JP2008014671A - 磁気式エンコーダ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】製作や組立に要するコストが低く、しかも、ノイズに強く信頼性の高い中空構造タイプの磁気式エンコーダ装置を提供する。
【解決手段】回転体1の中心軸と垂直方向の一方向に平行に磁化されたリング状の永久磁石2をリング状の回転体1に内接して固定し、永久磁石2の内周側に空隙を介して対向しリング状の固定体3を配置し、固定体3上の1箇所に、永久磁石2の径方向磁束を検出する磁界検出素子と周方向磁束を検出する磁界検出素子を近接して配置した磁界検出部4を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】回転体1の中心軸と垂直方向の一方向に平行に磁化されたリング状の永久磁石2をリング状の回転体1に内接して固定し、永久磁石2の内周側に空隙を介して対向しリング状の固定体3を配置し、固定体3上の1箇所に、永久磁石2の径方向磁束を検出する磁界検出素子と周方向磁束を検出する磁界検出素子を近接して配置した磁界検出部4を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、回転体の回転位置を検出する磁気式エンコーダ装置の、特に中空部を有する磁気式エンコーダ装置に関する。
ロボットなどに用いられるアクチュエータは、パワー線や信号線を通すために、中空タイプのアクチュエータが用いられる。このため、回転体の回転角度を検出するエンコーダも中空タイプのエンコーダが用いられる。
従来の中空エンコーダとして平行に磁化されたリング状の永久磁石を回転体の内周側に固定し、この永久磁石からの磁界を固定体に固定した磁界検出素子で検出し、回転体の絶対位置を検出するようにした磁気式エンコーダ装置が開示されている(例えば特許文献1参照)。
従来の中空エンコーダとして平行に磁化されたリング状の永久磁石を回転体の内周側に固定し、この永久磁石からの磁界を固定体に固定した磁界検出素子で検出し、回転体の絶対位置を検出するようにした磁気式エンコーダ装置が開示されている(例えば特許文献1参照)。
図9は、従来の磁気式エンコーダの構造図である。
図において、1は磁性体からなる回転体、2は回転体1の内周側に固定したリング状の永久磁石で、回転体1の中心軸に垂直平面内で一方向に平行に磁化されている。3は中空部を有する磁性体からなる固定体である。また、40は固定体3に互いに周方向に90度間隔で取り付けられた4個の磁界検出素子で、永久磁石2の外周面に対して空隙を介して対向し、かつ互いに機械角で90度位相をずらしてA1相検出素子41とB1 相検出素子42を設け、さらにA1 相検出素子41に対して機械角で180度位相をずらしてA2 相検出素子43を、B1相検出素子42に対して機械角で180度位相をずらしてB2 相検出素子44を設けてある。
磁界検出素子41〜44は、回転体1の回転に応じて永久磁石2が発生する磁界の変化を検出する。この検出信号を信号処理回路5で回転角度に変換し、回転体1の絶対値位置を検出している。
WO2005/040729
図において、1は磁性体からなる回転体、2は回転体1の内周側に固定したリング状の永久磁石で、回転体1の中心軸に垂直平面内で一方向に平行に磁化されている。3は中空部を有する磁性体からなる固定体である。また、40は固定体3に互いに周方向に90度間隔で取り付けられた4個の磁界検出素子で、永久磁石2の外周面に対して空隙を介して対向し、かつ互いに機械角で90度位相をずらしてA1相検出素子41とB1 相検出素子42を設け、さらにA1 相検出素子41に対して機械角で180度位相をずらしてA2 相検出素子43を、B1相検出素子42に対して機械角で180度位相をずらしてB2 相検出素子44を設けてある。
磁界検出素子41〜44は、回転体1の回転に応じて永久磁石2が発生する磁界の変化を検出する。この検出信号を信号処理回路5で回転角度に変換し、回転体1の絶対値位置を検出している。
