KR100252566B1 - 프로브조립체및프로브 - Google Patents
프로브조립체및프로브 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100252566B1 KR100252566B1 KR1019970034959A KR19970034959A KR100252566B1 KR 100252566 B1 KR100252566 B1 KR 100252566B1 KR 1019970034959 A KR1019970034959 A KR 1019970034959A KR 19970034959 A KR19970034959 A KR 19970034959A KR 100252566 B1 KR100252566 B1 KR 100252566B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- probe
- needle
- central region
- region
- guide
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
- G01R1/07328—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support for testing printed circuit boards
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06794—Devices for sensing when probes are in contact, or in position to contact, with measured object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07364—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch
- G01R1/07371—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using an intermediate card or back card with apertures through which the probes pass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
Claims (12)
- 띠 형상의 중앙 영역(30)과, 상기 중앙 영역(30)의 선단으로부터 더 전방으로 연장하는 제1침선 영역(32)과, 상기 중앙 영역(30)의 후단으로부터 더 후방으로 연장하는 제2침선 영역(34)을 각각 구비하는 복수의 프로브(14)를 상기 중앙 영역(30)의 폭방향이 상하 방향으로 되는 상태로 블록(12)의 하측에 상기 중앙 영역(30)을 대향시키고, 또한 상기 중앙 영역(30)의 두께 방향으로 간극을 두고서 병렬적으로 배치한 프로브 조립체에 있어서,각 프로브(14)는 1이상의 가이드 구멍(36)을 상기 중앙 영역(30)에서 가지며, 이 프로브 조립체는 상기 가이드 구멍(36)으로 통하고 상기 프로브(14)의 중앙 영역(30)을 두께 방향으로 관통하여 연장하는 가늘고 긴 1이상의 가이드바(16)로서 상기 블록(12)에 지지된 1이상의 가이드바(16)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 블럭(12)의 선단측 및 후단측에 각각 배치되어서 상기 가이드바(16)의 길이방향으로 연장하는 제1 및 제2슬릿바(18)를 더 포함하고, 상기 제1 및 제2슬릿바(18)는 상기 프로브(14)의 선단측 및 후단측의 부위를 각각 수용하도록 길이방향으로 간격을 둔 복수의 슬릿(40)을 각각 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가이드바(16)의 길이방향의 단부를 수용하는 판 형상의 한 쌍의 사이드 커버(22)를 더 포함하고, 상기 한 쌍의 사이드 커버(22)는 상기 블럭(12)의 측부에 분리 가능하게 부착된 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 한 쌍의 가이드바(16)가 설치되어 있고, 양 가이드바(16)는 상기 중앙 영역(30)의 길이방향으로 간격을 둔 부위를 관통하여 연장하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2침선 영역(32,34)은 각각 그 선단부 및 후단부에서 하방 및 상방으로 돌출하는 침선(32a,34a)을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
- 제5항에 있어서, 상기 블럭(12)의 후단에 상기 가이드바(16)의 길이방향으로 연장하는 상태로 부착된 긴 판 형상의 가이드 부재(20)를 더 포함하고, 상기 가이드 부재(20)는 상기 제2침선 영역(34)의 침선(34a)이 관통되는 복수의 구멍(42)을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
- 띠 형상의 중앙 영역(30)과, 상기 중앙 영역의 일단에 이어지는 제1침선 영역(32)과, 상기 중앙 영역의 타단에 이어지는 제2침선 영역(34)을 구비하고, 상기 제1 및 제2침선 영역(32,34)의 침선(32a,34a)이 상기 중앙 영역(30)의 폭 방향의 외측으로 및 상호 반대측으로 돌출하는 프로브에 있어서,가이드 구멍(36)이 상기 중앙 영역(30)에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
- 제7항에 있어서, 상기 중앙 영역(30)에 형성되어서 이 중앙 영역(30)을 그 길이방향으로 연장하는 1이상의 긴 구멍(38)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브.
