JP4558594B2 - シャッター付きブレスフィルター装置および該装置に使用するシャッター押上げロッド並びにシャッター押上げロッド付きノズル - Google Patents
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半導体ウエハ収納容器に設置されるブレスフィルター装置であって、底部に呼吸用の開口部を備えたケーシングに円筒状フィルターを設置し、且つ周壁に複数個の通気孔を開口して形成された筒状ガイドを、前記ケーシングの蓋板の下面に垂設固定すると共に、前記円筒状フィルターの内周面に摺接するようにして固定し、且つ該筒状ガイド内に前記開口部より径大な球体より成るシャッターを装入する一方、該シャッターを、前記半導体ウエハ収納容器下面に設置された空気循環N2ガス供給用装置に立設された押上げロッドにより押圧して上昇させて前記開口部を開放し、且つ前記空気循環N2ガス供給用装置を前記半導体ウエハ収納容器より取去ることにより、前記シャッターが自重で降下して、前記開口部を閉鎖するという手段、
を採用することにより、上記課題を解決した。
請求項2の発明によれば、円筒状フィルターの内周面に周接する如く筒状ガイドを配設して固定されているため、円筒状フィルターの変形を防止することができると共に、部品点数の削減、ブレスフィルターの洗浄が容易にできる。
請求項3の発明によれば、開口部の開放が、押上げロッドによるシャッターの押上げという機械的操作でなされるため、低圧力の空気、N 2 ガスでも運転ができる。
請求項4の発明によれば、押しばねによりクッション性をもたせてあるため、押上げロッドによるシャッターの押上げ時の衝撃が緩和され、前記押上げロッドの破損が防止される。
の周壁には複数個の通気孔75が開口されている。
2 半導体ウエハ収納容器
3 取付板
4 シート状濾材
5 濾過面
6 通気中空部
7 円筒状フィルター
8 蓋部材
9 固定リング
10 ケーシング
11 シャッター
12 開口部
13 空気循環N2ガス供給用装置
14 押上げロッド
15 筒状ガイド
16 外枠
17 円筒体
24 装入凹溝
28 蓋板
29 装入逆凹溝
40 通気空間
41 ファン駆動部
42 ケミカルガス・塵除去フィルター部
43 ケーシング
44 区画壁
44a 第1の区画室
44b 第2の区画室
45 送風ファン
46 ファンケース
47 汚染空気
48 吸気用開口部
49 吸気用ノズル
50 塵除去用フィルター
51 ケミカルガス除去用フィルター
52 連通管
53 清浄空気
54 供給用開口部
55 供給ノズル
56a・56b 呼吸口
60 通気孔
70 他の実施の形態のシャッター付きブレスフィルター装置
71 筒状ガイド
80 押上げロッド
81 押しばね
Claims (4)
- 半導体ウエハ収納容器に設置されるブレスフィルター装置であって、シート状濾材を波形状に折曲して、濾過面を多数設けると共に、通気中空部を備えて全体を円筒状に成型して形成された円筒状フィルターと、前記円筒状フィルターのほぼ半分程度の高さを有して、該円筒状フィルターの内周面に摺接するようにして立設固定された筒状ガイドとが、前記円筒状フィルターの外周より被覆する円筒状の外枠と、該外枠の外部より固定する蓋部材と、且つ前記外枠を前記半導体ウエハ収納容器の取付板に支持固定する固定リングとにより構成されたケーシングに収納固定されて、前記円筒状フィルターおよび蓋部材と外枠の内周壁面間に、環状の通気空間が形成され、
前記蓋部材は、前記円筒状フィルターとほぼ同径の円板状の蓋板の外周部裏面に、該円筒状フィルターの上端縁を装入する装入逆凹溝を周設して形成され、前記円筒状フィルターの上端縁を前記蓋部材の装入逆凹溝に接着固定すると共に、該円筒状フィルターの下端部を前記外枠を構成する装入凹部に接着固定して、該円筒状フィルターが固定され、
前記筒状ガイド内において、前記固定リングの開口部の径より径大な球体より成るシャッターが、上昇・下降可能に装入されて形成されると共に、該シャッターは、空気循環N 2 ガス供給用装置に取付けられた押上げロッドにより上方へ押上げられて上昇し、前記空気循環N 2 ガス供給用装置を前記半導体ウエハ収納容器から取外すと、前記シャッターが自重により下降して、前記固定リングの開口部を閉鎖するように構成され、
