JP4313565B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の通電試験に用いられるプローブ装置に関する。
【0002】
【用語の定義】
本発明においては、被検査体と平行な面内における一方向及び他方向をそれぞれ前後方向及び左右方向といい、被検査体に垂直な方向を上下方向といい、プローブの針先部側及び針後部側をそれぞれ前方及び後方といい、被検査体と平行な面を水平面という。
【0003】
【従来の技術】
集積回路、液晶表示パネル等の平板状被検査体は、一般に、プローブカードやプローブユニット等のプローブ装置を用いて検査される。
【0004】
液晶表示パネルのような表示用基板の通電試験に用いられるプローブ装置の1つとして特許文献1に記載されたものがあり、またそのようなプローブ装置に用いるプローブブロック(プローブ組立体)の1つとして特許文献2に記載されたものがある。
【0005】
【特許文献1】
特開2001−141747
【特許文献2】
特開平10−132853
【0006】
特許文献1のプローブ装置は、左右方向に間隔をおいて前後方向に平行に伸びる複数の配線を、フォトリソグラフィー技術により、電気絶縁性フィルムの一方の面に形成し、各配線の一部をプローブ(プローブ要素)として利用するプローブシートを用いている。
【0007】
プローブシートは、プローブホルダの下側に装着されてプローブブロックに組み立てられている。プローブブロックは、支持ベースの着脱自在に組み付けられている。各プローブは、プローブ装置として組み立てられた状態において、先端部を表示用基板の電極に押圧される前端針先とされ、後端部を接続ブロック(接続部材)の接続ランドに押圧される後端側針先とされている。
【0008】
特許文献1のプローブ装置において、大きさ、電極数、電極の配置ピッチ等、種類が異なる表示用基板の通電試験をするとき、試験すべき表示用基板の種類に応じたプローブブロックに交換される。この交換作業は、プローブブロックを支持ベースに対し前後方向へ移動させることにより、行われる。
【0009】
特許文献2のプローブブロックは、帯状の針主体部と、針主体部の先端から下方にめげられた先鋭の先端針先と、針主体部の後端から上方に曲げられた先鋭の後端針先とを有するブレードタイプのプローブを用いている。
【0010】
【解決しようとする課題】
しかし、上記のプローブ装置では、プローブブロックの交換時に、後端針先が接続ランドに接触した状態で移動されるから、後端針先又は接続ランドが摩耗又は損傷することを避けることができない。特に、特許文献2のプローブブロックのように、後端針先が先鋭のプローブを用いるプローブブロックを特許文献1のプローブ装置に用いると、プローブブロックの交換時に、後端針先及び接続ランドを損傷してしまう。
【0011】
本発明の目的は、支持ベースへのプローブブロックの着脱が容易であるにもかかわらず、プローブブロックの交換時における後端針先又は接続ランドの摩耗又は損傷をなくすことにある。
【0012】
【解決手段、作用及び効果】
本発明に係るプローブ装置は、前端針先及び後端針先を有する複数のプローブをプローブホルダに左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる状態に配置したプローブブロックと、該プローブブロックが下側に配置された支持ブロックと、
該支持ブロックの下側に配置された接続シートであって、前記プローブの前記後端針先が接触される複数の接続ランドを下面に備える接続シートと、前記後端針先が前記接続ランドに接触した状態に前記プローブブロックを前記支持ブロックの下側に解除可能に組み付ける組み付け手段とを含む。
【0013】
前記プローブブロックは、前後方向へ伸びる突出領域及び該突出領域を上下方向及び前後方向へ変位可能に受け入れるべく前記前後方向へ伸びる溝領域のいずれか一方を上側に備える。前記支持ブロックは前記突出領域及び前記溝領域の他方を下側に備える。前記組み付け手段は、前記プローブブロックの上側及び前記支持ブロックの下側のいずれか一方に形成されて前記上側及び前記下側の他方に突出する1以上の凸部と、該凸部を受け入れるべく前記プローブブロックの上側及び前記支持ブロックの下側の他方に形成された凹部と、前記凸部が前記凹部に受け入れられた状態に前記プローブブロックを前記支持ブロックに対し解除可能に維持する維持手段であって、前記支持ブロックに対する前記プローブブロックの維持を解除したとき、前記凸部が前記凹部から外れるように前記プローブブロックが前記支持ブロックに対し下降ことを許す維持手段とを含む。
