JP4571517B2 - プローブ組立体 - Google Patents

Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の検査に用いるプローブ組立体に関する。

液晶表示パネルのような平板状の被検査体の検査に用いるプローブ組立体の１つとして、帯状の取り付け領域（中央領域）並びに該取り付け領域の先端及び後端からそれぞれ前方及び後方へ伸びる第１及び第２の針先領域を備えるブレードタイプの複数のプローブ（接触子）を、それらの取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態に支持体（ブロック）の下側に取り付け領域を対向させて並列的に配置したものがある（特許文献１）。

特開平１０−１３２８５３号公報

プローブは、これらの取り付け領域を貫通して伸びて支持体に支持された細長い１以上のガイドバーにより支持体に取り付けられており、また支持体の先端側及び後端側にそれぞれ配置されてガイドバーの長手方向へ伸びる第１及び第２のスリットバーにこれらの長手方向に間隔をおいて形成された複数のスリットに第１及び第２の針先領域を受け入れられている。

第１の針先領域は、先端側ほど細くされており、また下方に突出する針先を先端に有している。第２の針先領域は、後端側ほど細くされており、また上方に突出する針先を後端に有している。

プローブ組立体は、第２の針先領域の針先が通電用の配線に押圧された状態に、検査装置に組み付けられる。

被検査体の通電試験時、第１の針先領域の針先が被検査体の電極に押圧される。それにより、第１の針先領域がこれに作用するオーバードライブ（ＯＤ）により湾曲されて、針先が被検査体の電極に対し滑る。

ブレードタイプのプローブは、これをフォトリソ技術やエッチング技術により製作することができるから、同じ機能を有するプローブを、高精度に、大量に及び廉価に製造することができる、という利点を有している。

しかし、上記従来のプローブでは、ガイドバーとこれが貫通する各プローブとの間の遊びを完全に無くすことができないから、各プローブがオーバードライブにより支持体やスリットバーに対しガイドバーの長手方向に傾く。

上記の結果、第１の針先領域が不規則に撓み、第１のスリットバーが被検査体やプローブ組立体に付着しているガラス粉のような異物に押圧されて、そのスリットバーの一部、特にスリットを形成している仕切り壁が破損されたり、針先領域が折損されることがある。

特に、被検査体の電極がＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）で製作されていると、オーバードライブの作用時に、針先領域の針先が電極に対し滑りやすい。このため、従来のプローブでは、オーバードライブに起因する第１の針先領域の撓み量が多く、仕切り壁がより破損しやすくなる。

上記の結果、従来では、被検査体やプローブ組立体の清掃を頻繁に行わなければならなかった。

本発明の目的は、被検査体の電極に押圧される針先領域を、これがオーバードライブの作用時に撓みやすい形状を有しているにもかかわらず、スリットバーの破損を防止することにある。

本発明に係るプローブ組立体は、支持体と、帯状の取り付け領域と該取り付け領域の先端から前方に延びかる前記取り付け領域の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先領域とを備える複数のプローブであって、前記取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取り付け領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記取り付け領域をこれの厚さ方向に貫通して延びかつ前記支持体に支持された細長いガイドバーと、前記支持体の先端側に配置されて前記ガイドバーの長手方向へ延びるスリットバーであって、これの長手方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数のスリットを有するスリットバーと、前記取り付け領域と前記支持体との間に配置されて前記スリットバーの長手方向に延びる少なくとも１つの弾性体とを含む。前記プローブは、前記針先領域を前記スリットに受け入れられている。

本発明に係るプローブ組立体で用いるプローブは、突出部の下端縁を被検査体の電極への接触箇所とされる。そのようなプローブは、針先領域の幅寸法が取り付け領域のそれより小さいから、撓みやすい。

しかし、本発明に係るプローブ組立体は、スリットバーの長手方向に延びる少なくとも１つの弾性体を前記取り付け領域と前記支持体との間に配置しているから、各プローブが弾性体によりガイドバーに押圧されて、各プローブとガイドバーとの間の遊びが解消される。

これにより、プローブにオーバードライブが作用しても、プローブが支持体やスリットバーに対しガイドバーの長手方向に傾くことが防止され、その結果針先領域の不規則に撓みが防止されて、スリットバーの破損や針先領域の折損が防止される。

