JP2010160083A - プローブ組立体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 スリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。
【解決手段】 プローブ組立体は、帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる先端側針先領域を備える複数のプローブを、取付領域の幅方向が上下方向となる状態に支持体の下側に並列的に配置している。複数のプローブは、それぞれが針先領域の一部が支持体の先端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びるスリットバーに該スリットバーの長手方向に間隔をおいたスリットに受け入れられた複数の第1のプローブと、隣り合う第1のプローブの間のそれぞれに配置された第2のプローブとを含む。
【選択図】図4
【解決手段】 プローブ組立体は、帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる先端側針先領域を備える複数のプローブを、取付領域の幅方向が上下方向となる状態に支持体の下側に並列的に配置している。複数のプローブは、それぞれが針先領域の一部が支持体の先端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びるスリットバーに該スリットバーの長手方向に間隔をおいたスリットに受け入れられた複数の第1のプローブと、隣り合う第1のプローブの間のそれぞれに配置された第2のプローブとを含む。
【選択図】図4
Description
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いられるプローブ組立体に関する。
液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体の1つとして、特許文献1に記載されたものがある。
特許文献1に記載されたプローブ組立体は、支持体と、それぞれが帯状の取付領域の前後方向(Y方向)の各端部からさらに先端側又は後端側へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、取付領域の幅方向(Z方向)が上下方向となる状態に支持体の下側に取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、これらプローブの取付領域をその厚さ方向(X方向)に貫通して延びて両端部において支持体に支持された細長い支持バーと、支持体に配置されてプローブの配列方向(X方向)へ延びる一対のスリットバーとを含む。
各スリットバーは、その長手方向(X方向)に間隔をおいて先後方向へ延びかつ下方に開放する複数のスリットを備える。支持バーは、プローブの配列方向におけるブロックの各端部にねじ止めされた板状のサイドカバーに長手方向の端部を受け入れられている。これにより、プローブは、支持バー及びサイドカバーにより支持体に組み付けられている。
各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜を有しており、また各針先領域の先端側の針先領域の先端部を下方に曲げてその先端を被検査体の電極に押圧される針先としている。プローブは、さらに、先端側及び後端側の針先領域の一部を、それぞれ、一方及び他方のスリットバーのスリットに受け入れられている。これにより、各プローブの針先領域はスリットバーの長手方向に変位することを防止されている。
しかし、機械的強度の関係上、スリットのピッチを小さくすることに限度がある。しかるに、上記従来のプローブ組立体では、全てのプローブの針先領域をスリットバーのスリットに受け入れているから、プローブの数と同数のスリットをスリットバーに設けなければならない。このため、上記従来のプローブ組立体では、狭ピッチのスリットをスリットバーに形成することができず、プローブを狭ピッチで配置することができない。
本発明の目的は、スリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。
本発明に係るプローブ組立体は、支持体と、帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記支持体の先端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びるスリットバーであって、該スリットバーの長手方向に間隔をおいて下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含む。
本発明に係るプローブ組立体において、各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されている。前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記スリットに受け入れられた複数の第1のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第1のプローブの間のそれぞれに配置された第2のプローブとを含む。
