WO2009125616A1 - 物品収納設備 - Google Patents

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WO2009125616A1
WO2009125616A1 PCT/JP2009/050474 JP2009050474W WO2009125616A1 WO 2009125616 A1 WO2009125616 A1 WO 2009125616A1 JP 2009050474 W JP2009050474 W JP 2009050474W WO 2009125616 A1 WO2009125616 A1 WO 2009125616A1
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article
shelf
storage
support
storage unit
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PCT/JP2009/050474
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乾吉隆
Original Assignee
株式会社ダイフク
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to an article storage facility provided with an article storage shelf provided with a plurality of storage units in the vertical direction and the left-right direction, and an article transport device capable of transporting articles to each storage unit in the article storage shelf.
  • the article storage facility as described above is, for example, an article transport facility provided with a ceiling transport device that is movable along a ceiling-side moving path that passes through a plurality of stations. Is used for temporary storage.
  • the article is, for example, a container that stores a plurality of semiconductor substrates, and the station is disposed on the floor side corresponding to each of the plurality of article processing units that perform predetermined processing on the semiconductor substrates.
  • the ceiling transport device is configured to transfer an article to and from a station by raising and lowering a gripper that can be gripped in a suspended state.
  • the storage section located at the top of the article storage shelf is configured as a storage section for carrying in / out the article that can be transferred by the ceiling transfer apparatus, and the article transfer apparatus is used for loading / unloading. Articles are conveyed between the other storage section and other storage sections.
  • a plurality of storage units in an article storage shelf are arranged in the vertical and horizontal directions at the same position in the longitudinal direction of the shelf, and the article transport device moves in the horizontal width direction of the article storage shelf.
  • the movable body includes a movable body, a lift body that is guided and supported by a lift guide mast erected on the movable body, and an article support body that is mounted on the lift body.
  • the article support body is supported by the elevating body so that the article support body can be moved back and forth between a protruding position for transferring the article with respect to the storage section and a retreat position for retreating from the storage section in the longitudinal direction of the shelf.
  • the article support is supported by the elevating body so as to be movable between the retracted position and the protruding position in the longitudinal direction of the shelf.
  • the structure for supporting in is required.
  • the article support is movably supported by guide rails along the shelf front-rear direction provided in the lifting body, and the article support is placed in the shelf front-rear direction while restricting movement in the vertical direction and the left-right direction. I'm trying to leave.
  • the entire article support does not protrude from the elevator in the longitudinal direction of the shelf, but a part of the article support overlaps with the elevator in the longitudinal direction of the shelf.
  • the article support must include a support structure for supporting the article and a portion supported by a guide rail or the like separately from the support structure, and has a long length in the longitudinal direction of the shelf. .
  • the article storage facility described in Patent Document 1 is exemplified by the one provided with the chuck means for gripping the article, but the article support body is moved up and down movably in the longitudinal direction of the shelf.
  • a configuration for supporting the body is not disclosed. Therefore, for example, a fork-type article support that is supported by an elevating body so as to be freely retractable may be used as the article support. Therefore, the fork-type article support is used to make a length in the longitudinal direction of the shelf. The point that becomes longer will be described.
  • the elevating body 100 is guided and supported by the elevating guide mast 101 so that the elevating body 100 can freely move up and down.
  • the article support 102 includes a placement support portion 102a for placing and supporting the article 103 on the leading end side in the projecting direction. As shown in FIG. 9B, the article support 102 is positioned at the projecting position. In this case, the base end portion of the article support 102 is overlapped with the lifting body 100 in the longitudinal direction of the shelf (left and right in the figure), and the guide rail of the lifting body 100 is used as the base end portion of the overlapping article support 102. I will support it. Therefore, the article support 102 must be provided with a supported portion 102b supported by the guide rails of the elevating body 100 separately from the placement support portion 102a in the longitudinal direction of the shelf, and the length in the longitudinal direction of the shelf. Becomes longer.
  • the lifting body since the article support becomes longer in the longitudinal direction of the shelf, the lifting body also becomes longer in the longitudinal direction of the shelf, and as a result, the article storage facility becomes large in the longitudinal direction of the shelf as a whole. turn into.
  • a plurality of article processing units and a plurality of stations must be provided, and the installation space for the article storage facility should be smaller. It is difficult to meet this demand.
  • the moment acting downward with respect to the article support increases, so the article support moves up and down, for example, with a lifting guide mast.
  • a configuration such as strengthening the strength of the portion that guides and supports the body is required, resulting in a complicated configuration.
  • the strength of the portion can be strengthened, but such a configuration must be provided. This will lead to complications and new problems.
  • the portion of the lifting body that is guided and supported by the lifting guide mast is lengthened in the vertical direction, the lifting body becomes large in the vertical direction, causing an increase in size in the vertical direction as an article storage shelf, The problem that the range which can be moved up and down will be restrict
  • the present invention has been made paying attention to this point, and an object thereof is to provide an article storage facility capable of reducing the installation space in the front-rear direction of the shelf while preventing the configuration from becoming complicated. There is in point to do.
  • a first characteristic configuration of an article storage facility includes an article storage shelf including a plurality of storage units in the vertical direction and the left-right direction, and an article in each storage unit of the article storage shelf.
  • the article conveying device includes a movable body movable in a width direction of the shelf of the article storage shelf, a lifting guide mast movable in a longitudinal direction of the shelf of the article storage shelf with respect to the movable body, and a forward and backward direction of the shelf in the longitudinal direction of the shelf.
  • An article support that is movable to a protruding position for transferring an article with respect to the storage section and a retracted position for retreating from the storage section by the movement of the lifting guide mast, and that is guided and supported by the lift guide mast. It is composed of
  • the article transporting apparatus transfers articles to and from the storage unit by moving the moving body in the shelf width direction, raising and lowering the article support, and moving the lifting guide mast in the shelf front-rear direction.
  • the article support is moved in the longitudinal direction of the shelf by the movement of the lifting guide mast in the longitudinal direction of the shelf in order to transfer the article. Therefore, the article support is for supporting the article. Only the support structure needs to be provided, and the downsizing of the shelf can be achieved. Then, by making the article support compact in the longitudinal direction of the shelf, the moment acting downward on the article support can be reduced.
  • the plurality of storage units are arranged so as to be arranged in the vertical direction and the horizontal direction at the same position in the shelf front-rear direction.
  • the article support With the movement of the movable body in the lateral width direction, the article support can be moved to an opposing position facing each storage unit in the longitudinal direction of the shelf, and the article support is positioned at the opposing position.
  • the article support is configured to be movable to the protruding position in each storage portion by the movement of the lifting guide mast in the longitudinal direction of the shelf.
  • the article transport device can move the article support to the facing position in each storage unit by moving the moving body in the width direction of the shelf, and the front and rear of the shelf with the article support positioned at the facing position.
  • the article support can be moved to the protruding position in each storage unit, and the article can be transferred.
  • goods can be transferred between each storage part, simplifying a motion as an article conveyance device.
  • a third characteristic configuration of the article storage facility according to the present invention is that, among the plurality of storage units, an end side storage disposed on the end side in the shelf width direction and arranged in a plurality in the vertical direction.
  • the portion In the longitudinal direction of the shelf, the portion is disposed on the side closer to the lifting guide mast than the central storage portion disposed in the central portion of the lateral width direction of the shelf and arranged in a plurality in the vertical direction.
  • the article conveying device is disposed in the center by moving the lifting guide mast in the shelf front-rear direction in a state where the article support is positioned so as to face the center storage portion in the shelf front-rear direction.
  • the article support can be moved to the same position on the end side that is the same position as the end side storage section in the protruding position of the storage section and in the longitudinal direction of the shelf, and the article support is supported at the same position on the end side.
  • the shelf with the body positioned In that it is movably constituting the article support to the projected position in the end-side housing portion by the movement of the movable body in a direction.
  • the central storage portion and the end side storage portion are disposed at different positions in the front-rear direction of the shelf, and the end side storage portion is adjacent to the central storage portion on the side approaching the lifting guide mast. It can be arranged.
  • the both sides of a center storage part can be made into an empty space in a shelf width direction. Therefore, the empty space can be used for other purposes.