- 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2침선 영역(32,34)은 각각 상기 중앙 영역(30)의 폭 방향에 있어서 한쪽 가장자리 측 및 다른 쪽 가장자리측으로 연장하는 것을 특징으로 하는 프로브.
- 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 제1침선 영역(32)은 상기 중앙 영역(30)의 폭 치수 보다 작은 폭 치수를 갖는 것을 특징으로 하는 프로브.
- 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 중앙 영역(30)의 길이방향으로 간격을 둔 부위의 각각에 상기 가이드 구멍(36)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
- 제11항에 있어서, 상기 가이드 구멍(36)은 상기 중앙 영역(30)의 선단부와 후단부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP96-300835 | 1996-10-28 | ||
JP30083596A JP3750831B2 (ja) | 1996-10-28 | 1996-10-28 | プローブ組立体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR19980032242A KR19980032242A (ko) | 1998-07-25 |
KR100252566B1 true KR100252566B1 (ko) | 2000-04-15 |
Family
ID=17889693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019970034959A KR100252566B1 (ko) | 1996-10-28 | 1997-07-25 | 프로브조립체및프로브 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3750831B2 (ko) |
KR (1) | KR100252566B1 (ko) |
TW (1) | TW392073B (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100966499B1 (ko) | 2007-04-02 | 2010-06-29 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 프로브 조립체 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001050858A (ja) * | 1999-08-04 | 2001-02-23 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用パネル基板の検査装置 |
JP4634059B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2011-02-16 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ組立体 |
JP4571517B2 (ja) * | 2004-10-19 | 2010-10-27 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ組立体 |
KR100669827B1 (ko) * | 2005-08-10 | 2007-01-16 | 주식회사 파이컴 | 프로브 어셈블리 |
KR100610889B1 (ko) | 2005-10-10 | 2006-08-08 | (주)엠씨티코리아 | 초미세 피치를 갖는 평판형 디스플레이장치 검사용프로브유니트 |
WO2007100059A1 (ja) | 2006-03-03 | 2007-09-07 | Nhk Spring Co., Ltd. | 導電性接触子ユニット |
KR20080091510A (ko) | 2006-03-03 | 2008-10-13 | 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 | 도전성 접촉자 유닛 |
KR100692179B1 (ko) * | 2006-05-01 | 2007-03-12 | 주식회사 코디에스 | 평판디스플레이 검사를 위한 프로브 조립체 |
JP4916763B2 (ja) | 2006-05-08 | 2012-04-18 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ組立体 |
JP4916766B2 (ja) * | 2006-05-11 | 2012-04-18 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブおよびプローブ組立体 |
KR100715492B1 (ko) * | 2006-06-05 | 2007-05-07 | (주)엠씨티코리아 | 극미세 피치를 갖는 프로브유니트 및 이를 이용한프로브장치 |
KR100696416B1 (ko) * | 2006-11-20 | 2007-03-19 | 주식회사 리뷰텍 | 평판표시소자 검사용 프로브 조립체 |
JP4909803B2 (ja) * | 2007-05-16 | 2012-04-04 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ組立体及び検査装置 |
JP5364877B2 (ja) * | 2009-04-28 | 2013-12-11 | 有限会社清田製作所 | 積層型プローブ |
JP2011203275A (ja) * | 2011-07-05 | 2011-10-13 | Micronics Japan Co Ltd | プローブおよびプローブ組立体 |
JP7154835B2 (ja) * | 2018-06-22 | 2022-10-18 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ組立体 |
KR102241059B1 (ko) * | 2020-01-14 | 2021-04-16 | (주)위드멤스 | 프로브 블록 조립체 |
-
1996
- 1996-10-28 JP JP30083596A patent/JP3750831B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-07-25 KR KR1019970034959A patent/KR100252566B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1998
