JP2010160083A - プローブ組立体 - Google Patents

Abstract

【課題】 スリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。
【解決手段】 プローブ組立体は、帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる先端側針先領域を備える複数のプローブを、取付領域の幅方向が上下方向となる状態に支持体の下側に並列的に配置している。複数のプローブは、それぞれが針先領域の一部が支持体の先端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びるスリットバーに該スリットバーの長手方向に間隔をおいたスリットに受け入れられた複数の第１のプローブと、隣り合う第１のプローブの間のそれぞれに配置された第２のプローブとを含む。
【選択図】図４

Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いられるプローブ組立体に関する。

液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体の1つとして、特許文献１に記載されたものがある。

特許文献１に記載されたプローブ組立体は、支持体と、それぞれが帯状の取付領域の前後方向（Ｙ方向）の各端部からさらに先端側又は後端側へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、取付領域の幅方向（Ｚ方向）が上下方向となる状態に支持体の下側に取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、これらプローブの取付領域をその厚さ方向（Ｘ方向）に貫通して延びて両端部において支持体に支持された細長い支持バーと、支持体に配置されてプローブの配列方向（Ｘ方向）へ延びる一対のスリットバーとを含む。

各スリットバーは、その長手方向（Ｘ方向）に間隔をおいて先後方向へ延びかつ下方に開放する複数のスリットを備える。支持バーは、プローブの配列方向におけるブロックの各端部にねじ止めされた板状のサイドカバーに長手方向の端部を受け入れられている。これにより、プローブは、支持バー及びサイドカバーにより支持体に組み付けられている。

各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜を有しており、また各針先領域の先端側の針先領域の先端部を下方に曲げてその先端を被検査体の電極に押圧される針先としている。プローブは、さらに、先端側及び後端側の針先領域の一部を、それぞれ、一方及び他方のスリットバーのスリットに受け入れられている。これにより、各プローブの針先領域はスリットバーの長手方向に変位することを防止されている。

しかし、機械的強度の関係上、スリットのピッチを小さくすることに限度がある。しかるに、上記従来のプローブ組立体では、全てのプローブの針先領域をスリットバーのスリットに受け入れているから、プローブの数と同数のスリットをスリットバーに設けなければならない。このため、上記従来のプローブ組立体では、狭ピッチのスリットをスリットバーに形成することができず、プローブを狭ピッチで配置することができない。

本発明の目的は、スリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。

本発明に係るプローブ組立体は、支持体と、帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記支持体の先端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びるスリットバーであって、該スリットバーの長手方向に間隔をおいて下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含む。

本発明に係るプローブ組立体において、各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されている。前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記スリットに受け入れられた複数の第１のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第１のプローブの間のそれぞれに配置された第２のプローブとを含む。

本発明に係る他のプローブ組立体において、前記複数のスリットは、前後方向における前記スリットバーの一方の側に位置する第１のスリットと、他方の側に位置する第２のスリットとを含み、また各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、さらに前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記第１のスリットに受け入れられた複数の第１のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第１のプローブの間に配置されて、それぞれが前記針先領域の一部が前記第２のスリットに受け入れられた複数の第２のプローブとを含む。

各スリットは、前記プローブの長手方向へ延びていてもよく、また前記プローブの長手方向における一方又は他方の側に開放していてもよい。

各第１のプローブの前記針先領域は、前記取付領域の先端からさらに前方へ延びるアーム部であって、その一部を前記スリットに受け入れられたアーム部を備えることができる。

上記の代わりに、各第１のプローブの前記針先領域は、前記取付領域の先端からさらに前方へ延びるアーム部と、該アーム部から上方に突出されて前記スリットに受け入れられた突部とを備えることができる。

前記スリットバーの長手方向に隣り合う第１のプローブの前記突部は、該第１のプローブの長手方向における異なる位置に備えられていてもよい。

前記スリットバーの長手方向に隣り合うスリットは、前記第１のプローブの長手方向における異なる位置に備えられていてもよい。

複数の第２のプローブが前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第１のプローブの間のそれぞれに配置されていてもよい。