少なくとも２つ前記弾性体を含み、一方の弾性体は前記スリットバーと前記針先領域との間に配置されており、他方の弾性体は前記取り付け領域と前記支持体との間に配置されていてもよい。そのようにすれば、針先領域が弾性体に接触されるから、オーバードライブによる針先領域の撓みが弾性体により阻止される。このため、スリットバーのスリットを形成している仕切り壁の破損がより確実に防止される。

前記スリットバーは、さらに、これの長手方向に伸びて下方に開放する凹所を有し、前記一方の弾性体は前記凹所に配置されていてもよい。

前記プローブの長手方向に間隔をおいた２つの前記弾性体を含み、両弾性体は前記取り付け領域と前記支持体との間に配置されていてもよい。

前記針先領域は、前記取り付け領域の先端部から伸びる第１の領域と、該第１の領域の先端部から伸びる第２の領域であって前記取り付け領域の下端縁よりも下方側に突出する突出部を備える第２の領域とを含むことができる。

前記第１の領域は上方に開放するＵ字状の凹欠部を備えることができる。この場合、前記第１の領域の前記凹欠部が形成された箇所の幅寸法を他の箇所の幅寸法より小さくしてもよい。そのようにすれば、針先領域が凹欠部の形成箇所においてより撓みやすい形状となる。

前記第１の領域の前記凹欠部が形成された箇所の幅寸法は、他の箇所の幅寸法より小さくすることができる。

前記第２の領域は、さらに、前記突出部が形成された箇所にあって上方に開放する第２の凹欠部を含み、前記プローブは前記弾性体の一部を前記第２の凹欠部に受け入れていてもよい。

前記突出部の下面は逆台形の下向き面とされていてもよい。

上記の代わりに、前記突出部は、下方側の箇所ほど先端側となるように傾けられており、また先端側ほど上方となる下端面を備えていてもよい。そのようにすれば、突出部が被検査体の電極に押圧されたとき、両者が確実に電気的に接続される。

前記突出部は、さらに、前記突出部から前記取り付け領域の長手方向に間隔をおいた凸部であって下方側の箇所ほど先端側となるように傾けられた凸部を含み、該凸部は先端側ほど上方となる下端面を備えていてもよい。

前記プローブは、さらに、前記第２の領域の先端部から伸びる第３の領域を備え、該第３の領域は、上方側の箇所ほど前記第２の領域側となるように傾斜した先端面を有し、前記プローブは前記先端面を前記スリットから前方に突出させていてもよい。そのようにすれば、被検査体の電極に対する針先の位置を上方から容易に確認することができる。

前記第２の領域は長円形の形状を有しており、前記突出部は前記長円形の先端部に形成されていてもよい。この場合、前記第２の領域は、上方側の箇所ほど前記第１の領域側となるように傾斜した先端面を有することができる。この場合も、プローブをスリットバーに配置することにより、被検査体の電極に対する針先の位置を上方から容易に確認することができる。

前記第２の領域は、上方側の箇所ほど前記第１の領域側となるように傾斜した先端面を有し、前記プローブは前記先端面を前記スリットから前方に突出させていてもよい。この場合も、プローブをスリットバーに配置することにより、被検査体の電極に対する針先の位置を上方から容易に確認することができる。

前記プローブは、さらに、前記針先領域の先端から下方に突出する針先を備えていてもよい。

本発明においては、取り付け領域の幅方向を上下方向といい、取り付け領域に対し、被検査体の電極に押圧される針先領域の側を先端側といい、通電用配線に押圧される針先領域の側を後端側という。しかし、プローブ組立体の実際の使用に際しては、取り付け領域の幅方向を斜め又は横の方向としてもよいし、上下方向を逆にして使用してもよい。

図１〜図３を参照するに、プローブ組立体１０は、ブロックすなわち支持体１２と、支持体１２の下側に並列的に配置された帯状の複数のプローブ１４と、プローブ１４を貫通する細長い一対のガイドバー１６と、プローブ１４の一部を受け入れる一対のスリットバー１８と、プローブ１４の後端側に針先の位置を安定させる長尺のガイド部材２０と、ガイドバー１６を支持体１２に支持させる一対のサイドカバー２２とを含む。