【0014】
上記プローブ装置において、プローブブロックは、突出領域及び凸部がそれぞれ溝領域及び凹部に受け入れられて、後端針先が適宜な接続ランドに接触した状態に、支持ブロックに組み付けられる。
【0015】
交換時、元のプローブブロックは、凸部が凹部から外された状態で、支持ブロックに対し水平に引き出される。凸部は、プローブブロックを支持ブロックに対し下方へ変位させることにより、凹部から外すことができる。これにより、プローブブロックは、各プローブの後端針先が接続ランドから下方へ離された状態で移動する。
【0016】
これに対し、新たなプローブブロックは、支持ブロックに対し、突出領域の一部を溝領域に受け入れさせた状態で、水平に押し込まれることにより、組み付けることができる。この際、凸部は凹部が開放する面に当接しており、その状態でプローブブロックが移動されるから、各プローブの後端針先は接続ランドから下方へ離されている。
【0017】
プローブブロックが支持ブロックに対し所定の位置に移動されると、凸部は凹部に受け入れられ、これにより各プローブの後端針先は接続ランドに当接される。
【0018】
本発明によれば、プローブブロックを支持ブロックに対し移動させるとき、凹部が開放する面に凸部が当接することにより、後端針先が接続ランドに当接することを防止する。このため、後端針先又は接続ランドの摩耗又は損傷が防止される。
【0019】
前記プローブブロックは、前記支持ブロックは前後方向又は左右方向に間隔をおいた複数の前記凸部を含み、前記支持ブロックは前記凸部に個々に対応された複数の前記凹部を含むことができる。そのようにすれば、凸部が凹部に受け入れられることにより、支持ブロックに対するプローブブロックの位置決めが行われる。
【0020】
前記プローブブロックは、前記支持ブロックは前後方向に間隔をおいた複数の前記凸部を含み、前記支持ブロックは前記複数の凸部に個々に対応された複数の前記凹部を含む、前方に位置する前記凸部及び前方に位置する前記凹部の水平方向における断面積は、それぞれ、後方に位置する前記凸部及び後方に位置する前記凹部のそれより小さくすることができる。そのようにすれば、凸部が凹部に受け入れられることにより、支持ブロックに対するプローブブロックの位置決めが行われるのみならず、プローブブロックを支持ブロックに対して移動させるときに、後方に位置する凸部が前方に位置する凹部に受け入れられず、したがって支持ブロックへのプローブホルダの着脱作業がより容易になる。
【0021】
前記組み付け手段は、さらに、前記凹部に上下方向へ移動可能に配置されたプッシャーピンと、該プッシャーピンを前記凸部に向けて付勢するばね部材とを含むことができる。そのようにすれば、着脱のためにプローブブロックを支持ブロックに対し移動させるとき、凸部が凹部に受け入れられることを防止することができる。
【0022】
前記プローブブロックは、さらに、上方及び後方に開放する溝であって凸字状の断面形状を有しかつ前後方向へ伸びる溝を含み、前記支持ブロックは、さらに、前記溝領域に開放すると共に当該支持ブロックを上下方向に貫通する貫通穴を含み、前記維持手段は、前記貫通穴に挿入された棒状の主部及び該主部の下端に続くフランジ状の頭部を有する第1のねじ部材であって上方に開放するねじ穴を前記主部に有する、下端部を前記溝に該溝の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられた第1のねじ部材と、前記支持ブロックの上側から前記貫通穴を経て前記ねじ穴に螺合された第2のねじ部材とを含むことができる。
【0023】
そのようにすれば、プローブブロックの溝の上面を形成している箇所を第1のねじ部材の頭部と支持ブロックとに挟み込むことにより、プローブブロックを支持ブロックに移動不能に組み付けることができる。また、第1及び第2のねじ部材の螺合を緩めることにより、プローブブロックの溝の上面を形成している箇所を第1のねじ部材の頭部とプローブベースとによる挟持から解放して、支持ブロックへのプローブブロックの組み付けを解除することができる。その結果、支持ブロックに対するプローブブロックの組み付け及びその解除が容易になる。
