オープナー２１ａの載置部２１ｆ上にキャリアＦが載置され、第１のハンド２３０はオープナー２１ａに対向する位置のやや上方で支持されている。
図５に示すように、第１のハンド２３０においては、第３の移動機構Ｍ３から延びる支持板２３１の下面に多関節アーム２３２の一端が取り付けられている。多関節アーム２３２の他端に把持部２３３が取り付けられている。
多関節アーム２３２は、オープナー２１ａの前後方向（Ｙ方向）に伸縮する。これにより、把持部２３３がオープナー２１ａの前後方向（Ｙ方向）に水平姿勢を維持しつつ進退動作する。
図５（ａ）に示すように、オープナー２１ａの載置部２１ｆ上にキャリアＦが載置されている状態で、多関節アーム２３２が伸びることにより把持部２３３が第２の搬送フレーム２２０の内側からキャリアＦの突起ＦＣの部分まで移動する。これにより、キャリアＦの突起ＦＣが把持部２３３により把持される。
この状態で、図５（ｂ）に示すように、多関節アーム２３２が縮むことによりキャリアＦを把持する把持部２３３がオープナー２１ａの上方位置から第２の搬送フレーム２２０に向かって移動する。
図５（ｃ）に示すように、多関節アーム２３２が第２の搬送フレーム２２０内まで縮むことによりキャリアＦを把持する把持部２３３も第２の搬送フレーム２２０内に移動する。それにより、キャリアＦが第２の搬送フレーム２２０内で保持される。
上記では、オープナー２１ａに載置されたキャリアＦを第２の搬送フレーム２２０内で保持する際の第１のハンド２３０の動作について説明したが、第１のハンド２３０は、第２の搬送フレーム２２０内で保持するキャリアＦをオープナー２１ａ側に移動させて載置部２１ｆに載置することも可能である。
このように、第１のハンド２３０によれば、図２の複数のオープナー２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの載置部２１ｆ、受取棚２２ａ、引渡棚２２ｂ、および複数の保管棚２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆに載置されたキャリアＦを第２の搬送フレーム２２０内で保持することができる。
また、第２の搬送フレーム２２０内で保持するキャリアＦを図２の複数のオープナー２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの載置部２１ｆ、受取棚２２ａ、引渡棚２２ｂ、および複数の保管棚２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆに載置することができる。
第２のハンド２４０の構成および動作は、第１のハンド２３０の構成および動作と同様である。
（４）ストッカー装置が備える搬送装置によるキャリアの交換動作
上述のように、ストッカー装置２においては、基板取り出し用のオープナー２１ａ，２１ｂの載置部２１ｆ（図２および図３）に載置されたキャリアＦが空になると、図４の搬送装置２００によりそのキャリアＦが載置部２１ｆから取り出され、新たなキャリアＦ（処理前の基板Ｗが収納されたキャリアＦ）が載置部２１ｆ上に載置される（第１のキャリア搬送工程）。
また、基板収納用のオープナー２１ｃ，２１ｄの載置部２１ｆ（図２および図３）に載置されたキャリアＦに処理後の基板Ｗが所定数収納されると、図４の搬送装置２００によりそのキャリアＦが載置部２１ｆから取り出され、新たなキャリアＦ（空のキャリアＦ）が載置部２１ｆ上に載置される（第２のキャリア搬送工程）。
このように、オープナー２１ａ〜２１ｄ上では、図４の搬送装置２００によりキャリアＦの交換動作が行われる。搬送装置２００によるキャリアＦの交換動作について図４および図６〜図８に基づき説明する。
図６〜図８は、ストッカー装置２におけるキャリアＦの交換動作を説明するための模式的縦断面図である。以下では、第１のキャリア搬送工程において、オープナー２１ａの載置部２１ｆ上で、空のキャリアＦ２と処理前の基板Ｗが収納された新たなキャリアＦ１とを交換する場合の搬送装置２００の動作を説明する。
図６（ａ）に示すように、第１のキャリア搬送工程の開始前においては、受取棚２２ａにキャリアＦ１が載置されている。第１の搬送フレーム２１０がオープナー２１ａ〜２１ｄの整列方向（Ｘ方向）に移動し、第２の搬送フレーム２２０が上下方向（Ｚ方向）に移動することにより、第１および第２のハンド２３０，２４０が受取棚２２ａに対向する位置のやや上方で支持される。このとき、第２の搬送フレーム２２０内では、第１および第２のハンド２３０，２４０は互いに近接する。
図６（ｂ）に矢印で示すように、第１のキャリア搬送工程が開始されると、第２のハンド２４０の多関節アーム２４２が伸びることにより把持部２４３が受取棚２２ａ上に載置されたキャリアＦ１の上方に移動する。この状態で、第２のハンド２４０がわずかに下降することによりキャリアＦ１の突起ＦＣが把持部２４３により把持される。
