JP5459646B2 - プローブユニット及び検査装置 - Google Patents
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Description
前記実施形態では、ガイドバー35と共にサポートピン36を設けたが、サポートピン36は設けない場合もある。精度を高める必要がある場合にサポートピン36を設ける。
Claims (2)
- ブレード型プローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブ組立体を備えたプローブユニットであって、
前記ブレード型プローブが、正確に位置決めされて支持される本体板部と、当該本体板部の先端側に支持されて接触子を支持する、片持ち方式の細長く伸びた先端側腕部と、前記本体板部のFPC側に支持されて接触子を支持する、片持ち方式の細長く伸びたFPC側腕部とを備えると共に、当該ブレード型プローブが第1列用ブレード型プローブと他列用ブレード型プローブとから構成され、
前記ブレード型プローブの先端側腕部を挿入する、同一形状のスリットを複数設けた先端側スリットバーと、前記ブレード型プローブのFPC側腕部を挿入する同一形状のスリットを複数設けたFPC側スリットバーを備え、
前記第1列用ブレード型プローブは、前記先端側腕部の接触子を、前記被検査体の電極の複数列千鳥状の配列のうちの1列目に整合する位置で且つ先端位置に設け、
前記他列用ブレード型プローブは、前記先端側腕部の接触子を、前記被検査体の電極の複数列千鳥状の配列のうちの2列目以降に整合する位置であって前記先端側腕部によって片持ち状態になる位置に設けると共に、前記接触子の先端側に、接触子を除き前記第1列用ブレード型プローブの先端側腕部と同じ形状になるように片持ち方式で細長く伸ばして設定された保持板部を備え、
前記先端側スリットバーの前記スリットによる当該他列用ブレード型プローブの保持状態と、前記先端側スリットバーの前記スリットによる前記第1列用ブレード型プローブの保持状態とを同様にするように、前記他列用ブレード型プローブの保持板部が機能することを特徴とするプローブユニット。 - 被検査体の検査に用いる検査装置であって、
被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備え、
前記測定部のプローブユニットとして、請求項1に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。
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