KR101687836B1

KR101687836B1 - 관형 환경 제어 요소를 갖는 웨이퍼 용기

Info

Publication number: KR101687836B1
Application number: KR1020107022807A
Authority: KR
Inventors: 제임스 에이. 왓슨; 존 번스; 마틴 엘. 포비스; 매튜 에이. 풀러; 마크 브이. 스미스
Original assignee: 엔테그리스, 아이엔씨.
Priority date: 2008-03-13
Filing date: 2009-03-13
Publication date: 2016-12-19
Also published as: SG188862A1; KR20160144511A; KR101851095B1; EP2272088A2; US8783463B2; JP2011514014A; US20110114534A1; KR20100134033A; EP2272088A4; TW201509773A; US10043696B2; US20150041360A1; TW200944450A; TWI582024B; TWI466807B; WO2009114798A3; JP5524093B2; CN102017119A; WO2009114798A2; EP2272088B1

Abstract

웨이퍼 용기 내의 습기 및 증기를 흡수하고 여과하기 위해 슬롯(slots) 및 “게터(getter)”를 포함하는 강성 폴리머 관형 타워를 사용하는 웨이퍼 용기가 개시된다. 상기 타워는 바람직하게 용기의 베이스에 퍼지 그로밋(purge grommet)을 사용하고 타워에 대하여 상기 용기로 들어가거나 용기로부터 나가는 가스(공기 포함)의 흐름 방향을 제어하는 체크 밸브를 포함할 수 있다. 상기 타워는 상기 그로밋에 밀봉되게 연결된다. 상기 타워는 연장된 관형 형상으로 말리거나(rolled) 튜브형상을 갖고 타워 내에 배치된 게터 미디어 피스(getter media piece)를 포함할 수 있고 축방향으로 연장될 수 있다. 상기 미디어는 재충전되는 능력을 가질 뿐 아니라 능동 및/또는 수동 여과를 제공할 수 있다. 300mm 웨이퍼를 위한 전면이 개방된 웨이퍼 용기는 일반적으로 용기부의 내부 후방(inside rear)에 죄면 및 우면 각각에 한 쌍의 리세스(recesses)를 포함한다. 이러한 리세스는 바람직하게 연장된 타워를 위해 사용되고, 상기 타워는 실질적으로 바닥 웨이퍼 위치부터 상부 웨이퍼 위치까지 연장된다. 택일적인 실시예에서는, 관형 모양의 게터 재료가 끝부분 외에 게터의 수용(containment) 없이 전면이 개방된 용기 내에서 노출된다. 관형 게터 모습은 바람직하게 내부 용기 환경에 최대한 노출되도록 이산된(discrete) 위치에서 지지된다. 차단부재는 선택적으로 간극을 차단한다. 엘라스토머 캡은 용기부에서 관형 요소의 고정을 용이하게 한다.

Description

관형 환경 제어 요소를 갖는 웨이퍼 용기{WAFER CONTAINER WITH TUBULAR ENVIRONMENTAL CONTROL COMPONENTS}

본 출원은 참조에 의해 전부 인용되는 2008년 3월 13일에 출원된 미국 가출원 No.61/036,353의 이익을 청구한다.

웨이퍼 용기 및 레티클 팟(reticle pods)은 일반적으로 FOUPs(front opening unified pods), FOSBs (front opening shpping boxes), 또는 SMIF (standard mechanical interface) 팟 으로 알려진 밀봉된 용기이다. 이러한 용기는 집적회로의 생산, 저장, 이송 및 재료의 프로세싱(processing)에 사용되는 웨이퍼 및 기판의 주변 환경을 제어하고 고립시키는 마이크로환경을 제공한다. 이러한 재료의 프로세싱은 종래에 일반적으로 “크린 룸(clean room)”으로 알려진 입자 자유 환경(particulate free environment)에서 수행되어 왔다. 그러나 이러한 오염 없는 상태의 “크린 룸”의 유지는 특히 재료의 프로세싱 동안 많은 관심 및 노력을 요할 수 있다.

이러한 마이크로환경의 내부 공기는 보다 쉽게 제어되고 유지될 수 있다. 종종, 이러한 용기는 내부 가스, 크린 건조 공기(CDA), 또는 여분의(extra) CDA에 의해 퍼지 가능하다(purgible). 이러한 용기의 레티클의 오염이 이산 입자(discrete particles) 뿐만 아니라 웨이퍼 또는 레티클에 발생하는 헤이징(hazing)에 의해 야기될 수 있음이 관찰되어 왔다. 참조에 의해 포함되고 본 출원의 부록(Appendix)에 포함되는 본 출원의 소유인이 소유하는 공개공보 WO 20071149513 A2를 참조하라. 본 출원의 소유인이 소유하고 웨이퍼 선반 조립체를 퍼지 출구로 사용하는 SMIF 팟 및 전면이 개방된 웨이퍼 용기의 개방된 바닥에 노즐 타워를 사용하는 것이 개시된 미국 특허 No. 6,042,651를 참조하면, 이러한 헤이징은 웨이퍼 용기의 웨이퍼에 또한 발생할 수 있고 손해를 입힐 수 있다. 상기 구조 및 이러한 구조의 최선의 사용에 연관된 문제가 적절히 언급되지 않았다.