各第１のプローブの前記針先領域のうち、前記スリットに受け入れられた部分の高さ位置は、前記第２のプローブの前記針先領域の対応する部分の高さ位置より高くてもよい。

プローブ組立体は、さらに、前記第１及び第２のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びる一対の支持バーと、該支持バーの長手方向の端部を受け入れる板状の一対のサイドカバーであって、前記支持体の側部に取り外し可能に組み付けられた一対のサイドカバーとを含むことができる。

プローブ組立体は、さらに、前記支持体の後端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びる第２のスリットバーであって、該第２のスリットバーの長手方向に間隔をおいて前記プローブの長手方向へ延びて下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーを含むことができる。また、各プローブは、さらに、前記取付領域の後端からさらに後方へ延びる針先領域を備えることができる。さらに、各第１のプローブ及び各第２のプローブのいずれか一方は、前記後方へ延びる針先領域の一部を前記第２のスリットに下方から受け入れられていることができる。

各第２のスリットは、前記第１のプローブの前記後方へ延びる針先領域の一部を下方から受け入れていてもよい。

各第１のプローブの前記後方へ延びる針先領域のうち、前記第２のスリットに受け入れられた部分の高さ位置は、前記第２のプローブの前記後方へ延びる針先領域の対応する部分の高さ位置より高くてもよい。

各プローブの両針先領域のそれぞれは、さらに、その先端部又は後端部から下方又は上方へ突出する針先を備えることができる。

本発明に係るプローブ組立体によれば、複数のプローブのそれぞれが絶縁膜を一方の面に有し、またそれら複数のプローブのうち、複数の第１のプローブの針先領域の一部を前記スリットに受け入れ、複数の第２のプローブをスリットバーの長手方向に隣り合う第１のプローブの間に配置したから、第１のプローブの数と同数のスリットをスリットバーに設ければよい。その結果、隣り合うプローブの相互の電気的干渉を招くことなく、及びスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。

本発明に係る他のプローブ組立体によれば、前記複数のスリットが、前後方向における前記スリットバーの一方の側に位置する第１のスリットと、他方の側に位置する第２のスリットとを含み、各プローブが、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記第１のスリットに受け入れられた複数の第１のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第１のプローブの間に配置されて、それぞれが前記針先領域の一部が前記第２のスリットに受け入れられた複数の第２のプローブとを含むから、隣り合うプローブの相互の電気的干渉を招くことなく、及びスリットにピッチをを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。

本発明に係るプローブ組立体を組み込んだ電気的接続装置の一例を示す液晶表示パネルの検査装置の一部を示す平面図である。 図１に示す検査装置に組み込まれたプローブ組立体の１つを概略的に示す正面図である。 図２における３−３線に沿って得たプローブ組立体を概略的に示す部分的な断面図である。 図３に示すプローブ組立体の正面図であって、容易に理解することができるようにプローブにハッチングを付して示す図である。 図４に示すプローブ組立体のプローブ及びスリットバー近傍の一部を拡大して示す断面図である。 プローブ及びスリットバーの相対的な位置関係を示す図であって、（Ａ）は一方のプローブ及びスリットバーの相対的な位置関係を示し、（Ｂ）は他方のプローブ及びスリットバーの相対的な位置関係を示す。 一方及び他方のプローブの先端側の針先領域とスリットとの関係を詳細に示す拡大図である。 図３に概略的に示すプローブの詳細を示す図であって、（Ａ）は側面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示すプローブを並列的に配置した場合の相対的な位置関係を示す平面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第２の実施例を示す、図４と同様の側面図である。 本発明に係るプローブ組立体の第３の実施例におけるプローブ及びスリットバーの位置関係を示す図であって、（Ａ）は一方のプローブ及びスリットバーの位置関係を示し、（Ｂ）は他方のプローブ及びスリットバーの位置関係を示す。 本発明に係るプローブ組立体の第４の実施例におけるプローブ及びスリットバーの位置関係を示す図である。 本発明に係るプローブ組立体の第５の実施例におけるプローブ及びスリットバーの位置関係を示す図である。