【0024】
組み付け手段は、さらに、前記第1のねじ部材を常時下方に付勢する弾性部材を備えることができる。そのようにすれば、第1及び第2のねじ部材の螺合を緩めることにより、第1のねじ部材の頭部とプローブブロックとの間隔が自然に大きくなるから、プローブブロックを支持ブロックに対して前後方向へ移動させるだけで、プローブブロックを支持ブロックに対し着脱することができる。
【0025】
前記プローブブロック及び前記支持ブロックは、さらに、前記凸部が前記凹所に受け入れられた状態において互いに当接するストッパ部を備えることができる。そのようにすれば、両ストッパ部が当接すると、後方へのプローブブロックの移動が阻止されるから、プローブブロックは支持ブロックに対し前後方向の位置決めをされる。
【0026】
プローブ装置は、さらに、前記プローブブロックを前記支持ブロックに対し前記左右方向の一方側へ付勢する1以上のプランジャを含むことができる。そのようにすれば、左右方向における凹所の1つの側壁と、左右方向における凸部の1つの側壁とが当接することにより、プローブホルダは支持ブロックに対し左右方向の位置決めをされる。
【0027】
プローブ装置は、さらに、前記プローブブロックを前記組み付け手段により組み付けた複数の前記支持ブロックが一方向に間隔をおいて組み付けられたブロックベースを含むことができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
図1を参照するに、プローブ装置10は、一部を図1及び図12に示す液晶表示パネルを検査すべき表示用基板12とし、表示用基板12の点灯検査(通電試験)に用いられる。表示用基板12は、長方形の形状をしており、また複数の電極14を長方形の隣り合う2つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極14は、これが配置された縁部と直交する方向へ伸びる帯状の形状を有している。
【0029】
図1から図5を参照するに、プローブ装置10は、プローブブロック16と、プローブブロック16を支持する支持ブロック18と、支持ブロック18が連結される連結ブロック20と、TCP(テープ・キャリア・パッケージ)ブロック22と、連結ブロック20が取り付けられる平板状のプローブベース24とを含む。
【0030】
プローブブロック16は、図示の例では、導電性材料により製作された複数のプローブ26を、プローブホルダ28の平坦な下面に前後方向に間隔をおいて組み付けられた一対のスリットバー30に左右方向に間隔をおいて前後方向に伸びる状態に配置し、前後方向に間隔をおいた一対のガイドバー32をプローブ26に貫通させ、両ガイドバー32を一対のサイドカバー34によりプローブホルダ28に組み付けている。
【0031】
各プローブ26は、帯状の主体部と、主体部の前端から前方へ一体的に伸びて先端針先を下方に曲げられた前端領域と、針主体部の後端から後方へ一体的に伸びて後端針先を上方に曲げられた後端領域とを備えるブレードタイプの針とされている。先端針先及び後端針先は、三角形に形成されて、先鋭にされている。
【0032】
そのようなブレードタイプのプローブは、金属細線から製作されたニードルタイプのプローブや、フォトリソグラフィー技術により製作されたプローブ等、他のプローブに比べ、製造が容易であり、廉価になるのみならず、厚さ寸法を小さくすることによりプローブの配置ピッチを小さくすることができる。
【0033】
各プローブ26は、針主体部の幅方向を上下方向とした状態に、かつ、曲げられた前端針先及び後端針先をそれぞれプローブホルダ28から前方及び後方へ突出させた状態に、スリットバー30に配置されている。
【0034】
プローブホルダ28は、平坦な下面を有する基部領域36と、基部領域36から上方へ突出して後方へ伸びる突出領域38とを備えており、また電気を通さないいわゆる非導電性の、金属材料、セラミック又は合成樹脂により製作されている。
【0035】
突出領域38は、基部領域36の左右方向の中央を前後方向へ伸びる直方体状の形状を有しており、また上方及び後方に開放する凸字状(逆T字状)の溝40を有している。
【0036】
各スリットバー30は、非導電性の材料により角柱状の形状に製作されており、またプローブホルダ28の前下面又は後下面に左右方向へ伸びる状態に装着されている。各スリットバー30は、これの長手方向に所定の間隔をおいて前後方向へ伸びる複数のスリットを下面に有している。各プローブ26は、前端部及び後端部においてスリットバー30のスリットに嵌合されている。