예를 들어, 기판 용기에 증기 게터(vapor getter) 및 건조제(desiccants)의 사용은 전형적으로 세정 전에 제거되거나 분해될 것이 요구되고 유체를 이용하는 이러한 기판 용기는 여과 및/또는 증기 흡수를 위한 미디어(media)를 파괴할 수 있다. 더구나, 기판 용기 내에 퍼지 포트 배관은, 미디어 이슈 외에, 퍼지 가스를 전달하기 위해 사용되는 닫힌 영역 때문에 세척하고 말리기 어렵다. 퍼지 요소 및 미디어의 제거 또는 분해 없이 이러한 기판 용기의 용이한 세척 수단은 매우 유익할 것이다. 특히, 세척의 문제는 미국 특허 No. 6,042,651에 개시된 것과 같은 자유 직립 타워(free standing towers)이다. 더구나, 타워가 우연히 접촉하거나 타워의 연결이 오직 기판 용기의 바닥에만 있는 그 습관적인 위치결정(conventional positioning)에 의해 타워는 움직이거나 잠재적인 이탈(potential dislocation)이 일어나기 쉽다. 더 나은 위치결정 및 부착 방법 및 구조, 특히 용기의 외부로부터 닫힌 내부를 분리하는 벽 또는 배리어(barriers)를 통해 연장하는 홀 또는 고정 기구(fasteners)에 의존하지 않는 방법은 유익할 수 있다.

전면이 개방된 팟(pod)의 이산 타워(discrete tower)의 사용, 적어도 하나 이상의 배출 타워(discharge tower)의 사용, 및 배출 타워 또는 관형 환경 제어 요소의 고정 및 최적의 배치는 지금까지는 충분히 고려되지 않았고 만족할 만한 신뢰성, 헤이즈(haze), 오염 및 입자 제어 및 전면이 개방된 큰 지름의 웨이퍼 용기의 세척 이슈를 위해 최적화 되지 않았다. 300mm 웨이퍼로부터 450mm 웨이퍼로의 변화가 생김으로 인해 이 영역의 발전은 더욱 중요해 질 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 웨이퍼 용기는 개방된 내부(open interior)와 웨이퍼 용기의 내부와 소통하는 슬롯(slots)으로 구성되는 관형 환경 제어 요소를 포함한다. 하나 또는 두개의 관형 요소는 웨이퍼 용기의 구획(compartment) 또는 뒷 코너에 위치할 수 있고, 웨이퍼 용기의 바닥면의 퍼지 입구(purge inlet)와 연결될 수 있다. 특정 실시예는 필터를 포함할 수 있고, 부가적으로 또는 택일적으로 흡수재를 포함할 수 있다. 특정 실시예는 부가적인 퍼지 입구 포트(purge inlet port)가 전치 세개의 퍼지 입구를 위해 사용될 수 있다. 관형 요소 또는 퍼지 포트는 타워에 대하여 용기로 들어가거나 용기로부터 나가는 가스(공기 포함)의 흐름 방향을 제어하는 체크 밸브를 포함할 수 있다. 퍼지 포트는 엘라스토머 그로밋(elastomeric grommet) 및 그에 밀봉되게 연결된 관형 요소를 사용할 수 있다. 관형 요소는 연장된 관형 형상으로 말리거나(rolled) 튜브형상을 갖고 타워 내에 배치된 게터 미디어 피스(getter media piece)를 포함할 수 있다. 미디어는 재충전되는 능력을 가질 뿐 아니라 능동 및/또는 수동 여과를 제공할 수 있다.

300mm 크기의 웨이퍼를 위한 전면이 개방된 웨이퍼 용기의 일 구성은 용기부의 내부 후방(inside rear)에 죄면 및 우면 각각에 한 쌍의 구획을 포함한다. 이러한 구획은 용기부가 뒤쪽으로 90도 회전되었을 때 발 또는 앉힐 수 있는 부분으로 사용되는 웨이퍼 용기의 뒷벽에 바깥으로 수직한 한 쌍의 돌출에 형성된 내부 구조를 나타낸다. 특정 실시예의 특징 및 장점은 이러한 구획이, 완전히 또는 부분적으로, 실질적으로 바닥 웨이퍼 위치(bottom wafer position)부터 상부 웨이퍼 위치(top wafer position)까지 뻗거나 용기부의 바닥부터 상부까지 뻗는 연장된 관형 환경 제어 요소를 수용하도록 사용하는 것이다. 일 실시예에 따르면, 관형 모양의 게터 재료(getter material)가 최소의 게터의 구획을 갖고 활성 퍼지 시스템(active purge system)의 일부가 되지 않도록 전면이 개방된 용기의 하나 또는 양 구획에 노출된다. 다른 실시예에 따르면, 관형 환경 제어 요소가 하나 또는 양 구획에 위치할 수 있는 퍼지 타워(purge tower)로서 구성된다. 타워는 미디어를 포함할 수 있는 수용부로서 구성될 수 있다. 미디어는 필터 및/또는 흡수 미디어 일 수 있다.

