JP5632842B2 - 圧電体膜を用いた振動ジャイロ - Google Patents
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Description
(1)Nを2以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,Nとした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された検出電極と、
(3)前述の検出電極からの信号に基づいて前述の二次振動を抑制し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された抑制電極とを有している。
さらに、前述駆動電極の各々は、前述のリング状振動体の前述の平面において、前述のリング状振動体の外周縁から前述の外周縁の近傍に至るまでの領域と、前述のリング状振動体の内周縁から前述の内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、前述の検出電極の各々及び前述の抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前述の駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされている。
(1)Nを2以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,Nとした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された検出電極と、
(3)前述の検出電極からの信号に基づいて前述の二次振動を抑制し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された抑制電極とを有している。
さらに、前述の駆動電極の各々は、前述のリング状振動体の前述の平面において、前述のリング状振動体の外周縁から前述の外周縁の近傍に至るまでの領域と、前述のリング状振動体の内周縁から前述の内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、前述の検出電極の各々及び前述の抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前述の駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされている。
前述のリング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、前述のリング状振動体の前述の平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極とを備えている。加えて、それらの複数の電極は、次の(1)、(2)及び(3)、すなわち、
(1)Nを3以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,N−2とした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された検出電極と、
(3)前述の検出電極からの信号に基づいて前述の二次振動を抑制し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された抑制電極とを有している。
さらに、前述の駆動電極の各々は、前述の駆動電極の各々は、前述のリング状振動体の前述の平面において、前述のリング状振動体の外周縁から前述の外周縁の近傍に至るまでの領域と、前述のリング状振動体の内周縁から前述の内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、前述の検出電極の各々及び前述の抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前述の第1電極配置領域と電気的に接続しないようにされている。
前述のリング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、前述のリング状振動体の前述の平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極とを備えている。それらの複数の電極は、次の(1)、(2)及び(3)、すなわち、
(1)Nを3以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極、Sを0,1,・・・,N−2とした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された検出電極と、
(3)前述の検出電極からの信号に基づいて前述の二次振動を抑制し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された抑制電極とを有している。
さらに、前述の駆動電極の各々は、前述のリング状振動体の前述の平面において、前述のリング状振動体の外周縁から前述の外周縁の近傍に至るまでの領域と、前述のリング状振動体の内周縁から前述の内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、前述の検出電極の各々及び前述の抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前述の第1電極配置領域と電気的に接続しないようにされている。
(1)Nを2以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,Nとした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの第1の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第1検出電極と、
(3)前述の第1の二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の第2の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2検出電極と、
(4)前述の第1検出電極からの信号に基づいて前述の第1の二次振動を抑制し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1抑制電極と、
(5)前述の第2検出電極からの信号に基づいて前述の第2の二次振動を抑制し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+1/4}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2抑制電極とを有している。
さらに、前述の駆動電極の各々は、前述のリング状振動体の前述の平面において、前述のリング状振動体の外周縁から前述の外周縁の近傍に至るまでの領域と、前述のリング状振動体の内周縁から前述の内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、前述の第1検出電極の各々、前述の第2検出電極の各々、前述の第1抑制電極の各々、及び前述の第2抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前述の駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされている。
(4)前述の第1の二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の第2の二次振動を検出し、且つ前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2検出電極。