図１を参照するに、検査装置１２は、本発明に係る複数のプローブ組立体１０を組み込んでおり、また矩形の液晶表示パネル１４の通電試験に用いられる。液晶表示パネル１４は、その矩形の一方の長辺及び一方の短辺に対応する縁部のそれぞれの上面に整列して配置された多数の電極パッド（図示せず）を有する。

検査装置１２は、プローブ組立体１０に加えて、検査ステージ１６を備える。検査ステージ１６は、液晶表示パネル１４の外形に相似のこれよりもわずかに小さい矩形の開口１６ａを有する。液晶表示パネル１４は、開口１６ａを通して背面よりバックライト光の照射を受けかつ開口１６ａを覆う状態に検査ステージ１６上に配置される。

検査ステージ１６の上方には、複数のプローブベース１８（１８ａ、１８ｂ）が配置されている。図示の例では、プローブベース１８は、矩形の液晶表示パネル１４の隣り合う辺に対応する２箇所に設けられており。各プローブ組立体１０は、液晶表示パネル１４の前記電極パッドに電気的に接続可能に、対応する支持機構２０により対応するプローブベース１８に組み付けられている。

各支持機構２０は、図２に示すように、対応するプローブベース１８に組み付けられており、また対応するプローブ組立体１０を、該プローブ組立体１０に設けられた多数のプローブ２２（２２ａ，２２ｂ）の先端側の針先４２ａが液晶表示パネル１４へ向けて突出するように、取り外し可能に支持している。

各プローブ組立体１０は、プローブ２２の針先４２ａがそれぞれに対応された前記電極パッドに接触するように、液晶表示パネル１４に対して昇降可能に、対応する支持機構２０に保持されている。支持機構２０と同様の構成の支持機構は、例えば特開２００４−１９１０６４号公報に記載されている。

各プローブ組立体１０は、図２及び図３に示すように、前記した多数のプローブ２２のほかに、さらに、支持機構２０に着脱可能に取り付けられたプローブブロックすなわち支持体２４と、プローブ２２を支持体２４に支持させるための一対の支持バー２６ａ、２６ｂと、支持体２４の下面２４ａに設けられた角柱状の一対のスリットバー２８ａ、２８ｂと、支持体２４の両側にねじ部材により固定されて両支持バー２６ａ、２６ｂをその両端部において支持体２４の両側に固定する一対のサイドカバー４０ａ、４０ｂ（図２参照）とを備える。多数のプローブ２２は、支持体２４の下方に配置されている。

支持体２４は、絶縁膜で被覆された金属材料、又は電気絶縁材料で構成されている。両スリットバー２８ａ、２８ｂはセラミックのような電気絶縁材料で構成されている。両支持バー２６ａ、２６ｂも、電気絶縁膜で被覆された棒状の金属材料、又は棒状の電気絶縁材料で構成されている。

支持体２４の下面２４ａは、全体的に矩形の形状を有しており、またその前縁である一辺３０ａが検査ステージ１６に受けられた液晶表示パネル１４の上方に位置されて、該液晶表示パネル１４の縁部に沿って延在するように、支持機構２０により、対応するプローブベース１８に配置されている。

一方のスリットバー２８ａは、支持体２４の下面２４ａの一辺すなわち前縁３０ａに沿って延びており、またスリットバー２８ａの上面を支持体２４の下面２４ａに当接させた状態に、支持体２４に固定されている。

他方のスリットバー２８ｂは、一方のスリットバー２８ａから後方側に間隔をおいて一方のスリットバー２８ａと平行に延びるように、支持体２４の下面２４ａの他辺すなわち後縁３０ｂに沿って延びており、また上面を支持体２４の下面２４ａに当接させた状態に、支持体２４に固定されている。

スリットバー２８ａ及び２８ｂは、それぞれ、対応するスリットバー２８ａ及び２８ｂの長手方向に相互に間隔をおいた複数のスリット３２ａ及び複数のスリット３２ｂを下面に有する。