特許文献1で開示された中空エンコーダは、発磁体である永久磁石が偏心して回転する場合に発生する角度誤差を低減するために、A相、B相の差動検出を行っている。そのため4個の磁界検出素子が必要となる。このため、磁界検出素子数が増え、磁界検出素子を駆動する端子や信号を検出する端子が増えるとともに、リード線もそれぞれの磁界検出素子に対して駆動側2本と出力側2本の合計4本が必要であり、磁界検出素子全体では16本と多くのリード線が必要になるという問題があった。このため製作や組立に要するコストが高くなる問題があった。また磁界検出素子の駆動端子や信号検出端子およびリード本数が増えるため、ノイズに弱く信頼性を低下させる問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、製作や組立に要するコストが低く、しかも、ノイズに強く信頼性の高い磁気式エンコーダ装置を提供することを目的とする。
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項1に記載の発明は、リング状の回転体に内接して固定され、前記回転体の中心軸と垂直方向の一方向に平行に磁化されたリング状の永久磁石と前記永久磁石の内周側に空隙を介して対向しリング状の固定体に取り付けられた磁界検出素子とを備えた磁気式エンコーダと、前記磁界検出素子からの信号を処理する信号処理回路とを備えた磁気式エンコーダ装置において、前記永久磁石の径方向磁束を検出する径方向磁界検出素子と周方向磁束を検出する周方向磁界検出素子を近接して配置し磁界検出部を形成したことを特徴としている。
また、請求項2に記載の発明は、前記径方向磁界検出素子と前記周方向磁界検出素子を径方向に近接して配置したことを特徴としている。
また、請求項3に記載の発明は、前記径方向磁界検出素子と前記周方向磁界検出素子を周方向に近接して配置したことを特徴としている。
また、請求項4に記載の発明は、前記磁界検出部は、径方向磁束を検出する前記磁界検出素子と周方向磁束を検出する前記磁界検出素子を半導体技術により形成したものであることを特徴としている。
また、請求項5に記載の発明は、前記回転体は磁性体からなることを特徴としている。
また、請求項6に記載の発明は、前記固定体は磁性体からなることを特徴としている。
請求項1に記載の発明は、リング状の回転体に内接して固定され、前記回転体の中心軸と垂直方向の一方向に平行に磁化されたリング状の永久磁石と前記永久磁石の内周側に空隙を介して対向しリング状の固定体に取り付けられた磁界検出素子とを備えた磁気式エンコーダと、前記磁界検出素子からの信号を処理する信号処理回路とを備えた磁気式エンコーダ装置において、前記永久磁石の径方向磁束を検出する径方向磁界検出素子と周方向磁束を検出する周方向磁界検出素子を近接して配置し磁界検出部を形成したことを特徴としている。
また、請求項2に記載の発明は、前記径方向磁界検出素子と前記周方向磁界検出素子を径方向に近接して配置したことを特徴としている。
また、請求項3に記載の発明は、前記径方向磁界検出素子と前記周方向磁界検出素子を周方向に近接して配置したことを特徴としている。
また、請求項4に記載の発明は、前記磁界検出部は、径方向磁束を検出する前記磁界検出素子と周方向磁束を検出する前記磁界検出素子を半導体技術により形成したものであることを特徴としている。
また、請求項5に記載の発明は、前記回転体は磁性体からなることを特徴としている。
また、請求項6に記載の発明は、前記固定体は磁性体からなることを特徴としている。
請求項1に記載の発明によると、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子を近接して配置し磁界検出部を形成したので、磁界検出部の個数が4個から1個に、磁界検出素子数は4個から2個になり、磁界検出素子の駆動端子や信号検出端子およびリード本数を1/2以下にすることができ、製作や組立に要するコストを低減することができる。また耐ノイズ性に優れた高信頼性の中空構造タイプのエンコーダを提供できる。
また、請求項2に記載の発明によると、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子を径方向に近接して配置すれば、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子の検出する磁束の位相差を、精度よく電気角で90度にすることができる。それゆえ角度検出誤差が小さく、高精度の中空構造タイプのエンコーダを提供できる。