(4)前述の第2の二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の第1の二次振動を検出し、且つ前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1検出電極。
(1)Nを3以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とし、S=0,1,・・・,N−2とした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの第1の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第1検出電極と、
(3)前述の第1の二次振動に対して{90/(N−1)}°離れた角度の振動軸の第2の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2検出電極と、
(4)前述の第1検出電極からの信号に基づいて前述の第1の二次振動を抑制し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1抑制電極と、
(5)前述の第2検出電極からの信号に基づいて前述の第2の二次振動を抑制し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+1/4}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2抑制電極とを有している。
さらに、前述の駆動電極の各々は、前述のリング状振動体の前述の平面内において、前述のリング状振動体の外周縁から前述の外周縁の近傍に至るまでの領域と、前述のリング状振動体の内周縁から前述の内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前述の第1検出電極の各々、前述の第2検出電極の各々、前述の第1抑制電極の各々、及び前述の第2抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前述の第1電極配置領域と電気的に接続しないようにされている。
前述のリング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、前述のリング状振動体の前述の平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極とを備えている。それらの複数の電極は、次の(1)、すなわち、
(1)Nを2以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極
を有しており、前述の複数の電極は、次の(2)と(3)とのうちの少なくともいずれか又は両方、すなわち、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,Nとした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの第1の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1検出電極と、
(3)前述の第1の二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの第2の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された、前述の第1検出電極とは異なる第2検出電極と
のうちのいずれか又は両方を有しており、前述の複数の電極は、次の(4)及び(5)、すなわち、
(4)M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの、前述の一次振動の振動軸から(90/N)°離れた角度の振動軸を持つ第3の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第3検出電極と、
(5)前述の第3検出電極からの信号に基づいて前述の二次振動を抑制し、M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前述の基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された抑制電極とを有している。
さらに、前述の駆動電極の各々は、前述のリング状振動体の前述の平面において、前述のリング状振動体の外周縁から前述の外周縁の近傍に至るまでの領域と、前述のリング状振動体の内周縁から前述の内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前述の第1検出電極の各々、前述の第2検出電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前述の駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされており、
前述の第3検出電極の各々、及び前述の抑制電極の各々は、第1電極配置領域に配置されるとともに、前述の駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされている。
前述のリング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、前述のリング状振動体の前述の平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極とを備えている。それらの複数の電極は、次の(1)、すなわち、
(1)Nを3以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前述のリング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極
を有しており、前述の複数の電極は、次の(2)と(3)とのうちの少なくともいずれか又は両方、すなわち、
(2)前述の駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,N−2とした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの第1の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1検出電極と、
(3)前述の第1の二次振動に対して{90/(N−1)}°離れた角度の振動軸の、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの第2の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された、前述の第1検出電極とは異なる第2検出電極と
のうちの少なくともいずれか又は両方を有しており、前述の複数の電極は、次の(4)及び(5)、すなわち、
(4)M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前述のリング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの、前述の一次振動の振動軸から(90/N)°離れた角度の振動軸を持つ第3の二次振動を検出し、前述の基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第3検出電極と、