本発明に係る他のプローブ組立体において、前記複数のスリットは、前後方向における前記スリットバーの一方の側に位置する第1のスリットと、他方の側に位置する第2のスリットとを含み、また各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、さらに前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記第1のスリットに受け入れられた複数の第1のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第1のプローブの間に配置されて、それぞれが前記針先領域の一部が前記第2のスリットに受け入れられた複数の第2のプローブとを含む。
各スリットは、前記プローブの長手方向へ延びていてもよく、また前記プローブの長手方向における一方又は他方の側に開放していてもよい。
各第1のプローブの前記針先領域は、前記取付領域の先端からさらに前方へ延びるアーム部であって、その一部を前記スリットに受け入れられたアーム部を備えることができる。
上記の代わりに、各第1のプローブの前記針先領域は、前記取付領域の先端からさらに前方へ延びるアーム部と、該アーム部から上方に突出されて前記スリットに受け入れられた突部とを備えることができる。
前記スリットバーの長手方向に隣り合う第1のプローブの前記突部は、該第1のプローブの長手方向における異なる位置に備えられていてもよい。
前記スリットバーの長手方向に隣り合うスリットは、前記第1のプローブの長手方向における異なる位置に備えられていてもよい。
複数の第2のプローブが前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第1のプローブの間のそれぞれに配置されていてもよい。
各第1のプローブの前記針先領域のうち、前記スリットに受け入れられた部分の高さ位置は、前記第2のプローブの前記針先領域の対応する部分の高さ位置より高くてもよい。
プローブ組立体は、さらに、前記第1及び第2のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びる一対の支持バーと、該支持バーの長手方向の端部を受け入れる板状の一対のサイドカバーであって、前記支持体の側部に取り外し可能に組み付けられた一対のサイドカバーとを含むことができる。
プローブ組立体は、さらに、前記支持体の後端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びる第2のスリットバーであって、該第2のスリットバーの長手方向に間隔をおいて前記プローブの長手方向へ延びて下方に開放する複数の第2のスリットを備える第2のスリットバーを含むことができる。また、各プローブは、さらに、前記取付領域の後端からさらに後方へ延びる針先領域を備えることができる。さらに、各第1のプローブ及び各第2のプローブのいずれか一方は、前記後方へ延びる針先領域の一部を前記第2のスリットに下方から受け入れられていることができる。
各第2のスリットは、前記第1のプローブの前記後方へ延びる針先領域の一部を下方から受け入れていてもよい。
各第1のプローブの前記後方へ延びる針先領域のうち、前記第2のスリットに受け入れられた部分の高さ位置は、前記第2のプローブの前記後方へ延びる針先領域の対応する部分の高さ位置より高くてもよい。
各プローブの両針先領域のそれぞれは、さらに、その先端部又は後端部から下方又は上方へ突出する針先を備えることができる。
本発明に係るプローブ組立体によれば、複数のプローブのそれぞれが絶縁膜を一方の面に有し、またそれら複数のプローブのうち、複数の第1のプローブの針先領域の一部を前記スリットに受け入れ、複数の第2のプローブをスリットバーの長手方向に隣り合う第1のプローブの間に配置したから、第1のプローブの数と同数のスリットをスリットバーに設ければよい。その結果、隣り合うプローブの相互の電気的干渉を招くことなく、及びスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。
本発明に係る他のプローブ組立体によれば、前記複数のスリットが、前後方向における前記スリットバーの一方の側に位置する第1のスリットと、他方の側に位置する第2のスリットとを含み、各プローブが、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記第1のスリットに受け入れられた複数の第1のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第1のプローブの間に配置されて、それぞれが前記針先領域の一部が前記第2のスリットに受け入れられた複数の第2のプローブとを含むから、隣り合うプローブの相互の電気的干渉を招くことなく、及びスリットにピッチをを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。