【0037】
各ガイドバー32は、図示の例では円形の断面形状を有しており、また非導電性の金属材料により形成されている。各ガイドバー32は、プローブ26の針主体部及びサイドカバー34を貫通している。しかし、ガイドバー32は、矩形の断面形状を有していてもよい。
【0038】
各サイドカバー34は、プローブブロック16の側面と対応した形状の板部材から形成されており、また複数のねじ部材42によりプローブホルダ28の側面に取り外し可能に取り付けられている。
【0039】
図においては、隣り合うプローブ26が大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ26の配列ピッチは小さい。プローブ26の数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバー30のスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、検査すべき表示用基板12の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。
【0040】
たとえば、表示用基板12の電極14の配置ピッチ及び幅寸法がそれぞれ40μm及び30μmである場合、プローブ26及びスリットの配置ピッチを40μm、スリットの幅寸法を25μm、プローブ26用の薄い金属板素材の厚さ寸法を20μmとすることができる。
【0041】
プローブブロック16は、先ず、両スリットバー30を上記した状態にプローブホルダ28に取り付けた状態で、各プローブ26の両端部をスリットバー30のスリットに挿し込み、次いでガイドバー32をプローブ26サイドカバー34とに挿し通し、その後サイドカバー34をねじ部材42でプローブホルダ28に取り付けることにより、組み立てることができる。これにより、プローブ26は、ガイドバー32及びサイドカバー34を介してプローブホルダ28に支持される。
【0042】
プローブ26の交換は、上記と逆の作業を行って元のプローブを新たなプローブの変更した後、上記と同様の作業を実行することにより、行うことができる。
【0043】
支持ブロック18は、第1の支持部材44をL字状の第2の支持部材46の下面に組み付けている。第1の支持部材44は、プローブホルダ28の突出領域38を前後方向に出入り可能に受け入れる溝領域48を形成するように、下方及び前後方向に開放するコ字状の断面形状を有している。
【0044】
プローブブロック16は、第1及び第2のねじ部材50,52により支持ブロック18に取り外し可能に取り付けられている。
【0045】
第1のねじ部材50は、支持ブロック18をこれの上側から貫通して溝領域48に開放する貫通穴54に挿入された棒状の主部と、この主部の下端に続くフランジ状の頭部と、主部に形成されて上方に開放するねじ穴56とを有しており、また下端部をプローブブロック16の溝40に溝40の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられている。
【0046】
第2のねじ部材52は、支持ブロック18の上側から貫通穴54を経て第1のねじ部材50のねじ穴56に螺合されている。
【0047】
第1のねじ部材50は、これの頭部と支持ブロック18との間の配置された圧縮コイルばね58により、常時下方に付勢されている。しかし、第1のねじ部材50は、また、これの主部の上端部に配置された止めリング60により、支持ブロック18からの脱落を防止されている。
【0048】
支持ブロック18には、一対のプランジャ62が前後方向に間隔をおいて配置されている。プランジャ62は、止め具、ボール、及び、止め具とボールとの間にあってボールを止め具と反対の側に押す弾性体を中空のシリンダ内に配置した市販のものであり、プローブホルダ16の突出領域38を、溝領域48を形成している一方の壁面に向けて付勢するように、他方の壁に組み付けられている。
【0049】
プローブブロック16は、プランジャ62により支持ブロック18に対し左右方向の一方側へ付勢されて、支持ブロック18に対する左右方向の位置決めをされる。
【0050】
