KR102302376B1 - 반송장치 - Google Patents

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Abstract

(과제) 장치구성을 변경하지 않고 여러가지 형상 또는 크기의 반송 용기의 반송이 가능함과 아울러 간단한 장치구성에 의해 반송 용기내의 워크의 튀어나옴을 방지가능한 반송장치를 제공한다.
(해결 수단) 워크를 수납하는 매거진(80)을 파지하는 척킹장치(20)를 구비하고, 척킹장치(20)가 매거진(80)을 파지한 상태로 매거진(80)을 반송하는 천정 반송차(10)를 척킹장치(20)가 매거진(80)을 파지하는 파지부(21)와, 파지부(21)에 의해 파지되는 매거진(80)을 검출하는 센서(23)를 구비하고, 파지부(21)가 센서(23)에 의한 검출에 의거하여 매거진(80)에 대한 파지 동작이 제어됨과 아울러 매거진(80)에 수납되어 있는 워크의 튀어나옴을 방지하도록 구성한다.

Description

반송장치{TRANSPORTATION APPARATUS}
본 발명은 반도체 기판 등의 워크를 수납한 반송 용기를 반송하는 반송장치에 관한 것이다.
종래, 반도체 디바이스 등의 제조 설비에 있어서는 반도체 기판 등의 워크를 수납한 반송 용기를 설비의 천정 가까이에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 천정 반송차(반송장치)에 의해 파지한 상태로 복수의 처리장치 사이를 순차 반송하는 경우가 있다.
예를 들면 특허문헌 1에 있어서는 수평이동수단에 설치되고, 워크(밀폐 컨테이너)를 유지하는 워크 유지 수단을 승강시켜서 워크 유지 수단과 각 처리장치 사이에서 워크의 주고받기가 행해지도록 하는 승강 수단을 구비하고, 클린룸내에서 복수의 처리장치 사이를 돌아서 각 처리장치에 워크를 반송하는 반송장치가 개시되어 있다.
특허문헌 1의 반송장치에 있어서는 상기 워크 유지 수단을 워크(밀폐 컨테이너)의 양측면에 コ자상으로 연장되는 워크 유지부에 의해 구성한다. 이 워크 유지부의 양측부의 하단에 워크의 저면을 유지하는 핸드를 대향해서 설치함으로써, 상기 워크 유지 수단은 워크(밀폐 컨테이너)를 유지한다.
일본 특허공개 2004-25427호 공보
그러나, 특허문헌 1의 반송장치는 형상이 동일한 밀폐 컨테이너(반송 용기)를 반송하는 것을 목적으로 해서 구성되어 있어 형상 또는 크기가 다른 반송 용기를 수시 반송할 수는 없다. 그 때문에 특히, 여러가지 형상 또는 크기의 반송 용기를 반송하지 않으면 안되는 반도체 디바이스 제조공정의 후공정에 있어서는 반송 용기의 형상 또는 크기에 맞춰서 장치구성(예를 들면 용기의 파지 수단의 구성)을 변경하지 않으면 안된다는 문제가 있었다.
또한 반도체 디바이스 제조공정의 후공정에 있어서 사용되는 반송 용기에는 수납되어 있는 워크의 튀어나옴을 방지하기 위한 튀어나옴 방지 부재(예를 들면 반송 용기를 밀폐하기 위한 덮개 등)를 갖는 것이 적다. 그 때문에 튀어나옴 방지 부재를 별도 반송장치에 설치할 필요가 있어 장치구성이 복잡해진다고 하는 문제도 있었다.
그래서, 본 발명은 장치구성을 변경하지 않고 여러가지 형상 또는 크기의 반송 용기의 반송이 가능함과 아울러 간단한 장치구성에 의해 반송 용기내의 워크의 튀어나옴을 방지가능한 반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.
즉 본 발명 중 청구항 1에 기재된 반송장치는 워크를 수납하는 반송 용기를 파지하는 용기 파지 수단을 구비하고, 상기 용기 파지 수단이 상기 반송 용기를 파지한 상태로 상기 반송 용기를 반송하는 반송장치로서, 상기 용기 파지 수단은 상기 반송 용기를 파지하는 파지부와, 상기 파지부에 의해 파지되는 반송 용기를 검출하는 용기 검출부를 구비하고, 상기 파지부는 상기 용기 검출부에 의한 검출에 의거하여 상기 반송 용기에 대한 파지 동작이 제어됨과 아울러 상기 반송 용기에 수납되어 있는 워크의 튀어나옴을 방지하는 것이다.
