KR100638106B1 - 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브유니트에 관한 것으로, 특히 프로브홀더(11)에 폭방향(X)을 따라 소정의 간격으로 유지되는 복수개의 탐침블레이드(13)와, 상기 복수개의 탐침블레이드(13)의 전단 및 후단을 각각 관통하여 상기 탐침블레이드(13)를 프로브홀더(11)에 고정시켜 주는 1쌍의 고정봉(16)을 구비하고, 탐침블레이드(13)의 저면에 탐침블레이드의 선단 탐침부(13b,13c)를 제외한 나머지 부분위에 일정한 두께로 적층되어 경화됨으로써 복수개의 탐침블레이드를 서로 절연시켜주며 일정한 피치로 유지시켜 주는 에폭시층(18)을 더 구비하고, 각 탐침블레이드(13)는 전방탐침부(13b)가 선단에서 뒤쪽으로 갈수록 몸체(13a)에서의 돌출된 높이(h)가 단계적으로 감소하는 다단 탐침부를 구비한다.

평판형 디스플레이, 프로브, 에폭시층, 다단탐침부, 탐침블레이드

Description

평판형 디스플레이장치 검사용 프로브장치{ PROBE UNIT FOR INSPECTION OF FLAT PANEL DISPLAY DEVICES }

도 1은 종래 프로브유니트의 결합단면도,

도 2는 종래 프로브유니트를 구성하는 탐침블레이드의 정면도,

도 3은 본 발명에 따른 프로브유니트의 일부분리 저면사시도

도 4는 도 3의 상태에서 에폭시를 적층한 상태의 저면사시도,

도 5는 본 발명의 프로브유니트를 구성하는 탐침블레이드의 정면도,

도 6은 도 5의 "A"부를 확대도시한 부분확대도이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10: 프로브유니트 11: 프로브홀더

13: 탐침블레이드 13a: 몸체

13b: 전방 탐침부 13b: 후방탐침부

15: 사이드커버 16: 고정봉

18: 에폭시층

일본 공개특허 2004-191064

본 발명은 액정 디스플레이패널과 같은 평판형 디스플레이장치의 통전시험에 사용되는 프로브유니트에 관한 것이다.

집적회로, 액정 디스플레이패널 등의 평판형 디스플레이장치는 일반적으로 프로브카드나 프로브유니트 등의 프로브장치를 사용하여 검사한다. 액정 디스플레이패널에서 기판의 통전시험에 사용되는 프로브장치의 일예로서 일본 공개특허 2004-191064호로 알려진 것이 있다.

이 종래의 프로브유니트는 도 1에 도시된 바와 같이, 프로브블록(116)과, 프로브블록(116)을 지지하는 지지블록(118)과, 지지블록(118)을 연결하는 연결블록(120)과, TCP(Tape Carrier Package)블록(122)과, 연결블록이 설치되는 평판형프로브베이스(124)를 포함한다.

그리고 프로브블록(116)은 도 1에 도시된 바와 같이, 도전성 재료로 제작된 복수개의 탐침블레이드(126)를, 프로브홀더(128)의 하면에 전후방향으로 간격을 유지하여 조립된 1쌍의 슬리트바아(130)에 소정의 간격을 두고 전후방향으로 연장된 상태로 배치하고, 이와 같이 배열된 복수개의 탐침블레이드(126)에 전후방향으로 간격을 둔 한쌍의 가이드바아(132)를 관통시켜 양 가이드바아(132)를 1쌍의 사이드커버(143)로 프로브홀더(128)에 조립한 구조로 되어 있다.

그런데 상기 종래의 프로브유니트에서는 슬리트바아(130)에 형성된 복수개의 슬리트마다 하나의 탐침블레이드(126)를 끼워 일정한 간격을 유지하도록 되어 있으나 이들 각 탐침블레이드가 매우 얇은 판형 블레이드로 이루어져 있기 때문에 조립후 일정한 간격을 유지하기 어렵고, 특히 블레이드사이에 이물질이 침입하는 경우에 양 블레이드사이에 통전이 되어 검사불량을 일으키는 문제가 있었다.

또한 종래 프로브유니트의 탐침블레이드(126)는 도 2에 도시된 바와 같이, 전방 탐침부(126a) 혹은 후방탐침부(126b)가 마모되면 피검사체의 배선(전극)과 접촉불량이 발생하여 검사장치로서 기능을 수행하지 못하므로 전체를 교체하여야 하고, 교체에 따른 비용상승의 단점이 있었다.

이에 본 발명은 상기 종래 프로브유니트가 가진 단점을 해소하기 위하여 고안된 것으로, 상대적으로 낮은 원가로 제작할 수 있으며 동시에 이물질의 침입에 의한 불량을 방지할 수 있고, 탐침블레이드의 교체주기를 연장하여 프로브유니트의 전체 수명을 연장할 수 있는 프로브유니트를 제공함을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 프로브홀더와, 상기 프로브홀더에 폭방향을 따라 소정의 간격으로 유지되는 복수개의 탐침블레이드와, 상기 복수개의 탐침블레이드의 전단 및 후단을 각각 관통하여 상기 탐침블레이드를 프로브홀더에 고정시켜 주는 1쌍의 고정봉을 구비한 프로브유니트에 있어서, 상기 탐침블레이드는 프로브홀더의 저면에 일정한 두께로 적층되어 경화되는 에폭시층에 의해 고정되 는 것을 특징으로 한다.

