KR100661208B1

KR100661208B1 - 프로브 조립체

Info

Publication number: KR100661208B1
Application number: KR1020050041136A
Authority: KR
Inventors: 요시에이 하세가와; 도모아키 구가; 히로키 사이토; 다카오 야스다; 하루타다 데와
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2004-10-19
Filing date: 2005-05-17
Publication date: 2006-12-22
Also published as: JP2006145514A; TWI277740B; TW200613741A; CN100439925C; KR20060046076A; JP4571517B2; CN1763550A

Abstract

(과제) 피검사체의 전극에 압압되는 침선영역이 오버 드라이브의 작용시에 휘어지기 쉬운 형상을 가지고 있음에도 불구하고 슬릿 바의 파손을 방지하는 것에 있다.

(해결수단) 프로브 조립체는, 프로브를 이것의 배열방향으로 설치되는 가이드 바에 의해서 지지체에 지지시키고, 프로브의 선단측 침선영역을 슬릿 바의 슬릿에 배치하고, 가이드 바의 길이방향으로 개재되는 탄성체를 프로브와 지지체 또는 슬릿 바와의 사이에 배치하고 있다. 따라서, 프로브가 탄성체에 의해서 가이드 바에 압압되기 때문에, 가이드 바에 대한 프로브의 유극이 없어지게 되어 프로브의 기울어짐이 방지된다.

Description

프로브 조립체{PROBE ASSEMBLY}

도 1은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 1 실시예를 나타내는 사시도

도 2는 도 1에 나타내는 프로브 조립체의 종단면도

도 3은 도 2에 나타내는 프로브 조립체의 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도

도 4는 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 2 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도

도 5는 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 3 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도

도 6은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 4 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도

도 7은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 5 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도

도 8은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 6 실시예를 나타내는 종단면도

도 9는 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 7 실시예를 나타내는 종단면도

도 10은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 8 실시예를 나타내는 종단면도

도 11은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 9 실시예를 나타내는 종단면도

도 12는 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 10 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도

도 13은 본 발명에 관한 프로브 조립체의 제 11 실시예를 나타내는 선단측의 침선영역 근방의 확대 종단면도

* 도면 중 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 - 프로브 조립체 12 - 지지체

14 - 프로브 16 - 가이드 바

18 - 슬릿 바 20 - 가이드부재

22 - 사이드 커버 30 - 부착영역(중앙영역)

32,34 - 침선영역(針先領域) 40 - 제 1 영역

42 - 제 2 영역 44 - 제 3 영역

46,48 - 요결부(凹缺部) 50,80,88 - 돌출부

52 - 요결부(제 2 요결부) 54,82,86,90 - 하단면

60 - 슬릿 62,92 - 오목부

64,94,96,98,100,102 - 탄성체 66 - 관통구멍

84 - 볼록부

본 발명은 액정표시패널과 같은 평판형상의 피검사체의 검사에 사용되는 프로브 조립체에 관한 것이다.

액정표시패널과 같은 평판형상의 피검사체의 검사에 사용되는 프로브 조립체의 하나로서, 밴드형상의 부착영역(중앙영역) 및 이 부착영역의 선단 및 후단에서 각각 전방 및 후방으로 연이어 형성되는 제 1 및 제 2 침선영역(針先領域)을 구비하는 블레이드 타입의 복수의 프로브(접촉자)를, 이것들의 부착영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 지지체(블록)의 하측에 부착영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치한 것이 있다(특허문헌 1).

(특허문헌 1) 일본국 공개특허 평10-132853호 공보

상기 복수의 프로브는, 이것들의 부착영역에 관통되게 끼워짐과 아울러 지지체에 지지되는 가늘고 긴 1개 이상의 가이드 바에 의해서 지지체에 부착되어 있으며, 또 지지체의 선단측 및 후단측에 가이드 바의 길이방향으로 각각 부착되는 제 1 및 제 2 슬릿 바에 있어서의 이것들의 길이방향으로 간격을 두고서 형성된 복수의 슬릿에 제 1 및 제 2 침선영역이 끼워지도록 되어 있다.

제 1 침선영역은 선단측으로 갈수록 점차 가늘어 짐과 아울러 그 선단에 하측으로 돌출되는 침선(needle tip)을 가지고 있다. 제 2 침선영역은 후단측으로 갈수록 점차 가늘어 짐과 아울러 그 후단에 상측으로 돌출되는 침선을 가지고 있다.

프로브 조립체는 제 2 침선영역의 침선이 통전용 배선에 압압된 상태로 검사장치에 장착된다.

피검사체의 통전 시험시에 제 1 침선영역의 침선이 피검사체의 전극에 압압된다. 따라서, 제 1 침선영역이 이것에 작용하는 오버 드라이브(OD)에 의해서 휘어짐으로써 침선이 피검사체의 전극에 대해서 슬라이드된다.

블레이드 타입의 프로브는 이것을 포토 리소 기술이나 에칭 기술에 의해서 제작할 수 있기 때문에, 같은 기능을 가지는 프로브를 고정밀도로 대량으로 또한 저렴하게 제조할 수 있다는 이점을 가지고 있다.

그러나, 이러한 종래의 프로브에 있어서는, 가이드 바와 이것이 관통하는 각 프로브와의 사이의 유극(play)을 완전히 없앨 수 없기 때문에, 각 프로브가 오버 드라이브에 의해서 지지체나 슬릿 바에 대해서 가이드 바의 길이방향으로 기울어지게 된다.