상기 구성에서는 용기 검출부가 반송 용기를 검출함으로써, 파지부의 상기 반송 용기에 대한 파지 동작이 제어됨과 아울러 파지부가 반송 용기에 수납되어 있는 워크의 튀어나옴을 방지한다.
또한 청구항 2에 기재된 발명은 청구항 1에 기재된 반송장치에 있어서, 상기 파지부는 상기 반송 용기에 있어서의 상기 워크의 수납구를 덮도록 상기 반송 용기를 파지함으로써 상기 반송 용기에 수납되어 있는 워크의 튀어나옴을 방지하는 것이다.
상기 구성에서는 파지부가 반송 용기를 파지함과 아울러 반송 용기를 파지한 상태로 워크의 수납구를 덮음으로써 반송 용기에 수납되어 있는 워크의 튀어나옴을 방지한다.
또한, 청구항 3에 기재된 발명은 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 반송장치에 있어서, 상기 파지부는 상기 반송 용기에 대한 이동방향을 단계적으로 변화시킴으로써 상기 반송 용기를 파지하는 것이다.
상기 구성에서는 파지부는 그 반송 용기에 대한 이동방향을 단계적으로 변화시키면서 반송 용기에 접근 또는 이간함으로써 반송 용기를 파지한다.
또한, 청구항 4에 기재된 발명은 청구항 1∼청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 반송장치에 있어서, 상기 용기 검출부는 상기 반송 용기의 한쪽의 측면을 검출하는 제 1 용기 검출부와, 상기 반송 용기의 다른쪽의 측면을 검출하는 제 2 용기 검출부로 구성되는 것이다.
상기 구성에서는 2개의 검출부(제 1 및 제 2 용기 검출부)에 있어서 반송 용기를 2방향에서 검출한다.
(발명의 효과)
본 발명의 반송장치에 의하면, 반송 용기를 파지하는 파지부가 반송 용기를 검출하는 용기 검출부의 검출에 의거하여 반송 용기를 파지하기 때문에 반송 용기의 형상 또는 크기에 맞춰서 반송 용기를 파지할 수 있다. 그 때문에 반송장치(파지부)의 구성을 변경하지 않고 여러가지 형상 또는 크기의 반송 용기를 반송할 수 있다.
또한 본 발명의 반송장치에 의하면, 반송 용기를 파지하는 파지부가 반송 용기에 수납되어 있는 워크의 튀어나옴을 방지하는 튀어나옴 방지 부재의 기능을 갖기 때문에 반송장치에 별도 튀어나옴 방지 부재를 설치할 필요가 없다. 그 때문에 간단한 장치구성에 의해 반송 용기내의 워크의 튀어나옴을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 반송장치의 일례인 천정 반송차의 정면도이다.
도 2는 천정 반송차에 의해 반송되는 매거진의 사시도이다.
도 3은 천정 반송차의 척킹장치의 측면 단면도이다.
도 4의 (a)∼(c)는 천정 반송차의 제 1 척 종재 및 제 2 척 종재를 2단계로 나누어서 이동시키는 경우의 평면 개략도, (d) 및 (e)는 천정 반송차의 제 1 척 종재 및 제 2 척 종재를 1단계로 이동시키는 경우의 평면 개략도이다.
도 5의 (a)는 천정 반송차에 의해 반송되는 매거진의 다른 실시예를 나타내는 사시도, (b) 및 (c)는 동 매거진에 대하여 면가이드 부재를 이동시키는 경우의 평면 개략도이다.
우선, 본 발명에 따른 반송장치의 일례인 천정 반송차(10)에 관하여 설명한다.
도 1에 나타내듯이 천정 반송차(10)는 반도체 기판 등의 워크(도시생략)에 대하여 소정의 처리를 행하는 복수의 처리장치(도시생략)에 워크를 반송하기 위한 것이다. 천정 반송차(10)는 워크가 수납된 매거진(80)((「반송 용기」의 일례)을 파지한 상태로 반송한다.
도 2에 나타내듯이 천정 반송차(10)가 반송하는 매거진(80)은 대략 직육면체의 상자형의 반송 용기이다. 반송하는 매거진(80)의 내부에 복수의 워크를 수납가능한 복수단의 적재부(81)가 설치되어 있다. 매거진(80)은 그 길이방향의 양단부에 있어서 개구되는 수납구(82)로부터 워크를 수납 가능하게 구성되어 있다. 수납구(82)의 상하 부분은 노치된 상태로 형성되어 있다.