プローブブロック16には、ピン状のストッパ64が突出領域38の上面前端部に直立状態に取り付けられている。ストッパ64は、プローブブロック16の突出領域38が支持ブロック18の溝領域48の所定箇所まで挿入されたとき、第1の支持部材44の前端面に当接して、プローブホルダ16を支持ブロック18に対して前後方向に位置決める。
【0051】
プローブブロック16には、左右方向に間隔をおいた2組の凸部66が前後方向に間隔をおいて突出領域38の上面に設けられている。各凸部66を受け入れる凹部68は、支持ブロック18に形成されている。
【0052】
各凹部68は、溝領域48に開放しており、またプッシャーピン70を上下方向へ移動可能に収容していると共に、プッシャーピン70を凸部66に向けて下方に付勢するばね部材72を収容している。
【0053】
プッシャーピン70の最下降位置は、プッシャーピン70に形成されたフランジが第1の支持部材44の上端面に当接することにより、溝状領域48の奥底面に制限されている。
【0054】
第1及び第2のねじ部材50及び52、圧縮コイルばね58、凸部66、凹部68、プッシャーピン70、ばね部材72は、プローブホルダ28を支持ブロック18に解除可能に組み付ける組み付け手段として作用する。
【0055】
支持ブロック18は、上下方向へ伸びるガイド74及び一対のガイドレール76により連結ブロック20に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト78により連結ブロック20に上下方向の位置を調整可能に連結されている。
【0056】
ガイド74は、厚板状のリニアガイドであり、上下方向へ伸びる状態に支持ブロック18の後端面に取り付けられている。これに対し、両ガイドレール76は、ガイド74を両ガイドレール76の間に上下方向へ移動可能に受け入れるように、左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びており、また連結ブロック20の前端面に取り付けられている。
【0057】
ボルト78は、連結ブロック20の主体部から前方へ伸びるアーム部を上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック18に形成されたねじ穴80に螺合されている。
【0058】
支持ブロック18は、これと連結ブロック20との間に配置された一対の圧縮コイルばね82により下方に付勢されている。このため、ねじ穴80へのボルト78のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック18、ひいてはプローブブロック16の高さ位置を調整することができる。
【0059】
連結ブロック20は、複数のボルト84によりプローブベース24に取り外し可能に取り付けられている。各ボルト84は、連結ブロック20を上方から下方に貫通しており、またプローブベース24に形成されたねじ穴86に螺合されている。
【0060】
TPCブロック22は、矩形の厚板の形に製作されており、また溝領域48を閉鎖する状態に第1の支持部材44の下面に取り外し可能に取り付けられている。TPCブロック22の下面には、接続シートとして作用するタブ(TAB)88が取り付けられている。
【0061】
TAB88は、2組の配線群を形成するそれぞれ複数の配線90,92を電気絶縁シートの下面に形成した一般的なものであり、前後方向中央部に駆動用の集積回路94を配置している。
【0062】
一方の配線群の配線90は、集積回路94から後方へ伸びており、後端側においてフラットケーブル(FPC)96に接続されている。FPC96は、検査装置の電気回路に接続される。
【0063】
他方の配線群の配線92は、集積回路94から前方へ伸びており、前端部をプローブ26の後端側の針先が一対一の形に接触される接続ランドとして利用される。
【0064】
TAB88の前端部下面には、帯状のガイドフィルム98が左右方向へ伸びる状態に取り付けられている。ガイドフィルム98は、プローブ26の各後端針先を対応する配線92に対して位置決めて、安定させるものである。このため、ガイドフィルム98は、プローブ26の後端針先を個々に受け入れる複数のスロットを左右方向に所定のピッチで有している。
【0065】