支持体１２は、ねじ穴２４及び一対のガイド穴２６を上面の側に有すると共に、一対のガイド穴２８を各側面の側に有する。支持体１２の下面は、図２に示すように、複数の段部により階段状に形成されている。支持体１２は、電気を通さないいわゆる非導電性の、金属材料、セラミック又は合成樹脂から製作することができる。

各プローブ１４は、図２及び図３に示すように、帯状の中央領域として作用する取り付け領域３０と、取り付け領域３０の先端及び後端からそれぞれさらに先方及び後方へ伸びる帯状の一対の針先領域３２及び３４とを備える。

取り付け領域３０は、ガイドバー１６が貫通するガイド穴３６を各端部に有すると共に、取り付け領域３０の長手方向に間隔をおいた部位を貫通する複数の長穴３８をガイド穴３６の間の部位に有する。

各長穴３８は、取り付け領域３０の長手方向へ伸びていると共に、取り付け領域３０の長手方向に間隔をおいている。

図示の例では、各ガイド穴３６は、円形であるが、ガイドバー１６の断面形状に対応した形状とすることができる。また、ガイド穴３６を、取り付け領域３０の長手方向に間隔をおいた他の箇所に形成してもよいし、取り付け領域３０の長手方向へ大きく伸びる長穴としてもよい。後者の場合、長穴３８に続く長い穴としてもよい。

針先領域３２及び３４は、それぞれ、取り付け領域３０長手方向における一端及び他端の上縁部及び下縁部から前方及び後方へ伸びており、また取り付け領域３０の幅寸法より小さい幅寸法を有する。

針先領域３２は、取り付け領域３０の先端部から前方へ伸びる第１の領域４０と、第１の領域４０の先端部から前方へ伸びる第２の領域４２と、第２の領域４２の先端部から前方へ伸びる第３の領域４４を含む。

第１の領域４０は、上方に開放するＵ字状の凹欠部４６を先端部に備えていると共に、下方に開放する弧状の凹欠部４８を基端部（取り付け領域３０の側の部位）に備えている。

第１の領域４０の凹欠部４６及び４８が形成された箇所の幅寸法は、第１の領域４０の他の箇所の幅寸法より小さい。第１の領域４０の凹欠部４６が形成された箇所は、取り付け領域３０の下端縁よりわずかに下方に突出している。

第２の領域４２は、取り付け領域３０の下端縁よりも下方側に突出する突出部５０を備えていると共に、上方に開放する弧状の凹欠部５２を突出部５０が形成された箇所に備えている。突出部５０の下側面は、逆台形の下向き面とされている。

突出部５０の下端面５４は、図示の例では、被検査体の電極と平行の水平面であり、また全体を被検査体の電極への接触部とされている。しかし、下端面５４は、先端側の箇所ほど上方となるように水平面に対しθの角度だけ傾けられていてもよい。この場合、下端面５４の一部が被検査体の電極への接触部として作用する。

第３の領域４４は、上方側の箇所ほど第２の領域４２側となるように傾斜された先端面５６を有している。

針先領域３４の先端部は、図２に示すように、上方に曲げられて、先鋭な針先３４ａとされている。プローブ１４をその厚さ方向から見たとき、針先３４ａは三角形の形状を有する。

プローブ１４は、導電性の薄い金属板にエッチング加工をしてプローブの原形を作成し、次いでポリイミド材のような電気絶縁性材料によるコーティングをプローブの針先となる部分を除いてその原形に形成することにより、製作することができる。

しかし、プローブ１４を、フォトリソ技術と電気メッキ技術とを利用して製作してもよい。

プローブ１４は、取り付け領域３０の幅方向が上下方向となる状態に、取り付け領域３０、ガイド穴３６及び長穴３８を対向させて、支持体１２の下側に並列的に配置されている。

各ガイドバー１６は、図示の例では、円形の断面形状を有しており、また非導電性の金属材料により形成されている。各ガイドバー１６は、プローブ１４のガイド穴３６に押し込まれ、各端部がサイドカバー２２を貫通することにより、両サイドカバー２２により支持体１２に組み付けられる。

各スリットバー１８は、それらの長手方向に所定のピッチで形成された複数のスリット６０を有している。各スリット６０は、プローブ１４の厚さ寸法とほぼ同じ幅寸法を有しており、またスリットバー１８の幅方向全体にわたって伸びている。