특정 실시예에는, 관형 환경 제어 요소는 용기부의 열린 내부로 퍼지 가스를 흘리기 위해 또는 요소의 흡수 미디어가 용기부 내부로부터의 습기를 포함하는 증기를 흡수하도록 하기 위해 간극(apertures)을 포함한다. 특징 및 장점은 이러한 간극은 웨이퍼 용기의 개방된 내부와 관형 요소의 내부 사이의 연결을 멈추기 위해 선택적으로 막힐 수 있다는 것이다. 이는 필터(filters), 게터, 또는 관형 요소의 다른 내용물이 세척액으로부터 제거되지 않고 보호되도록 용기를 세척하는데 있어서 매우 유용하다. 차단은 간극을 밀봉하는 엘라소토머 조각(elastomeric strip)에 의하거나 간극을 덮거나 노출시킬 수 있는 슬라이드 가능하게 부착된 강성 부재(rigid slidably attached member)에 의할 수 있다. 더구나 이러한 선택적인 차단은 용기부의 내부와 관형 요소의 내부 사이의 구멍의 크기를 변경하도록 조절 가능하도록 조절이 가능하다.

특정 실시예의 특징 및 장점은 간극을 갖는 관형 요소는 수평하게 오프셋(offset) 형상으로 퍼지 입구가 연결될 수 있다. 이는 웨이퍼에 대하여 간격을 제공한다. 더구나, 리세스(recess) 또는 구획의 관형 요소 뒤에 배출 간극을 위치시키는 것은 퍼지 가스를 위한 더 나은 유체 흐름 특성을 제공할 수 있다. 리세스 뒤(back recess)에 관형 요소를 위치시키는 것은 충돌(bumping) 또는 부주의한 접촉으로부터의 퍼지 요소의 보호의 유리함을 제공한다.

특정 실시예의 특징 및 장점은 후방 구획(rear compartments)에 환경 제어 요소의 부착 방법이다. 이러한 구획은 용기부가 뒤쪽으로 90도 회전되었을 때 발 또는 앉힐 수 있는 부분으로 사용되는 웨이퍼 용기의 뒷벽에 바깥으로 수직한 한 쌍의 돌출에 형성된 내부 구조를 나타낸다. 이러한 내부 구획은 일반적으로 뒤쪽으로 모이는(converge rearwardly) 벽을 포함한다. 특정 실시예 에서는, 유연한 엘라스토머 부착 부재가 관형 환경 제어 요소의 상부와 용기부의 폴리머 벽 사이에 고정된다. 이러한 엘라스토머 부착 부재는 타워를 간극 없이 벽을 통해 고정하고, 폴리카보네이트 용기부 벽과 엘라스토머 재료 사이에 최적으로 높은 마찰계수를 사용한다. 부재는 캡의 형상일 수 있고, 관형 환경 제어 요소의 수용부를 포함하는 연장된 요소를 같이 고정하는 유리한 기능을 더 제공할 수 있다. 관형 요소는 높은 마찰계수 및 상기 관형 환경 제어 요소를 뒤쪽 구획의 전체 또는 부분적으로 유지하도록 엘라스토머 부재의 압축을 이용하기 위해 양 끝에 이러한 부재를 포함할 수 있다. 다른 실시예 에서는, 금속 또는 강성 폴리머로 형성되는 강성 브라켓(rigid bracket)은 구획의 대립되는 벽 사이에 브라켓을 고정하기 위한 스프링 이(spring teeth)를 포함하고 상기 이는 용기부 벽의 표면을 찌른다(dig into). 이러한 부착 방법 및 구조의 특징 및 장점은 부착이 웨이퍼 용기의 벽을 통해 연장하는 별도의 구조 또는 고정 기구 없이 부착 요소의 결합을 위한 서로 대립되는 벽을 사용하는 것이다. 그러므로, 웨이퍼 용기는 변형이 없거나 또는 제품에 줄어든 변형을 갖도록(with no modifications or reduced modifications to the product) 쉽게 개량된다.

관형 게터 미디어를 사용하는 실시예들의 특징 및 장점은 미디어의 상대적으로 높은 영역이 웨이퍼 용기의 한정된 영역에 효과적으로 노출되는 것이다. 더구나, 뒷 구획(rear compartments)이 미디어를 포함하지 않고 순수 퍼징(pure purging)을 위해 사용되는 관형 요소를 위해 잘 작동한다.

특정 실시예의 더한 특색 및 장점은 퍼지 가스가 타워를 통해 배출되었을 때 관형 게터 미디어는 환경이 정적인 기간 동안에 효과적으로 재충전된다.

