JPWO2009157246A1 - 圧電体膜を用いた振動ジャイロ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態におけるリング状振動ジャイロ100の中心的役割を果たす構造体の正面図である。また、図2は、図1のA−A断面図である。
図5は、本実施形態におけるもう一つのリング状振動ジャイロ200の図2に相当する断面図である。本実施形態のリング状振動ジャイロ200は、第1の実施形態における第2シリコン酸化膜50の位置を除き、第1の実施形態のリング状振動ジャイロ100と同一の構成を備える。また、その製造方法は一部を除いて第1の実施形態と同じである。さらに、本実施形態の振動モードは、駆動及び検出に関して第1の実施形態と同様、イン・プレーンのcos2θの振動モードである。従って、第1の実施形態と重複する説明は省略される。
図6は、本実施形態におけるもう一つのリング状振動ジャイロ300の図2に相当する断面図である。本実施形態のリング状振動ジャイロ300は、第1の実施形態における第2シリコン酸化膜50のパターニングを除き、第1の実施形態のリング状振動ジャイロ100と同一の構成を備える。また、その製造方法は一部を除いて第1の実施形態と同じである。さらに、本実施形態の振動モードは、駆動及び検出に関して第1の実施形態と同様、イン・プレーンのcos2θの振動モードである。従って、第1の実施形態と重複する説明は省略される。
Claims (7)
- 円環状又は多角形状の振動体と、
前記振動体を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部と、
前記振動体上に形成されるとともに上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極と、
前記レッグ部上に形成されるとともに、前記上層金属膜及び前記下層金属膜により圧電体膜及び低誘電率の絶縁膜を厚み方向に挟む引き出し電極とを備える
振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、前記振動体が配置される面と平行な面内の振動を検出するための検出電極を含み、
前記検出電極の前記引き出し電極が、前記レッグ部の上面の外縁と内縁との略中央のみに形成される
請求項1に記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、前記振動体が配置される面と平行な面内の振動を励起するための駆動電極を含み、
前記駆動電極の前記引き出し電極が、前記レッグ部の上面の外縁と内縁との略中央のみに形成される
請求項1に記載の振動ジャイロ。 - 前記絶縁膜が、シリコン酸化膜、シリコン酸窒化膜、シリコン窒化膜、フルオロカーボン膜、及びポリイミド膜の群から選ばれる少なくとも1つの絶縁膜である
請求項1に記載の振動ジャイロ。 - 振動体と、前記振動体を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部とを備える振動ジャイロの製造方法であって、
上層金属膜と下層金属膜との間に圧電体膜を厚み方向に挟んだ複数の電極を、円環状又は多角形状の前記振動体の上方にドライエッチングによって形成する工程と、
前記上層金属膜と前記下層金属膜との間に前記圧電体膜と低誘電率の絶縁膜を厚み方向に挟んだ前記複数の電極の引き出し電極を、前記レッグ部の上方にドライエッチングによって形成する工程とを有する
振動ジャイロの製造方法。 - 前記レッグ部の上方に形成される前記圧電体膜上に前記絶縁膜が形成されている
請求項5に記載の振動ジャイロの製造方法。 - 前記引き出し電極は、一部の前記上層金属膜のみ、又はそれに加えて一部の前記絶縁膜をドライエッチングすることにより形成される
請求項5又は請求項6に記載の振動ジャイロの製造方法。
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