次に、図６（ｃ）に矢印で示すように、多関節アーム２４２が縮むことにより、キャリアＦ１を把持する把持部２４３が第２の搬送フレーム２２０内に移動する。これにより、キャリアＦ１が第２の搬送フレーム２２０内で第２のハンド２４０により保持される。
次に、図６（ｄ）に矢印で示すように、第２の搬送フレーム２２０内で第２のハンド２４０が下方に移動する。これにより、第２の搬送フレーム２２０内では、第１および第２のハンド２３０，２４０が所定距離上下方向（Ｚ方向）で離間する。なお、この所定距離はキャリアＦの高さよりも大きい。
次に、図７（ａ）に矢印で示すように、第２の搬送フレーム２２０が下方に移動する。これにより、第１のハンド２３０がオープナー２１ａに対向する位置のやや上方で支持される。
次に、図７（ｂ）に矢印で示すように、第１のハンド２３０の多関節アーム２３２が伸びることにより把持部２３３がオープナー２１ａ上に載置されたキャリアＦ２の上方に移動する。この状態で、第１のハンド２３０がわずかに下降することによりキャリアＦ２の突起ＦＣが把持部２３３により把持される。
次に、図７（ｃ）に矢印で示すように、多関節アーム２３２が縮むことにより、キャリアＦ２を把持する把持部２３３が第２の搬送フレーム２２０内に移動する。これにより、キャリアＦ２が第２の搬送フレーム２２０内で第１のハンド２３０により保持される。
次に、図７（ｄ）に矢印で示すように、第２の搬送フレーム２２０が上方に移動する。これにより、キャリアＦ１を保持する第２のハンド２４０がオープナー２１ａに対向する位置のやや上方で支持される。
次に、図８（ａ）に矢印で示すように、第２のハンド２４０の多関節アーム２４２が伸びることによりキャリアＦ１を把持する把持部２４３がオープナー２１ａの上方に移動する。この状態で、第１のハンド２３０がわずかに下降することによりキャリアＦ１がオープナー２１ａの載置部２１ｆ上に載置される。そして、把持部２４３による突起ＦＣの把持状態が解除される。
次に、図８（ｂ）に矢印で示すように、多関節アーム２４２が縮むことにより、把持部２４３が第２の搬送フレーム２２０内に移動する。このようにして、オープナー２１ａの載置部２１ｆ上でキャリアＦ１，Ｆ２の交換動作が行われる。
第１のハンド２３０により保持された空のキャリアＦ２は、搬送装置２００により他のオープナー２１ｃ，２１ｄ（図２）および保管棚２２ｄ，２２ｅ（図２）のいずれかに搬送される。それにより、第１のキャリア搬送工程が終了する。
本実施の形態において、図６（ａ）〜図６（ｄ）および図７（ａ）に示される一連の動作は、オープナー２１ａに載置されたキャリアＦ２が空になる前に行われる。すなわち、搬送装置２００は、オープナー２１ａに載置されたキャリアＦ２が交換可能な状態となる時点よりも前に新たなキャリアＦ１を保持しつつオープナー２１ａの近傍で待機する（図７（ａ））。
上記では、オープナー２１ａ上でのキャリアＦの交換動作について説明したが、他のオープナー２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ（図２）および保管棚２２ｃ〜２２ｆ（図２）上でのキャリアＦの交換動作も同様に行われる。
そのため、搬送装置２００は、基板取り出し用のオープナー２１ｂ（図２）上でのキャリアＦの交換時に、オープナー２１ｂに載置されたキャリアＦが空になる前（交換可能な状態となる時点よりも前）に新たなキャリアＦ（処理前の基板が収納されたキャリアＦ）を保持しつつオープナー２１ｂの近傍で待機する。
また、搬送装置２００は、基板収納用のオープナー２１ｃ，２１ｄ（図２）上でのキャリアＦの交換時に、オープナー２１ｃ，２１ｄに載置されたキャリアＦに所定数の基板Ｗが収納される前（交換可能な状態となる時点よりも前）に、新たなキャリアＦ（空のキャリアＦ）を保持しつつオープナー２１ｃ，２１ｄの近傍で待機する。
（５）制御系
図９は、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置１の制御系を示すブロック図である。図９に示すように、図１のメインコントローラ３９は、ストッカー装置２、インデクサブロック３、処理ブロック４およびインターフェースブロック５の各構成要素の動作を制御する。
これにより、ストッカー装置２のオープナー２１ａ〜２１ｄ、第１〜第４の移動機構Ｍ１〜Ｍ４、第１および第２のハンド２３０，２４０の動作がメインコントローラ３９により制御される。また、インデクサブロック３のインデクサロボット３４の動作がメインコントローラ３９により制御される。さらに、インデクサブロック３の操作パネル９０の警報装置９１がメインコントローラ３９により制御される。また、処理ブロック４の処理部４Ｕの動作がメインコントローラ３９により制御される。