300 웨이퍼 용기의 구성에 존재하는 본 발명에 따른 실시예들의 더한 특색 및 장점은 용기의 최소한의 변화를 요구한다는 것이다. 더한 특색 및 장점은 본 발명의 여러 측면들은 더 큰 웨이퍼 용기에 크게 적합할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전면이 개방된 웨이퍼 용기의 사시도,
도 2는 도 1의 웨이퍼 용기의 저면도,
도 3은 수용부의 다른 실시예의 개방된 전면의 정면 사시도,
도 4는 수용부의 벽과 웨이퍼에 대한 관형 요소 및 퍼지 포트의 위치를 보여주는 도 3의 실시예의 단면의 상세 상면도,
도 5는 관형 요소의 정면도,
도 6은 전면이 개방된 웨이퍼 용기의 용기부의 벽 바닥에 타워 요소를 고정하는데 적합한 부착 부분의 상세도,
도 7은 브라켓에 필터 카트리지가 장착되는 것으로 구성되는 한 쌍의 관형 환경 제어 요소를 갖는 용기부의 정면도,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 흡수 필터 카트리지로 구성되는 관형 환경 제어 요소의 사시도,
도 9는 도 4 및 도 5에 도시되는 웨이퍼 용기의 뒷 영역에 관형 환경 제어 요소를 부착하는데 적합한 브라켓을 도시한 도면,
도 10은 웨이퍼 용기의 관형 환경 제어 요소의 부착 수단을 도시하는 상면 단면도,
도 11은 브라켓에 필터 카트리지의 사시도,
도 12는 도 11의 브라켓의 사시도,
도 13은 도 4의 13-13 라인을 도시한 단면도,
도 14는 본발명의 일 실시예에 따른 관형 환경 제어 요소의 관형 환경 제어 요소의 분해도,
도 15는 도 14의 관형 환경 제어 요소를 도시한 분해도,
도 16은 관형 환경 제어 요소의 정면 사시도,
도 17은 도 16의 관형 환경 제어 요소의 후면도(rear side view),
도 18은 도 16 및 17의 관형 환경 제어 요소에 차단 부재가 결합된 것을 도시한 정면 사시도,
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 관형 환경 제어 요소의 정면 사시도,
도 20은 리빙 힌지(living hinge)를 보여주도록 열린 도 19의 관형 환경 제어 요소의 상세도,
도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 용기부를 도시한 도면, 그리고,
도 22는 본 발명에 따른 차단 부재(800)의 택일적 실시예의 사시도이다.

도 1 및 도 2를 참고하면, 전면이 개방된 웨이퍼 용기(20)가 도시되고, 일반적으로 도어(door, 24) 및 용기부(26)를 포함한다. 용기부(26)는 복수개의 웨이퍼(W)가 웨이퍼 선반(35)에 보유되는 개방된 내부(open interior, 32)로 이어지는 개방된 전면(front opening, 30)을 포함한다. 도어(24)는 용기부 도어 프레임(door frame, 40)의 리세스(recesses, 39)에 맞물리는 래치 팁(41)을 둘러싼 도어 내부에 부분적으로 도시되어 있는 래치 메커니즘(latch mechanism, 38)과 함께 키 액세스 홀(key access hole, 36)을 포함한다. 웨이퍼 용기는 용기부의 바닥면(52)에 그로밋 수용 구조(51)에 고정되는 퍼지 그로밋(purge grommets, 50)을 갖는 한 쌍의 전방 퍼지 포트(48) 및 후방 퍼지 포트(54)에 의해 퍼지 능력(purge capabilities)을 갖는다. 체크 밸브(56)는 퍼징 가스 유체 흐름의 방향을 제어하기 위해 그로밋에 삽입될 수 있다. 관형 환경 제어 요소는 그 또한 그로밋(62)과 체크 밸브(64)를 사용할 수 있는 것으로 도시된 퍼지 타워(60)로 구성된다. 퍼지 포트의 바람직한 위치는 웨이퍼(W)와 관련하여 도 2에 도시된다.

도 3, 도 4 및 도 13을 참고하면, 본 발명을 구현하는 다른 구성부(configuration portion, 64)를 갖는 웨이퍼 용기의 더 상세한 것들이 적당한 요소들의 배치와 함께 도시된다. 용기부(64)는 쉘(shell, 65) 및 폐쇄된 상부(66), 폐쇄된 바닥면(66.1), 폐쇄된 좌면(66.2), 폐쇄된 우면(66.3), 개방된 전면(67), 그리고 폐쇄된 후면(67.1)을 포함한다. 용기의 내부는 용기부의 상부와 바닥면에 고정될 수 있는 복수의 선반(70)을 포함한다. 운동 커플링 판(kinematic coupling plate, 74, 도 4에는 미도시)은 용기부의 바닥에 위치하고 후방 포트(54)에서 전면 그로밋 및 후면 그로밋(77)을 수용하는 적당한 개구를 포함한다. 상기 개구는 쉘(65)을 통해 연장한다. 용기부는 웨이퍼 용기의 내부(32)에서 외부로 연장하는 두개의 후방 간극(rearward apertures, 80)을 포함한다.