(5)前述の第3検出電極からの信号に基づいて前述の二次振動を抑制し、M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前述の基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前述の基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された抑制電極と
を有している。
さらに、前述の駆動電極の各々は、前述のリング状振動体の前述の平面において、前述のリング状振動体の外周縁から前述の外周縁の近傍に至るまでの領域と、前述のリング状振動体の内周縁から前述の内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前述の第1検出電極の各々、前述の第2検出電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前述の駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされており、
前述の第3検出電極の各々、及び前述の抑制電極の各々は、第1電極配置領域に配置されるとともに、前述の駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされている。
(8)L=0,1,・・・,2N−1とした場合に、前記基準駆動電極から円周方向に(180/N)×{L+(1/2)}°離れた角度以外の角度に配置された一群のモニタ電極。
11,11a,11b リング状振動体
12 交流電源
13a 駆動電極
13b,13c 第1検出電極
13d,13e 第2検出電極
13f,13g 第3検出電極
13h モニタ電極
13j,13k 第1抑制電極
13m,13n 第2抑制電極
13p,13q 第3抑制電極
14 引き出し電極
15 レッグ部
16 固定電位電極(グラウンド電極)
17 電極パッド用固定端部
18 電極パッド
19 支柱
20 シリコン酸化膜
30 下層金属膜
40 圧電体膜
50 上層金属膜
60 固定端
62,63,64 フィードバック制御回路
100,110,120,300,310,400,500,600,610,620,700,720,740,760,780,900,910,920,1000
リング状振動ジャイロ
図1は、本実施形態における3軸の角速度を測定するリング状振動ジャイロ100の中心的役割を果たす構造体の正面図である。図2は、図1のA−A断面図である。なお、説明の便宜上、図1には、X軸及びY軸が表記されている。
次に、図4によって、第1の実施形態の変形例(1)について説明する。図4は、3軸の角速度を測定するリング状振動ジャイロ110の中心的役割を果たす構造体の正面図である。
次に、図5によって、第1の実施形態の変形例(2)について説明する。図5は、3軸の角速度を測定するリング状振動ジャイロ120の中心的役割を果たす構造体の正面図である。本変形例においては、X、Y、Z軸の周りの角速度が与えられたときに発生する二次振動を抑制するために抑制電極を用いる。
<第1の実施形態の変形例(3)>
図6は、第1の実施形態の一部を変形したリング状振動ジャイロ300の中心的役割を果たす構造体の正面図である。
図7は、第1の実施形態の一部を変形したリング状振動ジャイロ310の中心的役割を果たす構造体の正面図である。
本実施形態のリング状振動ジャイロ310では、本実施形態のリング状振動ジャイロ300と同様にY軸周りの角速度の検出におけるS/N比と応答性の両立に加え、X軸周りの角速度の検出においても、S/N比と応答性を両立させることができる。
図8は、第1の実施形態の一部を変形したリング状振動ジャイロ400の中心的役割を果たす構造体の図2に相当する断面図である。
上述の第1の実施形態及びその変形例(1)乃至(5)では、3軸の角速度を検出し得る振動ジャイロの構造が説明され、1軸、2軸および3軸のまわりの角速度に関する二次振動が抑制されるような抑制電極を備えているが、2軸又は1軸の角速度検出のための各検出電極の配置も第1の実施形態から導き出される。
図9は、第1の実施形態の一部を変形したリング状振動ジャイロ500の中心的役割を果たす構造体の正面図である。また、図10は、図9のB−B断面図である。
図11は、本実施形態におけるもう一つの3軸の角速度を測定するリング状振動ジャイロ600の中心的役割を果たす構造体の正面図である。
次に、図12によって、第2の実施形態の変形例(1)について説明する。図12は、3軸の角速度を測定するリング状振動ジャイロ610の中心的役割を果たす構造体の正面図である。
次に、図13によって、第2の実施形態の変形例(2)について説明する。図13は、3軸の角速度を測定するリング状振動ジャイロ620の中心的役割を果たす構造体の正面図である。本変形例においては、X、Y、Z軸の周りの角速度が与えられたときに発生する二次振動を抑制するために抑制電極を用いる。
上記第1の実施形態のより好ましい実施形態を第3の実施形態として図15乃至図18を用いて説明する。
図15は、本実施形態における3軸の角速度を測定するリング状振動ジャイロ900の中心的役割を果たす構造体の正面図である。
第2の実施形態は、上述の第1の実施形態の各変形例と同様の変形例が適用され得る。従って、それぞれの構成による有利な効果が奏される。
Claims (19)
- 一様な平面を備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、
前記リング状振動体の前記平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極と
を備え、前記複数の電極は、次の(1)、(2)及び(3)、すなわち、
(1)Nを2以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,Nとした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された検出電極と、
(3)前記検出電極からの信号に基づいて前記二次振動を抑制し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された抑制電極と、
前記駆動電極、前記検出電極、及び前記抑制電極の各々に電気的に接続し、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む、前記レッグ部の上方に形成される各々の引き出し電極と、を有しており、
前記駆動電極の各々は、前記リング状振動体の前記平面において、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域と、前記リング状振動体の内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前記検出電極の各々及び前記抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされ、かつ
演算回路によって、前記検出電極から出力される信号の差分を算出する、
振動ジャイロ。 - 一様な平面を備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、
前記リング状振動体の前記平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極と
を備え、前記複数の電極は、次の(1)、(2)及び(3)、すなわち、
(1)Nを2以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,Nとした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された検出電極と、