[천정 반송차(10)]
도 1에 나타내듯이 천정 반송차(10)는 설비의 천정(90) 가까이에 설치된 주행 레일(91)에 대해서 매달린 상태로 부착되어 있다. 천정 반송차(10)는 주행 레일(91)을 따라 이동할 수 있게 구성되어 있다. 천정 반송차(10)는 이동차(11)와, 승강 구동부(12)와, 척킹장치(20)(「용기 파지 수단」의 일례)로 주로 구성되어 있다.
이동차(11)는 천정(90)에 고정해서 부착된 주행 레일(91)을 따라 주행 가능하게 구성되어 있다. 이동차(11)는 주행 레일(91)을 따라 주행하기 위한 주행 추력을 발생하는 리니어 모터식의 주행차체(13)와, 주행차체(13)에 대하여 연결되고, 승강 구동부(12)를 지지하는 지지부(14)로 주로 구성되어 있다. 또, 주행차체(13)는 리니어 모터식의 주행차체에 한정되는 것은 아니고, 클린룸 등의 클린도가 요구되는 공간에서 주행가능한 방식의 주행차체이면 상관없다.
승강 구동부(12)는 척킹장치(20)를 매단 상태로 승강하는 부분이다. 승강 구동부(12)는 이동차(11)의 하단부에 부착된다. 승강 구동부(12)는 복수개의 승강 벨트(15)를 갖는다. 승강 구동부(12)는 복수개의 승강 벨트(15)를 동시에 권취 및 권출할 수 있게 구성되어 있다. 복수개의 승강 벨트(15)의 권취 및 권출을 행함으로써 승강 벨트(15)에 의해 매달아 지지된 척킹장치(20)가 대략 수평자세를 유지하면서 승강 조작된다.
[척킹장치(20)]
척킹장치(20)는 매거진(80)을 파지하는 장치이다. 척킹장치(20)는 승강 구동부(12)에 부착된다. 척킹장치(20)는 매거진(80)의 저부로부터 매거진(80)을 감싸듯이(퍼올리듯이) 매거진(80)을 파지한다. 척킹장치(20)는 매거진(80)을 파지하는 파지부(21)와, 파지부(21)를 구동하는 구동부(22)와, 매거진(80)을 검출하는 센서(23)(「용기 검출부」의 일례)로 주로 구성되어 있다.
[파지부(21)]
도 1∼도 3에 나타내듯이 파지부(21)는 척킹장치(20)의 상하방향으로 연이어 설치된다. 파지부(21)는 매거진(80)의 저부으로부터 매거진(80)을 감싸듯이(퍼올리듯이) 매거진(80)을 반송 가능하게 유지하는 부분이다. 즉, 파지부(21)는 매거진(80)을 파지하는 부분이다. 파지부(21)는 상하방향으로 연이어 설치되는 복수(도 1에서는 3개)의 척 종재(척 종재(24·25·26))에 의해 구성된다. 파지부(21)는 복수의 척 종재에 의해 매거진(80)을 파지한다. 또, 파지부(21)를 3개의 척 종재(척 종재(24·25·26))에 의해 구성함으로써 매거진(80)의 중량이 각 척 종재(척 종재(24·25·26))의 수용부분(수용부분(28·30))에 확실하게 올라타서 매거진(80)을 보다 안정되게 파지할 수 있다.
제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)는 매거진(80)을 파지할 때에 매거진(80)의 모서리부(즉, 코너부)에 배치되는 코너 가이드 부재이다. 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)는 매거진(80)의 모서리부를 파지함과 아울러 매거진(80)의 모서리부를 가이드하는 부재이다. 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)는 매거진(80)의 모서리부에 접촉되는 암부분(27)과, 암부분(27)의 일단부에 형성되어 매거진(80)의 저면을 수용하는 수용부분(28)으로 구성된다.
암부분(27)은 매거진(80)의 모서리부의 형상에 맞춰서 2매의 판상부재(27a)를 대략 L자형상으로 접합해서 형성되는 부분이다. 암부분(27)은 파지부(21)에 의해 매거진(80)을 파지할 때에 매거진(80)의 모서리부에 접촉한다. 암부분(27)이 매거진(80)의 모서리부에 접촉함으로써 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)가 제 3 척 종재(26)와 함께 매거진(80)의 측면을 파지가능한 상태가 된다.
