JP2015222738A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークを収納するマガジン80を把持するチャッキング装置20を備え、チャッキング装置20がマガジン80を把持した状態でマガジン80を搬送する天井搬送車10を、チャッキング装置20が、マガジン80を把持する把持部21と、把持部21により把持するマガジン80を検出するセンサ23と、を備え、把持部21が、センサ23による検出に基づいてマガジン80に対する把持動作が制御されるとともに、マガジン80に収納されているワークの飛び出しを防止するように構成する。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、天井搬送車10は、半導体基板等のワーク(図示せず)に対して所定の処理を行う複数の処理装置(図示せず)に、ワークを搬送するためのものである。天井搬送車10は、ワークが収納されたマガジン80(「搬送容器」の一例)を把持した状態で搬送する。
図1に示すように、天井搬送車10は、設備の天井90近くに設けられた走行レール91に対して吊下げられた状態で取り付けられ、走行レール91に沿って移動可能に構成されている。天井搬送車10は、移動車11と、昇降駆動部12と、チャッキング装置20(「容器把持手段」の一例)と、から主に構成されている。
チャッキング装置20は、マガジン80を把持する装置であり、昇降駆動部12に取り付けられる。チャッキング装置20は、マガジン80の底部からマガジン80を包み込む(掬う)ように、マガジン80を把持する。チャッキング装置20は、マガジン80を把持する把持部21と、把持部21を駆動する駆動部22と、マガジン80を検出するセンサ23(「容器検出部」の一例)と、から主に構成されている。
図1から図3に示すように、把持部21は、チャッキング装置20の上下方向に延設され、マガジン80の底部からマガジン80を包み込む(掬う)ようにマガジン80を搬送可能に保持する部分、すなわち、マガジン80を把持する部分である。把持部21は、上下方向に延設される複数(図1では3本)のチャック縦材(チャック縦材24・25・26)により構成され、複数のチャック縦材によってマガジン80を把持する。なお、把持部21を3本のチャック縦材(チャック縦材24・25・26)により構成することで、マガジン80の重量が各チャック縦材(チャック縦材24・25・26)の受け部分(受け部分28・30)に確実に乗り、マガジン80をより安定して把持することができる。
図1及び図3に示すように、駆動部22は、把持部21の各チャック縦材24・25・26を移動させるものであり、把持部21の上部に設けられる。駆動部22は、モータ31・32と、スライド部材40・41・42と、から主に構成されている。
第1軸33はボールねじにより形成され、途中に挿通される第1ナット部材34及び第2ナット部材35の部分で逆方向にネジが切られている。すなわち、第1軸33は、第1軸33を回動させた際に、第1ナット部材34及び第2ナット部材35が第1軸33上で互いに接近し或いは離間するように形成される。
第2軸36には第3軸37が接続され、第2軸36が回動することで第3軸37が回動する。
第3軸37はボールねじにより形成され、途中に挿通される第3ナット部材38及び第4ナット部材39の部分で逆方向にネジが切られている。すなわち、第3軸37は、第3軸37を回動させた際に、第3ナット部材38及び第4ナット部材39が第3軸37上で互いに接近し或いは離間するように形成される。
図1及び図3に示すように、センサ23は、各チャック縦材24・25・26の下端部(受け部分28側)に設けられ、把持部21により把持されるマガジン80を検出する。センサ23の検出結果は検出信号として図示しない制御部に送信される。そして、制御部は、センサ23からの検出信号に基づいて、マガジン80に対する各チャック縦材24・25・26の把持動作を制御する。
センサ23は、静電容量型近接センサにより構成される。なお、センサ23の方式は、静電容量型のセンサに限定されるものではなく、マガジン80の材質、色等によって方式を選択するため、例えば、光学式或いは直接接触式のセンサであっても構わない。また、センサ23は、各チャック縦材24・25・26の下端部に設けられているが、これに限定されるものではなく、マガジン80が検出可能な位置であれば、例えば、各チャック縦材24・25・26の中央部或いは上端部に設けても構わない。
次に、各チャック縦材24・25・26の把持動作について説明する。
図4(a)に示すように、天井搬送車10においては、まず、各チャック縦材24・25・26をマガジン80の長手方向と直交する方向(矢印C方向、マガジン80の幅方向)に移動させてマガジン80の長手方向の側板を把持し、次に、図4(b)に示すように、第1チャック縦材24及び第2チャック縦材25をマガジン80の長手方向(矢印D方向)に移動させてマガジン80の幅方向の側板を把持する。すなわち、天井搬送車10においては、第1チャック縦材24及び第2チャック縦材25は、マガジン80に対する移動方向を二方向に段階的に変化させながら、マガジン80の角部を把持する。これは、図4(d)に示すように、第1チャック縦材24及び第2チャック縦材25を第3チャック縦材26の移動に合わせて一段階で移動させると、マガジン80の形状或いは大きさによって、第1チャック縦材24及び第2チャック縦材25がマガジン80に引っ掛かり、マガジン80を把持することができない場合があるためである(図4(e)参照)。このように、第1チャック縦材24及び第2チャック縦材25を二段階に分けて移動させることにより、形状或いは大きさの異なるマガジン80が混在した場合であっても、各チャック縦材24・25・26がマガジン80に引っ掛かることなく、把持部21によりマガジン80を把持することができる。具体的には、以下のように動作する。
20 チャッキング装置(容器把持手段)
21 把持部
23 センサ(容器検出部)
23a 第1センサ(第1容器検出部)
23b 第2センサ(第2容器検出部)
80 マガジン(搬送容器)
82 収納口
Claims (4)
- ワークを収納する搬送容器を把持する容器把持手段を備え、前記容器把持手段が前記搬送容器を把持した状態で前記搬送容器を搬送する搬送装置であって、
前記容器把持手段は、
前記搬送容器を把持する把持部と、
前記把持部により把持する搬送容器を検出する容器検出部と、
を備え、
前記把持部は、前記容器検出部による検出に基づいて前記搬送容器に対する把持動作が制御されるとともに、前記搬送容器に収納されているワークの飛び出しを防止すること
を特徴とする搬送装置。 - 前記把持部は、前記搬送容器における前記ワークの収納口を覆うように前記搬送容器を把持することにより前記搬送容器に収納されているワークの飛び出しを防止すること
を特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 - 前記把持部は、前記搬送容器に対する移動方向を段階的に変化させることにより前記搬送容器を把持すること
を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の搬送装置。 - 前記容器検出部は、前記搬送容器の一方の側面を検出する第1容器検出部と、前記搬送容器の他方の側面を検出する第2容器検出部と、から構成されること
を特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の搬送装置。
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