スリット３２ａ及び３２ｂのぞれぞれは、対応するスリットバー２８ａ又は２８ｂを前後方向（すなわち、プローブ２２の長手方向）へ延びており、また先端側、後端側、及び下方側のそれぞれに開放する溝とされている。スリット３２ａ及び３２ｂは、互いに対応されている。スリットバー２８ａ及び２８ｂは、対応するスリット３２ａ及び３２ｂがスリットバー２８ａ、２８ｂの長手方向における同じ位置となるように、配置されている。

各プローブ２２は、図３に示すように、その長手方向において同じ幅寸法Wを有する帯状の取付領域３４と、取付領域３４の先端及び後端からそれぞれさらに先方及び後方へ延びる帯状の一対の針先領域３６ａ及び３６ｂとを備える板状の導電部材からなる。

各プローブ２２の取付領域３４は、一対の支持バー２６ａ及び２６ｂがそれぞれ貫通する一対のガイド穴３８を取付領域３４の一端部及び他端部に有する。両ガイド穴３８は、取付領域３４の長手方向に相互に間隔をおいており、また取付領域３４を厚さ方向に貫通している。

各プローブ２２の一方（先端側）の針先領域３６ａは、取付領域３４の長手方向の一端（先端）における下縁部から前方へ延びている。各プローブ２２の他方（後端側）の針先領域３６ｂは、取付領域３４の他端（後端）における上縁部から後方へ延びている。

針先領域３６ａ及び３６ｂのそれぞれは、取付領域３４の幅寸法Wよりも小さい幅寸法を有するアーム部５４（図６（Ａ）（Ｂ）及び図７参照）を備える。図示の例では、針先領域３６ａ及び３６ｂ（アーム部５４）の幅寸法は、先端側ほど小さい。しかし、各アーム部５４の幅寸法は、ほぼ同じであってもよいし、先端側ほど大きくてもよい。

多数のプローブ２２は、取付領域３４の幅方向が上下方向となりかつ取付領域３４が対向された状態に、プローブ２２の厚さ方向に間隔をおいて並列的に揃えられている。これにより、隣り合うプローブ２２の取付領域３４のガイド穴３８は互いに整列されている。

図４から図７に示すように、多数のプローブ２２は、その配置ピッチを小さくするために、複数のプローブ２２ａを含む第１のプローブ群と、複数のプローブ２２ｂを含む第２のプローブ群とに分けられている。

第１のプローブ群に属する各プローブ（第１のプローブ）２２ａは、一方及び他方の針先領域３６ａ及び３６ｂのアーム部５４が、それぞれ、スリット３２ａ及び３２ｂに受け入れられた状態に、支持体２４の下面２４ａから間隔をおいて下面２４ａの下方に位置されている。これにより、一方のプローブ２２ａの針先領域３６ａ及び３６ｂの各アーム部５４は、図６（Ａ）に示すように一部をスリット３２ａ又は３２ｂに受け入れられている。

これに対し、第２のプローブ群に属する各プローブ（第２のプローブ）２２ｂの針先領域３６ａ及び３６ｂは、図６（Ｂ）に示すようにアーム部５４をスリット３２ａ及び３２ｂに受け入れられることなく、それぞれ、スリットバー２８ａ及び２８ｂの下側に位置されている。これにより、他方の各プローブ２２ｂの針先領域３６ａ及び３６ｂは、スリットバー２８ａ、２８ｂの長手方向に隣り合うプローブ２２ａの間をそれらのプローブ２２ａと平行に延びている。

上記の結果、他方のプローブ２２ｂの針先領域３６ａ及び３６ｂを受け入れるスリットをスリットバー２８ａ及び２８ｂに設けなくてよいから、スリット３２ａ及び３２ｂを狭ピッチで形成する必要がない。

図示の例では、１つおきのプローブ２２ａがスリット３２に受け入れられているから、例えば、スリット３２のピッチが従来のプローブ組立体におけるスリットのピッチと同じであっても、プローブ２２の配置ピッチは従来のプローブ組立体におけるプローブの配置ピッチの２倍になる。それにより、スリット３２を容易に形成することができ、またプローブ２２を狭ピッチで配置することができる。