또한, 암부분(27)이 매거진(80)의 모서리부에 접촉함으로써 암부분(27)이 매거진(80)의 수납구(82)의 일단을 상하방향으로 덮는 상태(매거진(80)의 수납구(82)의 일부가 닫힌 상태)가 된다. 즉, 암부분(27)이 매거진(80)내에 수납되어 있는 워크의 수납구(82)로부터의 튀어나옴을 방지하는 상태가 된다. 구체적으로는 도 2에 나타내듯이 암부분(27)을 형성하는 한쪽의 판상부재(27a)의 평면부분이 매거진(80)의 수납구(82)에 있어서의 개구 부분의 편측 단부를 덮음으로써(판상부재(27a)의 평면부분을 수납구(82)의 개구면의 편측 단부에 접촉시킴으로써), 매거진(80)의 수납구(82)의 개구 부분을 좁게 해서 수납구(82)로부터 뛰어 나오려고 하는 워크를 판상부재(27a)의 평면부분에 의해 록킹가능한 상태로 한다.
이렇게, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)의 암부분(27)은 매거진(80)의 측면(모서리부)을 파지하는 기능을 가짐과 아울러 매거진(80)내에 수납되어 있는 워크의 수납구(82)로부터의 튀어나옴을 방지하는 기능을 갖는다.
도 1 및 도 3에 나타내듯이 수용부분(28)은 매거진(80)의 저면이 적재가능한 판상부재를 암부분(27)의 판상부재(27a)의 일단면에 대략 수직방향으로 접합해서 형성되는 부분이다. 수용부분(28)은 파지부(21)에 의해 매거진(80)을 파지할 때에, 매거진(80)의 모서리부의 저면에 접촉해서 매거진(80)을 수용한다.
제 3 척 종재(26)는 매거진(80)을 파지할 때에 매거진(80)의 길이방향에 있어서의 한쪽의 측판의 중앙부에 배치되는 면가이드 부재이다. 즉, 제 3 척 종재는 매거진(80)의 측판을 파지함과 아울러 매거진(80)의 측판을 가이드하는 부재이다. 구체적으로는 제 3 척 종재(26)는 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)가 배치되는 모서리부를 양단부에 갖는 매거진(80)의 측판과 대향하는 측판의 중앙부에 배치된다. 제 3 척 종재(26)는 매거진(80)의 측판의 측면에 접촉되는 암부분(29)과, 암부분(29)의 일단부에 형성되어 매거진(80)의 저면을 수용하는 수용부분(30)으로 구성된다.
암부분(29)은 매거진(80)의 측판의 측면에 접촉가능한 판상부재에 의해 형성된다. 암부분(29)은 파지부(21)에 의해 매거진(80)을 파지할 때에, 매거진(80)의 길이방향에 있어서의 한쪽의 측판의 중앙측면에 접촉한다. 이에 따라 제 3 척 종재(26)가 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)와 함께 매거진(80)의 측면을 파지가능한 상태가 된다.
수용부분(30)은 매거진(80)의 저면을 적재가능한 판상부재를 암부분(29)의 판상부재의 일단면에 대략 수직방향으로 접합해서 형성되는 부분이다. 수용부분(30)은 파지부(21)에 의해 매거진(80)을 파지할 때에, 매거진(80)의 길이방향에 있어서의 한쪽의 측판중앙부의 저면에 접촉해서 매거진(80)을 수용한다.
[구동부(22)]
도 1 및 도 3에 나타내듯이 구동부(22)는 파지부(21)의 각 척 종재(24·25·26)를 이동시키는 것이다. 구동부(22)는 파지부(21)의 상부에 설치된다. 구동부(22)는 모터(31·32)와, 슬라이드 부재(40·41·42)로 주로 구성되어 있다.
제 1 모터(31)는 각 척 종재(24·25·26)를 매거진(80)의 길이방향과 직교하는 방향(도 3의 화살표 B방향)으로 이동시키는 모터이다. 제 1 모터(31)에는 제 1 축(33)이 접속되어 있다. 제 1 모터(31)가 작동함으로써 제 1 축(33)이 회동한다.
제 1 축(33)은 볼 나사에 의해 형성된다. 제 1 축(33)은 그 도중에 있어서의 제 1 너트부재(34) 및 제 2 너트부재(35)가 삽입통과되는 부분에서 역방향으로 나사가 형성되어 있다. 즉, 제 1 축(33)은 제 1 축(33)을 회동시켰을 때에, 제 1 너트부재(34) 및 제 2 너트부재(35)가 제 1 축(33) 상에서 서로 접근하거나 또는 이간되도록 형성된다.
제 2 모터(32)는 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)를 매거진(80)의 길이방향(도 1의 화살표 A방향)으로 이동시키는 모터이다. 제 2 모터(32)에는 제 2 축(36)이 접속되어 있다. 제 2 모터(32)가 작동함으로써 제 2 축(36)이 회동한다.
제 2 축(36)에는 제 3 축(37)이 접속되어 있다. 제 2 축(36)이 회동함으로써 제 3 축(37)이 회동한다.