図1を参照するに、検査装置12は、本発明に係る複数のプローブ組立体10を組み込んでおり、また矩形の液晶表示パネル14の通電試験に用いられる。液晶表示パネル14は、その矩形の一方の長辺及び一方の短辺に対応する縁部のそれぞれの上面に整列して配置された多数の電極パッド(図示せず)を有する。
検査装置12は、プローブ組立体10に加えて、検査ステージ16を備える。検査ステージ16は、液晶表示パネル14の外形に相似のこれよりもわずかに小さい矩形の開口16aを有する。液晶表示パネル14は、開口16aを通して背面よりバックライト光の照射を受けかつ開口16aを覆う状態に検査ステージ16上に配置される。
検査ステージ16の上方には、複数のプローブベース18(18a、18b)が配置されている。図示の例では、プローブベース18は、矩形の液晶表示パネル14の隣り合う辺に対応する2箇所に設けられており。各プローブ組立体10は、液晶表示パネル14の前記電極パッドに電気的に接続可能に、対応する支持機構20により対応するプローブベース18に組み付けられている。
各支持機構20は、図2に示すように、対応するプローブベース18に組み付けられており、また対応するプローブ組立体10を、該プローブ組立体10に設けられた多数のプローブ22(22a,22b)の先端側の針先42aが液晶表示パネル14へ向けて突出するように、取り外し可能に支持している。
各プローブ組立体10は、プローブ22の針先42aがそれぞれに対応された前記電極パッドに接触するように、液晶表示パネル14に対して昇降可能に、対応する支持機構20に保持されている。支持機構20と同様の構成の支持機構は、例えば特開2004−191064号公報に記載されている。
各プローブ組立体10は、図2及び図3に示すように、前記した多数のプローブ22のほかに、さらに、支持機構20に着脱可能に取り付けられたプローブブロックすなわち支持体24と、プローブ22を支持体24に支持させるための一対の支持バー26a、26bと、支持体24の下面24aに設けられた角柱状の一対のスリットバー28a、28bと、支持体24の両側にねじ部材により固定されて両支持バー26a、26bをその両端部において支持体24の両側に固定する一対のサイドカバー40a、40b(図2参照)とを備える。多数のプローブ22は、支持体24の下方に配置されている。
支持体24は、絶縁膜で被覆された金属材料、又は電気絶縁材料で構成されている。両スリットバー28a、28bはセラミックのような電気絶縁材料で構成されている。両支持バー26a、26bも、電気絶縁膜で被覆された棒状の金属材料、又は棒状の電気絶縁材料で構成されている。
支持体24の下面24aは、全体的に矩形の形状を有しており、またその前縁である一辺30aが検査ステージ16に受けられた液晶表示パネル14の上方に位置されて、該液晶表示パネル14の縁部に沿って延在するように、支持機構20により、対応するプローブベース18に配置されている。
一方のスリットバー28aは、支持体24の下面24aの一辺すなわち前縁30aに沿って延びており、またスリットバー28aの上面を支持体24の下面24aに当接させた状態に、支持体24に固定されている。
他方のスリットバー28bは、一方のスリットバー28aから後方側に間隔をおいて一方のスリットバー28aと平行に延びるように、支持体24の下面24aの他辺すなわち後縁30bに沿って延びており、また上面を支持体24の下面24aに当接させた状態に、支持体24に固定されている。
スリットバー28a及び28bは、それぞれ、対応するスリットバー28a及び28bの長手方向に相互に間隔をおいた複数のスリット32a及び複数のスリット32bを下面に有する。
スリット32a及び32bのぞれぞれは、対応するスリットバー28a又は28bを前後方向(すなわち、プローブ22の長手方向)へ延びており、また先端側、後端側、及び下方側のそれぞれに開放する溝とされている。スリット32a及び32bは、互いに対応されている。スリットバー28a及び28bは、対応するスリット32a及び32bがスリットバー28a、28bの長手方向における同じ位置となるように、配置されている。
各プローブ22は、図3に示すように、その長手方向において同じ幅寸法Wを有する帯状の取付領域34と、取付領域34の先端及び後端からそれぞれさらに先方及び後方へ延びる帯状の一対の針先領域36a及び36bとを備える板状の導電部材からなる。
各プローブ22の取付領域34は、一対の支持バー26a及び26bがそれぞれ貫通する一対のガイド穴38を取付領域34の一端部及び他端部に有する。両ガイド穴38は、取付領域34の長手方向に相互に間隔をおいており、また取付領域34を厚さ方向に貫通している。
各プローブ22の一方(先端側)の針先領域36aは、取付領域34の長手方向の一端(先端)における下縁部から前方へ延びている。各プローブ22の他方(後端側)の針先領域36bは、取付領域34の他端(後端)における上縁部から後方へ延びている。
針先領域36a及び36bのそれぞれは、取付領域34の幅寸法Wよりも小さい幅寸法を有するアーム部54(図6(A)(B)及び図7参照)を備える。図示の例では、針先領域36a及び36b(アーム部54)の幅寸法は、先端側ほど小さい。しかし、各アーム部54の幅寸法は、ほぼ同じであってもよいし、先端側ほど大きくてもよい。