ここで、第１および第２のハンド２３０，２４０は、それぞれ図４の多関節アーム２３２，２４２を動作させるためのモータとともにエンコーダを備える。また、第１〜第４の移動機構Ｍ１〜Ｍ４も、それぞれモータとともにエンコーダを備える。第１および第２のハンド２３０，２４０ならびに第１〜第４の移動機構Ｍ１〜Ｍ４においては、モータの動作状態（例えば、モータの回転角度）を示す信号がエンコーダからメインコントローラ３９へ出力される。
これにより、メインコントローラ３９は、第１のハンド２３０および第３の移動機構Ｍ３のエンコーダからの出力信号に基づいて第１のハンド２３０に異常が発生したか否かを判定することができる。
例えば、メインコントローラ３９は、第１のハンド２３０への指令に対する第１のハンド２３０からの出力信号、および第３の移動機構Ｍ３への指令に対する第３の移動機構Ｍ３からの出力信号に基づいて第１のハンド２３０が正常であるか否かを判定することができる。
同様に、メインコントローラ３９は、第２のハンド２４０および第４の移動機構Ｍ４のエンコーダからの出力信号に基づいて第２のハンド２４０が正常であるか否かを判定することができる。
これにより、メインコントローラ３９は、第１および第２のハンド２３０，２４０のいずれか一方に異常が発生した場合に、図６〜図８に示すキャリアＦの交換動作を行う代わりに、正常な他方のハンドのみを用いてキャリアＦの交換動作を行うことができる。
以下の説明では、図６〜図８に示すように第１および第２のハンド２３０，２４０を用いてキャリアＦの交換動作を行うストッカー装置２の動作方法を第１の動作モードと呼ぶ。また、第１および第２のハンド２３０，２４０のうちの一方のハンドのみを用いてキャリアＦの交換動作を行うストッカー装置２の動作方法を第２の動作モードと呼ぶ。
第２の動作モードによるオープナー２１ａ上でのキャリアＦの交換動作は例えば次のように行われる。ここでは、第１のハンド２３０が正常であり、第２のハンド２４０に異常が発生した場合を想定する。
まず、オープナー２１ａ（図２）上のキャリアＦが空になると、第１のハンド２３０がその空のキャリアＦを保持し、他のオープナー２１ｃ，２１ｄ（図２）のいずれかに搬送して載置する。
次に、第１のハンド２３０は、受取棚２２ａ（図２）の位置まで移動し、予め受取棚２２ａに載置されているキャリアＦ（処理前の基板Ｗが収納されたキャリアＦ）を保持する。そして、第１のハンド２３０は、保持したキャリアＦを交換用のキャリアＦとしてオープナー２１ａまで搬送して載置する。
このように、第２の動作モードでは、正常な１つのハンドが、任意のオープナーから交換すべきキャリアＦを他のオープナーに搬送した後、交換用の新たなキャリアＦが載置された棚（受取棚２２ａ等）まで移動し、その棚に載置された新たなキャリアＦを任意のオープナーまで搬送することにより、キャリアＦの交換動作が行われる。
図１０は、メインコントローラ３９による異常判定処理の一例を示すフローチャートである。図１０に示すように、まず、メインコントローラ３９は、第１および第２のハンド２３０，２４０が正常であるか否かを判別する（ステップＳ１１）。
第１および第２のハンド２３０，２４０が正常である場合、メインコントローラ３９は第１および第２のハンド２３０，２４０を用いて第１の動作モードでキャリアＦの交換動作を行うようにストッカー装置２の各構成要素を制御する（ステップＳ１２）。
第１および第２のハンド２３０，２４０の少なくとも一方が正常でない場合、メインコントローラ３９は第１および第２のハンド２３０，２４０のうちのいずれか一方が正常であるか否かを判別する（ステップＳ１３）。
第１および第２のハンド２３０，２４０のいずれか一方が正常である場合、メインコントローラ３９は正常なハンドを用いて第２の動作モードでキャリアＦの交換動作を行うようにストッカー装置２の各構成要素を制御するとともに（ステップＳ１４）、図１の警報装置９１から一方のハンドに異常が発生したことを示す警報を出力させる（ステップＳ１５）。
第１および第２のハンド２３０，２４０がともに正常でない場合、メインコントローラ３９は第１および第２のハンド２３０，２４０の動作を停止し、図１の警報装置９１から両方のハンドに異常が発生したことを示す警報を出力させる（ステップＳ１６）。
上記の異常判定処理は、基板処理装置１の稼働中所定の周期で繰り返される。これにより、第１および第２のハンド２３０，２４０のいずれか一方に異常が発生した場合に、正常なハンドを用いて基板Ｗの搬入および搬出を継続することができる。それにより、基板処理装置１の生産効率が著しく低下することが防止される。
なお、メインコントローラ３９は、ステップＳ１３において、第１および第２のハンド２３０，２４０のいずれか一方が正常である場合に、ステップＳ１４，Ｓ１５の処理を行う代わりに、第１および第２のハンド２３０，２４０の動作を停止し、図１の警報装置９１から一方のハンドに異常が発生したことを示す警報を出力させてもよい。