제 3 축(37)은 볼 나사에 의해 형성된다. 제 3 축(37)은 그 도중에 있어서의 제 3 너트 부재(38) 및 제 4 너트 부재(39)가 삽입통과되는 부분에서 역방향으로 나사가 형성되어 있다. 즉, 제 3 축(37)은 제 3 축(37)을 회동시켰을 때에, 제 3 너트 부재(38) 및 제 4 너트 부재(39)가 제 3 축(37) 상에서 서로 접근하거나 또는 이간되도록 형성된다.
제 1 슬라이드 부재(40)는 제 3 척 종재(26)를 매거진(80)의 길이방향과 직교하는 방향(도 3의 화살표 B방향)으로 이동시키기 위한 부재이다. 제 1 슬라이드 부재(40)는 제 3 척 종재(26)를 지지하는 제 1 가이드부(43)와, 제 1 가이드부(43)를 슬라이드시키기 위한 제 1 가이드 레일(44)로 구성된다.
제 2 슬라이드 부재(41)는 제 1 척 종재(24) 또는 제 2 척 종재(25)를 매거진(80)의 길이방향과 직교하는 방향(도 3의 화살표 B방향)으로 이동시키기 위한 부재이다. 제 2 슬라이드 부재(41)는 제 1 척 종재(24) 또는 제 2 척 종재(25)를 지지하는 제 2 가이드부(45)와, 제 2 가이드부(45)를 슬라이드시키기 위한 제 2 가이드 레일(46)로 구성된다.
제 3 슬라이드 부재(42)는 제 1 척 종재(24) 또는 제 2 척 종재(25)를 매거진(80)의 길이방향(도 1의 화살표 A방향)으로 이동시키기 위한 부재이다. 제 3 슬라이드 부재(42)는 제 1 척 종재(24) 또는 제 2 척 종재(25)를 지지하는 제 3 가이드부(47)와, 제 3 가이드부(47)를 슬라이드시키기 위한 제 3 가이드 레일(48)로 구성된다.
천정 반송차(10)에 있어서는 제 2 슬라이드 부재(41)의 상부에 제 3 슬라이드 부재(42)를 배치함으로써, 즉, 구동부(22)에 2개의 슬라이드 부재를 상하방향으로 배치함으로써, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)를 2방향(도 1의 화살표 A방향 및 도 3의 화살표 B방향)으로 이동 가능하게 하고 있다.
[센서(23)]
도 1 및 도 3에 나타내듯이 센서(23)는 각 척 종재(24·25·26)의 하단부(수용부분(28)측)에 설치된다. 센서(23)는 파지부(21)에 의해 파지되는 매거진(80)을 검출한다. 센서(23)의 검출 결과는 검출 신호로서 도면에 나타내지 않은 제어부에 송신된다. 그리고, 제어부는 센서(23)로부터의 검출 신호에 의거하여 매거진(80)에 대한 각 척 종재(24·25·26)의 파지 동작을 제어한다.
센서(23)는 정전용량형 근접 센서에 의해 구성된다. 또, 센서(23)의 방식은 정전용량형의 센서에 한정되는 것은 아니고, 매거진(80)의 재질, 색 등에 의해 그 방식이 선택된다. 그 때문에 센서(23)는 예를 들면 광학식 또는 직접 접촉식의 센서이어도 상관없다. 또한 센서(23)는 각 척 종재(24·25·26)의 하단부에 설치되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 매거진(80)이 검출가능한 위치이면, 예를 들면 각 척 종재(24·25·26)의 중앙부 또는 상단부에 설치해도 상관없다.
또한, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)의 하단부에 설치되는 센서(23)는 매거진(80)의 한쪽의 벽판(매거진(80)의 길이방향으로 형성되는 벽판)을 검출하는 제 1 센서(23a)(「제 1 용기 검출부」의 일례)와, 제 1 센서(23a)가 검출하는 벽판에 대하여 수직으로 형성되는 벽판(매거진(80)의 길이방향과 직교하는 방향으로 형성되는 벽판)을 검출하는 제 2 센서(23b)(「제 2 용기 검출부」의 일례)로 구성된다. 즉, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)에는 매거진(80)의 검출 위치(검출 방향)가 다른 2대의 센서가 설치되어 매거진(80)을 다른 2방향에서 검출한다.
제 1 센서(23a)는 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)를 매거진(80)의 길이방향과 직교하는 방향(도 3의 화살표 B방향)으로 이동시킬 때에, 매거진(80)의 길이방향으로 형성되는 벽판을 검출한다.