  • the empty space is used so that it does not overlap with the movement path in the horizontal direction. In this way, the article storage facility can be arranged as close as possible to the movement path. Therefore, the space required for installing the article storage facility can be reduced at a location where the movement path is curved.
  • the space generated by the space saving of the article storage facility can be utilized as an installation space for other devices.
  • the article transport device moves the article support to the protruding position in the central storage section by moving the lifting guide mast in the longitudinal direction of the shelf with the article support positioned so as to face the central storage section in the longitudinal direction of the shelf.
  • the article conveying device is, for example, the same on the end side by positioning the article support at the retracted position in the central storage unit in a state where the article support is positioned so as to face the central storage unit in the longitudinal direction of the shelf. Position the article support in position. Therefore, the article transport device moves the article support to the protruding position in the end side storage section by moving the movable body in the lateral width direction of the shelf with the article support positioned at the same position on the end side.
  • the article conveyance device can appropriately transfer the article to both the central storage unit and the end side storage unit.
  • the movable body is configured to be movable along a shelf lateral width moving rail along the shelf lateral width direction provided on the floor side, and the lifting guide mast is The movable body is configured to be movable along a shelf front / rear moving rail along the shelf front / rear direction.
  • the lifting guide mast need only be provided so as to be movable along the shelf front-rear moving rail provided in the moving body, and the configuration for providing the lifting guide mast so as to be movable in the shelf front-rear direction is also simplified. be able to.
  • a part of the storage unit arranged at the top is a ceiling transport device that is movable along a movement path on a ceiling side. It is configured as a storage unit for loading and unloading articles, and the article transporting device is capable of transporting articles transferred from the ceiling transporting device to the storage unit for loading and unloading to other storage units,
  • an article stored in a storage unit other than the storage unit for loading / unloading is configured to be transportable to the storage unit for loading / unloading.
  • the article transporting apparatus transports the article transferred to the carry-in / out storage section to another storage section, or carries in / out the article stored in a storage section other than the carry-in / out storage section. Can be transported to the storage unit for storage, and the articles transferred between the storage unit for loading and unloading and the ceiling transport device can be accurately transferred, while the articles transported by the ceiling transport device are stored can do.
  • the article storage facility is configured in a box shape surrounded by an article storage shelf 2 including a plurality of storage sections 1 in the vertical and horizontal directions, Each storage unit 1 in the article storage shelf 2 is provided with an article transport device 4 that can transport the article 3 freely.
  • the article 3 is constituted by, for example, a container containing a plurality of semiconductor substrates.
  • the article storage shelf 2 includes a pair of front and rear side frames 5 provided at intervals in the longitudinal direction of the shelf (left and right direction in FIG. 3), and the rear side frames 5 a of the pair of front and rear side frames 5. And a mounting support portion 7 provided so as to extend from the connection frame 6 to the front side in the front-rear direction of the shelf.
  • a plurality of (for example, seven) connecting frames 6 are provided at regular intervals in the vertical direction, and a plurality (for example, three) of mounting support portions 7 are provided so as to be aligned in the horizontal direction.
  • the mounting support portion 7 is formed in a U shape in plan view, and is configured such that the central portion in the shelf width direction (vertical direction in FIG. 3) is a hollow space.
  • the storage unit 1 is configured to store the article 3 in a state where the article 3 is placed and supported by the placement support part 7.
  • the plurality of storage units 1 are arranged in the vertical direction and the horizontal direction at the same position in the shelf front-rear direction.
  • the mounting support portion 7 is provided with three positioning pins 8, and the storage portion 1 positions the article 3 by fitting the positioning pins 8 into holes provided in the bottom of the article 3. It is configured to be stored in.
  • a part of the storage unit 1 arranged at the top is partly moved by a ceiling transport device 10 that is movable along a ceiling-side moving rail 9 (corresponding to a movement path). It is configured as a loading / unloading storage 1a.
  • the uppermost storage portion 1a of the article storage shelf 2 is not provided with a member or the like that shields the upper portion, and the upper portion is open.
  • the ceiling conveyance device 10 includes a grip portion 11 that can grip the article 3 in a suspended state.
  • the ceiling conveyance apparatus 10 raises / lowers the holding part 11 in the state stopped in the stop location (location equivalent to the upper part of the storage part 1a for carrying in / out) in the movement rail 9 corresponding to the storage part 1a for carrying in / out.
  • the article 3 is transferred to and from the carry-in / out storage section 1a.
  • the article storage facility is configured to temporarily store the articles 3 conveyed by the ceiling conveying device 10 in the article storage shelf 2.
  • the article conveying device 4 includes a movable body 12 that is movable in the width direction of the shelf of the article storage shelf 2, a lifting guide mast 13 that is movable in the longitudinal direction of the shelf of the article storage shelf 2 with respect to the movable body 12, and
  • the lifting guide mast 13 can be moved between the protruding position (see FIG. 2) for transferring articles to the storage unit 1 and the retraction position (see FIG. 1) withdrawing from the storage unit 1 by the movement of the lifting guide mast 13 in the direction. It is comprised from the article
  • the mobile body 12 is formed in a rectangular shape that is short in the lateral width direction of the shelf and long in the longitudinal direction of the shelf in plan view (see FIGS. 3, 5, and 6), and extends along the lateral width direction of the shelf provided on the floor side. It is configured to be movable along the shelf horizontal movement rail 15.
  • the shelf width moving rail 15 is configured to support a portion of the moving body 12 that approaches the article storage shelf 2 in the longitudinal direction of the shelf so as to be movable in the shelf width direction.
  • a moving guide roller 16 that is rotatable around a horizontal axis is provided at an end of the moving body 12 on the side away from the article storage shelf 2 in the front-rear direction of the shelf, and a movement for guiding the moving guide roller 16 is provided.
  • the guide part 17 is provided along the shelf width direction.
  • the moving guide roller 16 includes a first moving guide roller 16 a that contacts the upper surface portion of the moving guide portion 17 and a second moving guide roller that contacts the side surface portion of the moving guide portion 17.
  • Three types of guide rollers 16 b and a third moving guide roller 16 c that comes into contact with the lower surface of the movement guide portion 17 are provided.
  • the movement guide unit 17 is sandwiched in the vertical direction by the movement guide roller 16, and the upper and lower sides are guided by the contact between the side surface portion of the movement guide unit 17 and the movement guide roller 16 and by the shelf lateral width movement rail 15.
  • the moving body 12 can be moved in the shelf width direction while restricting movement in the direction and the front-rear direction of the shelf.
  • the moving body drive means 18 for moving the moving body 12 in the width direction of the shelf is provided in the lower space of the article storage shelf 2.
  • the moving body driving means 18 includes a moving body driving rotating body 19 disposed at one end in the shelf width direction and a moving body driven disposed at the other end in the shelf width direction.
  • An endless moving body driving belt 21 wound around the rotating body 20 and a moving body drive motor 22 for rotating the moving body drive rotating body 19 are configured.
  • the moving body 12 is connected to the moving body driving belt 21 at a moving body connecting portion 23 at an end portion on the side close to the article storage shelf 2 in the longitudinal direction of the shelf.
  • the moving body drive means 18 moves the moving body 12 in the lateral width direction of the shelf by rotating the moving body drive rotating body 19 with the moving body drive motor 22 and moving the moving body driving belt 21. It is configured.
  • the raising / lowering guide mast 13 is erected on a base 24 formed in a rectangular shape over the entire length of the movable body 12 in the shelf width direction, and the base 24 extends in the longitudinal direction of the shelf provided in the movable body 12. It is supported by the shelf back-and-forth moving rail 25 along the shelf so as to be movable in the front-rear direction.
  • a pair of shelf front / rear movement rails 25 are provided at intervals in the shelf width direction, and are configured to movably support one end and the other end of the base 24 in the shelf width direction.
  • lifting guide mast drive means 26 is provided in order to move the lifting guide mast 13 in the longitudinal direction of the shelf.
  • the lifting guide mast driving means 26 includes a rack portion 27 disposed on the movable body 12 along the shelf front-rear direction, and a pinion that is rotatable in a state of engaging with the rack portion 27. 28, and an elevating guide mast drive motor 29 for rotating the pinion 28.