이 결과, 제 1 침선영역이 불규칙적으로 휘어지게 되어, 제 1 슬릿 바가 피검사체나 프로브 조립체에 부착되어 있는 유리가루와 같은 이물질에 압압됨으로써, 이 슬릿 바의 일부, 특히 슬릿를 형성하고 있는 칸막이벽이 파손되거나 침선영역이 절손(折損)되는 일이 있다.

특히, 피검사체의 전극이 IZO(Indium Zinc Oxide)로 제작되어 있으면, 오버 드라이브의 작용시에 침선영역의 침선이 전극에 대해서 슬라이드되기 쉽다. 따라서, 종래의 프로브에서는 오버 드라이브에 기인하는 제 1 침선영역의 휨량이 많아 칸막이벽이 더 파손되기 쉬워지게 된다.

이 결과, 종래에 있어서는 피검사체나 프로브 조립체의 청소를 빈번하게 하여야 하였다.

본 발명의 목적은, 피검사체의 전극에 압압되는 침선영역이 오버 드라이브의 작용시에 휘어지기 쉬운 형상을 가지고 있음에도 불구하고 슬릿 바의 파손을 방지하는 것에 있다.

본 발명에 관한 프로브 조립체는, 지지체와; 밴드형상의 부착영역과 이 부착영역의 선단에서 전방으로 연이어 형성되며 또한 상기 부착영역의 폭치수보다 작은 폭치수를 가지는 밴드형상의 침선영역을 구비하는 복수의 프로브로서, 상기 부착영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체의 하측에 상기 부착영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치되는 복수의 프로브와; 상기 프로브의 부착영역에 이것의 두께방향으로 관통되게 끼워짐과 아울러 상기 지지체에 지지되는 가늘고 긴 가이드 바와; 상기 지지체의 선단측에 상기 가이드 바의 길이방향으로 부착되는 슬릿 바로서, 이것의 길이방향으로 간격을 두고서 하측으로 개방되게 형성되는 복수의 슬릿을 가지는 슬릿 바와; 상기 프로브와 상기 슬릿 바 또는 상기 지지체와의 사이에 상기 슬릿 바의 길이방향으로 개재되는 적어도 1개의 탄성체를 포함한다. 상기 프로브의 침선영역은 상기 슬릿에 끼워져 있다.

본 발명에 관한 프로브 조립체에서 사용하는 프로브는 그 돌출부의 하단면을 피검사체의 전극에 대한 접촉개소로 하고 있다. 이와 같은 프로브는 침선영역의 폭치수가 부착영역의 폭치수보다 작기 때문에 휘어지기 쉽다.

그러나, 본 발명에 관한 프로브 조립체는 슬릿 바의 길이방향으로 개재되는 적어도 1개의 탄성체를 프로브와 슬릿 바 또는 지지체와의 사이에 배치하고 있기 때문에, 각 프로브가 상기 탄성체에 의해서 가이드 바에 압압됨으로써 각 프로브와 가이드 바와의 사이의 유격이 해소된다.

따라서, 프로브에 오버 드라이브가 작용하여도 프로브가 지지체나 슬릿 바에 대해서 가이드 바의 길이방향으로 기울어지는 것이 방지되며, 이 결과 침선영역이 불규칙적으로 휘어지는 것이 방지됨으로써 슬릿 바의 파손이나 침선영역의 절손이 방지된다.

상기 탄성체는 상기 슬릿 바와 상기 침선영역과의 사이에 배치되어 있어도 된다. 이와 같이 하면, 침선영역이 탄성체에 접촉되기 때문에, 오버 드라이브에 의한 침선영역의 휘어짐이 탄성체에 의해서 저지된다. 따라서, 슬릿 바의 슬릿을 형성하고 있는 칸막이벽의 파손이 보다 확실하게 방지된다.

상기 슬릿 바는 이것의 길이방향으로 형성됨과 아울러 하측으로 개방되는 오목부를 더 가지며, 상기 탄성체는 상기 오목부에 배치되어 있어도 된다.

상기 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있어도 된다.

적어도 2개의 상기 탄성체를 포함하며, 일측의 탄성체는 상기 슬릿 바와 상 기 침선영역과의 사이에 배치되어 있고, 타측의 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있어도 된다. 이와 같이 하면, 침선영역이 탄성체에 접촉되기 때문에, 오버 드라이브에 의한 침선영역의 휘어짐이 탄성체에 의해서 저지된다. 따라서, 슬릿 바의 슬릿을 형성하고 있는 칸막이벽의 파손이 보다 확실하게 방지된다.

상기 슬릿 바는 이것의 길이방향으로 형성됨과 아울러 하측으로 개방되는 오목부를 더 가지며, 상기 일측의 탄성체는 상기 오목부에 배치되어 있어도 된다

상기 프로브의 길이방향으로 간격을 둔 적어도 2개의 상기 탄성체를 포함하며, 양 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있어도 된다.

상기 침선영역은 상기 부착영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 1 영역과, 이 제 1 영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 2 영역으로서 상기 부착영역의 하단 가장자리보다도 하측으로 돌출되는 돌출부를 구비하는 제 2 영역을 포함할 수 있다.