この場合、例えば図２および図３の操作パネル９０に、第２の動作モードを指令するための操作部（スイッチ等）を設ける。これにより、警報の出力時に作業者が上記の操作部を操作することにより、正常なハンドを用いて第２の動作モードでストッカー装置２によりキャリアＦの交換動作を行うことができる。
（６）効果
（６−ａ）上記のように、ストッカー装置２において、搬送装置２００は第１および第２のハンド２３０，２４０を備える。この場合、搬送装置２００は、オープナー２１ａ〜２１ｄ上でキャリアＦの交換を行う際に、載置されたキャリアＦが交換可能な状態となる時点よりも前に、予め一方のハンドで交換用のキャリアＦを保持しておくことができる。これにより、搬送装置２００は、キャリアＦの交換時に、他方のハンドでオープナーからキャリアＦを取り出した後、一方のハンドが保持するキャリアＦをそのオープナー上に迅速に載置することができる。
搬送装置２００において、第２のハンド２４０は第１のハンド２３０の下方に設けられる。これにより、搬送装置２００のコンパクト化が実現される。それにより、基板処理装置１の大型化が抑制される。
これらより、最小限の数のオープナーを設けることにより、基板処理装置１の大型化を抑制しつつ基板処理のスループットを向上させることができる。
（６−ｂ）搬送装置２００の第１および第２のハンド２３０，２４０は、それぞれ第３および第４の移動機構Ｍ３，Ｍ４を介して第２の搬送フレーム２２０に設けられる。また、第２の搬送フレーム２２０は、第２の移動機構Ｍ２を介して第１の搬送フレーム２１０に設けられる。
これにより、第２の移動機構Ｍ２により第２の搬送フレーム２２０を上下方向に移動させつつ、第３および第４の移動機構Ｍ３，Ｍ４により第１および第２のハンド２３０，２４０を上下方向に移動させることができる。それにより、第１および第２のハンド２３０，２４０の上下方向の移動が高速化する。その結果、ストッカー装置２におけるキャリアＦの搬送時間を十分に短縮化することができる。
（６−ｃ）搬送装置２００の第１および第２のハンド２３０，２４０は、それぞれ第３および第４の移動機構Ｍ３，Ｍ４により独立して上下方向に移動可能である。これにより、第１および第２のハンド２３０，２４０を相対的に移動させることができるので、第１および第２のハンド２３０，２４０を互いに近接させ、または離間させることができる。これにより、上下方向で制限されたストッカー装置２内の空間を有効に利用することができる。
（７）他の実施の形態
（７−ａ）図１１は他の実施の形態に係る基板処理装置１のストッカー装置２およびインデクサブロック３の一部切り欠き断面図である。図１２は図１１のＧ−Ｇ線横断面図である。図１１の基板処理装置１について、図１の基板処理装置１と異なる点を説明する。
図１１および図１２に示すように、この基板処理装置１においては、ストッカー装置２の上部が開放されておらず、隔壁３１に対向するストッカー装置２の側壁２９に開口部２９ｈが形成されている。
さらに、ストッカー装置２の側壁２９の開口部２９ｈには、ロードポート８０が設けられている。ロードポート８０の上面には、４つのロードポート載置台８０ａ，８０ｂ，８０ｃ，８０ｄが設けられている。
ロードポート載置台８０ａ，８０ｂ，８０ｃ，８０ｄ（図１２）は、それぞれ搬送装置２００を挟んでオープナー２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ（図１２）に対向するように配置されている。また、ロードポート載置台８０ａ〜８０ｄの高さは、オープナー２１ａ〜２１ｄの載置部２１ｆ（図１２）の高さとほぼ等しい。
ここで、図１２に太い実線矢印および太い点線矢印で示すように、図４および図５の第１および第２のハンド２３０，２４０の多関節アーム２３２，２４２は、第２の搬送フレーム２２０の内部を通してオープナー２１ａ〜２１ｄおよびロードポート載置台８０ａ〜８０ｄに対して伸縮することが可能である。
したがって、多関節アーム２３２がオープナー２１ａ〜２１ｄおよびロードポート載置台８０ａ〜８０ｄに対して伸縮することにより、キャリアＦを第２の搬送フレーム２２０の内部を通して第２の搬送フレーム２２０の前後方向（Ｙ方向）に移動させることが可能となっている。
基板処理装置１へのキャリアＦの搬入時において、ロードポート載置台８０ａ，８０ｂにはそれぞれ基板処理装置１の外部から図示しない外部搬送装置により搬送されるキャリアＦが載置される。この状態で、搬送装置２００の第１のハンド２３０または第２のハンド２４０がロードポート８０に対して進退する（図１２の太い点線矢印参照）。これにより、ロードポート載置台８０ａ，８０ｂに載置されたキャリアＦが第１のハンド２３０または第２のハンド２４０により保持され、基板処理装置１内に搬入される。