  • the lift guide mast drive means 26 is configured to move the lift guide mast 13 in the longitudinal direction of the shelf by rotating the pinion 28 by the lift guide mast drive motor 29.
  • the article support 14 is guided by a lift guide mast 13 so as to be movable up and down, and a plate-like support 31 is provided so as to extend horizontally from the guide 30 to place and support the article 3. It consists of and. Since the article support 14 moves in the longitudinal direction of the shelf by the movement of the lifting guide mast 13 in the longitudinal direction of the shelf, the support portion 31 has a length that can support the article 3 in the longitudinal direction of the shelf. What is necessary is just to be able to shorten the length of the support part 31 as much as possible. Therefore, the length of the article support 14 in the longitudinal direction of the shelf can be shortened, and the article storage facility can be made compact in the longitudinal direction of the shelf.
  • the guide unit 30 is provided with a lifting guide roller 33 that is rotatable around a horizontal axis that is guided in contact with the guide unit 32 of the lifting guide mast 13. As shown in FIGS. 3 and 5, a pair of guide portions 32 are provided at intervals in the lateral width direction of the shelf, and an elevating guide roller 33 is provided so as to contact each of the pair of guide portions 32. .
  • the elevating guide roller 33 is provided in a state in which the guide portion 32 is sandwiched from both sides in the shelf front-rear direction, and the first elevating guide roller 33 a that restricts the movement of the article support 14 in the shelf front-rear direction, and the guide portion in the shelf lateral width direction And a second elevating guide roller 33b that regulates the movement of the article support 14 in the width direction of the shelf.
  • the support portion 31 is configured to be narrow in the lateral width direction of the shelf so that it can pass through the hollow space of the mounting support portion 7 in the storage portion 1 in the vertical direction at the protruding position.
  • the support portion 31 is provided with two positioning pins 34, and the support portion 31 is in a state in which the article 3 is positioned by fitting the positioning pins 34 into holes provided in the bottom of the article 3. It is comprised so that it may mount and support.
  • a lift driving means 35 is provided on the lift guide mast 13 to lift the article support 14.
  • the elevating drive means 35 includes an elevating drive rotating body 36 disposed at the lower end portion of the elevating guide mast 13 and an elevating operation disposed at the upper end portion of the elevating guide mast 13.
  • An endless elevating drive belt 38 wound around a driven rotator 37 and an elevating drive motor 39 for rotating the elevating drive rotator 36 are configured.
  • a guide portion 30 of the article support 14 is connected to a middle portion of the lifting drive belt 38, and the lifting drive means 35 rotates the lifting drive rotator 36 by the lifting drive motor 39 to drive the lifting drive belt 36.
  • the article support 14 is moved up and down by moving and operating 38.
  • the article transporting device 4 can move the article support 14 to an opposing position facing each storage unit 1 in the longitudinal direction of the shelf by the movement of the movable body 12 in the lateral width direction of the shelf, and the article support 14 to the opposing position.
  • the article support 14 is configured to be movable to a protruding position in each storage unit 1 by moving the lifting guide mast 13 in the front-rear direction of the shelf in a state where is positioned.
  • the article transporting device 4 retracts the article support 14 by positioning a lifting guide mast 13 at the end of the movable body 12 on the side away from the storage unit 1 in the front-rear direction of the shelf. It is comprised so that it may be located in a position.
  • FIG. 1 the article transporting device 4 retracts the article support 14 by positioning a lifting guide mast 13 at the end of the movable body 12 on the side away from the storage unit 1 in the front-rear direction of the shelf. It is comprised so that it may be located in a position.
  • the article transporting device 4 moves the moving body 12 in the shelf width direction with the article support 14 positioned at the retracted position.
  • the article support 14 can be moved in the shelf width direction without interference between the article support 14 and the storage unit 1.
  • the article transporting device 4 moves the moving body 12 in the horizontal width direction of the shelf with the article supporting body 14 positioned at the retracted position, so that the article supporting body 14 is placed at a position facing each storage unit 1. It is configured to be movable. As shown in FIGS.
  • the article transporting device 4 places the article support 14 at a position facing the storage portion 1 as indicated by arrows in the shelf front-rear direction (left-right direction in the figure) in FIG. 3.
  • the lift guide mast 13 is moved to the end of the movable body 12 that approaches the storage section 1 in the longitudinal direction of the shelf in the state of being positioned, the article support 14 can be moved to the protruding position in the storage section 1. It is configured.
  • a control device for controlling the operation of the article conveying device 4 is provided, and this control device takes out the article 3 stored in the storage unit 1 to be taken out and stores the taken-out article 3.
  • the operation of the article transport device 4 is controlled so as to be stored in the target storage unit 1.
  • the control device moves the movable body 12 in the horizontal direction of the shelf and moves it up and down to move the article support 14 to a position facing the storage unit 1 to be taken out with the article support 14 in the retracted position.
  • the operation of the moving body driving means 18 and the operation of the elevating drive means 35 are controlled so that the article support 14 is moved up and down by being guided by the guide mast 13.
  • the facing position corresponding to each storage unit 1 is stored in advance by the control device.
  • the vertical position which detects the shelf width direction position detection means which detects where the article support body 14 is located in the shelf width direction, and where the article support body 14 is located in the vertical direction Detection means is provided, and the control device, based on the detection information of the shelf width direction position detection means, moves the body support means 18 so as to move the article support 14 to the same position in the shelf width direction with respect to the opposing position. And the operation of the elevating drive means 35 is controlled so as to move the article support 14 to the same position in the vertical direction with respect to the opposing position based on the detection information of the vertical position detecting means. It is configured.
  • a distance measuring sensor or the like that detects the distance to the target by projecting the distance measuring laser beam toward the target and receiving the reflected light is applied. be able to.
  • the control device moves up and down the guide mast 13 at the end of the movable body 12 closer to the storage unit 1 in the longitudinal direction of the shelf.
  • the operation of the elevating guide mast driving means 26 is controlled so as to move.
  • the support part 31 of the article support body 14 is inserted into the hollow space of the placement support part 7 in the storage part 1, and the article support body 14 is positioned at the protruding position.
  • a control apparatus controls the action
  • the control device controls the operation of the lifting guide mast driving means 26 so as to move the lifting guide mast 13 to the end of the movable body 12 on the side away from the storage portion 1 in the longitudinal direction of the shelf.
  • the control device places the movable body 12 on the shelf so as to move the article support 14 to a position facing the storage unit 1 to be stored in a state where the article support 14 on which the article 3 is placed and supported is positioned at the retracted position.
  • the operation of the moving body driving means 18 and the operation of the elevating drive means 35 are controlled so that the article support 14 is moved up and down by being moved in the lateral width direction and guided by the elevating guide mast 13.
  • the control device moves the lifting guide mast 13 to the end of the movable body 12 on the side closer to the storage unit 1 in the longitudinal direction of the shelf.
  • the elevating driving means 35 is guided by the elevating guide mast 13 to lower the article support 14 by a set distance, as opposed to scooping up the article 3 from the storage unit 1. Control the operation of In this way, the article 3 is wholesaled from the article support 14 to the storage unit 1.
  • the article conveying device 4 is capable of conveying the article 3 transferred from the ceiling conveying device 10 to the loading / unloading storage unit 1a to the other storage unit 1 and storing units 1 other than the loading / unloading storage unit 1a.
  • the article 3 housed in the container is configured to be freely transported to the carrying-in / out housing part 1a.
  • the control apparatus stores the carry-in storage section 1a in another storage section 1 in which the article 3 is not stored. Accordingly, the operation of the article conveying device 4 is controlled.
  • the control device stores the article 3 stored in the storage unit 1 in the storage unit 1 a for loading and unloading. The operation of the article conveying device 4 is controlled.
  • both sides of the central storage portion 41 can be made empty in the shelf width direction. Therefore, at the location where the moving rail 9 for moving the ceiling conveying device 10 is arranged to be curved, the empty space is used to arrange the article storage equipment as close as possible to the moving rail 9. Can do. That is, when the article storage equipment is disposed at a location that does not overlap with the moving rail 9 in the horizontal direction so as not to disturb the movement of the ceiling transport device 3, the article storage equipment is placed as close as possible to the curved moving rail 9. It can be arranged. Therefore, it is possible to reduce the space required for installing the article storage facility at the location where the moving rail 9 is curved. As a result, a space generated by space saving of the article storage facility can be used as an installation space for the article processing unit, and the space can be effectively used.