(3)前記検出電極からの信号に基づいて前記二次振動を抑制し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された抑制電極と、
前記駆動電極、前記検出電極、及び前記抑制電極の各々に電気的に接続し、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む、前記レッグ部の上方に形成される各々の引き出し電極と、を有しており、
前記駆動電極の各々は、前記リング状振動体の前記平面において、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域と、前記リング状振動体の内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前記検出電極の各々及び前記抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされ、かつ
演算回路によって、前記検出電極から出力される信号の差分を算出する、
振動ジャイロ。 - 一様な平面を備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、
前記リング状振動体の前記平面又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極と
を備え、前記複数の電極は、次の(1)乃至(5)、すなわち、
(1)Nを2以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,Nとした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの第1の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第1検出電極と、
(3)前記第1の二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の第2の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2検出電極と、
(4)前記第1検出電極からの信号に基づいて前記第1の二次振動を抑制し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1抑制電極と、
(5)前記第2検出電極からの信号に基づいて前記第2の二次振動を抑制し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+1/4}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2抑制電極と、
前記駆動電極、前記第1検出電極、前記第2検出電極、前記第1抑制電極、及び前記第2抑制電極の各々に電気的に接続し、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む、前記レッグ部の上方に形成される各々の引き出し電極と、を有しており、
前記駆動電極の各々は、前記リング状振動体の前記平面において、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域と、前記リング状振動体の内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前記第1検出電極の各々、前記第2検出電極の各々、前記第1抑制電極の各々、及び前記第2抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされ、かつ
演算回路によって、前記第1検出電極から出力される信号の差分及び前記第2検出電極から出力される信号の差分を算出する、
振動ジャイロ。 - 前記検出電極を第1検出電極とし、前記抑制電極を第1抑制電極とし、前記二次振動を第1の二次振動としたときに、前記複数の電極が、次の(4)、すなわち、
(4)前記第1の二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の第2の二次振動を検出し、且つ前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2検出電極
をさらに有しており、
前記第2検出電極の各々が前記第2電極配置領域上に配置される、
請求項1に記載の振動ジャイロ。 - 前記検出電極を第2検出電極とし、前記抑制電極を第2抑制電極とし、前記二次振動を第2の二次振動としたときに、前記複数の電極が、次の(4)、すなわち、
(4)前記第2の二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の第1の二次振動を検出し、且つ前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1検出電極
をさらに有しており、
前記第1検出電極の各々が前記第2電極配置領域上に配置される、
請求項2に記載の振動ジャイロ。 - 一様な平面を備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、
前記リング状振動体の前記平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極と
を備え、前記複数の電極は、次の(1)、(2)及び(3)、すなわち、
(1)Nを3以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,N−2とした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された検出電極と、
(3)前記検出電極からの信号に基づいて前記二次振動を抑制し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された抑制電極と、
前記駆動電極、前記検出電極、及び前記抑制電極の各々に電気的に接続し、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む、前記レッグ部の上方に形成される各々の引き出し電極と、を有しており、
前記駆動電極の各々は、前記リング状振動体の前記平面において、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域と、前記リング状振動体の内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前記検出電極の各々及び前記抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記第1電極配置領域と電気的に接続しないようにされ、かつ
演算回路によって、前記検出電極から出力される信号の差分を算出する、
振動ジャイロ。 - 一様な平面を備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、
前記リング状振動体の前記平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極と
を備え、前記複数の電極は、次の(1)、(2)及び(3)、すなわち、
(1)Nを3以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極、Sを0,1,・・・,N−2とした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された検出電極と、
(3)前記検出電極からの信号に基づいて前記二次振動を抑制し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された抑制電極と、