제 2 센서(23b)는 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)를 매거진(80)의 길이방향(도 1의 화살표 A방향)으로 이동시킬 때에, 매거진(80)의 길이방향과 직교하는 방향으로 형성되는 벽판을 검출한다.
또, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)의 하단부에 설치되는 센서(23)는 2대의 센서(제 1 센서(23a) 및 제 2 센서(23b))에 의해 구성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)의 이동에 따라 매거진(80)을 검출가능하면 1대의 센서에 의해 구성해도 상관없다.
[각 척 종재(24·25·26)의 파지 동작]
다음에 각 척 종재(24·25·26)의 파지 동작에 관하여 설명한다.
도 4(a)에 나타내듯이 천정 반송차(10)에 있어서는 우선, 각 척 종재(24·25·26)가 매거진(80)의 길이방향과 직교하는 방향(화살표 C방향, 매거진(80)의 폭방향)으로 이동한다. 그리고, 각 척 종재(24·25·26)가 매거진(80)의 길이방향의 측판을 파지한다. 다음에 도 4(b)에 나타내듯이 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)가 매거진(80)의 길이방향(화살표 D방향)으로 이동한다. 그리고, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)가 매거진(80)의 폭방향의 측판을 파지한다. 즉, 천정 반송차(10)에 있어서는 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)는 매거진(80)에 대한 이동방향을 2방향으로 단계적으로 변화시키면서 매거진(80)의 모서리부를 파지한다. 이것은 도 4(d)에 나타내듯이 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)를 제 3 척 종재(26)의 이동에 맞춰서 1단계로 이동시키면 매거진(80)의 형상 또는 크기에 의해, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)가 매거진(80)에 걸려 매거진(80)을 파지할 수 없는 경우가 있기 때문이다(도 4(e) 참조). 이렇게, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)를 2단계로 나누어서 이동시킴으로써, 형상 또는 크기가 다른 매거진(80)이 혼재했을 경우이어도 각 척 종재(24·25·26)가 매거진(80)에 걸리지 않아 파지부(21)에 의해 매거진(80)을 파지할 수 있다. 구체적으로는 이하와 같이 동작한다.
도 3에 나타내듯이 제 1 모터(31)가 작동하면 제 1 축(33)이 회동하고, 제 1 너트부재(34)가 제 1 축(33)의 중앙부를 향해서 이동한다. 제 1 너트부재(34)가 이동함으로써, 제 1 너트부재(34)에 고정된 제 1 슬라이드 부재(40)의 제 1 가이드부(43)가 제 1 가이드 레일(44)을 따라 슬라이드한다. 이에 따라 제 1 가이드부(43)에 의해 지지되는 제 3 척 종재(26)가 매거진(80)의 길이방향과 직교하는 방향(도 3의 화살표 B방향, 매거진(80)의 폭방향)으로 매거진(80)과 접근하도록(매거진(80)의 측판을 파지하도록) 이동한다.
또 한편, 제 1 모터(31)가 작동하고, 제 1 축(33)이 회동하면 제 2 너트부재(35)가 제 1 축(33)의 중앙부를 향해서 이동한다. 제 2 너트부재(35)가 이동함으로써, 제 2 너트부재(35)에 고정된 제 2 슬라이드 부재(41)의 제 2 가이드부(45)가 제 2 가이드 레일(46)을 따라 슬라이드한다. 이에 따라 제 2 가이드부(45)에 의해 지지되는 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)가 매거진(80)의 폭방향(도 3의 화살표 B방향)으로 매거진(80)과 접근하도록 이동한다. 또, 제 2 모터(32)에 대해서도 제 2 가이드부(45)가 슬라이드함으로써 매거진(80)의 폭방향(도 3의 화살표 B방향)으로 이동한다.
제 1 모터(31)의 작동에 의해, 각 척 종재(24·25·26)가 매거진(80)을 향해서 이동하면, 각 척 종재(24·25·26)에 설치되는 센서(23)(제 1 센서(23a))가 매거진(80) 유무를 검출한다. 구체적으로는 센서(23)의 검출 결과로부터 각 척 종재(24·25·26)와 매거진(80)의 거리를 검출한다. 센서(23)는 검출 결과를 검출 신호로서 도면에 나타내지 않은 제어부에 송신한다. 제어부는 센서(23)로부터의 검출 신호에 의거하여 각 척 종재(24·25·26)와 매거진(80)의 거리(위치 관계)를 판단한다. 그리고, 제어부는 제 1 모터(31)의 작동을 제어함으로써 각 척 종재(24·25·26)의 이동을 제어한다. 제어부는 센서(23)가 소정 위치, 즉, 각 척 종재(24·25·26)와 매거진(80)의 벽판이 접하는 위치에 있어서 매거진(80)을 검출하면 제 1 모터(31)의 구동을 정지하고, 각 척 종재(24·25·26)의 이동을 정지한다.