支持バー２６ａ及び２６ｂは、それぞれ、プローブ２２の整列されたガイド穴３８及び３８を貫通しており、また両端を前記したサイドカバー４０ａ及び４０ｂ（図２参照）に通されて、支持体２４の両側に固定されている。これにより、各プローブ２２は、スリットバー２８ａ、２８ｂと平行に配置された支持バー２６ａ及び２６ｂ並びにサイドカバー４０ａ及び４０ｂを介して、支持体２４の下側に所定の姿勢で保持されている。

各プローブ２２の後方側の針先領域３６ｂは、針先領域３６ｂの後端に形成された後方側の針先４２ｂをスリットバー２８ｂから支持体２４の斜め後方へ突出させている。この針先４２ｂは、支持機構２０に支持された支持ブロック４４の下面に固定された回路板４６（図３参照）の対応する接続パッドに接続される。

上記の結果、各プローブ２２は、回路板４６を経て図示しないテスタ本体に接続される。針先４２ｂは、図３に示す例では、回路板４６への誤接触を防止するためのガイドフィルム４８の穴４８ａを貫通して延びて、回路板４６の前記接続パッドに接続されている。

プローブ２２ａの針先領域３６ａ及び３６ｂは、その一方（３６ａ）を図７に例示するように、プローブ２２ｂの針先領域３６ａ及び３６ｂより高い位置を延びている。

各プローブ２２の先端側の針先領域３６ａは、アーム部５４の先端側の針先４２ａをスリットバー２８ａの前方からその斜め下方へ突出させている。これに対し、各プローブ２２の後端側の針先領域３６ｂは、アーム部５４の後端側の針先４２ｂをスリットバー２８ｂの後方からその斜め上方へ突出させている。

図示の例では、スリットバー２８ａは、段部５０をスリット３２ａの後縁部に有している。段部５０は、スリット３２ａの奥底面よりも上方に位置する平坦な段差面５０ａを規定する。

各プローブ２２は、段部５０に対応された段部５２を取付領域３４の先端側の箇所に有する。段部５２は、段部５０の段差面５０ａに対向する平坦な段差面５２ａを規定しており、また取付領域３４の一部として作用する。このため、図示の例では、一方の針先領域３６ａは段部５２から前方へ延びているが、段部５２を設けなくてもよい。

図６（Ａ）及び（Ｂ）並びに図７に示すように、各プローブ２２ａは、両面５０ａ及び５２ａが当接された状態において、先端側の針先領域３６ａがスリット３２ａの前記奥底面に当接することはなく、また針先領域３６ａと、段差面５０ａを除く段部５０の領域との間に間隔が形成されて、針先４２ａがスリットバー２８ａの前縁より斜め下方へ突出する状態に、支持体２４に保持されている。

これに対し、各プローブ２２ｂは、両面５０ａ及び５２ａが当接された状態において、針先領域３６ａがスリットバー２８ａの下面に当接することはなく、また針先領域３６ａと、段差面５０ａを除く段部５０の領域との間に間隔が形成されて、針先４２ａがスリットバー２８ａの前縁より斜め下方へ突出する状態に、支持体２４に保持されている。

したがって、各プローブ２２の先端側の針先４２ａが液晶表示パネル１４の対応する前記電極パッドに押圧されると、各針先４２ａに作用する押圧力の少なくとも一部は、取付領域３４の段差面５２ａに対向するスリットバー２８ａの段部５０の段差面５０ａで反力が担われる。これにより、段差面５０ａ及び５２ａがそれぞれ剛的支点及び剛的被支点として作用する。

プローブ２２ａ及び２２ｂの各針先領域３６ａは、スリット３２ａの前記奥底面又はスリットバー２８ａの下面に当接するまで、針先領域３６ａにおける弾性変形することを許される。これにより、各プローブ２２は、この弾性変形量に応じたオーバドライブ力で、液晶表示パネル１４の対応する前記電極パッドに押圧される。