상기 제 1 영역은 상측으로 개방되는 U자 형상의 요결부를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 영역의 상기 요결부가 형성된 개소의 폭치수를 다른 개소의 폭치수보다 작게 하여도 된다. 이와 같이 하면, 침선영역이 요결부의 형성개소에서 더 휘어지기 쉬운 형상이 된다.

상기 제 1 영역의 상기 요결부가 형성된 개소의 폭치수는 다른 개소의 폭치수보다 작게 할 수 있다.

상기 제 2 영역은 상기 돌출부가 형성된 개소에 있어서 상측으로 개방되는 제 2 요결부를 더 포함하며, 상기 탄성체의 일부가 상기 제 2 요결부에 끼워져 있어도 된다.

상기 돌출부의 하단면은 역사다리꼴의 하향면으로 되어 있어도 된다.

또, 상기 돌출부는 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어져 있으며, 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는 하단면을 구비하고 있어도 된다. 이와 같이 하면, 돌출부가 피검사체의 전극에 압압되었을 때, 양자가 확실하게 전기적으로 접속된다.

상기 돌출부는, 당해 돌출부에서 상기 부착영역의 길이방향으로 간격을 둔 볼록부로서 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어지는 볼록부를 더 포함하며, 이 볼록부는 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는 하단면을 구비하고 있어도 된다.

상기 프로브는 상기 제 2 영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 3 영역을 더 구비하며, 이 제 3 영역은 상측으로 갈수록 점차 상기 제 2 영역측으로 경사지는 선단면을 가지며, 상기 프로브는 상기 선단면을 상기 슬릿에서 전방으로 돌출시키고 있어도 된다. 이와 같이 하면, 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확인할 수 있다.

상기 제 2 영역은 장원형의 형상을 가지고 있으며, 상기 돌출부는 상기 장원형의 선단부에 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 상기 제 2 영역은 상측으로 갈수록 점차 상기 제 1 영역측으로 경사지는 선단면을 가질 수 있다. 이 경우도, 프로브를 슬릿에 배치함으로써 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확 인할 수 있다.

상기 제 2 영역은 상측으로 갈수록 점차 상기 제 1 영역측으로 경사지는 선단면을 가지며, 상기 프로브는 상기 선단면을 상기 슬릿에서 전방으로 돌출시키고 있어도 된다. 이 경우도, 프로브를 슬릿에 배치함으로써 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확인할 수 있다.

상기 프로브는 상기 침선영역의 선단에서 하측으로 돌출되는 침선을 더 구비하고 있어도 된다.

(발명의 실시형태)

본 발명에 있어서는 부착영역의 폭방향을 상하방향이라 하고，부착영역에 대해서 피검사체의 전극에 압압되는 침선영역의 측을 선단측이라 하고，통전용 배선에 압압되는 침선영역의 측을 후단측이라 한다. 그러나, 프로브 조립체의 실제 사용시에는 부착영역의 폭방향을 경사방향 또는 가로방향으로 하여도 되고, 상하방향을 반대로 하여 사용하여도 된다.

프로브 조립체(10)는 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이 대략 블록형상의 지지체(12)와, 지지체(12)의 하측에 병렬적으로 배치되는 밴드형상의 복수의 프로브(14)와, 프로브(14)를 관통하는 가늘고 긴 1쌍의 가이드 바(16)와, 프로브(14)의 일부가 끼워지는 1쌍의 슬릿 바(18)와, 프로브(14)의 후단측의 침선(34a)의 위치를 안정시키는 장척상의 가이드부재(20)와, 가이드 바(16)를 지지체(12)에 지지시키는 1쌍의 사이드 커버(22)를 포함한다.

지지체(12)는 나사구멍(24) 및 1쌍의 가이드 구멍(26)을 상면측에 가짐과 아 울러, 1쌍의 가이드 구멍(28)을 각 측면측에 가진다. 지지체(12)의 하면은 도 2에 나타낸 바와 같이 복수의 단차부에 의해서 계단형상으로 형성되어 있다. 지지체(12)는 전기가 통하지 않는 이른바 비도전성의 금속재료, 세라믹 또는 합성수지로 제작할 수 있다.

각 프로브(14)는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이 밴드형상의 중앙영역으로서 작용하는 부착영역(30)과, 이 부착영역(30)의 선단부 및 후단부에서 각각 전방 및 후방으로 연이어 형성되는 밴드형상의 1쌍의 침선영역(32 및 34)을 구비한다.

부착영역(30)은 가이드 바(16)가 관통되게 끼워지는 가이드 구멍(36)을 양 단부에 가지고 있음과 아울러, 부착영역(30)의 길이방향으로 간격을 두고서 관통되게 형성되는 복수의 장공(38)을 양 가이드 구멍(36) 사이에 가지고 있다.

도시한 예에서는 상기 가이드 구멍(36)이 원형으로 되어 있으나, 가이드 바(16)의 단면형상에 대응한 형상으로 할 수 있다. 또, 가이드 구멍(36)을 부착영역(30)의 길이방향으로 간격을 두고서 형성하여도 되고, 부착영역(30)의 길이방향으로 길게 형성되는 장공으로 하여도 된다. 후자의 경우, 장공(38)에 연속하는 긴 구멍으로 하여도 된다.

침선영역(32 및 34)은 각각 부착영역(30)의 길이방향에 있어서의 일단 및 타단의 상연부 및 하연부에서 전방 및 후방으로 연이어 형성되어 있으며, 또 부착영역(30)의 폭치수보다 작은 폭치수를 가지고 있다.