また、この基板処理装置１から外部へのキャリアＦの搬出時においては、オープナー２１ｃ，２１ｄに載置されたキャリアＦに処理後の基板Ｗが所定数収納されることにより、搬送装置２００の第１の搬送フレーム２１０がオープナー２１ｃ，２１ｄに対向する位置まで移動する。この状態で、搬送装置２００の第１のハンド２３０または第２のハンド２４０がオープナー２１ｃ，２１ｄに対して進退する（図１２の太い実線矢印参照）。これにより、オープナー２１ｃ，２１ｄに載置されたキャリアＦが第１のハンド２３０または第２のハンド２４０により保持される。
保持されたキャリアＦは、第１のハンド２３０または第２のハンド２４０により搬送装置２００の内部（図４の第２の搬送フレーム２２０の内部）を通してロードポート８０まで搬送され、ロードポート載置台８０ｃ，８０ｄのいずれかに載置される。ロードポート載置台８０ｃ，８０ｄに載置されたキャリアＦは、外部搬送装置により基板処理装置１の外部に搬出される。
上述のように、ロードポート載置台８０ａ〜８０ｄの高さが、オープナー２１ａ〜２１ｄの載置部２１ｆの高さとほぼ等しい。これにより、ロードポート載置台８０ａ〜８０ｄとオープナー２１ａ〜２１ｄとの間でキャリアＦを搬送する際に、キャリアＦを上下方向（Ｚ方向）に移動させる必要がなくなる。その結果、搬送装置２００によるキャリアＦの搬送経路が短くなり、ストッカー装置２内でのキャリアＦの搬送時間が短縮される。
（７−ｂ）上記の実施の形態において、ストッカー装置２の搬送装置２００は、第１および第２のハンド２３０，２４０を有するが、これに限らず搬送装置２００はさらに多数のハンドを有してもよい。
図１３は、３つのハンドを備える搬送装置２００を説明するための図である。図１３においては、搬送装置２００の第２の搬送フレーム２２０内に第１および第２のハンド２３０，２４０に加えて第３のハンド２５０が設けられる。
この場合、２つのハンドによるキャリアＦの交換動作中でも、他のハンドによりさらに他のキャリアＦを保持することができる。これにより、例えば複数のオープナー２１ａ〜２１ｄ、受取棚２２ａ、引渡棚２２ｂおよび保管棚２２ｃ〜２２ｆのいずれにもキャリアＦを載置できない場合には、他のハンドにより第２の搬送フレーム２２０内で少なくとも１つのキャリアＦを保持することができる。
また、キャリアＦの交換動作が、例えば隣接する２つのオープナー間で連続して行われる場合には、予め各オープナーの交換用のキャリアＦ（新たなキャリアＦ）を２つのハンドで保持しておく。
これにより、一方のオープナー上でキャリアＦを保持していないハンドとキャリアＦを保持する一方のハンドとを用いてキャリアＦの交換動作を行った後、搬送装置２００が他方のオープナーの位置に移動することにより、他方のオープナー上でキャリアＦを保持していないハンドとキャリアＦを保持する他方のハンドとを用いてキャリアＦの交換動作を行うことができる。したがって、搬送装置２００による複数のキャリアＦの搬送経路が短くなり、ストッカー装置２内でのキャリアＦの搬送時間がさらに短縮される。
（７−ｃ）上記の実施の形態において、搬送装置２００の第１および第２のハンド２３０，２４０は、それぞれ第３および第４の移動機構Ｍ３，Ｍ４を介して第２の搬送フレーム２２０に設けられる。これに限らず、第１および第２のハンド２３０，２４０を、それぞれ第３および第４の移動機構Ｍ３，Ｍ４を介して第１の搬送フレーム２１０に設けてもよい。
この場合、第２の搬送フレーム２２０が不要となり、搬送装置２００の構造が単純化する。
また、上記の実施の形態では、第１のハンド２３０および第２のハンド２４０がそれぞれ異なるレール２２０Ｒ上を移動するように構成されているが、第１のハンド２３０および第２のハンド２４０は共通のレール上を移動するように構成されてもよい。
（７−ｄ）上記では、オープナー２１ａ，２１ｂ上でキャリアＦから基板Ｗが取り出され、オープナー２１ｃ，２１ｄ上でキャリアＦに基板Ｗが収納される。これに限らず、全てのオープナー２１ａ〜２１ｄ上でキャリアＦから基板Ｗが取り出され、キャリアＦに基板Ｗが収納されてもよい。
この場合、各オープナー２１ａ〜２１ｄに処理前の基板Ｗが収納されたキャリアＦが載置され、図１および図３のインデクサロボット３４により載置されたキャリアＦから処理前の基板Ｗが取り出される。キャリアＦから全ての処理前の基板Ｗが取り出され、そのキャリアＦが空になると、インデクサロボット３４により空のキャリアＦに処理後の基板Ｗが収納される。その後、処理後の基板Ｗが所定数収納されたキャリアＦがそのオープナー２１ａ〜２１ｄから取り出される。
（７−ｅ）上記では、インデクサブロック３にストッカー装置２の各構成要素を制御するメインコントローラ３９が設けられる例を説明したが、これに限らずストッカー装置２内にメインコントローラ３９が設けられてもよい。