剛的支点５０ａ、剛的被支点５２ａ、段部５０及び段部５２を不要とすることができる。しかし、一対の支持バー２６ａ及び２６ｂに作用するオーバドライブ力の軽減を図り、支持バー２６ａ及び２６ｂの撓み変形にともなう針先４２ａのずれを防止する上では、剛的支点５０ａ、剛的被支点５２ａ、段部５０及び段部５２を設けることが望ましい。

検査装置１２において、各プローブ組立体１０に設けられた各プローブ２２の先端側の針先４２ａは、液晶表示パネル１４の対応する前記電極パッドに押圧される。これにより、各プローブ２２は、弾性をともなう撓み変形を生じ、この撓み変形に応じたオーバドライブ力で対応する前記電極パッドに接続される。このため、各電極パッドはプローブ組立体１０を経て前記テスタ本体に確実に接続される。

隣り合うプローブ２２間での電気的短絡を防止するために、図４、図５、図８及び図９に示すように、板状の各プローブ２２は、プローブ２２の長手方向に間隔をおいた複数箇所のそれぞれを覆う複数の電気絶縁膜５６を一方の面に有する。

図示の例では、各プローブ２２の一方の面は、針先４２ａから針先４２ｂまでの領域の複数箇所を帯状の絶縁膜５６で覆われているが、他方の面は、針先４２ａから針先４２ｂまでの全領域にわたって、絶縁膜５６に覆われることなく、露出されている。

しかし、絶縁膜５６は、各プローブ２２の両面の針先４２ａから針先４２ｂに渡る全領域の複数箇所に形成されていてもよいし、各プローブ２２の一方の面又は両面の針先４２ａから針先４２ｂにわたる全領域にわたって連続して形成されていてもよい。また、帯状の絶縁膜５６とする代わりに、多数の点状又は小さい面領域の絶縁膜であってもよい。

複数のプローブ２２は、図４、図５及び図８（Ｂ）に示すようにそれぞれの一方の面（絶縁膜を有する面）を隣りのプローブ２２の他方の面（絶縁膜を有していない面）に対向させており、また図３に示すようにガイド穴３８及び３８をそれぞれ貫通する支持バー２６ａ及び２６ｂを介して、支持体２４に支持されている。

これにより、多数のプローブ２２を高密度に配置したことに起因して、隣り合うプローブ２２が接触しても、隣り合うプローブ２２相互間の電気的短絡が防止される。

図８（Ａ）には、図面の簡素化のために図３では省略されている容量低減用穴５８ａ及び５８ｂが示されている。容量低減用穴５８ａ及び５８ｂは、隣り合うプローブ２２間での静電容量の低減を図ることにより、パルス状信号の漏れによる隣り合うプローブ２２間でのクロストークを低減する。

プローブ組立体１０のように、各プローブ２２が絶縁膜を一方の面に有し、またプローブ２２ａの針先領域３６ａの一部をスリット３２ａに受け入れ、プローブ２２ｂをスリットバー２８ａの長手方向に隣り合うプローブ２２ａの間に配置すれば、隣り合うプローブ２２の相互の電気的干渉を招くことなく、及びスリット３２ａのピッチを小さくすることなく、プローブ２２を狭ピッチで配置することができる。

上記実施例では、プローブ２２ａ及び２２ｂをスリットバー２８ａの長手方向に交互に配置しているが、図９に示すように複数のプローブ２２ｂをスリットバー２８ａの長手方向に隣り合うプローブ２２ａの間に配置してもよい。そのようにすれば、スリット３２ａのピッチを小さくすることなく、プローブ２２をより狭ピッチで配置することができ、スリット３２ａをより容易に形成することができる。

隣り合うプローブ２２ａの間に配置される複数のプローブ２２ｂは、絶縁膜５６により相互の電気的短絡を防止する状態に、互いに重ね合わせられていてもよい。また、スリットバー２８ａの長手方向に隣り合うプローブ２２ａ、２２ｂの間に間隔を設けなくてもよい。

図１０（Ａ）及び（Ｂ）を参照するに、一方のプローブ６０ａの針先領域３６ａ及び３６ｂのぞれぞれは、アーム部５４及び針先４２ａ又は４２ｂに加え、さらに、アーム部５４の上縁から上方に突出する突部６２を備えている。しかし、他方のプローブ６０ｂの針先領域３６ａ、３６ｂは、そのような突部を備えていない。