침선영역(32)은 도 3에 나타낸 바와 같이 부착영역(30)의 선단부에서 전방으로 연이어 형성되는 제 1 영역(40)과, 이 제 1 영역(40)의 선단부에서 전방으로 연 이어 형성되는 제 2 영역(42)과, 이 제 2 영역(42)의 선단부에서 전방으로 연이어 형성되는 제 3 영역(44)을 포함한다.

제 1 영역(40)은 상측으로 개방되는 U자형상의 요결부(凹缺部)(46)를 선단부에 구비하고 있음과 아울러, 하측으로 개방되는 원호형상의 요결부(48)를 기단부{부착영역(30)측의 부위)에 구비하고 있다.

제 1 영역(40)의 요결부(46 및 48)가 형성된 개소의 폭치수는 제 1 영역(40)의 다른 개소의 폭치수보다 작다. 제 1 영역(40)의 요결부(46)가 형성된 개소는 부착영역(30)의 하단 가장자리보다 약간 하측으로 돌출되어 있다.

제 2 영역(42)은 부착영역(30)의 하단 가장자리보다도 하측으로 돌출되는 돌출부(50)를 구비하고 있음과 아울러, 상측으로 개방되는 원호형상의 요결부(52)를 돌출부(50)가 형성된 개소에 구비하고 있다. 돌출부(50)의 하단면(54)은 역사다리꼴의 하향면으로 되어 있다.

돌출부(50)의 하단면(54)은, 도시한 예에서는 피검사체의 전극과 평행한 수평면으로 되어 있으며, 그 전체를 피검사체의 전극에 대한 접촉부로 하고 있다. 그러나, 하단면(54)은 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지도록 수평면에 대해서 소정의 각도만큼 상측으로 경사져 있어도 된다. 이 경우, 하단면(54)의 일부가 피검사체의 전극에 대한 접촉부로서 작용한다.

제 3 영역(44)은 상측으로 갈수록 점차 제 2 영역(42)측으로 경사지는 선단면(56)을 가지고 있다.

침선영역(34)의 선단부는 도 2에 나타낸 바와 같이 상측으로 구부러져 있으 며, 그 끝이 첨예한 침선(34a)으로 되어 있다. 프로브(14)를 그 두께방향에서 보았을 때, 상기 침선(34a)은 삼각형의 형상을 가진다.

프로브(14)는 도전성의 얇은 금속판에 에칭가공을 하여 프로브의 원형(原形)을 작성하고, 이어서 폴리이미드재와 같은 전기 절연성 재료에 의한 코팅을 프로브의 침선이 되는 부분을 제외하고 그 원형에 형성함에 의해서 제작할 수 있다. 그러나, 프로브(14)를 포토 리소 기술과 전기 도금 기술을 이용하여 제작하여도 된다.

프로브(14)는 그 부착영역(30)의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체(12)의 하측에 부착영역(30), 가이드 구멍(36) 및 장공(38)을 대향시켜서 병렬적으로 배치되어 있다.

각 가이드 바(16)는, 도시한 예에서는 원형의 단면형상을 가지고 있으며, 또 비도전성 금속재료에 의해서 형성되어 있다. 각 가이드 바(16)는 프로브(14)의 가이드 구멍(36)에 압입되며, 각 단부가 사이드 커버(22)의 관통구멍에 삽입됨으로써 양 사이드 커버(22)에 의해서 지지체(12)에 조립된다.

각 슬릿 바(18)는 그 길이방향으로 소정의 피치로 형성된 복수의 슬릿(60)을 가지고 있다. 각 슬릿(60)은 프로브(14)의 두께치수와 거의 같은 폭치수를 가지고 있으며, 또 슬릿 바(18)의 폭방향 전체에 걸쳐서 형성되어 있다.

또, 선단측의 슬릿 바(18)는 그 길이방향으로 형성됨과 아울러 하측으로 개방되는 홈형상의 오목부(62)를 가지고 있다. 오목부(62)에는 봉형상의 탄성체(64)가 그 일부를 슬릿(60)측으로 돌출시킨 상태로 슬릿 바(18)의 길이방향으로 끼워지도록 배치되어 있다.

도시한 예에서는, 오목부(62)는 프로브(14)의 요결부(52)와 대향하는 반원형의 형상을 가지고 있고, 탄성체(64)는 원형의 단면형상을 가지고 있다. 그러나, 요결부(52), 오목부(62) 및 탄성체(64)는 다른 형상을 가지고 있어도 된다.

슬릿 바(18)는 세라믹과 같은 비도전성 재료로 제작할 수 있다. 또, 각 슬릿(60)은 슬릿 바(18)를 지지체(12)에 장착하기 전에 또는 장착한 후에 형성할 수 있다.

오목부(62)를 가지는 슬릿 바(18)는 이것이 프로브(14)의 배열방향으로 놓여지며, 슬릿(60)이 하측을 향하는 상태로 지지체(12)의 전단 하면에 접착된다. 후단측의 슬릿 바(18)는 이것이 프로브(14)의 배열방향으로 놓여지며, 슬릿(60)이 하측을 향하는 상태로 지지체(12)의 후단 하면에 접착된다. 그러나, 각 슬릿 바(18)를 지지체(12)에 1개 이상의 나사부재에 의해서 또는 끼워맞춤에 의해서 부착하여도 된다.