また、ストッカー装置２内に、ストッカー装置２の各構成要素を制御するスレーブコントローラを設けてもよい。これにより、既存の基板処理装置１にストッカー装置２を容易に適用することができる。なお、この場合、ストッカー装置２のスレーブコントローラはメインコントローラ３９により制御される。
（７−ｆ）上記の実施の形態では、処理部４Ｕにレジスト膜用塗布処理部、熱処理部および現像処理部が含まれる例を説明したが、これに限らず処理部４Ｕは基板Ｗの表面を洗浄する洗浄処理部を含んでもよい。また、処理部４Ｕは、基板Ｗの表面に反射防止膜を形成する反射防止膜塗布処理部を含んでもよいし、基板Ｗの表面を保護する種々の保護膜を形成する保護膜塗布処理部を含んでもよい。
（７−ｇ）上記の実施の形態では、キャリアＦとしてＦＯＵＰを用いる例を説明したが、これに限らず、キャリアとしてＳＭＩＦ（Standard Mechanical Inter Face）ポッドおよび収納基板を外気に曝して保持するＯＣ（open cassette）を用いることもできる。
（８）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
上記実施の形態では、キャリアＦが基板収納容器の例であり、インデクサブロック３、処理ブロック４およびインターフェースブロック５が本体部の例であり、オープナー２１ａ〜２１ｄの載置部２１ｆ、受取棚２２ａ、引渡棚２２ｂおよび複数の保管棚２２ｃ〜２２ｆが複数の載置部の例である。
また、第１のハンド２３０が第１の保持部の例であり、第２のハンド２４０が第２の保持部の例であり、第１の搬送フレーム２１０、レール２００Ｒおよび第１の移動機構Ｍ１が水平移動機構の例である。
さらに、第１の搬送フレーム２１０、第２の搬送フレーム２２０、一対のレール２１０Ｒ、一対のレール２２０Ｒおよび第２〜第４の移動機構Ｍ２〜Ｍ４が上下移動機構の例である。
また、第２の搬送フレーム２２０が支持体の例であり、第２の移動機構Ｍ２が支持体上下移動機構の例であり、一対のレール２２０Ｒのうちの一方のレール２２０Ｒおよび第３の移動機構Ｍ３が第１の保持部移動機構の例であり、一対のレール２２０Ｒのうちの他方のレール２２０Ｒおよび第４の移動機構Ｍ４が第２の保持部移動機構の例であり、一対の側板２２２がそれぞれ第１および第２の支持部材の例であり、メインコントローラ３９およびスレーブコントローラが制御部の例である。
さらに、オープナー２１ａ〜２１ｄの載置部２１ｆが少なくとも一部の載置部の例であり、オープナー２１ａ〜２１ｄがオープナーの例である。
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
本発明は、種々の基板の処理等に利用することができる。
１ 基板処理装置
２ ストッカー装置
３ インデクサブロック
４ 処理ブロック
４Ｕ 処理部
５ インターフェースブロック
６ 露光装置
７ 天井
８，２００Ｒ，２１０Ｒ，２２０Ｒ レール
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ オープナー
２１ｆ 載置部
２２ａ 受取棚
２２ｂ 引渡棚
２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆ 複数の保管棚
２９ 側壁
２９ｈ，３１ａ，３２ａ 開口部
３１，３２ 隔壁
３３ 基板載置部
３４ インデクサロボット
３４ａ ハンド
３９ メインコントローラ
７０ 外部搬送装置
８０ ロードポート
８０ａ，８０ｂ，８０ｃ，８０ｄ ロードポート載置台
９０ 操作パネル
９１ 警報装置
２１０ 第１の搬送フレーム
２１１，２２１ 天板
２１２ 底板
２１３，２２２ 側板
２２０ 第２の搬送フレーム
２３０ 第１のハンド
２４０ 第２のハンド
２５０ 第３のハンド
Ｆ キャリア
ＦＣ 突起
Ｍ１ 第１の移動機構
Ｍ２ 第２の移動機構
Ｍ３ 第３の移動機構
Ｍ４ 第４の移動機構
Ｗ 基板

Claims (14)

  1. 基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、
    複数の基板が収納された基板収納容器が搬入および搬出されるストッカー装置と、
    前記ストッカー装置に搬入された基板収納容器から基板を取り出し、取り出された基板に所定の処理を行うとともに処理後の基板を前記基板収納容器に収納する本体部と、
    前記ストッカー装置の動作を制御する制御部とを備え、
    前記ストッカー装置は、
    前記基板収納容器が載置される複数の載置部と、
    前記複数の載置部の間で前記基板収納容器を搬送する搬送装置とを備え、
    前記搬送装置は、前記基板収納容器の上部を保持可能でかつ前記複数の載置部の間でそれぞれ独立に移動可能に構成された第１および第２の保持部を備え、
    前記第２の保持部は、前記第１の保持部の下方に設けられ、