それらの突部６２は、先端側の針先領域３６ａの突部６２のようにアーム部５４の先端部に設けてもよいし、後端側の針先領域３６ｂの突部６２のようにアーム部５４の中央部（又は、取付領域３４の側の箇所）に設けてもよい

図１１を参照するに、スリットバー２８ａ、２８ｂの長手方向に隣り合うスリット６４は、プローブ６０ａ、６０ｂの長手方向における異なる位置に設けられている。すなわち、スリット６４は、対応するスリットバー２８ａ又は２８ｂの前後方向（プローブの長手方向）における一方の側及び他方の側に交互に位置されて、前後方向における対応するスリットバーの一方の側に位置する第１のスリット群に属する第１のスリットと、他方の側に位置する第２のスリット群に属する第２のスリットとを含む。

同様に、スリットバー２８ａ、２８ｂの長手方向に隣り合うプローブ６０ａの突部６２は、プローブ６０ａの長手方向における異なる位置に設けられている。すなわち、プローブ６０ａは、突部６２がアーム部５４の取付領域３４側の箇所に設けられて、第１のスリットに受け入れられた第１のプローブ群に属する第１のスリットと、アーム部５４の取付領域３４側の反対の側の箇所に設けられて、第２のスリットに受け入れられた第２のプローブ群に属する第２のスリットとを含む。

各スリット６４は、下方と、先端側又は後端側とに開放されており、さらに斜めに延びる奥底面を有する。図１１に示すようなスリット６４の代わりに、既に述べたスリット３２ａ、３２ｂと同様に、下方側、前側方及び後方側に開放するスリットであってもよいし、図１２に示すように下方側と、前方側又は後方側に開放するスリットであってもよい。

第１及び第２のスリット６４及び６４を用いる図１１及び図１２に示す実施例においては、スリット６４が前後方向（プローブの長手方向）における一方の側及び他方の側に交互に位置し、プローブ６０ａの突部６２が第１及び第２のスリットのいずれかに受け入れられており、さらにプローブ６０ｂがスリットバーの長手方向に隣り合うプローブ６０ａの間に配置されている。このため、スリットがより容易に形成可能であるにもかかわらず、プローブ６０ａ、６０ｂの配置ピッチを小さくすることができる。

プローブ６０ａ及び６０ｂを図１１及び１２に示す実施例のように配置する代わりに、取付領域３４側の箇所及び反対の側の箇所のいずれか一方に設けられた突部をプローブ６０ａに設け、取付領域３４側の箇所及び反対の側の箇所の他方に設けられた突部をプローブ６０ｂに設け、プローブ６０ａの突部を対応する第１及び第２のスリットのいずれか一方に配置し、プローブ６０ｂの突部を対応する第１及び第２のスリットの他方に配置してもよい。

上記の場合、スリット６４はそれらが設けられた位置に応じて第１及び第２のスリットとして作用し、プローブ６０ａは第１のスリットに受け入れられた第１のプローブ群に属する第１のスリットとして作用し、プローブ６０ｂは第２のスリットに受け入れられた第２のプローブ群に属する第２のプローブとして作用する。

上記のようなプローブ組立体によれば、隣り合う第１及び第２のスリットがプローブの長手方向において異なる位置に設けられているから、第１及び第２のプローブの突部をそれぞれ第１及び第２のスリットに配置しても、隣り合うプローブの相互の電気的干渉を招くことなく、並びに第１のスリットのピッチ及び第２のスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。

プローブ２２ｂの後端側の針先領域を受け入れるスリット３２ｂを有するスリットバー２８ｂ、各プローブ２２の後端側の針先４２ｂを受け入れるガイドフィルム４８を省略してもよい。また、後端側の針先領域３６ｂは、上記の形状を有していなくてもよい。

本発明は、液晶表示パネルのみならず、多数の発光素子を用いた表示パネルのような他の平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体にも適用することができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