각 프로브(14)는, 선단면(56)이 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에서 전방으로 돌출됨과 아울러 침선(34a)이 후단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에서 후방으로 돌출되는 상태로, 침선영역(32 및 34)이 각각 선단측 및 후단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에 끼워져 있다.

이 상태에서, 탄성체(64)는 그 일부가 침선영역(32)의 요결부(52)에 끼워져 있다. 그러나, 침선영역(32)은 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)의 홈 바닥에서 이간되어 있고, 또 하단면(54)은 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에서 하측으로 돌출되어 있다.

가이드부재(20)는 L자형의 단면형상을 가지고 있으며, 또한 가이드부재(20)의 길이방향으로 간격을 둔 복수의 관통구멍(66)(도 1 참조)을 L자형의 일측의 수평부분에 가진다. 가이드부재(20)는 폴리이미드재와 같은 비도전성의 필름으로 제작할 수 있고, 또 관통구멍(66)은 레이저 가공에 의해서 형성할 수 있다.

가이드부재(20)는, 각 침선(34a)이 관통구멍(66)을 관통하도록, L자형의 타측의 수직부분이 프로브(14)의 배열방향으로 놓여지는 상태로 복수의 나사부재(68)에 의해서 지지체(12)의 후단면 하부에 떼어내기 가능하게 부착되어 있다. 그러나, 가이드부재(20)를 지지체(12)에 끼워맞춤에 의해서 또는 접착에 의해서 부착하여도 된다. 가이드부재(20)는 없어도 된다.

각 사이드 커버(22)는 지지체(12)의 측면과 대응한 형상의 판부재로 형성되어 있으며, 1쌍의 가이드 핀(70)과 복수의 나사부재(72)에 의해서 지지체(12)의 측면에 떼어내기 가능하게 부착되어 있다.

각 가이드 핀(70)은 지지체(12)에 형성된 가이드 구멍(28)에 고정되게 끼워져 있으며, 그 단부가 사이드 커버(22)에 형성된 가이드 구멍에 끼워맞춰지도록 되어 있다. 그러나, 가이드 핀(70)을 사이드 커버(22)에 고정하여도 된다. 사이드 커버(22)는 양 가이드 바(16)의 단부가 끼워지는 관통구멍을 가지고 있다.

도면에서는 서로 인접하는 프로브(14)가 크게 간격을 두고 있도록 도시되어 있으나, 실제로는 프로브(14)의 배열피치는 작다. 프로브(14)의 두께치수와 배열피치 및 슬릿(60)의 배치피치와 폭치수는 피검사체의 종류, 특히 전극의 배치피치와 폭치수에 따라서 상이하다.

프로브 조립체(10)는, 우선 양 슬릿 바(18)와 가이드부재(20)를 상기한 상태로 지지체(12)에 부착한 상태에서 각 프로브(14)의 양 단부를 슬릿 바(18)의 슬릿(60)에 끼워넣음과 동시에 침선(34a)을 가이드부재(20)의 관통구멍(66)에 관통되게 끼우고, 이어서 가이드 바(16)를 프로브(14)의 가이드 구멍(36)에 관통되게 끼우고, 이어서 가이드 핀(70)을 사이드 커버(22)의 가이드 구멍에 끼움과 동시에 가이드 바(16)의 단부를 사이드 커버(22)의 관통구멍에 끼우고, 그 후 사이드 커버(22)를 나사부재(72)로 지지체(12)에 부착함으로써 조립할 수 있다.

따라서, 프로브(14) 및 가이드 바(16)가 사이드 커버(22)를 통해서 지지체(12)에 지지됨으로써, 각 프로브(14)는 그 두께방향을 가이드 바(16)의 길이방향으로 한 상태로 지지체(12)에 지지된다.

이와 같이 조립된 상태에서는, 프로브(14)가 액정표시패널과 같은 피검사체의 전극의 배치패턴에 대응한 패턴으로 지지체(12)의 하측에 병렬적으로 배치되게 되고, 침선(34a)은 후단측의 슬릿 바(18)에서 후방으로 돌출된 후 가이드부재(20)의 관통구멍(66)을 통해서 상측으로 돌출되게 된다.

또, 각 프로브(14)의 침선영역(32)은 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)의 홈 바닥에서 이간되어 있음과 아울러 요결부(52)에서 탄성체(64)와 맞닿아 있다. 또, 각 프로브(14)의 선단면(56)은 선단측의 슬릿 바(18)에서 전방으로 돌출되어 있다.

검사장치에 장착할 때, 프로브 조립체(10)는 그 침선(34a)이 TAB테이프(도시생략)의 통전용 배선에 약간 과잉되게 압압된 상태로 검사장치에 장착된다. 이것에 의해서, 각 프로브(14)는 침선영역(34)의 폭치수가 부착영역(30)의 폭치수보다 작 게 되어 있기 때문에 원호형상으로 뒤로 젖혀지게 되며, 따라서 각 침선(34a)은 통전용 배선에 확실하게 접촉된다.

프로브 조립체(10)를 검사장치에 장착할 때, 프로브 조립체(10)는 도 1에 나타낸 지지체(12)의 가이드 구멍(26)에 끼워지는 가이드 핀에 의해서 검사장치에 대한 위치결정이 이루어지며, 또 나사구멍(24)에 나사결합되는 나사부재에 의해서 검사장치에 떼어내기 가능하게 장착된다. 그러나, 프로브 조립체(10)를 다른 수법 및 다른 수단에 의해서 검사장치에 장착하여도 된다.