前記空気循環N 2 ガス供給用装置は、ファン駆動部およびケミカルガス・塵除去フィルター部とにより構成されると共に、該ファン駆動部およびケミカルガス・塵除去フィルター部は、該空気循環N 2 ガス供給用装置のケーシングを区画壁によって区画された第1の区画室と第2の区画室内にそれぞれ設置され、
前記ファン駆動部は、送風ファンと、該送風ファンを内蔵したファンケースを備え、且つ該ファン駆動部側のケーシングの覆板に、前記半導体ウエハ収納容器からの塵およびケミカルガスを含んだ汚染された空気を吸気するための吸気用開口部を開口すると共に、該吸気用開口部の外周縁上に吸気ノズルを突設して形成され、
前記ケミカルガスおよび塵除去フィルター部は、塵除去用フィルターとケミカルガス除去用フィルターとが間隔を有して上下2段に亘って配設されると共に、該ケミカルガス除去用フィルターより下方側の第2の区画室と、前記第1の区画室内のファンケースとは連通管を介して連通され、
前記ケミカルガスおよび塵除去フィルター部側のケーシングの覆板に、前記ケミカルガス除去用フィルターおよび塵除去用フィルターとにより、ケミカルガスおよび塵が除去された清浄空気を、半導体ウエハ収納容器内へ供給するための供給用開口部を開口すると共に、該供給用開口部の外周縁上に供給ノズルを突設して形成され、
前記半導体ウエハ収納容器の下面に、空気循環N 2 ガス供給用装置を設置して、ファン駆動部の送風ファンを作動させることにより、前記半導体ウエハ収納容器の一方側の呼吸口から、該半導体ウエハ収納容器内の塵およびケミカルガスを含んだ汚染された空気を、前記円筒状フィルターと外枠間の環状の通気空間から、前記円筒状フィルターの多数の濾過面を通って、通気中空部および開口部を経て、吸気ノズルの支持板に開口された通気孔から空気循環N 2 ガス供給用装置内へ吸い込み、更に、前記汚染された空気は、通気中空部から前記送風ファンによりファン駆動部のファンケース内に吸引すると共に、該吸引した前記汚染された空気を、該送風ファンにより連通管を介して、ケミカルガス除去用フィルターの下流側へ送気して、該汚染された空気をケミカルガス除去用フィルターを通過させてケミカルガスを除去して、下流側の塵除去用フィルターへ送気する一方、前記ケミカルガス除去用フィルターによりケミカルガスを除去された汚染された空気は、下流側に配設された塵除去用フィルター内に流入し、該流入した汚染された空気は塵除去用フィルターによって濾過され、清浄空気となり、供給ノズルの支持板に開口された通気孔から開口部を通って、前記円筒状フィルターの通気中空部へ流入し、且つ該通気中空部を経て、該円筒状フィルターの多数の濾過面よって、更に塵が濾過されて、前記円筒状フィルターと外枠間の環状の通気空間を通って、前記半導体ウエハ収納容器の他方側の呼吸口を経て該半導体ウエハ収納容器内に供給されることを特徴とするシャッター付きブレスフィルター装置。 - 半導体ウエハ収納容器に設置されるブレスフィルター装置であって、シート状濾材を波形状に折曲して、濾過面を多数設けると共に、通気中空部を備えて全体を円筒状に成型して形成された円筒状フィルターが、該円筒状フィルターの外周より被覆する円筒状の外枠と、該外枠の外部より固定する蓋部材と、且つ前記外枠を前記半導体ウエハ収納容器の取付板に支持固定する固定リングとにより構成されたケーシングに収納固定されて、前記円筒状フィルターおよび蓋部材と外枠の内周壁面間に、環状の通気空間が形成され、
前記蓋部材は、前記円筒状フィルターとほぼ同径の円板状の蓋板の外周部裏面に、該円筒状フィルターの上端縁を装入する装入逆凹溝を周設して形成され、前記円筒状フィルターの上端縁を前記蓋部材の装入逆凹溝に固定すると共に、該円筒状フィルターの下端部を前記外枠を構成する装入凹部に固定して、該円筒状フィルターを固定し、更に、前記円筒状フィルターの内周面に摺接するようにして、前記蓋板の装入逆凹溝に筒状ガイドを垂設固定すると共に、該筒状ガイドの下端部は、前記装入凹溝を構成する内周壁の内周壁面と、該円筒状フィルターの内周面に接して固定し、且つ前記筒状ガイドの周壁に複数個の通気孔を開口して形成され、