１０ プローブ組立体
１２ 電気的接続装置
１４ 液晶表示パネル（被検査体）
２２、２２ａ、２２ｂ、６０ａ、６０ｂ プローブ
２４ 支持体
２６（２６ａ、２６ｂ） 支持バー
２８（２８ａ、２８ｂ） スリットバー
３２ａ、３２ｂ、６４、６６ スリット
３４ 取付け部
３６（３６ａ、３６ｂ） 針先領域
４０ａ、４０ｂ サイドカバー
４２ａ、４２ｂ 針先
５４ 針先領域のアーム部
５６ 絶縁膜
６２ 突部

特開２００７−３０３９６９号公報

Claims (14)

1. 支持体と、
   帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、
   前記支持体の先端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びるスリットバーであって、該スリットバーの長手方向に間隔をおいて下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含み、
   各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、
   前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記スリットに受け入れられた複数の第１のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第１のプローブの間のそれぞれに配置された第２のプローブとを含む、プローブ組立体。
2. 各スリットは、前記プローブの長手方向へ延びており、また前記プローブの長手方向における一方又は他方の側に開放している、請求項１に記載のプローブ組立体。
3. 各第１のプローブの前記針先領域は、前記取付領域の先端からさらに前方へ延びるアーム部であって、その一部を前記スリットに受け入れられたアーム部を備える、請求項１及び２のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
4. 各第１のプローブの前記針先領域は、前記取付領域の先端からさらに前方へ延びるアーム部と、該アーム部から上方に突出されて前記スリットに受け入れられた突部とを備える、請求項１及び２のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
5. 前記スリットバーの長手方向に隣り合う第１のプローブの前記突部は、該第１のプローブの長手方向における異なる位置に備えられている、請求項４に記載のプローブ組立体。
6. 前記スリットバーの長手方向に隣り合うスリットは、前記第１のプローブの長手方向における異なる位置に備えられている、請求項５に記載のプローブ組立体。
7. 複数の第２のプローブが前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第１のプローブの間のそれぞれに配置されている、請求項１から６のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
8. 各第１のプローブの前記針先領域のうち、前記スリットに受け入れられた部分の高さ位置は、前記第２のプローブの前記針先領域の対応する部分の高さ位置より高い、請求項１から７のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
9. さらに、前記第１及び第２のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びる一対の支持バーと、該支持バーの長手方向の端部を受け入れる板状の一対のサイドカバーであって、前記支持体の側部に取り外し可能に組み付けられた一対のサイドカバーとを含む、請求項１から８のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
10. さらに、前記支持体の後端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びる第２のスリットバーであって、該第２のスリットバーの長手方向に間隔をおいて前記プローブの長手方向へ延びて下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーを含み、
    各プローブは、さらに、前記取付領域の後端からさらに後方へ延びる針先領域を備え、
    各第１のプローブ及び各第２のプローブのいずれか一方は、前記後方へ延びる針先領域の一部を前記第２のスリットに下方から受け入れられている、請求項１から９のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
11. 各第２のスリットは、前記第１のプローブの前記後方へ延びる針先領域の一部を下方から受け入れている、請求項１０に記載のプローブ組立体。
12. 各第１のプローブの前記後方へ延びる針先領域のうち、前記第２のスリットに受け入れられた部分の高さ位置は、前記第２のプローブの前記後方へ延びる針先領域の対応する部分の高さ位置より高い、請求項１１に記載のプローブ組立体。
13. 各プローブの両針先領域のそれぞれは、さらに、その先端部又は後端部から下方又は上方へ突出する針先を備える、請求項１０から１２のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
14. 支持体と、
    帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、
    前記支持体の先端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びるスリットバーであって、該スリットバーの長手方向に間隔をおいて下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含み、
    前記複数のスリットは、前後方向における前記スリットバーの一方の側に位置する第１のスリットと、他方の側に位置する第２のスリットとを含み、
    各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、
    前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記第１のスリットに受け入れられた複数の第１のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第１のプローブの間に配置されて、それぞれが前記針先領域の一部が前記第２のスリットに受け入れられた複数の第２のプローブとを含む、プローブ組立体。

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