프로브(14)를 교환할 때에는, 프로브 조립체(10)를 검사장치에서 떼어내고, 사이드 커버(22)를 지지체(12)에서 떼어내고, 가이드 바(16)를 빼내고, 교환해야할 프로브(14)를 제거하고, 이것 대신에 새로운 프로브(14)를 지지체(12)에 배치하고, 그 후 이미 설명한 수법에 따라서 프로브 조립체(10)를 조립하고, 이 프로브 조립체(10)를 검사장치에 장착하면 된다. 따라서, 프로브의 교환이 용이하게 된다.

검사시, 프로브 조립체(10)와 피검사체는 하단면(54)과 피검사체의 전극이 일치된 상태에서 하단면(54)이 피검사체의 전극에 약간 과잉되게 압압된다. 이 때, 선단면(56)이 슬릿(60)에서 전방으로 돌출되어 있기 때문에, 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확인할 수 있다.

하단면(54)이 피검사체의 전극에 압압되면, 오버 드라이브(OD)가 프로브(14)에 작용한다. 각 프로브(14)는 침선영역(32)의 폭치수, 특히 요결부(46)의 개소의 폭치수가 부착영역(30)의 폭치수보다 작기 때문에, 이와 같은 오버 드라이브에 의해서 침선영역(32)이 휘어지기 쉽다.

그러나, 프로브(14)는 그 침선영역(32)이 선단측의 슬릿 바(18)의 슬릿(60)의 홈 바닥에서 이간되어 있음과 아울러 요결부(52)에서 탄성체(64)와 맞닿아 있다. 따라서, 오버 드라이브에 의한 침선영역(32)의 휘어짐이 탄성체(64)에 의해서 저지된다.

이 결과, 침선영역(32)의 변형이 저지되기 때문에, 피검사체의 전극에 대한 하단면(54)의 슬라이드 양도 적다. 이와 같이 접촉부로서 작용하는 하단면(54)의 슬라이드 양이 적은 프로브(14)에 의하면, 오버 드라이브가 작용하여도 슬릿 바(18)가 피검사체에 크게 접근하는 것이 방지됨으로써 유리가루 등에 기인하는 슬릿 바(18)의 슬릿(60)을 형성하고 있는 칸막이벽의 파손이 방지된다.

또, 프로브(14)는 탄성체(64)에 의해서 가이드 바(16)에 압압됨으로써, 프로브(14)와 적어도 선단측의 가이드 바(16)와의 사이의 유극이 해소된다. 따라서, 프로브(14)에 오버 드라이브가 작용하여도 프로브(14)가 지지체(12)나 선단측의 슬릿 바(18)에 대해서 가이드 바(16)의 길이방향으로 기울어지는 것이 방지된다.

이 결과, 침선영역(32)의 불규칙적인 휘어짐이 방지됨으로써, 선단측의 슬릿 바(18)의 파손이나 침선영역(32)의 절손이 확실하게 방지된다.

하단면(54)이 역사다리꼴의 하향면으로 된 돌출부(50)로 하는 것 대신에 다른 형상을 가지는 돌출부로 하여도 된다.

도 4에 나타낸 돌출부(80)는 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어지는 돌출형상으로 형성되어 있다. 또, 이 돌출부(80)는 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는, 즉 수평면에 대해서 θ1의 각도만큼 상측으로 경사진 하단면(82)을 구비하고 있으며, 이 하단면(82)의 일부를 접촉부로 하고 있다. 이와 같은 돌출부(80)에 의하면, 이것이 피검사체의 전극에 압압되었을 때, 양자가 확실하게 전기적으로 접속된다.

도 5에 나타낸 프로브(14)는 돌출부(80)에서 부착영역(30)의 길이방향 후방(전방이어도 된다)으로 간격을 둔 볼록부(84)를 제 2 영역(42)에 더 가진다. 볼록부(84)는 돌출부(80)와 마찬가지로 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어지는 돌출형상으로 형성되어 있다. 또, 이 볼록부(84)는 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는, 즉 수평면에 대해서 θ2의 각도만큼 상측으로 경사진 하단면(86)을 구비하고 있다. 이 θ2는 θ1과 같아도 되고 상이하여도 된다.

도 6에 나타낸 프로브(14)에서는 제 2 영역(42)이 장원형의 형상을 가지고 있으며, 돌출부(88)는 장원형의 선단부에 형성되어 있다. 돌출부(88)의 하단면(90)은 선단측으로 갈수록 수평면에 대해서 점차 하측으로 경사져 있으며, 그 선단을 피검사체의 전극에 대한 접촉부로 하고 있다.

도 6에 나타낸 프로브(14)는 제 3 영역을 구비하고 있지 않다. 따라서, 상측으로 갈수록 점차 제 1 영역(40)측으로 경사지는 선단면(56)이 제 2 영역(42)에 형성되어 있다.

도 3 내지 도 5에 나타낸 실시예에서도 선단면(56)을 제 2 영역(42)에 형성하고, 제 3 영역(44)을 구비하지 않아도 된다. 또, 도 3 내지 도 6에 나타낸 실시예에서도 상측으로 갈수록 점차 제 1 영역(40)측으로 경사지는 선단면(56)을 구비하지 않아도 된다.