    前記制御部は、前記第１の保持部と前記複数の載置部のいずれかとの間で前記基板収納容器の受け渡しを行う場合に前記第１の保持部により保持される前記基板収納容器が前記第１の保持部と前記第２の保持部との間に位置するように前記第１の保持部と前記第２の保持部との間の上下方向の距離を前記基板収納容器の高さよりも大きくし、前記第２の保持部と最も高い位置に配置された載置部との間で前記基板収納容器の受け渡しを行う場合に前記第１の保持部と前記第２の保持部との間の上下方向の距離を前記基板収納容器の高さよりも小さくすることを特徴とする基板処理装置。
  2. 前記複数の載置部は、水平方向に整列するように配置され、
    前記搬送装置は、
    前記第１および第２の保持部を前記複数の載置部の整列方向に沿って移動させる水平移動機構と、
    前記第１および第２の保持部をそれぞれ独立して上下方向に移動させる上下移動機構とをさらに備えることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
  3. 前記上下移動機構は、
    前記第１および第２の保持部を上下方向に移動可能に支持する支持体と、
    前記支持体を上下方向に移動させる支持体上下移動機構と、
    前記支持体に対して前記第１および第２の保持部をそれぞれ上下方向に移動させる第１および第２の保持部移動機構とを含み、
    前記水平移動機構は、前記支持体を前記複数の載置部の整列方向に沿って移動させることを特徴とする請求項２記載の基板処理装置。
  4. 前記支持体は、
    互いに間隔をおいてそれぞれ上下方向に延びるように設けられた第１および第２の支持部材を含み、
    前記第１の保持部移動機構は、前記第１の保持部を前記第１の支持部材に沿って移動させ、
    前記第２の保持部移動機構は、前記第２の保持部を前記第２の支持部材に沿って移動させ、
    前記第１および第２の保持部は、前記第１および第２の支持部材の間の位置と前記複数の載置部の各々の位置との間で進退可能に構成されたことを特徴とする請求項３記載の基板処理装置。
  5. 前記基板収納容器は、基板を取り出すためまたは基板を収納するための開口部およびその開口部を開閉するための蓋を含み、
    前記ストッカー装置は、
    前記基板収納容器の蓋を開閉するオープナーをさらに備え、
    前記複数の載置部のうち少なくとも一部の載置部は前記オープナーの上面に設けられ、
    前記制御部は、前記少なくとも一部の載置部のうちいずれか一の載置部に一の基板収納容器が載置された状態で前記第２の保持部により他の基板収納容器を保持させるとともに前記第２の保持部および前記他の基板収納容器を前記一の載置部が設けられたオープナーに対向する位置で待機させ、前記一の載置部に載置された前記一の基板収納容器が搬送可能な状態となると、前記一の基板収納容器を前記第１の保持部により保持して前記一の載置部上から取り出させるとともに、前記第２の保持部により前記他の基板収納容器を前記一の載置部に載置させるように前記搬送装置を制御することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板処理装置。
  6. 前記制御部は、前記第１または第２の保持部に異常が発生したか否かを判定し、前記第１および第２の保持部のうち一方に異常が発生した場合に、前記一方の保持部の動作を停止させ、他方の保持部に各載置部への基板収納容器の載置動作、各載置部からの基板収納容器の取り出し動作、および前記複数の載置部間での基板収納容器の搬送動作を行わせるように前記搬送装置を制御することを特徴とする請求項５記載の基板処理装置。
  7. 複数の基板を収納可能な基板収納容器が載置される複数の載置部と、
    前記複数の載置部の間で前記基板収納容器を搬送する搬送装置と、
    制御部とを備え、
    前記搬送装置は、前記基板収納容器の上部を保持可能でかつ前記複数の載置部の間でそれぞれ独立に移動可能に構成された第１および第２の保持部を備え、
    前記第２の保持部は、前記第１の保持部の下方に設けられ、
    前記制御部は、前記第１の保持部と前記複数の載置部のいずれかとの間で前記基板収納容器の受け渡しを行う場合に前記第１の保持部により保持される前記基板収納容器が前記第１の保持部と前記第２の保持部との間に位置するように前記第１の保持部と前記第２の保持部との間の上下方向の距離を前記基板収納容器の高さよりも大きくし、前記第２の保持部と最も高い位置に配置された載置部との間で前記基板収納容器の受け渡しを行う場合に前記第１の保持部と前記第２の保持部との間の上下方向の距離を前記基板収納容器の高さよりも小さくすることを特徴とするストッカー装置。
  8. 前記複数の載置部は、水平方向に整列するように配置され、
    前記搬送装置は、