先端側のスリットバー１８は、また、これの長手方向に伸びて下方に開放する溝状の凹所６２を有している。凹所６２には、棒状の弾性体６４がその一部をスリット６０に突出させてスリットバー１８の長手方向に伸びる状態に配置されている。

図示の例では、凹所６２は、プローブ１４の凹欠部５２と対向する半円形の形状を有しており、弾性体６４は円形の断面形状を有している。しかし、凹欠部５２、凹所６２及び弾性体６４は、他の形状を有していてもよい。

スリットバー１８はセラミックのような非導電性材料から製作することができる。また、各スリット６０は、スリットバー１８を支持体１２に装着する前又は装着した後に、形成することができる。

凹所６２を有するスリットバー１８は、これがプローブ１４の配列方向へ伸びてスリット６０が下方に向く状態に支持体１２の前端下面に接着されている。他のスリットバー１８は、これがプローブ１４の配列方向へ伸びてスリット６０が下方に向く状態に支持体１２の後端下面に接着されている。しかし、各スリットバー１８を支持体１２に、１以上のねじ部材により又は嵌合により取り付けてもよい。

各プローブ１４は、先端面５６が先端側のスリットバー１８のスリット６０から前方に突出し、針先３４ａが後端側のスリットバー１８のスリット６０から後方に突出する状態に、針先領域３２及び３４をそれぞれ先端側及び後端側のスリットバー１８のスリット６０に受け入れられている。

上記の状態において、弾性体６４は、その一部を針先領域３２の凹欠部５２に受け入れられている。しかし、針先領域３２は先端側のスリットバー１８のスリット６０の溝底から離間されており、また下端面５４は先端側のスリットバー１８のスリット６０から下方に突出されている。

ガイド部材２０は、Ｌ字型の断面形状を有しており、またガイド部材２０の長手方向に間隔をおいた複数の貫通穴６６（図１参照）をＬ字の一方の辺部分に有する。ガイド部材２０はポリイミド材のような非導電性のフィルムから製作することができ、また貫通穴６６はレーザ加工により形成することができる。

ガイド部材２０は、各針先３４ａが貫通穴６６を貫通するように、Ｌ字の他方の辺部分おいてプローブ１４の配列方向へ伸びる状態に複数のねじ部材６８により支持体１２の後端面下部に取り外し可能に取り付けられている。しかし、ガイド部材２０を支持体１２に、嵌合により又は接着により取り付けてもよい。ガイド部材２０はなくてもよい。

各サイドカバー２２は、支持体１２の側面と対応した形状の板部材から形成されており、また一対のガイドピン７０と複数のねじ部材７２とにより支持体１２の側面に取り外し可能に取り付けられている。

各ガイドピン７０は、支持体１２に形成されたガイド穴２８に脱出不能に嵌合されており、端部をサイドカバー２２形成されたガイド穴に嵌合されている。しかし、ガイドピン７０をサイドカバー２２に固定してもよい。サイドカバー２２は、両ガイドバー１６の端部を受け入れる貫通穴を有する。

図においては、隣り合うプローブ１４が大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ１４の配列ピッチは小さい。プローブ１４の厚さ寸法及び配列ピッチ、ならびに、スリット６０の配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。

プローブ組立体１０は、先ず、両スリットバー１８とガイド部材２０とを上記した状態に支持体１２に取り付けた状態で、各プローブ１４の両端部をスリットバー１８のスリット６０に挿し込むと共に、針先３４ａをガイド部材２０の貫通穴６６に通し、次いでガイドバー１６をプローブ１４のガイド穴３６に挿し通し、次いでガイドピン７０をサイドカバー２２と支持体１２とに挿し通すと共にガイドバー１６の端部をサイドカバー２２に挿し通し、その後サイドカバー２２をねじ部材７２で支持体１２に取り付けることにより、組み立てることができる。

これにより、プローブ１４及びガイドバー１６はサイドカバー２２を介して支持体１２に支持され、各プローブ１４は、これの厚さ方向をガイドバー１６の長手方向とした状態に、支持体１２に支持される。

上記のように組み立てた状態において、プローブ１４は液晶表示パネルのような被検査体の電極の配置パターンに応じたパターンに支持体１２の下側に並列的に配置されており、針先３４ａはスリットバー１８から後方及び上方へ突出してガイド部材２０から上方へ突出している。