また、請求項3に記載の発明によると、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子を周方向に近接して配置すれば、磁界検出部を配置する径方向のスペース(ギャップ長)を小さくすることができるので大きい検出信号が得られる。従って、耐ノイズ性に優れた高信頼性の中空構造タイプのエンコーダを提供できる。
また、請求項4に記載の発明によると、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子を半導体技術により形成すれば、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子を極めて接近して磁界検出部を構成できるので、さらに高精度の小型の中空構造のエンコーダを提供できる。さらに、ギャップ長を小さくすることができるので耐ノイズ性に優れた高信頼性の中空構造タイプのエンコーダを提供できる。
また、請求項2に記載の発明によると、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子を径方向に近接して配置すれば、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子の検出する磁束の位相差を、精度よく電気角で90度にすることができる。それゆえ角度検出誤差が小さく、高精度の中空構造タイプのエンコーダを提供できる。
また、請求項3に記載の発明によると、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子を周方向に近接して配置すれば、磁界検出部を配置する径方向のスペース(ギャップ長)を小さくすることができるので大きい検出信号が得られる。従って、耐ノイズ性に優れた高信頼性の中空構造タイプのエンコーダを提供できる。
また、請求項4に記載の発明によると、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子を半導体技術により形成すれば、径方向磁界検出素子と周方向磁界検出素子を極めて接近して磁界検出部を構成できるので、さらに高精度の小型の中空構造のエンコーダを提供できる。さらに、ギャップ長を小さくすることができるので耐ノイズ性に優れた高信頼性の中空構造タイプのエンコーダを提供できる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図1は本発明の第1実施例を示す磁気式エンコーダの構造図である。
図において、1は磁性体からなる回転体、2は回転体1の内周側に固定したリング状の永久磁石で、回転体1の中心軸の垂直方向に一方向に磁化されている。3は中空部を有する磁性体からなる固定体である。また、4は磁界検出部で永久磁石2と空隙部を介して固定体3上の一個所に固定されている。なお、図中の点線は磁束線を示している。
図において、1は磁性体からなる回転体、2は回転体1の内周側に固定したリング状の永久磁石で、回転体1の中心軸の垂直方向に一方向に磁化されている。3は中空部を有する磁性体からなる固定体である。また、4は磁界検出部で永久磁石2と空隙部を介して固定体3上の一個所に固定されている。なお、図中の点線は磁束線を示している。
エンコーダの外径は50mm、中空径は20mmである。永久磁石は外径40mmの直線異方性を有するSmCo系のリング状磁石を用いた。また回転体、固定体の材質はそれぞれSS41、積層鋼板S14を用いた。また、磁界検出部4の磁界検出素子にはホール素子を用いた。
図2は本実施例における磁界検出部の磁界検出素子の配置図である。
径方向磁束を検出するホール素子45(径方向磁界検出素子)と周方向磁束を検出するホール素子46(周方向磁界検出素子)を、径方向に2mm離して配置し磁界検出部4を構成した。図示しないがホール素子45および46からのリード線は、それぞれの磁界検出素子に対して駆動側2本と出力側2本の合計4本で、2個の磁界検出素子全体では8本となり、従来の1/2となる。
図2は本実施例における磁界検出部の磁界検出素子の配置図である。
径方向磁束を検出するホール素子45(径方向磁界検出素子)と周方向磁束を検出するホール素子46(周方向磁界検出素子)を、径方向に2mm離して配置し磁界検出部4を構成した。図示しないがホール素子45および46からのリード線は、それぞれの磁界検出素子に対して駆動側2本と出力側2本の合計4本で、2個の磁界検出素子全体では8本となり、従来の1/2となる。
次に本発明の磁気式エンコーダ装置の動作について述べる。