- 1998-04-10 TW TW087105403A patent/TW392073B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100966499B1 (ko) | 2007-04-02 | 2010-06-29 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 프로브 조립체 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19980032242A (ko) | 1998-07-25 |
JPH10132853A (ja) | 1998-05-22 |
TW392073B (en) | 2000-06-01 |
JP3750831B2 (ja) | 2006-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100252566B1 (ko) | 프로브조립체및프로브 | |
KR100661208B1 (ko) | 프로브 조립체 | |
JP3505495B2 (ja) | 基板検査用検査治具、該検査治具を備えた基板検査装置および基板検査用検査治具の組立方法 | |
KR100966499B1 (ko) | 프로브 조립체 | |
KR101151804B1 (ko) | 전기적 접속장치 | |
JP4313565B2 (ja) | プローブ装置 | |
KR100863987B1 (ko) | 프로브 조립체 | |
JP2005055343A (ja) | フラットパネルディスプレイ検査用プローブ装置 | |
TWI709751B (zh) | 探針組裝體 | |
JP3813285B2 (ja) | 平板状被検査体試験用ヘッド | |
JP4235280B2 (ja) | プローブ組立体 | |
KR200444681Y1 (ko) | 프로브유닛 | |
JP4471424B2 (ja) | プローブカード | |
KR101123649B1 (ko) | 프로브 장치 | |
KR20110034177A (ko) | 프로브 유닛 및 이를 제조하는 방법 | |
KR100899978B1 (ko) | 프로브유닛과 니들 | |
KR200340108Y1 (ko) | 프로브 가이드 조립체 | |
KR200339978Y1 (ko) | 프로브 가이드 조립체 | |
JP4074677B2 (ja) | 検査用ヘッド | |
KR20090085273A (ko) | 반도체 소자 테스트용 프로브 카드 | |
JP2004273192A (ja) | コネクタ検査用治具 | |
JPH09211048A (ja) | 液晶表示パネル検査装置 | |
KR101277787B1 (ko) | 통전 검사 장치 및 연결 장치 | |
CN115932335A (zh) | 电连接装置 | |
KR100708880B1 (ko) | 이방성 전도루버를 이용한 프로브 헤드 유닛 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
J204 | Request for invalidation trial [patent] | ||
J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR INVALIDATION REQUESTED 20030819 Effective date: 20041030 |
|
J2X1 | Appeal (before the patent court) |
Free format text: INVALIDATION |
|
J2X1 | Appeal (before the patent court) |
Free format text: INVALIDATION |
|
J2X2 | Appeal (before the supreme court) |
Free format text: APPEAL BEFORE THE SUPREME COURT FOR INVALIDATION |
|
J302 | Written judgement (patent court) |
Free format text: JUDGMENT (PATENT COURT) FOR INVALIDATION REQUESTED 20041201 Effective date: 20050929 |
|
J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR INVALIDATION REQUESTED 20051121 Effective date: 20051229 |
|
J302 | Written judgement (patent court) |
Free format text: JUDGMENT (PATENT COURT) FOR INVALIDATION REQUESTED 20041208 Effective date: 20050929 |
|
J303 | Written judgement (supreme court) |
Free format text: JUDGMENT (SUPREME COURT) FOR INVALIDATION REQUESTED 20051020 Effective date: 20060127 |
|
J2X1 | Appeal (before the patent court) |
Free format text: INVALIDATION |
|
J2X2 | Appeal (before the supreme court) |
Free format text: APPEAL BEFORE THE SUPREME COURT FOR INVALIDATION |
|
J302 | Written judgement (patent court) |
Free format text: JUDGMENT (PATENT COURT) FOR INVALIDATION REQUESTED 20060203 Effective date: 20060914 |
|
J303 | Written judgement (supreme court) |
Free format text: JUDGMENT (SUPREME COURT) FOR INVALIDATION REQUESTED 20060930 Effective date: 20080612 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20091015 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121120 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151113 Year of fee payment: 18 |
|
EXPY | Expiration of term |