도 3에 및 도 13에 도시된 것처럼 타워 요소로 구성되는 관형 환경 제어 요소(78)는 용기부(64)에 내부로부터 간극(80)으로 삽입된다. 관형 요소는 수용부(containment portion, 81), 오프셋 부(offset portion, 83), 그리고 포트부(port portion, 85)를 포함한다. 엘라스토머 그로밋(77)은 관형 요소의 낮은 영역(94)에 밀봉되게 위치될 수 있고 체크 벨브(62)가 그곳에 위치될 수 있다. 윈통(cylindrical) 형상의 필터 및/또는 게터 미디어 재료(100)(여과재 또는 증기흡수재)가 수용부에 포함될 수 있고 관형 요소의 내부에 들어 맞게 구성된다. 상기 관형 요소는 노출된 수평 슬롯으로 구성되는 복수의 축방향으로 연장된(axially-extending) 간극(110)을 포함한다. 바람직한 실시예에서는, 각각의 웨이퍼를 위한 슬릿(slit)을 포함할 수 있고 슬릿 포지션에서 각각의 웨이퍼의 표면에 퍼지 가스를 방출한다. 용기부 내라면, 미디어 재료는 상기 축방향으로 연장된 개구에 의해 웨이퍼 용기의 내부에 노출된다. 이 용기부(64)의 특별히 주목할 부분은 후면(67.1)의 후방 돌출부(112)에 의해 정의되는 후방 구획(111)이다. 벽(113)은 용기가 후방으로 90도 기울어 선박(shipping)처럼 도어(24)를 갖는 전면이 위를 향할 때 두개의 발(114)을 제공하도록 구성된다. 각각의 구획(111)은 한 쌍의 측벽부(115), 뒷벽부(116), 그리고 구획 개구(117)를 포함한다.

도 5 및 도 6을 참고하면, 이 실시예에 따른 관형 요소(119)는 수직 슬릿을 포함하고, 쉘 및 운동 커플링 판(74)을 통해 간극(80)을 향해 아래방향으로 연장되는 복수의 핑거(fingers, 122)를 포함한다. 상기 핑거는 탄력적으로 방사상으로 안쪽으로 구부러지고 용기부의 바닥에 간극에 맞게 고정되도록 한다. 플랜지(113)는 상기 요소의 적당한 안착을 용이하게 한다.

도 7 내지 도 11을 참고하면, 대략적으로 같은 위치에 설치된 필터 카트리지(200), 후방 3면(3-sided)의 구획(202)으로 구성되고 도 1 내지 도 4에 도시된 용기의 능동 퍼지 능력 조합(associated active purge capability)이 없는 게터로 구성된 한 쌍의 관형 환경 제어 요소를 포함하는 부가적인 실시예가 도시된다. 이러한 카트리지는 폴리머 또는 다른 알맞은 재료로 형성되어 그 안에 미디어(211)가 위치된 외부 하우징(210)을 포함할 수 있다. 바람직한 실시예에는 카트리지 및 미디어는 관형 형상이다. 도 8의 카트리지상의 보스(212)는 외벽을 통해 연장되어 나사 결합(screws)에 의해 용기부 벽에 카트리지를 직접적으로 부착하는데 사용된다. 택일적으로 도 9 및 도 7에 도시된 브라켓(220)은 용기부의 뒷벽에 그곳에 고정된 카트리지와 함께 부착될 수 있다.

도 10, 도 11, 그리고 도 12를 참고하면, 필터 카트리지(300)의 더 부가적인 실시예가 도시되고, 하우징(308)의 닫힌 내부에 미디어(304)를 포함한다. 카트리지(300)는 다른 부착 메커니즘 없이 단순한 삽입을 통하여 용기의 벽 내부에 물릴 수 있도록 탭(322)과 함께 유연한 캐치 렉(catch legs, 330)을 포함하는 클램프(clamp, 320)에 고정된다. 스프링 암(spring arms, 335)은 브라켓에 카트리지를 고정한다.

도시된 카트리지 및 타워에 사용될 수 있는 특정 게터 미디어가 본원에서 참고로 인용된 국제 공개 공보 WO 20071149513 A2에 개시된다. 비슷하게 도 2, 도 3, 그리고 도 4에 도시된 웨이퍼 용기 내의 퍼지 시스템의 일 부분인 게터를 재충전하는 방법 및 시스템이 무엇 보다 상기 공개 공보의 레티클 팟의 참고에 의해 자세하게 설명된다. 상기 시스템 및 방법 및 장치는 또한 본원 및 직접적으로 관계된 개시를 위해 인용된 상기 참고문헌에 적용할 수 있다.

도 14 내지 도 18을 참고하면, 본 발명에 따른 관형 환경 제어 요소(400)의 상세한 부분이 도시된다. 요소는 수용부 내부(414)를 갖는 수용부(410)를 형성하도록 함께 조립되는 한 쌍의 연장부(402, 406)를 포함한다. 수용부는 축(418)을 포함하고 퍼지 포트 부(428)와 연결되는 오프셋 부(422)에 연결된다. 엘라스토머 그로밋(432)은 그로밋 수용부(440)에 맞을 수 있다. 두개의 연장부는 연장된 크램 쉘 부(elongate clam shell portions)로 구성된다. 후방부(406)는 루프로 구성되는 래치부(448)를 갖는 엣지부(444)를 포함한다. 전방부(402) 또한 상기 루프에 맞물리는 탭으로 구성된 래치부(452)를 갖는 엣지부(448)를 포함한다. 래치부는 세척 또는 미디어의 설치 및 교체를 위해 분해되는 경우에 연장부를 같이 고정하도록 작동한다. 전방부(402)는 수용부 내부(414)와 용기부의 개방된 내부 사이의 연결을 제공하는 복수개의 간극(453)을 갖는 간극부(451)를 포함한다.