プローブ装置10において、プローブブロック16は、突出領域38及び各凸部66がそれぞれ溝領域48及び凹部68に受け入れられて、後端針先がTAB88の接続ランド(配線92の先端部)に接触した状態に、支持ブロック18に組み付けられており、また後端針先がTAB88の接続ランドに適宜な圧力で押圧されている。
【0066】
交換時、先ず、ねじ部材50,52の螺合状態をゆるめられることにより、元のプローブブロック16は、圧縮コイルばね58により支持ブロック18に対し下方へ変位される。これにより、凸部66が凹部68から外される。次いで、上記状態で、プローブブロック16は、支持ブロック18に対し水平に引き出される。
【0067】
引き出し時、プローブブロック16は、これが圧縮コイルばね58により支持ブロック18に対し少なくとも凸部66の高さ分Xだけ下方へ変位されているから、少なくとも凹部68が開放する面に凸部66を当接させた状態で、移動される。
【0068】
これに対し、先ず新たなプローブブロック16は、図6に示すように第1のねじ部材50を圧縮コイルばね58により下げた状態で、突出領域38の後端部を溝領域48に受け入れられる。
【0069】
次いで、新たなプローブブロック16は、上記状態で、図7(A)に示すように、ストッパ64が第1の支持部材44の前端面に当接するまで、水平に押し込まれる。この際、新たなプローブブロック16は、プランジャ62により左右方向の一方に押圧されて、支持ブロック18に対する左右方向の正しい位置決め移動される。
【0070】
ストッパ64が第1の支持部材44の前端面に当接するまで、新たなプローブブロック16が押し込まれると、新たなプローブブロック16は支持ブロック18に対する前後方向の位置決めをされる。これにより、支持ブロック18に対する左右方向の位置決めをされていることと相まって、凸部66は凹部68と対向される。
【0071】
押し込み時においても、プローブブロック16は、これが圧縮コイルばね58により支持ブロック18に対し少なくとも凸部66の高さ寸法Xだけ下方へ変位されているから、図7(A)及び(B)に示すように少なくとも凹部68が開放する面に凸部66が当接した状態で、移動される。
【0072】
凸部66と凹部68とが対向した状態で、ねじ部材50,52が締め付けられると、図8(A)に示すように、プローブブロック16が支持ブロック18に対し上昇されて、凸部66が凹部68に受け入れられる。これにより、プローブブロック16は支持ブロック18に対し左右方向及び前後方向への移動を阻止されて完全に位置決めをされ、また図8(B)に示すように各プローブ26の後端針先は接続ランドに当接される。
【0073】
引き出し時及び差し込み時のいずれにおいても、プローブブロック16が支持ブロック18に対し移動されるとき、プローブブロック16は、図7(A)及び(B)に示すように、プローブブロック16が支持ブロック18に対し少なくとも凸部66の高さ分Xだけ下方へ変位されているから、図7(B)に示すようにプローブ26の後端針先はTAB88から少なくともXだけ下方に離された位置を移動される。
【0074】
同様の理由から、ガイドフィルム98の厚さ寸法をαとしたとき、プローブブロック16が少なくともガイドフィルム98からX−αだけ下方に離された位置を移動されるから、プローブ26の後端針先はガイドフィルム98から少なくともX−αだけ下方に離された位置を移動される。
【0075】
上記のように、プローブ26の後端針先がTAB88及びガイドフィルム98に接触しない状態で、プローブブロック16が移動されると、後端針先又は接続ランドの摩耗又は損傷が防止される。
【0076】
表示用基板12の通電試験に用いられるプローブ装置10は、一般に、図9及び図10に示すように、プローブブロック16、支持ブロック18、連結ブロック20、TPCブロック22、TAB88及びFPC96を用いるプローブ組をプローブベース24に複数組配置している。
【0077】
図9及び図10に示す例では、矩形の表示用基板12の隣り合う2つの辺のうち、一方及び他方の辺にそれぞれ4つ及び5つのプローブ組を対応する辺の方向に間隔をおいてプローブベース24及び24に配置している。しかし、用いるプローブ組の数等は、検査すべき表示用基板12の種類により異なる。
【0078】
図11を参照するに、プローブブロック100は、プローブ26の後端針先を個々に受け入れる複数のスロット102を、L字状の断面形状を有する長尺のガイド104にガイド104の長手方向に間隔をおいて形成し、ガイド104をプローブホルダ28の後端面にガイドが左右方向へ伸びる状態に取り付けている。