다음에 도 1 및 도 3에 나타내듯이 제 2 모터(32)이 작동하면 제 2 축(36)이 회동하고, 계속해서 제 3 축(37)이 회동한다. 제 3 축(37)이 회동함으로써, 제 3 너트 부재(38) 및 제 4 너트 부재(39)가 서로 접근하도록 제 3 축(37)의 중앙부를 향해서 이동한다. 그리고, 제 3 너트 부재(38) 및 제 4 너트 부재(39)의 각각이 고정된 제 3 슬라이드 부재(42)의 제 3 가이드부(47)가 제 3 가이드 레일(48)을 따라 슬라이드한다. 이에 따라 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)가 서로 접근하도록 매거진(80)의 길이방향(도 1의 화살표 B방향)으로 이동하고, 매거진(80)의 모서리부를 파지하려고 한다.
제 2 모터(32)의 작동에 의해, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)가 매거진(80)을 향해서 이동하면 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)에 설치되는 센서(23)(제 2 센서(23b))가 매거진(80)을 검출하고, 검출 결과를 검출 신호로서 도면에 나타내지 않은 제어부에 송신한다. 제어부는 센서(23)(제 2 센서(23b))부터의 검출 신호에 의거하여 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)와 매거진(80)의 거리(위치 관계)를 판단한다. 그리고, 제어부는 제 2 모터(32)의 작동을 제어함으로써 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)의 이동을 제어한다. 제어부는 센서(23)(제 2 센서(23b))가 소정 위치, 즉, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)와 매거진(80)의 벽판이 접하는 위치에 있어서 매거진(80)을 검출하면 제 2 모터(32)의 구동을 정지하고, 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)의 이동을 정지한다.
이상과 같이, 천정 반송차(10)에 있어서는 각 척 종재(24·25·26)에 설치되는 센서(23)에 의해 각 척 종재(24·25·26)와 매거진(80)의 거리를 검출하면서 각 척 종재(24·25·26)의 이동을 제어함으로써 각 척 종재(24·25·26)가 매거진(80)을 파지하는 위치를 매거진(80)의 형상 또는 크기에 맞춰서 자유롭게 변경할 수 있으므로 형상 또는 크기가 다른 매거진(80)을 수시 반송하는 경우이여도, 개개의 매거진(80)의 형상 또는 크기에 맞춰서 각 척 종재(24·25·26)를 이동할 수 있다. 그 때문에 매거진(80)의 형상 또는 크기에 맞춰서 천정 반송차(10)의 구조(예를 들면 각 척 종재(24·25·26)의 구조)를 바꿀 필요가 없고, 동일한 장치 구조에 있어서 매거진(80)에 대한 각 척 종재(24·25·26)의 파지하는 위치를 변경하는 것만으로 여러가지 형상 또는 크기의 매거진(80)을 반송할 수 있다.
또한 천정 반송차(10)에 있어서는 매거진(80)을 파지하기 위한 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)에 의해 워크의 튀어나옴을 방지할 수 있는 점에서 간단한 장치구성에 의해 매거진(80)내의 워크의 튀어나옴을 방지할 수 있다.
또한, 천정 반송차(10)에 있어서는 매거진(80)의 검출 위치(검출 방향)가 다른 2대의 센서(제 1 센서(23a) 및 제 2 센서(23b))에 의해 매거진(80)을 검출하면서 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)의 매거진(80)에 대한 이동방향을 단계적으로 변화시키는 점에서 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)는 매거진(80)에 걸리는 않고 매거진(80)을 파지할 수 있다.
또, 본 실시형태에 있어서는 매거진(80)은 도 2에 나타내는 것에 한정되는 것은 아니고, 반도체 기판 등의 워크를 수납가능한 일반적인 형상, 크기의 매거진이면 상관없다. 예를 들면 도 5(a)에 나타내는 형상의 매거진(80A)이여도 상관없다.
도 5(a)에 나타내는 매거진(80A)을 천정 반송차(10)에 의해 반송할 경우, 즉, 수납구(82A)에 노치부분이 형성되어 있지 않은 매거진(80A)을 반송할 경우에는 4개의 면가이드 종재(26A)에 의해 매거진(80A)의 각 측판의 중앙부를 파지하는 구성으로 해도 상관없다. 여기에서, 면가이드 종재(26A)는 제 3 척 종재(26)와 마찬가지로 매거진(80A)의 측판의 측면에 접촉가능한 판상부재에 의해 형성되는 암부분(29A)와, 매거진(80A)의 저면을 적재가능한 판상부재를 암부분(29A)의 판상부재의 일단면에 대략 수직방향으로 접합해서 형성되는 수용부분(30A)으로 구성된다.