특히 도 13 내지 도 18을 참고하면, 엘라스토머 연장된 차단부재(460)가 간극(453)을 밀봉하고 알맞은 탭(464)을 포함하는 것에 의해 간극부와 맞물리는 스트립(strip)으로 구성된다. 도 13 및 도 18은 상기 부재(460)가 차단 위치에 있는 것을 도시한다. 따라서 차단부재는 선택적으로 수용부의 내부를 용기부의 내부에 노출시키거나 차단할 수 있다.

도 13 내지 도 18을 여전히 참고하면, 엘라스토머 캡(500)으로 구성되는 엘라스토머 리테이너(elastomeric retainer)는 탄력적으로 확장하여 관형 요소(400)의 상단부(506)에 들어 맞는다. 캡(500)은 돔 형상을 갖고 용기부의 상부 내 표면(520)에 맞물리도록 구성된 확장부(516)를 포함한다. 캡은 연장부를 함께 고정하는 기능을 하고 탄력적으로 용기부에 더 맞물리도록 하여, 관형 요소 및 플라스틱과 플라스틱의 접촉, 플라스틱 요소 및 쉘의 진동을 최소화 한다. 관형 요소는 압축(compression)하에 캡에 삽입되고 엘라스토머 재질의 캡과 하드 플라스틱, 전형적으로 폴리카보네이트, 의 쉘 사이에서 높은 마찰력이 관형 요소를 지지한다.

도 19 및 도 20을 참고하면, 관형 환경 제어 요소(600)의 다른 실시예가 도시된다. 요소는 리빙 힌지(610) 또는 그와 비슷한 것에 의해 같이 힌지 연결되는 두 개의 크램 쉘 부(clam shell portions, 604, 606)를 포함한다. 두개의 쉘 부는 래치부에 의해 래치(latched)될 수 있다. 간극(630)은 캡슐부 또는 수용부(644)의 내부(634)와 웨이퍼 용기의 개방된 내부 사이의 연결을 제공한다. 수용부는 또한 오프셋 부(650)와 연결될 수 있고 그리고 퍼지 포트 부(654)와 연결될 수 있다.

도 21을 참고하면, 용기부(718)의 후면 벽(714)의 리세스(recesses, 710)에 위치하는 관형 환경 제어 요소(700)를 갖는 웨이퍼 용기(692)의 일 실시예가 나타난다. 리세스는 상부(720)부터 바닥(722)까지 간격을 갖고 위치하는 간극을 포함할 수 있다. 오프셋 부(726)는 수용부(730)와 내부에 위치한 퍼지 포트 부(미도시)사이의 연결을 제공할 수 있다. 이러한 배치는 관형 환경 제어 요소가 용기부의 내부를 방해하지 않고 다른 실시예의 같은 레벨로 변하는 것을 가능하게 한다.

도 22를 참고하면, 차단 부재(800)의 택일적인 실시예가 도시된다. 강성 플라스틱(rigid plastic), 예를 들어 폴리카보네이트, 조각이 도 19의 구성과 같은, 관형 환경 제어 요소 주위를 고정(clamps)한다. 그리핑 핑커(gripping fingers, 810)가 웨지(wedge) 형상의 이(812)를 통해 후면 코너(670)에 고정됨으로 인해 부재를 관형 부재에 고정할 수 있다. 다른 실시예에 따르면, 차단부재는 관형 요소의 간극(630)에 대응하는 간극(820)을 포함할 수 있다. 이 요소는 수직하게 슬라이딩 하는 것을 통해 관형 환경 제어 요소에 슬라이드 가능하게 맞물릴 수 있고 관형 요소의 내부와 용기부의 내부 사이의 연결을 열고 닫거나 조절할 수 있다. 비슷하게, 형성된 강성 차단 요소는 원통형 또는 타원형의 단면을 갖는 관형 요소의 주위를 부분적으로 감싸는 굽은(arcuate) 핑커를 포함할 수 있다.

본 발명은 필수적 특징의 사상으로부터 벗어나지 않는 다른 특정 형태를 포함할 수 있다. 따라서, 설명된 실시예는 설명된 것에 한정되지 않으며, 본 발명의 범위를 나타내는 앞선 설명이 아닌 덧붙인 청구항에 의해 언급된 것 및 설명된 모든 부분으로 고려되어야 한다.