また、各プローブ１４の針先領域３２は、先端側のスリットバー１８のスリット６０の溝底から離間されているが、凹欠部５２において弾性体６４に当接されている。また、各プローブ１４の先端面５６はスリットバー１８から前方に突出されている。

検査装置に組み付けるとき、プローブ組立体１０は、針先３４ａがＴＡＢテープ（図示せず）の通電用配線にわずかに過剰に押圧された状態に、検査装置に組み付けられる。これにより、各プローブ１４は針先領域３４の幅寸法が取り付け領域３０のそれより小さいから弧状に反り、各針先３４ａは通電用配線に確実に接触する。

プローブ組立体１０を検査装置に組み付けるとき、プローブ組立体１０は、図１に示すガイド穴２６に差し込まれるガイドピンにより検査装置に対する位置決めをされ、またねじ穴２４に螺合されるねじ部材により検査装置に取り外し可能に組み付けられる。しかし、プローブ組立体１０を他の手法及び他の手段により検査装置に組み付けてもよい。

プローブ１４の交換は、プローブ組立体１０を検査装置から外し、サイドカバー２２を支持体１２から外し、ガイドバー１６を抜き、交換すべきプローブを取り去り、その代わりに新たなプローブを支持体１２に配置し、その後既に述べた手法で、プローブ組立体１０を組み立て、そのプローブ組立体１０を検査装置に取り付ければよい。このため、プローブの交換が容易になる。

検査時、プローブ組立体１０と被検査体とは、下端面５４と被検査体の電極とが一致された状態で、下端面５４を被検査体の電極にわずかに過剰に押圧される。このとき、先端面５６がスリット６０から前方に突出されているから、被検査体の電極に対する針先の位置を上方から容易に確認することができる。

下端面５４が被検査体の電極に押圧されると、オーバードライブ（ＯＤ）がプローブ１４に作用する。各プローブ１４は、針先領域３２の幅寸法、特に凹欠部４６の箇所の幅寸法が取り付け領域３０のそれより小さいから、そのようなオーバードライブにより針先領域３２において撓みやすい。

しかし、プローブ１４は、その針先領域３２が先端側のスリットバー１８のスリット６０の溝底から離間されて、凹欠部５２において弾性体６４に当接されている。このため、オーバードライブによる針先部３２の撓みが弾性体６４により阻止される。

上記の結果、針先領域３２の変形が阻止されるから、被検査体の電極に対する下端面５４の滑り量も少ない。このように、接触部として作用する下端面５４の滑り量の少ないプローブ１４によれば、オーバードライブが作用しても、スリットバー１８が被検査体に大きく接近することが防止されて、ガラス屑等に起因するスリットバー１８のスリット６０を形成している仕切り壁の破損が防止される。

また、プローブ１４は弾性体６４によりガイドバー１６に押圧されて、プローブ１４と少なくとも先端側のガイドバー１６との間の遊びが解消される。これにより、プローブ１４にオーバードライブが作用しても、プローブ１４が支持体１２や先端側のスリットバー１８に対しガイドバー１６の長手方向に傾くことが防止される。

上記の結果、針先領域３２の不規則な撓みが防止されて、先端側のスリットバー１８の破損や針先領域３２の折損が確実に防止される。

下側面が逆台形の下向き面とされた突出部５０とする代わりに、他の形状を有する突出部としてもよい。

図４に示す突出部８０は、下方側の箇所ほど先端側となるように傾けられている。突出部８０は先端側ほど上方となるように水平面に対しθ１の角度だけ傾斜された下端面８２を備え、その下端面８２の一部を接触部としている。そのような突出部８０によれば、これが被検査体の電極に押圧されたとき、両者が確実に電気的に接続される。

図５に示すプローブ１４は、突出部８０から取り付け領域３０の長手方向後方（前方であってもよい）に間隔をおいた凸部８４を第２の領域４２に有する。凸部８４は、突出部８０と同様に、下方側の箇所ほど先端側となるように傾けられている。

凸部８４の下端面８６は、先端側ほど上方となるように水平面に対しθ２の角度だけ傾斜されている。θ２は、θ１と同じであってもよいし、異なっていてもよい。

図６に示すプローブ１４においては、第２の領域４２は長円形の形状を有し
ており、突出部８８は長円形の先端部に形成されている。突出部８８の下端面９０は、先端側の箇所ほど下方となるように水平面に対し傾斜されて、先端を被検査体の電極への接触部とされている。