前記筒状ガイド内において、前記固定リングの開口部の径より径大な球体より成るシャッターが、上昇・下降可能に装入されて形成されると共に、該シャッターは、空気循環N 2 ガス供給用装置に取付けられた押上げロッドにより上方へ押上げられて上昇し、前記空気循環N 2 ガス供給用装置を前記半導体ウエハ収納容器から取外すと、前記シャッターが自重により下降して、前記固定リングの開口部を閉鎖するように構成され、
前記空気循環N 2 ガス供給用装置は、ファン駆動部およびケミカルガス・塵除去フィルター部とにより構成されると共に、該ファン駆動部およびケミカルガス・塵除去フィルター部は、該空気循環N 2 ガス供給用装置のケーシングを区画壁によって区画された第1の区画室と第2の区画室内にそれぞれ設置され、
前記ファン駆動部は、送風ファンと、該送風ファンを内蔵したファンケースを備え、且つ該ファン駆動部側のケーシングの覆板に、前記半導体ウエハ収納容器からの塵およびケミカルガスを含んだ汚染された空気を吸気するための吸気用開口部を開口すると共に、該吸気用開口部の外周縁上に吸気ノズルを突設して形成され、
前記ケミカルガスおよび塵除去フィルター部は、塵除去用フィルターとケミカルガス除去用フィルターとが間隔を有して上下2段に亘って配設されると共に、該ケミカルガス除去用フィルターより下方側の第2の区画室と、前記第1の区画室内のファンケースとは連通管を介して連通され、
前記ケミカルガスおよび塵除去フィルター部側のケーシングの覆板に、前記ケミカルガス除去用フィルターおよび塵除去用フィルターとにより、ケミカルガスおよび塵が除去された清浄空気を、半導体ウエハ収納容器内へ供給するための供給用開口部を開口すると共に、該供給用開口部の外周縁上に供給ノズルを突設して形成され、
前記半導体ウエハ収納容器の下面に、空気循環N 2 ガス供給用装置を設置して、ファン駆動部の送風ファンを作動させることにより、前記半導体ウエハ収納容器の一方側の呼吸口から、該半導体ウエハ収納容器内の塵およびケミカルガスを含んだ汚染された空気を、前記円筒状フィルターと外枠間の環状の通気空間から、前記円筒状フィルターの多数の濾過面および筒状ガイドの通気孔を通り、通気中空部および開口部を経て、吸気ノズルの支持板に開口された通気孔から空気循環N 2 ガス供給用装置内へ吸い込み、更に、前記汚染された空気は、通気中空部から前記送風ファンによりファン駆動部のファンケース内に吸引すると共に、該吸引した前記汚染された空気を、該送風ファンにより連通管を介して、ケミカルガス除去用フィルターの下流側へ送気して、該汚染された空気をケミカルガス除去用フィルターを通過させてケミカルガスを除去して、下流側の塵除去用フィルターへ送気する一方、前記ケミカルガス除去用フィルターによりケミカルガスを除去された汚染された空気は、下流側に配設された塵除去用フィルター内に流入し、該流入した汚染された空気は塵除去用フィルターによって濾過され、清浄空気となり、供給ノズルの支持板に開口された開口部および通気中空部から筒状ガイドの通気孔を通って、前記円筒状フィルターの多数の濾過面よって、更に塵が濾過されて、前記円筒状フィルターと外枠間の環状の通気空間を通って、前記半導体ウエハ収納容器の他方側の呼吸口を経て該半導体ウエハ収納容器内に供給されることを特徴とするシャッター付きブレスフィルター装置。 - 請求項1または2記載のシャッター付きブレスフィルター装置を装着した半導体ウエハ収納容器の下面に設置される空気循環N2ガス供給用装置において、ノズルの中央部に押上げロッドが突設され、前記半導体ウエハ収納容器下面に空気循環N2ガス供給用装置を設置したとき、前記ブレスフィルター部がノズルに密着し、前記押上げロッドが開口部を通してシャッターを押上げ、開口部を開放するようにしたことを特徴とするシャッター付ブレスフィルター装置に使用する押上げロッド。
- 請求項1または2記載のシャッター付きブレスフィルター装置を装着した半導体ウエハ収納容器の下面に設置される空気循環N2ガス供給用装置のノズルにおいて、押上げロッドの取付板とノズル間に押しばねを配設し、半導体ウエハ収納容器下面に空気循環N2ガス供給用装置を配置したとき、前記半導体ウエハ収納容器の重量でノズルが下に沈み、前記押上げロッドは相対的に上昇し、開口部から挿入されてシャッターを押上げるようにしたことを特徴とするシャッター付ブレスフィルター装置に使用する押上げロッド付きノズル。
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