Claims

폐쇄된 좌면, 폐쇄된 우면, 폐쇄된 바닥면, 폐쇄된 상면, 그리고 폐쇄된 후면을 이루어 개방된 내부를 정의하는 용기 벽(container wall)을 포함하고, 고정된 채 이격된(spaced apart) 복수의 수평 웨이퍼 선반을 포함하고, 상기 선반에 수평하도록 이격되게 위치한 웨이퍼 스택(stack)을 지지할 수 있는 상기 개방된 내부에서 일반적인 원통의 웨이퍼 수납 영역을 정의하고, 개방된 전면을 정의하는 도어 프레임을 포함하고, 후면의 용기부 벽이 내부로 연장되어 용기부의 상면으로부터 바닥면까지 연장된 공간을 포함하고, 상기 공간의 양 측면에 선반의 돌출부(protruding portion)는 웨이퍼 용기가 개방된 전면이 위를 향한 상태로 거꾸로(backwardly) 회전하는 경우 웨이퍼 용기를 앉힐 수 있는 한 쌍의 직립 발부분(upright feet)을 정의하고, 발은 내부 구획을 정의하고, 각각의 구획은 한 쌍의 대립하는 측벽부, 뒷벽부, 두개의 내부 수직 코너, 윗벽부, 그리고 바닥벽부를 포함하는 용기부;
상기 개방된 전면에 맞고 도어 프레임에 래치 가능한 도어;
상기 구획 중 하나에 고정되고, 상기 한쌍의 대립하는 측벽부 및 뒷벽부로부터 이격되고, 상기 윗벽부와 바닥벽부 사이의 길이만큼 연장되는 길이를 갖는 적어도 하나의 연장된 관형 환경 제어 요소;
를 포함하고,
상기 연장된 관형 환경 제어 요소는 직립한 축을 포함하고, 상기 연장된 관형 환경 제어 요소는 상기 연장된 관형 환경 제어 요소의 축으로부터 오프셋된(offset) 퍼지포트에 용기부의 바닥과 연결되는,
300mm 또는 그보다 큰 웨이퍼를 위한 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제1항에 있어서,
상기 연장된 관형 환경 제어 요소는 두개의 연장부로 구성되고, 각각의 연장부는 서로를 고정할 수 있도록 복수의 래치에 의해 연결되고, 상기 두 연장부는 수용부를 정의하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제2항에 있어서,
상기 수용부는 적어도 하나의 여과재 또는 증기 흡수재를 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제1항에 있어서,
상기 연장된 관형 환경 제어 요소는 수용부의 내부와 용기부의 개방된 내부를 연결할 수 있는 복수의 간극이 형성된 수용부를 포함하는, 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제4항에 있어서,
상기 수용부의 내부와 상기 용기부의 개방된 내부의 연결을 선택적으로 차단하도록 상기 관형 환경 제어 요소에 배치 가능한 연장된 차단부재를 더 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제5항에 있어서,
상기 연장된 차단부재는 엘라스토머 재료로 이루어지고, 상기 관형 환경 제어 요소는 상기 복수의 간극 주위로 연장되는 부착 구조를 포함하고, 상기 차단부재는 탄력적으로 상기 부착 구조와 맞물려 상기 수용부의 내부와 상기 용기부의 개방된 내부 사이의 연결을 밀봉되게 차단하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제5항에 있어서,
상기 연장된 차단부재는 상기 수용부와 슬라이드 가능하게 맞물리고, 차단위치와 간극 개방 위치 사이에서 슬라이드 가능하게 이동할 수 있는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제1항에 있어서,
상기 연장된 관형 환경 제어 요소는 수용부를 정의하는 두개의 연장부로 구성되고, 상기 연장된 관형 제어 요소는 탄력적으로 확장하여 상기 수용부의 상부를 접착되게 덮는 엘라스토머 캡을 더 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제1항에 있어서,
내부 구획에 위치하는 부가적인 연장된 관형 환경 제어 요소를 더 포함하고, 상기 두개의 연장된 관형 환경 제어 요소는 모두 웨이퍼 용기의 바닥면의 퍼지 입구에 연결되고, 상기 웨이퍼 용기는 상기 도어 프레임에 근접한 상기 웨이퍼 용기의 바닥면에 위치한 추가적인 퍼지 입구를 포함하고, 상기 도어 프레임에 근접한 상기 웨이퍼 용기의 바닥면상에 퍼지 출구를 더 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
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제1항에 있어서,
상기 연장된 관형 환경 제어 요소는 증기 흡수재로 구성되고, 상기 웨이퍼 용기는 스프링 암을 구비하는 브라켓을 더 포함하여 상기 브라켓은 상기 구획 중 하나의 한쌍의 측벽부 사이에 고정되고, 상기 연장된 관형 환경 제어 요소는 상기 브라켓에 제거 가능하도록 부착될 수 있는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
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폐쇄된 좌면, 폐쇄된 우면, 폐쇄된 바닥면, 폐쇄된 상면, 그리고 폐쇄된 후면을 이루어 개방된 내부(open interior)를 정의하는 용기 벽(container wall)을 포함하고, 고정된 채 이격된(spaced apart) 복수의 수평 웨이퍼 선반을 포함하고, 상기 선반에 수평하도록 이격되게 위치한 웨이퍼 스택(stack)을 지지할 수 있는 상기 개방된 내부에서 일반적인 원주의(cylindrical) 웨이퍼 수납 영역을 정의하고, 개방된 전면(open front)을 정의하는 도어 프레임(door frame)을 포함하고, 후면의 용기부 벽이 용기부의 상면으로부터 바닥면까지 연장된 한 쌍의 코너 영역을 포함하는 용기부(container portion);