  • the article transporting device 4 moves the lifting guide mast 13 in the front-rear direction of the shelf and moves the protruding position in the central storage portion 42.
  • the width of the shelf in a state where the article support 14 can be moved to the same position on the end side, which is the same position as the end side storage 41 in the longitudinal direction of the shelf, and the article support 14 is located at the same position on the end side.
  • the article support 14 is configured to be movable to a protruding position in the end side storage portion 41 by the movement of the moving body 12 in the direction.
  • the support portion 31 of the article support 14 is configured differently from the first embodiment.
  • a mounting table 43 having a narrow width is provided on the support portion 31 in both the shelf width direction and the shelf front-rear direction, and the article 3 is mounted and supported by the mounting table 43.
  • the mounting table 43 has a height corresponding to a set distance when the article support 14 is moved up and down at a protruding position with respect to the end-side storage unit 41 and the central storage unit 42. Accordingly, the mounting table 43 can be inserted into and removed from the hollow space of the mounting support portion 7 in the central storage portion 42 in the longitudinal direction of the shelf, and the hollow space of the mounting support portion 7 in the end side storage portion 41.
  • the mounting table 43 can pass through the hollow space of the mounting support portion 7 in the central storage portion 42 in the vertical direction and passes through the hollow space of the mounting support portion 7 in the end side storage portion 41 in the vertical direction. It is configured to be possible.
  • the control device positions the article support 14 in the retracted position and faces the central storage section 42, as indicated by arrows in the horizontal direction in the figure.
  • the lifting guide mast driving means 26 is moved so as to move the lifting guide mast 13 to the end of the movable body 12 on the side approaching the central storage portion 42 in the longitudinal direction of the shelf. Control the operation of Thereby, the mounting table provided on the support portion 31 of the article support 14 is inserted into the hollow space of the placement support section 7 in the central storage section 42, and the article support 14 is positioned at the protruding position in the central storage section 42. I try to let them.
  • control device controls the operation of the elevating drive means 35 so as to guide the elevating guide mast 13 to raise or lower the article support 14 by a set distance, whereby the mounting table 43 is moved in the central storage portion 42.
  • the article 3 is scraped from the central storage portion 42 or the article 3 is wholesaled in the central storage portion 42.
  • the control device positions the article support 14 in the retracted position and positions the article support 14 in a facing position facing the central storage section 42.
  • the operation of the article conveying device 4 is controlled in this way, the article support 14 is positioned at the same position on the end side that is the same position as the end side storage section 41 in the longitudinal direction of the shelf.
  • the moving body 12 moves the moving body 12 in the lateral width direction of the shelf in the state where the article support 14 is positioned at the same position on the end side as indicated by arrows in the vertical direction in the drawing.
  • the operation of the driving means 18 is controlled.
  • the mounting table provided on the support part 31 of the article support 14 is inserted into the hollow space of the placement support part 7 in the end part storage part 41, and the article support 14 is inserted into the end part storage part 41.
  • the projecting position is set.
  • the control device controls the operation of the elevating drive means 35 so as to guide the elevating guide mast 13 to raise or lower the article support 14 by a set distance, whereby the mounting table 43 is moved to the end side storage portion.
  • the article 3 is passed through the hollow space of the mounting support part 7 in the up and down direction, and the article 3 is scooped up from the end part side storage part 41 or the article 3 is wholesaled in the end part side storage part 41.