多数のプローブ22は、取付領域34の幅方向が上下方向となりかつ取付領域34が対向された状態に、プローブ22の厚さ方向に間隔をおいて並列的に揃えられている。これにより、隣り合うプローブ22の取付領域34のガイド穴38は互いに整列されている。
図4から図7に示すように、多数のプローブ22は、その配置ピッチを小さくするために、複数のプローブ22aを含む第1のプローブ群と、複数のプローブ22bを含む第2のプローブ群とに分けられている。
第1のプローブ群に属する各プローブ(第1のプローブ)22aは、一方及び他方の針先領域36a及び36bのアーム部54が、それぞれ、スリット32a及び32bに受け入れられた状態に、支持体24の下面24aから間隔をおいて下面24aの下方に位置されている。これにより、一方のプローブ22aの針先領域36a及び36bの各アーム部54は、図6(A)に示すように一部をスリット32a又は32bに受け入れられている。
これに対し、第2のプローブ群に属する各プローブ(第2のプローブ)22bの針先領域36a及び36bは、図6(B)に示すようにアーム部54をスリット32a及び32bに受け入れられることなく、それぞれ、スリットバー28a及び28bの下側に位置されている。これにより、他方の各プローブ22bの針先領域36a及び36bは、スリットバー28a、28bの長手方向に隣り合うプローブ22aの間をそれらのプローブ22aと平行に延びている。
上記の結果、他方のプローブ22bの針先領域36a及び36bを受け入れるスリットをスリットバー28a及び28bに設けなくてよいから、スリット32a及び32bを狭ピッチで形成する必要がない。
図示の例では、1つおきのプローブ22aがスリット32に受け入れられているから、例えば、スリット32のピッチが従来のプローブ組立体におけるスリットのピッチと同じであっても、プローブ22の配置ピッチは従来のプローブ組立体におけるプローブの配置ピッチの2倍になる。それにより、スリット32を容易に形成することができ、またプローブ22を狭ピッチで配置することができる。
支持バー26a及び26bは、それぞれ、プローブ22の整列されたガイド穴38及び38を貫通しており、また両端を前記したサイドカバー40a及び40b(図2参照)に通されて、支持体24の両側に固定されている。これにより、各プローブ22は、スリットバー28a、28bと平行に配置された支持バー26a及び26b並びにサイドカバー40a及び40bを介して、支持体24の下側に所定の姿勢で保持されている。
各プローブ22の後方側の針先領域36bは、針先領域36bの後端に形成された後方側の針先42bをスリットバー28bから支持体24の斜め後方へ突出させている。この針先42bは、支持機構20に支持された支持ブロック44の下面に固定された回路板46(図3参照)の対応する接続パッドに接続される。
上記の結果、各プローブ22は、回路板46を経て図示しないテスタ本体に接続される。針先42bは、図3に示す例では、回路板46への誤接触を防止するためのガイドフィルム48の穴48aを貫通して延びて、回路板46の前記接続パッドに接続されている。
プローブ22aの針先領域36a及び36bは、その一方(36a)を図7に例示するように、プローブ22bの針先領域36a及び36bより高い位置を延びている。
各プローブ22の先端側の針先領域36aは、アーム部54の先端側の針先42aをスリットバー28aの前方からその斜め下方へ突出させている。これに対し、各プローブ22の後端側の針先領域36bは、アーム部54の後端側の針先42bをスリットバー28bの後方からその斜め上方へ突出させている。
図示の例では、スリットバー28aは、段部50をスリット32aの後縁部に有している。段部50は、スリット32aの奥底面よりも上方に位置する平坦な段差面50aを規定する。
各プローブ22は、段部50に対応された段部52を取付領域34の先端側の箇所に有する。段部52は、段部50の段差面50aに対向する平坦な段差面52aを規定しており、また取付領域34の一部として作用する。このため、図示の例では、一方の針先領域36aは段部52から前方へ延びているが、段部52を設けなくてもよい。
図6(A)及び(B)並びに図7に示すように、各プローブ22aは、両面50a及び52aが当接された状態において、先端側の針先領域36aがスリット32aの前記奥底面に当接することはなく、また針先領域36aと、段差面50aを除く段部50の領域との間に間隔が形成されて、針先42aがスリットバー28aの前縁より斜め下方へ突出する状態に、支持体24に保持されている。
これに対し、各プローブ22bは、両面50a及び52aが当接された状態において、針先領域36aがスリットバー28aの下面に当接することはなく、また針先領域36aと、段差面50aを除く段部50の領域との間に間隔が形成されて、針先42aがスリットバー28aの前縁より斜め下方へ突出する状態に、支持体24に保持されている。
したがって、各プローブ22の先端側の針先42aが液晶表示パネル14の対応する前記電極パッドに押圧されると、各針先42aに作用する押圧力の少なくとも一部は、取付領域34の段差面52aに対向するスリットバー28aの段部50の段差面50aで反力が担われる。これにより、段差面50a及び52aがそれぞれ剛的支点及び剛的被支点として作用する。