상기 개방된 전면에 맞고 도어 프레임에 래치 가능한 도어;
상기 코너 영역 중 하나에 위치하여 수용부의 내부와 용기부의 개방된 내부 사이를 연결할 수 있는 복수의 간극이 형성된 수용부를 포함하고, 직립한 축을 포함하고 상기 축으로부터 오프셋된(offset) 퍼지포트에 오프셋 부에 의해 용기부의 바닥과 연결되어서, 연장된 관형 환경 제어 요소는 퍼지포트보다 폐쇄된 후면에 인접하게 위치되고, 두 개의 연장부를 포함하고, 각각의 연장부는 서로 복수개의 래치 및 힌지 중 하나에 의해 연결되고, 상기 두 연장부가 수용부를 정의하는 연장된 관형 환경 제어 요소;
를 포함하는 300mm 또는 그보다 큰 웨이퍼를 위한 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제22항에 있어서,
상기 수용부는 여과재 및 흡수재 중 적어도 하나를 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제22항에 있어서,
상기 수용부의 내부와 상기 용기부의 개방된 내부 사이의 연결을 선택적으로 차단하도록 상기 관형 환경 제어 요소에 배치 가능한 연장된 차단부재를 더 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제24항에 있어서,
상기 연장된 차단부재는 엘라스토머 재료로 이루어지고, 상기 관형 환경 제어 요소는 상기 복수의 간극 주위로 연장되는 부착 구조를 포함하고, 상기 차단부재는 탄력적으로 상기 부착 구조와 맞물려 상기 수용부의 내부와 상기 용기부의 개방된 내부 사이의 연결을 밀봉되게 차단하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제22항에 있어서,
상기 연장된 차단부재는 상기 수용부 중 하나와 슬라이드 가능하게 맞물리고, 차단위치와 간극 개방 위치 사이의 상기 수용부에서 슬라이드 가능하게 이동할 수 있는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제22항에 있어서, 상기 연장된 관형 환경 제어 요소는 탄력적으로 확장하여 상기 수용부의 상부를 접착되게 덮는 엘라스토머 캡을 더 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제27항에 있어서,
상기 캡은 쉘에 맞물리는 부분을 포함하고 상기 관형 환경 제어 요소는 두개의 대향단을 포함하고 상기 용기부에 양 단이 고정되는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제1항에 있어서,
각각의 수용부는 여과재 및 흡수재 중 적어도 하나를 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
폐쇄된 좌면, 폐쇄된 우면, 폐쇄된 바닥면, 폐쇄된 상면, 그리고 폐쇄된 후면을 이루어 개방된 내부(open interior)를 정의하는 용기 벽(container wall)을 포함하고, 고정된 채 이격된(spaced apart) 복수의 수평 웨이퍼 선반을 포함하고, 상기 선반에 수평하도록 이격되게 위치한 웨이퍼 스택(stack)을 지지할 수 있는 상기 개방된 내부에서 일반적인 원주의(cylindrical) 웨이퍼 수납 영역을 정의하고, 개방된 전면(open front)을 정의하는 도어 프레임(door frame)을 포함하고, 후면의 용기부 벽이 용기부의 상면으로부터 바닥면까지 연장된 한 쌍의 코너 영역을 포함하는 용기부(container portion);
상기 개방된 전면에 맞고 도어 프레임에 래치 가능한 도어;
상기 용기부에 위치하고 상기 용기부의 바닥면으로부터 상면까지 연장되고, 수용부의 내부와 용기부의 개방된 내부 사이를 연결할 수 있는 복수의 간극이 형성된 수용부를 포함하고, 직립한 축을 포함하고 상기 축으로부터 오프셋된 퍼지포트에 오프셋 부에 의해 용기부의 바닥과 연결되어서, 연장된 관형 환경 제어 요소는 퍼지포트보다 폐쇄된 후면에 인접하게 위치되고, 상기 수용부의 내부와 상기 용기부의 개방된 내부 사이의 연결을 선택적으로 차단하도록 배치 가능한 연장된 차단부재를 더 포함하는 연장된 관형 환경 제어 요소;
를 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제30항에 있어서,
상기 연장된 차단부재는 엘라스토머 재료로 이루어지고, 상기 관형 환경 제어 요소는 상기 복수의 간극 주위로 연장되는 부착 구조를 포함하고, 상기 차단부재는 탄력적으로 상기 부착구조와 맞물려 상기 수용부의 내부와 상기 용기부의 개방된 내부 사이의 연결을 밀봉되게 차단하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제30항에 있어서,
상기 연장된 차단부재는 강성 폴리머로 이루어지고, 상기 수용부 중 하나와 슬라이드 가능하게 맞물리고, 차단위치와 간극 개방 위치 사이의 상기 수용부에서 슬라이드 가능하게 이동할 수 있는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제30항에 있어서,
상기 연장된 관형 환경 제어 요소는 탄력적으로 확장하여 상기 수용부의 상부를 접착되게 덮는 엘라스토머 재료로 형성된 캡을 더 포함하는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
제33항에 있어서,
상기 캡은 쉘에 맞물리는 부분을 포함하고 상기 관형 환경 제어 요소는 두개의 대향단을 포함하고 상기 용기부에 양 단이 고정되는 전면이 개방된 웨이퍼 용기.
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