  • the movable body is movably provided along the shelf width moving rail along the shelf width direction provided on the ceiling side, and the shelf front and rear moving rail along the shelf front and rear direction provided in the moving body
  • An elevating guide mast can be provided so as to be movable along the axis.
  • the article storage facility according to the present invention is applied to the article conveyance facility provided with the ceiling conveyance device 10 to temporarily store the article 3 conveyed by the ceiling conveyance device 10.
  • the present invention can be applied not only to the article conveying facility provided with the ceiling conveying device 10 but also to other various article conveying facilities.
  • the article 3 is a container containing a semiconductor substrate, but other articles may be used.
  • the present invention is suitable for an article storage facility provided with an article storage shelf having a plurality of storage units in the vertical direction and the horizontal direction, and an article transport device capable of transporting articles to each storage unit in the article storage shelf. Can be used.

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Abstract

　構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースをより小さくすることができる物品収納設備の提供。 　上下方向及び左右方向に収納部１を複数備えた物品収納棚２と、その物品収納棚２における各収納部１に物品３を搬送自在な物品搬送装置４とが設けられ、物品搬送装置４は、物品収納棚２の棚横幅方向に移動自在な移動体１２と、その移動体１２に対して物品収納棚２の棚前後方向に移動自在な昇降案内マスト１３と、棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動により収納部１に対する物品移載用の突出位置と収納部１から引退する引退位置とに移動自在で且つ昇降案内マスト１３にて昇降自在に案内支持された物品支持体１４とから構成されている。

Description

物品収納設備
　本発明は、上下方向及び左右方向に収納部を複数備えた物品収納棚と、その物品収納棚における各収納部に物品を搬送自在な物品搬送装置とが設けられている物品収納設備に関する。
　　上記のような物品収納設備は、例えば、複数のステーションを経由する天井側の移動経路に沿って移動自在な天井搬送装置が設けられた物品搬送設備において、天井搬送装置にてステーションに搬送する物品を一時的に保管するために用いられている。ここで、物品は、例えば、複数の半導体基板を収納した容器であり、ステーションは、半導体基板に対して所定の処理を行う複数の物品処理部の夫々に対応して床部側に配設され、天井搬送装置は、物品を吊り下げ状態で把持自在な把持部を昇降させることにより、ステーションとの間で物品を移載するように構成されている。
　そして、物品収納設備では、物品収納棚において最上部に位置する収納部が、天井搬送装置が物品を移載自在な搬出入用の収納部として構成されており、物品搬送装置が、搬出入用の収納部とそれ以外の収納部との間で物品を搬送するようにしている。
　従来の物品収納設備では、物品収納棚において複数の収納部が棚前後方向の同一位置で上下方向及び左右方向に並ぶように配設され、物品搬送装置は、物品収納棚の棚横幅方向に移動自在な移動体と、移動体に立設された昇降案内マストに昇降自在に案内支持された昇降体と、昇降体に装備された物品支持体とから構成されている。そして、物品支持体は、物品収納棚の棚前後方向において、収納部に対する物品移載用の突出位置と収納部から引退する引退位置とに出退自在に昇降体に支持されている（例えば、特許文献１参照。）。
　この従来の物品収納設備では、物品搬送装置が複数の収納部のうち移載対象の収納部との間で物品を移載するときには、移動体を棚横幅方向に移動させ且つ昇降体を昇降案内マストに沿って昇降させることにより、物品支持体を移載対象となる収納部に対向する位置に移動させたのち、物品支持体が引退位置から突出位置に棚前後方向に突出移動することにより移載対象の物品を移載するようにしている。
特開平９－３１５５２１号公報
　上記従来の物品収納設備において、物品支持体は、棚前後方向において、引退位置と突出位置とに移動自在に昇降体に支持されているので、物品支持体を棚前後方向に移動自在に昇降体にて支持するための構成が必要となる。例えば、物品支持体は、昇降体に備えられた棚前後方向に沿う案内レールにて移動自在に支持されており、上下方向及び左右方向での移動を規制しながら、物品支持体を棚前後方向に出退させるようにしている。これにより、物品支持体が突出位置に位置するときに、棚前後方向において物品支持体の全体が昇降体から突出するのではなく、棚前後方向で物品支持体の一部を昇降体と重複させ、その重複する物品支持体の一部を昇降体に備えられた案内レールにて支持するようにしている。よって、物品支持体には、物品を支持するための支持構成と、その支持構成とは別に案内レール等により支持される部分を備えなければならず、棚前後方向に長さの長いものとなる。
　上記のような物品支持体として、上記特許文献１に記載の物品収納設備では、物品を把持するチャック手段を備えたものが例示されているが、物品支持体を棚前後方向に移動自在に昇降体にて支持するための構成が開示されていない。そこで、例えば、物品支持体として、出退自在に昇降体に支持されたフォーク式の物品支持体が用いられることがあるので、このフォーク式の物品支持体を用いて、棚前後方向に長さが長くなる点について説明する。
　図９に示すように、昇降体１００は、昇降案内マスト１０１に昇降自在に案内支持されており、物品支持体１０２が、昇降体１００に備えた案内レール等により昇降体１００に対して棚前後方向（図中左右方向）に引退位置（図９（ａ）参照）と突出位置（図９（ｂ）参照）とに出退自在に設けられている。物品支持体１０２は、その突出方向の先端側に物品１０３を載置支持する載置支持部１０２ａを備えているが、図９（ｂ）に示すように、物品支持体１０２が突出位置に位置するときに、棚前後方向（図中左右方向）で物品支持体１０２の基端部分を昇降体１００と重複させ、その重複する物品支持体１０２の基端部分を昇降体１００の案内レール等が支持することになる。よって、物品支持体１０２には、棚前後方向において、載置支持部１０２ａとは別に、昇降体１００の案内レール等が支持する被支持部分１０２ｂを備えなければならず、棚前後方向の長さが長くなる。
　よって、物品支持体は、棚前後方向での長さが長くなってしまうので、昇降体も棚前後方向での長さが長くなり、その結果、物品収納設備が全体として棚前後方向に大型になってしまう。とくに、上述のような天井搬送装置を備えた物品搬送設備では、複数の物品処理部や複数のステーションを配設しなければならず、物品収納設備の設置スペースとしては、より小さなスペースとすることが求められており、この要求に応えることが難しくなる。
　また、物品支持体が棚前後方向に長くなると、物品支持体に対して下方側へ作用するモーメントが大きくなるので、物品支持体が下方側に移動するために、例えば、昇降案内マストにて昇降体を案内支持する部分の強度を強固にする等の構成が必要となり、構成の複雑化を招くことになる。例えば、昇降体において昇降案内マストにて案内支持される部分を上下方向に長くすることにより、その部分の強度を強固にすることができるが、このような構成を備えなければならず、構成の複雑化を招くことになるとともに、あらたな問題が生じることになる。つまり、昇降体において昇降案内マストにて案内支持される部分を上下方向に長くすると、昇降体が上下方向に大きくなってしまい、物品収納棚として上下方向で大型化を招いたり、昇降体にて昇降できる範囲が制限されてしまう等の問題を生じることになる。
　本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースを小さくすることができる物品収納設備を提供する点にある。
　この目的を達成するために、本発明にかかる物品収納設備の第１特徴構成は、上下方向及び左右方向に収納部を複数備えた物品収納棚と、その物品収納棚における各収納部に物品を搬送自在な物品搬送装置とが設けられている物品収納設備において、
　前記物品搬送装置は、前記物品収納棚の棚横幅方向に移動自在な移動体と、その移動体に対して前記物品収納棚の棚前後方向に移動自在な昇降案内マストと、前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により前記収納部に対する物品移載用の突出位置と前記収納部から引退する引退位置とに移動自在で且つ前記昇降案内マストにて昇降自在に案内支持された物品支持体とから構成されている点にある。