プローブ22a及び22bの各針先領域36aは、スリット32aの前記奥底面又はスリットバー28aの下面に当接するまで、針先領域36aにおける弾性変形することを許される。これにより、各プローブ22は、この弾性変形量に応じたオーバドライブ力で、液晶表示パネル14の対応する前記電極パッドに押圧される。
剛的支点50a、剛的被支点52a、段部50及び段部52を不要とすることができる。しかし、一対の支持バー26a及び26bに作用するオーバドライブ力の軽減を図り、支持バー26a及び26bの撓み変形にともなう針先42aのずれを防止する上では、剛的支点50a、剛的被支点52a、段部50及び段部52を設けることが望ましい。
検査装置12において、各プローブ組立体10に設けられた各プローブ22の先端側の針先42aは、液晶表示パネル14の対応する前記電極パッドに押圧される。これにより、各プローブ22は、弾性をともなう撓み変形を生じ、この撓み変形に応じたオーバドライブ力で対応する前記電極パッドに接続される。このため、各電極パッドはプローブ組立体10を経て前記テスタ本体に確実に接続される。
隣り合うプローブ22間での電気的短絡を防止するために、図4、図5、図8及び図9に示すように、板状の各プローブ22は、プローブ22の長手方向に間隔をおいた複数箇所のそれぞれを覆う複数の電気絶縁膜56を一方の面に有する。
図示の例では、各プローブ22の一方の面は、針先42aから針先42bまでの領域の複数箇所を帯状の絶縁膜56で覆われているが、他方の面は、針先42aから針先42bまでの全領域にわたって、絶縁膜56に覆われることなく、露出されている。
しかし、絶縁膜56は、各プローブ22の両面の針先42aから針先42bに渡る全領域の複数箇所に形成されていてもよいし、各プローブ22の一方の面又は両面の針先42aから針先42bにわたる全領域にわたって連続して形成されていてもよい。また、帯状の絶縁膜56とする代わりに、多数の点状又は小さい面領域の絶縁膜であってもよい。
複数のプローブ22は、図4、図5及び図8(B)に示すようにそれぞれの一方の面(絶縁膜を有する面)を隣りのプローブ22の他方の面(絶縁膜を有していない面)に対向させており、また図3に示すようにガイド穴38及び38をそれぞれ貫通する支持バー26a及び26bを介して、支持体24に支持されている。
これにより、多数のプローブ22を高密度に配置したことに起因して、隣り合うプローブ22が接触しても、隣り合うプローブ22相互間の電気的短絡が防止される。
図8(A)には、図面の簡素化のために図3では省略されている容量低減用穴58a及び58bが示されている。容量低減用穴58a及び58bは、隣り合うプローブ22間での静電容量の低減を図ることにより、パルス状信号の漏れによる隣り合うプローブ22間でのクロストークを低減する。
プローブ組立体10のように、各プローブ22が絶縁膜を一方の面に有し、またプローブ22aの針先領域36aの一部をスリット32aに受け入れ、プローブ22bをスリットバー28aの長手方向に隣り合うプローブ22aの間に配置すれば、隣り合うプローブ22の相互の電気的干渉を招くことなく、及びスリット32aのピッチを小さくすることなく、プローブ22を狭ピッチで配置することができる。
上記実施例では、プローブ22a及び22bをスリットバー28aの長手方向に交互に配置しているが、図9に示すように複数のプローブ22bをスリットバー28aの長手方向に隣り合うプローブ22aの間に配置してもよい。そのようにすれば、スリット32aのピッチを小さくすることなく、プローブ22をより狭ピッチで配置することができ、スリット32aをより容易に形成することができる。
隣り合うプローブ22aの間に配置される複数のプローブ22bは、絶縁膜56により相互の電気的短絡を防止する状態に、互いに重ね合わせられていてもよい。また、スリットバー28aの長手方向に隣り合うプローブ22a、22bの間に間隔を設けなくてもよい。
図10(A)及び(B)を参照するに、一方のプローブ60aの針先領域36a及び36bのぞれぞれは、アーム部54及び針先42a又は42bに加え、さらに、アーム部54の上縁から上方に突出する突部62を備えている。しかし、他方のプローブ60bの針先領域36a、36bは、そのような突部を備えていない。
それらの突部62は、先端側の針先領域36aの突部62のようにアーム部54の先端部に設けてもよいし、後端側の針先領域36bの突部62のようにアーム部54の中央部(又は、取付領域34の側の箇所)に設けてもよい
図11を参照するに、スリットバー28a、28bの長手方向に隣り合うスリット64は、プローブ60a、60bの長手方向における異なる位置に設けられている。すなわち、スリット64は、対応するスリットバー28a又は28bの前後方向(プローブの長手方向)における一方の側及び他方の側に交互に位置されて、前後方向における対応するスリットバーの一方の側に位置する第1のスリット群に属する第1のスリットと、他方の側に位置する第2のスリット群に属する第2のスリットとを含む。