도 3 내지 도 5에 나타낸 실시예에서도 오목부(62)를 장방형의 단면형상으로 하고, 이 오목부의 단면형상에 대응한 장방형의 단면형상을 가지는 탄성체를 사용하여도 된다. 또, 도 6에 나타낸 실시예에서는 오목부(92)를 원호상의 단면형상으로 하고, 이 오목부의 단면형상에 대응한 원형의 단면형상을 가지는 탄성체를 사용하여도 된다.

도 6에 나타낸 프로브(14)를 사용할 경우에는 도 7에 나타낸 바와 같이 탄성체(94) 및 요결부(46 및 48)을 구비하지 않아도 된다.

도 8에 나타낸 프로브 조립체(10)와 같이 탄성체(64)를 침선영역(32)과 선단측의 슬릿 바(18)와의 사이에 배치할 뿐만 아니라, 탄성체(96)를 프로브(14)의 부착영역(30)과 지지체(12)의 하면과의 사이에 배치하여도 된다. 탄성체(96)는, 도시한 예에서는 실리콘 고무와 같은 고무재로 판형상으로 제작되어 있다.

이와 같이 복수의 탄성체(64,96)를 프로브(14)의 길이방향으로 간격을 두고서 배치하면, 프로브(14)는 탄성체(64,96)에 의해서 후단측에서도 후단측의 가이드 바(16)에 압압되기 때문에, 기울어짐을 확실하게 방지할 수 있다.

탄성체(64)를 침선영역(32)과 선단측의 슬릿 바(18)와의 사이에 배치하는 것 대신에, 도 9에 나타낸 바와 같이 2개의 탄성체(96,96)를 프로브(14)와 지지체(12)와의 사이에 프로브(14)의 길이방향으로 간격을 두고서 배치하여도 된다.

또, 도 10에 나타낸 바와 같이 2개의 탄성체(96,96)를 프로브(14)와 지지체(12)와의 사이에 프로브(14)의 길이방향으로 간격을 두고서 배치하고, 실리콘 고무와 같은 고무재로 판형상으로 제작된 다른 탄성체(98)를 침선영역(32)과 슬릿 바 (18)와의 사이에 배치하여도 된다.

또한, 도 11에 나타낸 바와 같이 부착영역(30)의 길이치수와 거의 같은 정도의 폭치수를 가지는 탄성체(100)를 프로브(14)와 지지체(12)와의 사이에 배치하여도 된다. 이 탄성체(100)도 실리콘 고무와 같은 고무재로 판형상으로 제작되어 있다.

도 9 내지 도 11에 나타낸 실시예에서도 프로브(14)가 선단측 및 후단측 모두에서 가이드 바(16 및 16)에 압압되기 때문에, 기울어짐을 확실하게 방지할 수 있다.

그러나, 도 12에 나타낸 바와 같이 탄성체(96)를 프로브(14)의 부착영역(30)과 지지체(12)의 하면과의 사이에만 배치하여도 된다.

상기한 원형 또는 장방형의 단면형상을 가지는 탄성체(64,96,98,100)를 사용하는 것 대신에 반원형, 육각형, 장원형, 타원형 등 다른 단면형상을 가지는 탄성체를 사용하여도 된다.

도 13에 나타낸 실시예에서는 반원형의 단면형상을 가지는 탄성체(102)를 사용하고 있다.

도 9 내지 도 13에 나타낸 실시예에서 사용되고 있는 프로브(14)는, 침선영역(32)이 부착영역(30)의 폭치수보다 작은 폭치수를 가지고 있고, 침선(32a)이 침선영역(32)의 선단에서 하측으로 구부러져 있다.

또, 도 9 내지 도 13에 나타낸 실시예에서 사용되고 있는 프로브(12)는 부착영역(30)에 장공(38)을 가지고 있지 않으나, 이와 같은 장공(38)을 부착영역(30)에 형성하여도 된다.

본 발명은 액정표시패널뿐만 아니라 그 유리 기판, 유기 EL 등의 다른 표시용 기판과 같은 다른 평판상의 피검사체의 검사에 사용하는 프로브 및 프로브 조립체에도 적용할 수 있다.

본 발명은 액정표시패널이나 유기 EL 등의 표시용 패널의 검사에 사용하는 프로브 및 프로브 조립체 뿐만 아니라, 집적회로와 같은 다른 평판상의 피검사체의 검사에 사용하는 프로브 및 프로브 조립체에도 적용할 수 있다.

적어도 2개의 상기 탄성체를 포함하며, 일측의 탄성체는 상기 슬릿 바와 상기 침선영역과의 사이에 배치되어 있고, 타측의 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있어도 된다. 이와 같이 하면, 침선영역이 탄성체에 접촉되기 때문에, 오버 드라이브에 의한 침선영역의 휘어짐이 탄성체에 의해서 저지된다. 따라서, 슬릿 바의 슬릿을 형성하고 있는 칸막이벽의 파손이 보다 확실하게 방지된다.

상기 침선영역은 상기 부착영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 1 영역과, 이 제 1 영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 2 영역으로서 상기 부착영역의 하 단 가장자리보다도 하측으로 돌출되는 돌출부를 구비하는 제 2 영역을 포함할 수 있다.