　すなわち、物品搬送装置は、棚横幅方向での移動体の移動、物品支持体の昇降、棚前後方向での昇降案内マストの移動により、収納部との間で物品を移載することになる。これにより、物品支持体は、物品の移載のために、棚前後方向での昇降案内マストの移動によって棚前後方向に移動することになるので、物品支持体には、物品を支持するための支持構成だけを備えればよく、棚前後方向でコンパクト化を図ることができる。そして、物品支持体を棚前後方向でコンパクトにすることによって、物品支持体に対して下方側へ作用するモーメントを小さくできる。よって、物品支持体が下方側に移動するために、例えば、昇降案内マストにて昇降体を案内支持する部分の強度を強固にする等の構成が必要ではなく、構成の複雑化を招くことを防止できる。
　以上のことから、構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースを小さくすることができる物品収納設備を実現できる。
　本発明にかかる物品収納設備の第２特徴構成は、前記複数の収納部は、前記棚前後方向の同一位置で上下方向及び左右方向に並ぶように配設され、前記物品搬送装置は、前記棚横幅方向での前記移動体の移動により前記棚前後方向で各収納部に対向する対向位置に前記物品支持体を移動自在で、且つ、その対向位置に前記物品支持体を位置させた状態で前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により各収納部における前記突出位置に前記物品支持体を移動自在に構成されている点にある。
　すなわち、物品収納棚としては、単に、棚前後方向の同一位置で収納部を上下方向及び左右方向に並ぶように配設するだけでよく、構成の簡素化を図ることができる。物品搬送装置は、棚横幅方向での移動体の移動により各収納部における対向位置に物品支持体を移動させることができ、且つ、その対向位置に物品支持体を位置させた状態で、棚前後方向で昇降案内マストを移動させるだけで、物品支持体を各収納部における突出位置に移動させて物品を移載することができる。これにより、物品搬送装置としての動きを単純にしながら、各収納部との間で物品を移載することができる。
　本発明にかかる物品収納設備の第３特徴構成は、前記複数の収納部のうち、前記棚横幅方向の端部側に配設され且つ上下方向に複数並ぶように配設された端部側収納部は、前記棚前後方向において、前記棚横幅方向の中央部に配設され且つ上下方向に複数並ぶように配設された中央収納部よりも前記昇降案内マストに接近する側に位置するように配設され、前記物品搬送装置は、前記棚前後方向で前記中央収納部に対向するように前記物品支持体を位置させた状態で、前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により前記中央収納部における前記突出位置及び前記棚前後方向で前記端部側収納部と同一位置となる端部側同一位置に前記物品支持体を移動自在で、且つ、前記端部側同一位置に前記物品支持体を位置させた状態で前記棚横幅方向での前記移動体の移動により前記端部側収納部における前記突出位置に前記物品支持体を移動自在に構成されている点にある。
　すなわち、中央収納部と端部側収納部とは、棚前後方向において異なる位置に配設させ、且つ、端部側収納部は、中央収納部と隣接する状態で昇降案内マストに接近する側に配設することができる。これにより、棚横幅方向において中央収納部の両側を空きのスペースとすることができる。よって、その空きのスペースを他の用途に活用することができる。
　例えば、天井搬送装置を設けた物品搬送設備では、天井搬送装置を移動させる移動経路が湾曲するように配設された箇所において、その空きのスペースを利用して、水平方向において移動経路と重複させないようにしながら、物品収納設備を移動経路に極力近づけた状態で配設することができる。よって、移動経路が湾曲するように配設された箇所において、物品収納設備を設置するために必要なスペースを小さくすることができる。その結果、物品収納設備の省スペース化によって生じるスペースを他の装置の設置スペースとして活用することができる。
　物品搬送装置は、棚前後方向で中央収納部に対向するように物品支持体を位置させた状態で、棚前後方向での昇降案内マストの移動により中央収納部における突出位置に物品支持体を移動させて、中央収納部との間で物品を移載することができる。そして、物品搬送装置は、例えば、棚前後方向で中央収納部に対向するように物品支持体を位置させた状態で中央収納部における引退位置に物品支持体を位置させることにより、端部側同一位置に物品支持体を位置させる。よって、物品搬送装置は、端部側同一位置に物品支持体を位置させた状態において、棚横幅方向で移動体を移動させることにより、端部側収納部における突出位置に物品支持体を移動させて、端部側収納部との間で物品を移載することができる。その結果、物品搬送装置は、中央収納部及び端部側収納部の両方に対して物品を適正に移載することができる。
　本発明にかかる物品収納設備の第４特徴構成は、前記移動体は、床部側に設けられた前記棚横幅方向に沿う棚横幅移動レールに沿って移動自在に構成され、前記昇降案内マストは、前記移動体に備えられた前記棚前後方向に沿う棚前後移動レールに沿って移動自在に構成されている点にある。
　すなわち、移動体を棚横幅方向に移動させるために、単に、床部側に棚横幅移動レールを配設すればよく、構成の簡素化を図ることができる。しかも、昇降案内マストは、その移動体に備えられた棚前後移動レールに沿って移動自在に設けるだけでよく、昇降案内マストを棚前後方向に移動自在に設けるための構成も簡素なものとすることができる。
　本発明にかかる物品収納設備の第５特徴構成は、前記複数の収納部のうち、最上部に配置された収納部の一部は、天井側の移動経路に沿って移動自在な天井搬送装置が物品を移載自在な搬出入用の収納部として構成され、前記物品搬送装置は、前記天井搬送装置から前記搬出入用の収納部に移載された物品を他の収納部に搬送自在で、且つ、前記搬出入用の収納部以外の収納部に収納されている物品を前記搬出入用の収納部に搬送自在に構成されている点にある。
　すなわち、天井搬送装置を備えた物品搬送設備において、天井搬送装置にて搬送される物品を一時保管するために物品収納設備を用いるに当たり、最上部の収納部の一部を天井搬送装置との間で物品を移載するための搬出入用の収納部とすることができ、物品収納棚とは別に搬出入部を設けなくてよく、構成の簡素化を図ることができる。
　そして、物品搬送装置は、搬出入用の収納部に移載された物品を他の収納部に搬送したり、或いは、搬出入用の収納部以外の収納部に収納されている物品を搬出入用の収納部に搬送することができ、搬出入用の収納部と天井搬送装置との間での物品の移載を的確に行うことができながら、天井搬送装置にて搬送される物品を保管することができる。
は、物品収納設備の側面図である。 は、物品収納設備の側面図である。 は、物品収納設備の平面図である。 は、物品収納設備の棚横幅方向視での要部拡大図である。 は、物品収納設備の要部拡大平面図である。 は、物品収納設備の要部拡大平面図である。 は、物品収納設備の棚前後幅方向視での要部拡大図である。 は、第２実施形態における物品収納設備の平面図である。 は、従来の物品収納設備における昇降体及び物品支持体を示す図である。
　　本発明に係る物品収納設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
　　〔第１実施形態〕
　この物品収納設備は、図１～図３に示すように、その周囲が囲まれた箱状に構成されており、上下方向及び左右方向に収納部１を複数備えた物品収納棚２と、その物品収納棚２における各収納部１に物品３を搬送自在な物品搬送装置４とが設けられている。ここで、物品３は、例えば、複数の半導体基板を収納した容器にて構成されている。
　以下、図１～図７に基づいて説明する。
　物品収納棚２は、棚前後方向（図３中左右方向）に間隔を隔てて設けられた前後一対の側部フレーム５と、前後一対の側部フレーム５のうち後部側の側部フレーム５ａ同士を連結する連結フレーム６と、連結フレーム６から棚前後方向の前方側に延びるように設けられた載置支持部７とを備えている。連結フレーム６は、上下方向に一定間隔を隔てて複数（例えば７つ）設けられており、載置支持部７は、水平方向に並ぶように複数（例えば３つ）設けられている。載置支持部７は、平面視でコ字状に形成されており、棚横幅方向（図３中上下方向）の中央部が中空空間となるように構成されている。
　収納部１は、載置支持部７にて物品３を載置支持する状態で物品３を収納するように構成されている。複数の収納部１は、棚前後方向の同一位置で上下方向及び左右方向に並ぶように配設されている。載置支持部７には、３つの位置決めピン８が設けられており、位置決めピン８を物品３の底部に備えられた孔部に嵌合させることにより、収納部１が物品３を位置決めした状態で収納するように構成されている。
　複数の収納部１のうち、最上部に配置された収納部１の一部は、天井側の移動レール９（移動経路に相当する）に沿って移動自在な天井搬送装置１０が物品３を移載自在な搬出入用の収納部１ａとして構成されている。つまり、物品収納棚２の最上部の収納部１ａは、その上部を遮蔽する部材等が設けられておらず、その上部が開放されている。天井搬送装置１０は、物品３を吊り下げ状態で把持自在な把持部１１を備えている。そして、天井搬送装置１０は、移動レール９において搬出入用の収納部１ａに対応する停止箇所（搬出入用の収納部１ａの上部に相当する箇所）に停止した状態において、把持部１１を昇降させることにより搬出入用の収納部１ａとの間で物品３を移載するように構成されている。これにより、この物品収納設備は、天井搬送装置１０にて搬送される物品３を物品収納棚２にて一時保管するように構成されている。
　物品搬送装置４は、物品収納棚２の棚横幅方向に移動自在な移動体１２と、その移動体１２に対して物品収納棚２の棚前後方向に移動自在な昇降案内マスト１３と、棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動により収納部１に対する物品移載用の突出位置（図２参照）と収納部１から引退する引退位置（図１参照）とに移動自在で且つ昇降案内マスト１３にて昇降自在に案内支持された物品支持体１４とから構成されている。