이 경우에 있어서는 도 5(b) 및 (c)에 나타내듯이 4개의 면가이드 종재(26A)를 동시에(1단계에서) 매거진(80A)에 접근시키는 방향으로 이동시킴으로써, 각 면가이드 종재(26A)를 매거진(80A)의 각 측판의 중앙부에 있어서 파지가능한 상태로 한다.
또한 이 경우에 있어서는 도 5(a)에 나타내듯이 암부분(29A)이 매거진(80A)의 수납구(82A)의 중앙부를 상하방향으로 덮는 상태(매거진(80A)의 수납구(82A)의 중앙부가 닫힌 상태)가 된다. 즉, 암부분(29A)이 매거진(80A) 내에 수납되어 있는 워크의 수납구(82A)로부터의 튀어나옴을 방지하는 상태가 된다. 구체적으로는 도 5(a)에 나타내듯이 암부분(29A)의 평면부분이 매거진(80A)의 수납구(82A)에 있어서의 개구 부분의 중앙부를 덮음으로써(암부분(29A)의 평면부분을 수납구(82A)의 개구면의 중앙부에 접촉시킴으로써), 매거진(80A)의 수납구(82A)의 개구 부분을 좁게 하여 수납구(82A)로부터 뛰어 나오려고 하는 워크를 암부분(29A)의 평면부분에 의해 록킹가능한 상태로 한다.
또, 매거진(80A)에 있어서는 4개의 면가이드 종재(26A)에 의해 매거진(80A)의 각 측판의 중앙부를 파지하는 구성으로 하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 매거진(80A)의 모서리부를 상기 제 1 척 종재(24) 및 제 2 척 종재(25)에 의해 파지하고, 매거진(80A)의 측판의 중앙부를 상기 제 3 척 종재(26)에 의해 파지하는 구성으로 해도 상관없다.
또한 본 실시형태에 있어서는 반송장치를 천정 주행형식의 천정 반송차(10)로 하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 바닥 주행형식의 주행차 본체에 척킹장치(20)를 설치한 반송장치로 해도 상관없다. 이 경우, 주행차 본체에 선회 가능하게 설치한 선회 테이블에 상하방향으로 회동 가능하게 부착된 암부재에 대하여 척킹장치(20)를 부착하는 구성으로 한다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 파지부(21)의 각 척 종재(24·25·26)를 구동부(22)와 같은 구성(모터(31·32), 슬라이드 부재(40·41·42) 등)에 의해 이동시키고 있지만, 구동부(22)와 같은 구성의 구동부에 한정되는 것은 아니다.
10: 천정 반송차(반송장치)
20: 척킹장치(용기 파지 수단)
21: 파지부
23: 센서(용기 검출부)
23a: 제 1 센서(제 1 용기 검출부)
23b: 제 2 센서(제 2 용기 검출부)
80: 매거진(반송 용기)
82: 수납구

Claims (4)

  1. 워크를 수납하는 반송 용기를 파지하는 용기 파지 수단을 구비하고, 상기 용기 파지 수단이 상기 반송 용기를 파지한 상태로 상기 반송 용기를 반송하는 반송장치로서,
    상기 용기 파지 수단은,
    상기 반송 용기를 파지하는 파지부와,
    상기 파지부에 의해 파지되는 반송 용기를 검출하는 용기 검출부를 구비하고,
    상기 파지부는 상기 용기 검출부에 의한 검출에 의거하여 상기 반송 용기에 대한 파지 동작이 제어되고,
    상기 반송 용기의 코너부에 맞닿아 상기 반송 용기의 코너부를 가이드하는 동시에, 상기 반송 용기의 상기 워크의 수납구를 덮도록 상기 반송 용기의 코너부를 파지함으로써, 상기 반송 용기에 수납되어 있는 워크의 튀어나옴을 방지하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 파지부는 상기 반송 용기에 대한 이동방향을 단계적으로 변화시킴으로써 상기 반송 용기를 파지하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 용기 검출부는 상기 반송 용기의 한쪽의 측면을 검출하는 제 1 용기 검출부와, 상기 반송 용기의 다른쪽의 측면을 검출하는 제 2 용기 검출부로 구성되는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  4. 삭제
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