상기 제 2 영역은 장원형의 형상을 가지고 있으며, 상기 돌출부는 상기 장원형의 선단부에 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 상기 제 2 영역은 상측으로 갈수록 점차 상기 제 1 영역측으로 경사지는 선단면을 가질 수 있다. 이 경우도, 프로브를 슬릿에 배치함으로써 피검사체의 전극에 대한 침선의 위치를 상측에서 용이하게 확인할 수 있다.

Claims

지지체와,

밴드형상의 부착영역과 이 부착영역의 선단에서 전방으로 연이어 형성되며 또한 상기 부착영역의 폭치수보다 작은 폭치수를 가지는 밴드형상의 침선영역을 구비하는 복수의 프로브로서, 상기 부착영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체의 하측에 상기 부착영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치되는 복수의 프로브와,

상기 프로브의 부착영역에 이것의 두께방향으로 관통되게 끼워짐과 아울러 상기 지지체에 지지되는 가늘고 긴 가이드 바와,

상기 지지체의 선단측에 상기 가이드 바의 길이방향으로 부착되는 슬릿 바로서, 이것의 길이방향으로 간격을 두고서 하측으로 개방되게 형성되는 복수의 슬릿을 가지는 슬릿 바와,

상기 프로브와 상기 슬릿 바 또는 상기 지지체와의 사이에 상기 슬릿 바의 길이방향으로 개재되는 적어도 1개의 탄성체를 포함하며,

상기 프로브는 그 침선영역이 상기 슬릿에 끼워져 있는 프로브 조립체.
청구항 1에 있어서, 상기 탄성체는 상기 슬릿 바와 상기 침선영역과의 사이에 배치되어 있는 프로브 조립체.
청구항 2에 있어서, 상기 슬릿 바는 이것의 길이방향으로 형성됨과 아울러 하측으로 개방되는 오목부를 더 가지며, 상기 탄성체는 상기 오목부에 배치되어 있는 프로브 조립체.
청구항 1에 있어서, 상기 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있는 프로브 조립체.
청구항 1에 있어서, 적어도 2개의 상기 탄성체를 포함하며, 일측의 탄성체는 상기 슬릿 바와 상기 침선영역과의 사이에 배치되어 있고, 타측의 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있는 프로브 조립체.
청구항 5에 있어서, 상기 슬릿 바는 이것의 길이방향으로 형성됨과 아울러 하측으로 개방되는 오목부를 더 가지며, 상기 일측의 탄성체는 상기 오목부에 배치되어 있는 프로브 조립체.
청구항 1에 있어서, 상기 프로브의 길이방향으로 간격을 둔 적어도 2개의 상기 탄성체를 포함하며, 양 탄성체는 상기 부착영역과 상기 지지체와의 사이에 배치되어 있는 프로브 조립체.
청구항 1에 있어서, 상기 침선영역은 상기 부착영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 1 영역과, 이 제 1 영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 2 영역으로서 상기 부착영역의 하단 가장자리보다도 하측으로 돌출되는 돌출부를 구비하는 제 2 영역을 포함하는 프로브 조립체.
청구항 8에 있어서, 상기 제 1 영역은 상측으로 개방되는 U자 형상의 요결부를 구비하는 프로브 조립체.
청구항 9에 있어서, 상기 제 1 영역의 상기 요결부가 형성된 개소의 폭치수는 다른 개소의 폭치수보다 작은 프로브 조립체.
청구항 8에 있어서, 상기 제 2 영역은 상기 돌출부가 형성된 개소에 있어서 상측으로 개방되는 제 2 요결부를 더 포함하며, 상기 탄성체의 일부가 상기 제 2 요결부에 끼워져 있는 프로브 조립체.
청구항 8에 있어서, 상기 돌출부의 하단면은 역사다리꼴의 하향면으로 되어 있는 프로브 조립체.
청구항 8에 있어서, 상기 돌출부는 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어져 있으며, 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는 하단면을 구비하는 프로브 조립체.
청구항 13에 있어서, 상기 돌출부는, 당해 돌출부에서 상기 부착영역의 길이방향으로 간격을 둔 볼록부로서 하측으로 갈수록 점차 선단측으로 기울어지는 볼록부를 더 포함하며, 이 볼록부는 선단측으로 갈수록 점차 상측으로 경사지는 하단면을 구비하는 프로브 조립체.
청구항 8에 있어서, 상기 프로브는 상기 제 2 영역의 선단부에서 연이어 형성되는 제 3 영역을 더 구비하며, 이 제 3 영역은 상측으로 갈수록 점차 상기 제 2 영역측으로 경사지는 선단면을 가지며, 상기 프로브는 상기 선단면을 상기 슬릿에서 전방으로 돌출시키고 있는 프로브 조립체.
청구항 8에 있어서, 상기 제 2 영역은 장원형의 형상을 가지고 있으며, 상기 돌출부는 상기 장원형의 선단부에 형성되어 있는 프로브 조립체.
청구항 16에 있어서, 상기 제 2 영역은 상측으로 갈수록 잠차 상기 제 1 영역측으로 경사지는 선단면을 가지며, 상기 프로브는 상기 선단면을 상기 슬릿에서 전방으로 돌출시키고 있는 프로브 조립체.
청구항 8에 있어서, 상기 프로브는 상기 침선영역의 선단에서 하측으로 돌출되는 침선을 구비하는 프로브 조립체.