　移動体１２は、平面視において棚横幅方向に短く且つ棚前後方向に長い矩形状に形成されており（図３、図５及び図６参照）、床部側に設けられた棚横幅方向に沿う棚横幅移動レール１５に沿って移動自在に構成されている。棚横幅移動レール１５は、棚前後方向において移動体１２の物品収納棚２に接近する部分を棚横幅方向に移動自在に支持するように構成されている。また、棚前後方向において移動体１２の物品収納棚２から離れる側の端部には、水平軸心周りで回転自在な移動用ガイドローラ１６が設けられ、この移動用ガイドローラ１６を案内する移動案内部１７が棚横幅方向に沿って設けられている。
　図４及び図７に示すように、移動用ガイドローラ１６は、移動案内部１７の上面部に当接する第１移動用ガイドローラ１６ａと、移動案内部１７の側面部に当接する第２移動用ガイドローラ１６ｂと、移動案内部１７の下面部に当接する第３移動用ガイドローラ１６ｃの３種類が設けられている。これにより、移動案内部１７を移動用ガイドローラ１６にて上下方向で挟み込み、且つ、移動案内部１７の側面部と移動用ガイドローラ１６との当接及び棚横幅移動レール１５による案内によって、上下方向及び棚前後方向での移動を規制しながら、移動体１２を棚横幅方向に移動させることができる。
　移動体１２を棚横幅方向に移動させるための移動体駆動手段１８が物品収納棚２の下部空間に設けられている。図４及び図５に示すように、移動体駆動手段１８は、棚横幅方向の一端部に配設された移動体駆動回転体１９と棚横幅方向の他端部に配設された移動体従動回転体２０とに亘って巻回された無端状の移動体駆動用ベルト２１と、移動体駆動回転体１９を回転駆動させる移動体駆動モータ２２とから構成されている。移動体１２は、棚前後方向の物品収納棚２に接近する側の端部が移動体連結部２３にて移動体駆動用ベルト２１に連結されている。移動体駆動手段１８は、移動体駆動モータ２２にて移動体駆動回転体１９を回転駆動させて移動体駆動用ベルト２１を移動操作させることにより、移動体１２を棚横幅方向に移動させるように構成されている。
　昇降案内マスト１３は、棚横幅方向において移動体１２の全長に亘る矩形状に形成された基台２４上に立設されており、基台２４は、移動体１２に備えられた棚前後方向に沿う棚前後移動レール２５にて棚前後方向に移動自在に支持されている。棚前後移動レール２５は、棚横幅方向に間隔を隔てて一対設けられ、棚横幅方向の基台２４の一端部及び他端部の夫々を移動自在に支持するように構成されている。
　昇降案内マスト１３を棚前後方向に移動させるために昇降案内マスト駆動手段２６が設けられている。図４及び図６に示すように、昇降案内マスト駆動手段２６は、棚前後方向に沿って移動体１２に配設されたラック部２７、そのラック部２７に係合する状態で回転自在なピニオン２８、ピニオン２８を回転駆動させる昇降案内マスト駆動モータ２９とから構成されている。昇降案内マスト駆動手段２６は、昇降案内マスト駆動モータ２９にてピニオン２８を回転駆動させることにより、昇降案内マスト１３を棚前後方向に移動させるように構成されている。
　物品支持体１４は、昇降案内マスト１３にて昇降自在に案内される案内部３０と、その案内部３０から水平方向に延びるように設けられて物品３を載置支持する板状の支持部３１とから構成されている。物品支持体１４は、棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動によって棚前後方向に移動するので、支持部３１としては、棚前後方向において物品３を載置支持できるだけの長さを有していればよく、支持部３１の長さを極力短くすることができる。よって、棚前後方向での物品支持体１４の長さを短くでき、棚前後方向において物品収納設備のコンパクト化を図ることができる。
　案内部３０は、昇降案内マスト１３のガイド部３２に当接して案内される水平軸心周りで回転自在な昇降ガイドローラ３３が設けられている。図３及び図５に示すように、ガイド部３２は、棚横幅方向に間隔を隔てて一対設けられ、一対のガイド部３２の夫々に対して昇降ガイドローラ３３が当接するように設けられている。昇降ガイドローラ３３は、棚前後方向においてガイド部３２を両側から挟み込む状態で設けられて棚前後方向での物品支持体１４の移動を規制する第１昇降ガイドローラ３３ａと、棚横幅方向においてガイド部３２に当接して棚横幅方向での物品支持体１４の移動を規制する第２昇降ガイドローラ３３ｂとの２種類から構成されている。支持部３１は、突出位置において、収納部１における載置支持部７の中空空間を上下方向に通過可能となるように棚横幅方向に幅狭に構成されている。また、支持部３１には、２つの位置決めピン３４が設けられ、この位置決めピン３４を物品３の底部に備えられた孔部に嵌合させることにより、支持部３１は、物品３を位置決めした状態で載置支持するように構成されている。
　物品支持体１４を昇降させるために昇降駆動手段３５が昇降案内マスト１３に設けられている。図１、図２及び図４に示すように、昇降駆動手段３５は、昇降案内マスト１３の下端部に配設された昇降駆動回転体３６と昇降案内マスト１３の上端部に配設された昇降従動回転体３７とに亘って巻回された無端状の昇降駆動用ベルト３８と、昇降駆動回転体３６を回転駆動させる昇降駆動モータ３９とから構成されている。昇降駆動用ベルト３８の途中部分に、物品支持体１４における案内部３０が連結されており、昇降駆動手段３５は、昇降駆動モータ３９にて昇降駆動回転体３６を回転駆動させて昇降駆動用ベルト３８を移動操作させることにより、物品支持体１４を昇降させるように構成されている。
　物品搬送装置４は、棚横幅方向での移動体１２の移動により棚前後方向で各収納部１に対向する対向位置に物品支持体１４を移動自在で、且つ、その対向位置に物品支持体１４を位置させた状態で棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動により各収納部１における突出位置に物品支持体１４を移動自在に構成されている。
　図１及び図３に示すように、物品搬送装置４は、棚前後方向で移動体１２の収納部１から離れる側の端部に昇降案内マスト１３を位置させることにより、物品支持体１４を引退位置に位置させるように構成されている。図３において棚横幅方向（図中上下方向）での矢印にて示すように、物品搬送装置４は、物品支持体１４を引退位置に位置させた状態で移動体１２を棚横幅方向に移動させることにより、物品支持体１４と収納部１とが干渉することなく、物品支持体１４を棚横幅方向に移動させることができる。これにより、物品搬送装置４は、物品支持体１４を引退位置に位置させた状態で移動体１２を棚横幅方向に移動させることにより、各収納部１に対向する対向位置に物品支持体１４を移動自在に構成されている。図２及び図３に示すように、物品搬送装置４は、図３において棚前後方向（図中左右方向）での矢印にて示すように、ある収納部１に対する対向位置に物品支持体１４を位置させた状態において棚前後方向で移動体１２の収納部１に接近する側の端部に昇降案内マスト１３を移動させることにより、その収納部１における突出位置に物品支持体１４を移動自在に構成されている。
　図示は省略するが、物品搬送装置４の作動を制御する制御装置が設けられており、この制御装置は、取り出し対象の収納部１に収納された物品３を取り出してその取り出した物品３を収納対象の収納部１に収納すべく、物品搬送装置４の作動を制御するように構成されている。
　制御装置は、物品支持体１４を引退位置に位置させた状態で取り出し対象の収納部１に対向する対向位置に物品支持体１４を移動させるべく、移動体１２を棚横幅方向に移動させ且つ昇降案内マスト１３にて案内させて物品支持体１４を昇降させるように移動体駆動手段１８の作動及び昇降駆動手段３５の作動を制御する。ここで、各収納部１に対応する対向位置については、制御装置が予め記憶している。また、図示は省略するが、棚横幅方向において物品支持体１４がどこに位置するかを検出する棚横幅方向位置検出手段、及び、上下方向において物品支持体１４がどこに位置するかを検出する上下位置検出手段を設けており、制御装置は、棚横幅方向位置検出手段の検出情報に基づいて、対向位置に対して棚横幅方向で同一位置に物品支持体１４を移動させるように移動体駆動手段１８の作動を制御し、且つ、上下位置検出手段の検出情報に基づいて、対向位置に対して上下方向で同一位置に物品支持体１４を移動させるように昇降駆動手段３５の作動を制御するように構成されている。ちなみに、棚横幅方向位置検出手段については、測距用レーザ光を目標物に向けて投光してその反射した光を受光することにより目標物までの距離を検出する測距センサ等を適応することができる。
　制御装置は、取り出し対象の収納部１に対向する対向位置に物品支持体１４を位置させた状態において、棚前後方向で移動体１２の収納部１に接近する側の端部に昇降案内マスト１３を移動させるように昇降案内マスト駆動手段２６の作動を制御する。これにより、収納部１における載置支持部７の中空空間に物品支持体１４の支持部３１を挿入させて物品支持体１４を突出位置に位置させる。そして、制御装置は、昇降案内マスト１３にて案内して物品支持体１４を設定距離だけ上昇させるように昇降駆動手段３５の作動を制御する。よって、物品支持体１４の支持部３１にて物品３を載置支持する状態で収納部１から物品３を掬い取るようにしている。その後、制御装置は、棚前後方向で移動体１２の収納部１から離れる側の端部に昇降案内マスト１３を移動させるように昇降案内マスト駆動手段２６の作動を制御する。
　制御装置は、物品３を載置支持した物品支持体１４を引退位置に位置させた状態で収納対象の収納部１に対向する対向位置に物品支持体１４を移動させるべく、移動体１２を棚横幅方向に移動させ且つ昇降案内マスト１３にて案内させて物品支持体１４を昇降させるように移動体駆動手段１８の作動及び昇降駆動手段３５の作動を制御する。そして、収納部１から物品３を掬い取るときと同様に、制御装置は、棚前後方向で移動体１２の収納部１に接近する側の端部に昇降案内マスト１３を移動させるように昇降案内マスト駆動手段２６の作動させたのち、収納部１から物品３を掬い取るときとは逆に、昇降案内マスト１３にて案内して物品支持体１４を設定距離だけ下降させるように昇降駆動手段３５の作動を制御する。このようにして、物品支持体１４から物品３を収納部１に卸すようにしている。