図3は、本発明の磁気式エンコーダ装置の信号処理回路のブロック図である。
図において、51、52は増幅器、53は規格化回路、54は角度演算回路である。
図4は本実施例における径方向および周方向磁界検出素子の検出する径方向検出磁束密度および周方向検出磁束密度を示すグラフである。
図3は、本発明の磁気式エンコーダ装置の信号処理回路のブロック図である。
図において、51、52は増幅器、53は規格化回路、54は角度演算回路である。
図4は本実施例における径方向および周方向磁界検出素子の検出する径方向検出磁束密度および周方向検出磁束密度を示すグラフである。
回転体1が回転すると、永久磁石2も回転し、図4に示すような1回転に対し1サイクルの径方向および周方向磁束密度波形を発生する。径方向磁束を検出するホール素子45と、周方向磁束を検出するホール素子46からは回転体1の1回転に対し1サイクルの正弦波状の信号VaおよびVbが出力される。A相信号VaとB相信号Vbは互いに90度位相の異なる信号となる。
ホール素子45およびホール素子46で検出された磁界は電気信号に変換され、図3に示す増幅器51および52でそれぞれ増幅される。この増幅された信号は規格化回路53に入力され、信号の振幅が規格化されたA相信号VAおよびB相信号VB信号に変換される。規格化処理後の信号波形を図5に示す。A相信号VAおよびB相信号VBは角度演算回路54に入力され、arctan(VA/VB)の演算処理により角度信号θが得られる。
次に本発明の磁気式エンコーダ装置の特性について述べる。
本発明のエンコーダと基準エンコーダ(分解能105万PPR)を結合し、外部から低速で回転させ、本発明のエンコーダ装置の検出角度と基準エンコーダの検出角度を測定、比較評価した。
本発明のエンコーダと基準エンコーダ(分解能105万PPR)を結合し、外部から低速で回転させ、本発明のエンコーダ装置の検出角度と基準エンコーダの検出角度を測定、比較評価した。
図6は、回転体1が回転したときの、角度信号を示すグラフである。また、図7は角度信号と基準エンコーダの検出角度との差(検出角度誤差)を示すグラフである。
図7から角度誤差0.08度、精度12bitの高精度な性能を有することがわかった。
なお、実施例はSmCo系磁石で説明したが、本発明は、磁石の材質によらず、NeFeB系磁石、ボンド磁石やフェライト磁石においても同様な効果がある。また磁界検出素子としてはホール素子を用いたが、磁気抵抗素子を用いても同様な効果がある。
図7から角度誤差0.08度、精度12bitの高精度な性能を有することがわかった。
なお、実施例はSmCo系磁石で説明したが、本発明は、磁石の材質によらず、NeFeB系磁石、ボンド磁石やフェライト磁石においても同様な効果がある。また磁界検出素子としてはホール素子を用いたが、磁気抵抗素子を用いても同様な効果がある。
図8は本発明の第2実施例を示す磁界検出部の磁界検出素子の配置図である。
図に示すように径方向磁界検出素子45および周方向磁界検出素子46をギャップ内で周方向に近接して並べて配置し磁界検出部4を構成した。磁界検出素子45、46の配置方法を除けば、他の構造および信号処理回路は実施例1と同じである。
図に示すように径方向磁界検出素子45および周方向磁界検出素子46をギャップ内で周方向に近接して並べて配置し磁界検出部4を構成した。磁界検出素子45、46の配置方法を除けば、他の構造および信号処理回路は実施例1と同じである。
第1実施例では径方向に近接して並べてホール素子45、46を配置するので、磁気検出部4を配置するスペースを確保するために4mmのギャップ長が必要であった。しかし本実施例では、ホール素子45と46を周方向に配置し磁気検出部4を構成したので、ギャップ長2mmにすることができ、そのため出力信号を大きくすることができる。それゆえSN比が大きくなり耐ノイズ性が向上した。
図示しないが第3実施例は、径方向磁界検出素子45および周方向磁界検出素子46からなる磁界検出部を半導体技術により形成したものである。他の構造および処理回路は実施例1と同じである。