【0079】
上記のプローブブロック100によれば、プローブ26の後端針先がガイドフィルム98のスロット106とガイド104のスロット102とに受け入れられることより、左右方向におけるプローブ26の後端針先の位置がより安定する。
【0080】
図12及び図13を参照するに、プローブブロック110は、前方に位置する各凸部112を後方に位置する凸部114より小さくしている。これにともなって、支持ブロック18側の凹部も、前方に位置する各凹部116を後方に位置する凹部118より小さくしている。
【0081】
プローブブロック100によれば、凸部が凹部に受け入れられることにより、支持ブロック18に対するプローブブロック110の位置決めが行われるのみならず、プローブブロック110を支持ブロック18に対して移動させるときに、後方に位置する凸部118が前方に位置する凹部112に受け入れられず、したがって支持ブロック18へのプローブホルダ110の着脱作業がより容易になる。
【0082】
本発明においては、凹部及び凸部の組は1組以上備えていればよい。しかし、前後方向又は左右方向に間隔をおいた複数組の凹部及び凸部を備えていると、前後方向又は左右方向におけるプローブブロックの位置決めが確実に行われる。また、前後方向と左右方向とに間隔をおいた(斜めに間隔をおいた)複数組の凹部及び凸部を備えていると、前後方向及び左右方向におけるプローブブロックの位置決めが確実に行われる。
【0083】
また、本発明においては、凸部及び凹部をプローブブロック及び支持ブロックのいずれの側に設けてもよいし、突出領域及び溝領域をプローブブロック及び支持ブロックのいずれの側に設けてもよい。
【0084】
さらに、本発明においては、ブレードタイプのプローブに代えて、金属細線により製作したニードルタイプのプローブ、各配線の一部をプローブとして用いるプローブ要素等、他のプローブを用いてもよい。
【0085】
本発明は、液晶表示パネル用のプローブ装置のみならず、薄膜トランジスタが形成されたガラス基板のような他の表示用基板用のプローブ装置、集積回路のような他の平板状被検査体用のプローブ装置にも適用することができる。
【0086】
本発明は、水平に配置された被検査体用のプローブ装置のみならず、斜めに傾斜された被検査体用のプローブ装置にも適用することができる。
【0087】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す側面図である。
【図2】図1に示すプローブ装置の平面図である。
【図3】図1に示すプローブ装置の正面図である。
【図4】図1に示すプローブ装置の底面図である。
【図5】図1に示すプローブ装置の断面図である。
【図6】図1に示すプローブ装置においてプローブブロックを支持ブロックに装着する前の状態を示す図である。
【図7】(A)はプローブブロックを支持ブロックに対し前進させた状態を示す図であり、(B)は後端針先とFPCとの関係を示す図である。
【図8】(A)はプローブブロックを支持ブロックに完全に装着した状態を示す図であり、(B)は後端針先とTABとの関係を示す図である。
【図9】実際のプローブ装置の全体を示す平面図である。
【図10】図9に示すプローブ装置の一部を拡大して示す斜視図である。
【図11】プローブブロックの他の例を示す図である。
【図12】プローブブロックのさらに他の実施例を示す図である。
【図13】図12に示すプローブブロックを支持ブロックに装着する状態を説明するための図である。
【符号の説明】
10 プローブ装置
12 表示用基板
14 表示用基板の電極
16,100,110 プローブブロック
18 支持ブロック
20 連結ブロック
22 TCPブロック
24 プローブベース
26 プローブ
28 プローブホルダ
30 スリットバー
32 ガイドバー
34 サイドカバー
36 プローブホルダの基部領域
38 プローブホルダの突出領域
40 溝
44,46 第1及び第2の支持部材
48 溝領域
50,52 第1及び第2のねじ部材
54 貫通穴
56 ねじ穴
58 圧縮コイルばね(弾性部材)
62 プランジャ
64 ストッパ
66,112,114 凸部
68,116,118 凹所
70 プッシャーピン
72 圧縮コイルばね(ばね部材)
88 TAB
98 ガイドフィルム