　物品搬送装置４は、天井搬送装置１０から搬出入用の収納部１ａに移載された物品３を他の収納部１に搬送自在で、且つ、搬出入用の収納部１ａ以外の収納部１に収納されている物品３を搬出入用の収納部１ａに搬送自在に構成されている。つまり、天井搬送装置１０から搬出入用の収納部１ａに物品３が搬入されると、制御装置は、その搬入用の収納部１ａを物品３が収納されていない他の収納部１に収納すべく、物品搬送装置４の作動を制御するように構成されている。また、天井搬送装置３にて収納部１に収納されている物品３を搬送するときには、制御装置は、収納部１に収納されている物品３を搬出入用の収納部１ａに収納させるべく、物品搬送装置４の作動を制御するように構成されている。
　　〔第２実施形態〕
　この第２実施形態では、上記第１実施形態において、物品収納棚２における収納部１の配置構成が異なる別実施形態である。
　図８に示すように、物品収納棚２において、複数の収納部４０のうち、棚横幅方向（図中上下方向）の端部側に配設された端部側収納部４１は、棚前後方向において、棚横幅方向の中央部に配設された中央収納部４２よりも昇降案内マスト１３に接近する側に位置するように配設されている。つまり、棚前後方向（図中左右方向）において、中央収納部４２と端部側収納部４１とは異なる位置に配設されており、且つ、端部側収納部４１は、中央収納部４２と隣接する状態で昇降案内マスト１３に接近する側に配設されている。そして、中央収納部４２に対しては、物品３の出し入れ方向を棚前後方向としており、端部側収納部４１に対しては、物品３の出し入れ方向を棚横幅方向としている。
　これにより、棚横幅方向において中央収納部４１の両側を空きのスペースとすることができる。よって、天井搬送装置１０を移動させる移動レール９が湾曲するように配設された箇所において、その空きのスペースを利用して、物品収納設備を移動レール９に極力近づけた状態で配設することができる。つまり、天井搬送装置３の移動を邪魔しないように、水平方向において移動レール９と重複しない箇所に物品収納設備を配設する場合に、湾曲する移動レール９に合わせて極力近づけて物品収納設備を配設することができる。よって、移動レール９が湾曲するように配設された箇所において、物品収納設備を設置するために必要なスペースを小さくすることができる。その結果、物品収納設備の省スペース化によって生じるスペースを物品処理部の設置スペースとして活用することができ、スペースの有効活用を図ることができる。
　物品搬送装置４は、棚前後方向で中央収納部４２に対向するように物品支持体１４を位置させた状態で、棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動により中央収納部４２における突出位置及び棚前後方向で端部側収納部４１と同一位置となる端部側同一位置に物品支持体１４を移動自在で、且つ、端部側同一位置に物品支持体１４を位置させた状態で棚横幅方向での移動体１２の移動により端部側収納部４１における突出位置に物品支持体１４を移動自在に構成されている。
　物品支持体１４の支持部３１について、上記第１実施形態とは異なる構成としている。例えば、支持部３１上に、棚横幅方向及び棚前後方向の両方において幅狭の載置台４３を設け、その載置台４３にて物品３を載置支持するように構成されている。そして、載置台４３は、端部側収納部４１及び中央収納部４２に対する突出位置に物品支持体１４を位置させて昇降させるときの設定距離に対応する高さを有している。
　これにより、載置台４３は、中央収納部４２における載置支持部７の中空空間に対して棚前後方向に挿脱自在で、且つ、端部側収納部４１における載置支持部７の中空空間に対して棚横幅方向に挿脱自在に構成されている。さらに、載置台４３は、中央収納部４２における載置支持部７の中空空間を上下方向に通過可能で、且つ、端部側収納部４１における載置支持部７の中空空間を上下方向に通過可能に構成されている。
　中央収納部４２との間で物品３を移載するときには、制御装置が、図中左右方向での矢印にて示すように、物品支持体１４を引退位置に位置させ且つ中央収納部４２に対向する対向位置に物品支持体１４を位置させた状態において、棚前後方向で移動体１２の中央収納部４２に接近する側の端部に昇降案内マスト１３を移動させるように昇降案内マスト駆動手段２６の作動を制御する。これにより、中央収納部４２における載置支持部７の中空空間に物品支持体１４の支持部３１上に設けた載置台を挿入させて、物品支持体１４を中央収納部４２における突出位置に位置させるようにしている。その後、制御装置が、昇降案内マスト１３にて案内して物品支持体１４を設定距離だけ上昇又は下降させるように昇降駆動手段３５の作動を制御することにより、載置台４３を中央収納部４２における載置支持部７の中空空間を上下方向に通過させて、中央収納部４２から物品３を掬い取る又は中央収納部４２に物品３を卸すようにしている。
　端部側収納部４１との間で物品３を移載するときには、制御装置が、物品支持体１４を引退位置に位置させ且つ中央収納部４２に対向する対向位置に物品支持体１４を位置させるように物品搬送装置４の作動を制御すると、棚前後方向で端部側収納部４１と同一位置となる端部側同一位置に物品支持体１４を位置させることになる。そして、制御装置が、図中上下方向での矢印にて示すように、端部側同一位置に物品支持体１４を位置させた状態において、移動体１２を棚横幅方向に移動させるように移動体駆動手段１８の作動を制御する。これにより、端部側収納部４１における載置支持部７の中空空間に物品支持体１４の支持部３１上に設けた載置台を挿入させて、物品支持体１４を端部側収納部４１における突出位置に位置させるようにしている。そして、制御装置が、昇降案内マスト１３にて案内して物品支持体１４を設定距離だけ上昇又は下降させるように昇降駆動手段３５の作動を制御することにより、載置台４３を端部側収納部４１における載置支持部７の中空空間を上下方向に通過させて、端部側収納部４１から物品３を掬い取る又は端部側収納部４１に物品３を卸すようにしている。
　　〔別実施形態〕
（１）上記実施形態において、天井側に設けられた棚横幅方向に沿う棚横幅移動レールに沿って移動体を移動自在に設け、その移動体に備えられた棚前後方向に沿う棚前後移動レールに沿って移動自在に昇降案内マストを設けることもできる。
（２）上記実施形態では、天井搬送装置１０を設けた物品搬送設備に、本発明に係る物品収納設備を適応して、天井搬送装置１０にて搬送する物品３を一時保管するようにしているが、天井搬送装置１０を設けた物品搬送設備に限らず、その他各種の物品搬送設備に適応することができる。
（３）上記実施形態では、物品３を、半導体基板を収納した容器としているが、その他の物品とすることもできる。
　　本発明は、上下方向及び左右方向に収納部を複数備えた物品収納棚と、その物品収納棚における各収納部に物品を搬送自在な物品搬送装置とが設けられている物品収納設備に好適に利用することができる。

Claims (5)

  1. 　　上下方向及び左右方向に収納部を複数備えた物品収納棚と、
    　その物品収納棚における各収納部に物品を搬送自在な物品搬送装置とが設けられている物品収納設備であって、
    　前記物品搬送装置は、前記物品収納棚の棚横幅方向に移動自在な移動体と、その移動体に対して前記物品収納棚の棚前後方向に移動自在な昇降案内マストと、前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により前記収納部に対する物品移載用の突出位置と前記収納部から引退する引退位置とに移動自在で且つ前記昇降案内マストにて昇降自在に案内支持された物品支持体とから構成されている物品収納設備。
  2. 　前記複数の収納部は、前記棚前後方向の同一位置で上下方向及び左右方向に並ぶように配設され、
    　前記物品搬送装置は、前記棚横幅方向での前記移動体の移動により前記棚前後方向で各収納部に対向する対向位置に前記物品支持体を移動自在で、且つ、その対向位置に前記物品支持体を位置させた状態で前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により各収納部における前記突出位置に前記物品支持体を移動自在に構成されている請求項１に記載の物品収納設備。
  3. 　前記複数の収納部のうち、前記棚横幅方向の端部側に配設され且つ上下方向に複数並ぶように配設された端部側収納部は、前記棚前後方向において、前記棚横幅方向の中央部に配設され且つ上下方向に複数並ぶように配設された中央収納部よりも前記昇降案内マストに接近する側に位置するように配設され、
    　前記物品搬送装置は、前記棚前後方向で前記中央収納部に対向するように前記物品支持体を位置させた状態で、前記棚前後方向での前記昇降案内マストの移動により前記中央収納部における前記突出位置及び前記棚前後方向で前記端部側収納部と同一位置となる端部側同一位置に前記物品支持体を移動自在で、且つ、前記端部側同一位置に前記物品支持体を位置させた状態で前記棚横幅方向での前記移動体の移動により前記端部側収納部における前記突出位置に前記物品支持体を移動自在に構成されている請求項１に記載の物品収納設備。
  4. 　前記移動体は、床部側に設けられた前記棚横幅方向に沿う棚横幅移動レールに沿って移動自在に構成され、
    　前記昇降案内マストは、前記移動体に備えられた前記棚前後方向に沿う棚前後移動レールに沿って移動自在に構成されている請求項１～３の何れか１項に記載の物品収納設備。
  5. 　前記複数の収納部のうち、最上部に配置された収納部の一部は、天井側の移動経路に沿って移動自在な天井搬送装置が物品を移載自在な搬出入用の収納部として構成され、
    　前記物品搬送装置は、前記天井搬送装置から前記搬出入用の収納部に移載された物品を他の収納部に搬送自在で、且つ、前記搬出入用の収納部以外の収納部に収納されている物品を前記搬出入用の収納部に搬送自在に構成されている請求項１～４の何れか１項に記載の物品収納設備。
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