同様に、スリットバー28a、28bの長手方向に隣り合うプローブ60aの突部62は、プローブ60aの長手方向における異なる位置に設けられている。すなわち、プローブ60aは、突部62がアーム部54の取付領域34側の箇所に設けられて、第1のスリットに受け入れられた第1のプローブ群に属する第1のスリットと、アーム部54の取付領域34側の反対の側の箇所に設けられて、第2のスリットに受け入れられた第2のプローブ群に属する第2のスリットとを含む。
各スリット64は、下方と、先端側又は後端側とに開放されており、さらに斜めに延びる奥底面を有する。図11に示すようなスリット64の代わりに、既に述べたスリット32a、32bと同様に、下方側、前側方及び後方側に開放するスリットであってもよいし、図12に示すように下方側と、前方側又は後方側に開放するスリットであってもよい。
第1及び第2のスリット64及び64を用いる図11及び図12に示す実施例においては、スリット64が前後方向(プローブの長手方向)における一方の側及び他方の側に交互に位置し、プローブ60aの突部62が第1及び第2のスリットのいずれかに受け入れられており、さらにプローブ60bがスリットバーの長手方向に隣り合うプローブ60aの間に配置されている。このため、スリットがより容易に形成可能であるにもかかわらず、プローブ60a、60bの配置ピッチを小さくすることができる。
プローブ60a及び60bを図11及び12に示す実施例のように配置する代わりに、取付領域34側の箇所及び反対の側の箇所のいずれか一方に設けられた突部をプローブ60aに設け、取付領域34側の箇所及び反対の側の箇所の他方に設けられた突部をプローブ60bに設け、プローブ60aの突部を対応する第1及び第2のスリットのいずれか一方に配置し、プローブ60bの突部を対応する第1及び第2のスリットの他方に配置してもよい。
上記の場合、スリット64はそれらが設けられた位置に応じて第1及び第2のスリットとして作用し、プローブ60aは第1のスリットに受け入れられた第1のプローブ群に属する第1のスリットとして作用し、プローブ60bは第2のスリットに受け入れられた第2のプローブ群に属する第2のプローブとして作用する。
上記のようなプローブ組立体によれば、隣り合う第1及び第2のスリットがプローブの長手方向において異なる位置に設けられているから、第1及び第2のプローブの突部をそれぞれ第1及び第2のスリットに配置しても、隣り合うプローブの相互の電気的干渉を招くことなく、並びに第1のスリットのピッチ及び第2のスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。
プローブ22bの後端側の針先領域を受け入れるスリット32bを有するスリットバー28b、各プローブ22の後端側の針先42bを受け入れるガイドフィルム48を省略してもよい。また、後端側の針先領域36bは、上記の形状を有していなくてもよい。
本発明は、液晶表示パネルのみならず、多数の発光素子を用いた表示パネルのような他の平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体にも適用することができる。
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
10 プローブ組立体
12 電気的接続装置
14 液晶表示パネル(被検査体)
22、22a、22b、60a、60b プローブ
24 支持体
26(26a、26b) 支持バー
28(28a、28b) スリットバー
32a、32b、64、66 スリット
34 取付け部
36(36a、36b) 針先領域
40a、40b サイドカバー
42a、42b 針先
54 針先領域のアーム部
56 絶縁膜
62 突部
12 電気的接続装置
14 液晶表示パネル(被検査体)
22、22a、22b、60a、60b プローブ
24 支持体
26(26a、26b) 支持バー
28(28a、28b) スリットバー
32a、32b、64、66 スリット
34 取付け部
36(36a、36b) 針先領域
40a、40b サイドカバー
42a、42b 針先
54 針先領域のアーム部
56 絶縁膜
62 突部
Claims (14)
- 支持体と、
帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、
前記支持体の先端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びるスリットバーであって、該スリットバーの長手方向に間隔をおいて下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含み、
各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、
前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記スリットに受け入れられた複数の第1のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第1のプローブの間のそれぞれに配置された第2のプローブとを含む、プローブ組立体。 - 各スリットは、前記プローブの長手方向へ延びており、また前記プローブの長手方向における一方又は他方の側に開放している、請求項1に記載のプローブ組立体。