半導体技術により、径方向と周方向の2軸分の磁界検出素子を100μm角に形成できるので、実施例1の半分以下のスペースで磁界検出部を構成できる。そのためギャップ長を小さくでき信号出力も大きくなる。また磁界検出素子45と46の駆動端子2本と信号出力端子2本の内1本を共通化できる。このため実施例1および2では8本のリード数を必要とするのに対し本実施例では5本のリード線で磁界検出部を構成できる。したがって高出力で耐ノイズ性に優れた小型の中空構造のエンコーダを低コストで提供できる。また、磁界検出素子を極めて近接して磁界検出部を構成できるので、高精度で小型の中空構造のエンコーダを提供できる。
本発明は、小型、薄型、低コストで中空構造の磁気式エンコーダ装置を実現できるので、ロボットなどに用いられる中空アクチュエータの回転角度を検出する磁気式エンコーダ装置として適用できる。
1 回転体
2 永久磁石
3 固定体
4 磁界検出素子部
40 磁界検出素子
41 A1相磁界検出素子
42 A2相磁界検出素子
43 B1相磁界検出素子
44 B2相磁界検出素子
45 径方向磁界検出素子
46 周方向磁界検出素子
5 信号処理回路
51、52 増幅器
53 振幅調整回路
54 角度演算回路
2 永久磁石
3 固定体
4 磁界検出素子部
40 磁界検出素子
41 A1相磁界検出素子
42 A2相磁界検出素子
43 B1相磁界検出素子
44 B2相磁界検出素子
45 径方向磁界検出素子
46 周方向磁界検出素子
5 信号処理回路
51、52 増幅器
53 振幅調整回路
54 角度演算回路
Claims (6)
- リング状の回転体に内接して固定され、前記回転体の中心軸と垂直方向の一方向に平行に磁化されたリング状の永久磁石と前記永久磁石の内周側に空隙を介して対向しリング状の固定体に取り付けられた磁界検出素子とを備えた磁気式エンコーダと、
前記磁界検出素子からの信号を処理する信号処理回路とを備えた磁気式エンコーダ装置において、
前記永久磁石の径方向磁束を検出する径方向磁界検出素子と周方向磁束を検出する周方向磁界検出素子を近接して配置し磁界検出部を形成したことを特徴とする磁気式エンコーダ装置。 - 前記径方向磁界検出素子と前記周方向磁界検出素子を径方向に近接して配置したことを特徴とする請求項1記載の磁気式エンコーダ装置。
- 前記径方向磁界検出素子と前記周方向磁界検出素子を周方向に近接して配置したことを特徴とする請求項1記載の磁気式エンコーダ装置。
- 前記磁界検出部は、前記径方向磁界検出素子と前記周方向磁界検出素子を半導体技術により形成したものであることを特徴とする請求項1記載の磁気式エンコーダ装置。
- 前記回転体は磁性体からなることを特徴とする請求項1記載の磁気式エンコーダ装置。
- 前記固定体は磁性体からなることを特徴とする請求項1記載の磁気式エンコーダ装置。
Priority Applications (1)
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JP2006183702A JP2008014671A (ja) | 2006-07-03 | 2006-07-03 | 磁気式エンコーダ装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010008359A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 回転角検出装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999013296A1 (fr) * | 1997-09-08 | 1999-03-18 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Codeur magnetique |
WO2005040729A1 (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-06 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 磁気式エンコーダ装置およびアクチュエータ |
JP2006047227A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Denso Corp | 回転角度検出装置 |
-
2006
- 2006-07-03 JP JP2006183702A patent/JP2008014671A/ja active Pending
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