図６に示すプローブは、第３の領域を備えていない。このため、上方側の箇所ほど第１の領域４０の側となるように傾斜した先端面５６は、第２の領域４２に形成されている。

図３、図４及び図５のいずれの実施例においても、先端面５６を第２の領域４２に形成して、第３の領域４４を備えていなくてもよい。また、図３から図６のいずれの実施例においても、上方側の箇所ほど第１の領域４０の側となるように傾斜した先端面５６を備えていなくてもよい。

図３から図５のいずれの実施例においても、凹所６２を矩形の断面形状とし、その凹欠部の断面形状に応じた矩形の断面形状を有する弾性体を用いてもよい。また、図６の実施例において、凹所９２を弧状の断面形状とし、その凹欠部の断面形状に応じた円形の断面形状を有する弾性体を用いてもよい。

図６に示すプローブ１４を用いる場合、図７に示すように、弾性体９４並びに凹欠部４６及び４８を備えていなくてもよい。

図８に示すプローブ組立体１０のように、弾性体６４を針先領域３２と先端側のスリットバー１８の間に配置するのみならず、弾性体９６をプローブ１４の中央領域３０と支持体１２の下面との間に配置してもよい。弾性体９６は、図示の例では、シリコーンゴムのようなゴム剤で板状に制作されている。

上記のように、複数の弾性体６４，９６をプローブ１４の長手方向に間隔をおいて配置すれば、プローブ１４は、後端側においても後端側のガイドバー１６に押圧されるから、傾きを確実に防止される。

弾性体６４を針先領域３２と先端側のスリットバー１８との間に配置する代わりに、図９に示すように、２つの弾性体９６，９６をプローブ１４と支持体１２との間にプローブ１４の長手方向に間隔をおいて配置してもよい。

また、図１０に示すように、２つの弾性体９６，９６をプローブ１４と支持体１２との間にプローブ１４の長手方向に間隔をおいて配置し、シリコーンゴムのようなゴム材で板状に制作された他の弾性体９８を針先領域３２とスリットバーとの間に配置してもよい。

さらに、図１１に示すように、中央領域３０の長さ寸法とほぼ同じ程度の幅寸法を有する弾性体１００をプローブ１４と支持体１２との間に配置してもよい。弾性体１００も、シリコーンゴムのようなゴム材で板状に制作されている。

図９、図１０及び図１１のいずれの実施例によっても、プローブ１４は、先端側及び後端側のいずれにおいてもガイドバー１６及び１６に押圧されるから、傾きを確実に防止される。

しかし、図１２に示すように、弾性体９６をプローブ１４の中央領域３０と支持体１２の下面との間にのみ配置してもよい。

弾性体６４，９６，９８，１００のように円形又は矩形の断面形状を有する弾性体を用いる代わりに、半円形、六角形、長円形、楕円形等、他の断面形状を有する弾性体を用いてもよい。

図１３に示す実施例においては、半円形の断面形状を有する弾性体１０２を用いている。

図９から図１３に示す実施例に用いられているプローブ１２は、針先領域３２が中央領域３０の幅寸法より小さい幅寸法を有しているが、針先３２ａが針先領域３２の先端から下方に曲げられている。

また、図９から図１３に示す実施例に用いられているプローブ１２は、長穴３８を中央領域３０に有していないが、そのような長穴３８を中央領域３２０に形成してもよい。

本発明は、液晶表示パネルのみならず、そのガラス基板、有機ＥＬ等、他の表示用基板のような他の平板状の被検査体の検査に用いるプローブ及びプローブ組立体にも適用することができる。

本発明は、液晶表示パネルや有機ＥＬ等の表示用パネルの検査に用いるプローブ及びプローブ組立体のみならず、集積回路のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブ及びプローブ組立体にも適用することができる。

本発明に係るプローブ組立体の第１の実施例を示す斜視図である。 図１に示すプローブ組立体の縦断面図である。 図１に示す第１の実施例における先端側の針先領域近傍の拡大縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第２の実施例を示す先端側の針先領域近傍の拡大縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第３の施例を示す先端側の針先領域近傍の拡大縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第４の実施例を示す先端側の針先領域近傍の拡大縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第５の実施例を示す先端側の針先領域近傍の拡大縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第６の実施例を示す縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第７の実施例を示す縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第８の実施例を示す縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第９の実施例を示す縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の先端側の針先領域近傍の第１０の実施例を示す拡大縦断面図である。 本発明に係るプローブ組立体の先端側の針先領域近傍の第１１の実施例を示す拡大縦断面図である。