상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 따르면 고가의 슬리트바아를 사용하지 않고서도 복수개의 탐침블레이드를 일정한 간격으로 고정하여 피검사체와 접촉시 탐침블레이드를 유동없이 고정해주므로 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 특히 인접하는 탐침블레이드사이에 절연체인 에폭시가 충전되어 서로 절연시켜 주므로 먼지 등과 같은 이물질이 침입하더라도 탐침블레이드 간 접촉으로 인한 검사불량을 방지할 수 있다.

또한 본 발명은 각 탐침블레이드의 전방탐침부 및 후방탐침부가 선단에서 뒤쪽으로 갈수록 높이가 단계적으로 감소하는 복수의 탐침단을 구비한 구조에 특징이 있다.

상기한 구조로 된 본 발명에 의하면 최선단의 탐침단이 마모되더라도 그보다 높이가 낮은 후속 탐침단으로 피검사체의 배선을 접촉시켜 검사할 수 있으므로 프로브유니트의 수명을 연장할 수 있게 된다.

이하, 본 발명에 따른 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브유니트의 실시예를 첨부도면에 따라 상세히 설명한다.

도 3는 본 발명에 따른 프로브유니트의 일부분리 저면사시도이고, 도 4는 도 3의 상태에서 탐침블레이드위에 에폭시를 적층한 상태의 프로브유니트의 저면사시도이다.

상기 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 프로브유니트(10)는 프로브블록(도시생략)에 결합되는 프로브홀더(11)를 구비하고, 상기 프로브홀더(11)의 저면에는 프로브홀더(11)의 폭방향(X)으로 복수개의 탐침블레이드(13)가 일정한 간격을 두고 배치되며, 이들 복수개의 탐침블레이드(13)들은 전후 선단을 각각 관통하여 양단이 프로브홀더(11)의 양쪽 측벽에 고정되는 사이드커버(15)에 결합되는 1쌍의 비도전성의 고정봉(16)들에 의해 프로브홀더(11)의 폭방향(X)을 따라 일정한 간격으로 고정설치된다.

상기 복수개의 탐침블레이드(13)들은 60㎛의 피치로 배열된 437핀으로 구성하거나 50㎛의 피치로 배열된 772핀으로 구성한다. 상기 복수개의 탐침블레이드(13)위에는 전후방 탐침부(13b,13c)만 노출되고 나머지 부분은 모두 피복되게 에폭시층(18)이 적층되어 인접하는 이들 탐침블레이드를 서로 절연보호하는 한편 일정한 피치를 유지하도록 고정한다.

한편, 상기 각 탐침블레이드(13)는 도 5에 도시된 바와 같이, 한쪽 선단에 피검사체의 전극과 접촉하도록 몸체(13a)에서 하향 절곡된 전방탐침부(13b)를 구비하고, 반대쪽 선단에는 탭IC의 전극과 접촉하도록 몸체(13a)에서 상향 절곡된 후방탐침부(13c)를 구비한다.

그리고 전방탐침부(13b)는 도 6에 도시된 바와 같이 몸체 선단으로 갈수록 높이가 단계적으로 감소하는 다단 탐침부로 구성된다. 즉 몸체(13a)에서의 돌출높이(h)가 가장 높은 최전방의 탐침부(a)가 우선적으로 피검사체의 전극과 접촉하고, 계속 반복적인 검사작업으로 인하여 상기 최전방의 탐침부(a)가 마모되어 높이가 다음 후속 탐침부(b)의 높이로 감소하게 되면 후속 탐침부(b)가 피검사체의 전극과 접촉하여 검사작업을 수행하게 된다. 이와 같이 전방의 탐침부가 차례로 마모하게 되면 후속 탐침부로 탐침하게 된다.

상기한 바와 같이 발명의 프로브유니트에 의하면, 복수개의 탐침블레이드들이 그위에는 적층되는 에폭시층에 의해 인접하는 탐침블레이드들 끼리 서로 절연보호되는 한편 피치가 일정하게 유지되므로 이물질 침입에 의한 불량 및 간격의 변동에 의한 피검사체와의 접촉불량을 방지함으로써 검사신뢰성을 높일 수 있고, 탐침블레이드의 피치를 극미세 피치로 제작할 수 있어 배선간격이 점차 극미세화하여 가는 피검사체의 검사에 대응할 수 있으며, 특히 고가의 세라믹 슬리트바아를 제거하여 원가를 절감할 수 있게 된다.

또한 본 발명의 프로브유니트는 탐침블레이드의 탐침부가 마모하더라도 후속하는 탐침부로 탐침할 수 있으므로 수명을 연장하여 교체주기를 연장함으로써 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 프로브홀더와, 상기 프로브홀더에 폭방향을 따라 소정의 간격으로 유지되는 복수개의 탐침블레이드와, 상기 복수개의 탐침블레이드의 전단 및 후단을 각각 관통하여 상기 탐침블레이드를 프로브홀더에 고정시켜 주는 1쌍의 고정봉을 구비한 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브유니트에 있어서,

   상기 탐침블레이드의 저면에 탐침블레이드의 선단 탐침부를 제외한 나머지 부분위에 일정한 두께로 적층되어 경화됨으로써 복수개의 탐침블레이드를 서로 절연시켜주며 일정한 피치로 유지시켜 주는 에폭시층을 더 구비하고,

   상기 탐침블레이드는 전방탐침부가 선단에서 뒤쪽으로 갈수록 높이가 단계적으로 감소하는 다단 탐침부를 구비한 것을 특징으로 하는 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브유니트.
2. 제1항에 있어서, 상기 탐침블레이드는 60㎛의 피치로 배열된 437핀 또는 50㎛의 피치로 배열된 772핀중 어느 하나의 구성으로 된 것을 특징으로 하는 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브유니트.
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