JP4916766B2 - プローブおよびプローブ組立体 - Google Patents
プローブおよびプローブ組立体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4916766B2 JP4916766B2 JP2006132699A JP2006132699A JP4916766B2 JP 4916766 B2 JP4916766 B2 JP 4916766B2 JP 2006132699 A JP2006132699 A JP 2006132699A JP 2006132699 A JP2006132699 A JP 2006132699A JP 4916766 B2 JP4916766 B2 JP 4916766B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- insulating film
- probes
- attachment portion
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06733—Geometry aspects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Geometry (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
22 プローブ
22a、22b プローブの面
24 支持体
26(26a、26b) 支持バー
28(28a、28b) スリットバー
34 取付け部
36(36a、36b) 針先部
54a プローブの一半
54b プローブの他半
56、58 絶縁膜
Claims (7)
- 帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する帯状の針先部を備えるプローブであって、該プローブの一方の面には、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、前記プローブの他方の面には、前記一方の面の前記絶縁膜から露出した領域に対応する領域を選択的に覆う絶縁膜が形成されていることを特徴とする、プローブ。
- 前記絶縁膜は、前記一方の面に、該面の一半を覆う絶縁膜領域を構成し、前記他方の面に、前記一方の面の他半に対応する他半を覆う絶縁膜領域を構成する、請求項1に記載のプローブ。
- 前記絶縁膜は、前記一方の面の一半と、前記一方の面の他半に対応する前記他方の面の他半とのそれぞれに、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の絶縁膜領域を構成する、請求項2に記載のプローブ。
- 前記絶縁膜は、前記一方の面に、前記取付け部の長手方向へ相互に間隔をおきかつそれぞれが前記取付け部の幅寸法方向に沿って伸びる複数の帯状絶縁膜領域を構成し、前記他方の面に、前記一方の面の前記絶縁膜領域間に対応する領域で前記取付け部の幅寸法に沿って伸びる帯状絶縁膜領域を構成する、請求項1に記載のプローブ。
- 前記絶縁膜は点状に分散された絶縁膜領域を構成する、請求項1に記載のプローブ。
- 支持体と、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する針先部とを備える複数のプローブであって前記取付け部の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け部を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記各プローブを取り外し可能に支持すべく該プローブの前記取付け部をその厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーとを含み、隣接するプローブの互いに対向する面のうち、少なくとも前記取付け部の互いに対向する面部分には、相互にずれた領域で該各対向面部分を部分的に覆う絶縁膜が形成されていることを特徴とするプローブ組立体。
- さらに、前記支持体の縁部に前記支持バーの長手方向に沿って配置される一対のスリットバーであって該スリットバーの長手方向に相互に間隔をおきかつそれぞれが下方に開放し、対応する前記プローブの前記針先部をその針先がスリットバーから突出するように受け入れる複数のスリット溝を有するスリットバーを含む、請求項6に記載のプローブ組立体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006132699A JP4916766B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | プローブおよびプローブ組立体 |
TW096112793A TW200804828A (en) | 2006-05-11 | 2007-04-12 | Probe and probe assembly |
KR1020070045325A KR100866644B1 (ko) | 2006-05-11 | 2007-05-10 | 프로브 및 프로브 조립체 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006132699A JP4916766B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | プローブおよびプローブ組立体 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011148815A Division JP2011203275A (ja) | 2011-07-05 | 2011-07-05 | プローブおよびプローブ組立体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007303969A JP2007303969A (ja) | 2007-11-22 |
JP4916766B2 true JP4916766B2 (ja) | 2012-04-18 |
Family
ID=38838010
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006132699A Expired - Fee Related JP4916766B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | プローブおよびプローブ組立体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4916766B2 (ja) |
KR (1) | KR100866644B1 (ja) |
TW (1) | TW200804828A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101142462B1 (ko) * | 2010-06-07 | 2012-05-08 | 한국광기술원 | 미세 피치 폭을 가지는 엘시디 패널 검사용 프로브블록 및 그 제작 방법 |
JP5417265B2 (ja) * | 2010-06-24 | 2014-02-12 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ組立体 |
JP5788767B2 (ja) * | 2011-11-07 | 2015-10-07 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブブロックとそれを備えるプローブカード並びにプローブ装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6487257A (en) * | 1987-09-30 | 1989-03-31 | Canon Kk | Luminous amount control device |
JPH087235B2 (ja) * | 1992-12-01 | 1996-01-29 | 日本電子材料株式会社 | 狭小ピッチ対応型プローブカード |
JPH06174750A (ja) * | 1992-12-09 | 1994-06-24 | Sharp Corp | 液晶パネル検査用プローバー |
JP2819452B2 (ja) * | 1994-07-21 | 1998-10-30 | 有限会社清田製作所 | 超微小ピッチ検査用積層プローブコンタクト |
JP3750831B2 (ja) * | 1996-10-28 | 2006-03-01 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ組立体 |
JPH11133060A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Tani Denki Kogyo Kk | テスト用端子 |
KR100343883B1 (ko) * | 1999-11-24 | 2002-07-20 | 주식회사 대일시스템 | 웨이퍼 프로빙 소켓 |
JP3806874B2 (ja) * | 2003-06-18 | 2006-08-09 | 株式会社新栄電器製作所 | コンタクトプローブ |
-
2006
- 2006-05-11 JP JP2006132699A patent/JP4916766B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-04-12 TW TW096112793A patent/TW200804828A/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-05-10 KR KR1020070045325A patent/KR100866644B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007303969A (ja) | 2007-11-22 |
TWI325964B (ja) | 2010-06-11 |
KR100866644B1 (ko) | 2008-11-03 |
TW200804828A (en) | 2008-01-16 |
KR20070109904A (ko) | 2007-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7377788B2 (en) | Electrical connecting apparatus and contact | |
JP5459646B2 (ja) | プローブユニット及び検査装置 | |
TW200848750A (en) | Probe device and inspection apparatus | |
JP4571517B2 (ja) | プローブ組立体 | |
US20100022104A1 (en) | Electrical connecting apparatus | |
JP4916763B2 (ja) | プローブ組立体 | |
KR100602154B1 (ko) | 평판표시패널 검사용 프로브 장치 | |
JP3750831B2 (ja) | プローブ組立体 | |
KR100966499B1 (ko) | 프로브 조립체 | |
JP4916766B2 (ja) | プローブおよびプローブ組立体 | |
KR100615907B1 (ko) | 평판표시패널 검사용 프로브 장치 | |
WO2006085388A1 (ja) | 電気的接続装置 | |
KR101098957B1 (ko) | 프로브 조립체 | |
JP4369201B2 (ja) | プローブ組立体 | |
JP2011203275A (ja) | プローブおよびプローブ組立体 | |
KR20120122906A (ko) | 프로브 장치 및 프로브 유닛 | |
JP2010160083A (ja) | プローブ組立体 | |
JPWO2005069447A1 (ja) | 電気的接続装置 | |
KR100638106B1 (ko) | 평판형 디스플레이장치 검사용 프로브장치 | |
KR101123649B1 (ko) | 프로브 장치 | |
JP5193506B2 (ja) | プローブユニット及び検査装置 | |
KR101739349B1 (ko) | 패널 테스트용 프로브 블록 | |
KR20120061748A (ko) | 프로브 조립체 | |
JPH11352148A (ja) | プローブ及びプローブ組立体 | |
KR20090040605A (ko) | 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110705 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120125 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150203 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4916766 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |