KR100525845B1 - 자기식 엔코더장치 - Google Patents

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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

본 발명의 자기엔코더장치는 회전체(1)에 고정된 영구자석(2)과, 영구자석(2)에 간극을 통해 대향하고 고정체(3)에 부착된 자계검출소자(4)와, 자계검출소자(4)로부터의 신호를 처리하는 신호처리회로를 갖추며, 영구자석(2)은 원판형상으로 형성됨과 동시에 회전체(1)의 축과 수직방향의 일방향으로 자화되고, 자계검출소자(4)는 영구자석(2)의 외주측에 간극을 통해 배치된 것이다.
또 고정체(1)를 링형상의 자성체로 형성하여 둘레방향으로 간극을 배치하고 이 간극부에 자계검출소자를 배치해도 좋다.
이에 따라 구조가 간단하고 극히 분해능이 높으며 정밀도가 높고 소형으로 된 자기식 엔코더장치를 얻을 수 있다.

Description

자기식 엔코더장치{MAGNETIC ENCODER}
본 발명은 회전체의 회전위치를 검출하는 자기식 엔코더장치에 관한 것이다.
종래 회전체의 회전위치를 검출하는 자기식 엔코더장치는 예를들면 도 14에 도시하는 것과 같이 회전체(10)에 결합되고, 외주에 자성도료 또는 자석재료로 이루어지는 기록매체(20)를 갖춘 자기드럼(30)과, 그 외주에 간극을 통해 대향하는 자기저항소자(40)로 구성된다.
4비트의 예로 설명하면 자기드럼(30)은 축방향으로 나열된 4트랙의 기록매체(20)를 배치하고, 각 비트(20,21,22,23)의 신호를 각 트랙마다 일정한 핏치로 N,S극에 자화하여 형성하고 있다.
자기저항소자(40)는 각 트랙에 2개배치하고, 그 간격은 비트신호의 1/2핏치로 하고 있다. 각 비트신호는 파형 성형함으로써 도 15와 같이 회전체(10)의 1회전을 등분할한 4종류의 사각형파 파형의 신호로서 출력되고, 그 합성신호에 의해 절대위치를 검출하도록 하고 있다.
또 회전체에 원판형상의 마그네트를 고정하고, 마그네트의 윗면에 일방향으로 N,S극이 자화하고 있으며, 마그네트에 대향하여 한개의 자기센서를 배치하고, 자계의 변화를 자기센서로 검출함으로써 마그네트를 고정한 회전체의 회전위치를 검출하도록 한 것이 개시된다(예를들면 일본국 특개소 62-237302호 공보).
또 자계의 변화를 정현파형상으로 하기 위해 회전체의 외주에 기복을 마련하고, 기복형상을 따라 자기기록매체를 형성한 것이 개시된다(예를들면 일본국 특개소 58-162813호, 일본국 특개소 63-243718호 공보).
그러나 상기 도 14에 도시한 종래기술에서는 다음과 같은 문제가 있었다.
(1) 각 비트신호를 기록하는 트랙이 축방향으로 배열되고 있기 때문에 비트수를 늘리면 축방향의 길이가 길어져 소형화가 곤란해진다.
(2) 트랙수가 늘어나면 착자(着磁)개소가 늘어나 가공공정수가 늘어난다.
(3) 각 트랙에 대응하여 자기저항소자를 배치하기 때문에 비트수가 늘어나면 배선수가 많아지게 되어 조립작업이 복잡해지고, 작업공정수가 늘어나게 되어 원가가 높아진다.
또 상기 일본국 특개소 62-237302호에 도시한 종래기술에서는 다음과 같은 문제가 있었다.
(1) 자기센서가 하나이기 때문에 회전체의 절대위치를 구할 수 없다.
(2) 자기센서가 마그네트의 자극경계선 부근의 자속을 검출하므로 출력파형의 리니어부분은 이용할 수 있지만 정현파 파형의 정밀도가 저하되어 1회전의 검출정밀도는 낮아진다.
또 상기 일본국 특개소 63-243718호 등에 도시된 종래기술에서는 회전체의 외주에 자계가 정형파형상으로 변화하는 기복을 마련하고 있지만 예를들면 마이크로모터 등의 회전을 검출하는 초소형 회전검출기로는 회전체의 외형이 극히 작기 때문에 회전체의 외형을 정확하게 정현파형상의 요철이나 타원형으로 가공하는 것이 극히 어려워 검출정밀도가 높은 회전검출기를 얻을 수 없었다.
이 때문에 본 발명은 구조가 간단하고 정밀도가 높으며 저가로 소형의 절대치위치를 구하는 자기식 엔코더장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예의 자기식 엔코더장치를 도시하는 사시도.
도 2는 본 발명의 제 1실시예의 신호처리회로를 도시하는 블록도.
도 3은 본 발명의 제 1실시예의 영구자석의 자계분포를 도시하는 설명도.
도 4는 본 발명의 제 1실시예의 한개의 자계검출소자의 출력을 도시하는 설명도.
도 5는 본 발명의 제 1실시예의 신호처리회로의 출력을 도시하는 설명도.
도 6은 본 발명의 제 2실시예의 자기식 엔코더장치를 도시하는 사시도.
도 7은 본 발명의 제 2실시예의 영구자석의 자계분포를 도시하는 설명도.
도 8은 본 발명의 제 2실시예의 각 자계검출소자의 출력을 도시하는 설명도.
도 9a는 본 발명의 제 3실시예의 자기식 엔코더장치를 도시하는 사시도.
도 9b는 본 발명의 제 3실시예의 자기식 엔코더장치를 도시하는 자기검출소자의 확대사시도.
도 10은 본 발명의 제 3실시예의 신호처리회로를 도시하는 블록도.
도 11은 본 발명의 제 3실시예의 영구자석의 자계분포를 도시하는 설명도.
도 12는 본 발명의 제 3실시예의 신호처리회로의 출력을 도시하는 설명도.
도 13은 본 발명의 제 3실시예의 회전각도의 정밀도를 도시하는 설명도.
도 14는 종래의 자기식 엔코더장치를 도시하는 사시도.
도 15는 종래의 자기식 엔코더장치의 검출출력의 파형을 도시하는 설명도.
본 발명은 회전체에 고정된 영구자석과, 상기 영구자석에 간극을 통해 대향하고 고정체에 부착된 자계검출소자와, 상기 자계검출소자로부터의 신호를 처리하는 신호처리회로를 갖춘 자기식 엔코더장치에 있어, 상기 영구자석은 원판형상으로 형성됨과 동시에 또한 상기 회전체의 축과 수직방향의 일방향으로 자화되고,상기 자계검출소자는 상기 영구자석의 외주측에 간극을 통해 배치하고 있다.
또 상기 고정체는 링형상의 자성체로 형성되어 둘레방향으로 간극을 가지며, 상기 간극에 상기 자계검출소자를 배치하고 있다.
또 상기 자계검출소자는 서로 전기각으로 90도 위상이 어긋나 있는 2개 한쌍의 자계검출소자를 서로 180도 위상이 어긋난 위치에 2쌍 마련하고, 상기 신호처리회로는 서로 대향하는 자계검출소자 간의 차동신호를 처리하는 차동앰프를 배치하여 상기 회전체 위치의 절대치를 검출하도록 하고 있다.
또 상기 자계검출소자는 상기 회전체의 축에 대해 지름방향 자계를 검출하는 지름방향 감자부(感磁部)와, 상기 회전체의 축에 대해 둘레방향 자계를 검출하는 둘레방향 감자부를 근접하여 배치한 것으로, 상기 자계검출소자를 최소한 하나 배치하고 있다.
또 상기 자계검출소자는 홀효과 소자 또는 자기저항소자를 이용하고 있다. 또 상기 영구자석은 펠라이트계 자석, Sm-Co계 자석, Nd-Fe-B계 자석 또는 상기 각종 자석을 고분자 재료로 결합한 분산형 복합자석중 어느 하나에 의해 형성하고 있으며, 직선이방성(直線異方性)을 갖는 것을 이용해도 좋다.
이와같은 수단에 의해 간단한 구조가 됨과 동시에 자계검출소자로부터의 출력신호의 정현파율이 대폭으로 향상되므로 회전체의 위치를 정밀하게 검출할 수 있다.
다음 본 발명의 도면을 기초로 상세하게 설명한다.
(제 1실시예)
도 1은 본 발명의 제 1실시예를 도시하는 회전체의 절대위치를 검출하는 자기식 엔코더장치의 사시도.
도면에 있어서 부호 1은 회전체, 부호 2는 회전체(1)에 회전축을 동일하게 되도록 고정된 중공 원판형상의 영구자석, 부호 3은 영구자석(2)의 외주측에 배치된 링형상의 고정체, 부호 4는 자계검출소자이다.
영구자석(3)은 재질은 펠라이트계 자석, Sm-Co계 자석, Ne-Fe-B계 자석, 또는 상기 각종 자석을 고분자 재료로 결합한 분산형 복합자석에 의해 형성하고, 평면부(21)에 회전체(1)의 축에 수직방향과 평행하게 일방향으로 자화되어 N-S의 2극이 된다. 치수는 직경이 3mm, 두께가 1mm이다.
자계검출소자(4)는 4개의 홀효과소자로 이루어지고, 영구자석(2)의 외주면에 대해 간극을 통해 대향함과 동시에 서로 전기각으로 90도 위상을 어긋나게 하여 A1, 상(相) 검출소자(41)와 B1상 검출소자(42)를 배치하며, 또한 A1상 검출소자(41)에 대해 전기각으로 180도 위상을 어긋나게 하여 A2상 검출소자(43)를, B1상검출소자(42)에 대해 전기각으로 180도 위상을 어긋나게 하여 B2상 검출소자(44)를 배치하고 있다.
도 2는 자계검출소자(4)로부터 출력되는 A1,A2,B1,B2의 각 상 신호를 처리하는 신호처리회로(5)를 도시하는 회로도이다. 신호처리회로(5)는 A1상과 A2상의 차동신호 Va를 출력하는 차동앰프(51)와, B1상과 B2상의 차동신호 Vb를 출력하는 차동앰프(52)와, 차동신호 Va와 Vb로부터 arctan(Vb/Va)의 연산을 행하여 회전각도를 연산하는 각도연산회로(53)를 마련하고 있다.
도 3은 영구자석(2)의 자계분포를 나타내는 설명도이다.
다음은 동작에 대해 설명한다.
회전체(1)를 회전시키면 하나의 검출소자는 도 4와 같이 회전각위치에 따른 정현파형상의 자속밀도를 검출한다. 자계검출소자(4)의 각 상 검출소자(41)(42)(43)(44)에 의해 자속이 검출되고, A1,A2,B1,B2의 각 상의 신호가 출력된다. 이 신호출력은 도 2에 도시하는 신호처리회로로 처리된다.
회전체(1)가 편심하여 회전하는 경우에 검출한 자속밀도의 파형은 편심량에 따라 변위한다. 그러나 A,B상은 서로 180도 위상이 어긋난 A1상과 A2상 및 B1상 과 B2상의 차동을 취하므로 편심량은 상쇄되고, 도 5와 같이 서로 90도 위상이 어긋난 2개의 정현파, 즉 회전각 θ로 했을 때 sinθ과 cosθ의 파형이 얻어진다.
따라서 A,B상을 입력으로 하는 각도연산회로(53)에 의해, θ= arctan(Vb/Va)의 연산이 행해지고, 절대위치의 회전각도가 검출된다.
이와같이 원판형상의 영구자석(2)을 평면부(21)를 따라 일방향으로 자화하고, 영구자석(2)의 외주면에 대향하는 4개의 자계검출소자(4)를 배치하고 있어 각 자계검출소자(4)는 정확한 정현파신호를 검출할 수 있다.
1회전의 절대위치를 검출한 바 1회전을 32000분할된 절대위치신호가 얻어져 극히 높은 분해능을 얻을 수 있다.
또한 회전체(1)의 편심량이 극히 작은 경우는 자계검출소자(4)를 서로 둘레방향으로 90도 간격으로 고정된 A상 검출소자와 B상 검출소자의 2개의 검출소자에 의해 sinθ과 cosθ의 파형의 검출신호를 얻도록 해도 좋다.
또 이와같이 A상 검출소자와 B상 검출소자의 2개의 검출소자를 마련할 경우는 회전체(1)의 회전방향과 증감위치를 검출할 수 있지만 회전방향을 구할 필요가 없을 때는 하나의 검출소자로 정현파신호를 얻도록 해도 좋다.