Claims (9)
- 前端針先及び後端針先を有する複数のプローブをプローブホルダに左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる状態に配置したプローブブロックと、
該プローブブロックが下側に配置された支持ブロックと、
該支持ブロックの下側に配置された接続シートであって、前記プローブの前記後端針先が接触される複数の接続ランドを下面に備える接続シートと、
前記後端針先が前記接続ランドに接触した状態に前記プローブブロックを前記支持ブロックの下側に解除可能に組み付ける組み付け手段とを含み、
前記プローブブロックは、前後方向へ伸びる突出領域及び該突出領域を上下方向及び前後方向へ変位可能に受け入れるべく前記前後方向へ伸びる溝領域のいずれか一方を上側に備え、
前記支持ブロックは前記突出領域及び前記溝領域の他方を下側に備え、
前記組み付け手段は、前記プローブブロックの上側及び前記支持ブロックの下側のいずれか一方に形成されて前記上側及び前記下側の他方に突出する1以上の凸部と、該凸部を受け入れるべく前記プローブブロックの上側及び前記支持ブロックの下側の他方に形成された凹部と、前記凸部が前記凹部に受け入れられた状態に前記プローブブロックを前記支持ブロックに対し解除可能に維持する維持手段であって、前記支持ブロックに対する前記プローブブロックの維持を解除したとき、前記凸部が前記凹部から外れるように前記プローブブロックが前記支持ブロックに対し下降ことを許す維持手段とを含む、プローブ装置。 - 前記プローブブロックは前後方向又は左右方向に間隔をおいた複数の前記凸部を含み、前記支持ブロックは前記凸部に個々に対応された複数の前記凹部を含む、請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記プローブブロックは前後方向に間隔をおいた複数の前記凸部を含み、前記支持ブロックは前記複数の凸部に個々に対応された複数の前記凹部を含み、前方に位置する前記凸部及び前方に位置する前記凹部の水平方向における断面積は、それぞれ、後方に位置する前記凸部及び後方に位置する前記凹部のそれより小さい、請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記組み付け手段は、さらに、前記凹部に上下方向へ移動可能に配置されたプッシャーピンと、該プッシャーピンを前記凸部に向けて付勢するばね部材とを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 前記プローブブロックは、さらに、上方及び後方に開放する溝であって凸字状の断面形状を有しかつ前後方向へ伸びる溝を含み、前記支持ブロックは、さらに、前記溝領域に開放すると共に当該支持ブロックを上下方向に貫通する貫通穴を含み、
前記維持手段は、前記貫通穴に挿入された棒状の主部及び該主部の下端に続くフランジ状の頭部を有する第1のねじ部材であって上方に開放するねじ穴を前記主部に有する、下端部を前記溝に該溝の長手方向へ相対的に移動可能に受け入れられた第1のねじ部材と、前記支持ブロックの上側から前記貫通穴を経て前記ねじ穴に螺合された第2のねじ部材とを含む、請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブ装置。 - 前記組み付け手段は、さらに、前記第1のねじ部材を常時下方に付勢する弾性部材を備える、請求項5に記載のプローブ装置。
- 前記プローブブロック及び前記支持ブロックは、さらに、前記凸部が前記凹所に受け入れられた状態において互いに当接するストッパ部を備える、請求項1から6のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- さらに、前記プローブブロックを前記支持ブロックに対し前記左右方向の一方側へ付勢する1以上のプランジャを含む、請求項1から7のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- さらに、前記プローブブロックを前記組み付け手段により組み付けた複数の前記支持ブロックが一方向に間隔をおいて組み付けられたブロックベースを含む、請求項1から8のいずれか1項に記載のプローブ装置。
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