- 各第1のプローブの前記針先領域は、前記取付領域の先端からさらに前方へ延びるアーム部であって、その一部を前記スリットに受け入れられたアーム部を備える、請求項1及び2のいずれか1項に記載のプローブ組立体。
- 各第1のプローブの前記針先領域は、前記取付領域の先端からさらに前方へ延びるアーム部と、該アーム部から上方に突出されて前記スリットに受け入れられた突部とを備える、請求項1及び2のいずれか1項に記載のプローブ組立体。
- 前記スリットバーの長手方向に隣り合う第1のプローブの前記突部は、該第1のプローブの長手方向における異なる位置に備えられている、請求項4に記載のプローブ組立体。
- 前記スリットバーの長手方向に隣り合うスリットは、前記第1のプローブの長手方向における異なる位置に備えられている、請求項5に記載のプローブ組立体。
- 複数の第2のプローブが前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第1のプローブの間のそれぞれに配置されている、請求項1から6のいずれか1項に記載のプローブ組立体。
- 各第1のプローブの前記針先領域のうち、前記スリットに受け入れられた部分の高さ位置は、前記第2のプローブの前記針先領域の対応する部分の高さ位置より高い、請求項1から7のいずれか1項に記載のプローブ組立体。
- さらに、前記第1及び第2のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びる一対の支持バーと、該支持バーの長手方向の端部を受け入れる板状の一対のサイドカバーであって、前記支持体の側部に取り外し可能に組み付けられた一対のサイドカバーとを含む、請求項1から8のいずれか1項に記載のプローブ組立体。
- さらに、前記支持体の後端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びる第2のスリットバーであって、該第2のスリットバーの長手方向に間隔をおいて前記プローブの長手方向へ延びて下方に開放する複数の第2のスリットを備える第2のスリットバーを含み、
各プローブは、さらに、前記取付領域の後端からさらに後方へ延びる針先領域を備え、
各第1のプローブ及び各第2のプローブのいずれか一方は、前記後方へ延びる針先領域の一部を前記第2のスリットに下方から受け入れられている、請求項1から9のいずれか1項に記載のプローブ組立体。 - 各第2のスリットは、前記第1のプローブの前記後方へ延びる針先領域の一部を下方から受け入れている、請求項10に記載のプローブ組立体。
- 各第1のプローブの前記後方へ延びる針先領域のうち、前記第2のスリットに受け入れられた部分の高さ位置は、前記第2のプローブの前記後方へ延びる針先領域の対応する部分の高さ位置より高い、請求項11に記載のプローブ組立体。
- 各プローブの両針先領域のそれぞれは、さらに、その先端部又は後端部から下方又は上方へ突出する針先を備える、請求項10から12のいずれか1項に記載のプローブ組立体。
- 支持体と、
帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、
前記支持体の先端側に配置されて前記プローブの配列方向へ延びるスリットバーであって、該スリットバーの長手方向に間隔をおいて下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含み、
前記複数のスリットは、前後方向における前記スリットバーの一方の側に位置する第1のスリットと、他方の側に位置する第2のスリットとを含み、
各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜が形成されており、
前記複数のプローブは、それぞれが前記針先領域の一部が前記第1のスリットに受け入れられた複数の第1のプローブと、前記スリットバーの長手方向に隣り合う前記第1のプローブの間に配置されて、それぞれが前記針先領域の一部が前記第2のスリットに受け入れられた複数の第2のプローブとを含む、プローブ組立体。
Priority Applications (2)
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JP2009003103A JP2010160083A (ja) | 2009-01-09 | 2009-01-09 | プローブ組立体 |
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JP2009003103A Pending JP2010160083A (ja) | 2009-01-09 | 2009-01-09 | プローブ組立体 |
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JP2012037362A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニット及び検査装置 |
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