符号の説明

１０ プローブ組立体
１２ 支持体
１４ プローブ
１６ ガイドバー
１８ スリットバー
２０ ガイド部材
２２ サイドカバー
３０ 中央領域
３２，３４ 針先領域
４０ 第１の領域
４２ 第２の領域
４４ 第３の領域
４６，４８ 凹欠部
５０，８０，８８ 突出部
５２ 凹欠部（第２の凹欠部）
５４，８２，８６，９０ 下端面
６０ スリット
６２，９２ 凹所
６４，９４，９６，９８，１００，１０２ 弾性体
６６ 貫通穴
８４ 凸部

Claims (14)

1. 支持体と、帯状の取り付け領域と該取り付け領域の先端から前方に延びる前記取り付け領域の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先領域とを備える複数のプローブであって、前記取り付け領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取り付け領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記取り付け領域をこれの厚さ方向に貫通して延びかつ前記支持体に支持された細長いガイドバーと、前記支持体の先端側に配置されて前記ガイドバーの長手方向へ延びるスリットバーであって、これの長手方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数のスリットを有するスリットバーと、前記取り付け領域と前記支持体との間に配置されて前記スリットバーの長手方向に延びる少なくとも１つの弾性体とを含み、前記プローブは、前記針先領域を前記スリットに受け入れられている、プローブ組立体。
2. 少なくとも２つの前記弾性体を含み、１つの弾性体は前記スリットバーと前記針先領域との間に配置されており、他の１つの弾性体は前記取り付け領域と前記支持体との間に配置されている、請求項１に記載のプローブ組立体。
3. 前記スリットバーは、さらに、これの長手方向に延びて下方に開放する凹所を有し、前記一方の弾性体は前記凹所に配置されている、請求項２に記載のプローブ組立体。
4. 前記プローブの長手方向に間隔をおいた２つの前記弾性体を含み、両弾性体は前記取り付け領域と前記支持体との間に配置されている、請求項１に記載のプローブ組立体。
5. 前記針先領域は、前記取り付け領域の先端部から延びる第１の領域と、該第１の領域の先端部から延びる第２の領域であって、前記取り付け領域の下端縁よりも下方側に突出する突出部を備える第２の領域とを含む、請求項１に記載のプローブ組立体。
6. 前記第１の領域は上方に開放するＵ字状の凹欠部を備える、請求項５に記載のプローブ組立体。
7. 前記第１の領域の前記凹欠部が形成された箇所の幅寸法は、他の箇所の幅寸法より小さい、請求項６に記載のプローブ組立体。
8. 前記突出部の下面は逆台形の下向き面とされている、請求項５に記載のプローブ組立体。
9. 前記突出部は、下方側の箇所ほど先端側となるように傾けられており、また先端側ほど上方となる下端面を備える、請求項５に記載のプローブ組立体。
10. 前記突出部は、さらに、前記突出部から前記取り付け領域の長手方向に間隔をおいた凸部であって、下方側の箇所ほど先端側となるように傾けられた凸部を含み、該凸部は先端側ほど上方となる下端面を備える、請求項９に記載のプローブ組立体。
11. 前記プローブは、さらに、前記第２の領域の先端部から延びる第３の領域を備え、該第３の領域は、上方側の箇所ほど前記第２の領域側となるように傾斜した先端面を有し、前記プローブは前記先端面を前記スリットから前方に突出させている、請求項５に記載のプローブ組立体。
12. 前記第２の領域は長円形の形状を有しており、前記突出部は前記長円形の先端部に形成されている、請求項５に記載のプローブ組立体。
13. 前記第２の領域は、上方側の箇所ほど前記第１の領域側となるように傾斜した先端面を有し、前記プローブは前記先端面を前記スリットから前方に突出させている、請求項１２に記載のプローブ組立体。
14. 前記プローブは、さらに、前記針先領域の先端から下方に突出する針先を備える、請求項５に記載のプローブ組立体。

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