또 상기 실시예에서 자계검출소자는 홀효과소자를 이용한 예에 대해 설명했지만 자기저항소자를 사용해도 같은 효과를 얻을 수 있다.
또 상기 실시예에서는 중공 원판형상의 영구자석(2)을 이용한 예에 대해 설명했지만 영구자석(2)은 가운데가 차있는 원판형상으로 형성해도 같은 효과를 얻을 수 있다.
또 상기 영구자석은 일방향으로 자화하는 것이 용이한 직선이방성 자석으로 구성하여 자화효율을 높여도 좋다.
또 고정체(3)를 자성체에 의해 형성함으로써 검출신호의 출력을 크게 또한 고주파성분을 작게함과 동시에 외부로부터의 자기노이즈를 저감하여 S/N비를 높이도록 해도 좋다.
(제 2실시예)
도 6은 본 발명의 제 2실시예를 도시하는 자기식 엔코더장치의 사시도이다.
본 실시예는 링형상의 고정체(3)가 둘레방향으로 4분할되어 그 간극부에 자계검출소자(4)를 배치한 것이다. 다른 구조 및 각도검출방법은 제 1실시예와 같다. 고정체(3)는 링형상의 자성체인 철을 4개로 등분할하여 4곳의 간극이 생기도록 하고 있다. 이 간극부에 자계검출소자(4)를 배치하여 제 1실시예와 같이 둘레방향으로 90도 간격으로 부착하고 있다. 고정체(3)의 외경은 5mm이다. 영구자석(2)은 직경이 3mm, 두께가 1mm의 원판형상으로 회전체(1) 회전축의 단면에 접착고정된다. 자계검출소자(4)는 자기저항소자를 이용했다.
또한 본 실시예에서는 고정체(3)의 자성체로서 철을 이용했지만 이에 한정되는 것은 아니고 퍼멀로이, 펠라이트 등의 자성체이면 무엇이라도 좋다. 또 영구자석(2)은 회전체(1) 회전축의 단면에 접착고정했지만 회전축을 영구자석(2)에 관통시킨 구조라도 좋다.
도 7은 엔코더의 자속분포를 도시한 도면이다. 자속은 자성체에 집중되어 통과하고 있어, 간극내의 자계검출소자를 배치하는 위치에서의 자속밀도가 종래의 자석과 자성체 사이의 간극부보다 크다.
동작은 제 1실시예와 같으며 회전체(1)를 회전시키면 각 상의 검출소자는 도 8에 도시하는 신호를 출력한다. 도 8은 A1,A2,B1,B2의 각 상 검출소자(41)(42)(43)(44)의 출력신호이다. 회전각 위치에 따른 정현파형상의 자속밀도를 검출한다. 신호출력은 도 2와 같이 신호처리회로로 처리되어 회전각도가 검출된다. 1회전의 절대위치를 검출한 바 1회전을 64000분할한 절대위치신호가 얻어지고, 종래방식보다 2배로 정밀도가 향상되었다. 또 종래기술에 있어 자기검출소자 배치간극이 불필요하게 되므로 자기엔코더의 외경이 2/3로 되어 소형화가 가능하였다.
이와같이 본 실시예에서는 다음의 효과가 있다.
① 자성체가 연속되지 않고 간극이 있기 때문에 자성체의 자기저항이 커지고, 자기포화되지 않기 때문에 정확한 정현파신호를 얻을 수 있다.
② 발자체인 자석으로부터의 자속은 자성체에 집중되어 통과하므로 자속의 흐트러짐이 있어도 그 흐트러짐은 완화된다. 이 평균화된 자속을 검출하기 위해 자석의 형상오차나 자석의 배치오차의 영향을 받기 어렵다. 따라서 제작원가도 적고 조립도 용이하게 된다.
③ 종래기술에 있어 자기검출소자 배치간극이 불필요하므로 자성체와 간극간 거리를 짧게 할 수 있어 엔코더를 더욱 더 소형화할 수 있다.
④ 자계검출소자를 배치하는 위치에서의 자속밀도는 종래기술의 자석과 자성체의 간극부보다 크기 때문에 검출신호가 커진다.