    前記第１および第２の保持部を前記複数の載置部の整列方向に沿って移動させる水平移動機構と、
    前記第１および第２の保持部をそれぞれ独立して上下方向に移動させる上下移動機構とをさらに備えることを特徴とする請求項７記載のストッカー装置。
  9. 前記上下移動機構は、
    前記第１および第２の保持部を上下方向に移動可能に支持する支持体と、
    前記支持体を上下方向に移動させる支持体上下移動機構と、
    前記支持体に対して前記第１および第２の保持部をそれぞれ上下方向に移動させる第１および第２の保持部移動機構とを含み、
    前記水平移動機構は、前記支持体を前記複数の載置部の整列方向に沿って移動させることを特徴とする請求項８記載のストッカー装置。
  10. 前記支持体は、
    互いに間隔をおいてそれぞれ上下方向に延びるように設けられた第１および第２の支持部材を含み、
    前記第１の保持部移動機構は、前記第１の保持部を前記第１の支持部材に沿って移動させ、
    前記第２の保持部移動機構は、前記第２の保持部を前記第２の支持部材に沿って移動させ、
    前記第１および第２の保持部は、前記第１および第２の支持部材の間の位置と前記複数の載置部の各々の位置との間で進退可能に構成されたことを特徴とする請求項９記載のストッカー装置。
  11. 前記基板収納容器は、基板を取り出すためまたは基板を収納するための開口部およびその開口部を開閉するための蓋を含み、
    前記基板収納容器の蓋を開閉するオープナーをさらに備え、
    前記複数の載置部のうち少なくとも一部の載置部は前記オープナーの上面に設けられ、
    前記制御部は、前記少なくとも一部の載置部のうちいずれか一の載置部に一の基板収納容器が載置された状態で前記第２の保持部により他の基板収納容器を保持させるとともに前記第２の保持部および前記他の基板収納容器を前記一の載置部が設けられたオープナーに対向する位置で待機させ、前記一の載置部に載置された前記一の基板収納容器が搬送可能な状態となると、前記一の基板収納容器を前記第１の保持部により保持して前記一の載置部上から取り出させるとともに、前記第２の保持部により前記他の基板収納容器を前記一の載置部に載置させるように前記搬送装置を制御することを特徴とする請求項７〜１０のいずれかに記載のストッカー装置。
  12. 前記制御部は、前記第１または第２の保持部に異常が発生したか否かを判定し、前記第１および第２の保持部のうち一方に異常が発生した場合に、前記一方の保持部の動作を停止させ、他方の保持部に各載置部への基板収納容器の載置動作、各載置部からの基板収納容器の取り出し動作、および前記複数の載置部間での基板収納容器の搬送動作を行わせるように前記搬送装置を制御することを特徴とする請求項１１記載のストッカー装置。
  13. ストッカー装置を用いて複数の基板を収納可能な基板収納容器を搬送する搬送方法であって、
    前記ストッカー装置は、
    前記基板収納容器が載置される複数の載置部と、
    前記複数の載置部の間で前記基板収納容器を搬送する搬送装置とを備え、
    前記搬送装置は、前記基板収納容器の上部を保持可能でかつ前記複数の載置部の間でそれぞれ独立に移動可能に構成された第１および第２の保持部を備え、
    前記第２の保持部は、前記第１の保持部の下方に設けられ、
    前記搬送方法は、
    前記基板収納容器が載置される複数の載置部の間で前記基板収納容器を第１および第２の保持部により搬送するステップを備え、
    前記搬送するステップは、
    前記第１の保持部と前記複数の載置部のいずれかとの間で前記基板収納容器の受け渡しを行う場合に前記第１の保持部により保持される前記基板収納容器が前記第１の保持部と前記第２の保持部との間に位置するように前記第１の保持部と前記第２の保持部との間の上下方向の距離を前記基板収納容器の高さよりも大きくし、前記第２の保持部と最も高い位置に配置された載置部との間で前記基板収納容器の受け渡しを行う場合に前記第１の保持部と前記第２の保持部との間の上下方向の距離を前記基板収納容器の高さよりも小さくするステップを備えることを特徴とする基板収納容器の搬送方法。
  14. 前記搬送するステップは、
    前記第１または第２の保持部に異常が発生したか否かを判定するステップと、
    前記第１および第２の保持部のうち一方に異常が発生した場合に、前記一方の保持部の動作を停止させ、他方の保持部に各載置部への基板収納容器の載置動作、各載置部からの基板収納容器の取り出し動作、および前記複数の載置部間での基板収納容器の搬送動作を行わせるステップとをさらに備えることを特徴とする請求項１３記載の基板収納容器の搬送方法。
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