前記駆動電極、前記検出電極、及び前記抑制電極の各々に電気的に接続し、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む、前記レッグ部の上方に形成される各々の引き出し電極と、
を有しており、
前記駆動電極の各々は、前記リング状振動体の前記平面内において、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域と、前記リング状振動体の内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置され、
前記検出電極各々、及び前記抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記第1電極配置領域と電気的に接続しないようにされ、かつ
演算回路によって、前記検出電極から出力される信号の差分を算出する、
振動ジャイロ。 - 一様な平面を備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、
前記リング状振動体の前記平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極と
を備え、前記複数の電極は、次の(1)乃至(5)、すなわち、
(1)Nを3以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極と、
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とし、S=0,1,・・・,N−2とした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの第1の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第1検出電極と、
(3)前記第1の二次振動に対して{90/(N−1)}°離れた角度の振動軸の第2の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2検出電極と、
(4)前記第1検出電極からの信号に基づいて前記第1の二次振動を抑制し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1抑制電極と、
(5)前記第2検出電極からの信号に基づいて前記第2の二次振動を抑制し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+1/4}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2抑制電極と、
前記駆動電極、前記第1検出電極、前記第2検出電極、前記第1抑制電極、及び前記第2抑制電極の各々に電気的に接続し、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む、前記レッグ部の上方に形成される各々の引き出し電極と、
を有しており、前記駆動電極の各々は、前記リング状振動体の前記平面内において、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域と、前記リング状振動体の内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前記第1検出電極の各々、前記第2検出電極の各々、前記第1抑制電極の各々、及び前記第2抑制電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記第1電極配置領域と電気的に接続しないようにされ、かつ
演算回路によって、前記第1検出電極から出力される信号の差分及び前記第2検出電極から出力される信号の差分を算出する、
振動ジャイロ。 - 前記検出電極を第1検出電極とし、前記抑制電極を第1抑制電極とし、前記二次振動を第1の二次振動としたときに、前記複数の電極が、次の(4)、すなわち、
(4)前記第1の二次振動に対して{90/(N−1)}°離れた角度の振動軸の第2の二次振動を検出し、且つ前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第2検出電極
をさらに有しており、
前記第2検出電極の各々が、前記第2電極配置領域上に配置される、
請求項6に記載の振動ジャイロ。 - 前記検出電極を第2検出電極とし、前記抑制電極を第2抑制電極とし、前記二次振動を第2の二次振動としたときに、前記複数の電極が、次の(4)、すなわち、
(4)前記第2の二次振動に対して{90/(N−1)}°離れた角度の振動軸の第1の二次振動を検出し、且つ前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1検出電極
をさらに有しており、
前記第1検出電極の各々が、前記第2電極配置領域上に配置される、
請求項7に記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、次の(6)、すなわち、
(6)前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの第3の二次振動を検出し、M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第3検出電極
をさらに有しており、
前記第3検出電極の各々が前記第1電極配置領域上に配置される、
請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、次の(7)、すなわち、
(7)前記第3検出電極からの信号に基づいて前記第3の二次振動を抑制し、M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第3抑制電極
をさらに有し、前記第3抑制電極の各々が前記第1電極配置領域上に配置される、
請求項11に記載の振動ジャイロ。 - 一様な平面を備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、
前記リング状振動体の前記平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極と
を備え、前記複数の電極は、次の(1)、すなわち、
(1)Nを2以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極
を有しており、前記複数の電極は、次の(2)と(3)とのうちの少なくともいずれか又は両方、すなわち、
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,Nとした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの第1の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1検出電極と、
(3)前記第1の二次振動に対して{90/(N+1)}°離れた角度の振動軸の、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N+1)θの振動モードの第2の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N+1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された、前記第1検出電極とは異なる第2検出電極と
のうちのいずれか又は両方を有しており、前記複数の電極は、次の(4)及び(5)、すなわち、
(4)M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの、前記一次振動の振動軸から(90/N)°離れた角度の振動軸を持つ第3の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第3検出電極と、