⑤ 그 때문에 자석외경을 더욱 작게 할 수 있고 또 자석과 자성체 사이의 거리를 작게할 수 있어 엔코더를 더욱 소형화할 수 있다.
⑥ 저원가의 에너지곱이 작은 자석을 이용해도 충분한 검출신호가 얻어지므로 저원가의 엔코더를 얻을 수 있다.
(제 3실시예)
도 9는 제 3실시예를 도시하는 자기식 엔코더장치의 전체 구성을 도시하는 도면으로 (a)는 사시도, (b)는 자계검출소자의 확대사시도이다. 본 실시예는 자계검출소자 한개로 둘레방향과 지름방향의 자계를 동일위치에서 동시에 검출하는 구성이다.
영구자석(2)은 제 1실시예와 같지만 직선이방성의 자석을 이용하고 있다. 즉 재질은 펠라이트계 자석, Sm-Co계 자석, Nd-Fe-B계 자석 또는 상기 각종 자석을 고분자 재료로 결합한 분산형 복합자석에 의해 형성하고, 회전체(1)의 회전축에 수직방향과 평행하게 일방향으로 자화된다. 고정체(3)는 비자성재료의 스테인레스강을 링형상으로 한 것이다. 고정체(3)는 자성체를 이용해도 좋다. 자계검출소자(4)는 고정체(3)의 내측에서 영구자석(2)과 간극을 통해 대향하도록 고정된 것으로 도 9(b)와 같이 지름방향 자계의 자속밀도 Br을 검출하는 지름방향 감자부(45)와 둘레방향 자계의 자속밀도 Bθ를 검출하는 둘레방향 감자부(46)를 내장하고 있다.
신호처리회로(5)는 자계검출소자(4)로부터 출력되는 지름방향 자계의 자속밀도 Br신호에 대응하는 출력 Vr 및 자계의 자속밀도 Bθ 신호에 대응하는 출력 Vθ을 처리한다. 신호처리회로(5)에는 도 10과 같이 신호 Vr 및 Vθ로부터 arctan(Vθ/Vr)의 연산과 Vr, Vθ의 플러스, 마이너스를 고려하여 회전각도를 연산하는 각도연산회로(51)를 배치하고 있다.
이와같은 구성에 의해 영구자석(2)에서 도 11과 같은 자계가 형성되고, 자계검출소자(4)에 의해 지름방향 및 둘레방향의 자속밀도 Br,Bθ가 검출된다. 회전체(1)가 1회전하면 자계검출소자(4)는 도 12와 같은 회전각 위치에 따른 정현파형상의 자속밀도 Br,Bθ를 검출하고, 신호처리회로(5)에는 정현파형상의 자속밀도 Br,Bθ에 따른 출력 Vr,Vθ이 입력된다.
여기서 도 9(b)와 같이 자계검출소자(4)의 지름방향 감자부(45)와 둘레방향 감자부(46)의 검출감도 및 배치위치에는 약간의 차이가 있기 때문에 출력 V'θ과 V'r의 진폭치는 약간 다르다. 진폭비를 α로 하면,
α= (V'θ/V'r)가 된다.
그래서 양 출력의 진폭을 같게 하기 위해
Vr = αX V'r, Vθ= V'θ으로 한다.
이로부터 회전각도(θ)는 다음 식에 의해 구해진다.
θ= arctan(Vθ/Vr)
또한 도 10에 도시한 진폭기(54) 및 (55)를 신호처리회로(5) 안에 배치하고, 증폭기(54)의 게인을 진폭비 α에 따라 조정하여 출력 V'r에서 출력 Vr를 얻으며 각도연산회로(56)에 입력하여 각도신호 θ를 얻는다.
이와같은 구성에 의해 회전체(1)가 편심하여 회전했다고 해도 회전각도 θ는 자석의 중심과 자계검출소자 사이의 거리 r의 함수가 아니므로 정밀한 회전위치가 구해진다.
또 자기엔코더내부의 온도분포가 위치에 따라 달라도 지름방향 감자부(45)와 둘레방향 감자부(46)는 대략 동일한 위치에 있으므로 자계검출소자(4)의 온도특성에는 차가 없어지고 회전각도 θ에는 온도분포의 영향이 없어진다.
예를들면 직경이 3mm, 두께가 1mm의 영구자석(2)의 외주에 홀효과소자로 이루어지는 자계검출소자(4)를 배치하여, 1회전의 절대위치신호를 검출했다.
도 12는 고정밀한 기준엔코더(분해능 100만 펄스/회전)의 회전각도와 검출각도의 관계 및 검출오차를 나타내고 있다.
이것에 의하면 기준엔코더와 본 발명의 자기식 엔코더의 최대오차가 0.1도 이하임을 알 수 있다.
이것으로 360도/0.1도 = 3600
이 되고, 1회전을 3600분할할 수 있게 된다. 따라서 1회전을 3600분할한 극히 높은 분해능을 나타내는 절대위치신호를 얻을 수 있다.
상기 실시예에서 자계검출소자는 홀효과소자를 사용한 예에 대해 설명했지만 자기저항소자를 사용해도 같은 효과를 얻을 수 있다.
또 상기 영구자석은 일방향으로 자화하는 것이 용이한 직선이방성 자석으로 구성하면 높은 자속밀도가 얻어져 검출정밀도를 높일 수 있다.
이와같이 본 실시예에서는 다음의 효과가 있다.
(1) 회전체가 편심하여 회전하는 것을 고려하여 차동신호를 얻고자 해도 자계검출소자의 수가 늘어나지 않아 저가로 된다.
(2) 90도 또는 180도의 위상차가 정확하게 나오도록 각 자계검출소자를 정확하게 설치할 필요가 없기 때문에 조립조정을 용이하게 단시간에 행할 수 있다.
(3) 자기식 엔코더의 내부에서 온도분포가 달라도 자계검출소자가 하나이므로 특성에 오차가 생기는 경우가 없어 회전위치의 검출정밀도가 향상된다.
본 발명은 구조가 간단하고 극히 분해능이 높은 고정밀도로 소형의 자기식 엔코더에 적합하다. 또 온도분포의 영향이나 제작오차의 영향을 잘 받지 않기 때문에 신뢰성이 높고, 저가의 자기식 엔코더장치에 적합하다.

Claims (8)

  1. 회전체에 고정된 원판형상의 영구자석과, 상기 영구자석의 외주측에 간극을 통해 대향하고 고정체에 부착된 자계검출소자와, 상기 자계검출소자로부터의 신호를 처리하는 신호처리회로를 갖춘 자기식 엔코더장치에 있어서, 상기 영구자석은 상기 회전체의 축과 수직방향의 일방향으로 자화된 것으로서, 상기 고정체는 링형상의 자성체로 형성된 것을 특징으로 하는 자기식 엔코더장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 고정체는 둘레방향으로 간극을 갖고, 상기 간극에 상기 자계검출소자를 배치한 것을 특징으로 하는 자기식 엔코더장치.
  4. 제 1항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 자계검출소자는 서로 전기각으로 90도 위상이 어긋난 2개 한쌍의 자계검출소자를 서로 180도 위상을 어긋나게한 위치에 2쌍 배치하고, 상기 신호처리회로는 서로 대향하는 자계검출소자 사이의 차동신호를 처리하는 차동앰프를 배치하며, 상기 회전체 위치의 절대치를 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 자기식 엔코더장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 자계검출소자는 상기 회전체의 축에 대해 지름방향 자계를 검출하는 지름방향 감자부와, 상기 회전체 축에 대해 둘레방향 자계를 검출하는 둘레방향 감자부를 근접하여 배치한 것으로 상기 자계검출소자를 최소한 한 개 배치한 것을 특징으로 하는 자기식 엔코더장치.
  6. 제 1항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 자계검출소자는 홀효과소자 또는 자기저항소자를 이용한 것을 특징으로 하는 자기식 엔코더장치.
  7. 제 1항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 영구자석은 펠라이트계 자석, Sm-Co계 자석, Nd-Fe-B계 자석 또는 상기 각종 자석을 고분자 재료로 결합한 분산형 복합자석 중 어느 하나에 의해 형성한 것을 특징으로 하는 자기식 엔코더장치.
  8. 제 1항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 영구자석은 직선이방성(直線異方性)인 것을 특징으로 하는 자기식 엔코더장치.
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