(5)前記第3検出電極からの信号に基づいて前記二次振動を抑制し、M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された抑制電極と、
前記駆動電極、前記第1検出電極、前記第2検出電極、前記第3検出電極、及び前記抑制電極の各々に電気的に接続し、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む、前記レッグ部の上方に形成される各々の引き出し電極と、
を有しており、
前記駆動電極の各々は、前記リング状振動体の前記平面において、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域と、前記リング状振動体の内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前記第1検出電極の各々、前記第2検出電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされており、
前記第3検出電極の各々、及び前記抑制電極の各々は、第1電極配置領域に配置されるとともに、前記駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされ、かつ
演算回路によって、前記第1検出電極から出力される信号の差分、前記第2検出電極から出力される信号の差分、及び前記第3検出電極から出力される信号の差分を算出する、
振動ジャイロ。 - 一様な平面を備えたリング状振動体と、
前記リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部と、
前記リング状振動体の前記平面上又はその上方に置かれ、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜のうちの少なくともいずれかにより形成される複数の電極と
を備え、前記複数の電極は、次の(1)、すなわち、
(1)Nを3以上のある自然数とした場合に、cosNθの振動モードで前記リング状振動体の一次振動を励起する、互いに円周方向に(360/N)°離れた角度に配置された駆動電極
を有しており、前記複数の電極は、次の(2)と(3)とのうちの少なくともいずれか又は両方、すなわち、
(2)前記駆動電極の1つを基準駆動電極とし、Sを0,1,・・・,N−2とした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの第1の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×S〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/2)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された第1検出電極と、
(3)前記第1の二次振動に対して{90/(N−1)}°離れた角度の振動軸の、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcos(N−1)θの振動モードの第2の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔{360/(N−1)}×{S+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかの角度に配置された、前記第1検出電極とは異なる第2検出電極と
のうちのいずれか又は両方を有しており、前記複数の電極は、次の(4)及び(5)、すなわち、
(4)M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前記リング状振動体に角速度が与えられたときに発生するcosNθの振動モードの、前記一次振動の振動軸から(90/N)°離れた角度の振動軸を持つ第3の二次振動を検出し、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された第3検出電極と、
(5)前記第3検出電極からの信号に基づいて前記二次振動を抑制し、M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前記基準駆動電極から〔(360/N)×{M+(1/4)}〕°離れた角度と、前記基準駆動電極から〔(360/N)}×{M+(3/4)}〕°離れた角度とのうちの少なくともいずれかに配置された抑制電極と、
前記駆動電極、前記第1検出電極、前記第2検出電極、前記第3検出電極、及び前記抑制電極の各々に電気的に接続し、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む、前記レッグ部の上方に形成される各々の引き出し電極と、
を有しており、
前記駆動電極の各々は、前記リング状振動体の前記平面において、前記リング状振動体の外周縁から前記外周縁の近傍に至るまでの領域と、前記リング状振動体の内周縁から前記内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方を含む第1電極配置領域上に配置されており、
前記第1検出電極の各々、前記第2検出電極の各々は、第2電極配置領域上に配置されるとともに、前記駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされており、
前記第3検出電極の各々、及び前記抑制電極の各々は、第1電極配置領域に配置されるとともに、前記駆動電極のいずれとも電気的に接続しないようにされ、かつ
演算回路によって、前記第1検出電極から出力される信号の差分、前記第2検出電極から出力される信号の差分、及び前記第3検出電極から出力される信号の差分を算出する、
振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、
(8)L=0,1,・・・,2N−1とした場合に、前記基準駆動電極から円周方向に(180/N)×{L+(1/2)}°離れた角度以外の角度に配置された一群のモニタ電極
をさらに有する、
請求項1乃至請求項10、及び請求項13乃至請求項14のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の電極が、
(8)M=0,1,・・・,N−1とした場合に、前記基準駆動電極から円周方向に〔(360/N)×{M+(1/2)}〕°離れた角度に配置されたモニタ電極
をさらに有する、
請求項1乃至請求項10、及び請求項13乃至請求項14のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。 - 前記第2電極配置領域が、前記外周縁から前記内周縁までの幅の中央を結ぶ中央線を含む、
請求項1乃至請求項10、及び請求項13乃至請求項14のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。 - 前記リング状振動体がシリコン基板から形成され、
正面視で実質的に前記上層金属膜、前記圧電体膜、及び前記下層金属膜のみが観察される
請求項1乃至請求項10、及び請求項13乃至請求項14のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。 - 前記リング状振動体がシリコン基板から形成され、
正面視で実質的に前記上層金属膜及び前記下層金属膜のみが観察される
請求項1乃至請求項10、及び請求項13乃至請求項14のいずれか1項に記載の振動ジャイロ。
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